KR100638106B1 - Probe unit for inspection of flat panel display devices - Google Patents

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Abstract

A probe device for inspecting a flat panel display is provided to improve inspection reliability by preventing the probe device from being erroneously contacted with an object to be tested. A probe unit for inspecting a flat panel display includes a probe holder(11), plural probe blades(13), and a pair of fixing rods(16). An epoxy layer is laminated to a predetermined thickness on the bottom of the probe blade except the front end portion of the probe blade and cured thereon, so that the probe blades are insulated from each other. The probe blades are apart from each other by a constant pitch. The probe blade includes multi-step probe portions(13b,13c), where the height of a front probe gradually decreases from the front end portion to the rear portion.

Description

평판형 디스플레이장치 검사용 프로브장치{ PROBE UNIT FOR INSPECTION OF FLAT PANEL DISPLAY DEVICES } PROBE UNIT FOR INSPECTION OF FLAT PANEL DISPLAY DEVICES}

도 1은 종래 프로브유니트의 결합단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional probe unit coupling;

도 2는 종래 프로브유니트를 구성하는 탐침블레이드의 정면도,2 is a front view of a probe blade constituting a conventional probe unit,

도 3은 본 발명에 따른 프로브유니트의 일부분리 저면사시도3 is a bottom perspective view of a portion of the probe unit according to the present invention;

도 4는 도 3의 상태에서 에폭시를 적층한 상태의 저면사시도,Figure 4 is a bottom perspective view of the epoxy laminated in the state of Figure 3,

도 5는 본 발명의 프로브유니트를 구성하는 탐침블레이드의 정면도,5 is a front view of the probe blade constituting the probe unit of the present invention,

도 6은 도 5의 "A"부를 확대도시한 부분확대도이다.FIG. 6 is an enlarged partial view of part “A” of FIG. 5.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

10: 프로브유니트 11: 프로브홀더10: probe unit 11: probe holder

13: 탐침블레이드 13a: 몸체13: probe blade 13a: body

13b: 전방 탐침부 13b: 후방탐침부13b: front probe 13b: rear probe

15: 사이드커버 16: 고정봉15: Side cover 16: Fixed rod

18: 에폭시층 18: epoxy layer

일본 공개특허 2004-191064Japanese Patent Laid-Open No. 2004-191064

본 발명은 액정 디스플레이패널과 같은 평판형 디스플레이장치의 통전시험에 사용되는 프로브유니트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe unit used for conduction testing of flat panel display devices such as liquid crystal display panels.

집적회로, 액정 디스플레이패널 등의 평판형 디스플레이장치는 일반적으로 프로브카드나 프로브유니트 등의 프로브장치를 사용하여 검사한다. 액정 디스플레이패널에서 기판의 통전시험에 사용되는 프로브장치의 일예로서 일본 공개특허 2004-191064호로 알려진 것이 있다. Flat panel display devices such as integrated circuits and liquid crystal display panels are generally inspected using probe devices such as probe cards and probe units. As an example of a probe apparatus used for conduction testing of a substrate in a liquid crystal display panel, there is one known from Japanese Patent Laid-Open No. 2004-191064.

이 종래의 프로브유니트는 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브블록(116)과, 프로브블록(116)을 지지하는 지지블록(118)과, 지지블록(118)을 연결하는 연결블록(120)과, TCP(Tape Carrier Package)블록(122)과, 연결블록이 설치되는 평판형프로브베이스(124)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the conventional probe unit includes a probe block 116, a support block 118 supporting the probe block 116, and a connection block 120 connecting the support block 118. And a tape carrier package (TCP) block 122 and a flat probe base 124 on which a connection block is installed.

그리고 프로브블록(116)은 도 1에 도시된 바와 같이, 도전성 재료로 제작된 복수개의 탐침블레이드(126)를, 프로브홀더(128)의 하면에 전후방향으로 간격을 유지하여 조립된 1쌍의 슬리트바아(130)에 소정의 간격을 두고 전후방향으로 연장된 상태로 배치하고, 이와 같이 배열된 복수개의 탐침블레이드(126)에 전후방향으로 간격을 둔 한쌍의 가이드바아(132)를 관통시켜 양 가이드바아(132)를 1쌍의 사이드커버(143)로 프로브홀더(128)에 조립한 구조로 되어 있다. As illustrated in FIG. 1, the probe block 116 includes a pair of slits assembled by keeping a plurality of probe blades 126 made of a conductive material at intervals in the front and rear directions on the lower surface of the probe holder 128. The bar 130 is disposed to extend in the front-rear direction at predetermined intervals, and the pair of guide bars 132 spaced in the front-rear direction are passed through the plurality of probe blades 126 arranged in this manner. The guide bar 132 is assembled to the probe holder 128 by a pair of side covers 143.

그런데 상기 종래의 프로브유니트에서는 슬리트바아(130)에 형성된 복수개의 슬리트마다 하나의 탐침블레이드(126)를 끼워 일정한 간격을 유지하도록 되어 있으나 이들 각 탐침블레이드가 매우 얇은 판형 블레이드로 이루어져 있기 때문에 조립후 일정한 간격을 유지하기 어렵고, 특히 블레이드사이에 이물질이 침입하는 경우에 양 블레이드사이에 통전이 되어 검사불량을 일으키는 문제가 있었다. By the way, in the conventional probe unit, one probe blade 126 is inserted into each slits formed on the slits bar 130 to maintain a constant gap, but each probe blade is assembled because it is made of a very thin plate blade. It is difficult to maintain a constant interval after, in particular, when foreign matter intrudes between the blades are energized between the two blades, there was a problem causing inspection failure.

또한 종래 프로브유니트의 탐침블레이드(126)는 도 2에 도시된 바와 같이, 전방 탐침부(126a) 혹은 후방탐침부(126b)가 마모되면 피검사체의 배선(전극)과 접촉불량이 발생하여 검사장치로서 기능을 수행하지 못하므로 전체를 교체하여야 하고, 교체에 따른 비용상승의 단점이 있었다. In addition, the probe blade 126 of the conventional probe unit, as shown in FIG. 2, when the front probe 126a or the rear probe 126b is worn out, the inspection device is generated due to poor contact with the wiring (electrode) of the object under test. As it can not perform the function as a whole should be replaced, there was a disadvantage of the cost increase due to the replacement.

이에 본 발명은 상기 종래 프로브유니트가 가진 단점을 해소하기 위하여 고안된 것으로, 상대적으로 낮은 원가로 제작할 수 있으며 동시에 이물질의 침입에 의한 불량을 방지할 수 있고, 탐침블레이드의 교체주기를 연장하여 프로브유니트의 전체 수명을 연장할 수 있는 프로브유니트를 제공함을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention is designed to solve the disadvantages of the conventional probe unit, it can be manufactured at a relatively low cost and at the same time to prevent defects due to foreign matter intrusion, and to extend the replacement cycle of the probe blade of the probe unit It is an object of the present invention to provide a probe unit that can extend the overall life.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 프로브홀더와, 상기 프로브홀더에 폭방향을 따라 소정의 간격으로 유지되는 복수개의 탐침블레이드와, 상기 복수개의 탐침블레이드의 전단 및 후단을 각각 관통하여 상기 탐침블레이드를 프로브홀더에 고정시켜 주는 1쌍의 고정봉을 구비한 프로브유니트에 있어서, 상기 탐침블레이드는 프로브홀더의 저면에 일정한 두께로 적층되어 경화되는 에폭시층에 의해 고정되 는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a probe holder, a plurality of probe blades to be maintained at a predetermined interval along the width direction in the probe holder, and through the front and rear ends of the plurality of probe blades respectively the probe blades In a probe unit having a pair of fixing rods fixed to a probe holder, the probe blades are fixed by an epoxy layer which is laminated and cured to a predetermined thickness on the bottom surface of the probe holder.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따르면 고가의 슬리트바아를 사용하지 않고서도 복수개의 탐침블레이드를 일정한 간격으로 고정하여 피검사체와 접촉시 탐침블레이드를 유동없이 고정해주므로 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 특히 인접하는 탐침블레이드사이에 절연체인 에폭시가 충전되어 서로 절연시켜 주므로 먼지 등과 같은 이물질이 침입하더라도 탐침블레이드 간 접촉으로 인한 검사불량을 방지할 수 있다. According to the present invention configured as described above it is possible to improve the reliability of the inspection because the probe blades are fixed without flow by fixing a plurality of probe blades at regular intervals without using expensive slits bars. In particular, since epoxy, which is an insulator, is filled between adjacent probe blades to insulate each other, even if foreign substances such as dust invade, inspection defects due to contact between probe blades can be prevented.

또한 본 발명은 각 탐침블레이드의 전방탐침부 및 후방탐침부가 선단에서 뒤쪽으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 복수의 탐침단을 구비한 구조에 특징이 있다. In addition, the present invention is characterized by a structure having a plurality of probe stages in which the height of the front probe portion and the rear probe portion of each probe blade is gradually reduced from the front end to the rear.

상기한 구조로 된 본 발명에 의하면 최선단의 탐침단이 마모되더라도 그보다 높이가 낮은 후속 탐침단으로 피검사체의 배선을 접촉시켜 검사할 수 있으므로 프로브유니트의 수명을 연장할 수 있게 된다. According to the present invention having the above-described structure, even if the tip of the probe tip is worn out, it is possible to extend the life of the probe unit because the next probe tip having a lower height can be inspected by contacting the wiring of the inspected object.

이하, 본 발명에 따른 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트의 실시예를 첨부도면에 따라 상세히 설명한다. Hereinafter, an embodiment of a probe unit for inspecting a flat panel display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3는 본 발명에 따른 프로브유니트의 일부분리 저면사시도이고, 도 4는 도 3의 상태에서 탐침블레이드위에 에폭시를 적층한 상태의 프로브유니트의 저면사시도이다. 3 is a bottom perspective view of a portion of the probe unit according to the present invention, and FIG. 4 is a bottom perspective view of the probe unit in which epoxy is laminated on the probe blade in the state of FIG. 3.

상기 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 프로브유니트(10)는 프로브블록(도시생략)에 결합되는 프로브홀더(11)를 구비하고, 상기 프로브홀더(11)의 저면에는 프로브홀더(11)의 폭방향(X)으로 복수개의 탐침블레이드(13)가 일정한 간격을 두고 배치되며, 이들 복수개의 탐침블레이드(13)들은 전후 선단을 각각 관통하여 양단이 프로브홀더(11)의 양쪽 측벽에 고정되는 사이드커버(15)에 결합되는 1쌍의 비도전성의 고정봉(16)들에 의해 프로브홀더(11)의 폭방향(X)을 따라 일정한 간격으로 고정설치된다.As shown in FIGS. 3 and 4, the probe unit 10 of the present invention includes a probe holder 11 coupled to a probe block (not shown), and a probe holder is disposed on a bottom surface of the probe holder 11. A plurality of probe blades 13 are arranged at regular intervals in the width direction X of (11), and the plurality of probe blades 13 penetrate the front and rear ends, respectively, and both ends of both sidewalls of the probe holder 11 are arranged. By a pair of non-conductive fixing rods 16 coupled to the side cover 15 fixed to the fixed fixing along the width direction (X) of the probe holder 11 at regular intervals.

상기 복수개의 탐침블레이드(13)들은 60㎛의 피치로 배열된 437핀으로 구성하거나 50㎛의 피치로 배열된 772핀으로 구성한다. 상기 복수개의 탐침블레이드(13)위에는 전후방 탐침부(13b,13c)만 노출되고 나머지 부분은 모두 피복되게 에폭시층(18)이 적층되어 인접하는 이들 탐침블레이드를 서로 절연보호하는 한편 일정한 피치를 유지하도록 고정한다. The plurality of probe blades 13 may include 437 pins arranged at a pitch of 60 μm or 772 pins arranged at a pitch of 50 μm. Only the front and rear probe parts 13b and 13c are exposed on the plurality of probe blades 13 and the epoxy layer 18 is laminated to cover all the remaining parts so as to insulate and protect adjacent probe blades from each other while maintaining a constant pitch. Fix it.

한편, 상기 각 탐침블레이드(13)는 도 5에 도시된 바와 같이, 한쪽 선단에 피검사체의 전극과 접촉하도록 몸체(13a)에서 하향 절곡된 전방탐침부(13b)를 구비하고, 반대쪽 선단에는 탭IC의 전극과 접촉하도록 몸체(13a)에서 상향 절곡된 후방탐침부(13c)를 구비한다. Meanwhile, as illustrated in FIG. 5, each of the probe blades 13 includes a front probe portion 13b bent downward from the body 13a so as to contact an electrode of the subject under one end, and a tab at the opposite end thereof. And a rear probe portion 13c that is bent upward in the body 13a to be in contact with the electrode of the IC.

그리고 전방탐침부(13b)는 도 6에 도시된 바와 같이 몸체 선단으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 다단 탐침부로 구성된다. 즉 몸체(13a)에서의 돌출높이(h)가 가장 높은 최전방의 탐침부(a)가 우선적으로 피검사체의 전극과 접촉하고, 계속 반복적인 검사작업으로 인하여 상기 최전방의 탐침부(a)가 마모되어 높이가 다음 후속 탐침부(b)의 높이로 감소하게 되면 후속 탐침부(b)가 피검사체의 전극과 접촉하여 검사작업을 수행하게 된다. 이와 같이 전방의 탐침부가 차례로 마모하게 되면 후속 탐침부로 탐침하게 된다.And the front probe (13b) is composed of a multi-stage probe, the height of which is gradually reduced toward the front end of the body as shown in FIG. That is, the foremost probe portion (a) having the highest protrusion height (h) in the body (13a) first contacts the electrode of the inspected object, and the foremost probe portion (a) is worn out due to the continuous repetitive inspection operation. When the height is reduced to the height of the next subsequent probe (b), the subsequent probe (b) is in contact with the electrode of the object to be tested. In this way, when the front probe part wears sequentially, the next probe part probes.

상기한 바와 같이 발명의 프로브유니트에 의하면, 복수개의 탐침블레이드들이 그위에는 적층되는 에폭시층에 의해 인접하는 탐침블레이드들 끼리 서로 절연보호되는 한편 피치가 일정하게 유지되므로 이물질 침입에 의한 불량 및 간격의 변동에 의한 피검사체와의 접촉불량을 방지함으로써 검사신뢰성을 높일 수 있고, 탐침블레이드의 피치를 극미세 피치로 제작할 수 있어 배선간격이 점차 극미세화하여 가는 피검사체의 검사에 대응할 수 있으며, 특히 고가의 세라믹 슬리트바아를 제거하여 원가를 절감할 수 있게 된다.As described above, according to the probe unit of the present invention, the plurality of probe blades are insulated and protected from each other by the adjacent probe blades by an epoxy layer stacked thereon, and the pitch is kept constant. The inspection reliability can be improved by preventing poor contact with the inspected object, and the pitch of the probe blade can be manufactured to a very fine pitch, so that the inspection of the inspected object with an increasingly fine wiring interval can be coped with. The cost can be reduced by eliminating ceramic slits.

또한 본 발명의 프로브유니트는 탐침블레이드의 탐침부가 마모하더라도 후속하는 탐침부로 탐침할 수 있으므로 수명을 연장하여 교체주기를 연장함으로써 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, the probe unit of the present invention can reduce the cost by prolonging the replacement cycle by extending the life cycle can be probed by the subsequent probe even if the probe of the probe blade is worn.

Claims (3)

프로브홀더와, 상기 프로브홀더에 폭방향을 따라 소정의 간격으로 유지되는 복수개의 탐침블레이드와, 상기 복수개의 탐침블레이드의 전단 및 후단을 각각 관통하여 상기 탐침블레이드를 프로브홀더에 고정시켜 주는 1쌍의 고정봉을 구비한 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트에 있어서, A pair of probe holders, a plurality of probe blades held at predetermined intervals along the width direction of the probe holder, and a pair of penetrating front and rear ends of the plurality of probe blades, respectively, to fix the probe blades to the probe holder. A probe unit for inspecting a flat panel display device having a fixed rod, 상기 탐침블레이드의 저면에 탐침블레이드의 선단 탐침부를 제외한 나머지 부분위에 일정한 두께로 적층되어 경화됨으로써 복수개의 탐침블레이드를 서로 절연시켜주며 일정한 피치로 유지시켜 주는 에폭시층을 더 구비하고,It is further provided with an epoxy layer on the bottom of the probe blade is laminated and cured to a predetermined thickness on the remaining portion except the tip probe portion of the probe blade to insulate the plurality of probe blades from each other and to maintain a constant pitch, 상기 탐침블레이드는 전방탐침부가 선단에서 뒤쪽으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 다단 탐침부를 구비한 것을 특징으로 하는 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트.The probe blade is a probe unit for inspecting a flat panel display device, characterized in that the front probe has a multi-stage probe portion of which the height is gradually reduced from the front end to the rear. 제1항에 있어서, 상기 탐침블레이드는 60㎛의 피치로 배열된 437핀 또는 50㎛의 피치로 배열된 772핀중 어느 하나의 구성으로 된 것을 특징으로 하는 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트. The probe unit of claim 1, wherein the probe blade is configured of any one of 437 pins arranged at a pitch of 60 μm or 772 pins arranged at a pitch of 50 μm. 삭제delete
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100854757B1 (en) * 2007-01-25 2008-08-27 주식회사 나노픽셀 The Probe Device and Probe Block for Display Panel Test using the Device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113848356A (en) * 2021-10-25 2021-12-28 武汉精毅通电子技术有限公司 Probe module and preparation method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214184A (en) 1999-01-26 2000-08-04 Micronics Japan Co Ltd Probe device
JP2001004662A (en) 1999-06-22 2001-01-12 Micronics Japan Co Ltd Probe device
JP2001141747A (en) 1999-11-12 2001-05-25 Micronics Japan Co Ltd Probe device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214184A (en) 1999-01-26 2000-08-04 Micronics Japan Co Ltd Probe device
JP2001004662A (en) 1999-06-22 2001-01-12 Micronics Japan Co Ltd Probe device
JP2001141747A (en) 1999-11-12 2001-05-25 Micronics Japan Co Ltd Probe device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100854757B1 (en) * 2007-01-25 2008-08-27 주식회사 나노픽셀 The Probe Device and Probe Block for Display Panel Test using the Device

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