JP2016133400A - 基板処理装置における容積を求める方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板処理装置における容積を求める。
【解決手段】
一実施形態の方法では、ガスが充填された状態のガス流路の圧力の測定値である第1の測定値を取得し、次いで、ガス流路の圧力とプロセスチャンバの圧力とが平衡状態になったときのプロセスチャンバの圧力の測定値である第2の測定値を取得する複数回の第1のシーケンスを実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値が取得される。次いで、プロセスチャンバ内に物体が収容された状態で、第1のシーケンスと同様の複数回の第2のシーケンスを実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値が取得される。そして、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づき、プロセスチャンバの容積が求められる。
【選択図】図1
【解決手段】
一実施形態の方法では、ガスが充填された状態のガス流路の圧力の測定値である第1の測定値を取得し、次いで、ガス流路の圧力とプロセスチャンバの圧力とが平衡状態になったときのプロセスチャンバの圧力の測定値である第2の測定値を取得する複数回の第1のシーケンスを実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値が取得される。次いで、プロセスチャンバ内に物体が収容された状態で、第1のシーケンスと同様の複数回の第2のシーケンスを実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値が取得される。そして、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づき、プロセスチャンバの容積が求められる。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、基板処理装置における容積を求める方法に関するものである。
半導体デバイスといった電子デバイスの製造においては、基板処理装置が用いられる。基板処理装置を用いたプロセスでは、基板処理装置のプロセスチャンバに供給されるガスの流量が重要なパラメータである。
ガスの流量は、圧力制御式の流量制御器(FCS)又はマスフローコントローラといった流量制御器によって制御されるが、流量制御器の設定値と実際の流量との間に差が生じることがある。したがって、装置出荷時又は定期メンテナンス時に、流量制御器の校正が行われる。
流量制御器の校正の手法として、基板処理装置の構成要素の既知容積に基づいてガスの流量を測定するビルドアップ法が一般的には用いられている。例えば、特許文献1には、既知の内容積を有するビルドアップタンクを用いる手法が開示されている。また、特許文献2には、ガス流路の一部を既知容積とみなし、流量制御器の流量を検定する手法が開示されている。さらに、特許文献2には、ガス流路の一部を既知容積とみなした上で、当該ガス流路の他の部分の未知容積を求める手法も開示されている。
しかしながら、特許文献1の手法では、プロセスにおいて本来は不要なビルドアップタンクを増設する必要がある。また、特許文献2の手法では、基板処理装置の既存の構成要素であるガス配管によって提供されるガス流路の一部を既知容積としているが、プロセスに使用されるガスの種類によっては、ガス配管の内壁に堆積物が付着したり、ガス配管の内壁が削られることにより、ガス流路の実際の容積が既知容積から変動することがある。さらに、特許文献2の手法では、ガス流路の容積が小さいことに起因して、大きな流量を制御する流量制御器の校正が困難となり得る。基板処理装置において、ある程度の容積を有する基板処理装置の既存の構成要素としては、プロセスチャンバが挙げられる。しかしながら、プロセスチャンバ内には様々な部品が存在するため、プロセスチャンバの容積を既知容積として正確に算出することは困難である。また、加工精度等に起因し、プロセスチャンバの容積には、機差が生じ得る。したがって、基板処理装置には、ある程度の大きさの既知容積を有する既存の装置構成は存在しない。
このような背景から、基板処理装置の構成要素の既知容積に基づかずに当該基板処理装置における容積を求めることが必要とされている。
一態様においては、基板処理装置における容積を求める方法が提供される。基板処理装置は、プロセスチャンバ、真空ポンプ、ゲートバルブ、流量制御器、第1のバルブ、第2のバルブ、ガス配管、第1の圧力計、及び、第2の圧力計を備える。真空ポンプは、プロセスチャンバ内の空間を排気するよう構成されている。ゲートバルブは、プロセスチャンバと真空ポンプの間に設けられている。流量制御器は、ガス供給源とプロセスチャンバとの間に設けられている。第1のバルブは、流量制御器のガス出力側に設けられている。第2のバルブは、プロセスチャンバのガス入力側に設けられている。ガス配管は、第1のバルブと第2のバルブとの間に設けられている。第1の圧力計は、ガス配管によって提供されるガス流路の圧力を測定するよう構成されている。第2の圧力計は、プロセスチャンバの圧力を測定するよう構成されている。本方法は、(a)真空ポンプによりガス流路とプロセスチャンバ内の空間とを減圧する工程と、(b)複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値を取得するために、(c)第2のバルブが閉じられ、第1のバルブが開かれた第1の状態を形成する工程(以下、「第1工程」という)と、(d)第1の状態においてガス供給源からガス流路に所定量のガスが供給されたときに、第1のバルブが閉じられた第2の状態を形成する工程(以下、「第2工程」という)と、(e)第1の圧力計を用いて、第2の状態におけるガス流路の圧力の測定値である第1の測定値を取得する工程(以下、「第3工程」という)と、(f)第2の状態から、第2のバルブが開かれた第3の状態を形成する工程(以下、「第4工程」という)と、(g)第1の圧力計又は第2の圧力計を用いて、第3の状態におけるガス流路の圧力の測定値又はプロセスチャンバ内の空間の圧力の測定値である第2の測定値を取得する工程(以下、「第5工程」という)と、を各々が含む複数回の第1のシーケンスを実行する工程と、(h)プロセスチャンバ内に物体を搬入する工程と、(i)ガス流路とプロセスチャンバ内の空間とを減圧する工程と、(j)複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値を取得するために、物体がプロセスチャンバ内に収容された状態において、上記第1〜第5の工程を各々が含む複数回の第2のシーケンスを実行する工程と、(k)第1群の測定値及び第2群の測定値に基づいて、プロセスチャンバの容積を求める工程と、含む。
上記の第1の測定値は、流量制御器からのガスをガス流路に充填した状態の当該ガス流路の圧力の測定値であり、第2の測定値は、ガス流路にガスを充填した後に第2のバルブを開放して、ガス流路の圧力とプロセスチャンバ内の空間の圧力が平衡状態に達したときのガス流路又はプロセスチャンバ内の空間の圧力の測定値である。したがって、これら第1の測定値と第2の測定値を用いることにより、プロセスチャンバの容積とガス流路の容積との合計に占めるガス流路の容積の割合を特定することができるが、プロセスチャンバの容積とガス流路の容積は共に未知数である。これら二つの未知数のうち少なくとも一方を求めるためには、第1の測定値と第2の測定値を含む一群の測定値と、当該一群の測定値とは異なる状態で取得された第1の測定値と第2の測定値を含む別の一群の測定値が必要である。このため、本方法では、複数回の第1のシーケンスにおいて、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値を測定した後に、容積が既知の物体をプロセスチャンバ内に収容した状態で、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値が取得される。このようにして得られる二種の測定値の群、即ち、第1群の測定値及び第2群の測定値を用いることにより、基板処理装置の構成要素の既知容積に基づくことなく、二つの未知数のうち少なくとも一方、即ち、プロセスチャンバの容積を求めることが可能となる。
一実施形態では、上記物体は、一以上の半導体ウエハであり得る。また、一実施形態では、物体は、複数の半導体ウエハであり得る。
一実施形態では、容積を求める前記工程では、Pk1(i)=Pm1(i)+Pk1(i−1)で定義されるPk1(i)に対するPu1(i)の変化の勾配β1を求め、Pk2(i)=Pm2(i)+Pk2(i−1)で定義されるPk2(i)に対するPu2(i)の変化の勾配β2を求め、β1=Vk/(Vk+Vu1)、β2=Vk/(Vk+Vu2)、及び、Vu2=Vu1−VWを含む三式の連立方程式に基づき、プロセスチャンバの容積Vu1を求める。ここで、iは複数回の第1のシーケンスの実行順及び複数回の第2のシーケンスの実行順を示す番号であり、Pm1(i)は第1群の測定値に含まれる複数の第1の測定値であり、Pu1(i)は第1群の測定値に含まれる複数の第2の測定値であり、Pm2(i)は第2群の測定値に含まれる複数の第1の測定値であり、Pu2(i)は第2群の測定値に含まれる複数の第2の測定値であり、Vkはガス流路の容積であり、Vu1は複数回の第1のシーケンスの実行時のプロセスチャンバの容積であり、Vu2は複数回の第2のシーケンスの実行時のプロセスチャンバの容積であり、VWは物体の容積である。
なお、一実施形態では、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づいて、ガス流路の容積が更に求められてもよい。
以上説明したように、基板処理装置の構成要素の既知容積に基づかずに当該基板処理装置における容積を求めることが可能となる。
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
図1は、基板処理装置における容積を求める方法の一実施形態を示す流れ図である。図1に示す方法では、ガスが充填された状態のガス流路の圧力の測定値である第1の測定値を取得し、次いで、ガス流路の圧力とプロセスチャンバの圧力とが平衡状態になったときのプロセスチャンバの圧力の測定値である第2の測定値を取得する複数回の第1のシーケンスSQ1を実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値が取得される。次いで、プロセスチャンバ内に物体が収容された状態で、第1のシーケンスと同様の複数回の第2のシーケンスSQ2を実行することにより、複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値が取得される。そして、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づき、プロセスチャンバの容積が求められる。
図2は、方法MTの実施に用いることが可能な基板処理システムの一例を概略的に示す図である。図2に示す基板処理システム1は、載置台122a〜122d、収容容器124a〜124d、ローダモジュールLM、ロードロックチャンバLL1及びロードロックチャンバLL2、トランスファーチャンバ121、並びに、基板処理装置10を備えている。
載置台122a〜122dは、ローダモジュールLMの一縁に沿って配列されている。これら載置台122a〜122dの上には、収容容器124a〜124dがそれぞれ載置されている。収容容器124a〜124d内には、ウエハWが収容されている。
ローダモジュールLM内には、搬送ロボットRb1が設けられている。搬送ロボットRb1は、収容容器124a〜124dの何れかに収容されているウエハWを取り出して、当該ウエハWを、ロードロックチャンバLL1又はLL2に搬送する。
ロードロックチャンバLL1及びLL2は、ローダモジュールLMの別の一縁に沿って設けられており、当該ローダモジュールLMに接続されている。ロードロックチャンバLL1及びLL2は、予備減圧室を構成している。ロードロックチャンバLL1及びLL2は、トランスファーチャンバ121にそれぞれ接続されている。
トランスファーチャンバ121は、減圧可能なチャンバであり、当該トランスファーチャンバ121内には搬送ロボットRb2が設けられている。トランスファーチャンバ121には、基板処理装置10が接続されている。搬送ロボットRb2は、ロードロックチャンバLL1又はロードロックチャンバLL2からウエハWを取り出して、当該ウエハWを基板処理装置10に搬送する。
また、後述するように、方法MTでは、基板処理装置10のプロセスチャンバに物体が搬入される。当該物体は、一以上のウエハW、例えば、一以上の半導体ウエハであってもよく、収容容器124a〜124dの何れかから基板処理装置10に搬入されてもよい。或いは、物体は、トランスファーチャンバ121に直接的に又は間接的に接続された別個の容器内から搬入されてもよい。或いは、トランスファーチャンバ121内の空間に収容されている物体が、基板処理装置10に搬入されてもよい。或いは、プロセスチャンバ12の蓋体を取り外し、物体をプロセスチャンバ12内に直接搬入してもよい。
また、この基板処理システム1は、制御部100を備えている。この制御部100は、方法MTにおける各工程の実行のために、基板処理システム1の各部を制御する。一実施形態では、制御部100は、プロセッサ、記憶装置、入力装置、表示装置等を備えるコンピュータであり得る。この実施形態では、制御部100は、方法MTの各工程において基板処理システム1の各部を制御するためのプログラムを記憶装置に格納しており、当該プログラムを実行することにより、基板処理システム1の各部を制御する。
図3は、図2に示す基板処理システム1に設けられた基板処理装置10を概略的に示す図である。図3に示すように、基板処理装置10は、プロセスチャンバ12、真空ポンプ14、ゲートバルブ16、複数の流量制御器18、複数の第1のバルブ20、複数の第2のバルブ22、第1の圧力計24、及び第2の圧力計26を備えている。
プロセスチャンバ12は、その内部空間、即ち空間SにウエハWを収容する容器であり、当該プロセスチャンバ12内においてウエハWに対する処理が行われる。プロセスチャンバ12には、ゲートバルブ16を介して真空ポンプ14が接続されている。真空ポンプ14は、プロセスチャンバ12内の空間Sを排気する。これにより、プロセスチャンバ12内の空間Sが減圧されるようになっている。また、プロセスチャンバ12には、第2の圧力計26が接続されている。この第2の圧力計26は、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力を測定するよう構成されている。
基板処理装置10では、プロセスチャンバ12内の空間Sに、複数のガス供給源28からの複数種のガスが、選択的に供給されるようになっている。複数のガス供給源28には複数の流量制御器18がそれぞれ接続されている。複数の流量制御器18の各々は、FCS、即ち、圧力制御式の流量制御器、又は、マスフローコントローラであり、対応のガス供給源28からのガスの流量を調整して、流量が調整されたガスを出力する。
複数の流量制御器18のガス出力側にはそれぞれ、複数の第1のバルブ20が設けられている。複数の第1のバルブ20の出力側にはそれぞれ、複数の個別配管30が接続されている。これら個別配管30は、共通配管32に接続されている。
また、プロセスチャンバ12のガス入力側には、第2のバルブ22が設けられている。第2のバルブ22の出力側とプロセスチャンバ12とは配管34によって接続されている。また、第2のバルブ22の入力側には、上記共通配管32が接続されている。
基板処理装置10では、各第1のバルブ20に接続された個別配管30と共通配管32とが、当該第1のバルブ20と第2のバルブ22との間に設けられたガス配管40を構成する。第1の圧力計24は、ガス配管40によって提供されるガス流路の圧力を測定するよう構成されている。一実施形態では、第1の圧力計24は共通配管32に接続されており、共通配管32内のガス流路の圧力を測定するよう構成されている。
また、一実施形態では、基板処理装置10は、第3の圧力計36を更に備え得る。第3の圧力計36は、配管34に接続されている。例えば、基板処理装置10は、図中破線によって示すように、プロセスチャンバ12内にシャワーヘッドを備え得る。第3の圧力計36は、配管34によって提供されるガス流路の圧力を測定することにより、シャワーヘッドよりも上流の圧力を計測するようになっている。
以下、基板処理システム1の基板処理装置10への適用を例にとって、方法MTについて詳細に説明する。なお、以下の説明では、ガス流路として、複数の第1のバルブのうち一つの第1のバルブ20aに接続された個別配管30aを含むガス配管40によって提供されるガス流路40aを例にとって、方法MTを説明する。
図1を参照すると、方法MTでは、まず、工程ST1において、ガス配管40によって提供されるガス流路40a、及びプロセスチャンバ12内の空間Sが減圧される。このため、複数の第1のバルブ20が閉じられ、第2のバルブ22及びゲートバルブ16が開かれる。かかる第1のバルブ20、第2のバルブ22、及びゲートバルブ16の開閉は、制御部100によって制御され得る。一実施形態では、工程ST1の減圧後、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力が第2の圧力計26によって測定されることにより、測定値P10が取得される。この測定値P10は、制御部100に入力される。なお、工程ST1の減圧後のガス流路40aの圧力は、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力と等しいので、測定値P10は、第1の圧力計24によって取得されてもよい。
方法MTでは、次いで、複数の第1の測定値Pm1(i)及び複数の第2の測定値Pu1(i)を含む第1群の測定値を取得するために、複数回の第1のシーケンスSQ1が実行される。なお、「i」は複数回の第1のシーケンスSQ1の実行順を示す番号である。
具体的に、第1のシーケンスSQ1では、まず、工程ST2が実行される。工程ST2では、第2のバルブ22が閉じられ、次いで、第1のバルブ20aが開かれる。即ち、第2のバルブ22が閉じられ、第1のバルブ20aが開かれた第1の状態が形成される。この工程ST2における第2のバルブ22及び第1のバルブ20aの開閉は、制御部100によって制御され得る。この第1の状態では、第1のバルブ20aに接続された流量制御器18を介して、当該流量制御器18に接続されたガス供給源28からガスがガス流路40aに供給される。
続く工程ST3では、第1の状態において所定量のガスがガス流路40aに供給され、当該所定量のガスでガス流路40aが充填されたときに、第1のバルブ20aが閉じられる。即ち、工程ST3では、第1のバルブ20aが閉じられた第2の状態が形成される。工程ST3では、例えば、第1の状態でのガス供給が所定時間経過したときに、第1のバルブ20aが閉じられる。この工程ST3では、第1のバルブ20aは制御部100によって制御され得る。
続く工程ST4では、第2の状態においてガス配管40によって提供されるガス流路40aの圧力の測定値である第1の測定値Pm1(i)が、第1の圧力計24によって取得される。取得された第1の測定値Pm1(i)は、制御部100に入力される。なお、このときに、プロセスチャンバ12内の空間の圧力である測定値P10が取得されてもよい。
続く工程ST5では、第2のバルブ22が開かれる。即ち、第2の状態から、第2のバルブ22が開かれた第3の状態が形成される。工程ST5では、第2のバルブ22は制御部100によって制御され得る。
続く工程ST6では、第3の状態においてガス流路40aの圧力とプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力とが平衡状態に達したときに、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力の測定値である第2の測定値Pu1(i)が第2の圧力計26によって取得される。工程ST6では、例えば、第3の状態の継続時間が所定時間に達したときに、平衡状態が形成されたものと判定され得る。この工程ST6において取得された第2の測定値Pu1(i)は、制御部100に入力される。なお、平衡状態におけるプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力とガス流路40aの圧力は等しいので、第2の測定値Pu1(i)は、第1の圧力計24によって取得されてもよい。
続く工程STaでは、停止条件が満たされるか否かが判定される。具体的には、第1のシーケンスSQ1の実行回数が所定回数に達しているときに停止条件が満たされるものと判定される。工程STaにおいて停止条件が満たされないと判定されると、第1のシーケンスSQ1が工程ST2から再び実行される。一方、工程STaにおいて停止条件が満たされていると判定されると、方法MTの処理は工程ST7に移行する。このような、第1のシーケンスSQ1の複数回の繰り返しにより、複数の第1の測定値Pm1(i)及び複数の第2の測定値Pu1(i)を含む第1群の測定値が取得される。
次いで、工程ST7では、物体がプロセスチャンバ12内に搬入される。物体は、容積が既知の物体であれば任意の物体であり得る。一実施形態では、上述したように、物体は、一以上の半導体ウエハであり、ウエハWとして収容容器124a〜124dの何れかから搬入され得る。或いは、物体は、トランスファーチャンバ121に直接的に又は間接的に接続された別個の容器内から搬入されてもよい。或いは、トランスファーチャンバ121内の空間に収容されている物体が、基板処理装置10に搬入されてもよい。工程ST7における物体の搬入のために、基板処理システム1の搬送装置を含む各部、例えば、搬送ロボットRb1及びRb2等は、制御部100によって制御され得る。或いは、プロセスチャンバ12の蓋体を取り外し、物体をプロセスチャンバ12内に直接搬入してもよい。
なお、基板処理装置10における容積の算出にける精度を向上するためには、上記第1群の測定値から得られる後述の勾配と、後述の複数回の第2のシーケンスSQ2の実行により得られる第2群の測定値から算出される勾配との間の差が大きいことが望ましく、したがって、物体は、可能な限り大きな容積を有することが望ましい。かかる観点から、例えば、物体は、各々が12インチ(約300mm)の直径、0.775mmの厚さを有する2枚以上の半導体ウエハ、又は、当該2枚以上の半導体ウエハと同等の容積を有する他の物体、或いは、上記直径及び厚さを有する6枚以上の半導体ウエハ、又は、当該6枚以上の半導体ウエハと同等の容積を有する他の物体であってもよい。
続く工程ST8では、工程ST1と同様に、ガス配管40によって提供されるガス流路40a、及びプロセスチャンバ12内の空間が減圧される。このため、複数の第1のバルブ20が閉じられ、第2のバルブ22及びゲートバルブ16が開かれる。かかる第1のバルブ20、第2のバルブ22、及びゲートバルブ16の開閉は、制御部100によって制御され得る。一実施形態では、工程ST8の減圧後、プロセスチャンバ12内の空間の圧力が第2の圧力計26によって測定されることにより、測定値P20が取得される。この測定値P20は、制御部100に入力される。なお、工程ST8の減圧後のガス流路40aの圧力は、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力と等しいので、測定値P20は、第1の圧力計24によって取得されてもよい。また、物体をプロセスチャンバ12内に搬入する際に、トランスファーチャンバ121が減圧されている場合は、工程ST8を工程ST7の前に行ってもよい。
方法MTでは、次いで、複数の第1の測定値Pm2(i)及び複数の第2の測定値Pu2(i)を含む第2群の測定値を取得するために、複数回の第2のシーケンスSQ2が実行される。なお、「i」は複数回の第2のシーケンスSQ2の実行順を示す番号である。
具体的には、第2のシーケンスSQ2では、物体がプロセスチャンバ12内に収容された状態で、第1のシーケンスSQ1と同様に、工程ST2〜工程ST6が実行される。第2のシーケンスSQ2の工程ST2〜工程ST6においても、基板処理システム1の各部は、第1のシーケンスSQ1の工程ST2〜工程ST6における基板処理システム1の各部の制御と同様に制御される。方法MTでは、かかる第2のシーケンスSQ2が、工程STaにおいて停止条件が満たされるまで、実行される。なお、第1のシーケンスSQ1と同様に、第2のシーケンスSQ2においても、工程ST4において、測定値P20が取得されてもよい。
各回の第2のシーケンスSQ2の工程ST4では、第2の状態においてガス配管40によって提供されるガス流路40aの圧力の測定値である第1の測定値Pm2(i)が第1の圧力計24によって取得される。また、各回の第2のシーケンスSQ2の工程ST6では、プロセスチャンバ12内の空間Sの圧力の測定値である第2の測定値Pu2(i)が第2の圧力計26によって取得される。なお、第2の測定値Pu2(i)は、第1の圧力計24によって取得されてもよい。かかる複数回の第2のシーケンスSQ2の実行により、複数の第1の測定値Pm2(i)及び複数の第2の測定値Pu2(i)を含む第2群の測定値が取得される。
方法MTでは、続く工程ST9において、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づいて、プロセスチャンバ12の容積Vu1が算出される。一実施形態では、工程ST9において、第1群の測定値及び第2群の測定値に基づいて、ガス配管40によって提供されるガス流路40aの容積Vkが更に算出され得る。なお、プロセスチャンバ12の容積Vu1は、図3に示す基板処理装置10では、プロセスチャンバ12内の空間Sの容積、配管34によって提供される流路の容積、及び、プロセスチャンバ12とゲートバルブ16との間の流路の容積の合計である。
ここで、Vkは、Vu1と比較して相当に小さいので、測定値P10、各回の第1のシーケンスSQ1の工程ST2によりガス流路に生じる圧力増加量Pinc_1、及び、各回の第1のシーケンスSQ1の工程ST5の実行により平衡状態が形成されたときのプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力の測定値、即ち第2の測定値Pu1(i)との間には、次式(1)の関係が成り立つ。
同様に、Vkは、物体が収容されている状態でのプロセスチャンバ12の実容積Vu2と比較して相当に小さいので、測定値P20、各回の第2のシーケンスSQ2の工程ST2によりガス流路に生じる圧力増加量Pinc_2、及び、各回の第2のシーケンスSQ2の工程ST5の実行により平衡状態が形成されたときのプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力の測定値、即ち、第2の測定値Pu2(i)との間には、次式(2)の関係が成り立つ。
なお、実容積Vu2は、プロセスチャンバ12内の空間の容積から物体の容積Vwを差し引いた容積、配管34によって提供される流路の容積、及び、プロセスチャンバ12とゲートバルブ16との間の流路の容積の合計である。
なお、実容積Vu2は、プロセスチャンバ12内の空間の容積から物体の容積Vwを差し引いた容積、配管34によって提供される流路の容積、及び、プロセスチャンバ12とゲートバルブ16との間の流路の容積の合計である。
方法MTの工程ST9では、式(1)及び式(2)の括弧内の項を表す次式(3)及び次式(4)のβ1及びβ2が求められ、式(3)、式(4)及び式(5)を含み三式の連立方程式に基づき、プロセスチャンバ12の容積Vu1及びガス流路40aの容積Vkが求められる。
工程ST9では、β1を求めるために、第1群の測定値が利用され、Pk1(i)=Pm1(i)+Pk1(i−1)で定義されるPk1(i)に対するPu1(i)の変化の勾配がβ1として求められる。なお、Pk1(0)はP10である。即ち、工程ST9では、図4の(a)に示すように、Pk1(i)とPu1(i)とで規定される複数のプロットに対する近似直線の勾配がβ1として求められる。この勾配β1は、例えば、上記複数のプロットに対する最小二乗法といった方法により、求められる。
同様に、工程ST9では、β2を求めるために、第2群の測定値が利用され、Pk2(i)=Pm2(i)+Pk2(i−1)で定義されるPk2(i)に対するPu2(i)の変化の勾配がβ2として求められる。なお、Pk2(0)はP20である。即ち、工程ST9では、図4の(b)に示すように、Pk2(i)とPu2(i)とで規定される複数のプロットに対する近似直線の勾配がβ2として求められる。この勾配β2も、例えば、上記複数のプロットに対する最小二乗法といった方法により、求められる。
そして、工程ST9では、求められた勾配β1及び勾配β2、並びに物体の既知の容積を用いて、式(6)及び式(7)の演算を行うことにより、プロセスチャンバ12の容積Vu1及びガス流路の容積Vkが求められる。かかる容積Vu1及び容積Vkの算出における工程ST9の演算は、制御部100によって実行され得る。
第1の測定値Pm1(i)は、流量制御器18からのガスをガス流路40aに充填した状態の当該ガス流路40aの圧力の測定値であり、第2の測定値Pu1(i)は、ガス流路40aにガスを充填した後に第2のバルブ22を開放して、ガス流路40aの圧力とプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力が平衡状態に達したときのガス流路40a又はプロセスチャンバ12内の空間Sの圧力の測定値である。これらの第1の測定値Pm1(i)と第2の測定値Pu1(i)を用いることにより、上述したように、プロセスチャンバ12の容積Vu1とガス流路40aの容積Vkとの合計に占めるガス流路40aの容積Vkの割合を特定することができるが、プロセスチャンバ12の容積とガス流路の容積は共に未知数である。これら二つの未知数のうち少なくとも一方を求めるためには、第1群の測定値とは異なる状態で取得された別の一群の測定値が必要である。このため、方法MTでは、複数回の第1のシーケンスSQ1の実行後に、容積が既知の物体をプロセスチャンバ12内に収容した状態で、複数の第1の測定値Pm2(i)及び複数の第2の測定値Pu2(i)を含む第2群の測定値が取得される。このようにして得られる二種の測定値の群、即ち、第1群の測定値及び第2群の測定値を用いることにより、上述したように、基板処理装置10の構成要素の既知容積に基づくことなく、二つの未知数のうち少なくとも一方、即ち、プロセスチャンバ12の容積Vu1を求めることが可能となる。また、ガス流路の容積Vkを求めることが可能となる。
以上、種々の実施形態について説明してきたが、上述した実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成可能である。例えば、上述した実施形態では、方法MTが、一つの第1のバルブ20aに接続された個別配管30aを含むガス配管40によって提供されるガス流路40aに対して適用されているが、全ての第1のバルブ20のそれぞれに接続された個別配管30を含むガス配管40によって提供されるガス流路に対しても、方法MTは同様に適用され得る。また、上述した実施形態では、プロセスチャンバ内に物体が収容された状態で行う第2群の測定値の取得は、プロセスチャンバ内に物体が収容されていない状態で行う第1群の測定値の取得の後に行われているが、第2群の測定値の取得が第1群の測定値の取得の前に行われてもよい。
1…基板処理システム、100…制御部、121…トランスファーチャンバ、122a〜122d…載置台、124a〜124d…収容容器、LM…ローダモジュール、LL1,LL2…ロードロックチャンバ、Rb1,Rb2…搬送ロボット、W…ウエハ、10…基板処理装置、12…プロセスチャンバ、14…真空ポンプ、16…ゲートバルブ、18…流量制御器、20,20a…第1のバルブ、22…第2のバルブ、24…第1の圧力計、26…第2の圧力計、28…ガス供給源、30,30a…個別配管、32…共通配管、40…ガス配管。
Claims (5)
- 基板処理装置における容積を求める方法であって、
前記基板処理装置は、
プロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバ内の空間を排気する真空ポンプと、
前記プロセスチャンバと前記真空ポンプの間に設けられたゲートバルブと、
ガス供給源と前記プロセスチャンバとの間に設けられた流量制御器と、
前記流量制御器のガス出力側に設けられた第1のバルブと、
前記プロセスチャンバのガス入力側に設けられた第2のバルブと、
前記第1のバルブと前記第2のバルブとの間に設けられたガス配管と、
前記ガス配管によって提供されるガス流路の圧力を測定する第1の圧力計と、
前記プロセスチャンバの圧力を測定する第2の圧力計と、
を備え、
該方法は、
前記真空ポンプにより前記ガス流路と前記プロセスチャンバ内の空間とを減圧する工程と、
複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第1群の測定値を取得するために、各々が、
前記第2のバルブが閉じられ、前記第1のバルブが開かれた第1の状態を形成する工程と、
前記第1の状態において前記ガス供給源から前記ガス流路に所定量のガスが供給されたときに、前記第1のバルブが閉じられた第2の状態を形成する工程と、
前記第1の圧力計を用いて、前記第2の状態における前記ガス流路の圧力の測定値である第1の測定値を取得する工程と、
前記第2の状態から、前記第2のバルブが開かれた第3の状態を形成する工程と、
前記第1の圧力計又は前記第2の圧力計を用いて、前記第3の状態における前記ガス流路の圧力の測定値又は前記プロセスチャンバ内の空間の圧力の測定値である第2の測定値を取得する工程と、
を含む複数回の第1のシーケンスを実行する工程と、
前記プロセスチャンバ内に物体を搬入する工程と、
前記ガス流路と前記プロセスチャンバ内の空間とを減圧する工程と、
複数の第1の測定値及び複数の第2の測定値を含む第2群の測定値を取得するために、前記物体が前記プロセスチャンバ内に収容された状態において、前記第1の状態を形成する前記工程、前記第2の状態を形成する前記工程、前記第1の測定値を取得する前記工程、前記第3の状態を形成する前記工程、及び前記第2の測定値を取得する前記工程を各々が含む複数回の第2のシーケンスを実行する工程と、
前記第1群の測定値及び前記第2群の測定値に基づいて、前記プロセスチャンバの容積を求める工程と、
含む、方法。 - 前記物体は、一以上の半導体ウエハである、請求項1に記載の方法。
- 前記一以上の半導体ウエハは、複数の半導体ウエハである、請求項2に記載の方法。
- 前記容積を求める前記工程では、
Pk1(i)=Pm1(i)+Pk1(i−1)で定義されるPk1(i)に対するPu1(i)の変化の勾配β1を求め、
Pk2(i)=Pm2(i)+Pk2(i−1)で定義されるPk2(i)に対するPu2(i)の変化の勾配β2を求め、
β1=Vk/(Vk+Vu1)、β2=Vk/(Vk+Vu2)、及び、Vu2=Vu1−VWを含む三式の連立方程式に基づき、前記プロセスチャンバの容積Vu1を求め、
ここで、iは前記複数回の第1のシーケンスの実行順及び前記複数回の第2のシーケンスの実行順を示す番号であり、Pm1(i)は前記第1群の測定値に含まれる前記複数の第1の測定値であり、Pu1(i)は前記第1群の測定値に含まれる前記複数の第2の測定値であり、Pm2(i)は前記第2群の測定値に含まれる前記複数の第1の測定値であり、Pu2(i)は前記第2群の測定値に含まれる前記複数の第2の測定値であり、Vkは前記ガス流路の容積であり、Vu1は前記複数回の第1のシーケンスの実行時の前記プロセスチャンバの容積であり、Vu2は前記複数回の第2のシーケンスの実行時の前記プロセスチャンバの容積であり、VWは前記物体の容積である、
請求項1〜3の何れか一項に記載の方法。 - 前記第1群の測定値及び前記第2群の測定値に基づいて、前記ガス流路の容積が更に求められる、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
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JP2015008332A JP2016133400A (ja) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 基板処理装置における容積を求める方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018044887A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系の検査方法、流量制御器の校正方法、及び、二次基準器の校正方法 |
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2015
- 2015-01-20 JP JP2015008332A patent/JP2016133400A/ja active Pending
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