JP4909803B2 - Probe assembly and inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体及び検査装置に関する。   The present invention relates to a probe assembly and an inspection apparatus used for inspecting a flat inspection object such as a liquid crystal panel and an integrated circuit.

液晶パネル等の平板状の被検査体は、一般にプローブユニットを用いて検査される。この種のプローブユニットとしては、薄い板状のブレード型プローブを複数枚並べて構成するタイプのものがある。この例としては特許文献１がある。この特許文献１の発明を以下に概説する。   A flat inspection object such as a liquid crystal panel is generally inspected using a probe unit. As this type of probe unit, there is a type in which a plurality of thin plate-like blade-type probes are arranged side by side. There exists patent document 1 as this example. The invention of Patent Document 1 is outlined below.

プローブ組立体１は、図２及び図３に示すように、ブロック２と、ブロック２の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ３と、プローブ３を貫通する細長い一対のガイドバー４と、プローブ３の一部を受け入れる一対のスリットバー５と、プローブ３の後端側に針先の位置を安定化させる長尺のガイド部材６と、ガイドバー４をブロック２に支持させる一対のサイドカバー７とを含んで構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the probe assembly 1 includes a block 2, a plurality of strip-like probes 3 arranged in parallel below the block 2, and a pair of elongated guide bars that penetrate the probe 3. 4, a pair of slit bars 5 for receiving a part of the probe 3, a long guide member 6 for stabilizing the position of the needle tip on the rear end side of the probe 3, and a pair for supporting the guide bar 4 on the block 2. The side cover 7 is included.

各プローブ３は、帯状の中央領域３Ａと、該中央領域の先端および後端から前方および後方へ伸びる一対の針先領域３Ｂおよび３Ｃとを備える。中央領域３Ａは、ガイドバー４が貫通するガイド穴３Ｄを各端部に有する。各プローブ３は、そのガイド穴３Ｄにガイドバー４が通され、各針先領域３Ｂおよび３Ｃがスリットバー５に嵌合されて、ブロック２の下側に配設されている。   Each probe 3 includes a belt-like central region 3A and a pair of needle tip regions 3B and 3C extending forward and rearward from the front and rear ends of the central region. The center region 3A has a guide hole 3D through which the guide bar 4 penetrates at each end. Each probe 3 has a guide bar 4 passing through its guide hole 3D, and each needle tip region 3B and 3C is fitted to the slit bar 5 so as to be disposed below the block 2.

これにより、針先領域３Ｂのプローブが液晶パネル上に設けられた電極に接触されて電気的に接続され、制御信号送信等が行われる。
特開平１０−１３２８５３号公報 Thereby, the probe in the needle tip region 3B is brought into contact with and electrically connected to the electrode provided on the liquid crystal panel, and control signal transmission or the like is performed.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-132853

ところで、前記プローブは消耗品であり、交換する必要がある。この交換作業においては、一部のプローブだけ交換する場合がある。例えば、プローブが１つ折れてこの１つのプローブだけを交換する場合がある。この場合は、プローブの交換作業に慎重を要する。プローブ１つ１つは、非常に軽くてばらばらになりやすいため、多数並んだプローブのうちの一部だけを交換する場合、プローブにちょっと当たっただけでもばらけたり、破損したりすることがある。このため、プローブの交換作業は慎重に行う必要があり、作業効率が悪いという問題がある。   By the way, the probe is a consumable item and needs to be replaced. In this exchange work, only some probes may be exchanged. For example, one probe may be broken and only this one probe is replaced. In this case, care must be taken when replacing the probe. Each probe is very light and tends to break apart, so when only a part of a large number of probes are exchanged, even a slight contact with the probe may break or break. . For this reason, it is necessary to carefully replace the probe, and there is a problem that work efficiency is poor.

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、プローブの交換を容易に、かつ安全に行うことができるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a probe unit and an inspection apparatus that can easily and safely exchange a probe.

前記課題を解決するために本発明に係るプローブ組立体は、ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体であって、複数の前記ブレード型プローブを一体的に支持するブロック片と、当該ブロック片の先端側と基端側とにそれぞれ設けられ複数の前記ブレード型プローブの先端側と基端側とを一定間隔を空けてそれぞれ支持する２つのスリットバーと、複数の前記ブレード型プローブにそれぞれ貫通して各ブレード型プローブを一体的に支持する１つ以上のガイドバーと、前記ブロック片に固定されて前記ガイドバーを支持するサイドカバーと、前記ブレード型プローブの交換作業時に複数の前記ブレード型プローブの先端側又は基端側を前記スリットバーとで挟むように配設されて、前記スリットバーに嵌合した前記ブレード型プローブの先端側又は基端側が当該スリットバーから抜け落ちないように抑える交換シャフトと、前記ブロック片に取り付けられて前記ブレード型プローブ及び前記スリットバーを覆うと共に前記交換シャフトを支持するインナーカバーと、前記交換シャフトの配設位置の反対側である基端側又は先端側の前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた嵌合部と、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられ当該嵌合部に嵌合して当該ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めする被嵌合部とを備えて構成されたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a probe assembly according to the present invention is a probe assembly that supports a blade-type probe and makes electrical contact with an electrode of an object to be inspected, and a plurality of the blade-type probes are integrated. And two slit bars provided on the distal end side and the proximal end side of the block piece, respectively, for supporting the distal end side and the proximal end side of the plurality of blade-type probes at a predetermined interval, respectively. One or more guide bars penetrating each of the plurality of blade-type probes and integrally supporting each blade-type probe; a side cover fixed to the block piece and supporting the guide bar; and the blade type the distal side or proximal side of the plurality of blades probe during replacement of the probe is disposed so as to sandwich between the slit bar, before Symbol Surittoba An exchange shaft that prevents the tip or base end of the blade-type probe fitted to the slit bar from falling off the slit bar, and is attached to the block piece to cover the blade-type probe and the slit bar and An inner cover to be supported, a fitting portion provided facing the blade-type probe side of the slit bar on the proximal end side or the distal end side which is the opposite side of the arrangement position of the replacement shaft, and each blade type A fitting portion that faces the fitting portion of the slit bar and is fitted to the fitting portion and positions the blade-type probe with respect to the slit bar and temporarily fixes the probe. It is characterized by being configured.

前記構成により、複数のブレード型プローブのうちの一部を交換する場合は、前記各ブレード型プローブをばらして、各ブレード型プローブの一端の被嵌合部を前記スリットバーの嵌合部に嵌合させて位置決めして仮止めし、他端を前記交換シャフトと前記スリットバーとで挟んで、各ブレード型プローブがばらけるのを抑える。この状態で、交換対象のブレード型プローブを抜き取って新しいブレード型プローブと交換する。   With the above configuration, when replacing some of the plurality of blade-type probes, the blade-type probes are separated, and the fitting portion at one end of each blade-type probe is fitted into the fitting portion of the slit bar. The other end is sandwiched between the replacement shaft and the slit bar to prevent the blade type probes from being scattered. In this state, the blade type probe to be replaced is extracted and replaced with a new blade type probe.

前記嵌合部は、前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた凸条によって構成し、前記被嵌合部は、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられた凹状切り欠きによって構成することが望ましい。   The fitting portion is configured by a ridge provided facing the blade-type probe side of the slit bar, and the fitted portion is the fitting portion side of the slit bar among the blade-type probes. It is desirable to constitute by a concave notch provided facing the surface.

被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えた検査装置であって、前記測定部のプローブユニットに、前記プローブ組立体を組み込むことが望ましい。   An inspection apparatus comprising a set unit that carries an object to be inspected from outside and conveys the object to be inspected after completion of the inspection, and a measuring unit that supports and inspects the object to be inspected delivered from the set unit. It is desirable to incorporate the probe assembly into the probe unit.

以上のように、前記各ブレード型プローブの一端の被嵌合部を前記スリットバーの嵌合部に嵌合させて当該各ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めし、前記各ブレード型プローブの他端部を前記スリットバーと交換シャフトとの間に挟んで支持して、各ブレード型プローブの交換を行うため、各ブレード型プローブがばらけるのを抑えて、プローブの交換を容易に、かつ安全に行うことができる。 As described above, said the fitted portion of the one end of each blade-type probe is fitted into the fitting portion of the slit bars each such blade type probe temporarily fixed is positioned with respect to the slit bar, the The blade type probe is exchanged by holding the other end of each blade type probe between the slit bar and the exchange shaft and replacing each blade type probe. Can be carried out easily and safely.

以下、本発明の実施形態に係るプローブ組立体及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態の検査装置は、被検査体の検査に用いる検査装置であって、被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えものである。この検査装置の前記測定部のプローブ組立体として、本実施形態に係るプローブ組立体を用いる。なお、本実施形態の検査装置は、前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここではプローブ組立体を中心に説明する。また、本発明に係る検査装置としては、本実施形態に係るプローブ組立体を用いることができる装置すべてに適用することができる。   Hereinafter, a probe assembly and an inspection apparatus according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The inspection apparatus according to the present embodiment is an inspection apparatus used for inspecting an object to be inspected, and includes a set unit that carries the object to be inspected from the outside and conveys the object to the outside after the inspection is completed, and the object to be inspected delivered from the set unit And a measuring unit for supporting and testing the body. The probe assembly according to this embodiment is used as the probe assembly of the measurement unit of this inspection apparatus. The inspection apparatus according to the present embodiment is substantially the same as the conventional inspection apparatus, and therefore, the probe assembly will be mainly described here. The inspection apparatus according to the present invention can be applied to all apparatuses that can use the probe assembly according to the present embodiment.

本実施形態のプローブユニット１１は、図４に示すように、被検査体としての液晶パネル１２の検査装置に用いられる装置である。液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また複数の電極(図示せず)を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。   As shown in FIG. 4, the probe unit 11 of the present embodiment is an apparatus used in an inspection apparatus for a liquid crystal panel 12 as an object to be inspected. The liquid crystal panel 12 has a rectangular shape, and a plurality of electrodes (not shown) are formed at predetermined pitches on edges corresponding to two adjacent sides of the rectangle.

プローブユニット１１は主に、プローブベース１３と、プローブ組立体１４とを備えて構成されている。   The probe unit 11 mainly includes a probe base 13 and a probe assembly 14.

プローブベース１３は、検査装置の本体フレーム側に固定される部材である。プローブベース１３は、本体フレーム側に固定された状態で、プローブ組立体１４を支持している。   The probe base 13 is a member fixed to the main body frame side of the inspection apparatus. The probe base 13 supports the probe assembly 14 while being fixed to the main body frame side.

プローブ組立体１４は、プローブを支持して液晶パネル１２の電極に電気的に接触させるための装置である。プローブ組立体１４は図５に示すように主に、サスペンションベース１６と、スライドブロック１７と、プローブプレート１８と、ＦＰＣベース１９と、プローブブロック２０とを備えて構成されている。   The probe assembly 14 is a device for supporting the probe and making electrical contact with the electrodes of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG. 5, the probe assembly 14 mainly includes a suspension base 16, a slide block 17, a probe plate 18, an FPC base 19, and a probe block 20.

サスペンションベース１６は、スライドブロック１７等を介して後述するプローブブロック２０のブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サスペンションベース１６は、全体をほぼ立方体状に形成されてプローブベース１３に固定されている。サスペンションベース１６の先端側には、スライドブロック１７を上側から付勢するための庇部１６Ａが設けられている。庇部１６Ａにはボルト穴２２が設けられ、ボルト２３がねじ込まれている。このボルト２３の先端側が後述するスライドブロック１７のスプリング穴１７Ｂに挿入されている。サスペンションベース１６の先端側面の前記庇部１６Ａの下側には、スライドブロック１７を上下方向にスライド可能に案内するレール２４が設けられている。   The suspension base 16 is a member for supporting a blade type probe 38 of the probe block 20 described later via the slide block 17 or the like. The suspension base 16 is formed in a substantially cubic shape as a whole and is fixed to the probe base 13. On the distal end side of the suspension base 16, a flange portion 16A for biasing the slide block 17 from above is provided. A bolt hole 22 is provided in the flange portion 16A, and a bolt 23 is screwed therein. The front end side of the bolt 23 is inserted into a spring hole 17B of the slide block 17 described later. A rail 24 for guiding the slide block 17 to be slidable in the vertical direction is provided below the flange portion 16A on the side surface of the suspension base 16.

スライドブロック１７は、上下へスライドしてプローブブロック２０を支持するための部材である。スライドブロック１７はおおむね立方体状に形成されている。スライドブロック１７の下部には、プローブプレート１８を覆う大きさの庇部１７Ａが形成されている。プローブプレート１８は、この庇部１７Ａを含むスライドブロック１７の下側面に当接して支持される。スライドブロック１７の基端面（図５中の右側面）には、サスペンションベース１６のレール２４に嵌合してスライドブロック１７の上下への移動を支持するガイド２６が取り付けられている。スライドブロック１７の上側面には、スプリング２８を挿入するためのスプリング穴１７Ｂが設けられている。スプリング２８は、ボルト２３に支持されてスプリング穴１７Ｂ内に挿入され、スライドブロック１７を下方へ付勢している。このスプリング２８による付勢力によって、後述する各接触子５６が液晶パネル１２の各電極に接触した状態で各接触子５６を各電極側に付勢している。   The slide block 17 is a member for supporting the probe block 20 by sliding up and down. The slide block 17 is generally formed in a cubic shape. A flange portion 17 </ b> A having a size covering the probe plate 18 is formed at the lower portion of the slide block 17. The probe plate 18 is supported in contact with the lower surface of the slide block 17 including the flange portion 17A. A guide 26 that is fitted to the rail 24 of the suspension base 16 and supports the movement of the slide block 17 up and down is attached to the base end surface (the right side surface in FIG. 5) of the slide block 17. On the upper side surface of the slide block 17, a spring hole 17B for inserting the spring 28 is provided. The spring 28 is supported by the bolt 23 and inserted into the spring hole 17B, and urges the slide block 17 downward. The urging force of the spring 28 urges each contactor 56 toward each electrode in a state where each contactor 56 described later is in contact with each electrode of the liquid crystal panel 12.

プローブプレート１８は、スライドブロック１７に支持された状態で、ＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とを支持するための部材である。プローブプレート１８は、その上側面がスライドブロック１７の下側面に固定された状態で、下側面にＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とが固定されている。   The probe plate 18 is a member for supporting the FPC base 19 and the probe block 20 while being supported by the slide block 17. The probe plate 18 has the FPC base 19 and the probe block 20 fixed to the lower surface with the upper surface fixed to the lower surface of the slide block 17.

ＦＰＣベース１９は、ＦＰＣケーブル２７を支持して外部装置と後述するブレード型プローブ３８とを電気的に接続するための部材である。ＦＰＣケーブル２７は、その基端部がプローブベース１３の下側面に取り付けられた中継基板２９に接続され、先端部がＦＰＣベース１９の下側面に取り付けられている。ＦＰＣベース１９の先端部には、後述するブレード型プローブ３８のＦＰＣ側の接触子５７に電気的に接触する端子(図示せず)、この端子を保護するガイドフィルム(図示せず)、駆動用集積回路(図示せず)等が設けられている。   The FPC base 19 is a member that supports the FPC cable 27 and electrically connects an external device and a blade-type probe 38 described later. The base end portion of the FPC cable 27 is connected to a relay board 29 attached to the lower side surface of the probe base 13, and the distal end portion is attached to the lower side surface of the FPC base 19. At the tip of the FPC base 19, a terminal (not shown) that makes electrical contact with a contact 57 on the FPC side of a blade-type probe 38, which will be described later, a guide film (not shown) that protects this terminal, and drive An integrated circuit (not shown) or the like is provided.

プローブブロック２０は、液晶パネル１２の回路(図示せず)に検査信号送信等を行うために液晶パネル１２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック２０は、図１に示すように、ブロック片３３と、スリットバー３４と、ガイドバー３５と、サポートピン３６と、サイドカバー３７と、ブレード型プローブ３８とを備えて構成されている。   The probe block 20 is a member for electrically contacting the electrodes of the liquid crystal panel 12 in order to transmit an inspection signal to a circuit (not shown) of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG. 1, the probe block 20 includes a block piece 33, a slit bar 34, a guide bar 35, a support pin 36, a side cover 37, and a blade type probe 38.

ブロック片３３は、その下側面に複数のブレード型プローブ３８を一定間隔を空けて一体的に支持するための部材である。ブロック片３３は、その下側面がブレード型プローブ３８の上側面形状に合わせて凹ませて形成されている。ブロック片３３の左右両側（図１中の左上右下方向の両側）には、サイドカバー３７を固定するためのネジ穴(図示せず)が複数設けられている。ブロック片３３の上側面には、プローブブロック２０をプローブプレート１８に固定するためのネジ穴４１が複数設けられている。   The block piece 33 is a member for integrally supporting a plurality of blade-type probes 38 at a predetermined interval on the lower surface thereof. The lower surface of the block piece 33 is formed to be recessed in accordance with the shape of the upper surface of the blade type probe 38. A plurality of screw holes (not shown) for fixing the side cover 37 are provided on the left and right sides of the block piece 33 (both sides in the upper left and lower right directions in FIG. 1). A plurality of screw holes 41 for fixing the probe block 20 to the probe plate 18 are provided on the upper side surface of the block piece 33.

スリットバー３４は、多数配設されるブレード型プローブ３８のうち後述する各先端側腕部５１と各ＦＰＣ側腕部５２とをそれぞれ正確に位置決めして支持するための部材である。このスリットバー３４は、セラミックスで形成され、熱による影響を受けずにブレード型プローブ３８を正確に支持するようになっている。先端側スリットバー３４Ａはブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１を支持し、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂはブレード型プローブ３８の各ＦＰＣ側腕部５２を支持する。各スリットバー３４Ａ，３４Ｂは、多数のスリット４３を設けて構成されている。各スリット４３は、ブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１及び各ＦＰＣ側腕部５２を設定間隔を空けて支持するためのスリットである。先端側スリットバー３４Ａの各スリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合する先端側腕部５１の後述する接触子５６が液晶パネル１２の各電極の間隔に整合するように設定されている。ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂのスリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合するＦＰＣ側腕部５２の後述する接触子５７がＦＰＣケーブル２７の端子の間隔に整合するように設定されている。   The slit bar 34 is a member for accurately positioning and supporting each of the distal-side arm portions 51 and the FPC-side arm portions 52, which will be described later, among the many blade-type probes 38 that are arranged. The slit bar 34 is made of ceramics and accurately supports the blade type probe 38 without being affected by heat. The tip side slit bar 34 </ b> A supports each tip side arm portion 51 of the blade type probe 38, and the FPC side slit bar 34 </ b> B supports each FPC side arm portion 52 of the blade type probe 38. Each slit bar 34 </ b> A, 34 </ b> B is configured by providing a large number of slits 43. Each slit 43 is a slit for supporting each tip side arm portion 51 and each FPC side arm portion 52 of the blade-type probe 38 with a set interval. The interval between the slits 43 of the front end side slit bar 34 </ b> A is set so that a contact 56 described later of the front end side arm portion 51 fitted to each slit 43 matches the interval between the electrodes of the liquid crystal panel 12. The distance between the slits 43 of the FPC side slit bar 34 </ b> B is set so that a contact 57 (described later) of the FPC side arm portion 52 fitted to each slit 43 matches the distance between the terminals of the FPC cable 27.

先端側スリットバー３４Ａのうちブレード型プローブ３８側に面した位置には嵌合部４５が設けられている。この嵌合部４５は、ブレード型プローブ３８側に面して設けられた凸条によって構成されている。この嵌合部４５は、スリットバー３４の全長に亘って設けられ、全てのブレード型プローブ３８の後述する被嵌合部４６が嵌合するようになっている。この嵌合部４５にブレード型プローブ３８の被嵌合部４６が嵌合することで、交換作業時のブレード型プローブ３８の上下前後（図６中の上下左右）の位置決めと仮止めをするようになっている。   A fitting portion 45 is provided at a position facing the blade-type probe 38 side of the tip-side slit bar 34A. The fitting portion 45 is constituted by a ridge provided facing the blade type probe 38 side. The fitting portion 45 is provided over the entire length of the slit bar 34 so that fitting portions 46 described later of all the blade type probes 38 are fitted. By fitting the fitted portion 46 of the blade-type probe 38 into the fitting portion 45, the blade-type probe 38 is positioned in the up / down / front / rear direction (up / down / left / right in FIG. 6) and temporarily fixed during the replacement operation. It has become.

ガイドバー３５は、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。ガイドバー３５は大径円柱状に形成されている。大径円柱状のガイドバー３５の直径は、ブレード型プローブ３８の後述するガイドバー穴５３の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。即ち、ブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３にガイドバー３５が嵌合した状態でこのガイドバー３５を位置決めすると、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置が正確に決まる。このため、ガイドバー３５の直径をブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３の内径に整合する寸法に設定して、ガイドバー３５を位置決めすることで、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置決めが正確にできるようになっている。   The guide bar 35 is a member for supporting the blade type probe 38. The guide bar 35 is formed in a large diameter cylindrical shape. The diameter of the large-diameter cylindrical guide bar 35 is set to a dimension that matches the inner diameter of a guide bar hole 53 (described later) of the blade-type probe 38. This is because the blade type probe 38 is positioned via the guide bar 35. That is, when the guide bar 35 is positioned in a state where the guide bar 35 is fitted in the guide bar hole 53 of the blade type probe 38, the position of the blade type probe 38 in the direction orthogonal to the central axis of the guide bar 35 is accurately determined. Determined. For this reason, the diameter of the guide bar 35 is set to a dimension that matches the inner diameter of the guide bar hole 53 of the blade-type probe 38, and the guide bar 35 is positioned so that the guide bar 35 is positioned in a direction perpendicular to the central axis of the guide bar 35. The blade type probe 38 can be accurately positioned.

サポートピン３６は、ガイドバー３５と共に、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サポートピン３６は円形棒状に形成されている。このサポートピン３６の直径は、ブレード型プローブ３８の後述するサポートピン穴５４の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。   The support pin 36 is a member for supporting the blade type probe 38 together with the guide bar 35. The support pin 36 is formed in a circular rod shape. The diameter of the support pin 36 is set to a dimension that matches the inner diameter of a support pin hole 54 described later of the blade type probe 38. This is because the blade type probe 38 is positioned through the support pin 36 together with the guide bar 35.

サイドカバー３７は、ガイドバー３５とサポートピン３６を支持するための板材である。サイドカバー３７は２枚用いられ、ブロック片３３の両側に取り付けられている。サイドカバー３７には、カバー固定用ネジ穴、ガイドバー固定用ネジ穴、サポートピン固定用ネジ穴（いずれも図示せず）等が設けられている。各ネジ穴は正確に位置決めして設けられ、ブロック片３３に対してガイドバー３５とサポートピン３６を正確に位置決めして支持するようになっている。   The side cover 37 is a plate material for supporting the guide bar 35 and the support pin 36. Two side covers 37 are used, and are attached to both sides of the block piece 33. The side cover 37 is provided with a cover fixing screw hole, a guide bar fixing screw hole, a support pin fixing screw hole (all not shown), and the like. Each screw hole is provided with accurate positioning, and the guide bar 35 and the support pin 36 are accurately positioned and supported with respect to the block piece 33.

ブレード型プローブ３８は、液晶パネル１２の回路の電極に直接に接触して検査信号送信等を行うため部材である。ブレード型プローブ３８は、図１，６に示すように、その中央の本体板部５０と、先端側の先端側腕部５１と、基端側のＦＰＣ側腕部５２とから構成されている。 The blade-type probe 38 is a member for directly inspecting the circuit electrode of the liquid crystal panel 12 to transmit an inspection signal and the like. As shown in FIGS. 1 and 6, the blade-type probe 38 includes a central main body plate portion 50, a distal end side distal end arm portion 51, and a proximal end side FPC side arm portion 52.

本体板部５０は、ガイドバー３５とサポートピン３６とを通すためのガイドバー穴５３と、サポートピン穴５４とが設けられている。ガイドバー穴５３は、その内径がガイドバー３５の外径寸法と整合する寸法に設定されている。サポートピン穴５４は、その内径がサポートピン３６の外径寸法と整合する寸法に設定されている。これにより、本体板部５０は、正確に位置決めされて支持される。   The main body plate portion 50 is provided with a guide bar hole 53 for passing the guide bar 35 and the support pin 36 and a support pin hole 54. The guide bar hole 53 has an inner diameter set to a dimension that matches the outer diameter dimension of the guide bar 35. The support pin hole 54 is set so that its inner diameter matches the outer diameter of the support pin 36. As a result, the main body plate portion 50 is accurately positioned and supported.

先端側腕部５１は、その先端部で下側に向いた接触子５６を支持するための部材である。先端側腕部５１では、液晶パネル１２の電極に整合する先端位置に接触子５６が設けられている。   The distal end side arm portion 51 is a member for supporting the contact 56 facing downward at the distal end portion. In the distal arm 51, a contact 56 is provided at the distal position that matches the electrode of the liquid crystal panel 12.

ＦＰＣ側腕部５２は、その基端部（図６中の右側端部）で上側に向いた接触子５７を支持するための部材である。ＦＰＣ側腕部５２では、ＦＰＣケーブル２７の端子に整合する位置に接触子５７が設けられている。   The FPC side arm portion 52 is a member for supporting the contactor 57 facing upward at the base end portion (right end portion in FIG. 6). In the FPC side arm portion 52, a contactor 57 is provided at a position aligned with the terminal of the FPC cable 27.

さらに、ブレード型プローブ３８のうち前記スリットバー３４の嵌合部４５側に面した位置には被嵌合部４６が設けられている。被嵌合部４６は、嵌合部４５に嵌合することで、ブレード型プローブ３８をスリットバー３４に対して位置決めして仮止めするための部分である。被嵌合部４６は、各ブレード型プローブ３８のうちスリットバー３４の嵌合部４５に面した位置に設けられた凹状切り欠きによって構成されている。この被嵌合部４６が嵌合部４５に嵌合することで、ブレード型プローブ３８がスリットバー３４に対して位置決めされて仮止めされるようになっている。   Further, a fitted portion 46 is provided at a position of the blade type probe 38 facing the fitting portion 45 side of the slit bar 34. The fitted part 46 is a part for positioning and temporarily fixing the blade type probe 38 with respect to the slit bar 34 by fitting into the fitting part 45. The fitted portion 46 is constituted by a concave notch provided in a position facing the fitting portion 45 of the slit bar 34 in each blade type probe 38. By fitting the fitted portion 46 into the fitting portion 45, the blade type probe 38 is positioned with respect to the slit bar 34 and temporarily fixed.

さらに、前記プローブブロック２０には、交換シャフト６１とインナーカバー６２とが、ブレード型プローブ３８の交換作業時にのみ設けられる。   Further, the probe block 20 is provided with an exchange shaft 61 and an inner cover 62 only when the blade type probe 38 is exchanged.

交換シャフト６１は、前記ブレード型プローブ３８の交換作業時に前記スリットバー３４のスリット４３に嵌合したブレード型プローブ３８の基端側であるＦＰＣ側腕部５２がこのスリット４３から抜け落ちないように抑えるためのシャフトである。交換シャフト６１は、図１、７に示すように、複数の前記ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を前記スリットバー３４とで挟むように、スリットバー３４に面する位置に配設される。交換シャフト６１は、スリットバー３４と接触させて、スリット４３内に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を挟んでもよく、スリットバー３４との間に僅かな空間を空けて、スリット４３内に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２がスリット４３から抜け落ちないようにして挟んでもよい。   The replacement shaft 61 prevents the FPC side arm portion 52 which is the base end side of the blade type probe 38 fitted in the slit 43 of the slit bar 34 from being removed from the slit 43 when the blade type probe 38 is replaced. It is a shaft for. As shown in FIGS. 1 and 7, the exchange shaft 61 is disposed at a position facing the slit bar 34 so as to sandwich the FPC side arm portions 52 of the plurality of blade-type probes 38 with the slit bar 34. . The exchange shaft 61 may be in contact with the slit bar 34 to sandwich the FPC side arm portion 52 of the blade-type probe 38 inserted into the slit 43, with a slight space between the slit bar 34 and the slit. The FPC side arm portion 52 of the blade-type probe 38 inserted into the blade 43 may be sandwiched so as not to fall out of the slit 43.

インナーカバー６２は、前記ブロック片３３に取り付けられて前記ブレード型プローブ３８及び前記スリットバー３４を覆うと共に前記交換シャフト６１を支持するための板材である。インナーカバー６２は、サイドカバー３７と同様に、ブロック片３３の両側にネジで固定されてスリットバー３４とブレード型プローブ３８を覆うようになっている。インナーカバー６２には、ガイドバー穴６３と、サポートピン穴６４と、交換シャフト穴６５とが設けられている。   The inner cover 62 is a plate member that is attached to the block piece 33 and covers the blade probe 38 and the slit bar 34 and supports the replacement shaft 61. Similar to the side cover 37, the inner cover 62 is fixed with screws on both sides of the block piece 33 so as to cover the slit bar 34 and the blade type probe 38. The inner cover 62 is provided with a guide bar hole 63, a support pin hole 64, and an exchange shaft hole 65.

ガイドバー穴６３は、ガイドバー３５を通すための穴で、ガイドバー３５の直径よりも大きく形成されている。ブレード型プローブ３８の交換作業の際に、インナーカバー６２がブロック片３３に取り付けられた後、ガイドバー３５がガイドバー穴６３から抜き取られる。   The guide bar hole 63 is a hole through which the guide bar 35 passes, and is formed larger than the diameter of the guide bar 35. When the blade type probe 38 is exchanged, the guide bar 35 is extracted from the guide bar hole 63 after the inner cover 62 is attached to the block piece 33.

サポートピン穴６４は、サポートピン３６を通すための穴で、サポートピン３６の直径よりも大きく形成されている。ブレード型プローブ３８の交換作業の際に、インナーカバー６２がブロック片３３に取り付けられた後、サポートピン３６がサポートピン穴６４から抜き取られる。   The support pin hole 64 is a hole through which the support pin 36 passes, and is formed larger than the diameter of the support pin 36. When the blade type probe 38 is replaced, the support pin 36 is removed from the support pin hole 64 after the inner cover 62 is attached to the block piece 33.

交換シャフト穴６５は、交換シャフト６１を通すための穴である。交換シャフト穴６５は、交換シャフト６１とほぼ同じ直径に設定され、交換シャフト６１が通された状態で、交換シャフト６１をがたつかないように支持する。交換シャフト６１は、交換シャフト穴６５に通された状態で、スリットバー３４と対峙して配設される。このとき、交換シャフト６１は、上述したように、スリットバー３４と接触する場合と接触しない場合とがある。これにより、交換シャフト６１とスリットバー３４とで、このスリットバー３４のスリット４３に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を間隔を空けて挟んで支持するようになっている。これにより、各ブレード型プローブ３８がばらけるのを抑えて、任意のブレード型プローブ３８を１つずつ出し入れできるようになっている。   The exchange shaft hole 65 is a hole through which the exchange shaft 61 is passed. The exchange shaft hole 65 is set to have substantially the same diameter as the exchange shaft 61 and supports the exchange shaft 61 so that it does not rattle when the exchange shaft 61 is passed. The exchange shaft 61 is disposed so as to face the slit bar 34 while being passed through the exchange shaft hole 65. At this time, the exchange shaft 61 may or may not contact the slit bar 34 as described above. Thus, the replacement shaft 61 and the slit bar 34 support the FPC side arm portion 52 of the blade-type probe 38 inserted into the slit 43 of the slit bar 34 with a space therebetween. As a result, it is possible to suppress one blade-type probe 38 from being scattered and to take in and out an arbitrary blade-type probe 38 one by one.

以上のように構成されたプローブユニット１１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、ブレード型プローブ３８の交換作業を中心に説明する。   The probe unit 11 configured as described above operates as follows. Since the operation of the entire inspection apparatus is the same as that of the conventional inspection apparatus, here, description will be made focusing on the replacement work of the blade type probe 38.

ブレード型プローブ３８がガイドバー３５とサポートピン３６とに通されて、ガイドバー３５とサポートピン３６が２つのサイドカバー３７に固定され、さらに、各サイドカバー３７がブロック片３３に固定されてプローブ組立体１４が構成される。そして、プローブ組立体１４がプローブベース１３に固定されて、プローブ組立体１４のブレード型プローブ３８の接触子５６が液晶パネル１２の各電極に接触され、検査信号送信等が行われる。この液晶パネル１２の検査において、一部のブレード型プローブ３８の接触子５６が折れる等の問題が生じた場合は、そのブレード型プローブ３８の交換を行う。   The blade type probe 38 is passed through the guide bar 35 and the support pin 36, the guide bar 35 and the support pin 36 are fixed to the two side covers 37, and each side cover 37 is fixed to the block piece 33 and the probe An assembly 14 is configured. Then, the probe assembly 14 is fixed to the probe base 13, the contact 56 of the blade type probe 38 of the probe assembly 14 is brought into contact with each electrode of the liquid crystal panel 12, and inspection signal transmission or the like is performed. In the inspection of the liquid crystal panel 12, when a problem such as breakage of the contacts 56 of some blade type probes 38 occurs, the blade type probes 38 are replaced.

この場合はまずプローブブロック２０を取り外す。そして、図１、７、８に示すように、サイドカバー３７をはずしてインナーカバー６２を取り付け、このインナーカバー６２の交換シャフト穴６５に交換シャフト６１を通す。次いで、インナーカバー６２のガイドバー穴６３及びサポートピン穴６４からガイドバー３５及びサポートピン３６を抜き取って各ブレード型プローブ３８をばらす。この状態で、各ブレード型プローブ３８は、その被嵌合部４６がスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合して、このブレード型プローブ３８がスリットバー３４を介して、プローブブロック２０に対して位置決めして仮止めされている。ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２側は、交換シャフト６１とスリットバー３４とで挟んで支持されている（図８（ａ）の状態）。   In this case, the probe block 20 is first removed. Then, as shown in FIGS. 1, 7, and 8, the side cover 37 is removed and the inner cover 62 is attached, and the replacement shaft 61 is passed through the replacement shaft hole 65 of the inner cover 62. Next, the guide bar 35 and the support pin 36 are extracted from the guide bar hole 63 and the support pin hole 64 of the inner cover 62, and each blade type probe 38 is separated. In this state, each blade-type probe 38 has its fitted portion 46 fitted into the fitting portion 45 of the slit bar 34, and the blade-type probe 38 is attached to the probe block 20 via the slit bar 34. Is positioned and temporarily fixed. The FPC side arm portion 52 side of the blade-type probe 38 is supported by being sandwiched between the exchange shaft 61 and the slit bar 34 (state shown in FIG. 8A).

この状態で、交換対象のブレード型プローブ３８を、その被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５から外して（図８（ｂ）の状態）、ＦＰＣ側腕部５２をスリットバー３４と交換シャフト６１との間から抜き取る（図８（ｃ）の状態）。次いで、新しいブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２をスリットバー３４と交換シャフト６１との間に挿入し、ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合させて、ブレード型プローブ３８を位置決めして仮止めする。   In this state, the blade-type probe 38 to be replaced is detached from the fitting portion 45 of the slit bar 34 (the state shown in FIG. 8B), and the FPC side arm portion 52 is moved to the slit bar 34. And the exchange shaft 61 (shown in FIG. 8C). Next, the FPC side arm portion 52 of the new blade type probe 38 is inserted between the slit bar 34 and the exchange shaft 61, and the fitted portion 46 of the blade type probe 38 is fitted to the fitting portion 45 of the slit bar 34. Then, the blade type probe 38 is positioned and temporarily fixed.

次いで、ガイドバー３５を各ブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３に貫通させ、サポートピン３６をサポートピン穴５４に貫通させて各ブレード型プローブ３８を一体的に支持し、インナーカバー６２を取り外してサイドカバー３７を取り付ける。そして、このサイドカバー３７にガイドバー３５とサポートピン３６とを取り付けて、プローブブロック２０をプローブ組立体１４に組み込み、プローブ組立体１４をプローブベース１３に取り付ける。   Next, the guide bar 35 is passed through the guide bar hole 53 of each blade type probe 38, the support pin 36 is passed through the support pin hole 54, the blade type probes 38 are integrally supported, and the inner cover 62 is removed. A side cover 37 is attached. Then, the guide bar 35 and the support pin 36 are attached to the side cover 37, the probe block 20 is assembled into the probe assembly 14, and the probe assembly 14 is attached to the probe base 13.

このように、各ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合させて各ブレード型プローブ３８をスリットバー３４に対して位置決めして仮止めし、ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２側をスリットバー３４と交換シャフト６１との間に挟んで支持して、ブレード型プローブ３８の交換を行うため、交換対象のブレード型プローブ３８以外の各ブレード型プローブ３８がばらけるのを抑えて、ブレード型プローブ３８の交換を容易に、かつ安全に行うことができる。   In this way, the fitted portion 46 of each blade type probe 38 is fitted to the fitting portion 45 of the slit bar 34, and each blade type probe 38 is positioned and temporarily fixed with respect to the slit bar 34, so that the blade type Since the FPC side arm 52 side of the probe 38 is supported by being sandwiched between the slit bar 34 and the exchange shaft 61, the blade type probe 38 is exchanged. It is possible to easily and safely replace the blade-type probe 38 while suppressing the separation of the blade 38.

さらに、交換作業時に、ブロック片３３のインナーカバー６２を取り付けてスリットバー３４とブレード型プローブ３８を覆うため、ものがスリットバー３４やブレード型プローブ３８に接触して破損するのを防止することができる。   Furthermore, during the replacement work, the inner cover 62 of the block piece 33 is attached to cover the slit bar 34 and the blade type probe 38, so that it is possible to prevent the object from coming into contact with the slit bar 34 and the blade type probe 38 and being damaged. it can.

［変形例］
前記実施形態では、スリットバー３４の嵌合部４５を凸状に、ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６を凹状に形成したが、これと逆に嵌合部４５を凹状に、被嵌合部４６を凸条にしてもよい。また、先端側スリットバー３４Ａ側に嵌合部４５を、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂ側に交換シャフト６１を設けたが、これと逆に先端側スリットバー３４Ａ側に交換シャフト６１を、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂ側に嵌合部４５を設けるようにしてもよい。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。 [Modification]
In the above embodiment, the fitting portion 45 of the slit bar 34 is formed in a convex shape, and the fitting portion 46 of the blade type probe 38 is formed in a concave shape. The portion 46 may be a ridge. Further, the fitting portion 45 is provided on the tip side slit bar 34A side, and the exchange shaft 61 is provided on the FPC side slit bar 34B side. The fitting portion 45 may be provided on the 34B side. Also in this case, the same operations and effects as described above can be achieved.

前記実施形態では、交換シャフト６１を丸い棒状にしたが、四角棒状や平板棒状等の他の形状でもよい。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。   In the embodiment, the exchange shaft 61 has a round bar shape, but may have other shapes such as a square bar shape and a flat bar shape. Also in this case, the same operations and effects as described above can be achieved.

前記実施形態では、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を設けたが、サポートピン３６は設けない場合もある。精度を高める必要がある場合にサポートピン３６を設ける。   In the embodiment, the support pin 36 is provided together with the guide bar 35, but the support pin 36 may not be provided. The support pin 36 is provided when it is necessary to increase the accuracy.

本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the probe assembly of the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 従来の検査装置のプローブ組立体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe assembly of the conventional inspection apparatus. 従来の検査装置のプローブ組立体を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the probe assembly of the conventional inspection apparatus. 本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す一部破断側面図である。It is a partially broken side view which shows the probe unit which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るプローブユニットのブレード型プローブを示す側面図である。It is a side view showing a blade type probe of a probe unit concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブブロックをその裏面から示す斜視図である。It is a perspective view which shows the probe block of the probe unit which concerns on embodiment of this invention from the back surface. 本発明の実施形態に係るプローブユニットのブレード型プローブの交換作業を示す側面図である。It is a side view showing exchange work of a blade type probe of a probe unit concerning an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１１：プローブユニット、１２：液晶パネル、１３：プローブベース、１４：プローブ組立体、１６：サスペンションベース、１７：スライドブロック、１８：プローブプレート、１９：ＦＰＣベース、２０：プローブブロック、２２：ボルト穴、２３：ボルト、２４：レール、２６：ガイド、２７：ＦＰＣケーブル、２８：スプリング、２９：中継基板、３３：ブロック片、３４：スリットバー、３４Ａ：先端側スリットバー、３４Ｂ：ＦＰＣ側スリットバー、３５：ガイドバー、３６：サポートピン、３７：サイドカバー、３８：ブレード型プローブ、４５：嵌合部、４６：被嵌合部、５０：本体板部、５１：先端側腕部、５２：各ＦＰＣ側腕部、５３：ガイドバー穴、５４：サポートピン穴、５６：接触子、５７：接触子、６１：交換シャフト、６２：インナーカバー、６３：ガイドバー穴、６４：サポートピン穴、６５：交換シャフト穴。   11: Probe unit, 12: Liquid crystal panel, 13: Probe base, 14: Probe assembly, 16: Suspension base, 17: Slide block, 18: Probe plate, 19: FPC base, 20: Probe block, 22: Bolt hole , 23: bolt, 24: rail, 26: guide, 27: FPC cable, 28: spring, 29: relay board, 33: block piece, 34: slit bar, 34A: tip side slit bar, 34B: FPC side slit bar , 35: guide bar, 36: support pin, 37: side cover, 38: blade type probe, 45: fitting portion, 46: fitted portion, 50: main body plate portion, 51: distal end side arm portion, 52: Each FPC side arm, 53: guide bar hole, 54: support pin hole, 56: contact, 57: contact, 61: exchange Yafuto, 62: inner cover, 63: guide bar hole, 64: support pin hole, 65: Replace the shaft hole.

Claims (3)

ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体であって、
複数の前記ブレード型プローブを一体的に支持するブロック片と、
当該ブロック片の先端側と基端側とにそれぞれ設けられ複数の前記ブレード型プローブの先端側と基端側とを一定間隔を空けてそれぞれ支持する２つのスリットバーと、
複数の前記ブレード型プローブにそれぞれ貫通して各ブレード型プローブを一体的に支持する１つ以上のガイドバーと、
前記ブロック片に固定されて前記ガイドバーを支持するサイドカバーと、
前記ブレード型プローブの交換作業時に複数の前記ブレード型プローブの先端側又は基端側を前記スリットバーとで挟むように配設されて、前記スリットバーに嵌合した前記ブレード型プローブの先端側又は基端側が当該スリットバーから抜け落ちないように抑える交換シャフトと、
前記ブロック片に取り付けられて前記ブレード型プローブ及び前記スリットバーを覆うと共に前記交換シャフトを支持するインナーカバーと、
前記交換シャフトの配設位置の反対側である基端側又は先端側の前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた嵌合部と、
前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられ当該嵌合部に嵌合して当該ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めする被嵌合部と
を備えて構成されたことを特徴とするプローブ組立体。 A probe assembly that supports a blade-type probe and makes electrical contact with an electrode of a device under test,
A block piece integrally supporting the plurality of blade-type probes;
Two slit bars provided respectively on the distal end side and the proximal end side of the block piece and supporting the distal end side and the proximal end side of the plurality of blade-type probes at a predetermined interval;
One or more guide bars penetrating each of the plurality of blade-type probes and integrally supporting each blade-type probe;
A side cover fixed to the block piece and supporting the guide bar;
Is disposed so as the leading side or the base end side of the plurality of blades probe when replacement of the blade probe sandwiched between the slit bars, the tip end of the blade type probe fitted before Symbol slit bar Or an exchange shaft that keeps the base end side from falling out of the slit bar,
An inner cover attached to the block piece and covering the blade-type probe and the slit bar and supporting the replacement shaft;
A fitting portion provided facing the blade-type probe side of the slit bar on the proximal end side or the distal end side which is the opposite side of the arrangement position of the exchange shaft ;
A fitting to be provided facing the fitting portion side of the slit bar among the blade type probes and to be fitted to the fitting portion to position and temporarily fix the blade type probe with respect to the slit bar. And a probe assembly. 請求項１に記載のプローブ組立体において、
前記嵌合部が、前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた凸条によって構成され、
前記被嵌合部が、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられた凹状切り欠きによって構成されたことを特徴とするプローブ組立体。 The probe assembly according to claim 1, wherein
The fitting portion is constituted by a ridge provided facing the blade-type probe side of the slit bar,
The probe assembly according to claim 1, wherein the fitted portion is constituted by a concave notch provided facing the fitting portion side of the slit bar among the blade type probes. 被検査体の検査に用いる検査装置であって、
被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットに、請求項１又は２に記載のプローブ組立体を組み込んだことを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus used for inspecting an object to be inspected,
A set unit that carries the object to be inspected from the outside and conveys it to the outside after the inspection is completed, and a measuring unit that supports and inspects the object to be inspected passed from the set part
An inspection apparatus comprising the probe assembly according to claim 1 or 2 incorporated in a probe unit of the measurement unit.
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