JP2018044887A - ガス供給系の検査方法、流量制御器の校正方法、及び、二次基準器の校正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一態様に係る方法は、接続管の他端に基準器を接続する第1の工程と、一つの第1のバルブが開放され、他の第1のバルブ、第2のバルブ及び第3のバルブが閉鎖された状態で、一つの流量制御器から配管内にガスを供給する第2の工程と、一つの第1のバルブを閉鎖した後に、第1の圧力計及び第1の温度計の測定値を取得する第3の工程と、第3のバルブを開放して配管内のガスの一部をタンク内に供給する第4の工程と、第1の圧力計及び第1の温度計の測定値、又は、第2の圧力計及び第2の温度計の測定値を取得する第5の工程と、ボイル・シャルルの法則を利用して、第3の工程で取得された測定値と、第5の工程で取得された測定値と、第3のバルブが閉鎖されているときのタンク内の空間を含む閉鎖空間の容積とに基づいて配管の容積を算出する第6の工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
Q=(ΔP/Δt)・(V・C/T) ・・・(1−1)
(ただし、ΔP/Δtは圧力上昇率であり、Vは一つの第1のバルブが開放され、他の第1のバルブ、第2のバルブ及び第3のバルブが閉鎖されているときの配管の容積と該配管に連通する流路の容積との和であり、Tは配管内の温度であり、Cは定数である。)
V=Q・T/{(ΔP/Δt)・C} ・・・(1−2)
(ただし、ΔP/Δtは圧力上昇率であり、Qは一定の設定流量であり、Tは第1のタンク内の温度であり、Cは定数である。)
n=Q・t/22.4 ・・・(1)
(ただし、Qはガスの流量であり、tはガスを流した時間である。)
P・V=n・R・T ・・・(2)
(ここで、Pはガスの圧力であり、Vはガスの体積であり、Rは定数であり、Tはガスの温度である。)
P・V=Q・t・R・T/22.4 ・・・(3)
V=Q・T/{(ΔP/Δt)・C} ・・・(1−2)
P1・V32/T1=P2・(V32+V42)/T2 ・・・(4)
P1・V12/T1=P2・(V12+V42)/T2 ・・・(5)
Q=(ΔP/Δt)・(V12+VL7)・C/T ・・・(6)
Q=(ΔP/Δt)・Vp・C/T ・・・(1−1)
Claims (9)
- 基板処理装置の処理容器内にガスを供給するためのガス供給系の検査方法であって、
前記ガス供給系は、
複数のガスソースにそれぞれ接続された複数の流量制御器と、
下流側の端部が前記処理容器に接続された主管と、前記主管から分岐した複数の分岐管であり、前記複数の流量制御器にそれぞれ接続された該複数の分岐管と、前記主管の途中位置又は前記複数の分岐管のうちの一つの分岐管の途中位置に接続された一端、及び、他端を有する接続管と、を有する配管と、
前記複数の分岐管と前記複数の流量制御器との間にそれぞれ設けられた複数の第1のバルブと、
前記主管の前記下流側の端部と前記処理容器との間に設けられた第2のバルブと、
前記接続管の他端に設けられた第3のバルブと、
前記配管内の圧力を測定する第1の圧力計と、
前記配管内の温度を測定する第1の温度計と、
を備え、
該方法は、
前記第3のバルブを介して前記接続管の他端に基準器を接続する第1の工程であり、前記基準器がタンク、前記タンク内の圧力を測定する第2の圧力計、及び、前記タンク内の温度を測定する第2の温度計とを備える、該第1の工程と、
前記複数の第1のバルブのうちの一つの第1のバルブが開放され、前記複数の第1のバルブのうち前記一つの第1のバルブを除く他の第1のバルブ、前記第2のバルブ及び前記第3のバルブが閉鎖された状態で、前記複数の流量制御器のうち前記一つの第1のバルブに接続された一つの流量制御器から前記配管内にガスを供給する第2の工程と、
前記第2の工程の後であり、且つ、前記一つの第1のバルブを閉鎖した後に、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計の測定値を取得する第3の工程と、
前記第3の工程の後に、前記第3のバルブを開放して前記配管内のガスの一部を前記タンク内に供給する第4の工程と、
前記第4の工程の後に、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計の測定値、又は、前記第2の圧力計及び前記第2の温度計の測定値を取得する第5の工程と、
ボイル・シャルルの法則を利用して、前記第3の工程で取得された測定値と、前記第5の工程で取得された測定値と、前記第3のバルブが閉鎖されているときの前記タンク内の空間を含む閉鎖空間の容積とに基づいて前記配管の容積を算出する第6の工程と、
を含む、ガス供給系の検査方法。 - 前記第1の工程の後、前記第2の工程の前に、
前記一つの第1のバルブ及び前記第3のバルブが開放され、前記他の第1のバルブ及び前記第2のバルブが閉鎖された状態で、前記一つの流量制御器から前記配管内にガスを供給する第7の工程と、
前記第7の工程の後であり、且つ、前記一つの第1のバルブを閉鎖した後に、前記第2の圧力計及び前記第2の温度計の測定値に基づいて、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計を校正する第8の工程と、
を更に含む、請求項1に記載のガス供給系の検査方法。 - 前記第6の工程の後に、前記一つの第1のバルブが開放され、前記他の第1のバルブ、前記第2のバルブ及び前記第3のバルブが閉鎖された状態で、前記一つの流量制御器から一定の設定流量で前記配管内にガスを継続的に供給する第9の工程と、
前記一定の設定流量で前記配管内にガスが継続的に供給されている状態で、第1の時点における前記配管内の圧力及び温度、及び、該第1の時点よりも後の第2の時点における前記配管内の圧力及び温度を測定し、前記第1の時点から前記第2の時点までの前記配管内の圧力上昇率を算出する第10の工程と、
前記配管内のガスの流量Qを下記式(1−1)から算出する第11の工程と、
を更に含む、請求項1又は2に記載のガス供給系の検査方法。
Q=(ΔP/Δt)・Vp・C/T ・・・(1−1)
(ただし、ΔP/Δtは前記圧力上昇率であり、Vpは前記一つの第1のバルブが開放され、前記他の第1のバルブ、前記第2のバルブ及び前記第3のバルブが閉鎖されているときの前記配管の容積と該配管に連通する流路の容積との和であり、Tは前記配管内の温度であり、Cは定数である。) - 請求項3に記載のガス供給系の検査方法を用いた流量制御器の校正方法であって、
前記第11の工程で算出されたガスの流量Qと、前記一定の設定流量とに基づいて、前記一つの流量制御器の出力流量を校正する、流量制御器の校正方法。 - 校正器を用いた二次基準器の校正方法であって、
前記校正器は、
ガスソースに接続された流量制御器と、
第1のタンク、前記第1のタンク内の圧力を測定する第1の圧力計、及び、前記第1のタンク内の温度を測定する第1の温度計を備える一次基準器と、
前記流量制御器と前記第1のタンクとを接続する第1の配管と、
一端及び他端を有し、該一端が第1のタンクに接続された第2の配管と、
前記第1の配管の経路上に設けられた第1のバルブと、
前記第2の配管の経路上に設けられた第2のバルブと、
を備え、
該方法は、
前記二次基準器を前記第2の配管の他端に着脱可能に接続する第1の工程であり、前記二次基準器が、第2のタンク、前記第2のタンク内の圧力を測定する第2の圧力計、及び、前記第2のタンク内の温度を測定する第2の温度計を備える、該第1の工程と、
前記第1のバルブ及び前記第2のバルブが開放された状態で、前記流量制御器から前記第1のタンク及び前記第2のタンク内にガスを供給する第2の工程と、
前記第2の工程の後であり、且つ、前記第1のバルブを閉鎖した後に、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計の測定値に基づいて、前記第2の圧力計及び前記第2の温度計を校正する第3の工程と、
前記第3の工程の後に、前記第1のバルブが開放され、前記第2のバルブが閉鎖された状態で、前記流量制御器から前記第1のタンク内にガスを供給する第4の工程と、
前記第4の工程の後であり、且つ、前記第1のバルブを閉鎖した後に、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計の測定値を取得する第5の工程と、
前記第5の工程の後に、前記第2のバルブを開放して前記第1のタンク内のガスの一部を前記第2のタンク内に供給する第6の工程と、
前記第6の工程の後に、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計の測定値、又は、前記第2の圧力計及び前記第2の温度計の測定値を取得する第7の工程と、
ボイル・シャルルの法則を利用して、前記第5の工程で取得された測定値と、前記第7の工程で取得された測定値と、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブが閉鎖されているときの前記第1のタンク内の空間を含む閉鎖空間の容積とに基づいて、前記第2のバルブが閉鎖されているときの前記第2のタンク内の空間を含む閉鎖空間の容積を算出する第8の工程と、
を含む、二次基準器の校正方法。 - 前記校正器は、
第3のタンク、前記第3のタンク内の圧力を測定する第3の圧力計、及び、前記第3のタンク内の温度を測定する第3の温度計を備えた照合用基準器と、
前記第1のタンクと前記第3のタンクとを接続する第3の配管と、
前記第3の配管の経路上に設けられた第3のバルブと、
を備え、
前記方法は、前記第1の工程の前に、
前記第1のバルブ及び前記第3のバルブが開放され、前記第2のバルブが閉鎖された状態で、前記流量制御器から前記第1のタンク及び前記第3のタンク内にガスを供給する第9の工程と、
前記第9の工程の後であり、且つ、前記第1のバルブを閉鎖した後に、前記第3の圧力計及び前記第3の温度計の測定値に基づいて、前記第1の圧力計及び前記第1の温度計を校正する第10の工程と、
を含む、請求項5に記載の二次基準器の校正方法。 - 前記第10の工程の後であって、前記第1の工程の前に、
前記第1のバルブが開放され、前記第2のバルブ及び前記第3のバルブが閉鎖された状態で、前記流量制御器から一定の設定流量で前記第1のタンク内にガスを継続的に供給する第11の工程と、
前記一定の設定流量で前記配管内にガスが継続的に供給されている状態で、第1の時点における前記第1のタンク内の圧力及び温度、及び、該第1の時点よりも後の第2の時点における前記第1のタンク内の圧力及び温度を測定し、前記第1の時点から前記第2の時点までの前記第1のタンク内の圧力上昇率を算出する第12の工程と、
前記第1のバルブ、前記第2のバルブ及び前記第3のバルブが閉鎖されているときの前記第1のタンク内の空間を含む閉鎖空間の容積Vを下記式(1−2)に基づいて算出する第13の工程と、
を含む、請求項6に記載の二次基準器の校正方法。
V=Q・T/{(ΔP/Δt)・C} ・・・(1−2)
(ただし、ΔP/Δtは前記圧力上昇率であり、Qは前記一定の設定流量であり、Tは前記第1のタンク内の温度であり、Cは定数である。) - 前記第1の工程において前記接続管の他端に接続される基準器が、請求項5〜7の何れか一項に記載の方法により校正された二次基準器である、請求項1〜3の何れか一項に記載のガス供給系の検査方法。
- 前記第1の工程において前記接続管の他端に接続される基準器が、請求項5〜7の何れか一項に記載の方法により校正された二次基準器である、請求項4に記載の流量制御器の校正方法。
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