KR101098957B1

KR101098957B1 - Probe Assembly

Info

Publication number: KR101098957B1
Application number: KR1020100005834A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 쿠가; 쥬리 오가사와라
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2009-03-05
Filing date: 2010-01-22
Publication date: 2011-12-28
Also published as: KR20100100596A; JP2010203994A; JP5396104B2

Abstract

본 발명은 슬릿과 아암영역 사이의 가공오차에 기인하는 침선영역 및 아암영역의 비틀림 변형을 저감하는 것이다.
본 발명에 따른 프로브 조립체에 있어서, 각 프로브는 그 침선영역이 슬릿바의 슬릿에서 하방으로 연장되는 상태로 적어도 아암영역에 있어서 슬릿에 수용되어져 있다. 또한 각 프로브는 아암영역의 후단부에서 상방으로 돌출하는 하중전달부로서 대응하는 슬릿에 수용된 하중전달부를 구비한다. 각 프로브의 아암영역은 적어도 하중전달부보다 선단측 부위의 상면을 상기 깊숙한 안쪽 저면에서부터 하방으로 이격되어 있다. The present invention reduces the torsional deformation of the needle line region and the arm region due to the machining error between the slit and the arm region.
In the probe assembly according to the present invention, each probe is accommodated in the slit at least in the arm region with its needle region extending downward from the slit of the slit bar. Each probe also has a load transfer portion accommodated in a corresponding slit as a load transfer portion projecting upward from the rear end of the arm region. The arm region of each probe is spaced downward from at least the deep inner bottom surface of the tip side portion than at least the load transmitting portion.

Description

Probe Assembly

본 발명은 액정표시패널과 같은 평판상 피검사체의 전기적 시험에 이용되는 프로브 조립체에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe assembly used for an electrical test of a flat object such as a liquid crystal display panel.

액정표시패널과 같은 평판상의 피검사체의 검사에 이용되는 프로브 조립체중 하나로서 띠모양의 설치영역(중앙영역), 그 설치영역의 선단 및 후단에서 각각 전방 및 후방으로 연장되는 제1 및 제2의 아암영역, 그리고 각 아암영역의 선단부 또는 후단부에서 비스듬히 하방 또는 상방으로 연장되는 침선영역을 구비하는 판상의 복수의 프로브(접촉자)를 구비하는 것이 있다(특허문헌1).
One of the probe assemblies used for the inspection of a flat object such as a liquid crystal display panel, which has a band-shaped installation region (center region) and first and second portions extending forward and rearward at the front and rear ends thereof, respectively. There are some plate-shaped probes (contactors) provided with an arm area | region and the needle | wire needle area | region extending obliquely downward or upward from the front end part or rear end part of each arm area | region (patent document 1).

상기 종래의 프로브 조립체에 있어서, 각 프로브는 설치영역 및 아암영역을 대향시킨 상태로 두께방향으로 간격을 두어서 지지체의 하방에 병렬적으로 배치되어 있으며, 또한 설치영역을 그 두께방향으로 관통하는 가이드홀을 관통하여서 지지체에 지지된 전기절연체로 이루어지는 지지바에 의해 지지체에 지지된다.
In the above-described conventional probe assembly, each probe is arranged in parallel under the support at intervals in the thickness direction with the installation area and the arm area facing each other, and guides penetrating the installation area in the thickness direction thereof. It is supported by the support by the support bar which consists of an electrical insulator supported by the support through the hole.

또한 프로브는 지지체의 선단 및 후단에 배치된 각각의 슬릿바에 하방으로 개방하도록 형성된 슬릿에 각 아암영역을 각각 수용받는다. 그와 같은 프로브의 각 침선영역은 슬릿바의 대응하는 슬릿의 선단에서 하방으로 돌출시킨다.
In addition, the probe receives each arm region in a slit formed so as to open downward to respective slit bars disposed at the front and rear ends of the support. Each needle region of such a probe projects downward from the tip of the corresponding slit of the slit bar.

피검사체의 검사시, 각 프로브는 그 침선을 피검사체의 전극에 가압받는다. 이 때 양자의 전기적 접촉을 확실하게 하기 위해서 침선영역에 아주 적은 휘어짐 변형이 생길 정도의 가압력, 즉 오버드라이브 힘(overdrive force)이 각 프로브에 부가된다. 이에 의해, 침선영역 또는 아암영역의 상면은 슬릿의 저면 깊숙한 곳에서 가압된다.
In the inspection of the object under test, each probe is pressed against the electrode of the object under test. At this time, in order to ensure the electrical contact between the two, a pressing force, that is, an overdrive force, which is such that there is very little bending deformation in the needle region, is applied to each probe. As a result, the upper surface of the needle line region or the arm region is pressed deep in the bottom surface of the slit.

그러나, 종래의 상기 프로브 조립체에 있어서는 전극수에 대응해서 배치된 다수의 프로브가 지지바를 통하여 지지체에 지지되어 있기 때문에, 오버드라이브 힘이 프로브에 작용했을 때, 지지바에 작용하는 힘이 증가하고 이에 따라 지지바가 휘어짐 변형을 하는 경우가 있다.
However, in the conventional probe assembly, since a plurality of probes arranged in correspondence with the number of electrodes is supported by the support through the support bar, when the overdrive force acts on the probe, the force acting on the support bar increases and thus is supported. The bar may be warped or deformed.

지지바가 상기와 같이 휘어짐 변형을 하면, 프로브의 설치영역에 형성된 관통홀과 그 관통홀을 통과하는 지지바 사이의 제조상의 허용 오차로 인해 프로브에 비틀림이 생기기 쉽다. 이 비틀림을 수반하는 프로브의 비틀림 변형은 프로브의 아암영역을 슬릿에 수용하는 슬릿바의 손상을 초래할 가능성이 있다.
When the support bar is bent and deformed as described above, the probe tends to be twisted due to manufacturing tolerances between the through hole formed in the installation area of the probe and the support bar passing through the through hole. Torsional deformation of the probe accompanied by this torsion may cause damage to the slit bar that accommodates the arm region of the probe in the slit.

지지바의 휘어짐 변형에 기인하는 상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 프로브의 비틀림을 구속하는 강성적 지지점을 지지체에 설치하고, 이 강성적 지지점에 맞닿는 강성적 피지지점을 각 프로브의 설치영역에 설치한 프로브 조립체가 제안된다(특허문헌2).
In order to solve the above problems caused by the bending deformation of the support bar, a rigid support point for restraining the torsion of the probe is provided on the support, and a rigid supported point which is in contact with the rigid support point is provided in the installation area of each probe. A probe assembly is proposed (patent document 2).

특허문헌2의 프로브 조립체는 각 강성적 피지지점이 강성적 지지점에 접촉된 상태로 조립되어져 있으며, 또한 오버드라이브 힘이 프로브에 작용했을 때, 각 설치영역의 강성적 피지지점이 지지체의 강성적 지지점에 가압됨으로써 프로브의 비틀림 변형을 구속한다.
The probe assembly of Patent Literature 2 is assembled with each rigid support point in contact with the rigid support point, and when the overdrive force acts on the probe, the rigid support point of each installation area is the rigid support point of the support. Pressurized to restrain the torsional deformation of the probe.

즉, 상기 특허문헌2의 프로브조립체는 오버드라이브 힘이 프로브에 작용하면, 프로브의 강성적 피지지점이 지지체의 강성적 지지점에 가압되어서 오버드라이브 힘을 지지체에 전달하고, 그에 따라 지지바에 작용하는 오버드라이브 힘을 저감한다. 그 결과, 지지바의 휘어짐 변형이 저감되기 때문에, 프로브 특히 설치영역에서의 비틀림 변형이 저감된다.
That is, in the probe assembly of Patent Document 2, when the overdrive force acts on the probe, the rigid supported point of the probe is pressed against the rigid support point of the support, thereby transferring the overdrive force to the support, and thus acting on the support bar. Reduce drive power. As a result, since the warpage deformation of the support bar is reduced, the torsional deformation in the probe, particularly in the installation region, is reduced.

그러나 상기와 같은 강성적 지지점을 지지체에 설치하여도, 지지바의 휘어짐 변형에 기인하는 설치영역의 비틀림 변형은 방지되지만, 슬릿과 아암영역 사이의 가공 오차에 기인하는 아암영역 및 침선영역이 프로브의 길이방향으로 연장되는 가상선의 주위에 각도적으로 회전하여서 넘어질 것 같은 아암영역 및 침선영역의 휘어짐 변형은 방지되지 못한다.
However, even when the above rigid support point is provided on the support, the torsional deformation of the installation area due to the bending deformation of the support bar is prevented, but the arm area and the needle area due to the machining error between the slit and the arm area are prevented from The warp deformation of the arm region and the needle region which are likely to fall by rotating angularly around the imaginary line extending in the longitudinal direction cannot be prevented.

특허문헌2의 프로브 조립체에서는 프로브의 강성적 피지지점이 지지체의 강성적 지지점에 가압되어도 오버드라이브 힘이 아암영역 및 침선영역에 작용하여, 그 오버드라이브 힘에 의해 아암영역 및 침선영역이 비틀림 변형을 하는 것을 피할 수가 없다.
In the probe assembly of Patent Document 2, even when the rigid supported point of the probe is pressed against the rigid support point of the support, the overdrive force acts on the arm region and the needle region, and the overdrive force causes the arm region and the needle region to be distorted. You can't avoid doing it.

또한, 특허문헌2는 돌출부를 아암영역의 상면에 설치하고, 돌출부의 상면을 지지바의 하면에 설치된 강성적 지지점에서 상면에 접촉시킨 다른 프로브 조립체도 제안하고 있다.
Patent Document 2 also proposes another probe assembly in which the protrusion is provided on the upper surface of the arm region and the upper surface of the protrusion is brought into contact with the upper surface at the rigid support point provided on the lower surface of the support bar.

그러나, 특허문헌2에 기재된 다른 프로브 조립체에서는 프로브의 상기 돌출부를 슬릿바의 하면 중, 슬릿이 형성되어있지 않은 면 영역에 맞닿게 한다. 즉, 돌출부가 슬릿에 수용되지 않는다.
However, in the other probe assembly described in Patent Literature 2, the protruding portion of the probe is brought into contact with a surface region where no slit is formed among the lower surfaces of the slit bar. That is, the protrusion is not accommodated in the slit.

이 때문에 오버드라이브 힘이 프로브에 작용하면, 돌출부가 지지바의 휘어짐변형에 기인하여서 슬릿바의 하면에 대하여, 슬릿바의 길이방향(프로브의 배열방향)으로 미끄러지고, 그 결과 아암영역 및 침선영역이 프로브의 길이방향으로 연장되는 가상적인 선 주위로 각도적으로 회전하여서 넘어질 것 같은 아암영역 및 침선영역의 휘어짐 변형은 방지되지 않는다. For this reason, when the overdrive force acts on the probe, the protrusion slides in the longitudinal direction (probe arrangement direction) of the slit bar with respect to the lower surface of the slit bar due to the bending deformation of the support bar. The warp deformation of the arm region and the needle region, which are likely to fall by turning angularly around an imaginary line extending in the longitudinal direction of the probe, is not prevented.

상기와 같은 아암영역 및 침선영역의 뒤틀림 변형이 방지되지 않으면, 서로 이웃하는 슬릿 사이의 격벽이 손상된다.
If the warp deformation of the arm region and the needle region is prevented, the partition walls between the adjacent slits are damaged.

일본특허공개공보특개평10-132853호Japanese Patent Laid-Open No. 10-132853 일본특허공개공보2007-303834호Japanese Patent Publication No. 2007-303834

본 발명의 목적은 슬릿과 아암영역 사이의 가공 오차에 기인하는 침선영역 및 아암영역의 비틀림 변형을 저감하는 것에 있다.
An object of the present invention is to reduce the torsional deformation of the needle line region and the arm region due to the machining error between the slit and the arm region.

본 발명에 관련되는 프로브 조립체는, 지지체와, 각각이 띠모양의 설치영역, 그 설치영역의 선단에서 전방으로 연장되는 띠모양의 아암영역, 및 그 아암영역의 선단부에서 하방으로 연장되는 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 설치영역 및 상기 아암영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 설치영역 및 상기 아암영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 지지체의 선단측에 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 상태로 배치된 슬릿바로서, 그 슬릿바의 길이방향으로 간격을 두고 상기 프로브의 길이방향으로 연장되어서 각각이 하방으로 개방하면서 깊숙한 저면을 갖는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿바를 포함한다.
The probe assembly according to the present invention includes a support, a band-shaped mounting region, a band-shaped arm region extending forwardly from the tip of the mounting region, and a needle needle region extending downward from the tip of the arm region. A plurality of probes, comprising: a plurality of probes arranged in parallel to face the mounting area and the arm area on the lower side of the support in a state in which the width direction of the mounting area and the arm area is in the vertical direction; A slit bar disposed on the front end side of the support in a state extending in the arrangement direction of the probe, the slit bar extending in the longitudinal direction of the probe at intervals in the longitudinal direction of the slit bar, each having a bottom having a deep bottom while opening downward; It includes a slit bar having a slit of.

각 프로브는 상기 침선영역이 상기 슬릿으로부터 하방으로 연장되는 상태로 적어도 상기 아암영역에 있어서 상기 슬릿에 수용되어 있으며, 각 프로브는 상기 아암영역의 후단부에서 상방으로 돌출하는 하중전달부로서, 대응하는 슬릿에 수용되어진 하중전달부를 더 구비하고 있으며, 각 프로브의 상기 아암영역은 적어도 상기 하중전달부보다 선단측 부위의 상면을 상기 깊숙한 저면에서 하방으로 이격되어 있다.
Each probe is accommodated in the slit at least in the arm region with the needle point region extending downward from the slit, each probe being a load transfer portion projecting upward from the rear end of the arm region, A load transfer part accommodated in the slit is further provided, and the arm region of each probe is spaced downward from the deep bottom at least on the upper surface of the tip side portion than at least the load transfer part.

상기 슬릿바는 후향면을 후단측 개소에 더 구비하고 있으며, 또한 각 프로브는 상기 후향면에 맞닿는 전향면을 상기 설치영역의 선단측 개소에 더 구비할 수도 있다.
The slit bar may further include a rear face at the rear end side, and each probe may further include a front face in contact with the rear side at the front end side of the installation region.

상기 하중전달부는 상기 슬릿의 후단부에 수용되어 있으며, 또한 상기 아암영역은 상기 하중전달부보다 선단측 및 후단측의 각 부위의 상면을 상기 깊숙한 저면에서 하방으로 이격되어 있어도 좋다. 이것 대신에, 상기 하중전달부는 그 하중전달부의 후단에 있어서 상기 설치영역의 전단 하부로 이어지도록 형성되어 있어도 좋다. The load transfer part may be accommodated in the rear end of the slit, and the arm region may be spaced downward from the deep bottom from the upper surface of each portion on the front end side and the rear end side than the load transfer part. Instead of this, the load transfer section may be formed so as to extend from the front end of the installation area to the rear end of the load transfer section.

상기 하중전달부의 상단은 상기 깊숙한 저면에 맞닿아져 있어도 좋다. 그러나, 상기 하중전달부는 그 상단이 오버드라이브 힘이 작용했을 때, 최초로 상기 깊숙한 저면에 맞닿도록 상기 저면에서 하방으로 이격되어 있어도 좋다.
The upper end of the load transfer part may be in contact with the deep bottom. However, the load transfer part may be spaced downward from the bottom so as to contact the deep bottom at the first time when the upper drive is applied with an overdrive force.

상기 슬릿바는 하향면을 후방측 개소에 더 구비하고 있으며, 또한 각 프로브는 상기 하향면에 맞닿는 상향면을 상기 설치영역의 선단측의 개소에 더 구비하고 있어도 좋다.
The slit bar may further include a downward surface at a rear side portion, and each probe may further include an upward surface in contact with the downward surface at a portion at the front end side of the installation area.

프로브 조립체는 상기 설치영역을 그 설치영역의 두께방향으로 관통하여서 연장되는 가늘고 긴 지지바와, 상기 지지체의 좌우방향 양측에 고정되어서, 상기 양 지지바를 그 양단부에서 상기 지지체에 지지시키는 한 쌍의 사이드커버를 더 포함할 수 있다.
The probe assembly includes an elongated support bar extending through the installation region in the thickness direction of the installation region, and a pair of side covers fixed to both sides in the left and right directions of the support to support the support bars at both ends thereof to the support. It may further include.

본 발명에 따르면, 아암영역에 설치된 하중전달부가 슬릿에 수용되어 있기 때문에, 각 프로브에 오버드라이브 힘이 작용하면, 프로브의 하중전달부가 슬릿의 깊숙한 안쪽 저면에 가압되어 프로브에 작용하는 오버드라이브 힘이 슬릿바를 통하여서 지지체에 전달된다.
According to the present invention, since the load transmission portion provided in the arm region is accommodated in the slit, when the overdrive force acts on each probe, the load transfer portion of the probe is pressed against the inner bottom of the slit deep so that the overdrive force acting on the probe It is delivered to the support via a slit bar.

상기 결과, 아암영역 및 침선영역의 자세가 구속되기 때문에, 슬릿과 아암영역 사이의 가공오차에 기인하는 아암영역 및 침선영역이 프로브의 길이방향으로 연장되는 가상적인 선의 주위로 각도적으로 회전하여서 넘어질 것 같은 아암영역 및 침선영역 자체의 비틀림 변형이 저감된다.
As a result, since the postures of the arm region and the needle region are constrained, the arm region and the needle region due to the machining error between the slit and the arm region are rotated angularly around an imaginary line extending in the longitudinal direction of the probe. The torsional deformation of the arm region and the needle region which are likely to be lost is reduced.

하중전달부의 상단이, 슬릿의 깊숙한 안쪽 저면에 맞닿아져 있거나, 또는 오버드라이브 힘이 작용했을 때 최초로 상기 깊숙한 안쪽 저면에 맞닿도록 상기 깊숙한 안쪽 저면에서 하방으로 이격되어 있으면, 프로브에 작용하는 오버드라이브 힘은, 그 오버드라이브 힘이 슬릿바를 통하여 지지체에 바로 전달되기 때문에, 아암영역 및 침선영역 자체의 상기 비틀림 변형이 보다 확실하게 저감된다.
Overdrive acting on the probe if the upper end of the load transfer part is in contact with the inner bottom of the slit deep or is spaced downward from the deep inner bottom so as to contact the deep inner bottom for the first time when an overdrive force is applied. The force is more reliably reduced in the torsional deformation of the arm region and the needle region itself because the overdrive force is transmitted directly to the support via the slit bar.

슬릿바가 그 선단측의 개소에 후향면을 가지고 있으며, 각 프로브가 후향면에 대응되어서 대응할 후향면에 맞닿는 전향면을 설치영역의 선단측 개소에서 갖으면, 후향면 및 전향면이 서로 맞닿아 프로브의 길이방향에서의 위치결정이 이루어지고, 피검사체의 전극에 대한 프로브의 침선 위치가 안정된다.
If the slit bar has a rear face at the front end side and each probe has a rear face corresponding to the rear face and abuts the corresponding rear face at the front end side of the installation area, the rear face and the front face abut each other. Positioning in the longitudinal direction of is made, and the needle needle position of the probe with respect to the electrode of the inspected object is stabilized.

슬릿바가 그 후단측의 개소에서 하향면을 가지고 있으며, 각 프로브가 하향면에 대응되어서, 대응하는 하향면에 맞닿아진 상향면을 설치영역의 선단측의 개소에서 갖으면, 하향면이 프로브에 작용하는 오버드라이브 힘의 일부를 슬릿바를 통하여 지지체에 전달하는 강성적 지지점으로서 작용하기 때문에, 지지바를 구비한 조립체의 경우에 프로브의 관통홀을 관통하는 지지바의 휘어짐 변형이 저감되어서 설치영역에서의 비틀림 변형이 저감된다.
If the slit bar has a downward surface at a location on the rear end side thereof, and each probe corresponds to a downward surface, and the upward surface which is in contact with the corresponding downward surface has a location at the front end side of the installation area, the downward surface is connected to the probe. Since it acts as a rigid support point that transmits a part of the overdrive force acting to the support through the slit bar, the bending deformation of the support bar passing through the through hole of the probe in the case of the assembly with the support bar is reduced to Torsional deformation is reduced.

도1은 본 발명에 관련된 프로브 조립체를 결합시킨 전기적 접속장치의 일예를 나타내는 액정표시패널의 검사장치의 일부를 나타내는 평면도이고,
도2는 도1에서 나타내는 검사장치에 결합된 다수의 프로브 조립체중 하나를 나타내는 정면도이고,
도3은 도2의 3-3선을 따라 얻어진 프로브 조립체의 부분적인 단면도이고,
도4는 도3에서 나타내는 프로브 조립체의 프로브 및 슬릿바 근방의 일실시예를 확대하여서 나타내는 부분적인 확대도이고,
도5는 프로브 조립체의 프로브 및 슬릿바 근방의 다른 실시예를 확대하여서 나타내는 부분적인 확대도이고,
도6은 프로브 조립체의 프로브 및 슬릿바 근방의 또 다른 실시예을 확대하여서 나타내는 부분적인 확대도이다. 1 is a plan view showing a part of an inspection apparatus of a liquid crystal display panel showing an example of an electrical connection apparatus incorporating a probe assembly according to the present invention;
FIG. 2 is a front view showing one of a plurality of probe assemblies coupled to the inspection apparatus shown in FIG. 1;
3 is a partial cross-sectional view of the probe assembly taken along line 3-3 of FIG.
FIG. 4 is a partially enlarged view showing an enlarged embodiment of a probe and a slit bar near the probe assembly shown in FIG. 3;
FIG. 5 is a partially enlarged view illustrating in enlargement another embodiment of the probe assembly near the probe and the slit bar; FIG.
FIG. 6 is an enlarged partial view of another embodiment of the probe assembly in the vicinity of the probe and the slit bar; FIG.

도1을 참조하면, 검사장치(12)는 복수의 프로브 조립체(10)를 결합하고 있으며, 또한 사각형의 액정표시패널(14)의 통전 시험에 이용된다. 액정표시패널(14)은 그 직사각형의 일측의 긴 변 및 일측의 짧은 변에 대응하는 가장자리 둘레부 각각의 상면에 정렬하여 배치된 다수의 전극패드(미도시)를 갖는다. Referring to Fig. 1, the inspection apparatus 12 combines a plurality of probe assemblies 10, and is also used for conduction testing of a rectangular liquid crystal display panel 14. The liquid crystal display panel 14 has a plurality of electrode pads (not shown) arranged in alignment with an upper surface of each of the peripheral edge portions corresponding to one long side and one short side of the rectangle.

검사장치(12)는 프로브 조립체(10)에 부가하여 검사스테이지(16)를 구비한다. 검사스테이지(16)는 액정표시패널(14)의 외형과 유사한 그것보다도 조금 작은 직사각형의 개구(16a)를 갖는다. 액정표시패널(14)은 개구(16a)를 통해서 배면에서 백라이트 빛의 조사를 받으면서 개구(16a)를 덮는 상태로 검사스테이지(16)의 위에 배치되고 해제가능하게 진공적으로 흡착된다.
The inspection device 12 has an inspection stage 16 in addition to the probe assembly 10. The inspection stage 16 has a rectangular opening 16a that is slightly smaller than that of the liquid crystal display panel 14. The liquid crystal display panel 14 is disposed on the inspection stage 16 in a state in which the liquid crystal display panel 14 covers the opening 16a while being irradiated with backlight light from the rear side through the opening 16a and is detachably vacuum-adsorbed.

검사스테이지(16)의 상방에는 복수의 프로브베이스(18)가 배치된다. 도시의 예에서는 프로브베이스(18)는 직사각형의 액정표시패널(14)의 서로 이웃하는 변에 대응하는 2개소에 설치된다. 각 프로브 조립체(10)는 액정표시패널(14)의 전극패드에 전기적으로 접속가능하게, 대응하는 지지기구(20)에 의해 대응하는 프로브베이스(18)에 결합되어 있다.
A plurality of probe bases 18 are disposed above the inspection stage 16. In the example of illustration, the probe base 18 is provided in two places corresponding to the mutually adjacent sides of the rectangular liquid crystal display panel 14. As shown in FIG. Each probe assembly 10 is coupled to a corresponding probe base 18 by a corresponding support mechanism 20 so as to be electrically connected to an electrode pad of the liquid crystal display panel 14.

각 지지기구(20)는 대응하는 프로브베이스(18)에 결합되어 있으며, 또한 대응하는 프로브 조립체(10)를 그 프로브 조립체(10)에 설치된 판상의 다수의 프로브(22)의 선단측의 침선(42a)이 액정표시패널(14)을 향해서 돌출하도록 해체가능하게 지지한다.
Each support mechanism 20 is coupled to a corresponding probe base 18, and the corresponding probe assembly 10 has a needle line (1) at the tip side of a plurality of plate-shaped probes 22 provided on the probe assembly 10. 42a) is detachably supported so as to protrude toward the liquid crystal display panel 14.

각 프로브 조립체(10)는 프로브(22)의 침선(42a)이 각각에 대응된 상기 전극패드에 접촉하도록 액정표시패널(14)에 대하여 승강 가능하게 대응하는 지지기구(20)에 유지되어 있다. 지지기구(20)와 같은 구성의 지지기구는, 예를 들면 일본특허공개공보 제2004-191064호에 기재되어 있다.
Each probe assembly 10 is held by a support mechanism 20 corresponding to the liquid crystal display panel 14 so that the needle bar 42a of the probe 22 contacts the electrode pad corresponding thereto. The support mechanism of the same structure as the support mechanism 20 is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-191064, for example.

각 프로브 조립체(10)는, 도2 및 도3에서 나타내는 바와 같이, 전술한 다수의 프로브(22) 이외에 지지기구(20)에 착탈 가능하게 설치된 프로브 블록, 즉 지지체(24)와, 프로브(22)를 지지체(24)에 지지시키기 위한 한 쌍의 지지바(26a,26b)와, 지지체(24)의 평탄한 하면(24a)에 설치된 각기둥 형상의 한 쌍의 슬릿바(28a,28b)와, 지지체(24)의 양측에 나사부재로 고정되어서 양쪽 지지바(26a,26b)를 그 양단부에서 지지체(24)의 양측에 고정하는 한 쌍의 사이드커버(30a,30b)(도2참조)를 구비한다. 다수의 프로브(22)는 지지체(24)의 하방에 배치된다.
As shown in Figs. 2 and 3, each probe assembly 10 includes a probe block, that is, a support 24 and a probe 22 detachably attached to the support mechanism 20 in addition to the plurality of probes 22 described above. ) A pair of support bars (26a, 26b) for supporting the support 24, a pair of slit bars (28a, 28b) of prismatic shape provided on the flat lower surface (24a) of the support (24), A pair of side covers 30a and 30b (see Fig. 2) are fixed to both sides of the 24 to fix both support bars 26a and 26b to both sides of the support 24 at both ends thereof. . The plurality of probes 22 are disposed below the support 24.

지지체(24)는 절연막으로 피복된 금속재료 또는 전기절연재료로 구성된다. 양 슬릿바(28a,28b)는 세라믹과 같은 전기 절연 재료로 구성된다. 양 지지바(26a,26b)도 전기절연막으로 피복된 막대기 모양의 금속재료 또는 막대기 모양의 전기절연재료로 구성된다.
The support 24 is composed of a metal material or an electric insulating material coated with an insulating film. Both slit bars 28a and 28b are made of an electrically insulating material such as ceramic. Both support bars 26a and 26b are also made of a bar-shaped metal material or a bar-shaped electric insulating material coated with an electric insulating film.

지지체(24)의 하면(24a)은 전체적으로 직사각형의 형상을 가지고 있으며, 또한 그 한 변 즉 앞 가장자리(24b)가 검사스테이지(16)에 놓인 액정표시패널(14)의 상방에 위치되어서 그 액정표시패널(14)의 가장자리 둘레부를 따라서 존재하도록 지지기구(20)에 의해, 대응하는 프로브베이스(18)에 배치된다. The lower surface 24a of the support 24 has a rectangular shape as a whole, and its one side, that is, the front edge 24b, is positioned above the liquid crystal display panel 14 placed on the inspection stage 16, and the liquid crystal display thereof. It is arranged in the corresponding probe base 18 by the support mechanism 20 so that it exists along the edge circumference of the panel 14.

일측(즉, 선단측)의 슬릿바(28a)는, 지지체(24)의 하면(24a)의 앞 가장자리(24b)를 따라서 좌우방향(즉,프로브(22)의 배열방향 또는 두께방향)으로 연장되어 있으며, 또한 슬릿바(28a)의 상면을 지지체(24)의 하면(24a)에 맞닿게 한 상태로 지지체(24)에 고정되어 있다.
The slit bar 28a on one side (that is, the tip side) extends along the front edge 24b of the lower surface 24a of the support 24 in the horizontal direction (that is, in the arrangement direction or the thickness direction of the probe 22). Moreover, it is being fixed to the support body 24 in the state which made the upper surface of the slit bar 28a contact the lower surface 24a of the support body 24. As shown in FIG.

타측(즉, 후단측)의 슬릿바(28b)는, 선단측의 슬릿바(28a)에서 후방측으로 간격을 두고 슬릿바(28a)와 평행하게 연장되도록 지지체(24)의 하면(24a)의 다른 변 즉 뒤쪽 가장자리(24c)를 따라서 좌우방향으로 연장되어 있으며, 또한 상면을 지지체(24)의 하면(24a)에 맞닿게 상태로 지지체(24)에 고정된다.
The slit bar 28b on the other side (i.e., the rear end side) is different from the lower surface 24a of the support body 24 so as to extend parallel to the slit bar 28a at intervals from the front end side slit bar 28a to the rear side. It extends in the left-right direction along the edge, that is, the rear edge 24c, and is fixed to the support 24 with the upper surface in contact with the lower surface 24a of the support 24.

슬릿바(28a 및 28b)는, 각각 대응하는 슬릿바(28a 및 28b)의 길이방향으로 상호 간격을 둔 복수의 슬릿(32a) 및 복수의 슬릿(32b)을 하면에 갖는다.
The slit bars 28a and 28b have a plurality of slits 32a and a plurality of slits 32b spaced apart from each other in the longitudinal direction of the corresponding slit bars 28a and 28b, respectively.

슬릿(32a 및 32b)의 각각은, 대응하는 슬릿바(28a 또는 28b)를 전후방향(즉, 프로브(22)의 길이방향)으로 연장되어 있으며, 또한 선단측, 후단측, 및 하방측의 각각으로 개방하는 단면 'コ' 형상의 홈으로 이루어져 있다. 이로 인해 슬릿(32a 및 32b)은 평탄한 하향의 깊숙한 저면을 갖는다.
Each of the slits 32a and 32b extends the corresponding slit bar 28a or 28b in the front-rear direction (i.e., the longitudinal direction of the probe 22), and each of the front end side, the rear end side, and the lower side. It consists of a groove of the cross section 'コ' shape to open. This causes the slits 32a and 32b to have a flat bottom deep bottom.

슬릿(32a 및 32b)은 서로 대응된다. 슬릿바(28a 및 28b)는 대응하는 슬릿(32a 및 32b)이 슬릿바((28 및 28b)의 길이방향에서의 같은 위치가 되도록 배치된다.
The slits 32a and 32b correspond to each other. The slit bars 28a and 28b are arranged such that the corresponding slits 32a and 32b are in the same position in the longitudinal direction of the slit bars 28 and 28b.

각 프로브(22)는 도전성 부재에 의해 판 모양으로 제작된다. 각 프로브(22)는 도3 및 도4에서 나타내는 바와 같이, 그 길이방향에서 같은 폭 치수를 갖는 띠 모양의 설치영역(34)과, 설치영역(34)의 선단 및 후단에서 각각 한층 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장되는 띠 모양의 한 쌍의 아암영역(36a 및 36b)과, 아암영역(36a 및 36b)의 선단 및 후단에서 각각 한층 더 비스듬히 하방 및 상방으로 연장되는 띠 모양의 침선영역(38a 및 38b)을 구비한다.
Each probe 22 is produced in a plate shape by a conductive member. As shown in Figs. 3 and 4, each of the probes 22 has a strip-shaped installation region 34 having the same width dimension in its longitudinal direction, and further front and rear ends at the front and rear ends of the installation region 34, respectively. A pair of band-shaped arm regions 36a and 36b extending backward, and a band-shaped needle region 38a and 38b extending obliquely downward and upward at the front and rear ends of the arm regions 36a and 36b, respectively. ).

각 프로브(22)의 설치영역(34)은, 한 쌍의 지지바(26a) 및 (26b)가 각각 설치영역(34)을 그 두께방향으로 관통하는 한 쌍의 관통홀(40a,40b)을 설치영역(34)의 일단부 및 타단부에서 갖는다. 양 관통홀(40a,40b)은 전후방향(즉, 설치영역(34)의 길이방향)으로 상호 간격을 둔다.
The installation area 34 of each probe 22 has a pair of through holes 40a and 40b through which the pair of support bars 26a and 26b respectively penetrate the installation area 34 in the thickness direction thereof. At one end and the other end of the installation area 34. Both through holes 40a and 40b are spaced apart from each other in the front-rear direction (i.e., the longitudinal direction of the installation area 34).

각 프로브(22)의 일측(즉, 선단측)의 아암영역(36a)은, 설치영역(34)의 길이방향의 일단(선단)에서의 하연부에서 전방으로 연장된다. 각 프로브(22)의 타측 (즉, 후단부)의 아암영역(36b)은, 설치영역(34)의 타단(후단)에서의 상연부에서 후방으로 연장된다.
The arm region 36a on one side (that is, the tip side) of each probe 22 extends forward from the lower edge portion at one end (tip) in the longitudinal direction of the installation region 34. The arm region 36b on the other side (that is, the rear end) of each probe 22 extends rearward from the upper edge at the other end (rear end) of the installation region 34.

각 프로브(22)의 일측(즉, 선단측)의 침선영역(38a)은, 아암영역(36a)의 일단하부(선단하부)에서 전방 및 하방으로 비스듬하게 연장된다. 각 프로브(22)의 타측(즉, 후단측)의 침선영역(38b)은, 아암영역(36b)의 타단 상부(후단상부)에서 후방 및 상방으로 비스듬히 연장된다.
The needle point region 38a on one side (that is, the tip side) of each probe 22 extends obliquely forward and downward from one lower end (lower tip) of the arm region 36a. The needle point region 38b on the other side (that is, the rear end side) of each probe 22 extends obliquely rearward and upward from the other end upper portion (the rear end upper portion) of the arm region 36b.

아암영역(36a 및 36b)의 각각은 설치영역(34)의 폭 치수보다도 작은 폭 치수를 갖는다. 도시의 예에서는, 아암영역(36a 및 36b)의 폭 치수는 선단측 정도만큼 작다. 그러나 각 아암영역(36a 및 36b)의 폭 치수는 거의 동일해도 좋고, 선단측 정도만큼 커도 좋다.
Each of the arm regions 36a and 36b has a width dimension smaller than the width dimension of the installation region 34. In the example of illustration, the width dimension of arm area | region 36a and 36b is as small as the front end side. However, the width dimension of each arm area | region 36a and 36b may be substantially the same, and may be as large as the front end side.

다수의 프로브(22)는 설치영역(34)의 폭방향이 상하방향이 되며, 또한 설치영역(34)이 대향된 상태로, 프로브(22)의 두께방향으로 간격을 두고 병렬적으로 정돈되어 있다. 이에 의해, 서로 이웃하는 프로브(22)의 설치영역(34)의 관통홀(40a 및 40b)은 서로 정렬되어 있다.
The plurality of probes 22 are arranged in parallel at intervals in the thickness direction of the probe 22 with the width direction of the installation region 34 being in the vertical direction, and the installation region 34 facing each other. . As a result, the through-holes 40a and 40b of the installation region 34 of the adjacent probes 22 are aligned with each other.

각 프로브(22)는 도3 및 도4에서 나타내는 바와 같이, 선단측 및 후단측의 아암영역(36a 및 36b)의 일부가 각각 슬릿(32a 및 32b)에 수용되어서 침선영역(38a,38b)이 각각 슬릿(32a 및 32b)의 앞단 및 뒷단에서 전하방 및 후상방으로 비스듬히 연장되는 상태로 지지체(24)의 하면(24a)에서 하방으로 간격을 두고 하면(24a)의 하방에 위치되어 있다.
As shown in Figs. 3 and 4, each of the probes 22 includes a portion of the arm regions 36a and 36b at the front end and the rear end, respectively, in the slits 32a and 32b, so that the needle needle regions 38a and 38b are formed. The slits 32a and 32b are positioned below the lower surface 24a, spaced downward from the lower surface 24a of the support 24 in a state extending obliquely to the charge chamber and the rear upper portion at the front and rear ends of the slits 32a and 32b, respectively.

지지바(26a 및 26b)는, 각각 프로브(22)의 정렬된 관통홀(40a 및 40b)을 관통하고 있으며, 또한 양단이 전술한 사이드커버(30a 및 30b)로 통과시켜져, 지지체(24)의 양측에 고정되어 있다. 이에 의해, 각 프로브(22)는 슬릿바(28a 및 28b)와 평행하게 배치된 지지바(26a 및 26b) 그리고 사이드커버(30a 및 30b)를 통해서 지지체(24)의 하측에 소정 자세로 유지된다.
The support bars 26a and 26b penetrate through the aligned through-holes 40a and 40b of the probe 22, respectively, and both ends are passed through the side covers 30a and 30b described above to support the support 24. It is fixed on both sides of. Thereby, each probe 22 is hold | maintained in the predetermined posture below the support body 24 through the support bars 26a and 26b and the side covers 30a and 30b arrange | positioned in parallel with the slit bars 28a and 28b. .

각 프로브(22)의 후방측 침선영역(38b)은, 슬릿바(28b)의 후단부에서 비스듬히 후방 및 상방으로 돌출시켜서 후단측의 침선(42b)을 윗쪽을 향하게 한다. 이 침선(42b)은 회로판(46)(도3참조)의 대응하는 접속패드(46a)에 가압되어 그 접속패드(46a)에 전기적으로 접속된다. 회로판(46)은 지지기구(20)에 지지된 지지블록(44)의 하면에 고정되어 있다.
The rear needle bar area 38b of each probe 22 protrudes obliquely rearward and upward from the rear end of the slit bar 28b so that the needle bar 42b on the rear end side faces upward. This needle wire 42b is pressed against the corresponding connection pad 46a of the circuit board 46 (see Fig. 3) and electrically connected to the connection pad 46a. The circuit board 46 is fixed to the lower surface of the support block 44 supported by the support mechanism 20.

상기의 결과, 각 프로브(22)는 회로판(46)을 거쳐서 도시되지 않은 테스터 본체에 접속된다. 침선(42b)은, 도3 및 도4에서 나타내는 예에서는, 회로판(46)으로의 잘못된 접촉을 방지하기 위한 가이드필름(48)의 홀(48a)을 관통하여 연장되어 회로판(46)의 접속패드(46a)에 접속된다.
As a result of the above, each probe 22 is connected to the tester main body which is not shown through the circuit board 46. FIG. In the example shown in FIGS. 3 and 4, the needle line 42b extends through the hole 48a of the guide film 48 to prevent erroneous contact with the circuit board 46 to connect the connection pad of the circuit board 46. It is connected to 46a.

이에 대하여 각 프로브(22)의 선단측의 침선영역(38a)은, 슬릿바(28a)의 전단부에서 전방 및 하방으로 비스듬히 돌출시켜서 선단측의 침선(42a)을 하방을 향하게 한다. In contrast, the needle tip region 38a on the tip side of each probe 22 protrudes obliquely forward and downward from the front end of the slit bar 28a to direct the needle tip 42a on the tip side downward.

선단측의 슬릿바(28a)는 하향의 단부(段部)를 슬릿(32a)의 후연부에서 갖는다. 이 단부는 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽의 저면보다도 상방에 위치하는 평탄한 하향면(50)을 규정한다.
The slit bar 28a on the tip side has a downward end portion at the trailing edge of the slit 32a. This end defines a flat downward surface 50 located above the inner bottom of the slit 32a.

각 프로브(22)는 슬릿바(28a)의 단부에 대응된 단부를 설치영역(34)의 선단측의 개소에서 갖는다. 프로브(22)측의 단부는 하향면(50)에 대향하는 평탄한 상향면(52)을 규정하고 있으며 또한 설치영역(34)의 일부로서 작용한다. 이 때문에, 도시의 예에서는 선단측의 아암영역(36a)은 상기한 단부의 하단부에서 전방으로 연장된다.
Each probe 22 has an end portion corresponding to the end portion of the slit bar 28a at a position on the front end side of the installation region 34. The end portion of the probe 22 side defines a flat upward surface 52 opposite the downward surface 50 and also acts as part of the installation area 34. For this reason, in the example of illustration, the arm area | region 36a of the front end side extends forward from the lower end part of the said end part.

각 프로브(22)는 또한 선단측의 아암영역(36a)의 후단부에서 상방으로 돌출하는 띠 모양의 하중전달부(54)를 구비한다. 하중전달부(54)는 아암영역(36a)과 일체적으로 전후방향으로 연장되어 있으며, 또한 대응하는 슬릿(32a)에 수용되어져 있다.
Each probe 22 also has a belt-shaped load transfer section 54 protruding upward from the rear end of the arm region 36a on the tip side. The load transmission part 54 extends in the front-back direction integrally with the arm area | region 36a, and is accommodated in the corresponding slit 32a.

도3 및 도4에서 나타내는 예에서는, 각 하중전달부(54)의 상단면은, 면(50 및 52)이 맞닿아진 상태에 있어서, 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에 맞닿아져 있다. 그러나, 각 하중전달부(54)의 상단면은 오버드라이브 힘이 프로브(22)에 작용했을 때, 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에 최초로 맞닿도록 슬릿(32a)의 저면 깊숙한 곳에서 하방으로 이격되어 있다. In the example shown in FIG. 3 and FIG. 4, the upper end surface of each load transmission part 54 is in contact with the inner bottom face of the slit 32a in the state which the surface 50 and 52 contacted. However, the upper end face of each load transmitting part 54 is spaced downwardly from the depth of the bottom face of the slit 32a so as to first contact the inner bottom face deep of the slit 32a when the overdrive force acts on the probe 22. It is.

각 하중전달부(54)의 상단면이 상기의 어느 경우에 있어서도, 선단측의 아암영역(36a)은 적어도 상단부를 슬릿(32a)에 수용되어져 있으며, 또한 하중전달부(54)보다 선단측 및 후단측의 각 부위의 상면을 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에서 하방으로 이격되어 있다.
In the case where the upper end surface of each load transmission part 54 is any of the above-mentioned, the arm area | region 36a of the front end side is accommodated in the slit 32a at least the upper end part, and the front end side more than the load transmission part 54, and The upper surface of each site | part of a rear end side is spaced apart below the deep inner bottom face of the slit 32a.

액정표시패널(14)의 시험시, 각 프로브(22)의 선단측의 침선(42a)이 액정표시패널(14)의 대응하는 전극패드에 가압된다. 그에 의해 오버드라이브 힘이 각 프로브(22)에 작용한다.
In the test of the liquid crystal display panel 14, the needle bar 42a on the tip side of each probe 22 is pressed against the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14. Thereby an overdrive force acts on each probe 22.

이 오버드라이브 힘은 원래라면 지지바(26a,26b)에 전달된다. 이에 의해 관통홀(40a,40b)과 지지바(26a,26b) 사이의 제조상 허용 오차에 기인하여서 지지바(26a,26b)가 휘어짐 변형을 하여 프로브(22)에 비틀림 변형이 생기는 경우가 있다.
This overdrive force is originally transmitted to the support bars 26a, 26b. As a result, the support bars 26a and 26b may be bent and deformed due to manufacturing tolerances between the through holes 40a and 40b and the support bars 26a and 26b, thereby causing torsional deformation in the probe 22.

그러나, 각 프로브 조립체(10)에 있어서는, 아암영역(36a)에 설치된 하중전달부(54)가 슬릿(32a)에 수용되어 있기 때문에, 각 프로브(22)에 오버드라이브 힘이 작용하면, 프로브(22)의 하중전달부(54)가 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에 가압되어, 프로브(22)에 작용하는 오버드라이브 힘이 슬릿바(28a)를 통하여 지지체(24)로 전달된다.
However, in each probe assembly 10, since the load transmission part 54 provided in the arm area | region 36a is accommodated in the slit 32a, when an overdrive force acts on each probe 22, a probe ( 22 is pressed against the inner bottom of the slit 32a so that the overdrive force acting on the probe 22 is transmitted to the support 24 through the slit bar 28a.

이 때문에, 아암영역(36a) 및 침선영역(38a)의 자세가 구속되기 때문에, 슬릿(32a)과 아암영역(36a) 사이의 가공 오차에 기인하는 아암영역(36a) 및 침선영역(38a)이 프로브(22)의 길이방향으로 연장되는 가상적인 선 주위로 각도적으로 회전하여서 넘어질 것 같은 아암영역(36a) 및 침선영역(38a)의 비틀림 변형이 저감된다.
For this reason, since the postures of the arm region 36a and the needle region 38a are constrained, the arm region 36a and the needle region 38a due to the machining error between the slit 32a and the arm region 36a are restricted. Torsional deformation of the arm region 36a and the needle region 38a, which are likely to fall by turning angularly around an imaginary line extending in the longitudinal direction of the probe 22, is reduced.

또한, 각 프로브 조립체(10)에 있어서는, 각 프로브(22)에 오버드라이브 힘이 작용하면, 각 프로브(22)의 상향면(52)이 슬릿바(28a)의 하향면(50)에 가압되어서, 하향면(50) 및 상향면(52)이 각각 강성적 지지점 및 강성적 피지지점으로서 작용한다. 이에 의해 각 프로브(22)에 작용하는 오버드라이브 힘의 일부가 슬릿바(28a)에 작용한다.
In addition, in each probe assembly 10, when an overdrive force acts on each probe 22, the upward surface 52 of each probe 22 is pressed against the downward surface 50 of the slit bar 28a, , Downward surface 50 and upward surface 52 serve as rigid support points and rigid supported points, respectively. As a result, a part of the overdrive force acting on each probe 22 acts on the slit bar 28a.

상기의 결과, 지지바(26a)에 작용하는 오버드라이브 힘이 저감되어서 지지바(26a)의 휘어짐 변형이 저감되고, 각 프로브(22)의 설치영역(34)에서의 비틀림 변형이 저감된다.
As a result of this, the overdrive force acting on the support bar 26a is reduced, so that the bending deformation of the support bar 26a is reduced, and the torsional deformation in the installation region 34 of each probe 22 is reduced.

각 프로브 조립체(10)에 있어서는, 각 프로브(22)의 하중전달부(54)가 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에 가압되고, 게다가 각 상향면(52)이 슬릿바(28a)의 하향면(50)에 가압된 후에, 각 프로브(22)는 아암영역(36a) 중 하중전달부(54)보다 선단측 및 후단측의 각 부위에서 탄성 변형한다. 이에 의해, 각 프로브(22)의 침선(42a)은, 액정표시패널(14)의 대응하는 전극 패드에 확실하게 가압된다.
In each probe assembly 10, the load transmitting portion 54 of each probe 22 is pressed against the inner bottom of the slit 32a deeply, and each upward surface 52 is a downward surface of the slit bar 28a. After being pressed by 50, each probe 22 elastically deforms at each part of the front end side and the rear end side of the arm area | region 36a rather than the load transmission part 54. As shown in FIG. As a result, the needle bar 42a of each probe 22 is reliably pressed to the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14.

도5에서 나타내는 바와 같이, 평탄한 후향면(56)을 선단측의 슬릿바(28a)의 후단측 개소, 특히 슬릿(32a)과 하향면(50) 사이의 개소에 형성하고, 또한 후향면(56)에 맞닿아진 전향면(58)을, 각 프로브(22)의 설치영역(34)의 선단측의 개소, 특히 하중전달부(54)와 상향면(52) 사이의 개소에 형성하여도 좋다.
As shown in Fig. 5, a flat rear face 56 is formed at a rear end side portion of the slit bar 28a on the front end side, in particular, at a position between the slit 32a and the downward surface 50, and also the rear face 56 side. ) May be formed at the tip end side of the installation area 34 of each probe 22, in particular, between the load transfer part 54 and the upward surface 52. .

그와 같이 하면, 후향면(56) 및 전향면(58)이 서로 맞닿음으로써 프로브(22)의 길이방향에서의 위치결정이 이루어지며, 액정표시패널(14)의 패드 전극에 대한 프로브(22)의 침선(42a)의 위치가 안정된다.
In this way, positioning of the probe 22 in the longitudinal direction is achieved by bringing the rear surface 56 and the front surface 58 into contact with each other, and the probe 22 with respect to the pad electrode of the liquid crystal display panel 14. Position of the needle bar 42a is stabilized.

또한, 도6에서 나타내는 바와 같이, 각 하중전달부(54)를 그 후단에서 설치영역(34), 예를 들면, 전향면(58)의 앞단 하부로 이어지도록 형성하여도 된다. 이 경우, 프로브(22)는 오버드라이브 힘에 의해 하중전달부(54)가 슬릿(32a)의 깊숙한 안쪽 저면에 가압된 후, 하중전달부(54)보다 선단측의 아암영역(36a)의 개소에 있어서 탄성 변형한다.
As shown in Fig. 6, each load transmitting portion 54 may be formed so as to extend from the rear end to the lower portion of the front end of the installation region 34, for example, the turning surface 58. In this case, the probe 22 is pressurized by the overdrive force to the inner bottom surface of the slit 32a deep, and then the position of the arm region 36a on the tip side of the load transfer section 54. In elastic deformation.

하향면(50), 상향면(52), 후향면(56) 및 전향면(58)을 필요로 하지 않을 수 있다. 그러나, 한 쌍의 지지바(26a 및 26b)에 작용하는 오버드라이브 힘의 경감을 도모하기 위해서는, 하향면(50), 상향면(52), 후향면(56) 및 전향면(58)을 설치하는 것이 바람직하다.
The downward surface 50, the upward surface 52, the reverse surface 56 and the forward surface 58 may not be required. However, in order to reduce the overdrive force acting on the pair of support bars 26a and 26b, the downward surface 50, the upward surface 52, the reverse surface 56 and the forward surface 58 are provided. It is desirable to.

본 발명은 액정표시패널뿐만 아니라 다수의 발광소자를 이용한 표시패널과 같은 다른 평판형상 피검사체의 전기적 시험에 이용되는 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.
The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel but also to a probe assembly used for an electrical test of another flat object such as a display panel using a plurality of light emitting elements.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 취지를 일탈하지 않는 한, 여러 가지로 변경할 수 있다.
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the claims.

10; 프로브 조립체
12; 전기적 접속장치
14; 액정표시패널(피검사체)
22; 프로브
24; 지지체
26a,26b; 지지바
28a,28b; 슬릿바
30a,30b; 사이드커버
32a,32b; 슬릿
34; 설치영역
36a,36b; 아암영역
38a,38b; 침선영역
40a,40b; 관통홀
42a,42b; 침선
50; 하향면
52; 상향면
54; 하중전달부
56; 후향면
58; 전향면10; Probe assembly
12; Electrical connections
14; LCD panel (inspection)
22; Probe
24; Support
26a, 26b; Support bar
28a, 28b; Slit bar
30a, 30b; Side cover
32a, 32b; Slit
34; Area of installation
36a, 36b; Arm area
38a, 38b; Needle point
40a, 40b; Through hole
42a, 42b; Acupuncture
50; Bottom view
52; Upward
54; Load transfer part
56; Backward
58; Forward facing

Claims

With a support,
A plurality of probes each having a band-shaped mounting region, a band-shaped arm region extending forwardly from a lower end of the mounting region, and a needle-taking region extending downward from a distal end of the arm region, wherein the plurality of probes are provided; A plurality of probes arranged in parallel with the mounting area and the arm area facing the lower side of the support in a state in which the width direction of the arm area is in the vertical direction;
A slit bar disposed on the front end side of the support in a state extending in the array direction of the probe, the slit bar extending in the longitudinal direction of the probe at intervals in the longitudinal direction of the slit bar, each having a lower bottom while being opened downward; A slit bar having a plurality of slits,
Each probe is accommodated in the slit at least in the arm region with the needle region extending downward from the slit,
Each probe is a load transfer part projecting upward from the rear end of the arm region, and further includes a load transfer part accommodated in a corresponding slit.
And the arm region of each probe is spaced downward from at least the deep bottom surface of an upper surface of a tip side portion than at least the load transmitting portion.

The said slit bar is further provided with the rear surface at the back-end side part,
Each probe further comprises a forward facing surface abutting against the backward facing surface at a tip side of the installation region.

The load transmitting part according to any one of claims 1 and 2, which is accommodated in the rear end of the slit,
And the arm region is spaced apart downwardly from the deep bottom surface of the upper surface of each of the front end side and the rear end side than the load transfer part.

The probe assembly according to any one of claims 1 and 2, wherein the load transfer unit is formed to extend from the rear end of the installation area to the lower end of the installation area at the rear end of the load transfer unit.

The probe assembly according to claim 1 or 2, wherein an upper end of the load transfer part is in contact with the deep bottom of the slit.

The probe assembly according to claim 1 or 2, wherein the upper end of the load transfer part is spaced downwardly from the inside of the deep bottom so as to first contact the deep bottom when the overdrive force is applied.

The said slit bar is further equipped with the downward surface in the location of a back side,
Each probe further comprises an upward surface which is in contact with the downward surface at a location on the front end side of the installation region.

The elongated support bar which extends through the installation area in the thickness direction of the installation area, is fixed to both sides of the support, and the support bar is fixed at both ends thereof. Probe assembly further comprising a pair of side covers supported on.