KR100723081B1 - 가스 방전 스크린의 제조 방법 - Google Patents

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윤타오 지아
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이리코 컬러 픽쳐 튜브 플랜트
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Abstract

본 발명은 가스 방전의 기술 분야에 특정화된 가스 방전 스크린의 제조 방법을 개시하고 있다. 본 발명은 AC 플라즈마 스크린의 전면 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다. BUS 전극을 만드는 기술 공정과 블랙 스트립을 만드는 기술 공정을 합침으로써, 블랙 스트립과 BUS 전극을 한 번만 몰딩하는 것을 구현하고 있다. 스크린 인쇄 방법을 사용할 경우에는 BUS 전극과 블랙 스트립을 하나의 스크린 마스크 상에 만들고, 블랙 Ag 페이스트를 도포하여 스크린 인쇄에 의해 한 번 몰딩한다. 사진 식각 방법을 사용할 경우에는 전극과 블랙 스트립을 광 마스크 상에 만들고, 감광 블랙 Ag 페이스트를 유리판 상에 인쇄하며, 현상 및 노광을 통해 BUS 전극과 블랙 스트립의 한 번의 몰딩을 구현한다. 그와 같이 하여, 패턴 정렬을 피하고, 패턴의 제조 정밀도 및 플라즈마 스크린의 화상 품질을 개선시키는 동시에, 제조 공정을 단순화시키고, 제조 효율을 높일 뿐만 아니라, 원료의 낭비를 삼가고, 장비의 투자와 제조 비용도 줄이게 된다.
가스 방전 스크린, 전면 기판, 배면 기판, BUS 전극, 블랙 스트립, 스크린 인쇄, 사진 식각, 블랙 은 페이스트, 스크린 마스크, 광 마스크

Description

가스 방전 스크린의 제조 방법{A METHOD FOR MAKING THE GAS DISCHARGE SCREEN}
도 1은 AC 가스 방전 스크린의 구조도,
도 2는 스크린 인쇄 방법에 의해 BUS 전극과 블랙 스트립을 제조하는 기술 흐름도,
도 3은 사진 식각 방법에 의해 BUS 전극과 블랙 스트립을 제조하는 기술 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 전면 기판 2 : 투명 전극
3 : BUS 전극 4, 11 : 유전체 층
5 : 유전체 보호 층 6 : 배면 기판
7 : 어드레싱 전극 8 : 인 층
9 : 스트립 장벽 12 : 블랙 스트립
본 발명은 가스 방전의 기술 분야에 관한 것으로, 보다 더 상세하게는 AC 플 라즈마 스크린의 전면 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다.
현재의 모든 AC 가스 방전 스크린은 전면 기판과 그 전면 기판과 밀봉 결합된 배면 기판을 포함하는 표면 방전 구조를 채용하고 있다. 전면 기판의 ITO 투명 전극과 BUS 전극은 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이룬다. 방전 전극의 표면은 유전체 층으로 덮이고, 그 유전체 층 자체는 유전체 보호 층에 의해 덮인다. 배면 기판은 방전 전극과 수직하고 유전체 층으로 덮인 어드레싱 전극을 구비한다. 유전체 층 상에는 그 바닥이 인 층으로 덮인 스트립 장벽들이 있는데, 그 장벽들은 그들의 어드레싱 전극과 평행하다. 전면 및 배면 기판은 저 융점 프릿(low-melting frit)으로써 결합되고, 전면 기판과 배면 기판 사이의 공간은 Ne, Ar, 및 Xe 등의 혼합 방전 가스로 충전된다.
선행 기술에서 스크린 인쇄에 의해 가스 방전 스크린의 전면 기판을 제조하는 공정은 다음과 같다:
1) 첫째로, 사진 식각에 의해 유리판 상에 ITO 투명 전극을 만들고, BUS 전극 패턴을 갖는 스크린 마스크 내로 블랙 은 페이스트(black argentine paste)를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 ITO 투명 전극의 기판 외 영역 상에 이르도록 한다. 그 후에, 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 BUS 전극을 얻는다.
2) 패턴 정렬 후에, 블랙 스트립 패턴을 갖는 스크린 마스크 상으로 블랙 은 페이스트를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 BUS 전극이 마련된 유리판 상에 이르도록 하고, 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시키며, 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 블랙 스트립을 형성한다.
3) 유리판 상에 있는 BUS 전극 및 블랙 스트립 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층을 건조시키고 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 전면 기판의 제조를 완료한다.
사진 식각을 통해 가스 방전 스크린을 제조하는 공정은 다음과 같다:
1) 첫째로, 사진 식각을 통해 유리판 상에 ITO 투명 전극을 만든다.
2) 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 유리판 상의 그 연속 막 층을 노광기에서 BUS 전극 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키고 나서 현상하고, 그것을 건조 및 연소시켜 BUS 전극을 얻는다.
3) BUS 전극이 마련된 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 유리판 상의 그 연속 막 층을 정렬시켜 노광기에서 블랙 스트립 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키고 그것을 현상한다. 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시키고, 그 중에 함유된 유기물을 연소에 의해 태워 없애 블랙 스트립을 얻는다.
4) BUS 전극 및 블랙 스트립이 형성된 유리판 상에 유전체 층을 인쇄하고, 연소시킨 후에 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 전면 기판의 제조를 완료한다.
선행 기술에서 스크린 인쇄 방법을 사용하면, 그 방법에서는 블랙 스트립 패턴을 만들기 전에 블랙 스트립 패턴을 갖는 스크린 마스크를 BUS 전극이 형성된 유리판에 맞춰 정확하게 정렬시켜야만 블랙 스트립 패턴이 X 유지 전극과 Y 주사/유지 전극 사이의 비방전 영역 상에 인쇄되는 것을 보장하게 된다. 사진 식각 방법 을 사용하면, 그 방법에서는 블랙 스트립 패턴을 만들기 전에 블랙 스트립 패턴을 갖는 광 마스크를 BUS 전극이 형성된 유리판에 맞춰 정확하게 정렬시켜야만 노광 후에 블랙 스트립 패턴이 X 유지 전극과 Y 주사/유지 전극 사이의 비방전 영역 상에 형성되는 것을 보장하게 된다. 블랙 스트립 패턴과 BUS 전극 패턴 사이의 공간 길이의 크기는 마이크로미터 수준이기 때문에, 정렬이 충분히 정확하지 않으면, 그것이 유효 방전 공간의 형성에 영향을 미치게 되어 발광 영역으로 하여금 완전하게 발광하지 못하게 하거나 블랙 스트립으로 하여금 방전 과정으로부터 나오는 빛을 차폐하지 못하게 하고 발광 영역으로 하여금 외부 환경으로부터의 빛을 흡수하지 못하게 하며, 그로 인해 발광 효율이 저하되고 화상의 질이 떨어지게 된다.
또한, BUS 전극 및 블랙 스트립을 형성하면서 스크린 인쇄 방법을 사용하면, 그 방법은 2개의 상이한 스크린 마스크에 의한 2번의 인쇄, 건조, 및 연소를 필요로 한다. 그 대신에, 사진 식각 방법을 사용하면, 그 방법은 2번의 노광, 현상, 및 건조와 연소를 필요로 한다. 따라서, 전극 및 블랙 스트립을 형성하는 기술적 공정이 복잡하고, 형판 재료를 필요로 하며, 그로 인해 스크린 제조 비용이 지나치게 높고 효율도 낮다.
본 발명의 목적은 제조 공정이 간단하고, 장비의 투자를 줄일 수 있으며, 원료의 낭비를 삼갈 수 있고, 패턴의 제조 정밀도 및 플라즈마 스크린의 화상 품질을 개선시킬 수 있는 동시에 발광 효율을 개선시키고 비용을 절감시킬 수 있는 가스 방전 스크린의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 그러한 목적은 기술적으로 다음과 같이 하여 달성되게 된다:
스크린 인쇄에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법은 다음의 단계를 포함한다:
1) 첫째로, 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 스크린 마스크 내로 블랙 은 페이스트를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 유리판 상에 인쇄되도록 하고, 유리판 상에 인쇄된 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, ITO 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층 중에 함유된 유기물을 연소시켜 태워 없애는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 막을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계.
그러한 방법에서, BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정은 BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 동시에 갖는 스크린 마스크 상으로 블랙 은 페이스트를 주입하는 것이다. 블랙 은 페이스트는 스크린 마스크를 건너가 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역 상 에 인쇄된다. 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다.
블랙 은 페이스트를 건조시킬 때에는 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 시간을 18 내지 22분으로 하고, 블랙 은 페이스트를 연소시킬 때에는 블랙 은 페이스트 중에 함유된 유기물을 태워 없애기 위해 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 시간을 25 내지 32분으로 하며, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 한다.
사진 식각에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법은 다음의 단계를 포함한다:
1) 첫째로, 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 노광기에서 유리판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키고 나서 현상하며, 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, ITO 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층을 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계.
그러한 방법에서, BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정은 먼저 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 이어서 노광기에서 유리 판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키는 것이다. 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 광 마스크 판으로부터 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역으로 전사시키고 나서 그것을 현상한다. 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다.
블랙 은 페이스트를 건조시킬 때에는 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 시간을 18 내지 22분으로 하고, 블랙 은 페이스트를 연소시킬 때에는 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 시간을 25 내지 32분으로 하여 블랙 은 페이스트 중에 함유된 유기물을 태워 없애며, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 한다.
본 발명은 BUS 전극을 만드는 공정과 블랙 스트립을 만드는 공정을 합침으로써 블랙 스트립과 BUS 전극을 한 번만 몰딩하는 것을 구현하고 있다. 스크린 인쇄 방법을 선택하면, 즉 BUS 전극과 블랙 스트립을 하나의 스크린 마스크 상에 만들려면, 스크린 인쇄에 의해 블랙 Ag 페이스트로 한 번만 몰딩한다. 사진 식각 방법을 선택하면, 즉 전극과 블랙 스트립을 광 마스크 판 상에 만들려면, 감광 블랙 Ag 페이스트를 유리판 상에 코팅하고, 현상 및 노광을 통해 BUS 전극과 블랙 스트립의 한 번만의 몰딩을 구현한다. 그와 같이 하여, 패턴 정렬을 피하고, 패턴의 제조 정밀도 및 플라즈마 스크린의 화상 품질을 개선시키는 동시에, 제조 공정을 단순화시키고, 제조 효율을 높일 뿐만 아니라, 원료의 낭비를 삼가고, 장비의 투자와 제조 비용도 줄이게 된다.
첨부 도면에는 본 발명의 특정의 실시예들이 도시되어 있다. 이하, 그 첨부 도면과 연계하여 본 발명의 내용을 좀 더 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명의 AC 가스 방전 스크린은 전면 기판(1)과 그 전면 기판(1)과 결합된 배면 기판(6)을 포함하는 표면 방전 구조(도 1을 참조)를 채용하고 있다. 전면 기판(1)은 ITO 투명 전극(2)과 BUS 전극(3)을 구비한다. ITO 투명 전극(2)과 BUS 전극(3)은 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 전극을 포함하는 방전 전극을 이룬다. 방전 전극의 표면은 유전체 층(4)으로 덮이고, 그 유전체 층 자체(4)는 유전체 보호 층(5)에 의해 덮인다. X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역은 블랙 은 페이스트 스트립(12)으로 덮인다. 배면 기판(6)은 방전 전극과 수직하고 유전체 층(11)으로 덮인 어드레싱 전극(7)을 구비하는데, 유전체 층(11)은 어드레싱 전극(7)과 평행한 스트립 장벽(9)을 구비하고, 그 스트립 장벽(9)의 바닥은인 층(8)으로 덮인다. 전면 기판 및 배면 기판은 저 융점 프릿으로써 함께 결합되고, 그들 사이의 공간은 Ne, Ar, 및 Xe 등의 혼합 방전 가스로 충전된다.
가스 방전 스크린의 각각의 셀의 방전 과정은 어드레싱 전극과 주사/유지 방전 전극 사이의 전위 차가 그들로 하여금 방전을 일으키게 하고(X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극은 스크린 상의 디스플레이 열을 이룸), 이어서 Y 주사/ 유지 방전 전극과 X 유지 방전 전극 사이에 방전을 일으켜서 셀의 어드레싱 방전을 완료하는 것이다. 어드레싱 방전 후에는 어드레싱 전극이 방전 유지 기간으로 들어간다. 셀에 축적된 벽 전하는 방전을 유지시키고, 스크린 상의 어드레싱된 셀을 발광 상태로 만든다.
스크린 인쇄에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법은 다음의 단계를 포함한다(도 2를 참조):
1) 유리판을 세정하고, 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 스크린 마스크 내로 블랙 은 페이스트를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 유리판 상에 인쇄되도록 하고, 유리판 상에 인쇄된 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판 상의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층을 연소시켜(온도를 560 내지 570 ℃로, 그리고 시간을 10 내지 15분으로 함) 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막(두께를 4000 내지 7000 옹스트롬으로 함)을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계.
그러한 방법에서, BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정은 BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 동시에 갖는 스크린 마스크 상으로 블랙 은 페이스트를 주입하는 것으로, 블랙 은 페이스트는 스크린 마스크를 건너가 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역 상에 인쇄되고, 이어서 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다. 블랙 은 페이스트를 건조시킬 때에는 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 시간을 18 내지 22분으로 하고, 블랙 은 페이스트를 연소시킬 때에는 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 시간을 25 내지 32분으로 한다. 블랙 은 페이스트의 유기물을 태워 없앴을 때에 BUS 전극과 블랙 스트립이 형성된다. BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 한다.
실시예 1:
디스플레이 스크린의 대각선이 42인치인 경우에 스크린 인쇄 방법에 의해 가스 방전 스크린을 제조할 때에는 먼저 융점이 낮은 1개의 PD-200 유리 기판을 준비하여 그것을 세정한다. 사진 식각 방법에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만들고, 하나의 스크린 마스크 상에 BUS 전극 패턴 폭 90 ㎛와 블랙 스트립 패턴 폭 170 ㎛를 만드는데, BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴 사이의 공간은 45 ㎛이다. 이어서, 블랙 은 페이스트를 BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 갖는 스크린 마스크 상에 주입하는데, 그에 의해 블랙 스트립 패턴과 이미 마련된 BUS 전극 패턴을 서로 정렬시키는 것을 피할 수 있다. 블랙 은 페이스트는 스크린 마스크를 건너가 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역에 인쇄된다. 블랙 은 페이스트를 건조로와 연소로에서 각각 건조 및 연소시켜(건조 온도를 90 ℃로, 그리고 건조 시간을 20분으로 하고, 연소 온도를 550 ℃로, 그리고 연소 시간을 30분으로 함) 블랙 은 페이스트 중에 함유된 유기물을 태워 없애 그 높이가 약 6 마이크로미터인 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다. 그 후에, 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하는데, 유전체 층 유기 용매의 조성은 PbO.B2O3.SiO2 유리 분말과 수지 접합제 등으로 이뤄지고, 유전체 층의 주된 기능은 AC를 사용하는 동안 커패시턴스를 하전하고, 전면 기판 상의 전극을 구동하는 동안 구동 전압을 줄이는 벽 전하를 제공하며, 유지 상태를 기억하는 기능을 제공하는 것이다. 유전체 층을 연소시켜(연소 온도를 565 ℃로, 그리고 연소 시간을 12분으로 함) 유전체 층 중에 함유된 유기물을 태워 없앤다. 전극의 방전 수명을 증대시키기 위해서는 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막을 추가로 만들어야 한다. MgO 보호 막은 주로 MgO로 이뤄지고, MgO 보호 막의 주된 기능은 방전 셀과 스크린의 다른 부분을 절연시켜 플라즈마 스크린의 발광 시에 전면 기판의 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극의 전극 부분이 이온에 의해 영향을 받는 것을 회피시킴으로써 그 아래에 있는 모든 재료를 보호하는 것이다. 또한, MgO 보호 막은 보다 더 높은 2차 전자 방출 효율을 제공하고, 가스 방전을 일으키는데 필요한 최소 활성화 전압을 줄여 주는데, MgO 보호 막의 두께는 5500 옹스트롬이다. 그와 같이 하여, 전면 기판을 마련 한다. 마련된 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고, 배기시키며, 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는다.
실시예 2 및 실시예 3의 제조 공정은 실시예 1과 동일하다.
실시예 2:
건조로에서 블랙 은 페이스트를 건조시키는 동안 건조 온도를 85 ℃로, 그리고 건조 시간을 18분으로 하고, 연소로에서 블랙 은 페이스트를 연소시키는 동안 연소 온도를 545 ℃로, 그리고 연소 시간을 25분으로 하여 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는데, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 4 마이크로미터로, 그리고 MgO 보호 막의 두께를 4000 옹스트롬으로 한다.
실시예 3:
건조로에서 블랙 은 페이스트를 건조시키는 동안 건조 온도를 95 ℃로, 그리고 건조 시간을 22분으로 하고, 연소로에서 블랙 은 페이스트를 연소시키는 동안 연소 온도를 560 ℃로, 그리고 연소 시간을 35분으로 하여 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는데, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 10 마이크로미터로, 그리고 MgO 보호 막의 두께를 7000 옹스트롬으로 한다.
사진 식각에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법은 다음의 단계를 포함한다(도 3을 참조):
1) 유리판을 세정하고, 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 노광기에서 유리판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키고 나서 현상하며, 그 후에 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층을 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애되, 연소 온도를 560 내지 570 ℃로, 그리고 연소 시간을 10 내지 15분으로 하는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계.
그러한 방법에서, BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정은 먼저 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 이어서 노광기에서 유리 판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시키며, 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 광 마스크 판으로부터 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역으로 전사시키고 나서 그것을 현상하고, 이어서 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다. 건조 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 건조 시간을 18 내지 22분으로 하고, 연소 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 연소 시간을 25 내지 32분으로 한다. BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 한다.
실시예 4:
디스플레이 스크린의 대각선이 50인치인 경우에 사진 식각 방법에 의해 가스 방전 스크린을 제조할 때에는 먼저 융점이 낮은 1개의 PD-200 유리 기판을 준비하여 사진 식각 방법에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만든다. 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 그 높이가 15 ㎛인 연속 막 층을 형성하고, 이어서 노광기에서 유리판 상의 그 연속 막 층을 BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 동시에 갖는 광 마스크에 의해 자외선 램프의 조사를 매개로 하여 노광시켜 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 광 마스크로부터 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역으로 전사시키고 나서 그것을 현상한다. 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는다. 건조 온도를 90 ℃로, 그리고 건조 시간을 20분으로 하고, 연소 온도를 550 ℃로, 그리고 연소 시간을 30분으로 한다. BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 6 마이크로미터로 한다. 그 후에, 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하는데, 유전체 층의 주성분의 조성은 PbO.B2O3.SiO2 유리 분말과 수지 접합제 등으로 이뤄지고, 유전체 층의 주된 기능은 AC를 사용하는 동안 커패시턴스를 하전하고, 전면 기판 상의 전극을 구동하는 동안 구동 전압을 줄이는 벽 전하를 제공하며, 유지 상태를 기억하는 기 능을 제공하는 것이다. 유전체 층을 연소시켜(연소 온도를 565 ℃로, 그리고 연소 시간을 12분으로 함) 유전체 층 중에 함유된 유기물을 태워 없앤다. 전극의 방전 수명을 증대시키기 위해서는 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막을 추가로 만들어야 한다. MgO 보호 막은 주로 MgO로 이뤄지고, MgO 보호 막의 주된 기능은 방전 셀과 스크린의 다른 부분을 절연시켜 플라즈마 스크린의 발광 시에 전면 기판의 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극의 전극 부분이 이온에 의해 영향을 받는 것을 회피시킴으로써 그 아래에 있는 모든 재료를 보호하는 것이다. 또한, MgO 보호 막은 보다 더 높은 2차 전자 방출 효율을 제공하고, 가스 방전을 일으키는데 필요한 최소 활성화 전압을 줄여 주는데, MgO 보호 막의 두께는 5500 옹스트롬이다. 그와 같이 하여, 전면 기판을 마련한다. 마련된 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고, 배기시키며, 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는다.
실시예 5 및 실시예 4의 제조 공정은 실시예 4와 동일하다.
실시예 5:
건조로에서 블랙 은 페이스트를 건조시키는 동안 건조 온도를 85 ℃로, 그리고 건조 시간을 18분으로 하고, 연소로에서 블랙 은 페이스트를 연소시키는 동안 연소 온도를 545 ℃로, 그리고 연소 시간을 25분으로 하여 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는데, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 4 마이크로미터로, 그리고 MgO 보호 막의 두께를 4000 옹스트롬으로 한다.
실시예 6:
건조로에서 블랙 은 페이스트를 건조시키는 동안 건조 온도를 95 ℃로, 그리 고 건조 시간을 22분으로 하고, 연소로에서 블랙 은 페이스트를 연소시키는 동안 연소 온도를 560 ℃로, 그리고 연소 시간을 35분으로 하여 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는데, BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 10 마이크로미터로, 그리고 MgO 보호 막의 두께를 7000 옹스트롬으로 한다.
전술된 방법은 임의의 크기의 가스 방전 디스플레이 스크린을 제조하는 공정에 사용되기 적합하다.
본 발명에 따른 가스 방전 스크린의 제조 방법은 BUS 전극을 만드는 공정과 블랙 스트립을 만드는 공정을 합침으로써 블랙 스트립과 BUS 전극을 한 번만 몰딩하는 것을 구현하고 있다. 그와 같이 하여, 패턴 정렬을 피하고, 패턴의 제조 정밀도 및 플라즈마 스크린의 화상 품질을 개선시키는 동시에, 제조 공정을 단순화시키고, 제조 효율을 높일 뿐만 아니라, 원료의 낭비를 삼가고, 장비의 투자와 제조 비용도 줄이게 된다.

Claims (8)

1) 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 스크린 마스크 내로 블랙 은 페이스트를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 유리판 상에 인쇄되도록 하고, 유리판 상에 인쇄된 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 블랙 은 페이스트 중의 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, ITO 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판 상의 BUS 전극과 블랙 스트립 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층 중에 함유된 유기물을 연소시켜 태워 없애는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 막을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 마련된 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계를 포함하는, 스크린 인쇄에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법에 있어서,
BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정을 BUS 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 동시에 갖는 스크린 마스크 상으로 블랙 은 페이스트를 주입하여 블랙 은 페이스트가 스크린 마스크를 건너가 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역 상에 인쇄되도록 하고, 유리판 상에 인쇄된 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제1항에 있어서,
블랙 은 페이스트를 건조시킬 때에 건조 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 시간을 18 내지 22분으로 하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제1항에 있어서,
블랙 은 페이스트 중에 함유된 유기물을 연소시킬 때에 연소 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 연소 시간을 25 내지 32분으로 하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제1항에 있어서,
BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
1) 사진 식각에 의해 유리판 상에 투명 전극을 만드는 단계;
2) 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 노광기에서 유리판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시 킨 후에 현상하며, 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 단계로서, ITO 투명 전극과 BUS 전극이 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극을 포함하는 방전 전극을 이루는 단계;
3) 유리판의 블랙 스트립과 BUS 전극 상에 유전체 층을 인쇄하고, 유전체 층을 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애는 단계;
4) 전자 빔 증착법에 의해 유전체 층 상에 MgO 보호 막을 만들어 전면 기판을 마련하는 단계; 및
5) 마련된 전면 기판과 배면 기판을 밀봉시키고 배기시키며 에이징하여 가스 방전 패널을 얻는 단계를 포함하는, 사진 식각에 의해 가스 방전 스크린을 제조하는 방법에 있어서,
BUS 전극과 블랙 스트립을 만드는 공정을 먼저 유리판 상에 감광 블랙 은 페이스트를 인쇄하여 연속 막 층을 형성하고, 이어서 노광기에서 유리 판 상의 그 연속 막 층을 패턴을 갖는 광 마스크 판에 의해 노광시켜 전극 패턴과 블랙 스트립 패턴을 광 마스크 판으로부터 유리판 상의 투명 전극의 외측 플랭크 및 X 유지 방전 전극과 Y 주사/유지 방전 전극 사이의 비방전 영역으로 전사시키고 나서 그것을 현상하며, 감광 블랙 은 페이스트를 건조 및 연소시켜 그 중에 함유된 유기물을 태워 없애 BUS 전극과 블랙 스트립을 얻는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 사진 식각에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제5항에 있어서,
감광 블랙 은 페이스트를 건조시키는 동안 건조 온도를 85 내지 95 ℃로, 그리고 건조 시간을 18 내지 22분으로 하는 것을 특징으로 하는 사진 식각에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제5항에 있어서,
블랙 은 페이스트 중에 함유된 유기물을 소결하는 동안 연소 온도를 540 내지 560 ℃로, 그리고 연소 시간을 25 내지 32분으로 하는 것을 특징으로 하는 사진 식각에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
제5항에 있어서,
BUS 전극과 블랙 스트립의 높이를 3 내지 10 마이크로미터로 하는 것을 특징으로 하는 사진 식각에 의한 가스 방전 스크린의 제조 방법.
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