JP6762218B2 - 流量算出システム及び流量算出方法 - Google Patents
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Description
また、容器が大気中に配置されている場合は、重量測定部の出力値に対して容器に加わる浮力の影響を考慮する必要があるが、本発明に係る流量算出システムであれば、容器が減圧チャンバ内に配置されているので、上述した浮力の影響を考慮する必要がなく、重量測定部の出力値に基づき、流体制御機器に流れる流量を正確に求めることができ、流体制御機器をより精度良く校正することが可能になる。
さらに、容器を重量測定部に載せたまま流体制御機器を校正することができるので、校正にかかる手間を少なくすることができる。
加えて、重量測定部に載せられた容器に封入ラインを介してガスを封入することができるので、容器にガスを封入する際に容器を減圧チャンバから取り出す必要がなく、減圧チャンバを一定の真空度に維持しながら流体制御機器を校正することができる。これにより、複数に亘る校正を略同一条件で行うことで、流体制御機器をより高精度に校正することができる。
また、減圧チャンバから容器を取り出してガスを封入する場合は、その度に減圧チャンバ内を真空引きする必要があるところ、上述した構成であれば、減圧チャンバ内を真空に保ったまま容器にガスを封入することができるので、手間をかけることなく流体制御機器を校正することができる。
これならば、例えばガスラインにガスが流れる際に生じる振動やガスラインから容器に伝わる張力をフレキシブルチューブが吸収するので、重量測定部の出力値に生じる誤差を極めて小さくすることができる。
これならば、封入時及び流出時に共通してガスが流れるガスラインの一部がフレキシブルチューブにより形成されているので、封入ラインを別のフレキシブルチューブで形成する必要がなく、コストを軽減することができる。
また、ガスライン及び封入ラインの一部を共通化することにより、各ラインを形成する配管などの部材を少なくすることができ、コストを削減することができる。
これならば、配管等の接続が困難になりがちな真空チャンバ内におい、配管構造を簡易化することができ、システム全体の組み立てが容易である。
すなわち本発明に係る流量算出方法は、ガスが封入される容器を重量測定部に載せた状態で、前記容器から流体制御機器に、又は、流体制御機器から前記容器に前記ガスを流し、前記重量測定部から出力される出力値に基づいて、前記流体制御機器に流れる前記ガスの流量を算出する流量算出方法であって、前記容器及び前記重量測定部が、減圧された減圧チャンバ内に配置されていることを特徴とする方法である。
この校正システム100は、いわゆる動的重量法(秤量法)を用いて流体制御機器MFCを校正するものであり、具体的には図1に示すように、ガス(以下、校正用ガスともいう)が封入された容器10と、容器10が載せられた重量測定部である電子天秤20と、容器10内の校正用ガスを流体制御機器MFCに流すガスラインである流出ラインL1と、容器10に校正用ガスを封入する封入ラインL2と、容器10内の校正用ガスを排気して流出ラインL1内の圧力を調整する調圧ラインL3と、流体制御機器MFCを校正する情報処理装置30とを具備するものである。なお、この校正システム100には、校正の対象である流体制御機器MFCは含まれていない。
本実施形態の流量算出システム200は、上述した校正システム100における容器10と、電子天秤20と、流出ラインL1の少なくとも一部と、封入ラインL2の少なくとも一部と、情報処理装置30とを具備し、電子天秤10からの出力値に基づいて、流体制御機器MFCに流れる校正用ガスの流量を算出するものである。
なお、本実施形態の流体制御機器MFCは、熱式又は差圧式の流量センサ及び流量制御バルブを有するマスフローコントローラである。
本実施形態では、この容器10は、図示しない固定台に載置された電子天秤20に載せられている。
なお、吸引ポンプPは必ずしも設ける必要はなく、流出ラインL1の他端を大気開放するように構成しても良い。
上述した構成により、合流点Xより容器10側に向かって、流出ラインL1と封入ラインL2とに共通した共通ラインL4が形成され、本実施形態では、この共通ラインL4に樹脂等の可撓性を有するフレキシブルチューブ50が設けられている。
本実施形態の調圧ラインL3は、一端が封入ラインL2における第3開閉弁V3と第4開閉弁V4との間に接続されるとともに他端が流出ラインL1における吸引ポンプPと第2開閉弁V2との間に接続されており、排気される校正用ガスの上流側(一端側)から第2圧力センサP2、第5開閉弁V5及びニードルバルブVdがこの順に直列配置されている。
この図示しない減圧機構は、少なくとも流体制御機器Mの校正時に真空チャンバ40内を所定の真空度に維持するものであり、本実施形態では、校正システム100を組み立てたあと、例えばメンテナンス時等以外は、真空チャンバ40内の空気を吸引し続けるように構成されている。
なお、本実施形態では、上述した流出ラインL1と封入ラインL2との合流点Xは、真空チャンバ40の外部に設けられている。
具体的にこの情報処理装置30は、電子天秤20から出力される重量データと図示しないタイマから出力される時刻データとに基づき、容器10から流体制御機器MFCに流れる単位時間当たりの実流量を算出し、この実流量と流体制御機器MFCに入力される設定流量との検量線を作成することにより、流体制御機器MFCを校正する。
なお、本実施形態では、流出ラインL1内の圧力を650kPaにするように設定されている。
より詳細には、第1調圧器Va弁及び第2調圧器Vbにより、流出ラインL1内を所定の圧力に維持しながら、校正用ガスを流体制御機器MFCに流す。
これにより、電子天秤20及び図示しないタイマの出力値に基づき、容器10から流体制御機器MFCに流れる校正用ガスの単位時間当たりの実流量を正確に求めることができ、この実流量と流体制御機器MFCの設定流量との検量線を精度よく作成することができる。
これにより、第1調圧器Va及び第3調圧器Veを順次開くことにより、流出ラインL1内を所定の圧力にするとともに、校正用ガスを容器10から流体制御機器Mに安定的に流すことができる。
なお、この実施形態では、流出ラインL1における第1開閉弁V1より上流側に第3圧力センサP3が設けられている。
これにより、大流量で流れる校正用ガスを所定温度に調整して、流体制御機器MFCに流すことができる。
ここで、流体制御機器として差圧式のマスフローコントローラを用いた場合、流体制御機器の二次側(下流側)の圧力を一次側(上流側)の圧力よりも低く保つ必要がある。ところが、この流体制御機器を上述した流量算出システムを用いて校正しようとすると、流体制御機器に流れるガスを容器内に流入させるに従い、二次側の圧力が増大してしまい、流体を精度良く制御することができなくなってしまう。
したがって、上述したように構成された流量算出システムを流体制御機器の校正に用いる場合、流体制御機器としては差圧式のマスフローコントローラよりも熱式のマスフローコントローラの方が好ましい。なお、センサよりも下流側に流量制御バルブ等の流量制御部を有するマスフローコントローラであれば、上述したように構成された流量算出システムを用いて校正する対象として適している。
また、前記実施形態では、合流点から容器に向かって、流出ライン及び封入ラインの一部が共通化されていたが、合流点から容器に到るまでのラインを共通にしても良い。この場合は、共通ラインに開閉弁や調圧器を設けておくことが好ましい。
より好ましくは、流出ライン及び封入ラインが、容器との接続部(より具体的には、容器に接続される接続端部から所定範囲)において共通化されている構成が良い。
これならば、フレキシブルチューブが樹脂製のものに比べて変形しにくいので、真空チャンバ内を減圧する際にフレキシブルチューブが潰れにくく、該フレキシブルチューブの径寸法が変化しないので、流体制御機器にガスをより安定的に流すことができる。
ただし、金属製のフレキシブルチューブは、樹脂製のものに比べて曲率が大きくなってしまい、その分だけ真空チャンバを大きくする必要が生じる。このことから、真空チャンバ内を効率よく真空引きするためには、金属製のフレキシブルチューブよりも樹脂製のフレキシブルチューブの方が有利である。
200・・・流量算出システム
10 ・・・容器
20 ・・・電子天秤
30 ・・・情報処理装置
40 ・・・真空チャンバ
50 ・・・フレキシブルチューブ
MFC・・・流体制御機器
L1 ・・・流出ライン
L2 ・・・封入ライン
Claims (5)
- ガスが封入される容器と、
前記容器が載せられた重量測定部と、
前記容器と流体制御機器とを接続して、前記ガスが流れるガスラインと、
前記重量測定部に載せられた前記容器に前記ガスを封入する封入ラインとを具備し、
前記容器を前記重量測定部に載せた状態で、前記容器から前記流体制御機器に、又は、前記流体制御機器から前記容器に前記ガスを流し、前記重量測定部から出力される出力値に基づいて、前記流体制御機器に流れるガス流量を算出する流量算出システムであり、
前記容器及び前記重量測定部が、減圧された減圧チャンバ内に配置されていることを特徴とする流量算出システム。 - 前記ガスラインの一部が、前記減圧チャンバ内に位置するフレキシブルチューブにより形成されていることを特徴とする請求項1記載の流量算出システム。
- 前記封入ラインが、前記ガスラインに設けられた合流点で合流しており、
前記ガスラインにおける前記合流点よりも前記容器側の一部が前記フレキシブルチューブにより形成されていることを特徴とする請求項2記載の流量算出システム。 - 前記ガスライン及び前記封入ラインの少なくとも一部が、前記減圧チャンバ内において共通化されていることを特徴とする請求項1乃至3のうち何れか一項に記載の流量算出システム。
- ガスが封入される容器を重量測定部に載せた状態で当該容器に前記ガスを封入し、前記容器から流体制御機器に前記ガスを流し、前記重量測定部から出力される出力値に基づいて、前記流体制御機器に流れる前記ガスの流量を算出する流量算出方法であり、
前記容器及び前記重量測定部が、減圧された減圧チャンバ内に配置されていることを特徴とする流量算出方法。
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020139864A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 株式会社堀場エステック | 流量算出システム、流量算出システム用プログラム、流量算出方法、及び、流量算出装置 |
AT523063B1 (de) * | 2019-11-06 | 2021-05-15 | Avl List Gmbh | Messverfahren und Messvorrichtung zur Ermittlung eines Durchflusses eines Prozessgases |
JP7488524B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2024-05-22 | 株式会社フジキン | 流量測定器 |
CN111337090A (zh) * | 2020-03-28 | 2020-06-26 | 东风商用车有限公司 | 发动机冷却水管流量的测量方法及测量系统 |
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Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4823592A (en) * | 1988-02-05 | 1989-04-25 | Micro Motion, Inc. | Test apparatus for proving the performance of mass flow meters |
US5335552A (en) * | 1993-07-07 | 1994-08-09 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Device for accurately measuring mass flow of gases |
US6644344B2 (en) * | 2001-05-11 | 2003-11-11 | Ashland, Inc. | Method and apparatus for metering a flow rate of a fluid |
JP3604354B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2004-12-22 | Smc株式会社 | 質量流量測定方法および質量流量制御装置 |
JP2005134138A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 精密流量測定方法及び測定装置 |
JP4729655B2 (ja) * | 2004-10-19 | 2011-07-20 | 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 | 真空質量測定装置 |
JP4911487B2 (ja) * | 2005-07-12 | 2012-04-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 混合気体の精密流量及び発熱量測定方法及び装置 |
JP4591487B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2010-12-01 | トヨタ自動車株式会社 | ハイブリッド車両、ハイブリッド車両の告知方法およびその告知方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体 |
US7909208B2 (en) * | 2007-11-30 | 2011-03-22 | International Business Machines Corporation | Process of monitoring dispensing of process fluids in precision processing operations |
JP5054500B2 (ja) * | 2007-12-11 | 2012-10-24 | 株式会社フジキン | 圧力制御式流量基準器 |
US8340827B2 (en) * | 2008-06-20 | 2012-12-25 | Lam Research Corporation | Methods for controlling time scale of gas delivery into a processing chamber |
CN202057367U (zh) * | 2011-04-22 | 2011-11-30 | 合肥科迈捷智能传感技术有限公司 | 动态补偿式气体流量计 |
JP2014137250A (ja) * | 2013-01-16 | 2014-07-28 | A & D Co Ltd | 流量算出機能を有する電子計量装置 |
US20140216599A1 (en) * | 2013-02-07 | 2014-08-07 | Canadian Standards Association Group | Hydrogen dispenser test apparatus and method |
WO2014152755A2 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Christopher Max Horwitz | Pressure-based gas flow controller with dynamic self-calibration |
US9376345B2 (en) * | 2013-06-25 | 2016-06-28 | Carboncure Technologies Inc. | Methods for delivery of carbon dioxide to a flowable concrete mix |
CN103543758A (zh) * | 2013-10-21 | 2014-01-29 | 天津市同业科技发展有限公司 | 一种间接测量并控制液体流量的装置 |
JP6245279B2 (ja) * | 2014-01-23 | 2017-12-13 | 株式会社豊田自動織機 | 蓄電装置の製造方法、製造装置、注液装置、及び注液方法 |
CN104180861A (zh) * | 2014-09-10 | 2014-12-03 | 中国测试技术研究院流量研究所 | 利用质量法检测高压气体充装流量的标准装置及测量方法 |
JP6288027B2 (ja) * | 2015-09-28 | 2018-03-07 | 株式会社タツノ | 校正装置及び校正方法 |
JP2017180612A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 岩谷産業株式会社 | 水素ガスディスペンサーの評価装置、及び車 |
CN205640209U (zh) * | 2016-05-11 | 2016-10-12 | 杨文清 | 一种液化天然气储气装置 |
CN106124006B (zh) * | 2016-06-16 | 2019-02-19 | 日照海达尔加气设备有限公司 | 一种高精度低温流量计检测系统及其方法 |
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