KR100797632B1 - 다층 디스크 제조장치 및 다층 디스크 접합방법 - Google Patents

Abstract

디스크를 회전시키기 위한 테이블의 복잡한 구성을 제거하는 동안에 비접촉 방식으로 디스크의 회전 오프세트를 매우 정확하게 연산하고 제조비용을 삭감하는 다층 디스크 제조장치 및 방법. 디스크(220)를 다른 디스크(210)에 결합시키는 다층 디스크 제조장치(100)는 디스크(220)를 고정/배열시키는 고정수단과, 엠보스된 신호영역(221)과 고정배열된 디스크의 비신호영역 사이의 경계부(223)를 조사하는 조사수단(150), 상기 조사수단에 의해 방출된 빛의 반사를 포착하는 촬상수단(140), 디스크(210)의 신호영역을 중앙에 위치시키는 중앙핀(131)과, 고정수단과 중앙핀의 상대위치를 가변시키는 가변수단(110)으로 구성된다.

Description

다층 디스크 제조장치 및 다층 디스크 접합방법{Multilayer disk manufacturing apparatus and multilayer disk bonding method }

이 발명은, 광기록매체 등의 다층 디스크의 제조장치 및 다층 디스크의 제조방법에 관한 것이다.

복수의 디스크를 접합시킨 다층구조로 구성되는 다층 디스크는, 예를 들면, 광기록매체 등에 이용되며, 소위 DVD(디지털 버서타일 디스크, 또는, 디지털 비데오 디스크)등에 이용되고 있다.

이와 같은 접합시킨 다층 디스크를 제조하는 경우는, 각각의 디스크의 중심구멍을 합치시켜 접합시키는 것으로 되어 있다.

구체적으로는, 2매의 디스크의 각각이, 다른 파지부에 의해 파지되며, 각각의 디스크의 중심 구멍을 합치시킨 후, 접착제 등에 의해 접착된다. 이 때, 다층 디스크 제조장치에는, 양방의 디스크의 중심 구멍을 공통으로 위치 결정하는 중앙핀이 설치되어 있다. 따라서, 이 중앙핀을 상술의 2매의 디스크의 중심 구멍에 삽입하므로, 중심 구멍의 위치를 합치시키는 조정이 가능하도록 되어 있다.

그런데, 이와 같이 중앙핀에 의해 2매의 디스크의 중심 구멍의 조정을 행하면, 각 디스크의 중심 구멍과 중앙핀과의 사이에 발생하는 감합용의 극간이 반드시 발생하게 된다. 이 극간 오차는, 각 디스크에 의해, 중앙핀에 대해서 다른 방향으로 발생하기 때문에, 각 디스크를 접합시키면, 각 디스크의 회전중심의 오차로서 현재화하게 된다.

이와 같이 각 디스크의 회전중심의 오차는, 회전편심오차라고 불리운다. 이 회전편심오차가 일정의 범위 이상으로 되면, 신호검출장치가, 디스크상에 기록되어 있는 신호를 검출할 수 없으며, 다층 디스크가 불량으로 되게 된다.

그 때문에, 2매의 디스크를 접합시키는 경우에는, 이 회전편심오차가, 검출장치가 신호를 검출할 수 있도록 일정의 범위내에 수용될 필요가 있다.

그러나, 다층 디스크의 수가 증가하면 증가할수록, 상술의 회전편심오차가 누적되며, 회전편심오차를 일정의 범위로 수용하는 것이 곤란하게 된다는 문제가 있었다.

또한, 다층 디스크중 한 개의 디스크가 다름 디스크 보다 두께가 얇은 시트 형상의 디스크로 형성되어 있는 [DVR]등의 경우는, 이 얇은 시트 형상의 디스크의 중심 구멍에 감합하도록 상술의 중앙핀을 삽입하면, 시트 형상의 디스크가 손상을 입는 등의 문제도 있었다.

게다가, 종래는, 디스크를 실제로 회전시켜, 그 최대 진동량으로부터 회전편심오차량을 산출하였다. 따라서, 회전수단, 회전안내기구가 필요하며, 장치의 구성을 복잡하게 하며, 결과로서, 장치의 크기와 비용을 증대시킨다는 문제가 있었다.

그리고, 상술한 바와 같은 디스크를 실제로 회전시키면, 태그 시간의 증대를 초래하며, 더 나아가서는, 다층 디스크의 제조비용의 증대의 원인이 된다는 문제도 있었다.

본 발명은, 이와 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 비접촉에 의해 정밀도가 좋고, 한 개의 디스크의 회전편심오차를 산출하는 것이 가능함과 동시에, 디스크를 회전시키는 등의 복잡한 구성이 불필요하며, 제조비용도 감소시키는 것이 가능한 다층 디스크의 제조장치 및 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 청구의 범위 제 1항에 있어서는, 한 개의 디스크와 다른 디스크를 접합시킨 다층 디스크의 제조장치에 있어서, 한 개의 디스크를 고정배치하기 위한 고정수단과, 이 고정배치된 한 개의 디스크의 엠보스(emboss)형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 빛을 조사하는 광조사수단과, 상기 광조사수단에 의해 조사한 빛의 반사광을 촬상하는 촬상수단과, 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 위치결정하는 중심위치 결정부와, 이 중심위치 결정부와의 상대위치를 가변시키는 가변수단을 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구의 범위 제 1항의 구성에 의하면, 한 개의 디스크를 고정배치하기 위한 고정수단과, 이 고정배치된 한 개의 디스크의 엠보스(emboss)형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 빛을 조사하는 광조사수단과, 상기 광조사수단에 의해 조사한 빛의 반사광을 촬상하는 촬상수단을 가지므로, 한 개의 디스크는, 상기 고정수단에 의해 고정된 상태에서, 그 엠보스 형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 상기 빛을 조사시킨다. 조사된 빛은, 엠보스 형태의 신호영역에 의해 회절현상에 의한 반사, 또는, 투과에 의해 조사되는 빛의 축상에 있어서 광량이 감소한다.

이 감소한 상기 반사광의 광량과 감소하지 않은 반사광을 촬상수단에 의해 촬상하고, 상기 한 개의 디스크의 신호영역의 중심위치를 산정하는 것이 가능하다.

그리고, 이 산정된 한 개의 디스크의 신호영역의 중심위치에 기초하여, 상기 가변수단을 가변시킨다. 그리고 이 한 개의 디스크의 신호영역의 중심위치와 상기 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 위치결정하는 중심위치 결정부를 합치시킴으로써, 비접촉에 의해 정밀도가 우수하고, 한 개의 디스크의 회전편심오차량을 산출하는 것이 가능하며, 다층 디스크의 회전편심오차량을 정밀도 좋게 일정의 범위에 수용하는 것이 가능하다.

또한, 청구의 범위 제 2항의 발명과 같이, 청구의 범위 제 1항의 구성에 있어서, 상기 고정수단이 상기 한 개의 디스크를 흡인 고정하는 흡인부가 되며, 상기 중심위치 결정부가 중앙핀이 되며, 상기 가변수단이 상기 한 개의 디스크와 평행한 동일 평면내에 2축 스테이지가 되는 것이 바람직하다.

청구의 범위 제 2항의 구성에 의하면, 상기 고정수단이 상기 한 개의 디스크를 흡인 고정하는 흡인부가 되며, 상기 한 개의 디스크를 흡인부에 의해 용이하게, 그리고, 확실하게 고정하는 것이 가능하다. 또한, 상기 중심위치 결정부가 중앙핀이 되므로, 중앙핀에 의해 용이하게, 그리고, 확실하게, 상기의 디스크의 중심위 치를 위치 결정하는 것이 가능하다. 게다가, 상기 가변수단이 상기 한 개의 디스크와 평행한 동일 평면내에 2축 스테이지가 되므로, 이 스테이지를 2축 방향으로 이동시키고, 용이하게, 그리고, 정도가 우수하게 스테이지를 이동시키는 것이 가능하다.

또한, 청구의 범위 제 3항의 발명과 같이, 청구의 범위 제 2항의 구성에 있어서, 상기 중앙핀에는, 기부로 향하는 넓은 직경이 되도록 테이퍼부가 형성되어지는 것이 바람직하다.

청구의 범위 제 3항의 구성에 의하면, 상기 중앙핀에는, 기부로 향하는 넓은 직영이 되도록 테이퍼부가 형성되어 있으므로, 이 테이퍼부에 의해, 다른 디스크의, 예를 들면, 중심 구멍과, 상기 중앙핀과의 감합극간이 발생하지 않도록 배치하는 것이 가능하며, 다른 디스크의 회전편심오차를 작게 하는 것이 가능하다.

게다가, 바람직스러운 것은, 청구의 범위 제 4항의 구성과 같이, 청구의 범위 제 2항의 구성에 있어서, 상기 중앙핀이 직경이 다른 복수의 중앙핀으로 구성되는 것으로 한다.

청구의 범위 제 4항의 구성에 의하면, 상기 중앙핀이 직경이 다른 복수의 중앙핀으로 구성되어 있으므로, 다른 디스크의 예를 들면 중심 구멍등의 내경이 다른 복수 종류의 다른 디스크에 대해서도 대응 가능하다.

또한, 바람직한 것은, 청구의 범위 제 5항의 구성과 같이, 청구의 범위 제 1항의 구성에 있어서, 상기 광조사수단을 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로부터 빛을 조사하는 구성으로 하며, 상기 촬상수단을 상기 한 개의 디 스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로 반사하는 반사광을 촬상하는 구성으로 하는 것으로 한다.

청구의 범위 제 5항의 구성에 의하면, 상기 광조사수단이 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로부터 빛을 조사하는 구성으로 되어 있고, 상기 촬상수단을 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로 반사하는 반사광을 촬상하는 구성으로 되어 있으므로, 예를 들면, 상기 한 개의 디스크의 엠보스 형태의 신호가 트랙 피치가 좁고 고밀도가 되기도 하며, 상기 한 개의 디스크가, 예를 들면, 반투명막에 의해 저반사막이 되더라도, 신호영역에서의 회절현상에 의한 반사광량의 상위를 정확하게 촬상하는 것이 가능하다.

그리고, 청구의 범위 제 6항의 발명에 의하면, 청구의 범위 제 1항의 구성에 있어서, 상기 한 개의 디스크가 시트 형상 디스크로 되며, 상기 다른 디스크가 기판형태 디스크로 되며, 이 시트 형상 디스크가 상기 기판형태 디스크 보다 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구의 범위 제 6항의 구성에 의하면, 상기 한 개의 디스크가 시트 형상 디스크로 되며, 상기 다른 디스크가 기판형태 디스크로 되며, 이 시트 형상 디스크가 상기 기판형태 디스크 보다 얇게 형성되어 있으므로, 손상이 쉬운 상기 시트 형상디스크의 중앙 일치시키는 것을 상기 시트 형상 디스크 중심구멍과 중앙핀에 의하지 않고 행하므로, 종래와 다른 선점 시트 형상 디스크 자체에 손상 등을 제공할 염려가 전혀 없다.

그리고, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 청구의 범위 제 7항에 있어서는, 한 개의 디스크와 다른 디스크를 접합시킨 다층 디스크의 제조방법에 있어서, 고정수단에 의해 한 개의 디스크를 고정배치하는 고정배치공정과, 이 고정배치된 한 개의 디스크의 엠보스형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 빛을 조사하는 광조사공정과, 상기 광조사수단에 의해 조사한 빛의 반사광을 촬상하는 촬상공정과, 상기 촬상공정에서 얻어진 신호영역에 관한 정보에 의해 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심을 구하는 영역중심 판정공정과, 상기 영역중심 판정공정에서 구해진 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심과, 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 위치결정하는 중심위치 결정부를 합치시키기 위해, 이 중심위치 결정부와 상기 고정수단과의 상대위치를 가변시키는 가변수단을 이동시키는 가변수단 이동공정과, 한 개의 디스크와 다른 디스크를 접합시키는 접합공정을 가지는 것을 특징으로 한다.

청구의 범위 제 7항의 구성에 의하면, 고정수단에 의해 한 개의 디스크를 고정배치하는 고정배치공정과, 이 고정배치된 한 개의 디스크의 엠보스형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 빛을 조사하는 광조사공정과, 상기 광조사수단에 의해 조사한 빛의 반사광을 촬상하는 촬상공정과, 상기 촬상공정에서 얻어진 신호영역에 관한 정보에 의해 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심을 구하는 영역중심 판정공정을 가지므로, 상기 한 개의 디스크는, 상기 고정수단에 의해 고정된 상태에서 배치되며, 그 엠보스 형태의 신호영역이 상기 빛이 조사된다. 이 조사된 빛은, 엠보스 형태의 신호영역에 의해 회절현상에 의한 반사, 또는, 투과에 의해, 조사된 빛의 축상에 있어서 광량이 감소한다.

또한, 이 감소한 상기 반사광의 광량과 감소하지 않은 반사광을 촬상수단에 의해 촬상하는 상기 촬상공정과 상기 영역중심 판정공정에서, 상기 한 개의 디스크의 신호영역의 중심위치를 산정하는 것이 가능하다.

그리고, 이 영역중심 판정공정에서 구해진 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심과, 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 위치결정하는 중심위치 결정부를 합치시키기 위해, 이 중심위치 결정부와의 상기 고정수단과의 상대위치를 가변시키는 가변수단을 이동시키는 가변수단 이동공정에서, 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심과 상기 다른 디스크의 상기 중심위치 결정부가 일치되며, 회전편심오차량의 보정이 행해진다.

그리고, 상기 한 개의 디스크와 상기 다른 디스크와를 접합시키는 접합공정에서, 접합되어진다.

이에 의해, 비접촉에 의해 정밀도가 우수하고, 한 개의 디스크의 회전편심오차량을 산출하는 것이 가능하며, 다층 디스크의 회전편심오차량을 정밀도 좋게 일정의 범위에 수용하는 것이 가능하다.

그리고, 청구의 범위 제 8항의 구성은, 청구의 범위 제 7항의 구성에 있어서, 상기 촬상수단이 복수의 카메라로 구성되며, 상기 영역중심공정에서는, 이 복수의 카메라에 의해 촬상한 정보에 기초하여, 상기 한 개의 디스크의 회전편심오차량을 산정하는 것을 특징으로 한다.

청구의 범위 제 8항의 구성에 의하면, 상기 촬상수단이 복수의 카메라로 구성되며, 상기 영역중심공정에서는, 이 복수의 카메라에 의해 촬상한 정보에 기초하 여, 상기 한 개의 디스크의 회전편심오차량을 산정하므로, 보다 정밀도가 우수하고 회전편심오차량을 산출가능하다. 따라서, 보다 정밀도가 우수한 다층 디스크의 회전편심오차량을 보정하는 것이 가능하다.

청구의 범위 제 9항의 구성은, 상기 광조사수단이 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로부터 빛을 조사하는 구성으로 되어 있으며, 상기 촬상수단이 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로 반사하는 반사광을 촬상하는 구성으로 되어 있다.

청구의 범위 제 10항의 구성은, 청구의 범위 제 7항의 구성에 있어서, 상기 한 개의 디스크가 시트 형상 디스크이며, 상기 다른 디스크가 기판형태 디스크이며, 이 시트 형상 디스크가 상기 기판형태 디스크 보다 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

도 1은, 본 발명의 실시의 형태에 관한 DVR 디스크 제조장치를 도시한 개략 사시도이다.

도 2a는, 도 1의 DVR 디스크 제조장치에 의해 제조되는 DVR디스크의 개략단면도이다.

도 2b는, 도 2a에 도시한 신호면을 도시한 개략부분 확대도이다.

도 3은, 도 1의 조정 스테이지등을 도시한 개략단면도이다.

도 4는, 도 3의 중앙핀등의 구성을 도시한 개략단면도이다.

도 5는, 도 3에 도시한 조정 스테이지와 가동 스테이션등의 상태를 도시한 개략사시도이다.

도 6a는, 시트 형상 디스크, 기판 및 기판기준핀을 도시한 개략사시도이다.

도 6b는, 도 6a에 도시한 기판기준핀의 구성을 도시한 개략단면도이다.

도 7은, 할로겐 램프의 빛의 광로를 도시한 개략설명도이다.

도 8은, 중앙핀에 대한 CCD카메라의 위치조정을 행하는 공정을 도시한 흐름도이다.

도 9는, 기준기판과 CCD카메라등의 배치를 도시한 개략평면도이다.

도 10a는, CCD카메라에 의해 경계부를 촬상한 촬상결과를 화면 모니터에 있어서 도시한 도면이다.

도 10b는, 빛의 반사와 반사광의 상태와를 도시한 개략설명도이다.

도 11은, 시트 형상 디스크의 위치조정 조절을 도시한 흐름도이다.

도 12는, 시트 형상 디스크가 시트 척상에 배치된 상태의 설명도이다.

도 13은, CCD카메라와 시트형상 디스크와의 관계를 도시한 개략도이다.

도 14는, 기판과 시트 형상 디스크의 접합공정을 도시한 흐름도이다.

이하, 이 발명의 호적한 실시의 형태를 첨부도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

한편, 이하에 기술한 실시의 형태는, 본 발명의 적합한 구체예가 되므로, 기술적으로 바람직하며 종류가 한정되어 되어 있지만, 본 발명의 기술적 범위는, 이하의 설명에 있어서 특히 본 발명을 한정하는 취지의 기재가 없는 한, 이러한 양태에 한정되어 있는 것은 아니다.

도 1은 본 발명에 관한 다층 디스크 제조장치의 실시의 형태에 관한 DVR디스크 제조장치(100)를 도시한 도면이다.

이 DVR 디스크 제조장치(100)에 의해 제조된 DVR(디지털-비데오-레코딩 : Digital Video Recording) 디스크(200)는, 도 2a에 도시한 바와 같이 된다.

도 2a는, DVR 디스크(200)의 개략단면도이며, 도 2b는, 도 2a의 신호면을 도시한 개략부분 확대도이다. 도 2a에 도시한 바와 같이, DVR디스크(200)는, 예를 들면, 두께가 0.3mm 내지 1.2mm의 다른 디스크로 되는 기판(210)을 가지고 있다. 이 기판(210)의 상면에는, 도 2b에 도시한 바와 같이, 신호기록을 가지고 있지 않는 엠보스(211)가 형성되어 있다.

그리고, 이 엠보스(211)의 상면에는, 도 2b에 도시한 바와같이, 반사막(L0)이 형성되어 있다.

한편, 예를 들면, 두께가 44μm 내지 114μm의 한 디스크로 된 시트 형상 디스크(220)는, 그 하면에 도 2b에 도시한 바와 같이, 신호기록을 가지지 않는 엠보스(211)가 형성되며, 이 엠보스(211)의 하면에는, 반투과막(L1)이 배치되어 있다.

그리고, 이러한 기판(210)과 시트 형상 디스크(220)는, 접착층을 통해 도 2b에 도시한 바와 같이, 접착되어 있다.

그런데, 이 기판(210)의 중심에는, 도 2a에 도시한 바와 같이, 원형의 중신구멍(212)이 형성되어 있고, 시트 형상 디스크(220)에도 원형의 중신구멍(212)이 형성되어 있다.

그러나, 시트 형상 디스크(220)의 중심구멍(220)은, 기판(210)의 중심구멍(212) 보다 직경이 크게 형성되어 있다.

이것은, 후술하는 바와같이, 기판(210)의 중신구멍(212)은, 중앙핀과 근소한 극간으로 감합되며, 위치결정 되어지도록 되어 있기 때문이다. 이에 대해서, 시트 형상 디스크(220)의 중앙구멍(222)은, 중앙핀에 접촉하며, 시트 형상 디스크(220) 자체가 손상등을 입는 것을 방지하기 위해서, 중앙핀의 직경보다 크게 형성되어 있기 때문이다.

이와 같이 형성되어 있는 DVR 디스크(200)는, 상술한 바와 같이 기판(210)과 시트 형상 디스크(220)를 접착층에 의해 접착하기 위해서, 이 접착을 위한 기계가 필요하게 된다.

이 접착의 기계가, 도 1에 도시한 DVR디스크 제조장치(100)이다. 이하, 이 DVR 디스크 제조장치(100)에 대해서 설명한다.

우선, DVR 디스크 제조장치(100)는, 도 1에 도시한 바와같이, 가변수단이 되는 조정부(110)를 가지고 있다. 이 조정부(110)의 도 에 있어서 상면의 원형의 부분은, 도 2b의 DVR 디스크(200)의 시트 형상 디스크(220)를 재치한 시트척(111)이 형성되어 있다.

이 시트척(111)상에 배치된 시트 형상 디스크(220)는, 흡인부가 되는 진공인용의 구멍에 의해 시트척(111)면에 확실하게 고정 배치된다.

또한, 조정부(110)아래에는, 이 조정부(110)를 장치내에서 이동시키기 위한 가동 스테이션(120)이 배치되어 있다.

이와 같은 시트척(111), 조정부(110) 및 가동 스테이션(120)등의 구성을 도시한 것이 도 3이다. 도 3은, 이러한 개략단면도이다. 또한, 도 5는, 도 3에 도시한 조정부(110)와 가동 스테이션(120)등의 상태를 도시한 개략사시도이다.

도 3에 도시한 바와 같이, 조정부(110)는, 도 1에 있어서 좌우방향이 되는 X축 방향으로 이동가능하게 되어 있는 X축 테이블(112)을 가지고 있다. 또한, 도 3에 있어서, X축 테이블(112)의 아래에는, 도 1에 있어서의 전후방향이 되는 Y축 방향으로 이동가능하게 되어 있는 Y축 테이블(113)을 가지고 있다.

그리고, X축 테이블(112)과 Y축 테이블(113)과의 거의 중앙에는, 관통광(114)이 형성되어 있다. 이 관통공(114)내에는, 그 기부가 가동 스테이션(120)에 대해서 고정되어 있는 원주상의 중앙 포스트(130)가 배치되어 있다. 이 중앙포스트(130)의 상에는, 중앙포스트보다 직경이 작은 중앙핀(131)이 배치되어 있다.

이와 같이 관통공(114)내에 배치되어 있는 중앙핀(131)은, 가동 스테이션(120)에 의해 고정되어 있지만, 그 주위의 X축 스테이지(112) 및 Y축 스테이지(113)는, X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동 가능한 구성으로 되어 있다.

또한, 이 X축 스테이지(112)의 상에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 시트척(111)이 배치되어 있다. 따라서, 시트척(111)의 상면에 배치된 상술의 시트형상 디스크(220)의 중심구멍(222)에 중앙핀(131)을 삽입한 경우, 이 중앙핀(131)의 위치가 중심구멍(222)의 중심이 아닐 때는, 상기 X축 스테이지(112) 및 Y축 스테이지(113)를 이동시켜, 시트형상 디스크(220)의 중앙핀(131)에 대한 상 대위치를 변화시켜 중심구멍(222)의 중심에 중앙핀(131)을 배치시키는 것이 가능하다.

이와 같은 중앙핀(131)과 시트척(111)등과의 관계를 도시한 것이 도 4이다. 도 4는, 중앙핀(131), 시트척(111), 시트형상 디스크(220) 및 기판(21)의 관계를 도시한 개략단면도이다.

도 4에 도시한 시트형상 디스크(220)와 기판(210)은, 접착층을 통해 접착되기 전의 상태를 도시하고 있기 때문에, 양자는 분리되어 도시되어 있다.

이와 같이 시트형상 디스크(220)와 기판(210)과를 분리하여 배치하기 때문에, 도 6a에 도시한 바와 같은, 기판지지핀(400)이 설치되어 있다.

즉, 도 6a에 도시한 바와 같이, 복수의 기판지지핀(400)은, 시트형상 디스크(220)와 기판(210)이 압착전(접착전)에, 상호 접촉되지 않도록 기판(210)의 외주단부를 지지하고, 양자의 사이에 극간을 발생하도록 배치되어 있다.

이와 같은 기판지지핀(400)의 상세한 구성을 도시한 것이 도 6b이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 기판지지핀(400)은, 외주가동구조로 되어 있다. 즉, 기판지지핀(400) 내부에는, 스프링부가 배치되어 있기 때문에, 기판(210)을 시트형상 디스크(220)와 접합시키는 경우에, 기판(210)의 중심부로부터 외부로 향하는 순서대로 접촉하도록 되어 있다.

또한, 이 스프링은, 후술하는 Si 고무패드(115)에 의해 압착되어 있는 경우, 스프링이 도 6a의 하방으로 들어가므로, 기판(210)과 시트형상 디스크(220)가 접합되도록 되어 있다.

그런데, 도 4에 도시한 바와같이, 중앙핀(131)의 직경은 기판(210)의 중심구멍(212)과 거의 동일하게 형성되어 있기 때문에, 기판(210)에 대하여 중앙핀(131)이 감합 가능하도록 되어 있다.

또한, 중앙핀(131)의 상부에는, 중앙핀(131)의 직경보다 축경된 테이퍼부(131a)가 설치되어 있다.

이 테이퍼부(131a)에는, 상부로 향하여 축경되어 있기 때문에, 이 중앙핀(131)에 기판(210)의 중심 구멍(212)을 감합시키는 경우에, 이 중심구멍(212)의 안내부로 된다. 따라서, 기판(210)의 중심구멍(212)에 중앙핀(131)이 감합하기 쉬운 구성으로 되어 있다.

그런데, 이 중앙핀(131)은 복수개 준비되며, 기판(21)의 직경에 의해 적의, 선택된다. 예를 들면, 10μm 단위로 복수개의 중앙핀(131)을 준비해 둔다.

이와 같이 구성된 조정부(110)의 상방에는, 도 1에 도시한 바와 같이 촬상장치가 되는 CCD카메라(140)가, 예를 들면, 4개 배치되어 있다. 이 CCD카메라(140)는, 예를 들면, 시트척(111)상에 배치된 시트 형상 디스크(220)의 대각선상에 배치되어 있다.

이 CCD카메라(140)의 아래에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 마크로렌즈(141)가 설치됨과 동시에, 광조사수단이 되는 할로겐 램프(150)의 빛을 시트척(111)상으로 수직으로 유도하도록 되어 있다.

이 상태를 도시한 것이 도 7이다. 도 7에 도시한 바와같이, 할로겐 램프(150)의 빛은, 도면에 있어서 화살표(A)로 도시한 바와같이, 마크로렌즈(141) 를 통해 시트형상 디스크(220)에 대하여 수직방향으로 조사된다.

그리고, 시트형상 디스크(220)의 표면에서 반사된 빛은, 반사광이 되며, 회살표(B)에 의해 도시한 바와같이, CCD카메라(140)내에 유도되어 촬상된다.

이와같은 CCD카메라(140)등이 도 1에 도시한 바와같이 4개 배치되어 있다. 이와같이, CCD카메라(140)에 의해 촬상된 화상은, 도 1의 화상모니터(160)에 표시된다. 한편, 이 화상모니터(160)의 근방에는, 타치패널식 조작/표시반(170)과, 상술의 시트척(111)에 설치되어 있는 진공흡인공의 진공흡인의 상태를 나타내는 자크 진공도표시(180)가 설치되어 있다.

게다가, 주전원 투입표시 램프(190)와, 비상정지버튼(191)도 배치되어 있다.

그런데, 이 DVR 디스크 제조장치(100)에서는, 가동 스테이션(120)이 도 1의 X축 방향으로 이동가능하게 배치되어 있다. 즉, 이 가동 스테이션(120)이, 도 1에 있어서 좌측에 배치되어 있을 때는, 시트척(111)상의 시트형상 디스크(220)의 위치를 조정하는 조정 스테이션(121a)이다.

또한, 중앙부는, 시트척(111)상에 시트형상 디스크(220)와 기판(210)을 배치하기도 하며 배출하기도 하는 투입/배출 스테이션(12b)이다. 게다가, 우측은, 시트척(111)의 시트형상 디스크(220)에 기판(210)을 접착층을 통해 접착하는 압착 스테이션(121c)이다.

따라서, 이 압착 스테이션(121c) 상방에는, 도 1에 도시한 바와같이, Si 고무패드(115)나, 수직압착축(116)이 설치되며, 상기 시트형상 디스크(220)와 기판(210)을 압착하여, 일매의 DVR디스크(200)를 제조하도록 되어 있다.

본 실시의 형태에 관한 DVR제조장치(100)는, 이상과 같이 구성되지만, 이하, 그 동작등을 설명한다.

우선, 중앙핀(131)에 대한 CCD카메라(140)의 위치조정을 행한다. 즉, 우선, 도 1에 도시한 투입/배출 스테이션(121b)에 있어서, 가동 스테이션(120)을 이동시킨다.

그리고, 도 8의 ST1에 도시한 바와같이, CCD카메라(140)의 위치조정용 기준판(310)에 갑합가능하도록 중앙핀(131)을 선택한다.

구체적으로는, 중앙핀(131)의 직경과 기준기판(310)의 중심구멍의 직경과의 차, 즉, 극간오차량이, 10μm 이내로 되도록 중앙핀의 직경을 선택한다.

예를 들면 φ15로 한다. 또한, 이 기준기판(310)에는, 표면에 엠보스 형태로 신호영역이 형성되어 있다.

다음에, 기준기판(310)을 도 3에 도시한 시트척(111)상에 배치한다. 그리고, 가동 스테이션(120)을 도 1의 조정 스테이션(120a)까지 이동시킨다.

이 상태에서, 도 7에 도시한 할로겐 램프(150)의 빛을, 기준기판(310)의 표면에 조사하고, CCD카메라(140)에 의해, 그 반사광을 촬상한다. 이 상태를 도시한 것이 도 9이다. 도 9에 도시한 바와같이, 기준기판(310)의 엠보스가 형성되어 있는 신호영역(311A)과, 그 외주부의 비신호영역(311B)과의 경계부에 빛을 조사하고, CCD카메라(114)에 의해 관찰영역(140a)을 촬상한다.

이 때, CCD카메라(114)와 마크로렌즈(141)는, 도 9에 도시한 바와같이, 관찰영역(140a)이 90°등분으로 배치되도록 설치한다.

이와같이 하여, 기준기판(310)에 조사되어 반사한 반사광은, 4개의 CCD카메라(140)에 의해 촬상된다. 그 촬상결과를 화상 모니터(160)에 의해 표시한 것이 도 10a이다. 도 10a에 도시한 바와같이, 화상 모니터(160)에는, 좌반부가 색이 얇게(밝게), 우반부가 색이 짙게(어둡게) 촬상되어 있다.

이것은, 도 10b에 도시한 바와같이, 할로겐 램프(150)로부터 조사된 엠보스 형태의 신호영역(311a)에서는, 1차 또는 2차로 회절하므로, 반사광의 빛이 감소하고, 도 10a의 우반부와 같이 색이 짙게(어둡게) 된다.

이에 대하여, 엠보스 형태의 신호가 형성되어 있지 않은 비신호영역(311b)에서는, 할로겐 램프(150)로부터 조사된 빛이 신호영역(311a)과 같이 회절하지 않으므로, 그대로 반사광으로 되어, 광량이 감소하지 않는 상태에서 CCD카메라(140)에 의해 촬상되어지게 된다. 따라서, 도 10a의 좌반부와 같이 색이 얇게(밝게)된다.

이와 같이, 색의 농도(밝기)가 상위하므로, 신호영역(311a)과 비신호영역(311b)과의 경계부(312)가 명확하게 되며, 화상 모니터(160)상에서도 경계부(312)를 명확하게 파악하는 것이 가능하다.

그리고, 이 경계부(312)는, 도 9에 도시한 바와같이, 4개의 관찰영역(140a)에서 촬상되며, 위치정보로서 기억부에 기억된다.

그 후, 예를 들면, 기준기판(310)을 30°회전시키고, 다시 4개의 관찰영역(140a)에서 경계부(312)를 촬상하고, 위치정보로서 다시 기억부에 기억한다.

이것을 복수회 행하므로, 기준기판(310) 자체의 편심정보를 얻는 것이 가능하므로, 이 편심정보에 기초하여, 4개의 CCD카메라(140)의 위치를 중앙핀(131)으로부터 등거리로 되도록 배치한다. 이 공정을 도시한 것이 도 8의 ST2이다. 이와 같이 등거리로 된 상태가, CCD카메라의 기준위치로 된다.

그리고, 이 CCD카메라(140)의 기준위치의 데이터는, 도 8의 ST3에 도시한 바와 같이, 데이터로서 기억된다. 구체적으로는, 화상 모니터(160)의 내부의 메모리 데이터의 고쳐 쓰기 및 데이터 처리측의 PLC(Programmable Logic Controller) 변수의 설정을 행하도록 된다.

이상이, 중앙핀(131)에 대한 CCD카메라(140)의 위치조정의 공정이지만, 이 공정은, 동일기판(210)에 관한 제조공정에서는, 최초만 행하며, 기판의 종류가 변화되지 않는 한, 재조정은 불필요하다.

CCD카메라(140)의 기준위치의 데이터를 취입한 후, 이 기준기판(310)은, 도 1의 투입/배출 스테이션(121b)으로부터 배출된다.

그 후, 실제로 접착하는 시트형상 디스크(220)를 시트척(111)상에 재치한다.

즉, 도 11의 ST4에 도시한 바와같이, 시트형상 디스크(220)는, 도 3의 시트척(111)상에 배치된다. 구체적으로는, 도 12에 도시한 바와같이, 시트형상 디스크(220)의 신호기록을 이루는 엠보스(221)가 형성되어 있는 면을 상부로 하여 배치된다.

이 때, 시트형상 디스크(220)의 중심구멍(212)은, 중앙핀(131)의 직경보다 충분히 크게 형성되어 있기 때문에, 이 중앙핀(131)에 접촉하여 시트형상 디스크(220) 자체가 손상 등을 입게 되는 것이 없다.

또한, 시트형상 디스크(220)를 시트척(111)상에 재치함과 동시에, 도시하지 않은 진공장치를 이동시키고, 시트척(111)에 설치되어 있는 진공흡인공의 진공흡인을 개시한다. 그러면, 시트형상 디스크(220)는, 시트척(111)상에 정밀도 양호하게 고정되어지게 된다.

이 때, 상술한 바와 같이 매우 얇은 시트형상의 시트형상 디스크(220)는, 기계적으로 척킹되어 있지 않으므로, 시트형상 디스크(220) 자체의 손상등이 발생하는 것이 없다. 또한, 진공흡인의 상태는, 도 1의 자크 진공도표시(180)에 표시되므로, 항상 최적의 진공도를 유지하는 것이 가능하다.

시트형상 디스크(220)를 재치한 조정부(110)는, 조정 스테이션(121a)에 의해, CDD카메라(140)의 하방으로 배치된다.

이 때의 CCD카메라(140)와 시트형상 디스크(220)와의 관계를 도시한 것이, 도 13이다.

도 13에 있어서, CCD카메라(140)는, 관찰영역(140a)이 90°등분으로 되도록 4개 배치된다. 즉, Y축 방향으로 Y1 및 Y2의 CCD카메라(140)가 배치되며, X축방향으로 X1 및 X2의 CCD카메라(140)가 배치된다.

도면에 있어서, 실선은 상술의 기준기판(310)으로부터 얻어진 데이터로서 보존된 기준위치를 도시하고 있다. 즉, 기준기판(310)에 있어서 경계부(312)등을 도시하고 있다.

이에 대하여 일점쇄선은, 시트형상 디스크(220)의 엠보스 형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부(223)를 도시한 것이다.

그런데, 시트형상 디스크(220)에 대해서도, 상술의 기준기판(310)과 마찬가지로, 도 7에 도시한 바와같이, 시트형상 디스크(220)의 경계부(223)에 대해서, 할로겐 램프(150)로부터 수직방향에서 빛이 조사된다.

이에 대하여, 종래는, 빛을 경시지게 조사하고 있었기 때문에, 도 10b에 도시한 비신호영역의 반사광량과 신호영역의 반사광량의 차가 CCD카메라에서는 명확한 콘트라스트로서 촬상가능하지 않았다.

그러나, 수직방향으로부터 할로겐 램프(150)의 빛을 조사하는 본실시의 형태에서는, 신호영역으로부터의 반사광이 크게 감소하기 때문에, 명확한 콘트라스트가 실현가능하다.

구체적으로는, 신호영역과 비신호영역과의 반사광량의 상위는, 입사각 = 0°의 경우, N차의 회절강도는 하기의 식에 의해 표현된다.

P n = sinθn =Nㆍλ/d ..........(1)

여기에서, N은, 회절차수, θ는 굴절각, λ는 파장, d는 격자주기이다.

본 실시의 형태에서는, 시트형상 디스크(220)의 트랙피치는, 0.2μm 내지 0.8μm와 같은 극히 미소한 트랙피치이다. 또한, 조명은 할로겐 램프(150)를 이용하고 있으므로, 상기 식(1)의 λ/d는, 약 1.0에 근접하게 된다. 따라서, 도 9의 1차의 회절각(θ1)은, 직각에 가까운 크기인 값을 취하며, 신호영역으로부터의 반사광은, 현저하게 감소한다.

이 때문에, 신호영역과 비신호영역과의 차는 매우 크게 되며, 경계부(223)가 CCD카메라(140)에 의해 명확하게 알 수 있도록 명료한 콘트라스트가 발생하게 된다.

이상과 같이 하여, 4개의 CCD카메라(140)에 의해 경계부(223)를 촬상하면, 도 13에 도시한 바와 같이, 파선의 부분에 시트형상 디스크(220)가 배치되어 있다는 것을 알 수 있다.

그리고, 이 정보를 상술의 기준기판(310)의 기준위치 데이터(실선부분)와 비교하면, 도 13에 도시한 바와 같이, 양자는 크게 편심오차를 발생하게 된다. 이 고정을 도시한 것이 도 11의 ST5이다.

이 편심오차량은, 구체적으로는 이하와 같이 산출한다.

도 13의 CCD카메라(140)(Y1)는, 도면에서 동그란 화살표로 표시한 부분의 시트형상 디스크(220)의 경계부(223)를 검출한다.

이 검출결과와 미리 기준위치로서 취입된 데이터에 있어서 Y축상의 대응경계부(312)(도 9 참조)와의 차를, 도 13에서 ΔY1으로 한다.

또한, CCD카메라(140)(Y2)도 마찬가지로, 기준기판(310)의 경계부(312)와의 차를 구하여, ΔY2로 한다.

한편, X축상에서도 마찬가지로 CCD카메라(140)(X1)에서 ΔX1을 구하고, CCD카메라(140)(X2)에서 ΔX2를 구한다.

그러면, 도 13에 있어서, ΔX로 도시한 X축방향의 오차량은,

ΔX = (ΔX1 + ΔX2)/2로 된다.

또한, 도면에 있어서, ΔY로 도시한 Y축방향의 오차량은,

ΔY = (ΔY1 + ΔY2)/2로 된다.

이 때문에, 전체의 오차량은,

(1/2)ㆍ√{ΔX = (ΔX1 + ΔX2)² + ΔY = (ΔY1 + ΔY2)²}로 된다.

이와 같이, 오차량은, 시트형상 디스크(220)의 엠보스가 형성되어 있는 신호영역의 중심(도 13중의 파선의 동그란 화살표)에 있어서 오차량을 기준기판(310)의 중심(도 13중의 실선의 동그란 화살표)과 비교함으로써 행해진다.

또한, 전술의 연산식으로부터도 알 수 있는 바와같이, 시트형상 디스크(220)의 시트재료 등의 팽창, 수축에 의한 신호부(221)의 직경변화의 영향을 받지 않고, 중심위치를 산출하는 것이 가능하다.

이와같이, 오차량을 기준위치의 정보에 기초하여 허용범위가 되는 기정치와 비교하여 편심오차량의 유무와 그 양을 특정한 것이, 도 11의 ST6이다.

여기에서, 오차량이 기정치보다 큰 경우는, 그 오차량을 도 11에 도시한 화상 모니터(160)에 표시하며, 조정부(110)의 X축 스테이지(112)와 Y축 스테이지(113)를 이동시킨다(ST7).

구체적으로는, 도 3의 X축 스테이지(112)를 상기 ΔX(도 13)분 만큼 이동시키고, Y축 스테이지(113)를 상기 ΔY(도 13)분 만큼 이동시키는 것으로 된다.

이 때, X축 스테이지(112)와 Y축 스테이지(113)다 이동하여도, 중앙핀(131)은 이동하지 않기 때문에, 중앙핀(131)에 대한 시트형상 디스크(220)의 경계부(223)를, 기준기판(310)의 경계부(312)와 마찬가지로 변경하는 것이 가능하다.

이 조정은, 용이하고, 그리고, 비접촉으로 행하므로, 시트형상 디스크(220) 자체에 손상등을 부여하지 않고 행하는 것이 가능하다. 또한, 종래와 달리, 편심오차량을 계측하기 위해서, 시트형상 디스크(220)를 회전시킬 필요가 없으므로, 기계가 대형화하지 않고, 태그 타임의 증대를 초래하는 것이 없다.

그런데, 이와같이 X축 스테이지(112)와 Y축 스테이지(113)와를 이동시켜 조장한 후, 다시, 도 11의 ST5에 도시한 바와같이, 편심오차량을 검출하고, 또한 기정치 보다 큰 경우)(ST6)에는, 다시 X축 스테이지(112)와 Y축 스테이지(113)를 이동시킨다(ST7).

이와같은 공정을 거쳐, ST6에서, 오차량이 기정치보다 작게 되므로, 이 시트형상 디스크(220)의 위치를 기판(210)과 합치시키기 위한 조정공정이 종료한다.

이상과 같이, 도 1에 도시한 조정 스테이션(121a)에서 도 11에 도시한 조정이 종료하면, 시트형상 디스크(220)를 재치한 조정부(110)는, 접착하는 기판(210)이 공급되어, 도 1에 도시한 압착 스테이션(121c)까지 이동되어진다.

이 압착 스테이션(121c)에서는, 기판(210)의 중심구멍(212)을, 도 4에 도시한 바와같이, 중앙핀(131)을 기준으로 배치한다(도 14의 ST8). 이 때, 기판(210)은, 시트형상 디스크(220)의 1mm상방으로 보존된다.

또한, 시트형상 디스크(220)의 도 4중의 상면, 또는, 기판(210)의 도 4중의 하면에는 접착용 점착제가 배치되어 있다.

그 후, 도 1에 도시한 바와같이, 중앙부가 볼록형상의 패드 인쇄용의 실리콘 고무패드(115)를 이용하여, 소정의 하중 및 정지시간에서 기판(210)과 시트형상 디 스크(202)를 접착용 점착제를 통해, 압착하여(도 14의 ST9), 접합시킨 DVR디스크(200)가 형성된다.

그 후, 소정의 공정을 거쳐, 도 2에 도시한 바와같이, DVR디스크(200)가 완성한다.

이상과 같이, 본 실시의 형태에 의하면, 기판(210)의 위치결정에만 중앙핀(131)에 의한 [극간감합]을 이용하며, 시트형상 디스크(220)에 대해서는 비접촉으로 편심오차량을 산출하고, 조정하므로, 종래에 비교하면 총합적인 편심오차량을 저감하는 것이 가능하다.

또한, 시트형상 디스크(220)의 엠보스가 형성된 신호영역의 편심오차량을 직접 산출, 수정하기 때문에, 시트형상 디스크(220)에 부하가 걸리지 않도록 하면서, 시트형상 디스크(220)의 변형 등을 방지하는 것이 가능하다.

중앙핀(131)의 크기를 복수개 준비하므로, 기판(210)의 위치결정 오차량을 작게 하는 것이 가능하며, 접합후의 DVR 디스크(200)의 총합치 편심오차량을 저감시키는 것이 가능하다.

시트형상 디스크(220)의 중심위치(도 13의 파선 동그란 화살표)의 산출을 행하는 기준을, 신호영역의 최외주부가 되는 경계부(223)로 하게 되므로, DVR디스크 제조장치(1000)의 위치결정 기구에 오차가 있더라도, DVR디스크(200) 완성시의 편심오차량의 비율을 작게 하는 것이 가능하다.

또한, 고정된 복수의 CCD카메라(140)에 의해, 기준위치와 오차연산을 순시에 행하는 것이 가능하며, 종래와 같이 시트형상 디스크(220)등을 회전시키는 방법에 비교하면 극히 단시간에, 그 편심오차량을 산출하는 것이 가능하다.

게다가, 이 편심오차량의 산출은, 그 편심오차수정을 조정부(110)에서 행하는 동시에, 새로운 값의 편심오차량을 산출하는 것이 가능하므로, 필드백 루프를 조합함으로써, 게다가 시간단축과 정도향상이 가능하게 된다.

본 실시의 형태에 관한 DVR디스크 제조장치(100)에 의해 작성된 DVR디스크(200)의 편심오차량을 알고 있다면, 이것을 보정치로서 편심오차수정 루프의 가운데로 취입함으로써, 편심오차량을 더욱 저감시키는 것이 가능하게 된다.

한편, 본 실시의 형태에서는, 시트형상 디스크(220)의 신호영역의 최외주가 되는 경계부(223)를 CCD카메라(140)로 촬상하지만, 이것에 한정되지 않고, 최내주에 존재하는 경계부를 이용하여도 좋다.

또한, 최내주가 리드 인(lead in)신호부로 되며, 최외주가 리드 아웃(lead out) 신호부로 되어도 좋다. 즉, 신호기록을 형성하는 엠보스가 설치되어 있는 부분과 설치되지 않은 부분의 경계선이라면, 본 실시의 형태에 있어서 경계부의 역할을 담당하는 것이 가능하다.

본 발명은, 상술의 각 실시의 형태와 각 변형예에 한정되어 있지 않다. 게다가, 상술의 각 실시의 형태는, 상호 조합하여 본 발명을 구성하도록 하여도 좋다.

이상 기술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 비접촉에 의해 정밀도가 우수하고, 한 개의 디스크의 회전편심 오차량을 산출하는 것이 가능함과 동시에, 디스크 를 회전시키는 등의 복잡한 구성이 불필요하고, 제조비용도 감소시키는 것이 가능한 다층 디스크의 제조방치 및 제조방법을 제공하는 것이 가능하다.

Claims (10)

1. 한 개의 디스크와 다른 디스크를 접합시킨 다층 디스크의 제조장치에 있어서,

   한 개의 디스크를 분리하여 상기 다른 디스크의 외주단부를 지지하고, 양자의 사이에 극간을 발생시키는 지지수단과,

   상기 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 기준위치에 대하여 위치결정하는 중심위치결정부와,

   상기 한개의 디스크의 엠보스(emboss)형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 빛을 조사하는 광조사수단과,

   상기 경계부에 상기 광조사수단에 의해 조사한 빛의 반사광을 촬상하는 촬상수단과,

   상기 촬상수단에 의해 얻어진 상기 경계부의 위치정보에 의거해서 상기 한 개의 디스크의 상기 기준위치에 대한 편심오차량을 구하는 산출수단과,

   상기 한개의 디스크와 상기 중심위치결정부와의 상대위치를 가변시킴으로써 상기 산출수단에 의해 구해진 상기 한개의 디스크의 편심오차량을 허용범위내로 하는 가변수단과,

   상기 한개의 디스크와 상기 다른 디스크를 중심부에서 외주로 향해서 차례로 접촉시켜서 접합시키는 압착수단을 가지는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 중심위치결정부가 중심핀이고, 상기 가변수단이 상기 한개의 디스크와 평행한 동일 평면내의 2축스테이지이고,

   상기 한 개의 디스크는 고정수단인 흡인부에 의해 상기 2축스테이지에 흡인고정되는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 중앙핀에는, 기부로 향해서 넓은 지름이 되는 테이퍼부가 형성되어있는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 중앙핀은, 직경이 다른 복수의 중앙핀으로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 광조사수단은, 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로부터 빛을 조사하는 구성으로 되어 있으며,

   상기 촬상수단은, 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로 반사하는 반사광을 촬상하는 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 한 개의 디스크가 시트 형상 디스크이며, 상기 다른 디스크가 기판형태 디스크이며, 이 시트 형상 디스크가 상기 기판형태 디스크 보다 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조장치.
7. 한 개의 디스크와 다른 디스크를 접합시키는 다층 디스크의 제조방법에 있어서,

   한 개의 디스크와 다른 디스크를 분리해서 상기 다른 디스크의 외주단부를 지지하고, 양자 사이에 극간을 발생시키는 고정배치공정과,

   상기 한 개의 디스크의 엠보스형태의 신호영역과 비신호영역과의 경계부에 대해서 복수의 광조사수단에서 빛을 조사하는 광조사공정과,

   상기 복수의 광조사수단에 의해 조사된 빛의 반사광을 복수의 촬상수단에서 촬상하는 촬상공정과,

   상기 촬상공정에서 얻어진 신호영역에 관한 위치정보에 의거해서 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심을 구하는 영역중심 판정공정과,

   상기 영역중심 판정공정에서 구해진 상기 한 개의 디스크의 신호영역중심과, 다른 디스크의 신호영역의 중심위치를 기준위치에 대하여 위치결정하는 중심위치 결정부를 합치시키기 위해, 이 중심위치 결정부와 상기 한 개의 디스크와의 상대위치를 가변시키는 가변수단을 이동시키는 가변수단 이동공정과,

   상기 한 개의 디스크와 상기 다른 디스크를 중심부에서 외주로 향해서 차례로 접촉시켜서 접합시키는 접합공정을 가지는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조방법.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 촬상수단은, 카메라로 구성되며,

   상기 영역중심 판정공정에서는, 상기 복수의 카메라에 의해 촬상한 정보에 기초하여 상기 한 개의 디스크의 회전편심 오차량을 산정하는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조방법.
9. 제 7항에 있어서,

   상기 광조사수단은, 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로부터 빛을 조사하는 구성으로 되어 있으며,

   상기 촬상수단은, 상기 한 개의 디스크의 표면에 대해 거의 수직방향으로 반사하는 반사광을 촬상하는 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조방법.
10. 제 7항에 있어서,

    상기 한 개의 디스크가 시트 형상 디스크이며, 상기 다른 디스크가 기판형태 디스크이며, 이 시트 형상 디스크가 상기 기판형태 디스크 보다 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다층 디스크의 제조방법.

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