TW518578B

TW518578B - Multi-layer disk manufacturing apparatus and multi-layer disk bonding method

Info

Publication number: TW518578B
Application number: TW090129994A
Authority: TW
Inventors: Takeshi Yamasaki; Tomomi Yukumoto; Motohisa Haga
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 2000-12-13
Filing date: 2001-12-04
Publication date: 2003-01-21
Also published as: US6780262B2; JP4196674B2; KR20020080401A; JPWO2002049026A1; WO2002049026A1; KR100797632B1; US20030141003A1

Description

518578 A7 B7 五、發明説明（

技術領域本發明係關於一種光記綠媒體等多層光碟製造裝置及多層光碟製造方法。背景技術貼合多數光碟形成多層構造的多層光碟例如用於光記錄媒體等’用於所謂"DVD”（數位多用途光碟或數位碟）等。製造這種貼合的多層光碟時，係對準各個光碟的中心孔而貼合。具體而言’兩片光碟各個為不同的把持部所把持，對準各個光碟中心孔後，以黏接劑等黏接。此時，多層光碟製造裝置設有將兩方光碟中心孔共同定位的中心銷：因此，藉由將此中⑽插人上述兩片光媒中,“，就可為中心孔定位的對準中心（alignment)。且說如此以中心銷進行兩片光碟中心孔的對準中心，則必足產生在各光碟中心、孔和中^銷之間產生的喪合用間隙。此間隙誤差隨著各光碟而對於中心銷在不同的方向產生’所以貼合各光碟，就會作為各光碟旋轉中心、的誤差表面化。這種各光碟旋轉中心的誤差稱為旋轉偏心誤差。此旋轉偏《吳差超㉟足範圍，信號檢測裝置就不能檢測出記錄於光碟上的信號，成為多層光碟的不良。因此’貼合兩片光碟時，需要此旋轉偏心誤差進入檢測裝置可測出k號之類的一定範圍内。 -4 -

518578

然而’多層光碟的光碟數越增加，越累積上述旋轉偏心块差，有將旋轉偏心誤差收進—定範圍困難的問題。此外’以多層光碟中m其他光碟厚度薄的片狀光碟形成的"峨”等的情況’如與此薄片狀光碟中心孔嵌合舨地插入上述中心銷，也有片狀光碟遭受損傷等問題。再者係使光碟f際旋轉，由其最大偏轉量算出旋轉偏〜次差！。因此’需要旋轉機構、旋轉引導機構，使裝置結構成為複雜，結果有使裝置大小和成本增大的問題。而且，如上述使光碟實際旋轉，也有招致節拍時間“扣^ time)增大，進而成為多層光碟製造成本增大的原因這種問題。發明之揭示本發明係為了解決這種問題所完成的，其目的在於提供一種以非接觸可精度佳地算出一光碟旋轉偏心誤差量，同時不要使光碟旋轉等複雜的結構，製造成本亦可使其減少的多層光碟製造裝置及製造方法。為了達成上述目的，本發明在申請專利範圍第丨項，其特徵在於：係貼合一光碟和其他光碟之多層光碟製造裝置’具有固定機構：為了固定配置一光碟；光照射機構：對於此固定配置的一光碟壓紋狀信號區域和非信號區域的境界部照射光；拍攝機構··拍攝以上述光照射機構照射的光的回光；中心定位部：決定其他光碟信號區域中心位置；及，可變機構：使此中心定位部和上述固定機構的相 -5- 518578 A7

對位置可變者。置==範圍第1項之結構，由於具有為了固定配號區域和2疋機冑冑於此固疋配置的—光碟壓紋狀信區域的境界部照射光的光照射«及拍攝 -光照射機構照射的光的回光的拍攝機構，所以一光 ε娀It相足機構固m態被照射光於其壓紋狀信號非信號區域的境界部。被照射的光在壓紋狀信號區少。何射現象而反射或在因透過而被照射的光軸上光量減以拍攝機構拍攝此減少的上述回光的光量和不減少的回光，可推算上述一光碟信號區域的中心位置。 ;二後，根據此推算的一光碟信號區域的中心位置使上述可又機構可變。然後’藉由使此_光碟信號區域的中心位置ί決走上述其他光碟k號區域的中心位置的中心定位部致可非接觸且精度佳地算出一光碟旋轉偏心誤差量，可將多層光碟旋轉偏心誤差量精度佳地收進一定範圍。 #此^卜、，如申請專利範圍第2項之發明，在申請專利範圍第1項<結構，最好上述固定機構為吸取固定上述一光碟的吸取部’上逑中心足位部為中心銷，上述可變機構為和上逑一光碟平行的同一平面内的二軸台。根據申清專利範圍第2項之結構，上述固定機構為吸取固足上述一光碟的吸取部’利用吸取部可容易且確實固定上述一光碟。此外，上述中心定位部為中心銷，所以利用中〜銷可容易且確實決定上述其他光碟的中心位置。再 -6 - 本紙張尺度適财®^i?Tc_NS) A4規格(210X297公董y

裝訂

V 518578

者，上述可變機構為和上述一光碟平行的同一平面内的二軸口所以·使此台在二轴方向移冑，可容易且精度佳台移動等。％，匕外、，士口申請專利範圍第3項之發明，在申請專

第2項《結構，最好在上述中心銷形成向基部擴徑錐形部。 J 根據申請專利範圍第3項之結構，由於在上述中心銷形成向基邵擴徑之類的錐形部’所以利用此錐形部可配置成不產生其他光碟的例如中心孔和上述中心销的嵌合間隙，可縮小其他.光碟旋轉偏心誤差。再者，最好是如中請專㈣圍第4項之結構，在中利範圍第2項之結冑，上述中心銷由直徑不二銷構成。甲〜一根據申請專利範圍第4項之結#，由於上述中心銷徑=同的多數中心銷構成，所以對於其他光碟的例如中心孔等内徑不同的多數種類的其他光碟亦可對應。此外，最好是如申請專利範圍第5項之結構，在申利範圍㈣之結構，以上述光照射機構為對於上述：碟表面從略垂直方向照射光的結構，以上述拍攝機於上述一光碟表面在略垂直方向拍攝反射的回光的結根據申請專利範圍第5項之結構’由於上述光照射成為對於上述一光碟表面從略垂直方向照射光的级構述拍攝機構成為對於上述-光碟表面在格垂直方向射的㈣的結構’所以例如上述—光碟的壓紋狀信號磁2 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 裝訂 A7 B7 518578 五、發明説明（窄係向在度，或者上述一光碟例如即使是半透明膜且低反射膜亦可正確拍攝在信號區域因衍射現象而反射光量的不同。 2且，根據申請專利範圍第6項之發明，在申請專利範圍弟1項I結構，其特徵在於··上述_光碟成為片狀光碟上逑其他光碟成為基板狀光碟，比上述基板狀光碟薄地形成此片狀光碟者。根據申請專利範圍第6項之結構，由於上述-光碟成為片狀光碟，上逑其他光碟成為基板狀光碟，比上述基板狀光碟薄地形成此片狀光碟，所以不根據上述片狀光碟中心孔和中〜銷進仃容易損傷的上述片狀光碟的中心對合，而和以彺不同，完全沒有給與前述片狀光碟本身損傷等之虞。項而且為了達成上逑目的，本發明在申請專利範圍第7 八特徵在於，·係貼合一光碟和其他光碟的多層光碟製造方法，*有固定配置製程：利用固定機構固定配置一光、光…、射製私·對於此固定配置的一光碟壓紋狀信號區域和非信號區域的境界部以光照射機構照射光；拍攝製程：以拍攝機構拍攝以上述光照射機構照射的光的回光；心判定製程：按照在此簡製程得到的關於信號區 ”訊求出上述一光碟的信號區域中心；可變機構移動味程：、為使在此區域中心判^製程求出的上述—光碟的信 2區域中、和決疋其他光碟信號區域的中心位置的中心定士 ‘致而使此中心足位部和上述固定機構的相對位置可

裝訂

-8 -

518578 五、發明説明（6 變的可變機構移動；及，貼合製程：貼合上述一光碟和上述其他光碟者。尤碟和上根據申請專利範圍第7項之 ^ ^ L ^ 由於具有利用固定機 =^配置-㈣的固定配置製程、對於此以配置的— ::广“S號區域和非信號區域的境界部以光照射機構 :=!t照射製程、以拍攝機構拍攝以上述光照射機構光相光的拍攝製程及按照在此拍攝製程得到的關於#號區域的資訊求出上述一光碟的信號區域中心的區域中心2定製程’所以上述一光碟在為上述固定機構所固定的狀怨配置，照射上述光於其壓紋狀信號區域^此被照射的光在壓紋狀信號區域因衍射現象而反射或在因透過而被照射的光轴上光量減少。此外’在以拍攝機構拍攝此減少的上述回光的光量和不減少的回光的光量的上述拍肖製程和上述區_中心判定製程可推算上述一光碟信號區域的中心位置。而且，在為使在此區域中心判定製程求出的上述一光碟的信號區域中心和決定其他光碟信號區域的中心位置的中心定位部-致而使此中心定位部和上述固定機構的相對位置可變的可變機構移動的上述可變機構移動製程，使上述一光碟的信號區域中心和上述其他光碟的上逑中心定位部一致，進行旋轉偏心誤差量的校正。而且，在貝占纟上述一光碟和上述其他光碟的貼合製程貼 /^· 〇藉此，以非接觸可精度佳地算出一光碟旋轉偏心誤差 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公爱) 裝訂 518578 A7

!，可將多層光碟旋轉偏心誤差量精度佳地收進一定範項之結構，1特徵在於 .在申請專利範圍第。成，在於.上述拍攝機構由多數攝影機掮推i卜、+、中心製程根據以此多數攝影機拍攝的資詞推异上述一光碟的旋轉偏心誤差量者。

夕激:申叫專利10圍第8項之結構，由於上述拍攝機構由 =攝影機構成’在上述區域中心判定製程根據以此多塞攝衫機拍攝的資訊推算上述一光碟的旋轉偏心誤差量，所以可更精度佳地算出旋轉偏心誤差量。因此，可更精度隹地权正多層光碟的旋轉偏心誤差量。裝申叫專利範圍第9項之結構在申請專利範圍第7項之結構上述光照射機構成為對於上述一光碟表面從略垂直方向照射光的結構，上述拍攝機構成為對於上述一光碟表面在略垂直方向拍攝反射的回光的結構。

申請專利範圍第1 〇項之結構在申請專利範圍第7項之結構，其特徵在於：上述一光碟為片狀光碟，上述其他光碟為基板狀光碟，比上述基板狀光碟薄地形成此片狀光碟者。圖式之簡單說明圖1為顯示關於本發明實施形態的dvr光碟製造裝置的概略透視圖。圖2A為以圖1的DVR光碟製造裝置製造的DVR光碟的概略截面圖。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 518578 A7 B7 五、發明説明（8 ) 圖2B為顯示圖2A所示的信號面的概略部分擴大圖。圖3為顯示圖1的對準台等的概略截面圖。圖4為顯示圖3的中心銷等結構的概略截面圖。圖5為顯示圖3所示的對準台或可動站等狀態的概略透視圖。圖6A為顯示片狀光碟、基板及基板基準銷的概略透視圖。圖6 B為顯tf圖6 a所示的基板基準銷結構的概略截面圖。圖7為顯示卣素燈光的光程的概略說明圖。圖8為顯示進行C c D攝影機對於中心銷的位置調整的製程的流程圖。圖9為顯不基準基_*ccd攝影機等配置的概略平面圖10A為在圖像監視器顯示以ccd攝影機拍攝境界部的拍攝結果之圖。圖1 Ο B為顯示光反射和回光狀態的概略說明圖。圖1 1為顯示片狀光碟位置調整成直線的流程圖。圖1 2為在薄板夾盤上配置片狀光碟的狀態的說明圖。圖13為顯示CCD攝影機和片狀光碟的關係的概略圖。圖1 4為顯示基板和片狀光碟的貼合製程的流程圖。實施發明之最佳形態以下，一面參照附圖，一面詳細說明本發明理想的實施形態。心^ -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X 297公釐) 518578

又，以下敘述的實施形態因技術上附加.較佳的各種限度，說明只要沒有特別限定本發明形態。係本發明理想的具體例而在但本發明的技術圍在以下的要旨的記載，就不限於這些圖1為顯示關於本發明的多層光碟製造裝置的關於實施形態的DVR光碟製造裝置1〇〇之圖。以此dvr光碟製造裝置1〇〇製造的dvr(數位錄影 (Dlgltal Video Recording))光碟 2 〇〇如圖 2 a 所示。圖2A為DVR光碟200的概略截面圖，圖2B為顯示圖 2A的信號面的概略部分擴大圖。如圖2A所示，dvr光碟 2 0 0具有例如厚度〇3 mm至1.2 mm的成為其他光碟的基板 2 1 0。在此基板2 1 〇上面如圖2 B所示，形成進行信號記錄的壓紋2 1 1。而且，在此壓紋211上面如圖2B所示，形成反射膜 L0。另一方面，例如厚度44 # m至114 # m的成為一光碟的片狀光碟220在其下面，如圖2B所示，形成進行信號記錄的壓紋2 2 1，在此壓紋2 2 1下面配置半透明膜L 1。而且，這些基板210和片狀光碟220透過黏接層，如圖 2 B所示地黏著。且說在此基板2 1 0中心如圖2 A所示，形成圓形中心孔 212，在片狀光碟220也設有圓形中心孔222。然而，片狀光碟2 2 0的中心孔2 2 2比基板2 1 〇的中心孔 2 1 2大地形成直徑。 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公爱）

裝

線 518578 A7 B7 五、發明説明（10 ) 這是為了如後述，基板2 1 0的中心孔2 1 2和中心銷以微小的間隙嵌.合，被定位。對此，係因為片狀光碟2 2 0的中心孔2 2 2接觸中心銷，為防止片狀光碟2 2 0本身受到損傷而比中心銷直徑大地形成。如此所形成的D V R光碟2 0 0如上述，以黏接層貼合基板 2 1 0和片狀光碟2 2 0，所以需要為了此貼合的機械。此貼合的機構為圖1所示的DVR光碟製造裝置100。以下’就此D V R光碟製造裝置1 〇〇加以說明。首先，DVR光碟製造裝置100如圖丨所示，具有為可變機構的對準台1 1 〇。在此對準台1丨〇之圖，上面的圓形部分形成薄板夾盤111 :載置圖2B的DVR光蹀200的片狀光碟22 0。配置於此薄板夾盤1 1 i上的片狀光碟2 2 〇利用為吸取部的真空吸取用孔確實固定配置於薄板夾盤i 1 1面。此外，在對準台1 1 〇下配置為了使此對準台i i 〇在裝置内移動的可動站1 2 0。顯示這種薄板夾盤in、對準台110及可動站12〇等結構的為圖3。圖3為這些的概略截面圖。此外，圖5為顯示圖3所示的對準台i丨〇或可動站12〇等狀態的概略透視圖。如圖3所示，對準台11〇具有χ軸台112 :在圖工中可為左右方向的X軸方向移動。此外，在圖3，在X軸台^ 下有Y軸台113 ··可在圖1的為前祛士 a 、仏口1扪為刖後万向的Y軸方向移動而且’在這些X軸台112和γ轴aim A人A上 z113的略中央形成 -13-

裝訂

線 518578 A7 B7 五、發明説明（Ή 通孔114。在此貫通孔114内配置對於可動站120固定其基部的圓柱狀中心桿1 3 0。在此中心桿1 3 0上配置直徑比中心桿1 3 〇小的中心銷1 3 1。如此配置於貫通孔i 1 4内的中心銷1 3 1為可動站1 2 〇所固定’但其周圍的X軸台112及丫軸台113係可在X軸方向或Y軸方向移動的結構。此外，在此X軸台1 1 2上如圖3所示，配置薄板夾盤 1 1 1。因此，將中心銷丨3 1插入配置於薄板夾盤1 1 1上面的上述片狀光碟2 2 0的中心孔2 2 2的情況，此中心銷1 3 i 的位置不是中心孔2 2 2的中心時，使前述X軸台1 1 2及Y 軸台1 1 3移動，改變片狀光碟2 2 0對於中心銷〗3 1的相對位置’可在中心孔2 2 2的中心配置中心銷1 3 1。顯示這種中心銷i 3 1和薄板夾盤1 1 1等關係的為圖4。圖4為顯示中心銷1 3 1、薄板夾盤1 1 1、片狀光碟2 2 0及基板2 1 〇關係的概略截面圖。圖4所示的片狀光碟220和基板210顯示透過黏度接層黏著前的狀態，所以兩分離顯示。為了如此使片狀光碟2 2 0和基板2 1 0分離配置，設有如圖6A所示的基板支持銷400。即，如圖6 A所示，多數基板支持銷4 0 0配置成如片狀光碟2 2 0和基板2 1 〇在壓接前（黏接前）不互相接觸般地支持基板2 1 〇外周端部，在兩者之間產生間隙。顯示這種基板支持銷4 0 0的詳細結構的為圖6 b。如圖 6B所示，基板支持銷4〇〇成為外周可動構造。即，在基 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 裝訂

線 518578 A7 ______B7 五、發明説明（12 ) 板支持銷400内部配置彈簧部，所以使基板21〇和片狀光碟22 0接合·之際，可從基板板2 1〇中心部向外周依次接觸。此外，此彈簧係以後述矽橡膠墊丨丨5壓接之際，彈簧沈入圖6A的下方’基板21〇和片狀光碟22〇可使其接合。且說如圖4所示，中心銷丨3 }的直徑和基板2 i 〇的中心孔2 1 2略同一形成，所以可對於基板2丨〇嵌合中心銷 13 1° 此外，在中心銷1 3 i上部設有比中心銷1 3 1直徑縮徑的錐形部1 3 1 a。此錐形邵1 3 1 a向上部縮徑，所以使中心銷i 3 }嵌合基板2 1 0的中心孔2 1 2之際，成為此中心孔2丨2的引導部。因此，成為中心銷1 3 1與基板2 〇的中心孔2丨2容易嵌合的結構。且說此中心銷1 3 1準備多數個，根據基板2丨〇直徑適當選擇。例如先按10 # m單位準備多數個中心銷1 3 1。在如此所構成的對準台1 1 〇上方如圖1所示，例如配置4 個為拍攝裝置的CCD攝影機14〇。此CCd攝影機140例如配置於片狀光碟2 2 0的對角線上，該片狀光碟2 2 〇配置於薄板夾盤1 1 1上。在此C C D攝影機140下如圖1所示，設有低倍放大攝影鏡頭（macro lens) 141，同時可將為光照射機構的卣素燈 1 5 0的光垂直引導到薄板夾盤1 n上。顯示此狀悲的為圖7。如圖7所示，鹵素燈1 5 0的光在圖 -15- I適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐j -- 518578 A7 __B7 五、發明説明（13 ) 上如以箭頭A所示，透過低倍放大攝影鏡頭1 4 1對於片狀光碟2 2 0在垂直方向照射。而且，在片狀光碟220表面反射的光成為回光，如以箭頭B所示，被導入CCD攝影機140内，被拍攝。如圖1所示，配置4個這種CCD攝影機140等。如此以C C D攝影機1 4 0拍攝的圖像顯示於圖1的圖像監視器1 6 0。又，在此圖像監視器〗6 〇附近設有觸摸面板式操作/顯示盤170或顯示設於上述薄板夾盤ill的真空吸取孔的抽真空狀態的夾盤真空度顯示丨8 〇。再者，也配置主電源接通顯示燈丨9 〇或緊急停止按鈕 19 1° 且說此DVR光碟製造裝置100在圖1的X軸方向可移動地配置可動站1 2 0。即，此可動站丨2 〇在圖j配置於左側時’係碉整薄板夾盤1 1 1上的片狀光碟2 2 〇位置的對準站 1 2 1 a ° 此外，中央部係在薄板夾盤丨i丨上配置或排出片狀光碟 2 2 0或基板2 1 0的投入/排出端丨2丨b。再者，右側係將基板210透過黏接層貼在薄板夾盤lu上的片狀光碟22〇上的壓接站1 2 1 c。因此，在此壓接站丨2 1 c上方如圖！所‘示，設置矽膠墊 115或垂直壓接軸116，壓接上述片狀光碟22〇和基ς 210而製造一片DVR光碟200。關於本實施形態的DVR光碟製造裝置i 〇〇如以上所構成，以下明其動作等。 -16- 本紙張尺度適财S國家標準(CNS) A4規格(21Gχ297公幻 518578 A7 __ B7 五、發明説明（14 ) 首先，進行CCD攝影機140對於中心銷131的位置調整。即，首先在圖1所示的投入/排出端121b使可動站12〇移動。然後，如圖8的ST1所示，選擇可與CCD攝影機140的位置調整用基準板3 1 0嵌合之類的中心銷1 3 1。具體而言，如中心銷1 3 1直徑和基準基板3 1 〇中心孔直控之差’即間隙誤差量成為1 〇 # m以内般地選擇中心銷直徑。例如為0 15。此外，此基準基板3 1 〇在表面壓紋狀地形成信號區域。其次，將基準基板31〇配置於圖3所示的薄板夾盤1U 上。然後，使可動站1 2 0移動到圖1的對準站1 2 1 a。在此狀態將圖7所示的鹵素燈1 5 〇的光照射於基準基板 310表面’以CCD攝影機140拍攝其回光。顯示此狀態的為圖9。如圖9所示，照射光於基準基板3 1 〇形成壓紋的信號區域3 1 1 A和其外周部的非信號區域3丨丨b的境界部，以CCD攝影機140拍攝觀察區i40a。此時，CCD攝影機14〇或低倍放大攝影鏡頭ι41如圖9 所示，設置成以90。等分配置觀察區域14〇a。如此一來’照射於基準基板3丨〇反射的回光以4個c c D 攝影機140拍攝。在圖像監視器16〇顯示其拍攝結果的為圖10A。如圖l〇A所示，在圖像監視器16〇上左半色淡 (亮）、右半色濃（暗）地拍攝。 -17- 本紙張尺度適财関家標準(CNS) A4規; 518578

此如圖1 Ο B所示，雖然由鹵素燈丨5 〇所照射，但在壓紋狀k號區域.3 1 1 Α因1次或2次衍射而回光的光量減少，如圖1 Ο A的右半，色變濃（暗）。對此，在未形成壓紋狀信號的非信號區域3 11β因由卣素燈1 5 0所照射的光不如信號區域3丨丨a般地衍射而照樣成為回光，在光量不滅少的狀態被C c D攝影機丨4 〇拍攝。因此，如圖1 Ο A的左半，色變淡（亮）。如此，藉由顏色濃度（亮度）不同，信號區域3丨丨A和非 k號區域3 1 1 B的境界部3 1 2成為明確，在圖像監視器 16〇上亦可明確掌握境界部312。而且，此境界部3 1 2如圖9所示，在4個觀察區域丨4 〇 a 被拍攝，作為位置資訊被記憶於記憶部。其後，例如使基準基板3 1 〇旋轉3 〇。，再在4個觀察區域1 4 0 a拍攝境界部3 1 2，作為位置資訊再記憶於記憶將此進行多數次，可得到基準基板3 1 〇本身的偏心資訊，所以根據此偏心資訊，如離中心銷1 3 1等距離般地配且4個CCD攝影機140的位置。顯示此製程的為圖8的 S T 2。如此成為等距離的狀態為c c D攝影機的基準位置。而且，此CCD攝影機140的基準位置資料如圖8的所示，被記憶作為資料。具體而言，要進行圖像監視器 1 6 0内部i己憶資料的重寫及資料處理側的p [ c (可程式規 d 迷輯控制器（pr〇gramable Logic Controller)參數設定。 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 裝訂 518578 A7 B7 五、發明説明（16 以上是C C D攝影機1 4 0對於中心銷丨3 1的位置調整製程’但此製程在關於同一基板2 1 〇的製程，只是開始進行，只要基板種類不變，就不需要再調整。取入CCD攝影機140的基準位置資料後，此基準基板 3 1 0從圖1的投入/排出站1 2 1 b被排出。其後’將實際貼合的片狀光碟220載置於薄板夾盤iu 上。即，如圖1 1的S T 4所示，片狀光碟2 2 〇配置於圖3的薄板夬盤1 1 1上。具體而言，如圖1 2所示，以形成進行片狀光碟2 2 0 k號記錄的壓紋2 2 1的面為上而被配置。此時，由於片狀光碟2 2 0的中心孔2 1 2比中心銷1 3 1直徑十分大地被形成，所以不會接觸此中心銷丨3丨而片狀光碟2 2 0本身受到損傷等。此外，和將片狀光碟220載置於薄板夾盤111上同時使未圖示的真空裝置開動，開始設於薄板夾盤的真空吸取孔的抽真空。於是，片狀光碟22〇就精度佳地固定於薄板夾盤1 1 1上。此時，如上述，極薄的片狀光碟2 2 〇未被機械地夾緊，所以不曰產生片狀光碟2 2 〇本身的損傷等。此外，此抽真 2狀怨顯示於圖1所示的夾盤真空度顯示1 8 〇，所以可緩常維持最佳的真空度。載置片狀光碟2 2 0的對準台1 1 〇在,對準站1 2 1 a配置於 CCD攝影機140下方。顯π此時的C C D攝影機1 4 0和片狀光碟2 2 0關係的為圖 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐)

裴訂

綠 518578 A7

1 3 〇在圖13，.CCD攝影機140如觀察區域14〇a成為9〇。等分般地配置4個。即，在γ軸方向配置丫1及¥2的（：（：1)攝影機140，在X軸方向配置乂1及父2的(：：(：1)攝影機14〇。在圖上’實線顯示由上述基準基板310所求出、保存作為資料的基準位置。即，顯示在基準基板3丨〇的境界部 3 1 2 等。

對此，一點鏈線顯示片狀光碟2 2 〇壓紋狀信號區域和非信號區域的境界部2 2 3。且說關於片狀光碟220，也和上述基準基板31〇同樣，裝如圖7所示，對於片狀光碟22〇的境界部223從南素燈 1 5 0由垂直方向照射光。

對此，以往因由斜向照射光而圖丨〇 B所示的非信號區域的反射光量和信號區域的反射光量之差在c c 〇攝影機不能拍攝作為明確的對比。 ·、:、而由垂直方向照射鹵素燈1 5 〇的光的本實施形態因來自信號區域的回光大幅減少而可實現明確的對比。具體而言，信號區域和非信號區域的反射光量的不同於入射角=0。時，N次衍射光強度以式表現：

Pn = sin θ η = Ν · λ/d...........( ι ) 此處，N為衍射次數，θ為折射角，又為波長，d為晶格周期。 …阳在本實施形態，片狀光碟2 2 0的磁軌間距係〇 2 # m至 0.8 // m的極微小磁軌間距。此外，照明使用鹵素燈ι $ 〇， -20- 本紙張尺度適用中國國豕標準(CNS) A4規格(210X297公爱) 518578 A7 B7 五、發明説明（18 所以上述式（1)的λ / d接近約丨· 〇。因此，圖9的1次衍射角Θ1取接近直角的大值，來自信號區域的回光顯著減少〇因此，信號區域和非信號區域之差變成極大，就產生境界部2 2 3在C C D攝影機1 4 〇明確知道之類的明確對比。如以上’以4個CCD攝影機14〇拍攝境界部223，就如圖1 3所示，得知在虛線部分配置了片狀光碟2 2 〇。然後’將此資訊和上述基準基板3 1 〇的基準位置資料 (實線部分）比較，就如圖1 3所示，兩者大量產生偏心誤差。顯示此製程的為圖i i的S τ 5。裝此偏心誤差量具體地如下算出。圖1 3的C C D攝影機1 4 0 ( Y 1 )檢測出在圖上以圓形符號所示部分的片狀光碟220的境界部223。以此檢出結果和預先取入作為基準位置的資料的γ軸上的對應境界部3 1 2 (參照圖9)之差為在圖1 3所示的ΔΥ 1。此外，CCD攝影機140 (Y2)也同樣求出和基準基板 310的境界部312之差，作為ΔΥ 2。線另一方面，在X軸上也同樣以CCD攝影機140 (XI)求出ΔΧ 1，以C C D攝影機1 4 0 ( X 2 )求出ΔΧ 2。於是，在圖13，以ΔΧ所示的X軸方向的誤差量成為 △ X = ( △ X 1 + △ Χ2)/2。此外’在圖上，以△ γ所示的γ軸方向的誤差量成為 △ Υ = ( △ Υ 1 + △ Υ2)/2。由此，全體誤差量成為 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 518578 A7 B7 — —- 晒丨 - ._ 五、發明説明（19 ) (1/2) · /'{(ΔΧ1+ΔΧ2)2+(ΔΥ1+ΔΥ2)}2 如此，誤差量係由將片狀光碟220形成壓紋的信號區域中心（圖1 3中的虛線的圓形符號）的誤差量和基準基板3工〇中心（圖1 3中的實線的圓形符號）比較所進行。此外，如從前述算式亦得知，不受片狀光碟220薄板材料等膨脹、收縮而信號部2 2 1直徑變化的影響，可算出中心位置。如此，將誤差量和基於基準位置資訊的為容許範圍的既定值比較，偏心誤差量有無和特定其量的為圖i i的 ST6。此處，誤差量比既定值大時，使其誤差量顯示於圖1所示的圖像監視器160，使對準台11〇的X軸台112和γ軸台 1 1 3 移動（S T 7 )。具體而言，使圖3的X軸台112只移動上述Δχ(圖13) 分，使Υ軸台II3只移動上述ΔΥ (圖13)分。此時，即使X軸台112及Υ軸台113移動，中心銷131也不移動，所以可和基準基板31〇的境界部312同樣變更對於中心銷1 3 1的片狀光碟2 2 0的境界部2 2 3。此調整容易且非接觸進行，所以可不給與片狀光碟2 2 〇本身損傷等進行。此外，和以往不同，測量偏心誤差量無需使片狀光碟220旋轉等，所以機械不大型化，不會招致節拍時間（tack time )增大。且說如此使X軸台112和γ軸台ι13移動而調整後，再如圖11的ST5所示，檢測偏心誤差量，還比既定值大時 -22-

518578 A7 B7 五、發明説明（20 ) (ST6)，再使X軸台112及Y軸台113移動（ST7)。經過這種製程，在S T 6，在誤差量比既定值小時，為了使此片狀光碟220位置和基板210 —致的對準製程結束。如以上，在圖1所示的對準站1 2 1 a圖1 1所示的對準結束’載置片狀光碟2 2 0的對準台1 1 〇就供應黏著的基板 2 1 0，使其移動到圖1所示的壓接站1 2 1 c。在此壓接站1 2 1 c，將基板2 1 0的中心孔2 1 2如圖4所示，以中心銷1 3 1為基準加以配置（圖丨4的s T 8 )。此時，基板2 1 0被保持在片狀光碟2 2 0的1 mm上方。此外，在片狀光碟220的圖4中的上面或基板210的圖4 中的下面配置黏接用黏著劑。其後，如圖1所示，使用中央部凸狀的小塊（p a t)印刷用的矽橡膠墊（gum pad ) 1 1 5，在預定負荷及靜止時間透過黏接用黏著劑壓接基板2 1 0和片狀光碟2 2 0 (圖1 4的 ST9)，形成貼合的DVR光碟200。其後，經過預定製程，如圖2所示，D V R光碟2 0 0完成。如以上，根據本實施形態，由於只是基板2 1 〇的定位使用中心銷1 3 1的’’間隙嵌合’’，對於片狀光碟2 2 0以非接觸算出偏心誤差量加以調整，所以與以往比較可減低综合的偏心誤差量。此外，由於直接算出、修正片狀光碟2 2 0形成壓紋的信號區域的偏心誤差量，所以不會施加負荷於片狀光碟 2 2 0，可防止片狀光碟2 2 0變形等。 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）

裝訂

線 518578 A7 ______ —_B7_._ 五、發明説明（21 ) 由於準備多數個中心銷丨3 1的尺寸，所以可縮小基板 2 1 0的定位誤差量’可使貼合後的〇 v r光碟2 〇〇的综合偏心誤差量減低。以進行片狀光碟2 2 〇中心位置（圖1 3的虛線圓形符號）算出的基準為信號區域最外周部的境界部2 2 3，即使在 DVR光碟製造裝置1〇〇的定位機構有誤差，亦可縮小 D V R光碟2 〇〇完成時的偏心誤差量的比率。此外，利用固定的多數c c D攝影機丨4 〇可瞬間進行和基準位置的误差運具’和如以往使片狀光碟220等旋轉的方法比較，可以極短時間算出其偏心誤差量。再者’此偏心誤差量的算出因以對準台u 〇進行其偏心為差修正，同時可算出新的偏心誤差量而藉由組合反饋環路（feedback loop)，可更加縮短時間和提高精度。若已知由關於本實施形態的Dvr光碟製造裝置1〇〇所製成的DVR光碟200的偏心誤差量，則藉由將此作為校正值而取入偏心誤差修正環路中，可更加減低偏心誤差量。又，在本實施形態雖然以CCD攝影機14〇拍攝為片狀光碟2 2 0信號區域最外周的境界部2 2 3，但不限於此，也可以利用存在於最内周的境界部。一此外，也可以最内周成為引入信號部，最外周成為引出信號部。即，若是設有進行信號記錄的壓紋部分和未設部分的界線，則可起本實施形態的境界部的作用。本發明不限於上述各實施形態或各變形例。再者，上述各實施形態也可以互相組合而構成本發明。 -24- ^紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格---- 518578 五 A7 B7 、發明説明（22 ) 產業上之利用可能性如以上所述，根據本發明，可提供一種以非接觸可精度佳地算出一光碟旋轉偏心誤差量，同時不要使光碟旋轉等複雜的結構，製造成本亦可使其減少的多層光碟製造裝置及製造方法。 -25-

線本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

Claims

518578 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 1· 一種多層光碟製造裝罾，他光碟，具有 4徵在於：貼合-光碟和其固疋機構：為了固定配置—光碟；光照射機構：對於此固定配置的區域和非信號區域的境界部照射光；壓、又狀U 拍攝機構：拍摄W Ϊ-、+、， • Α光照射機構照射的光的回无，中心足位部：決定其他光碟信號區域中心位置；及，裝可變機構：使此中心定位郜 /- W -T ^ ^ 位邵和上逑固定機構的相對位置可變者。 2·如申请專利範園第1項之多芦，夕屬九碟製造裝置，並中上诚固定機構為吸取固定上述一朵雄 v 、、心上k 先碟的吸取部，上述中心定位部為中心銷，上述可轡機媒 η -平面内的二軸台。構為和上述—光碟平行的同 3.如申請專利範圍第2項之多層光碟製造裝置，其中在前述中心銷形成向基部擴徑之類錐形部。 4·如中專㈣圍第2項之多層光碟製造裝置，其中上述中心銷由直徑不同的多數中心銷構成。 5 ·如申請專利範圍第1項之多層光碟， u ^ 造裝置，其中上述光照射機構成為對於上述一光碟矣光的結構，表面從略垂直方向照射上述拍攝機構成為對於上述一朵Σ世士尤碟表面在略垂直方向拍攝反射的回光的結構。 -26-

518578

6·如申請專利範圍第丨項之多層光碟製造裝置，其中上述一光碟為片狀光碟，上述其他光碟為基板狀光碟，比上述基板狀光碟薄地形成此片狀光碟。 7. 一種多層光碟製造方法，其特徵在於：貼合一光碟和其他光碟，具有八固定配置製程：利用固定機構固定配置一光碟；光照射製程：對於此固f配置的一光碟壓紋狀信號區域和非信號區域的境界部以光照射機構照射光；拍攝製程：以拍攝機構拍攝以上述光照射機構照射的光的回光；區域中心判足製程：按照在上述拍攝製程得到的關於信號區域的資訊求出上述一光碟的信號區域中心；可變機構移動製程：為使在上述區域中心判定製程求出的上述-光碟的信號區域中心、和決定其他光碟信號區域的中心位置的中心定位部一致而使此中心定位部和上述固定機構的相對位置可變的可變機構移動；及，貼合製程：貼合上述一光碟和上述其他光碟者。 8. 如申請專利範圍第7項之多層光碟製造方法，其中上述拍攝機構由多數攝影機構成，在上述區域中心製程根據以上述多數攝影機拍攝的資訊推算上述一光碟的旋轉偏心誤差量。 9. 如申請專利範圍第7項之多層光碟製造方法，其中上述光照射機構成為對於上述一光碟表面從略垂直方光的結槿， -27-

518578 A B c D 六、申請專利範圍上述拍攝機構成為對於上述一光碟表面在略垂直方向拍攝反射的回光的結構。 10·如申請專利範圍第7項之多層光碟製造方法，其中上述一光碟為片狀光碟，上述其他光碟為基板狀光碟，比上述基板狀光碟薄地形成此片狀光碟。 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)