KR100963566B1

KR100963566B1 - Probe Assembly and Inspection Apparatus

Info

Publication number: KR100963566B1
Application number: KR1020080032102A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 쿠가
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2007-05-16
Filing date: 2008-04-07
Publication date: 2010-06-15
Also published as: CN101308164B; KR20080101660A; JP2008286601A; TWI359949B; JP4909803B2; TW200907349A; CN101308164A

Abstract

The present invention allows the blade-type probe to be replaced easily and safely. A probe assembly for supporting a blade type probe. A block piece, two slit bars for supporting the blade-shaped probe at regular intervals, a guide bar for integrally supporting each blade-type probe, a side cover for supporting the guide bar, and An exchange shaft which suppresses the blade-type probe from being missed from the slit bar during the replacement operation of the blade-type probe, an inner cover which covers the blade-type probe and the slit bar and simultaneously supports the exchange shaft, and the slit A coupling portion provided to face the blade-type probe side of the bar, and a coupling portion installed on each blade-type probe and fitted to the coupling portion to position and temporarily fix the blade-type probe with respect to the slit bar.

Blade type probe, probe assembly, slit bar, inner cover, change shaft

Description

Probe Assembly and Inspection Apparatus

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a probe assembly of a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도2는 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing a probe assembly of a conventional inspection apparatus.

도3은 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 측면 단면도이다.Figure 3 is a side cross-sectional view showing a probe assembly of a conventional inspection device.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view showing a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 일부 파단(破斷) 측면도이다.5 is a partially broken side view showing a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 블레이드형 프로브를 나타낸 측면도이다.6 is a side view showing a blade type probe of a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도7은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 블록을 그 뒷면에서 나타낸 사시도이다.7 is a perspective view showing the probe block of the probe unit according to the embodiment of the present invention from the rear side thereof.

도8은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 블레이드형 프로브의 교환 작업을 나타낸 측면도이다.Fig. 8 is a side view showing the replacement operation of the blade type probe of the probe unit according to the embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *DESCRIPTION OF THE RELATED ART [0002]

11: 프로브 유닛 12: 액정패널11: probe unit 12: liquid crystal panel

13: 프로브 베이스 14: 프로브 조립체13: probe base 14: probe assembly

16: 서스펜션 베이스 17: 슬라이드 블록16: Suspension base 17: Slide block

18: 프로브 플레이트 19: FPC 베이스18: Probe plate 19: FPC base

20: 프로브 블록 22: 볼트구멍20: probe block 22: bolt hole

23: 볼트 24: 레일23: bolt 24: rail

26: 가이드 27: FPC 케이블26: Guide 27: FPC cable

28: 스프링 29: 중계(中繼)기판28: spring 29: relay board

33: 블록 편(片) 34: 슬릿 바33: block piece 34: slit bar

34A: 선단쪽 슬릿 바 34B: FPC쪽 슬릿 바34A: Leading side slit bar 34B: FPC sided slit bar

35: 가이드 바 36: 서포트 핀35: guide bar 36: support pin

37: 사이드 커버 38: 블레이드형 프로브37: Side cover 38: Blade type probe

45: 결합부 46: 피결합부45: coupling portion 46: coupling portion

50: 본체판부 51: 선단쪽 암부50: main body plate 51: front end arm

52: 각 FPC쪽 암부 53: 가이드 바 구멍52: arm of each FPC side 53: guide bar hole

54: 서포트 핀 구멍 56: 접촉자54: support pin hole 56: contactor

57: 접촉자 61: 교환 샤프트57: contact 61: exchange shaft

62: 이너 커버(inner cover) 63: 가이드 바 구멍62: inner cover 63: guide bar hole

64: 서포트 핀 구멍 65: 교환 샤프트 구멍64: support pin hole 65: exchange shaft hole

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 액정패널, 집적회로 등의 평판상의 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체 및 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe assembly and an inspection apparatus for use in inspecting flat inspection objects such as liquid crystal panels and integrated circuits.

발명의 배경Background of the Invention

액정패널 등의 평판상 피검사체는, 일반적으로 프로브 유닛을 이용하여 검사된다. 이러한 종류의 프로브 유닛으로는, 얇은 판상의 블레이드형 프로브를 여러장 나열하여 구성하는 타입의 것이 있다. 이 예로는 특허문헌 1이 있다. 상기 특허문헌 1의 발명을 하기에 대략 설명한다.In general, a flat inspection object such as a liquid crystal panel is inspected using a probe unit. As a probe unit of this kind, there is a type in which a plurality of thin plate-shaped probes are arranged in a row. There is patent document 1 as this example. Invention of the said patent document 1 is demonstrated generally below.

프로브 조립체(1)는, 도2 및 도3에 나타낸 바와 같이, 블록(2)과, 블록(2)의 아래쪽에 병렬적으로 배치된 띠 형상의 복수의 프로브(3)와, 프로브(3)를 관통하는 가늘고 긴 한 쌍의 가이드 바(4)와, 프로브(3)의 일부를 받아들이는 한 쌍의 슬릿 바(5)와, 프로브(3)의 후단(後端)쪽에 침선의 위치를 안정화시키는 긴 가이드 부재(6)와, 가이드 바(4)를 블록(2)에 지지시키는 한 쌍의 사이드 커버(7)를 포함하여 구성되어 있다.2 and 3, the probe assembly 1 includes a block 2, a plurality of strip-shaped probes 3 arranged in parallel below the block 2, and a probe 3. A pair of elongated guide bars 4 penetrating through them, a pair of slit bars 5 for receiving a part of the probe 3, and a position of the needle tip at the rear end of the probe 3 are stabilized. It comprises a long guide member 6 to be made and a pair of side covers 7 for supporting the guide bar 4 to the block 2.

각 프로브(3)는, 띠 형상의 중앙영역(3A)과, 상기 중앙영역의 선단 및 후단 으로부터 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 한 쌍의 침선영역(3B 및 3C)을 갖춘다. 중앙영역(3A)은, 가이드 바(4)가 관통하는 가이드 구멍(3D)을 각 단부에 갖는다. 각 프로브(3)는, 상기 가이드 구멍(3D)에 가이드 바(4)가 지나고, 각 침선영역(3B 및 3C)이 슬릿 바(5)에 끼워져, 블록(2)의 아래쪽에 배설되어 있다.Each probe 3 has a strip-shaped central region 3A and a pair of needle-guided regions 3B and 3C extending forward and backward from the front and rear ends of the central region. The center area 3A has guide holes 3D at each end through which the guide bar 4 penetrates. In each probe 3, the guide bar 4 passes through the guide hole 3D, and the needle bar regions 3B and 3C are fitted to the slit bar 5, and are disposed below the block 2.

이에 의해, 침선영역(3B)의 프로브가 액정패널 위에 설치된 전극에 접촉되어 전기적으로 접속되고, 제어신호 송신 등이 행해진다.As a result, the probe of the needle needle region 3B is brought into contact with and electrically connected to an electrode provided on the liquid crystal panel, and control signal transmission and the like are performed.

[특허문헌 1] 일본 특개평10-132853호 공보[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-132853

그런데, 상기 프로브는 소모품으로, 교환할 필요가 있다. 그 교환 작업에 있어서, 일부 프로브만 교환하는 경우가 있다. 예를 들어, 프로브가 한 개 부러져 그 하나의 프로브만을 교환하는 경우가 있다. 이 경우는, 프로브의 교환 작업에 진중을 요한다. 프로브 하나하나는 매우 가벼워 뿔뿔이 흩어지기 쉽기 때문에, 다수 늘어선 프로브 중 일부만을 교환하는 경우, 프로브에 약간 닿는 것만으로도 분해되거나, 파손하는 일이 있다. 이 때문에, 프로브의 교환 작업은 진중하게 행할 필요가 있어, 작업 효율이 나쁜 문제가 있다.By the way, the probe is a consumable and needs to be replaced. In the replacement operation, only some probes may be replaced. For example, one probe is broken and only one probe is replaced. In this case, it is important to replace the probe. Since each probe is very light and easily scattered, when only a part of a plurality of probes are replaced, the probe may be disassembled or damaged by just touching it slightly. For this reason, it is necessary to perform a probe replacement work seriously, and there exists a problem that working efficiency is bad.

본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 프로브의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a probe unit and an inspection apparatus capable of easily and safely exchanging probes.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

발명의 요약Summary of the Invention

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 조립체는, 블레이드형 프로브를 지지하여 피검사체의 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 조립체로서, 복수의 상기 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 블록 편과, 상기 블록 편의 선단쪽과 기단(基端)쪽에 각각 설치되고 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽과 기단쪽을 일정 간격을 두고 각각 지지하는 2개의 슬릿 바와, 복수의 상기 블레이드형 프로브에 각각 관통하여 각 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 하나 이상의 가이드 바와, 상기 블록 편에 고정되고 상기 가이드 바를 지지하는 사이드 커버와, 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽을 상기 슬릿 바로 끼우도록 배설되고, 상기 블레이드형 프로브의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바에 끼워진 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽이 상기 슬릿 바로부터 누락되지 않도록 억제하는 교환 샤프트와, 상기 블록 편에 설치되어 상기 블레이드형 프로브 및 상기 슬릿 바를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트를 지지하는 이너 커버와, 기단쪽 또는 선단쪽의 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 결합부와, 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치되고 상기 결합부에 끼워져 상기 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가(假)고정하는 피결합부를 갖추어 구성된 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, a probe assembly according to the present invention is a probe assembly for supporting a blade-type probe and electrically contacting an electrode of an object to be tested, the block piece integrally supporting a plurality of the blade-type probes, Two slit bars respectively provided at the front end side and the proximal end of the block piece and respectively supporting the front end side and the proximal end of the plurality of blade-type probes at predetermined intervals, respectively penetrating through the plurality of blade-type probes, respectively. At least one guide bar integrally supporting the blade-type probe, a side cover fixed to the block piece and supporting the guide bar, and a front end or a proximal end of the plurality of blade-type probes to be fitted to the slit bar, The blade fitted to the slit bar during the replacement operation of the blade-type probe; An exchange shaft which prevents the tip end or the proximal end of the probe from being missed from the slit bar, an inner cover provided on the block side to cover the blade-type probe and the slit bar and simultaneously support the exchange shaft, and a proximal end Or a coupling portion provided to face the blade type probe side of the slit bar at the tip side, and installed at the coupling portion side of the slit bar among the respective blade type probes, and fitted to the coupling portion to attach the blade type probe to the slit bar. It is characterized by comprising a to-be-engaged portion for positioning and provisional fixing.

상기 구성에 의해, 복수의 블레이드형 프로브 중 일부를 교환하는 경우는, 상기 각 블레이드형 프로브를 분해하고, 각 블레이드형 프로브의 한쪽 끝의 피결합부를 상기 슬릿 바의 결합부에 끼워 위치 결정하여 가고정하고, 다른쪽 끝을 상기 교환 샤프트와 상기 슬릿 바로 끼워, 각 블레이드형 프로브가 분해되는 것을 억제한다. 이 상태로, 교환대상인 블레이드형 프로브를 빼내어 새로운 블레이드형 프로브와 교환한다.According to the above configuration, in the case of replacing some of the plurality of blade-type probes, the blade-type probes are disassembled, and the engaged portion at one end of each blade-type probe is inserted into the engaging portion of the slit bar to be positioned. The other end is fitted with the exchange shaft and the slit bar to suppress disassembly of each blade-type probe. In this state, the blade type probe to be replaced is taken out and replaced with a new blade type probe.

상기 결합부는, 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 볼록(凸) 줄(條, line)에 의해 구성하고, 상기 피결합부는 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치된 오목(凹)형상 홈에 의해 구성하는 것이 바람직하다.The engaging portion is constituted by a convex line provided to face the blade-shaped probe side of the slit bar, and the engaged portion faces the engaging portion of the slit bar of each blade-type probe. It is preferable to comprise with the recessed groove provided.

피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 검사장치로서, 상기 측정부의 프로브 유닛에 상기 프로브 조립체를 설치하는 것이 바람직하다.An inspection apparatus having a set portion for carrying an object to be inspected from the outside and conveying it to the outside after completion of the inspection, and a measuring portion for supporting and testing the inspected object passed from the set portion, wherein the probe assembly is provided in the probe unit of the measuring portion. It is preferable.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 조립체 및 검사장치에 대해서, 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 검사장치는, 피검사체의 검사에 이용하는 검사장치로서, 피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반 송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 것이다. 상기 검사장치의 상기 측정부의 프로브 조립체로서, 본 실시형태에 따른 프로브 조립체를 이용한다. 또한, 본 실시형태의 검사장치는, 상기 종래의 검사장치와 거의 동일하기 때문에, 여기에서는 프로브 조립체를 중심으로 설명한다. 또, 본 발명에 따른 검사장치로는, 본 실시형태에 따른 프로브 조립체를 이용할 수 있는 장치 모두에 적용할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the probe assembly and inspection apparatus which concern on embodiment of this invention are demonstrated, referring an accompanying drawing. The inspection apparatus according to the present embodiment is an inspection apparatus used for inspection of a subject to be tested by supporting a set portion carrying the inspected object from the outside and returning it to the outside after completion of the inspection, and an inspected object passed from the set portion. It has a measuring unit. As the probe assembly of the measurement unit of the inspection apparatus, a probe assembly according to the present embodiment is used. In addition, since the inspection apparatus of this embodiment is substantially the same as the said conventional inspection apparatus, it demonstrates centering around a probe assembly here. Moreover, as the inspection apparatus which concerns on this invention, it is applicable to all the apparatus which can use the probe assembly which concerns on this embodiment.

본 실시형태의 프로브 유닛(11)은, 도4에 나타낸 바와 같이, 피검사체로서의 액정패널(12)의 검사장치에 이용되는 장치이다. 액정패널(12)은 장방형의 형상을 하고 있고, 또 복수의 전극(도시하지 않음)을 장방형의 서로 이웃하는 2개의 변에 대응하는 가장자리에 소정의 피치로 형성하고 있다.The probe unit 11 of this embodiment is an apparatus used for the inspection apparatus of the liquid crystal panel 12 as a to-be-tested object, as shown in FIG. The liquid crystal panel 12 has a rectangular shape, and a plurality of electrodes (not shown) are formed at a predetermined pitch at edges corresponding to two adjacent sides of the rectangle.

프로브 유닛(11)은 주로 프로브 베이스(13)와, 프로브 조립체(14)를 갖추어 구성되어 있다.The probe unit 11 mainly comprises the probe base 13 and the probe assembly 14.

프로브 베이스(13)는, 검사장치의 본체 프레임 쪽에 고정되는 부재이다. 프로브 베이스(13)는, 본체 프레임 쪽에 고정된 상태로, 프로브 조립체(14)를 지지하고 있다.The probe base 13 is a member fixed to the main body frame side of the inspection apparatus. The probe base 13 supports the probe assembly 14 in a state fixed to the main body frame side.

프로브 조립체(14)는, 프로브를 지지하여 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉시키기 위한 장치이다. 프로브 조립체(14)는 도5에 나타낸 바와 같이 주로, 서스펜션 베이스(16)와, 슬라이드 블록(17)과, 프로브 플레이트(18)와, FPC 베이스(19)와, 프로브 블록(20)을 갖추어 구성되어 있다.The probe assembly 14 is a device for supporting the probe to electrically contact the electrodes of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG. 5, the probe assembly 14 mainly includes a suspension base 16, a slide block 17, a probe plate 18, an FPC base 19, and a probe block 20. It is.

서스펜션 베이스(16)는, 슬라이드 블록(17) 등을 통하여 후술하는 프로브 블 록(20)의 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서스펜션 베이스(16)는, 전체가 거의 입방체 형상으로 형성되고 프로브 베이스(13)에 고정되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽에는 슬라이드 블록(17)을 위쪽에서 힘을 가하기 위한 차양부(16A)가 설치되어 있다. 차양부(16A)에는 볼트구멍(22)이 설치되고, 볼트(23)가 삽입되어 있다. 상기 볼트(23)의 선단쪽이 후술하는 슬라이드 블록(17)의 스프링 구멍(17B)에 삽입되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽 면의 상기 차양부(16A)의 아래쪽에는 슬라이드 블록(17)을 상하방향으로 슬라이드 가능하게 안내하는 레일(24)이 설치되어 있다.The suspension base 16 is a member for supporting the blade type probe 38 of the probe block 20 described later through the slide block 17 or the like. The suspension base 16 is formed almost in the shape of a cube and is fixed to the probe base 13. A sunshade 16A for applying a force from the upper side to the slide block 17 is provided on the front end side of the suspension base 16. The bolt hole 22 is provided in the shade 16A, and the bolt 23 is inserted. The distal end of the bolt 23 is inserted into a spring hole 17B of the slide block 17 described later. A rail 24 for slidably guiding the slide block 17 in the vertical direction is provided below the awning portion 16A on the front end face of the suspension base 16.

슬라이드 블록(17)은, 상하로 슬라이드하여 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(17)은 대개 입방체 형상으로 형성되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 하부에는, 프로브 플레이트(18)를 덮는 크기의 차양부(17A)가 형성되어 있다. 프로브 플레이트(18)는 상기 차양부(17A)를 포함하는 슬라이드 블록(17)의 아래쪽 면에 접하여 지지된다. 슬라이드 블록(17)의 기단면(基端面)(도5 중의 오른쪽 면)에는, 서스펜션 베이스(16)의 레일(24)에 결합하여 슬라이드 블록(17)의 상하로의 이동을 지지하는 가이드(26)가 설치되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 위쪽 면에는 스프링(28)을 삽입하기 위한 스프링 구멍(17B)이 설치되어 있다. 스프링(28)은 볼트(23)에 지지되어 스프링 구멍(17B) 내에 삽입되고, 슬라이드 블록(17)을 아래쪽으로 힘을 가하고 있다. 상기 스프링(28)에 의한 힘에 의해, 후술하는 각 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉한 상태로 각 접촉자(56)를 각 전극 쪽으로 힘을 가하고 있다.The slide block 17 is a member for supporting the probe block 20 by sliding up and down. The slide block 17 is usually formed in a cube shape. The lower part of the slide block 17 is provided with the shade 17A of the size which covers the probe plate 18. As shown in FIG. The probe plate 18 is supported in contact with the bottom surface of the slide block 17 including the shade 17A. On the base end surface (right side in FIG. 5) of the slide block 17, the guide 26 is coupled to the rail 24 of the suspension base 16 to support the movement of the slide block 17 up and down. ) Is installed. The upper surface of the slide block 17 is provided with a spring hole 17B for inserting the spring 28. The spring 28 is supported by the bolt 23 and inserted into the spring hole 17B, and the slide block 17 is applied downward. By the force by the said spring 28, each contactor 56 mentioned later has applied the contactor 56 to each electrode in the state which contacted each electrode of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG.

프로브 플레이트(18)는, 슬라이드 블록(17)에 지지된 상태로, FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 프로브 플레이트(18)는, 그 위쪽 면이 슬라이드 블록(17)의 아래쪽 면에 고정된 상태로, 아래쪽 면에 FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)이 고정되어 있다.The probe plate 18 is a member for supporting the FPC base 19 and the probe block 20 while being supported by the slide block 17. As for the probe plate 18, the FPC base 19 and the probe block 20 are fixed to the lower surface with the upper surface fixed to the lower surface of the slide block 17. As shown in FIG.

FPC 베이스(19)는, FPC 케이블(27)을 지지하여 외부장치와 후술하는 블레이드형 프로브(38)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. FPC 케이블(27)은, 그 기단부가 프로브 베이스(13)의 아래쪽 면에 설치된 중계기판(29)에 접속되고, 선단부가 FPC 베이스(19)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. FPC 베이스(19)의 선단부에는, 후술하는 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 접촉자(57)에 전기적으로 접촉하는 단자(도시하지 않음), 상기 단자를 보호하는 가이드 필름(도시하지 않음), 구동용 집적회로(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다.The FPC base 19 is a member for supporting the FPC cable 27 and electrically connecting the external device and the blade type probe 38 described later. The FPC cable 27 has its proximal end connected to the relay board 29 provided on the lower surface of the probe base 13, and the distal end thereof is provided on the lower surface of the FPC base 19. At the distal end of the FPC base 19, a terminal (not shown) that electrically contacts the FPC side contactor 57 of the blade-type probe 38 described later, a guide film (not shown) that protects the terminal, and a drive An integrated circuit (not shown) or the like is provided.

프로브 블록(20)은, 액정패널(12)의 회로(도시하지 않음)에 검사신호 송신 등을 행하기 위해 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉하기 위한 부재이다. 프로브 블록(20)은, 도1에 나타낸 바와 같이, 블록 편(33)과, 슬릿 바(34)와, 가이드 바(35)와, 서포트 핀(36)과, 사이드 커버(37)와, 블레이드형 프로브(38)를 갖추어 구성되어 있다.The probe block 20 is a member for electrically contacting an electrode of the liquid crystal panel 12 in order to transmit a test signal or the like to a circuit (not shown) of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG. 1, the probe block 20 includes a block piece 33, a slit bar 34, a guide bar 35, a support pin 36, a side cover 37, and a blade. The type probe 38 is provided and comprised.

블록 편(33)은, 그 아래쪽 면에 복수의 블레이드형 프로브(38)를 일정 간격을 두고 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 블록 편(33)은, 그 아래쪽 면이 블레이드형 프로브(38)의 위쪽면 형상에 맞추어 움푹 패여 형성되어 있다. 블록 편(33)의 좌우 양쪽(도1 중의 왼쪽 위 오른쪽 아랫방향의 양쪽)에는, 사이드 커버(37)를 고정하기 위한 나사구멍(도시하지 않음)이 복수개 설치되어 있다. 블록 편(33)의 위쪽 면에는, 프로브 블록(20)을 프로브 플레이트(18)에 고정하기 위한 나사구멍(41)이 복수개 설치되어 있다.The block piece 33 is a member for integrally supporting the plurality of blade-shaped probes 38 at regular intervals on the lower surface thereof. The block piece 33 is recessed and formed in conformity with the shape of the upper surface of the blade-shaped probe 38. A plurality of screw holes (not shown) for fixing the side cover 37 are provided in the left and right sides (both in the upper left and right lower directions in FIG. 1) of the block piece 33. On the upper surface of the block piece 33, a plurality of screw holes 41 for fixing the probe block 20 to the probe plate 18 are provided.

슬릿 바(34)는, 다수 배설되는 블레이드형 프로브(38) 중 후술하는 각 선단쪽 암부(51)와 각 FPC쪽 암부(52)를 각각 정확하게 위치 결정하여 지지하기 위한 부재이다. 상기 슬릿 바(34)는, 세라믹스로 형성되고, 열에 의한 영향을 받지 않고 블레이드형 프로브(38)를 정확하게 지지하도록 되어 있다. 선단쪽 슬릿 바(34A)는 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51)를 지지하고, FPC쪽 슬릿 바(34B)는 블레이드형 프로브(38)의 각 FPC쪽 암부(52)를 지지한다. 각 슬릿 바(34A, 34B)는 다수의 슬릿(43)을 설치하여 구성되어 있다. 각 슬릿(43)은, 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51) 및 각 FPC쪽 암부(52)를 설정 간격을 두고 지지하기 위한 슬릿이다. 선단쪽 슬릿 바(34A)의 각 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 끼워지는 선단쪽 암부(51)의 후술하는 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극의 간격에 정합하도록 설정되어 있다. FPC쪽 슬릿 바(34B)의 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 끼워지는 FPC쪽 암부(52)의 후술하는 접촉자(57)가 FPC 케이블(27)의 단자의 간격에 정합하도록 설정되어 있다.The slit bar 34 is a member for accurately positioning and supporting each of the tip-side arm portions 51 and the FPC-side arm portions 52 described later among the plurality of blade-type probes 38 to be disposed. The slit bar 34 is made of ceramics and is configured to accurately support the blade-type probe 38 without being affected by heat. The tip side slit bar 34A supports each tip arm 51 of the blade-type probe 38, and the FPC side slit bar 34B supports each FPC side arm 52 of the blade-type probe 38. do. Each slit bar 34A, 34B is provided by providing a plurality of slits 43. Each slit 43 is a slit for supporting each front end arm portion 51 and each FPC side arm portion 52 of the blade-shaped probe 38 at set intervals. The distance between each slit 43 of the tip side slit bar 34A is such that a contactor 56, which will be described later, of the tip arm portion 51 fitted to each slit 43 is connected to the distance between each electrode of the liquid crystal panel 12. It is set to match. The interval of the slit 43 of the FPC side slit bar 34B is such that the contactor 57 described later of the FPC side arm portion 52 fitted into each slit 43 matches the interval of the terminal of the FPC cable 27. It is set.

선단쪽 슬릿 바(34A) 중 블레이드형 프로브(38) 쪽에 면한 위치에는 결합부(45)가 설치되어 있다. 상기 결합부(45)는 블레이드형 프로브(38) 쪽에 면하여 설치된 볼록(凸) 줄에 의해 구성되어 있다. 상기 결합부(45)는, 슬릿 바(34)의 전체 길이에 걸쳐 설치되고, 모든 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 피결합부(46)가 끼워지도록 되어 있다. 상기 결합부(45)에 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)가 끼워짐으로써, 교환 작업 시의 블레이드형 프로브(38)의 상하전후(도6 중의 상하좌우)의 위치 결정과 가고정을 하도록 되어 있다.A coupling part 45 is provided at a position facing the blade-type probe 38 side of the tip slit bar 34A. The engaging portion 45 is constituted by a convex string provided to face the blade-type probe 38. The engaging portion 45 is provided over the entire length of the slit bar 34 so that the to-be-engaged portion 46 described later of all the blade-type probes 38 is fitted. The engagement portion 46 of the blade-type probe 38 is fitted into the engagement portion 45, so that the positioning of the blade-type probe 38 up and down (up, down, left, right in FIG. 6) during the replacement operation is performed. It is supposed to be.

가이드 바(35)는, 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 가이 드 바(35)는 대경(大徑) 원주상으로 형성되어 있다. 대경 원주상의 가이드 바(35)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 가이드 바 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은, 가이드 바(35)를 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정을 하기 때문이다. 즉, 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)에 가이드 바(35)가 끼워진 상태로 상기 가이드 바(35)를 위치 결정하면, 상기 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치가 정확하게 정해진다. 이 때문에, 가이드 바(35)의 직경을 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정하고, 가이드 바(35)를 위치 결정함으로써, 상기 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정이 정확하게 가능하도록 되어 있다.The guide bar 35 is a member for supporting the blade type probe 38. The guide bar 35 is formed in the shape of a large diameter cylinder. The diameter of the large diameter circumferential guide bar 35 is set to the dimension matched with the inner diameter of the guide bar hole 53 mentioned later of the blade-type probe 38. This is because the blade type probe 38 is positioned through the guide bar 35. That is, when the guide bar 35 is positioned in the state where the guide bar 35 is inserted into the guide bar hole 53 of the blade-type probe 38, the direction perpendicular to the central axis of the guide bar 35 is determined. The bladed probe 38 is correctly positioned. For this reason, the guide bar 35 is set by setting the diameter of the guide bar 35 to a dimension that matches the inner diameter of the guide bar hole 53 of the blade-type probe 38 and positioning the guide bar 35. The positioning of the blade-shaped probe 38 in the direction orthogonal to the central axis of the can be performed accurately.

서포트 핀(36)은, 가이드 바(35)와 함께 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서포트 핀(36)은 원형 봉상(棒狀)으로 형성되어 있다. 상기 서포트 핀(36)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 서포트 핀 구멍(54)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정을 하기 때문이다.The support pin 36 is a member for supporting the blade-shaped probe 38 together with the guide bar 35. The support pin 36 is formed in circular rod shape. The diameter of the said support pin 36 is set to the dimension matched with the inner diameter of the support pin hole 54 mentioned later of the blade-type probe 38. As shown in FIG. This is because the blade type probe 38 is positioned through the support pin 36 together with the guide bar 35.

사이드 커버(37)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 지지하기 위한 판재이 다. 사이드 커버(37)는 2매 이용되고, 블록 편(33)의 양쪽에 설치되어 있다. 사이드 커버(37)에는 커버 고정용 나사구멍, 가이드 바 고정용 나사구멍, 서포트 핀 고정용 나사구멍(모두 도시하지 않음) 등이 설치되어 있다. 각 나사구멍은 정확하게 위치 결정하여 설치되고, 블록 편(33)에 대하여 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 정확하게 위치 결정하여 지지하도록 되어 있다.The side cover 37 is a plate material for supporting the guide bar 35 and the support pin 36. Two side covers 37 are used and are provided on both sides of the block piece 33. The side cover 37 is provided with a screw hole for fixing the cover, a screw hole for fixing the guide bar, a screw hole for fixing the support pin (not shown), and the like. Each screw hole is accurately positioned and provided so that the guide bar 35 and the support pin 36 can be accurately positioned and supported with respect to the block piece 33.

블레이드형 프로브(38)는, 액정패널(12)의 회로의 전극에 직접 접촉하여 검사신호 송신 등을 행하기 위한 부재이다. 블레이드형 프로브(38)는, 도1, 6에 나타낸 바와 같이, 본체판부(50)와, 선단쪽 암부(51)와, FPC쪽 암부(52)로 구성되어 있다.The blade type probe 38 is a member for directly contacting an electrode of a circuit of the liquid crystal panel 12 to transmit an inspection signal or the like. As shown in Figs. 1 and 6, the blade type probe 38 is composed of a main body plate part 50, a tip arm part 51, and an FPC side arm part 52.

본체판부(50)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 지나기 위한 가이드 바 구멍(53)과, 서포트 핀 구멍(54)이 설치되어 있다. 가이드 바 구멍(53)은, 그 내경이 가이드 바(35)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 서포트 핀 구멍(54)은, 그 내경이 서포트 핀(36)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이에 의해, 본체판부(50)는 정확하게 위치 결정되어 지지된다.The main body plate part 50 is provided with the guide bar hole 53 and the support pin hole 54 through which the guide bar 35 and the support pin 36 pass. The guide bar hole 53 is set to the dimension whose inner diameter matches with the outer diameter dimension of the guide bar 35. The support pin hole 54 is set to the dimension whose inner diameter matches with the outer diameter dimension of the support pin 36. Thereby, the main body plate part 50 is correctly positioned and supported.

선단쪽 암부(51)는, 그 선단부에서 아래쪽을 향한 접촉자(56)를 지지하기 위한 부재이다. 선단쪽 암부(51)에서는, 액정패널(12)의 전극에 정합하는 선단위치에 접촉자(56)가 설치되어 있다.The distal end portion 51 is a member for supporting the contactor 56 facing downward from the distal end portion. In the tip side arm part 51, the contactor 56 is provided in the tip position matched with the electrode of the liquid crystal panel 12. As shown in FIG.

FPC쪽 암부(52)는, 그 기단부(도6 중의 오른쪽 단부)에서 위쪽을 향한 접촉자(57)를 지지하기 위한 부재이다. FPC쪽 암부(52)에서는, FPC 케이블(27)의 단자에 정합하는 위치에 접촉자(57)가 설치되어 있다.The FPC side arm 52 is a member for supporting the contactor 57 facing upward at its proximal end (right end in FIG. 6). In the FPC side arm part 52, the contactor 57 is provided in the position which matches the terminal of the FPC cable 27. As shown in FIG.

게다가, 블레이드형 프로브(38) 중 상기 슬릿 바(34)의 결합부(45) 쪽에 면한 위치에는 피결합부(46)가 설치되어 있다. 피결합부(46)는, 결합부(45)에 끼워짐으로써, 블레이드형 프로브(38)를 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정하여 가고정하기 위한 부분이다. 피결합부(46)는, 각 블레이드형 프로브(38) 중 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 면한 위치에 설치된 오목형상 홈에 의해 구성되어 있다. 상기 피결합부(46)가 결합부(45)에 끼워짐으로써, 블레이드형 프로브(38)가 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정되어 가고정되도록 되어 있다.Moreover, the to-be-engaged part 46 is provided in the blade-type probe 38 facing the engaging part 45 side of the said slit bar 34. As shown in FIG. The to-be-engaged part 46 is a part for positioning and temporarily fixing the blade-type probe 38 with respect to the slit bar 34 by fitting in the engaging part 45. The to-be-engaged part 46 is comprised by the recessed groove provided in the position which faced the engaging part 45 of the slit bar 34 among each blade type probe 38. As shown in FIG. By fitting the to-be-engaged portion 46 into the engaging portion 45, the blade-type probe 38 is positioned with respect to the slit bar 34 to be temporarily fixed.

게다가, 상기 프로브 블록(20)에는, 교환 샤프트(61)와 이너 커버(62)가 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에만 설치된다.In addition, the probe shaft 20 is provided with an exchange shaft 61 and an inner cover 62 only during the replacement operation of the blade type probe 38.

교환 샤프트(61)는, 상기 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 끼워진 블레이드형 프로브(38)의 기단쪽인 FPC쪽 암부(52)가 상기 슬릿(43)으로부터 누락하지 않도록 억제하기 위한 샤프트이다. 교환 샤프트(61)는 도1, 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 상기 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 상기 슬릿 바(34)와 끼우도록, 슬릿 바(34)에 면하는 위치에 배설된다. 교환 샤프트(61)는, 슬릿 바(34)와 접촉시켜, 슬릿(43) 내에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 끼워도 좋고, 슬릿 바(34)와의 사이에 약간 공간을 두고, 슬릿(43) 내에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)가 슬릿(43)으로부터 누락하지 않도록 하여 끼워도 좋다.The exchange shaft 61 has an FPC side arm 52 which is the proximal end of the blade-type probe 38 fitted into the slit 43 of the slit bar 34 during the replacement operation of the blade-type probe 38. It is a shaft for suppressing the omission from the slit 43. 1 and 7, the exchange shaft 61 faces the slit bar 34 so as to sandwich the FPC side arm portions 52 of the plurality of blade-type probes 38 with the slit bar 34. As shown in FIGS. Excreted at the location. The exchange shaft 61 may be in contact with the slit bar 34 to sandwich the FPC side arm portion 52 of the blade-shaped probe 38 inserted into the slit 43, and slightly between the slit bar 34. The space may be inserted so that the FPC side arm portion 52 of the blade-shaped probe 38 inserted into the slit 43 is not omitted from the slit 43.

이너 커버(62)는, 상기 블록 편(33)에 설치되어 상기 블레이드형 프로브(38) 및 상기 슬릿 바(34)를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트(61)를 지지하기 위한 판재 이다. 이너 커버(62)는, 사이드 커버(37)와 마찬가지로, 블록 편(33)의 양쪽에 나사로 고정되어 슬릿 바(34)와 블레이드형 프로브(38)를 덮도록 되어 있다. 이너 커버(62)에는 가이드 바 구멍(63)과, 서포트 핀 구멍(64)과, 교환 샤프트 구멍(65)이 설치되어 있다.An inner cover 62 is a plate provided on the block piece 33 to cover the blade-shaped probe 38 and the slit bar 34 and to support the exchange shaft 61. The inner cover 62 is screwed to both sides of the block piece 33 similarly to the side cover 37 to cover the slit bar 34 and the blade-type probe 38. The inner cover 62 is provided with a guide bar hole 63, a support pin hole 64, and an exchange shaft hole 65.

가이드 바 구멍(63)은, 가이드 바(35)가 지나기 위한 구멍으로, 가이드 바(35)의 직경보다도 크게 형성되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에, 이너 커버(62)가 블록 편(33)에 설치된 후, 가이드 바(35)가 가이드 바 구멍(63)으로부터 빼내어진다.The guide bar hole 63 is a hole through which the guide bar 35 passes, and is formed larger than the diameter of the guide bar 35. In the replacement operation of the blade-shaped probe 38, the inner cover 62 is installed on the block piece 33, and then the guide bar 35 is pulled out of the guide bar hole 63.

서포트 핀 구멍(64)은, 서포트 핀(36)이 지나기 위한 구멍으로, 서포트 핀(36)의 직경보다도 크게 형성되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에, 이너 커버(62)가 블록 편(33)에 설치된 후, 서포트 핀(36)이 서포트 핀 구멍(64)으로부터 빼내어진다.The support pin hole 64 is a hole through which the support pin 36 passes, and is formed larger than the diameter of the support pin 36. In the replacement operation of the blade-type probe 38, after the inner cover 62 is installed on the block piece 33, the support pin 36 is pulled out of the support pin hole 64.

교환 샤프트 구멍(65)은, 교환 샤프트(61)가 지나기 위한 구멍이다. 교환 샤프트 구멍(65)은, 교환 샤프트(61)와 거의 같은 직경으로 설정되고, 교환 샤프트(61)가 삽입된 상태로, 교환 샤프트(61)가 흔들리지 않도록 지지한다. 교환 샤프트(61)는, 교환 샤프트 구멍(65)에 삽입된 상태로, 슬릿 바(34)와 대치하여 배설된다. 이 때, 교환 샤프트(61)는, 상술한 바와 같이, 슬릿 바(34)와 접촉하는 경우와 접촉하지 않는 경우가 있다. 이에 의해, 교환 샤프트(61)와 슬릿 바(34)로, 상기 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 간격을 두고 끼워 지지하도록 되어 있다. 이에 의해, 각 블레이드형 프로브(38)가 분해 되는 것을 억제하고, 임의의 블레이드형 프로브(38)를 하나씩 빼고 넣을 수 있도록 되어 있다.The exchange shaft hole 65 is a hole through which the exchange shaft 61 passes. The exchange shaft hole 65 is set to almost the same diameter as the exchange shaft 61, and supports the exchange shaft 61 so that it does not shake with the exchange shaft 61 inserted. The exchange shaft 61 is disposed to face the slit bar 34 in a state inserted into the exchange shaft hole 65. Under the present circumstances, the exchange shaft 61 may not contact with the case where it contacts with the slit bar 34 as mentioned above. This allows the FPC side arm portion 52 of the blade-shaped probe 38 inserted into the slit 43 of the slit bar 34 to be inserted at intervals by the exchange shaft 61 and the slit bar 34. It is. As a result, the respective blade-type probes 38 can be prevented from being disassembled, and the arbitrary blade-type probes 38 can be pulled out one by one.

이상과 같이 구성된 프로브 유닛(11)은 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기에서는 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업을 중심으로 설명한다.The probe unit 11 configured as described above acts as follows. In addition, since the operation | movement of the whole test | inspection apparatus is the same as that of the conventional test | inspection apparatus, it demonstrates centering here on the replacement operation of the blade type probe 38. As shown in FIG.

블레이드형 프로브(38)에 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 지나고, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 2개의 사이드 커버(37)에 고정되고, 그리고 각 사이드 커버(37)가 블록 편(33)에 고정되어 프로브 조립체(14)가 구성된다. 그리고, 프로브 조립체(14)가 프로브 베이스(13)에 고정되고, 프로브 조립체(14)의 블레이드형 프로브(38)의 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉되어, 검사신호 송신 등이 행해진다. 상기 액정패널(12)의 검사에 있어서, 일부 블레이드형 프로브(38)의 접촉자(56)가 부러지는 등의 문제가 생긴 경우는, 그 블레이드형 프로브(38)의 교환을 행한다.Guide bar 35 and support pin 36 pass through blade-shaped probe 38, guide bar 35 and support pin 36 are fixed to two side covers 37, and each side cover 37 ) Is fixed to the block piece 33 to form the probe assembly 14. Then, the probe assembly 14 is fixed to the probe base 13, the contactor 56 of the blade-shaped probe 38 of the probe assembly 14 contacts each electrode of the liquid crystal panel 12, and transmits an inspection signal. Etc. are performed. In the inspection of the liquid crystal panel 12, when a problem such as breakage of the contactor 56 of some blade-type probes 38 occurs, the blade-type probes 38 are replaced.

이 경우는 우선 프로브 블록(20)을 분리한다. 그리고 도1, 7, 8에 나타낸 바와 같이, 사이드 커버(37)를 떼어내 이너 커버(62)를 설치하고, 상기 이너 커버(62)의 교환 샤프트 구멍(65)에 교환 샤프트(61)를 삽입한다. 이어서, 이너 커버(62)의 가이드 바 구멍(63) 및 서포트 핀 구멍(64)으로부터 가이드 바(35) 및 서포트 핀(36)을 빼내어 각 블레이드형 프로브(38)를 분해한다. 이 상태로, 각 블레이드형 프로브(38)는, 그 피결합부(46)가 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼워지고, 상기 블레이드형 프로브(38)가 슬릿 바(34)를 통하여, 프로브 블록(20)에 대하여 위치 결정하여 가고정되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52) 쪽은 교환 샤프트(61)와 슬릿 바(34)로 끼워 지지되어 있다(도8(a)의 상태).In this case, the probe block 20 is first separated. 1, 7, and 8, the side cover 37 is removed, the inner cover 62 is provided, and the exchange shaft 61 is inserted into the exchange shaft hole 65 of the inner cover 62. do. Subsequently, the guide bar 35 and the support pin 36 are pulled out from the guide bar hole 63 and the support pin hole 64 of the inner cover 62 to disassemble each blade-type probe 38. In this state, each blade-type probe 38 has its engagement portion 46 fitted into the engagement portion 45 of the slit bar 34, and the blade-type probe 38 opens the slit bar 34. Through this, the positioning is temporarily fixed to the probe block 20. The FPC side arm 52 side of the blade-shaped probe 38 is fitted by the exchange shaft 61 and the slit bar 34 (state of Fig. 8 (a)).

이 상태로, 교환대상인 블레이드형 프로브(38)를, 그 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)로부터 분리하고(도8(b)의 상태), FPC쪽 암부(52)를 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에서 빼낸다(도8(c)의 상태). 계속해서, 새로운 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에 삽입하고, 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼우고, 블레이드형 프로브(38)를 위치 결정하여 가고정한다.In this state, the blade-type probe 38 to be exchanged is separated from the engaging portion 46 from the engaging portion 45 of the slit bar 34 (the state of Fig. 8 (b)), and the FPC side arm portion ( 52 is pulled out between the slit bar 34 and the exchange shaft 61 (state of FIG. 8 (c)). Subsequently, the FPC side arm 52 of the new blade-type probe 38 is inserted between the slit bar 34 and the exchange shaft 61, and the engaged portion 46 of the blade-type probe 38 is slitted. It is inserted in the engaging part 45 of the bar 34, and the blade type probe 38 is positioned and temporarily fixed.

이어서, 가이드 바(35)를 각 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)에 관통시키고, 서포트 핀(36)을 서포트 핀 구멍(54)에 관통시켜 각 블레이드형 프로브(38)를 일체적으로 지지하고, 이너 커버(62)를 분리하고 사이드 커버(37)를 설치한다. 그리고 상기 사이드 커버(37)에 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 설치하고, 프로브 블록(20)을 프로브 조립체(14)에 조립하고, 프로브 조립체(14)를 프로브 베이스(13)에 설치한다.Subsequently, the guide bar 35 passes through the guide bar hole 53 of each blade-type probe 38, and the support pin 36 passes through the support pin hole 54 to integrate each blade-type probe 38. By the inner side, the inner cover 62 is removed, and the side cover 37 is installed. Then, the guide bar 35 and the support pin 36 are installed on the side cover 37, the probe block 20 is assembled to the probe assembly 14, and the probe assembly 14 is attached to the probe base 13. Install.

이와 같이, 각 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼워 각 블레이드형 프로브(38)를 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정하여 가고정하고, 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52) 쪽을 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에 끼워 지지하고, 블레이드형 프로브(38)의 교환을 행하기 때문에, 교환대상인 블레이드형 프로브(38) 이외의 각 블레이드형 프로브(38)가 분해되는 것을 억제하고, 블레이드형 프로브(38)의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있 다.As such, the blade 46 of each blade-type probe 38 is fitted into the coupling portion 45 of the slit bar 34 to position each blade-type probe 38 with respect to the slit bar 34. Since the FPC side arm 52 side of the blade-type probe 38 is sandwiched between the slit bar 34 and the exchange shaft 61, the blade-type probe 38 is replaced. It is possible to suppress disassembly of each blade-type probe 38 other than the blade-type probe 38, and to easily and safely replace the blade-type probe 38.

게다가, 교환 작업 시에, 블록 편(33)의 이너 커버(62)를 설치하여 슬릿 바(34)와 블레이드형 프로브(38)를 덮기 때문에, 물건이 슬릿 바(34)나 블레이드형 프로브(38)에 접촉하여 파손하는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the inner cover 62 of the block piece 33 is provided to cover the slit bar 34 and the blade type probe 38 during the replacement operation, the object is slit bar 34 or the blade type probe 38. ) To prevent damage.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서는, 슬릿 바(34)의 결합부(45)를 볼록(凸)형상으로, 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 오목(凹)형상으로 형성하였으나. 이와 반대로 결합부(45)를 오목형상으로, 피결합부(46)를 볼록 줄로 해도 좋다. 또, 선단쪽 슬릿 바(34A) 쪽에 결합부(45)를, FPC쪽 슬릿 바(34B) 쪽에 교환 샤프트(61)를 설치하였으나, 이와 반대로 선단쪽 슬릿 바(34A) 쪽에 교환 샤프트(61)를, FPC쪽 슬릿 바(34B) 쪽에 결합부(45)를 설치하도록 해도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.In the said embodiment, although the engaging part 45 of the slit bar 34 was convex, the engaging part 46 of the blade-type probe 38 was formed in concave shape. Conversely, the engaging portion 45 may be concave, and the engaged portion 46 may be convex. Moreover, although the coupling part 45 was provided in the front side slit bar 34A side, and the exchange shaft 61 was provided in the FPC side slit bar 34B side, on the contrary, the exchange shaft 61 was provided in the front side slit bar 34A side. The coupling part 45 may be provided on the slit bar 34B side of the FPC. Also in this case, the same effects and effects as described above can be exhibited.

상기 실시형태에서는, 교환 샤프트(61)를 둥근 봉상으로 하였으나, 사각 봉상이나 평판 봉상 등의 다른 형상이어도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.In the said embodiment, although the exchange shaft 61 was made into the round rod shape, other shapes, such as a square rod shape and a flat rod shape, may be sufficient. Also in this case, the same effects and effects as described above can be exhibited.

상기 실시형태에서는, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 설치하였지만, 서포트 핀(36)은 설치하지 않는 경우도 있다. 정밀도를 높일 필요가 있는 경우에 서포트 핀(36)을 설치한다.In the said embodiment, although the support pin 36 was provided with the guide bar 35, the support pin 36 may not be provided. When it is necessary to increase the accuracy, the support pin 36 is provided.

이상과 같이, 상기 각 블레이드형 프로브의 한쪽 끝의 피결합부를 상기 슬릿 바의 결합부에 끼워 상기 각 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가고정하고, 그 단부를 상기 슬릿 바와 교환 샤프트와의 사이에 끼워 지지하고, 각 블레이드형 프로브의 교환을 행하기 때문에, 각 블레이드형 프로브가 분해되는 것을 억제하여, 프로브의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있다.As described above, the engaged portion of one end of each blade-type probe is inserted into the engaging portion of the slit bar to position and temporarily fix the respective blade-type probe with respect to the slit bar, and the end thereof is fixed with the slit bar and the exchange shaft. Since the blade probes are sandwiched between the blade probes, the blade probes can be prevented from being disassembled, and the probe can be easily and safely replaced.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

A probe assembly for supporting a blade-type probe and electrically contacting an electrode of an object under test,

A block piece integrally supporting a plurality of said blade-type probes;

Two slit bars respectively installed at the front end side and the proximal end of the block piece and supporting the front end side and the proximal end of the plurality of blade-type probes at predetermined intervals, respectively;

At least one guide bar penetrating through the plurality of blade-type probes to integrally support each blade-type probe;

A side cover fixed to the block piece and supporting the guide bar;

A front end or a proximal end of a plurality of the blade-shaped probes is arranged to be fitted with the slit bar, and the front end or the proximal end of the blade-shaped probe fitted to the slit bar during the replacement operation of the blade-shaped probe is missing from the slit bar. An exchange shaft that suppresses the failure;

An inner cover installed on the block piece to cover the blade-type probe and the slit bar and simultaneously support the exchange shaft;

A coupling part provided to face the blade-type probe side of the slit bar at the proximal end or the distal end; And

An engaging portion installed to face the engaging portion of the slit bar of each blade-type probe and fitted to the engaging portion to position and temporarily fix the blade-type probe with respect to the slit bar;

And,

The engaging portion is constituted by a convex line installed to face the blade-shaped probe side of the slit bar,

And the engaging portion is formed by a concave groove provided to face the engaging portion of the slit bar.

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An inspection apparatus used for inspecting a subject,

It has a set part which carries in a test object from the outside, conveys it to the outside after completion | finish of an inspection, and a measuring part which supports and tests the test object passed from the said set part,

In the probe unit of the measuring unit,

A block piece for integrally supporting the plurality of blade-type probes;

Two slit bars respectively installed at the front end side and the proximal end of the block piece and supporting the front end side and the proximal end of the plurality of blade-type probes at predetermined intervals;

A side cover fixed to the block piece and supporting the guide bar;

A coupled portion of each of the blade-type probes installed facing the engaging portion of the slit bar and fitted to the engaging portion to position and temporarily fix the blade-type probe with respect to the slit bar;

And,

And said engaging portion is constituted by a concave groove provided to face the engaging portion of said slit bar among said blade-type probes.

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