KR101158763B1 - Blade type probe block - Google Patents

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Abstract

본 발명은 블레이드타입 프로브블록에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록에 관한 것이다.
본 발명에 의한 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서, 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부; 상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및 상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며, 상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성된다. The present invention relates to a blade-type probe block, and more particularly, to a blade-type probe block that can be prevented from sliding when the tip of the blade contacts the electrode of the object.
A blade type probe block for inspecting a test object having a two-row electrode according to the present invention, the body; A first fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals; A first row blade inserted into and fixed to the slit of the first fixing part; A second fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals; And a second thermal blade inserted into and fixed to the slit of the second fixing portion, wherein the protrusion is formed on the first thermal blade, and the stopper further restricts the displacement of the protrusion on the first fixing blade. do.

Description

블레이드타입 프로브블록{BLADE TYPE PROBE BLOCK}Blade type probe block {BLADE TYPE PROBE BLOCK}

본 발명은 블레이드타입 프로브블록에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록에 관한 것이다. The present invention relates to a blade-type probe block, and more particularly, to a blade-type probe block that can be prevented from sliding when the tip of the blade contacts the electrode of the object.

일반적으로 평판표시소자나 반도체 등의 제조공정에서는 수차례의 전기적 검사를 한다. In general, in the manufacturing process of a flat panel display device, a semiconductor, etc., several electrical inspections are performed.

이 중 평판표시소자는 TFT기판과 칼라필터기판 사이에 액정을 주입하는 셀공정과, 셀에 구동IC를 부착하는 모듈공정과, 모듈에 프레임을 장착하는 세트공정으로 이루어지는데, 예를 들어 모듈공정 전에 셀의 전기적 검사를 수행하게 된다. The flat panel display device includes a cell process for injecting liquid crystal between a TFT substrate and a color filter substrate, a module process for attaching a driving IC to the cell, and a set process for mounting a frame in the module. An electrical test of the cell is performed before.

보다 구체적으로 설명하면, 셀의 자장자리 부분에는 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수십 내지 수 백개의 전극들이 고밀도로 배치되는 패드가 복수개 형성되는데, 이러한 셀의 패드에 구동IC를 부착하기 전에 셀의 전기적 검사를 수행하는 것이다. In more detail, a plurality of pads having a high density of tens to hundreds of electrodes for applying electrical signals (video signals, synchronization signals, color signals, etc.) are formed in the magnetic field of the cell. The electrical inspection of the cell is performed before the driver IC is attached to the device.

도 1은 일반적인 액정패널의 셀(100)을 나타낸 것이다. 셀(100)은 TFT기판(110)과 칼라필터기판(120)이 합착되어 구성되며, 상기 TFT기판(110)의 양측 단부에는 구동IC가 부착되는 복수개의 패드(130)가 형성된다. 1 illustrates a cell 100 of a general liquid crystal panel. The cell 100 includes a TFT substrate 110 and a color filter substrate 120 bonded to each other, and a plurality of pads 130 having driving ICs are formed at both ends of the TFT substrate 110.

도 2는 액정패널의 패드(130)를 개략적으로 나타낸 것으로서, 도시된 바와 같이, 패드(130)는 복수개의 전극(131)들이 형성된다. 2 schematically illustrates the pad 130 of the liquid crystal panel. As illustrated, the pad 130 has a plurality of electrodes 131 formed thereon.

도 3 및 도 4는 액정패널 등의 피검사체를 전기적으로 검사하는 프로브블록(200)을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 베이스에 장착되는 매니퓰레이터(210)와, 상기 매니퓰레이터의 선단 하부에 구비되는 몸체(220)와, 상기 몸체(220)의 하부에 구비되는 블레이드(230)와, 상기 블레이드(230)의 일단에 전기적으로 연결되는 구동IC(240)와 FPC(250)를 포함한다. 3 and 4 illustrate a probe block 200 for electrically inspecting a test object such as a liquid crystal panel. As shown, the manipulator 210 mounted on the base, the body 220 provided on the lower end of the manipulator, the blade 230 provided on the lower portion of the body 220, and the blade 230 The drive IC 240 and the FPC 250 are electrically connected to one end of the.

상기 메니퓰레이터(210)는 몸체(220)를 지지하고 정렬하며, 몸체에 가해지는 구동압력을 조절한다. The manipulator 210 supports and aligns the body 220 and adjusts the driving pressure applied to the body.

상기 구동IC(240)는 PCB(미도시)에서 인가받은 신호를 피검사체를 구동하는 구동신호로 바꾸는 역할을 한다. The driving IC 240 converts a signal applied from a PCB (not shown) into a driving signal for driving an inspected object.

상기 블레이드(230)의 양단에는 각각 팁(231,232)이 형성되는데, 선단에 형성된 팁(231)은 피검사체의 패드에 형성된 전극에 일대일 접촉한다. 또한 후단에 형성된 팁(232)은 구동IC(240)의 배선에 일대일 접촉한다. 이 상태에서 구동IC(240)를 통해 검사신호를 인가하여 피검사체의 정상작동 여부를 검사하는 것이다. Tips 231 and 232 are formed at both ends of the blade 230, and the tips 231 formed at the tip contact one-to-one with the electrodes formed on the pads of the object under test. In addition, the tip 232 formed at the rear end is in one-to-one contact with the wiring of the driving IC 240. In this state, the test signal is applied through the driving IC 240 to check whether the test object is normally operated.

한편, 근래에는 도 5에 도시된 바와 같이, 패드(140)의 전극을 미세피치로 형성하기 위하여 2열로 형성하는 경우가 있다. 이 경우, 제1열전극(141)과 제2열전극(142)은 지그재그로 배치된다. On the other hand, as shown in FIG. 5, in some cases, the electrodes of the pad 140 may be formed in two rows to form a fine pitch. In this case, the first column electrode 141 and the second column electrode 142 are arranged in a zigzag.

도 6은 도 5에 도시된 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 종래의 프로브블록(300)을 나타낸 것이다. 이를 참조하면, 몸체(310)와, 상기 몸체의 선단에 구비되는 제1열블레이드(330)와, 제2열블레이드(350)와, 제1열블레이드(330)를 소정간격으로 배치하는 제1고정부(320)와, 제2열블레이드(350)를 소정간격으로 배치하는 제2고정부(340)를 포함한다. FIG. 6 illustrates a conventional probe block 300 for inspecting a test object having a two-row electrode shown in FIG. 5. Referring to this, the first to arrange the body 310, the first row blade 330, the second row blade 350 and the first row blade 330 provided at the front end of the body at predetermined intervals The fixing part 320 and the second fixing blade 340 for arranging the second row blade 350 at predetermined intervals are included.

상기 제1열블레이드(330)와 제2열블레이드(350)는 수평상태로 평행하게 배치된다. The first row blade 330 and the second row blade 350 are arranged in parallel in a horizontal state.

상기 제1열블레이드(330)의 선단측 팁(331)은 피검사체의 제2열전극(도 5의 142)에 접촉하고, 상기 제2열블레이드(350)의 선단측 팁(351)은 피검사체의 제1열전극(도 5의 141)에 접촉한다. 또한 제1열블레이드(330) 및 제2열블레이드(350)의 후단측 팁(332,352)은 각각 구동IC의 배선부에 전기적으로 연결된다. The tip 331 of the first row blade 330 contacts the second column electrode 142 of FIG. 5, and the tip 351 of the second row blade 350 is inspected. The first column electrode 141 of FIG. 5 is in contact with the body. In addition, the rear end tips 332 and 352 of the first row blade 330 and the second row blade 350 are electrically connected to the wiring portion of the driving IC, respectively.

또한 상기 제1고정부(320)에는 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되어 상기 제1열블레이드(330)가 각 슬릿에 끼워져 정렬된다. 마찬가지로 상기 제2고정부(340)에는 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되어 상기 제2열블레이드(350)가 각 슬릿에 끼워져 정렬된다. In addition, a plurality of slits are formed in the first fixing part 320 at predetermined intervals so that the first row blades 330 are fitted to each of the slits. Similarly, a plurality of slits are formed in the second fixing part 340 at predetermined intervals so that the second thermal blades 350 are fitted to each of the slits.

도 7을 참조하여 도 6에 도시된 프로브블록의 사용상태를 설명한다. 도시된 바와 같이, 피검사체(P)에 형성된 제1열전극에 제2열블레이드(350)를 접촉하고, 피검사체(P)에 형성된 제2열전극에 제1열블레이드(330)를 접촉한 상태에서 검사신호를 인가하여 피검사체를 검사한다. A use state of the probe block shown in FIG. 6 will be described with reference to FIG. 7. As shown, the second thermal blade 350 is in contact with the first column electrode formed on the object P and the first thermal blade 330 is in contact with the second column electrode formed on the object P. Inspect the object under test by applying a test signal.

한편, 블레이드를 전극에 접촉할 때, 접촉성능을 향상시키기 위하여 OD(over drive)를 적용하게 되는데, OD를 가할 때 블레이드의 팁은 피검사체의 전극을 따라 슬라이딩을 하게 된다. 특히, 제1열블레이드(330)가 제2열블레이드(350)보다 큰 압력이 가해지기 때문에 제1열블레이드의 팁(331)이 제2열블레이드의 팁(351)보다 상대적으로 많이 슬라이딩된다(도 7의 점선 참조). 이와 같이 블레이드의 팁(331,351)이 피검사체(P)의 전극을 따라 슬라이딩하게 되면, 피검사체(P)의 전극에 스크래치가 발생하는 문제가 있다. On the other hand, when the blade is in contact with the electrode, to apply an OD (over drive) to improve the contact performance, the tip of the blade is slid along the electrode of the test object when OD is applied. In particular, since the first thermal blade 330 is applied with a greater pressure than the second thermal blade 350, the tip 331 of the first thermal blade slid relatively more than the tip 351 of the second thermal blade (see FIG. See dashed line in FIG. 7). As described above, when the tips 331 and 351 of the blade slide along the electrodes of the inspected object P, scratches occur in the electrodes of the inspected object P.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 블레이드타입 프로브블록을 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a blade-type probe block that can be prevented from sliding when the tip of the blade contacts the electrode of the object.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서, 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부; 상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및 상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며, 상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성된다. In order to solve the above technical problem, a blade-type probe block for inspecting a test object having a two-row electrode according to the present invention, the body; A first fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals; A first row blade inserted into and fixed to the slit of the first fixing part; A second fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals; And a second thermal blade inserted into and fixed to the slit of the second fixing portion, wherein the protrusion is formed on the first thermal blade, and the stopper further restricts the displacement of the protrusion on the first fixing blade. do.

또한 상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the stopper is preferably formed in front of the protrusion.

또한 상기 제1열블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다. In addition, the first thermal blade is preferably installed to be inclined so that the front end downward.

또한 상기 제2열블레이드는 상기 제1열블레이드와 평행하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다. In addition, the second thermal blade is preferably installed to be inclined parallel to the first thermal blade.

또한 상기 제2열블레이드의 팁은 상기 제1열블레이드의 팁보다 후방에 위치되는 것이 바람직하다. In addition, the tip of the second row blade is preferably located behind the tip of the first row blade.

또한 상기 제1고정부는 상기 제2고정부의 상부에 위치되는 것이 바람직하다. In addition, the first fixing part is preferably located above the second fixing part.

본 발명에 의한 블레이드타입 프로브블록은 몸체; 상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 고정부; 및 상기 고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 블레이드;를 포함하며, 상기 블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성되는 것이 바람직하다. Blade type probe block according to the invention the body; A fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits at predetermined intervals; And a blade inserted into and fixed to the slit of the fixing portion, wherein the protrusion is formed on the blade, and the stopper further includes a stopper for limiting the displacement of the protrusion.

또한 상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the stopper is preferably formed in front of the protrusion.

또한 상기 블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다. In addition, the blade is preferably installed to be inclined so that the tip is downward.

본 발명에 따르면, 블레이드의 팁이 피검사체의 전극에 접촉할 때, 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, when the tip of the blade contacts the electrode of the test object, there is an effect that can be prevented from sliding.

따라서 피검사체의 전극을 보호할 수 있게 된다. Therefore, the electrode of the inspected object can be protected.

도 1은 종래 프로브장치를 나타낸 것이다.
도 2 및 도 4는 종래 필름타입 프로브유닛을 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 필름타입 프로브유닛을 나타낸 것이다. 1 shows a conventional probe apparatus.
2 and 4 show a conventional film type probe unit.
5 and 6 show a film type probe unit according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작동을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the embodiment according to the present invention.

도 8을 참조하면, 본 실시예(400)는 2열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록으로서, 몸체(410)와, 제1고정부(420)와, 제1열블레이드(430)와, 제2고정부(440)와, 제2열블레이드(450)를 포함한다. Referring to FIG. 8, the embodiment 400 is a blade type probe block for inspecting an object having a two-row electrode, and includes a body 410, a first fixing part 420, and a first row blade 430. ), A second fixing part 440, and a second thermal blade 450.

상기 제1고정부(420)는 상기 몸체(410)의 선단에 구비되는데, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된다. 상기 슬릿에는 제1열블레이드(430)가 각각 끼워져 정렬한다. The first fixing part 420 is provided at the front end of the body 410, and a plurality of slits are formed at predetermined intervals. The first row blades 430 are fitted into the slits, and aligned.

또한 상기 제2고정부(440)는 상기 몸체(410)의 선단에 구비되는데, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된다. 상기 슬릿에는 제2열블레이드(450)가 각각 끼워져 정렬한다. In addition, the second fixing part 440 is provided at the front end of the body 410, a plurality of slits are formed at a predetermined interval. The second row blades 450 are fitted into the slits, respectively.

상기 제2고정부(440)는 상기 제1고정부(420)의 하부에 위치되고, 상기 제2고정부(440)의 슬릿에 끼워져 정렬된 제2열블레이드(450)는 피검사체의 제1열전극(도 5의 141 참조)에 일대일 접촉한다. 또한 상기 제1고정부(420)의 슬릿에 끼워져 정렬된 제1열블레이드(430)는 피검사체의 제2열전극(도 5의 142 참조)에 일대일 접촉한다. 즉, 제1열블레이드의 선단측 팁(431)이 제2열블레이드(450)의 선단측 팁(451)보다 전방에 위치되는 것이다. 또한 제1열블레이드(430)의 후단측 팁(432)과 제2열블레이드(450)의 후단측 팁(452)은 각각 구동IC의 배선부에 전기적으로 연결된다. The second fixing part 440 is positioned below the first fixing part 420, and the second row blade 450 fitted into the slit of the second fixing part 440 is aligned with the first fixing part 440. One-to-one contact with the column electrode (see 141 of FIG. 5). In addition, the first column blades 430 inserted into and aligned with the slits of the first fixing part 420 contact one-to-one with the second column electrodes (see 142 of FIG. 5) of the inspected object. That is, the tip 431 of the first row blade is positioned in front of the tip 451 of the second row blade 450. In addition, the rear end side tip 432 of the first row blade 430 and the rear end side tip 452 of the second row blade 450 are electrically connected to the wiring portion of the driving IC, respectively.

특히, 상기 제1열블레이드(430)에는 하방으로 돌출형성된 돌출부(433)가 형성되고, 상기 제1고정부(420)의 상부면을 단차지게 형성하여 이루어진 스토퍼(421)가 구비된다. 상기 돌출부(433)는 상기 제1고정부에 형성된 스토퍼(421)에 의해 유동이 제한된다. 이는 결과적으로 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 변위를 제한하게 되는 것이다. 특히, 상기 스토퍼(421)는 상기 돌출부(433)의 전방에 형성되어 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 전방으로의 변위를 제한하게 된다. 그러나 상기 스토퍼(421)와 돌출부(433) 사이에는 어느 정도 갭이 있어 제1열블레이드(430)의 OD적용은 어느 정도 가능하다. In particular, the first row blade 430 is provided with a protrusion 433 protruding downward, and is provided with a stopper 421 formed by forming an upper surface of the first fixing portion 420 stepped. The protrusion 433 is restricted in flow by the stopper 421 formed in the first fixing part. This results in limiting the displacement of the tip 431 of the first row blade 430. In particular, the stopper 421 is formed in front of the protrusion 433 to limit the displacement of the tip 431 of the front end side of the first row blade 430 in front. However, there is a gap between the stopper 421 and the protrusion 433 to some extent, so that the OD application of the first thermal blade 430 may be possible to some extent.

또한 상기 제1열블레이드(430)는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되어 있는 것을 알 수 있다. 도 6에 도시된 종래의 제1열블레이드(430)와 대비하면 OD적용시 변위가 발생할 수 있는 길이 자체가 짧기 때문에(도6의ℓ1>도8의ℓ2) 제1열블레이드(430)의 선단측 팁(431)의 변위가 작게 발생되는 것이다. In addition, it can be seen that the first thermal blade 430 is inclined so that the front end is downward. Compared with the conventional first row blade 430 shown in FIG. 6, since the length itself may be short when the OD is applied (L1 in FIG. 6), the front end of the first row blade 430 may be reduced. The displacement of the side tip 431 is generated small.

또한 상기 제2열블레이드(450)도 제1열블레이드(430)와 마찬가지로 선단이 하향하도록 경사지게 설치되어 결과적으로 제1열블레이드(430)와 제2열블레이드(450)는 평행하게 설치된다. In addition, similarly to the first row blade 430, the second row blade 450 is installed to be inclined downward so that the first row blade 430 and the second row blade 450 are installed in parallel.

본 실시예는 제1열블레이드의 변위를 제한하도록 구성되었으나, 제2열블레이드의 변위도 제한하도록 구성할 수 있다. 즉, 제2열블레이드에 돌출부가 형성되고, 제2고정부에 스토퍼가 형성되는 것이다. This embodiment is configured to limit the displacement of the first row blade, but may also be configured to limit the displacement of the second row blade. That is, the protrusion is formed in the second thermal blade, and the stopper is formed in the second fixing part.

또한 본 실시예는 2열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 프로브블록에 관해 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 본 발명에 의한 기술사상을 1열전극을 갖는 피검사체를 검사하는 프로브블록에 대하여도 적용가능한 것은 당연하다. 이 경우에도 OD적용에 의한 팁의 변위량을 적절하게 제한할 수 있고, 이로 인해 피검사체의 전극에 스크래치가 발생하는 것을 방지할 수 있는 것이다. In addition, the present embodiment has been described with respect to the probe block for inspecting the inspected object having a two-row electrode, but the present invention is not limited thereto, and the technical concept of the present invention is applicable to a probe block for inspecting a inspected object having a single-row electrode. It is natural. Also in this case, the amount of displacement of the tip due to the application of the OD can be appropriately limited, whereby scratches can be prevented from occurring on the electrode of the object under test.

400: 프로브블록 410: 몸체
420: 제1고정부 430: 제1열블레이드
440: 제2고정부 450: 제2열블레이드400: probe block 410: body
420: First Government 430: First Row Blade
440: Second High Government 450: Second Row Blade

Claims (9)

2열 전극을 갖는 피검사체를 검사하는 블레이드타입 프로브블록에 있어서,
몸체;
상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성된 제1고정부;
상기 제1고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제1열블레이드;
상기 몸체의 선단에 구비되며, 소정간격으로 복수의 슬릿이 형성되는 제2고정부; 및
상기 제2고정부의 슬릿에 삽입, 고정되는 제2열블레이드;를 포함하며,
상기 제1열블레이드에 돌출부가 형성되고, 상기 제1고정부에는 상기 돌출부의 변위를 제한하는 스토퍼가 더 형성되며,
상기 스토퍼와 돌출부 사이에는 접촉성능을 향상시키기 위하여 OD(over drive)적용을 위해 소정의 갭이 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
In the blade type probe block for inspecting a test object having a two-row electrode,
Body;
A first fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals;
A first row blade inserted into and fixed to the slit of the first fixing part;
A second fixing part provided at the front end of the body and having a plurality of slits formed at predetermined intervals; And
And a second row blade inserted into and fixed to the slit of the second fixing part.
A protrusion is formed in the first thermal blade, and the first fixing portion further includes a stopper for limiting displacement of the protrusion.
Blade type probe block, characterized in that a predetermined gap is formed between the stopper and the protrusion for the application of OD (over drive) to improve the contact performance.
제1항에 있어서,
상기 스토퍼는 상기 돌출부의 전방에 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
The method of claim 1,
The stopper is a blade type probe block, characterized in that formed in front of the projection.
제1항에 있어서,
상기 제1열블레이드는 선단이 하향하도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
The method of claim 1,
The first row blade is a blade type probe block, characterized in that the tip is installed inclined downward.
제3항에 있어서,
상기 제2열블레이드는 상기 제1열블레이드와 평행하도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
The method of claim 3,
The second row blades are blade-type probe block, characterized in that installed inclined parallel to the first row blades.
제1항에 있어서,
상기 제2열블레이드의 팁은 상기 제1열블레이드의 팁보다 후방에 위치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
The method of claim 1,
Blade tip probe block, characterized in that the tip of the second row blade is located behind the tip of the first row blade.
제5항에 있어서,
상기 제1고정부는 상기 제2고정부의 상부에 위치되는 것을 특징으로 하는 블레이드타입 프로브블록.
The method of claim 5,
The first fixing part is a blade type probe block, characterized in that located on top of the second fixing part.
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