KR100661208B1

KR100661208B1 - Probe assembly

Info

Publication number: KR100661208B1
Application number: KR1020050041136A
Authority: KR
Inventors: 요시에이 하세가와; 도모아키 구가; 히로키 사이토; 다카오 야스다; 하루타다 데와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-10-19
Filing date: 2005-05-17
Publication date: 2006-12-22
Also published as: JP4571517B2; CN100439925C; KR20060046076A; TW200613741A; TWI277740B; JP2006145514A; CN1763550A

Abstract

(과제) 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역이 오버 드라이브의 작용시에 휘어지기 쉬운 형상을 가지고 있음에도 불구하고 슬릿 바의 파손을 방지하는 것에 있다. (Problem) In order to prevent breakage of the slit bar even though the needle needle region pressed against the electrode of the inspected object has a shape that is likely to bend when the overdrive is applied.

(해결수단) 프로브 조립체는, 프로브를 이것의 배열방향으로 설치되는 가이드 바에 의해서 지지체에 지지시키고, 프로브의 선단측 침선영역을 슬릿 바의 슬릿에 배치하고, 가이드 바의 길이방향으로 개재되는 탄성체를 프로브와 지지체 또는 슬릿 바와의 사이에 배치하고 있다. 따라서, 프로브가 탄성체에 의해서 가이드 바에 압압되기 때문에, 가이드 바에 대한 프로브의 유극이 없어지게 되어 프로브의 기울어짐이 방지된다. (Solution means) The probe assembly supports the probe to the support by a guide bar provided in the arrangement direction thereof, arranges the needle tip region of the probe in the slit of the slit bar, and provides an elastic body interposed in the longitudinal direction of the guide bar. It is arrange | positioned between a probe and a support body or a slit bar. Therefore, since the probe is pressed against the guide bar by the elastic body, the clearance of the probe with respect to the guide bar is eliminated, and the inclination of the probe is prevented.

Description

Probe Assembly {PROBE ASSEMBLY}

도 1은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 1 실시예를 나타내는 사시도 1 is a perspective view showing a first embodiment of a probe assembly according to the present invention;

도 2는 도 1에 나타내는 프로브 조립체의 종단면도 FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the probe assembly shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 2에 나타내는 프로브 조립체의 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region on the tip side of the probe assembly shown in FIG. 2. FIG.

도 4는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 2 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 Fig. 4 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region on the tip side showing the second embodiment of the probe assembly according to the present invention.

도 5는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 3 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 Fig. 5 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region on the tip side, showing the third embodiment of the probe assembly according to the present invention.

도 6은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 4 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 Fig. 6 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region on the tip side showing the fourth embodiment of the probe assembly according to the present invention.

도 7은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 5 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 Fig. 7 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region on the tip side showing the fifth embodiment of the probe assembly according to the present invention.

도 8은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 6 실시예를 나타내는 종단면도 8 is a longitudinal sectional view showing a sixth embodiment of a probe assembly according to the present invention;

도 9는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 7 실시예를 나타내는 종단면도 9 is a longitudinal sectional view showing a seventh embodiment of a probe assembly according to the present invention.

도 10은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 8 실시예를 나타내는 종단면도 10 is a longitudinal sectional view showing an eighth embodiment of the probe assembly according to the present invention;

도 11은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 9 실시예를 나타내는 종단면도 11 is a longitudinal sectional view showing a ninth embodiment of the probe assembly according to the present invention.

도 12는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 10 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 12 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region at the tip side, showing a tenth embodiment of the probe assembly according to the present invention;

도 13은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 11 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도 Fig. 13 is an enlarged longitudinal sectional view of the vicinity of the needle line region at the distal end side of the eleventh embodiment of the probe assembly according to the present invention.

* 도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 - 프로브 조립체 12 - 지지체 10-probe assembly 12-support

14 - 프로브 16 - 가이드 바 14-Probe 16-Guide Bar

18 - 슬릿 바 20 - 가이드부재18-Slit Bar 20-Guide Element

22 - 사이드 커버 30 - 부착영역(중앙영역) 22-Side cover 30-Mounting area (center area)

32,34 - 침선영역(針先領域) 40 - 제 1 영역 32,34-needle zone 40-first zone

42 - 제 2 영역 44 - 제 3 영역42-Second Zone 44-Third Zone

46,48 - 요결부(凹缺部) 50,80,88 - 돌출부 46,48-Concave part 50,80,88-Protrusion

52 - 요결부(제 2 요결부) 54,82,86,90 - 하단면 52-Lubricating Part (Second Part) 54,82,86,90-Bottom

60 - 슬릿 62,92 - 오목부 60-Slit 62,92-Concave

64,94,96,98,100,102 - 탄성체 66 - 관통구멍64,94,96,98,100,102-Elastic 66-Through Hole

84 - 볼록부 84-convex

본 발명은 액정표시패널과 같은 평판형상의 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 조립체에 관한 것이다. The present invention relates to a probe assembly for use in inspecting a flat object such as a liquid crystal display panel.

액정표시패널과 같은 평판형상의 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 조립체의 하나로서, 밴드형상의 부착영역(중앙영역) 및 이 부착영역의 선단 및 후단에서 각각 전방 및 후방으로 연이어 형성되는 제 1 및 제 2 침선영역(針先領域)을 구비하는 블레이드 타입의 복수의 프로브(접촉자)를, 이것들의 부착영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 지지체(블록)의 하측에 부착영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치한 것이 있다(특허문헌 1). As one of the probe assemblies used for the inspection of a flat object such as a liquid crystal display panel, the band-shaped attachment region (center region) and the first and rear portions formed successively in front and rear at the front and rear ends of the attachment region, respectively; A plurality of blade-type probes (contactors) having a second needle point region are placed in parallel with the attachment region on the lower side of the support (block) in a state where the width direction of these attachment regions is in the vertical direction. There is one arrange | positioned normally (patent document 1).

(특허문헌 1) 일본국 공개특허 평10-132853호 공보 (Patent Document 1) Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-132853

상기 복수의 프로브는, 이것들의 부착영역에 관통되게 끼워짐과 아울러 지지체에 지지되는 가늘고 긴 1개 이상의 가이드 바에 의해서 지지체에 부착되어 있으며, 또 지지체의 선단측 및 후단측에 가이드 바의 길이방향으로 각각 부착되는 제 1 및 제 2 슬릿 바에 있어서의 이것들의 길이방향으로 간격을 두고서 형성된 복수의 슬릿에 제 1 및 제 2 침선영역이 끼워지도록 되어 있다. The plurality of probes are attached to the support by one or more elongated guide bars that are inserted through these attachment regions and supported by the support, and are provided in the longitudinal direction of the guide bar on the front and rear ends of the support. The first and second needle needle regions are fitted into a plurality of slits formed at intervals in these longitudinal directions in the first and second slit bars respectively attached.

제 1 침선영역은 선단측으로 갈수록 점차 가늘어 짐과 아울러 그 선단에 하측으로 돌출되는 침선(needle tip)을 가지고 있다. 제 2 침선영역은 후단측으로 갈수록 점차 가늘어 짐과 아울러 그 후단에 상측으로 돌출되는 침선을 가지고 있다. The first needle region is tapered toward the tip side and has a needle tip projecting downward on the tip. The second needle tip region becomes thinner gradually toward the rear end side and has a needle needle projecting upward at the rear end thereof.

프로브 조립체는 제 2 침선영역의 침선이 통전용 배선에 압압된 상태로 검사장치에 장착된다. The probe assembly is mounted to the inspection apparatus with the needle in the second needle region being pressed onto the wire for energization.

피검사체의 통전 시험시에 제 1 침선영역의 침선이 피검사체의 전극에 압압된다. 따라서, 제 1 침선영역이 이것에 작용하는 오버 드라이브(OD)에 의해서 휘어짐으로써 침선이 피검사체의 전극에 대해서 슬라이드된다.During the energization test of the subject, the needle in the first needle region is pressed against the electrode of the subject. Therefore, the needle needle is slid by the overdrive OD acting on the needle needle region so that the needle needle is slid with respect to the electrode of the inspected object.

블레이드 타입의 프로브는 이것을 포토 리소 기술이나 에칭 기술에 의해서 제작할 수 있기 때문에, 같은 기능을 가지는 프로브를 고정밀도로 대량으로 또한 저렴하게 제조할 수 있다는 이점을 가지고 있다. Since the blade-type probe can be produced by photolithography or etching, it has the advantage that a probe having the same function can be manufactured in high precision and in large quantities and inexpensively.

그러나, 이러한 종래의 프로브에 있어서는, 가이드 바와 이것이 관통하는 각 프로브와의 사이의 유극(play)을 완전히 없앨 수 없기 때문에, 각 프로브가 오버 드라이브에 의해서 지지체나 슬릿 바에 대해서 가이드 바의 길이방향으로 기울어지게 된다. However, in such a conventional probe, since the play between the guide bar and each probe it penetrates cannot be completely eliminated, each probe is inclined in the longitudinal direction of the guide bar with respect to the support or the slit bar by the overdrive. You lose.

이 결과, 제 1 침선영역이 불규칙적으로 휘어지게 되어, 제 1 슬릿 바가 피검사체나 프로브 조립체에 부착되어 있는 유리가루와 같은 이물질에 압압됨으로써, 이 슬릿 바의 일부, 특히 슬릿를 형성하고 있는 칸막이벽이 파손되거나 침선영역이 절손(折損)되는 일이 있다.As a result, the first needle line region is bent irregularly, and the first slit bar is pressed by a foreign material such as glass powder adhered to the object under test or the probe assembly, so that part of the slit bar, especially the partition wall forming the slit, It may be damaged or the needle tip area may be broken.

특히, 피검사체의 전극이 IZO(Indium Zinc Oxide)로 제작되어 있으면, 오버 드라이브의 작용시에 침선영역의 침선이 전극에 대해서 슬라이드되기 쉽다. 따라서, 종래의 프로브에서는 오버 드라이브에 기인하는 제 1 침선영역의 휨량이 많아 칸막이벽이 더 파손되기 쉬워지게 된다. In particular, when the electrode of the object under test is made of IZO (Indium Zinc Oxide), the needle needle in the needle needle region easily slides with respect to the electrode during the action of the overdrive. Therefore, in the conventional probe, the warpage amount of the first needle line region due to the overdrive is large, so that the partition wall is more likely to be damaged.

이 결과, 종래에 있어서는 피검사체나 프로브 조립체의 청소를 빈번하게 하여야 하였다. As a result, in the prior art, cleaning of the subject or the probe assembly has to be frequently performed.

본 발명의 목적은, 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역이 오버 드라이브의 작용시에 휘어지기 쉬운 형상을 가지고 있음에도 불구하고 슬릿 바의 파손을 방지하는 것에 있다. An object of the present invention is to prevent breakage of the slit bar even though the needle needle region pressed against the electrode of the inspected object has a shape that is easily bent at the time of the action of the overdrive.

본 발명에 관한 프로브 조립체는, 지지체와; 밴드형상의 부착영역과 이 부착영역의 선단에서 전방으로 연이어 형성되며 또한 상기 부착영역의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지는 밴드형상의 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 부착영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 부착영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치되는 복수의 프로브와; 상기 프로브의 부착영역에 이것의 두께방향으로 관통되게 끼워짐과 아울러 상기 지지체에 지지되는 가늘고 긴 가이드 바와; 상기 지지체의 선단측에 상기 가이드 바의 길이방향으로 부착되는 슬릿 바로서, 이것의 길이방향으로 간격을 두고서 하측으로 개방되게 형성되는 복수의 슬릿을 가지는 슬릿 바와; 상기 프로브와 상기 슬릿 바 또는 상기 지지체와의 사이에 상기 슬릿 바의 길이방향으로 개재되는 적어도 1개의 탄성체를 포함한다. 상기 프로브의 침선영역은 상기 슬릿에 끼워져 있다. Probe assembly according to the present invention, the support; A plurality of probes having a band-shaped attachment region and a band-shaped needle needle region formed in succession from the front end of the attachment region and having a width dimension smaller than the width dimension of the attachment region, the width direction of the attachment region is A plurality of probes arranged in parallel with the attachment area below the support in a vertical direction; An elongated guide bar fitted to the attachment region of the probe in the thickness direction thereof and supported by the support; A slit bar attached to the front end side of the support in the longitudinal direction of the guide bar, the slit bar having a plurality of slits formed to be opened downward at intervals in the longitudinal direction thereof; At least one elastic body interposed in the longitudinal direction of the slit bar between the probe and the slit bar or the support. The needle needle region of the probe is fitted in the slit.

본 발명에 관한 프로브 조립체에서 사용하는 프로브는 그 돌출부의 하단면을 피검사체의 전극에 대한 접촉개소로 하고 있다. 이와 같은 프로브는 침선영역의 폭치수가 부착영역의 폭치수보다 작기 때문에 휘어지기 쉽다. In the probe used in the probe assembly according to the present invention, the lower end face of the protruding portion is a contact point with respect to the electrode of the object under test. Such a probe tends to bend because the width dimension of the needle region is smaller than the width dimension of the attachment region.

그러나, 본 발명에 관한 프로브 조립체는 슬릿 바의 길이방향으로 개재되는 적어도 1개의 탄성체를 프로브와 슬릿 바 또는 지지체와의 사이에 배치하고 있기 때문에, 각 프로브가 상기 탄성체에 의해서 가이드 바에 압압됨으로써 각 프로브와 가이드 바와의 사이의 유격이 해소된다. However, in the probe assembly according to the present invention, since at least one elastic body interposed in the longitudinal direction of the slit bar is disposed between the probe and the slit bar or the support body, each probe is pressed against the guide bar by the elastic body so that each probe And the play between the guide bar and the guide bar are eliminated.

따라서, 프로브에 오버 드라이브가 작용하여도 프로브가 지지체나 슬릿 바에 대해서 가이드 바의 길이방향으로 기울어지는 것이 방지되며, 이 결과 침선영역이 불규칙적으로 휘어지는 것이 방지됨으로써 슬릿 바의 파손이나 침선영역의 절손이 방지된다. Therefore, even if an overdrive is applied to the probe, the probe is prevented from inclining in the longitudinal direction of the guide bar with respect to the support or the slit bar, and as a result, the needle region is prevented from being bent irregularly, thereby preventing breakage of the slit bar or loss of the needle region. Is prevented.

상기 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다. The elastic body may be disposed between the slit bar and the needle line region. In this case, since the needle tip region is in contact with the elastic body, the warpage of the needle needle region due to the overdrive is prevented by the elastic body. Therefore, the damage of the partition wall which forms the slit of a slit bar is prevented more reliably.

상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있어도 된다. The slit bar is formed in the longitudinal direction thereof and further has a recess opening downward, and the elastic body may be disposed in the recess.

상기 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다. The elastic body may be disposed between the attachment region and the support.

적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 일측의 탄성체는 상기 슬릿 바와 상 기 침선영역과의 사이에 배치되어 있고, 타측의 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다. At least two said elastic bodies are included, The elastic body of one side may be arrange | positioned between the said slit bar and the said needle | wire needle region, and the elastic body of the other side may be arrange | positioned between the said attachment area and the said support body. In this case, since the needle tip region is in contact with the elastic body, the warpage of the needle needle region due to the overdrive is prevented by the elastic body. Therefore, the damage of the partition wall which forms the slit of a slit bar is prevented more reliably.

상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 일측의 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있어도 된다The slit bar is formed in the longitudinal direction thereof and further has a recess opening downward, and the elastic body on one side may be disposed in the recess.

상기 프로브의 길이방향으로 간격을 둔 적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 양 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다.At least two said elastic bodies spaced in the longitudinal direction of the said probe are included, and both elastic bodies may be arrange | positioned between the said attachment area and the said support body.

상기 침선영역은 상기 부착영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 1 영역과, 이 제 1 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 2 영역으로서 상기 부착영역의 하단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 제 2 영역을 포함할 수 있다. The needle point area is a second area including a first area formed successively at the distal end of the attachment area and a second area formed successively at the distal end of the first area, the second area including a protrusion projecting below the lower edge of the attachment area. It may include.

상기 제 1 영역은 상측으로 개방되는 U자 형상의 요결부를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 영역의 상기 요결부가 형성된 개소의 폭치수를 다른 개소의 폭치수보다 작게 하여도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 요결부의 형성개소에서 더 휘어지기 쉬운 형상이 된다. The first region may include a U-shaped concave portion that is open upward. In this case, the width dimension of the location where the concave portion of the first region is formed may be smaller than the width dimension of the other location. By doing in this way, a needle | tip region becomes more likely to bend in the formation part of a concave part.

상기 제 1 영역의 상기 요결부가 형성된 개소의 폭치수는 다른 개소의 폭치수보다 작게 할 수 있다. The width dimension of the location where the said concave part of the said 1st area | region was formed can be made smaller than the width dimension of another location.

상기 제 2 영역은 상기 돌출부가 형성된 개소에 있어서 상측으로 개방되는 제 2 요결부를 더 포함하며, 상기 탄성체의 일부가 상기 제 2 요결부에 끼워져 있어도 된다. The said 2nd area | region also contains the 2nd concave part open | released upward at the location in which the said protrusion part was formed, and a part of the said elastic body may be fitted in the said 2nd concave part.

상기 돌출부의 하단면은 역사다리꼴의 하향면으로 되어 있어도 된다.The lower end surface of the said projection part may be a downward side of an inverted trapezoid.

또, 상기 돌출부는 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어져 있으며, 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하고 있어도 된다. 이와 같이 하면, 돌출부가 피검사체의 전극에 압압되었을 때, 양자가 확실하게 전기적으로 접속된다. Moreover, the said protrusion part may be provided with the lower end surface which inclines toward the front end side gradually toward the lower side, and gradually inclines upward toward the front end side. In this way, when the protrusion is pressed against the electrode of the inspected object, both of them are electrically connected reliably.

상기 돌출부는, 당해 돌출부에서 상기 부착영역의 길이방향으로 간격을 둔 볼록부로서 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 볼록부를 더 포함하며, 이 볼록부는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하고 있어도 된다. The protruding portion further includes a convex portion inclined toward the tip side toward the lower side as convex portions spaced in the longitudinal direction of the attachment region from the protruding portion, and the convex portion has a bottom surface gradually inclined upward toward the tip side. You may be.

상기 프로브는 상기 제 2 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 3 영역을 더 구비하며, 이 제 3 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 2 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있어도 된다. 이와 같이 하면, 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다. The probe further includes a third region that is formed successively at the distal end of the second region, the third region having a distal end surface that gradually slopes toward the second region toward the upper side, and the probe is configured to identify the distal end surface. You may protrude forward from a slit. In this way, the position of the needle line with respect to the electrode of the subject can be easily confirmed from above.

상기 제 2 영역은 장원형의 형상을 가지고 있으며, 상기 돌출부는 상기 장원형의 선단부에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가질 수 있다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확 인할 수 있다. The second region has an oblong shape, and the protruding portion may be formed at the tip of the oblong shape. In this case, the second region may have a front end surface gradually inclined toward the first region toward the upper side. Also in this case, by arranging the probe in the slit, the position of the needle line with respect to the electrode of the inspected object can be easily confirmed from above.

상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있어도 된다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다. The second region may have a tip surface that gradually inclines toward the first region toward the upper side, and the probe may protrude the tip surface forward from the slit. Also in this case, the position of the needle line with respect to the electrode of the object under test can be easily confirmed by arranging the probe in the slit.

상기 프로브는 상기 침선영역의 선단에서 하측으로 돌출되는 침선을 더 구비하고 있어도 된다. The probe may further include a needle bar that projects downward from the tip of the needle bar area.

(발명의 실시형태)Embodiment of the Invention

본 발명에 있어서는 부착영역의 폭방향을 상하방향이라 하고，부착영역에 대해서 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역의 측을 선단측이라 하고，통전용 배선에 압압되는 침선영역의 측을 후단측이라 한다. 그러나, 프로브 조립체의 실제 사용시에는 부착영역의 폭방향을 경사방향 또는 가로방향으로 하여도 되고, 상하방향을 반대로 하여 사용하여도 된다. In the present invention, the width direction of the attachment region is referred to as the up-down direction, the side of the needle tip region pressed against the electrode of the subject with respect to the attachment region is called the tip side, and the side of the needle needle region pressed against the wiring for the electricity transfer is the rear end side. do. However, in actual use of the probe assembly, the width direction of the attachment region may be in the inclined direction or the transverse direction, or may be used with the vertical direction reversed.

프로브 조립체(10)는 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이 대략 블록형상의 지지체(12)와, 지지체(12)의 하측에 병렬적으로 배치되는 밴드형상의 복수의 프로브(14)와, 프로브(14)를 관통하는 가늘고 긴 1쌍의 가이드 바(16)와, 프로브(14)의 일부가 끼워지는 1쌍의 슬릿 바(18)와, 프로브(14)의 후단측의 침선(34a)의 위치를 안정시키는 장척상의 가이드부재(20)와, 가이드 바(16)를 지지체(12)에 지지시키는 1쌍의 사이드 커버(22)를 포함한다. As shown in FIGS. 1 to 3, the probe assembly 10 includes a substantially block-shaped support 12, a plurality of band-shaped probes 14 arranged in parallel under the support 12, and a probe ( Positions of a pair of elongated guide bars 16 penetrating 14, a pair of slit bars 18 into which a portion of the probe 14 is fitted, and a needle tip 34a on the rear end side of the probe 14 A long guide member 20 for stabilizing and a pair of side covers 22 for supporting the guide bar 16 on the support 12.

지지체(12)는 나사구멍(24) 및 1쌍의 가이드 구멍(26)을 상면측에 가짐과 아 울러, 1쌍의 가이드 구멍(28)을 각 측면측에 가진다. 지지체(12)의 하면은 도 2에 나타낸 바와 같이 복수의 단차부에 의해서 계단형상으로 형성되어 있다. 지지체(12)는 전기가 통하지 않는 이른바 비도전성의 금속재료, 세라믹 또는 합성수지로 제작할 수 있다. The support 12 has a screw hole 24 and a pair of guide holes 26 on the upper surface side, and has a pair of guide holes 28 on each side surface. As shown in FIG. 2, the lower surface of the support 12 is formed in a step shape by a plurality of stepped portions. The support 12 may be made of a so-called non-conductive metal material, ceramic or synthetic resin, which is not electrically conductive.

각 프로브(14)는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 밴드형상의 중앙영역으로서 작용하는 부착영역(30)과, 이 부착영역(30)의 선단부 및 후단부에서 각각 전방 및 후방으로 연이어 형성되는 밴드형상의 1쌍의 침선영역(32 및 34)을 구비한다. Each of the probes 14 is formed successively forward and rearward at the front end and the rear end of the attachment region 30 serving as a band-shaped center region as shown in FIGS. 2 and 3, respectively. A pair of band-shaped needle point regions 32 and 34 are provided.

부착영역(30)은 가이드 바(16)가 관통되게 끼워지는 가이드 구멍(36)을 양 단부에 가지고 있음과 아울러, 부착영역(30)의 길이방향으로 간격을 두고서 관통되게 형성되는 복수의 장공(38)을 양 가이드 구멍(36) 사이에 가지고 있다. The attachment region 30 has a plurality of long holes formed at both ends thereof with guide holes 36 through which the guide bars 16 are inserted, and formed at intervals in the longitudinal direction of the attachment region 30. 38 is between the two guide holes 36.

도시한 예에서는 상기 가이드 구멍(36)이 원형으로 되어 있으나, 가이드 바(16)의 단면형상에 대응한 형상으로 할 수 있다. 또, 가이드 구멍(36)을 부착영역(30)의 길이방향으로 간격을 두고서 형성하여도 되고, 부착영역(30)의 길이방향으로 길게 형성되는 장공으로 하여도 된다. 후자의 경우, 장공(38)에 연속하는 긴 구멍으로 하여도 된다. In the example shown in figure, although the said guide hole 36 is circular, it can be made the shape corresponding to the cross-sectional shape of the guide bar 16. As shown in FIG. Further, the guide holes 36 may be formed at intervals in the longitudinal direction of the attachment region 30, or may be long holes formed in the longitudinal direction of the attachment region 30. In the latter case, it may be a long hole continuous to the long hole 38.

침선영역(32 및 34)은 각각 부착영역(30)의 길이방향에 있어서의 일단 및 타단의 상연부 및 하연부에서 전방 및 후방으로 연이어 형성되어 있으며, 또 부착영역(30)의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지고 있다. The needle point regions 32 and 34 are formed in succession forward and backward at the upper and lower edges of one end and the other end in the longitudinal direction of the attachment region 30, respectively, and smaller than the width dimension of the attachment region 30. It has a width dimension.

침선영역(32)은 도 3에 나타낸 바와 같이 부착영역(30)의 선단부에서 전방으로 연이어 형성되는 제 1 영역(40)과, 이 제 1 영역(40)의 선단부에서 전방으로 연 이어 형성되는 제 2 영역(42)과, 이 제 2 영역(42)의 선단부에서 전방으로 연이어 형성되는 제 3 영역(44)을 포함한다.As shown in FIG. 3, the needle line region 32 includes a first region 40 which is formed in front of the front end portion of the attachment region 30 and a first region which is formed in front of the front end portion of the first region 40. It comprises a second region 42 and a third region 44 which is formed in succession forward from the tip of the second region 42.

제 1 영역(40)은 상측으로 개방되는 U자형상의 요결부(凹缺部)(46)를 선단부에 구비하고 있음과 아울러, 하측으로 개방되는 원호형상의 요결부(48)를 기단부{부착영역(30)측의 부위)에 구비하고 있다.The first region 40 is provided with a U-shaped concave portion 46 that opens upward, and a proximal end of the arc-shaped concave portion 48 that opens downward. Part on the (30) side).

제 1 영역(40)의 요결부(46 및 48)가 형성된 개소의 폭치수는 제 1 영역(40)의 다른 개소의 폭치수보다 작다. 제 1 영역(40)의 요결부(46)가 형성된 개소는 부착영역(30)의 하단 가장자리보다 약간 하측으로 돌출되어 있다. The width dimension of the location where the concave parts 46 and 48 of the 1st area | region 40 were formed is smaller than the width dimension of the other location of the 1st area | region 40. FIG. The portion where the concave portion 46 of the first region 40 is formed protrudes slightly lower than the lower edge of the attachment region 30.

제 2 영역(42)은 부착영역(30)의 하단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부(50)를 구비하고 있음과 아울러, 상측으로 개방되는 원호형상의 요결부(52)를 돌출부(50)가 형성된 개소에 구비하고 있다. 돌출부(50)의 하단면(54)은 역사다리꼴의 하향면으로 되어 있다. The second region 42 has a protrusion 50 which protrudes below the lower edge of the attachment region 30, and has a protrusion 50 having an arc-shaped concave portion 52 that opens upward. It is provided in place. The lower end face 54 of the protrusion part 50 is an inverted downward face.

돌출부(50)의 하단면(54)은, 도시한 예에서는 피검사체의 전극과 평행한 수평면으로 되어 있으며, 그 전체를 피검사체의 전극에 대한 접촉부로 하고 있다. 그러나, 하단면(54)은 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지도록 수평면에 대해서 소정의 각도만큼 상측으로 경사져 있어도 된다. 이 경우, 하단면(54)의 일부가 피검사체의 전극에 대한 접촉부로서 작용한다. In the illustrated example, the lower end surface 54 of the protrusion part 50 is a horizontal plane parallel to the electrode of the inspected object, and the entirety thereof is a contact portion with respect to the electrode of the inspected object. However, the lower end surface 54 may be inclined upward by a predetermined angle with respect to the horizontal plane so as to gradually incline upward toward the tip side. In this case, a part of the lower end surface 54 acts as a contact part with respect to the electrode of a test subject.

제 3 영역(44)은 상측으로 갈수록 점차 제 2 영역(42)측으로 경사지는 선단면(56)을 가지고 있다. The third region 44 has a front end surface 56 that gradually inclines toward the second region 42 side toward the upper side.

침선영역(34)의 선단부는 도 2에 나타낸 바와 같이 상측으로 구부러져 있으 며, 그 끝이 첨예한 침선(34a)으로 되어 있다. 프로브(14)를 그 두께방향에서 보았을 때, 상기 침선(34a)은 삼각형의 형상을 가진다.The tip end of the needle point region 34 is bent upward as shown in Fig. 2, and its tip is a sharp needle point 34a. When the probe 14 is viewed in the thickness direction, the needle line 34a has a triangular shape.

프로브(14)는 도전성의 얇은 금속판에 에칭가공을 하여 프로브의 원형(原形)을 작성하고, 이어서 폴리이미드재와 같은 전기 절연성 재료에 의한 코팅을 프로브의 침선이 되는 부분을 제외하고 그 원형에 형성함에 의해서 제작할 수 있다. 그러나, 프로브(14)를 포토 리소 기술과 전기 도금 기술을 이용하여 제작하여도 된다. The probe 14 is etched on a conductive thin metal plate to form a prototype of the probe, and then a coating of an electrically insulating material such as a polyimide material is formed on the prototype except for the portion where the probe is needled. It can be produced by. However, the probe 14 may be manufactured using a photolithography technique and an electroplating technique.

프로브(14)는 그 부착영역(30)의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체(12)의 하측에 부착영역(30), 가이드 구멍(36) 및 장공(38)을 대향시켜서 병렬적으로 배치되어 있다. The probe 14 is arranged in parallel with the attachment area 30, the guide hole 36, and the long hole 38 at the lower side of the support 12 in a state where the width direction of the attachment area 30 is in the vertical direction. It is arranged.

각 가이드 바(16)는, 도시한 예에서는 원형의 단면형상을 가지고 있으며, 또 비도전성 금속재료에 의해서 형성되어 있다. 각 가이드 바(16)는 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 압입되며, 각 단부가 사이드 커버(22)의 관통구멍에 삽입됨으로써 양 사이드 커버(22)에 의해서 지지체(12)에 조립된다. Each guide bar 16 has a circular cross-sectional shape in the illustrated example, and is formed of a non-conductive metal material. Each guide bar 16 is press-fitted into the guide hole 36 of the probe 14 and is assembled to the support 12 by both side covers 22 by inserting each end into the through hole of the side cover 22. .

각 슬릿 바(18)는 그 길이방향으로 소정의 피치로 형성된 복수의 슬릿(60)을 가지고 있다. 각 슬릿(60)은 프로브(14)의 두께치수와 거의 같은 폭치수를 가지고 있으며, 또 슬릿 바(18)의 폭방향 전체에 걸쳐서 형성되어 있다. Each slit bar 18 has a plurality of slits 60 formed at a predetermined pitch in the longitudinal direction thereof. Each slit 60 has a width dimension substantially the same as the thickness dimension of the probe 14, and is formed over the entire width direction of the slit bar 18.

또, 선단측의 슬릿 바(18)는 그 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 홈형상의 오목부(62)를 가지고 있다. 오목부(62)에는 봉형상의 탄성체(64)가 그 일부를 슬릿(60)측으로 돌출시킨 상태로 슬릿 바(18)의 길이방향으로 끼워지도록 배치되어 있다. Moreover, the slit bar 18 of the front end side has the groove-shaped recessed part 62 formed in the longitudinal direction and opening downward. In the recessed part 62, the rod-shaped elastic body 64 is arrange | positioned so that it may fit in the longitudinal direction of the slit bar 18 in the part which protruded the part to the slit 60 side.

도시한 예에서는, 오목부(62)는 프로브(14)의 요결부(52)와 대향하는 반원형의 형상을 가지고 있고, 탄성체(64)는 원형의 단면형상을 가지고 있다. 그러나, 요결부(52), 오목부(62) 및 탄성체(64)는 다른 형상을 가지고 있어도 된다. In the example shown in figure, the recessed part 62 has the semicircular shape which opposes the concave part 52 of the probe 14, and the elastic body 64 has the circular cross-sectional shape. However, the concave portion 52, the concave portion 62 and the elastic body 64 may have different shapes.

슬릿 바(18)는 세라믹과 같은 비도전성 재료로 제작할 수 있다. 또, 각 슬릿(60)은 슬릿 바(18)를 지지체(12)에 장착하기 전에 또는 장착한 후에 형성할 수 있다.The slit bar 18 can be made of a non-conductive material such as ceramic. In addition, each slit 60 can be formed before or after mounting the slit bar 18 to the support body 12.

오목부(62)를 가지는 슬릿 바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지며, 슬릿(60)이 하측을 향하는 상태로 지지체(12)의 전단 하면에 접착된다. 후단측의 슬릿 바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지며, 슬릿(60)이 하측을 향하는 상태로 지지체(12)의 후단 하면에 접착된다. 그러나, 각 슬릿 바(18)를 지지체(12)에 1개 이상의 나사부재에 의해서 또는 끼워맞춤에 의해서 부착하여도 된다. The slit bar 18 having the recess 62 is placed in the array direction of the probe 14, and adhered to the front lower surface of the support 12 with the slit 60 facing downward. The slit bar 18 on the rear end side is placed in the arrangement direction of the probe 14, and is bonded to the rear end lower surface of the support 12 with the slit 60 facing downward. However, each slit bar 18 may be attached to the support 12 by one or more screw members or by fitting.

각 프로브(14)는, 선단면(56)이 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 전방으로 돌출됨과 아울러 침선(34a)이 후단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 후방으로 돌출되는 상태로, 침선영역(32 및 34)이 각각 선단측 및 후단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에 끼워져 있다. Each probe 14 has a tip end face 56 projecting forward from the slit 60 of the slit bar 18 on the tip side, and a needle line 34a slit 60 of the slit bar 18 on the rear end side. In the state of protruding rearward from the needle, the needle needle regions 32 and 34 are fitted to the slit 60 of the slit bar 18 on the front end side and the rear end side, respectively.

이 상태에서, 탄성체(64)는 그 일부가 침선영역(32)의 요결부(52)에 끼워져 있다. 그러나, 침선영역(32)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있고, 또 하단면(54)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 하측으로 돌출되어 있다. In this state, a part of the elastic body 64 is fitted into the concave portion 52 of the needle needle region 32. However, the needle point region 32 is spaced apart from the groove bottom of the slit 60 of the slit bar 18 at the tip side, and the lower surface 54 is at the slit 60 of the slit bar 18 at the tip side. It protrudes downward.

가이드부재(20)는 L자형의 단면형상을 가지고 있으며, 또한 가이드부재(20)의 길이방향으로 간격을 둔 복수의 관통구멍(66)(도 1 참조)을 L자형의 일측의 수평부분에 가진다. 가이드부재(20)는 폴리이미드재와 같은 비도전성의 필름으로 제작할 수 있고, 또 관통구멍(66)은 레이저 가공에 의해서 형성할 수 있다. The guide member 20 has an L-shaped cross section, and has a plurality of through holes 66 (see FIG. 1) spaced in the longitudinal direction of the guide member 20 in one horizontal part of the L-shape. . The guide member 20 can be made of a nonconductive film such as a polyimide material, and the through hole 66 can be formed by laser processing.

가이드부재(20)는, 각 침선(34a)이 관통구멍(66)을 관통하도록, L자형의 타측의 수직부분이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지는 상태로 복수의 나사부재(68)에 의해서 지지체(12)의 후단면 하부에 떼어내기 가능하게 부착되어 있다. 그러나, 가이드부재(20)를 지지체(12)에 끼워맞춤에 의해서 또는 접착에 의해서 부착하여도 된다. 가이드부재(20)는 없어도 된다. The guide member 20 is attached to the plurality of screw members 68 in a state in which the other vertical portion of the L-shape is placed in the arrangement direction of the probe 14 so that each needle 34a passes through the through hole 66. It is attached to the lower part of the rear end surface of the support body 12 so that detachment is possible. However, the guide member 20 may be attached to the support 12 by fitting or adhesion. The guide member 20 may be omitted.

각 사이드 커버(22)는 지지체(12)의 측면과 대응한 형상의 판부재로 형성되어 있으며, 1쌍의 가이드 핀(70)과 복수의 나사부재(72)에 의해서 지지체(12)의 측면에 떼어내기 가능하게 부착되어 있다. Each side cover 22 is formed of a plate member having a shape corresponding to the side surface of the support body 12, and is provided on the side surface of the support body 12 by a pair of guide pins 70 and a plurality of screw members 72. It is attached so that detachment is possible.

각 가이드 핀(70)은 지지체(12)에 형성된 가이드 구멍(28)에 고정되게 끼워져 있으며, 그 단부가 사이드 커버(22)에 형성된 가이드 구멍에 끼워맞춰지도록 되어 있다. 그러나, 가이드 핀(70)을 사이드 커버(22)에 고정하여도 된다. 사이드 커버(22)는 양 가이드 바(16)의 단부가 끼워지는 관통구멍을 가지고 있다. Each guide pin 70 is fitted into the guide hole 28 formed in the support body 12, and the edge part is fitted in the guide hole formed in the side cover 22. As shown in FIG. However, the guide pin 70 may be fixed to the side cover 22. The side cover 22 has a through hole into which the ends of both guide bars 16 are fitted.

도면에서는 서로 인접하는 프로브(14)가 크게 간격을 두고 있도록 도시되어 있으나, 실제로는 프로브(14)의 배열피치는 작다. 프로브(14)의 두께치수와 배열피치 및 슬릿(60)의 배치피치와 폭치수는 피검사체의 종류, 특히 전극의 배치피치와 폭치수에 따라서 상이하다. Although the drawings show that the adjacent probes 14 are spaced apart from each other, the pitch of the probes 14 is actually small. The thickness and arrangement pitch of the probe 14 and the arrangement pitch and width dimension of the slit 60 are different depending on the type of inspected object, in particular, the arrangement pitch and width dimension of the electrode.

프로브 조립체(10)는, 우선 양 슬릿 바(18)와 가이드부재(20)를 상기한 상태로 지지체(12)에 부착한 상태에서 각 프로브(14)의 양 단부를 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에 끼워넣음과 동시에 침선(34a)을 가이드부재(20)의 관통구멍(66)에 관통되게 끼우고, 이어서 가이드 바(16)를 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 관통되게 끼우고, 이어서 가이드 핀(70)을 사이드 커버(22)의 가이드 구멍에 끼움과 동시에 가이드 바(16)의 단부를 사이드 커버(22)의 관통구멍에 끼우고, 그 후 사이드 커버(22)를 나사부재(72)로 지지체(12)에 부착함으로써 조립할 수 있다. In the probe assembly 10, first, both slits of the slit bars 18 are connected to both ends of the probes 14 in the state in which both the slit bars 18 and the guide member 20 are attached to the support 12 in the above-described state. The needle bar 34a is inserted through the through hole 66 of the guide member 20 at the same time as being inserted into the 60, and then the guide bar 16 is penetrated through the guide hole 36 of the probe 14. Then, the guide pin 70 is inserted into the guide hole of the side cover 22 and the end of the guide bar 16 is inserted into the through hole of the side cover 22, and then the side cover 22 is It can be assembled by attaching to the support body 12 with the screw member 72. FIG.

따라서, 프로브(14) 및 가이드 바(16)가 사이드 커버(22)를 통해서 지지체(12)에 지지됨으로써, 각 프로브(14)는 그 두께방향을 가이드 바(16)의 길이방향으로 한 상태로 지지체(12)에 지지된다. Accordingly, the probe 14 and the guide bar 16 are supported by the support 12 through the side cover 22, so that each probe 14 has its thickness in the longitudinal direction of the guide bar 16. It is supported by the support 12.

이와 같이 조립된 상태에서는, 프로브(14)가 액정표시패널과 같은 피검사체의 전극의 배치패턴에 대응한 패턴으로 지지체(12)의 하측에 병렬적으로 배치되게 되고, 침선(34a)은 후단측의 슬릿 바(18)에서 후방으로 돌출된 후 가이드부재(20)의 관통구멍(66)을 통해서 상측으로 돌출되게 된다. In this assembled state, the probe 14 is arranged in parallel to the lower side of the support 12 in a pattern corresponding to the arrangement pattern of the electrodes of the object under test, such as a liquid crystal display panel, and the needle tip 34a is located at the rear end side. After protruding rearward from the slit bar 18, the protruding upward through the through hole 66 of the guide member 20.

또, 각 프로브(14)의 침선영역(32)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있음과 아울러 요결부(52)에서 탄성체(64)와 맞닿아 있다. 또, 각 프로브(14)의 선단면(56)은 선단측의 슬릿 바(18)에서 전방으로 돌출되어 있다. In addition, the needle region 32 of each probe 14 is spaced apart from the bottom of the groove of the slit 60 of the slit bar 18 at the tip side and is in contact with the elastic member 64 at the concave portion 52. . Moreover, the front end surface 56 of each probe 14 protrudes forward from the slit bar 18 of the front end side.

검사장치에 장착할 때, 프로브 조립체(10)는 그 침선(34a)이 TAB테이프(도시생략)의 통전용 배선에 약간 과잉되게 압압된 상태로 검사장치에 장착된다. 이것에 의해서, 각 프로브(14)는 침선영역(34)의 폭치수가 부착영역(30)의 폭치수보다 작 게 되어 있기 때문에 원호형상으로 뒤로 젖혀지게 되며, 따라서 각 침선(34a)은 통전용 배선에 확실하게 접촉된다. When attaching to the inspection apparatus, the probe assembly 10 is mounted to the inspection apparatus with its needle 34a slightly pressed against the live wiring of the TAB tape (not shown). As a result, the width of the probe region 34 is smaller than that of the attachment region 30, so that each probe 14 is rolled back in an arc shape, and thus each needle 34a is energized. The wires are securely contacted

프로브 조립체(10)를 검사장치에 장착할 때, 프로브 조립체(10)는 도 1에 나타낸 지지체(12)의 가이드 구멍(26)에 끼워지는 가이드 핀에 의해서 검사장치에 대한 위치결정이 이루어지며, 또 나사구멍(24)에 나사결합되는 나사부재에 의해서 검사장치에 떼어내기 가능하게 장착된다. 그러나, 프로브 조립체(10)를 다른 수법 및 다른 수단에 의해서 검사장치에 장착하여도 된다. When mounting the probe assembly 10 to the inspection apparatus, the probe assembly 10 is positioned with respect to the inspection apparatus by guide pins fitted into the guide holes 26 of the support 12 shown in FIG. 1, The screw member screwed into the screw hole 24 is detachably mounted to the inspection apparatus. However, the probe assembly 10 may be attached to the inspection apparatus by other techniques and other means.

프로브(14)를 교환할 때에는, 프로브 조립체(10)를 검사장치에서 떼어내고, 사이드 커버(22)를 지지체(12)에서 떼어내고, 가이드 바(16)를 빼내고, 교환해야할 프로브(14)를 제거하고, 이것 대신에 새로운 프로브(14)를 지지체(12)에 배치하고, 그 후 이미 설명한 수법에 따라서 프로브 조립체(10)를 조립하고, 이 프로브 조립체(10)를 검사장치에 장착하면 된다. 따라서, 프로브의 교환이 용이하게 된다. When replacing the probe 14, the probe assembly 10 is removed from the inspection apparatus, the side cover 22 is removed from the support 12, the guide bar 16 is removed, and the probe 14 to be replaced is removed. Instead, the new probe 14 may be placed on the support 12, and then the probe assembly 10 may be assembled according to the method described above, and the probe assembly 10 may be attached to the inspection apparatus. Therefore, replacement of the probe becomes easy.

검사시, 프로브 조립체(10)와 피검사체는 하단면(54)과 피검사체의 전극이 일치된 상태에서 하단면(54)이 피검사체의 전극에 약간 과잉되게 압압된다. 이 때, 선단면(56)이 슬릿(60)에서 전방으로 돌출되어 있기 때문에, 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다. In the test, the probe assembly 10 and the inspected object are pressed slightly excessively by the lower surface 54 to the electrode of the inspected object while the lower surface 54 and the electrode of the inspected object coincide. At this time, since the front end surface 56 protrudes forward from the slit 60, the position of the needle line with respect to the electrode of the subject can be easily confirmed from above.

하단면(54)이 피검사체의 전극에 압압되면, 오버 드라이브(OD)가 프로브(14)에 작용한다. 각 프로브(14)는 침선영역(32)의 폭치수, 특히 요결부(46)의 개소의 폭치수가 부착영역(30)의 폭치수보다 작기 때문에, 이와 같은 오버 드라이브에 의해서 침선영역(32)이 휘어지기 쉽다. When the lower surface 54 is pressed against the electrode of the object under test, the overdrive OD acts on the probe 14. Since each probe 14 has a width dimension of the needle region 32, in particular, the width dimension of the concave portion 46 is smaller than the width dimension of the attachment region 30, the needle region 32 is formed by such an overdrive. This is easy to bend.

그러나, 프로브(14)는 그 침선영역(32)이 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있음과 아울러 요결부(52)에서 탄성체(64)와 맞닿아 있다. 따라서, 오버 드라이브에 의한 침선영역(32)의 휘어짐이 탄성체(64)에 의해서 저지된다. However, the probe 14 is in contact with the elastic member 64 at the concave portion 52 while the needle region 32 is separated from the bottom of the groove of the slit 60 of the slit bar 18 at the tip side. . Therefore, the warpage of the needle needle region 32 due to the overdrive is prevented by the elastic body 64.

이 결과, 침선영역(32)의 변형이 저지되기 때문에, 피검사체의 전극에 대한 하단면(54)의 슬라이드 양도 적다. 이와 같이 접촉부로서 작용하는 하단면(54)의 슬라이드 양이 적은 프로브(14)에 의하면, 오버 드라이브가 작용하여도 슬릿 바(18)가 피검사체에 크게 접근하는 것이 방지됨으로써 유리가루 등에 기인하는 슬릿 바(18)의 슬릿(60)을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 방지된다. As a result, since deformation of the needle region 32 is prevented, the amount of slide of the lower end surface 54 with respect to the electrode of the inspected object is also small. Thus, according to the probe 14 with a small amount of slide of the lower end surface 54 which acts as a contact part, the slit bar 18 which prevents the slit bar 18 from approaching to a to-be-tested object largely even when an overdrive acts, and it originates in glass powder etc. The breakage of the partition wall which forms the slit 60 of the bar 18 is prevented.

또, 프로브(14)는 탄성체(64)에 의해서 가이드 바(16)에 압압됨으로써, 프로브(14)와 적어도 선단측의 가이드 바(16)와의 사이의 유극이 해소된다. 따라서, 프로브(14)에 오버 드라이브가 작용하여도 프로브(14)가 지지체(12)나 선단측의 슬릿 바(18)에 대해서 가이드 바(16)의 길이방향으로 기울어지는 것이 방지된다. Moreover, the probe 14 is pressed by the elastic bar 64 by the guide bar 16, and the clearance gap between the probe 14 and the guide bar 16 of the front end side at least is eliminated. Therefore, even if an overdrive acts on the probe 14, the probe 14 is prevented from inclining in the longitudinal direction of the guide bar 16 with respect to the support 12 or the slit bar 18 on the front end side.

이 결과, 침선영역(32)의 불규칙적인 휘어짐이 방지됨으로써, 선단측의 슬릿 바(18)의 파손이나 침선영역(32)의 절손이 확실하게 방지된다. As a result, irregular curvature of the needle tip region 32 is prevented, thereby reliably preventing breakage of the slit bar 18 on the tip side and cutting of the needle tip region 32.

하단면(54)이 역사다리꼴의 하향면으로 된 돌출부(50)로 하는 것 대신에 다른 형상을 가지는 돌출부로 하여도 된다. The lower surface 54 may be a protrusion having a different shape instead of the protrusion 50 having an inverted trapezoidal downward surface.

도 4에 나타낸 돌출부(80)는 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 돌출형상으로 형성되어 있다. 또, 이 돌출부(80)는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는, 즉 수평면에 대해서 θ1의 각도만큼 상측으로 경사진 하단면(82)을 구비하고 있으며, 이 하단면(82)의 일부를 접촉부로 하고 있다. 이와 같은 돌출부(80)에 의하면, 이것이 피검사체의 전극에 압압되었을 때, 양자가 확실하게 전기적으로 접속된다. The protrusion part 80 shown in FIG. 4 is formed in the protrusion shape which gradually inclines to the front end side toward the lower side. Moreover, this protrusion part 80 has the lower end surface 82 which inclines upward gradually toward the front end side, ie, inclined upwards by the angle of (theta) 1 with respect to a horizontal surface, and part of this lower end surface 82 is a contact part. Doing. According to such a protruding portion 80, when this is pressed against the electrode of the inspected object, both of them are electrically connected reliably.

도 5에 나타낸 프로브(14)는 돌출부(80)에서 부착영역(30)의 길이방향 후방(전방이어도 된다)으로 간격을 둔 볼록부(84)를 제 2 영역(42)에 더 가진다. 볼록부(84)는 돌출부(80)와 마찬가지로 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 돌출형상으로 형성되어 있다. 또, 이 볼록부(84)는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는, 즉 수평면에 대해서 θ2의 각도만큼 상측으로 경사진 하단면(86)을 구비하고 있다. 이 θ2는 θ1과 같아도 되고 상이하여도 된다. The probe 14 shown in FIG. 5 further has convex portions 84 in the second region 42 spaced apart from the protrusions 80 in the longitudinal direction (may be the front side) of the attachment region 30. The convex portion 84 is formed in a protruding shape inclined toward the tip side gradually toward the lower side, similarly to the protruding portion 80. Moreover, this convex part 84 is provided with the lower end surface 86 which inclines upward gradually toward the front end side, ie, inclined upwards by the angle of (theta) 2 with respect to a horizontal plane. This θ2 may be the same as or different from θ1.

도 6에 나타낸 프로브(14)에서는 제 2 영역(42)이 장원형의 형상을 가지고 있으며, 돌출부(88)는 장원형의 선단부에 형성되어 있다. 돌출부(88)의 하단면(90)은 선단측으로 갈수록 수평면에 대해서 점차 하측으로 경사져 있으며, 그 선단을 피검사체의 전극에 대한 접촉부로 하고 있다. In the probe 14 shown in FIG. 6, the second region 42 has an oblong shape, and the protruding portion 88 is formed at the tip of the oblong shape. The lower end surface 90 of the protruding portion 88 is gradually inclined downward with respect to the horizontal plane toward the tip side, and the tip end thereof is a contact portion with respect to the electrode of the inspected object.

도 6에 나타낸 프로브(14)는 제 3 영역을 구비하고 있지 않다. 따라서, 상측으로 갈수록 점차 제 1 영역(40)측으로 경사지는 선단면(56)이 제 2 영역(42)에 형성되어 있다. The probe 14 shown in FIG. 6 does not have a 3rd area. Therefore, the front end surface 56 which inclines toward the 1st area | region 40 toward the upper side is formed in the 2nd area | region 42. As shown in FIG.

도 3 내지 도 5에 나타낸 실시예에서도 선단면(56)을 제 2 영역(42)에 형성하고, 제 3 영역(44)을 구비하지 않아도 된다. 또, 도 3 내지 도 6에 나타낸 실시예에서도 상측으로 갈수록 점차 제 1 영역(40)측으로 경사지는 선단면(56)을 구비하지 않아도 된다. In the embodiment shown in FIGS. 3 to 5, the tip end face 56 may be formed in the second region 42, and the third region 44 may not be provided. In addition, in the embodiment shown in FIGS. 3-6, it is not necessary to provide the front end surface 56 which inclines toward the 1st area | region 40 gradually upward.

도 3 내지 도 5에 나타낸 실시예에서도 오목부(62)를 장방형의 단면형상으로 하고, 이 오목부의 단면형상에 대응한 장방형의 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다. 또, 도 6에 나타낸 실시예에서는 오목부(92)를 원호상의 단면형상으로 하고, 이 오목부의 단면형상에 대응한 원형의 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다. In the embodiment shown in Figs. 3 to 5, the concave portion 62 may have a rectangular cross-sectional shape, and an elastic body having a rectangular cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of the concave portion may be used. In addition, in the embodiment shown in FIG. 6, the recessed part 92 may be made into the circular cross section shape, and the elastic body which has the circular cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of this recessed part may be used.

도 6에 나타낸 프로브(14)를 사용할 경우에는 도 7에 나타낸 바와 같이 탄성체(94) 및 요결부(46 및 48)을 구비하지 않아도 된다. When using the probe 14 shown in FIG. 6, it is not necessary to provide the elastic body 94 and the concave parts 46 and 48, as shown in FIG.

도 8에 나타낸 프로브 조립체(10)와 같이 탄성체(64)를 침선영역(32)과 선단측의 슬릿 바(18)와의 사이에 배치할 뿐만 아니라, 탄성체(96)를 프로브(14)의 부착영역(30)과 지지체(12)의 하면과의 사이에 배치하여도 된다. 탄성체(96)는, 도시한 예에서는 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작되어 있다.Like the probe assembly 10 shown in FIG. 8, the elastic body 64 is not only disposed between the needle needle region 32 and the slit bar 18 on the tip side, but also the elastic body 96 is attached to the probe 14. You may arrange | position between 30 and the lower surface of the support body 12. FIG. In the illustrated example, the elastic body 96 is made of a rubber material such as silicone rubber in a plate shape.

이와 같이 복수의 탄성체(64,96)를 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하면, 프로브(14)는 탄성체(64,96)에 의해서 후단측에서도 후단측의 가이드 바(16)에 압압되기 때문에, 기울어짐을 확실하게 방지할 수 있다.When the plurality of elastic bodies 64 and 96 are arranged at intervals in the longitudinal direction of the probe 14 in this manner, the probe 14 is pressed by the elastic bodies 64 and 96 to the guide bar 16 on the rear end side even at the rear end side. As a result, the inclination can be reliably prevented.

탄성체(64)를 침선영역(32)과 선단측의 슬릿 바(18)와의 사이에 배치하는 것 대신에, 도 9에 나타낸 바와 같이 2개의 탄성체(96,96)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하여도 된다. Instead of arranging the elastic body 64 between the needle point region 32 and the slit bar 18 on the tip side, as shown in FIG. 9, the two elastic bodies 96 and 96 are attached to the probe 14 and the support ( You may arrange | position at intervals in the longitudinal direction of the probe 14 between 12).

또, 도 10에 나타낸 바와 같이 2개의 탄성체(96,96)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하고, 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작된 다른 탄성체(98)를 침선영역(32)과 슬릿 바 (18)와의 사이에 배치하여도 된다.As shown in FIG. 10, two elastic bodies 96 and 96 are disposed between the probe 14 and the support 12 at intervals in the longitudinal direction of the probe 14, and a rubber material such as silicone rubber is used. Another elastic body 98 produced in the shape of a plate may be disposed between the needle needle region 32 and the slit bar 18.

또한, 도 11에 나타낸 바와 같이 부착영역(30)의 길이치수와 거의 같은 정도의 폭치수를 가지는 탄성체(100)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 배치하여도 된다. 이 탄성체(100)도 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작되어 있다.As shown in FIG. 11, an elastic body 100 having a width dimension almost the same as the length dimension of the attachment region 30 may be disposed between the probe 14 and the support 12. This elastic body 100 is also produced in plate shape by the rubber material like silicone rubber.

도 9 내지 도 11에 나타낸 실시예에서도 프로브(14)가 선단측 및 후단측 모두에서 가이드 바(16 및 16)에 압압되기 때문에, 기울어짐을 확실하게 방지할 수 있다. In the embodiments shown in FIGS. 9 to 11, since the probe 14 is pressed against the guide bars 16 and 16 on both the front end side and the rear end side, the inclination can be reliably prevented.

그러나, 도 12에 나타낸 바와 같이 탄성체(96)를 프로브(14)의 부착영역(30)과 지지체(12)의 하면과의 사이에만 배치하여도 된다. However, as shown in FIG. 12, the elastic body 96 may be disposed only between the attachment region 30 of the probe 14 and the lower surface of the support 12.

상기한 원형 또는 장방형의 단면형상을 가지는 탄성체(64,96,98,100)를 사용하는 것 대신에 반원형, 육각형, 장원형, 타원형 등 다른 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다. Instead of using the elastic bodies 64, 96, 98, and 100 having the circular or rectangular cross-sectional shapes described above, elastic bodies having other cross-sectional shapes such as semicircular, hexagonal, oblong and elliptical may be used.

도 13에 나타낸 실시예에서는 반원형의 단면형상을 가지는 탄성체(102)를 사용하고 있다.In the embodiment shown in Fig. 13, an elastic body 102 having a semicircular cross-sectional shape is used.

도 9 내지 도 13에 나타낸 실시예에서 사용되고 있는 프로브(14)는, 침선영역(32)이 부착영역(30)의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지고 있고, 침선(32a)이 침선영역(32)의 선단에서 하측으로 구부러져 있다. The probe 14 used in the embodiments shown in FIGS. 9 to 13 has a width dimension where the needle region 32 is smaller than the width dimension of the attachment region 30, and the needle line 32a is the needle region 32. It is bent downward from the tip of

또, 도 9 내지 도 13에 나타낸 실시예에서 사용되고 있는 프로브(12)는 부착영역(30)에 장공(38)을 가지고 있지 않으나, 이와 같은 장공(38)을 부착영역(30)에 형성하여도 된다. In addition, although the probe 12 used in the embodiment shown in FIGS. 9-13 does not have the long hole 38 in the attachment area 30, even if such a long hole 38 is formed in the attachment area 30, do.

본 발명은 액정표시패널뿐만 아니라 그 유리 기판, 유기 EL 등의 다른 표시용 기판과 같은 다른 평판상의 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다. The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel but also to a probe and a probe assembly for use in inspection of another flat object such as a glass substrate, another display substrate such as an organic EL.

본 발명은 액정표시패널이나 유기 EL 등의 표시용 패널의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체 뿐만 아니라, 집적회로와 같은 다른 평판상의 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다. The present invention can be applied not only to probes and probe assemblies used for inspection of display panels such as liquid crystal display panels and organic EL, but also to probes and probe assemblies used for inspection of other plate-like objects under test such as integrated circuits.

적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 일측의 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있고, 타측의 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다. At least two said elastic bodies are included, One elastic body may be arrange | positioned between the said slit bar and the said needle | wire needle | wire region, and the other elastic body may be arrange | positioned between the said attachment | attachment area | region and the said support body. In this case, since the needle tip region is in contact with the elastic body, the warpage of the needle needle region due to the overdrive is prevented by the elastic body. Therefore, the damage of the partition wall which forms the slit of a slit bar is prevented more reliably.

상기 침선영역은 상기 부착영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 1 영역과, 이 제 1 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 2 영역으로서 상기 부착영역의 하 단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 제 2 영역을 포함할 수 있다. The needle point region includes a first region successively formed at the front end of the attachment region and a second region successively formed at the front end of the first region, and includes a protrusion protruding downward from the lower edge of the attachment region. It can include an area.

상기 제 2 영역은 장원형의 형상을 가지고 있으며, 상기 돌출부는 상기 장원형의 선단부에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가질 수 있다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다. The second region has an oblong shape, and the protruding portion may be formed at the tip of the oblong shape. In this case, the second region may have a front end surface gradually inclined toward the first region toward the upper side. Also in this case, the position of the needle line with respect to the electrode of the object under test can be easily confirmed by arranging the probe in the slit.

상기 프로브는 상기 침선영역의 선단에서 하측으로 돌출되는 침선을 더 구비하고 있어도 된다.The probe may further include a needle bar that projects downward from the tip of the needle bar area.

Claims

With a support,

A plurality of probes having a band-shaped attachment region and a band-shaped needle needle region formed in succession from the front end of the attachment region and having a width dimension smaller than the width dimension of the attachment region, the width direction of the attachment region is A plurality of probes arranged in parallel by opposing the attachment region to the lower side of the support in a state of being up and down;

An elongated guide bar inserted into the attachment region of the probe in the thickness direction thereof and supported by the support;

A slit bar attached to the front end side of the support in the longitudinal direction of the guide bar, the slit bar having a plurality of slits formed to be opened downward at intervals in the longitudinal direction thereof;

At least one elastic body interposed between the probe and the slit bar or the support in the longitudinal direction of the slit bar,

And said probe has a needle point region fitted in said slit.

The probe assembly of claim 1, wherein the elastic body is disposed between the slit bar and the needle line region.

The probe assembly of claim 2, wherein the slit bar further has a recess formed in its longitudinal direction and open downward, and the elastic body is disposed in the recess.

The probe assembly of claim 1, wherein the elastic body is disposed between the attachment region and the support.

The probe of claim 1, further comprising at least two elastic bodies, wherein one elastic body is disposed between the slit bar and the needle line region, and the other elastic body is disposed between the attachment region and the support. Assembly.

The probe assembly according to claim 5, wherein the slit bar further has a recess formed in the longitudinal direction thereof and opened downward, and the elastic body on one side is disposed in the recess.

The probe assembly of claim 1, comprising at least two said elastic bodies spaced in the longitudinal direction of said probe, both elastic bodies being disposed between said attachment region and said support.

2. The protrusion region of claim 1, wherein the needle point region is a first region successively formed at the front end of the attachment region and a second region successively formed at the front end of the first region. Probe assembly comprising a second region having a.

The probe assembly of claim 8, wherein the first region has a U-shaped concave portion that is open upward.

The probe assembly according to claim 9, wherein the width dimension of the portion where the concave portion of the first region is formed is smaller than the width dimension of the other portion.

The probe assembly according to claim 8, wherein the second region further includes a second concave portion that is opened upward at a portion where the protrusion is formed, and a portion of the elastic body is fitted to the second concave portion.

The probe assembly of claim 8, wherein the bottom surface of the protrusion is a downward side of an inverted trapezoid.

The probe assembly of claim 8, wherein the protrusion has a bottom surface which is gradually inclined toward the tip side toward the bottom side and gradually inclined upward toward the tip side.

15. The method of claim 13, wherein the protrusions are convex portions spaced in the longitudinal direction of the attachment region in the protrusions further comprises a convex portion that gradually inclined toward the tip side toward the lower side, the convex portion is gradually inclined upward toward the tip side Probe assembly having a bottom surface.

The method of claim 8, wherein the probe further comprises a third region formed successively at the tip of the second region, the third region has a front end surface which is gradually inclined toward the second region toward the upper side, the probe is And a probe assembly protruding forward from the slit.

The probe assembly of claim 8, wherein the second region has an oblong shape, and the protrusion is formed at the tip of the oblong shape.

17. The probe assembly of claim 16, wherein the second region has a tip surface that slopes upward toward the first region and protrudes the tip surface forward from the slit.

The probe assembly of claim 8, wherein the probe has a needle line protruding downward from a tip of the needle needle area.