WO2018147354A1 - 流量測定方法および流量測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 プロセスチャンバ
3 真空ポンプ
4 ガス供給源
10 流量制御機器
11 絞り部
12 圧力センサ
13 温度センサ
14 制御バルブ
15 駆動部
16 制御回路
20 基準容量(ビルドアップ容量)
21 第1バルブ
22 第2バルブ
23 圧力センサ
24 温度センサ
25 演算制御装置
30 流量測定装置
Claims (7)
- 流量制御装置およびその下流側の第1バルブを備えた複数のガス供給路と、
前記複数のガス供給路の下流側において前記複数のガス供給路が合流して形成された共通ガス供給路であって、圧力センサ、温度センサおよびその下流側の第2バルブを有する流量測定装置を備えた共通ガス供給路と
を有するガス供給システムにおいて行われる、流量測定方法であって、
何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記第2バルブを閉じ、前記第2バルブを閉じた後、所定時間経過後に前記何れか一つの第1バルブを閉じ、前記第1バルブを閉じた後の圧力および温度を前記圧力センサおよび前記温度センサを用いて測定する第1工程と、
前記何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記何れか一つの第1バルブおよび前記第2バルブを同時に閉じ、前記第1バルブおよび前記第2バルブを閉じた後の圧力および温度を前記圧力センサおよび前記温度センサを用いて測定する第2工程と、
前記第1工程で測定した圧力および温度と、前記第2工程で測定した圧力および温度とに基づいて流量を演算する第3工程と
を包含する、流量測定方法。 - 前記第3工程は、前記第1工程で測定した圧力P1および温度T1と、前記第2工程で測定した圧力Pcおよび温度Tcとを用いて、Q=22.4・Vs・(P1/T1-Pc/Tc)/(R・Δt)(ここで、Vsはビルドアップ容量、Rは気体定数、Δtは前記第1工程において前記第2バルブを閉じてから前記第1バルブを閉じるまでの前記所定時間)に従って流量Qを演算する工程を含む、請求項1に記載の流量測定方法。
- 流量制御装置およびその下流側の第1バルブを備えた複数のガス供給路と、
前記複数のガス供給路の下流側において前記複数のガス供給路が合流して形成された共通ガス供給路であって、圧力センサ、温度センサおよびその下流側の第2バルブを有する流量測定装置を備えた共通ガス供給路と
を有するガス供給システムにおいて行われる、流量測定方法であって、
何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記第2バルブを閉じ、前記第2バルブを閉じた後、第1の所定時間が経過後に前記何れか一つの第1バルブを閉じ、前記第1バルブを閉じた後の圧力および温度を前記圧力センサおよび前記温度センサを用いて測定する第1工程と、
前記何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記第2バルブを閉じ、前記第2バルブを閉じた後、前記第1の所定時間よりも短い第2の所定時間が経過後に前記何れか一つの第1バルブを閉じ、前記第1バルブを閉じた後の圧力および温度を前記圧力センサおよび前記温度センサを用いて測定する第2工程と、
前記第1工程で測定した圧力および温度と、前記第2工程で測定した圧力および温度とに基づいて流量を演算する第3工程と
を包含する、流量測定方法。 - 前記複数のガス供給路は、第1のガス供給ラインまたは第2のガス供給ラインのいずれかに接続されており、
前記第1のガス供給ラインおよび前記第2のガス供給ラインが合流して前記共通ガス供給ラインに接続されている、請求項1から3のいずれかに記載の流量測定方法。 - 前記複数のガス供給路のうち少なくとも一つのガス供給路が、他のガス供給路とは異なる配管径を持つ、請求項1から4のいずれかに記載の流量測定方法。
- 前記流量制御装置は、コントロール弁と、絞り部と、前記絞り部の上流側の圧力を測定する圧力センサとを含む圧力式流量制御装置である、請求項1から5のいずれかに記載の流量測定方法。
- 流量制御装置およびその下流側の第1バルブを備えた複数のガス供給路と、前記複数のガス供給路の下流側において前記複数のガス供給路が合流して形成された共通ガス供給路とを備えるガス供給システムにおいて、前記共通ガス供給路に接続される流量測定装置であって、
前記共通ガス供給路に対して設けられた圧力センサおよび温度センサと、前記圧力センサおよび温度センサの下流側に設けられた第2バルブと、前記圧力センサおよび前記温度センサの出力を受け取る演算制御装置とを備え、
前記演算制御装置は、
何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記第2バルブを閉じ、前記第2バルブを閉じた後、所定時間経過後に前記何れか一つの第1バルブを閉じ、前記第1バルブを閉じた後の圧力および温度を、第1圧力および第1温度として、前記圧力センサおよび前記温度センサから受け取り、
前記何れか一つの第1バルブと前記第2バルブとを開いてガスを流し、ガスが流れている状態で前記何れか一つの第1バルブおよび前記第2バルブを同時に閉じ、前記第1バルブおよび前記第2バルブを閉じた後の圧力および温度を、第2圧力および第2温度として、前記圧力センサおよび前記温度センサから受け取り、
前記第1圧力、前記第1温度、前記第2圧力、および、前記第2温度に基づいて、流量を演算する、流量測定装置。
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121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
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WWE | Wipo information: entry into national phase |
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ENP | Entry into the national phase |
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NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
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122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 18751621 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |