KR100863987B1

KR100863987B1 - Probe Assembly

Info

Publication number: KR100863987B1
Application number: KR1020070044361A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 쿠가; 타카오 야스다; 하루타다 데와; 쥬리 로꾸노헤
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-05-08
Filing date: 2007-05-08
Publication date: 2008-10-16
Also published as: TWI325963B; TW200745567A; KR20070108824A; JP4916763B2; JP2007303834A

Abstract

본 발명에 따른 프로브 조립체는, 지지바를 통해 지지체에 지지된 프로브에 오버드라이브력이 작용했을 때, 지지바의 휨 변형을 확실하게 방지할 수 있는 전기적 접속 장치를 제공하기 위한 것이다. 프로브 조립체의 각 프로브는, 판형 부재로 이루어지며, 서로 판두께 방향으로 간격을 두고 지지체의 아래쪽에 배치된다. 프로브는, 그들의 판두께 방향으로 관통하고 지지체에 지지된 전기 절연 재료로 이루어지는 지지바를 통해 지지체에 지지된다. 프로브는, 지지체의 앞 가장자리에 배치된 슬릿바에 형성되고 또한 아래쪽으로 개방하여 형성된 슬릿 홈 내에, 각 침선영역이 각각 수용된다. 프로브는, 슬릿바의 각각의 슬릿 홈을 거쳐, 그들의 침선을 슬릿바의 앞 가장자리로부터 아래쪽으로 돌출시켜서 배치된다. 슬릿바 또는 지지체에는, 프로브가 슬릿바의 앞 가장자리에서 슬릿 홈의 꼭대기면에 맞닿기 전에, 프로브에 맞닿아서 상기 프로브의 변형을 구속하는 강성 지지점이 설치되어 있다.The probe assembly according to the present invention is to provide an electrical connection device that can reliably prevent the bending deformation of the support bar when an overdrive force is applied to the probe supported by the support through the support bar. Each probe of the probe assembly is made of a plate-like member and is disposed below the support at intervals in the plate thickness direction from each other. The probe is supported by the support via a support bar made of an electrically insulating material which penetrates in the sheet thickness direction and is supported by the support. Each probe region is accommodated in a slit groove formed in a slit bar arranged at the front edge of the support and opened downward. The probes are arranged by projecting their needles downward from the front edge of the slit bar, through the respective slit grooves of the slit bar. The slit bar or support is provided with rigid support points that abut the probe and restrain the deformation of the probe before the probe abuts the top surface of the slit groove at the front edge of the slit bar.

프로브 조립체, 지지바, 지지체, 오버드라이브력, 전기적 접속 장치 Probe assembly, support bar, support, overdrive force, electrical connection

Description

Probe Assembly

도1은 본 발명에 따른 프로브 조립체를 포함한 전기적 접속장치의 하나의 예를 나타낸 액정표시패널의 검사장치의 일부를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a part of an inspection apparatus of a liquid crystal display panel showing an example of an electrical connection apparatus including a probe assembly according to the present invention.

도2는 도1에 나타낸 검사장치에 포함된 다수의 프로브 조립체의 하나를 나타낸 정면도이다.FIG. 2 is a front view showing one of a plurality of probe assemblies included in the inspection apparatus shown in FIG. 1.

도3은 도2에 나타낸 III-III선에 따른 프로브 조립체의 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view of the probe assembly taken along line III-III shown in FIG.

도4는 도3에 나타낸 프로브 조립체의 침선영역을 확대하여 나타낸 부분 확대도이다.FIG. 4 is an enlarged partial view of the needle region of the probe assembly shown in FIG. 3.

도5는 본 발명의 다른 예를 나타낸 도4와 같은 도면이다.5 is a view like FIG. 4 showing another example of the present invention.

도6은 본 발명의 또 다른 예를 나타낸 도4와 같은 도면이다.6 is a view like FIG. 4 showing still another example of the present invention.

도7은 본 발명의 또 다른 예를 나타낸 도4와 같은 도면이다.7 is a view like FIG. 4 showing still another example of the present invention.

도8은 도3에 나타낸 프로브 조립체의 프로브의 또 다른 예를 나타낸 평면도이다.8 is a plan view showing another example of a probe of the probe assembly shown in FIG.

도9는 도8에 나타낸 프로브의 또 다른 예를 나타낸 평면도이다.9 is a plan view showing still another example of the probe shown in FIG.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

10: 프로브 장치 22: 프로브10: probe device 22: probe

24: 지지체 (프로브 블록) 26(26a, 26b): 지지바24: support (probe block) 26 (26a, 26b): support bar

28(28a, 28b): 슬릿바 30a: 슬릿바의 앞 가장자리28 (28a, 28b): slit bar 30a: front edge of the slit bar

32(32a, 32b): 슬릿 홈 34: 프로브의 설치영역32 (32a, 32b): slit groove 34: installation area of the probe

36(36a, 36b): 프로브의 침선영역 38(38a, 38b): 가이드 홀36 (36a, 36b): needle needle area 38 (38a, 38b): guide hole

50a, 32a, 54a, 56a: 강성 지지점50a, 32a, 54a, 56a: rigid support points

발명의 분야Field of invention

본 발명은 액정표시패널과 같은 평판형 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 조립체(probe assembly)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe assembly for use in inspecting a flat object such as a liquid crystal display panel.

발명의 배경Background of the Invention

액정표시패널과 같은 평판형 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 조립체의 하나로서, 띠형의 설치영역(attaching area; 중앙영역) 그리고 상기 설치영역의 선단(先端) 및 후단(後端)으로부터 각각 앞쪽 및 뒤쪽으로 신장하는 제1 및 제2 침선영역(probe tip area)을 구비하는 블레이드 타입(blade type)의 복수의 프로브(probe; 접촉자)를 구비하는 것이 있다(특허문헌 1).One of the probe assemblies used for the inspection of a flat object such as a liquid crystal display panel, the front and back of the band-shaped attaching area (center area) and the front and rear ends of the mounting area, respectively. There are a plurality of blade type probes (contactors) having first and second probe tip areas extending backward (Patent Document 1).

이 프로브 조립체에서는, 각 프로브는 판형 부재로 이루어지며, 서로 판두께 방향으로 간격을 두고 지지체(support body)의 아래쪽에 병렬로 배치된다. 또한, 상기 프로브는 이들 판 두께 방향으로 관통하는 가이드 홀(guide hole)을 관통하며 또한 상기 지지체에 지지된 전기 절연 재료로 이루어진 지지바(support bar)를 통해 상기 지지체에 지지된다. 게다가, 상기 프로브는, 상기 지지체의 선단 및 후단에 배치된 각각의 슬릿바(slit bar)에 형성되고 또한 아래쪽으로 개방하여 형성된 슬릿 홈(slit groove) 내에, 각각의 침선영역이 각각 수용된다. 상기 프로브는, 상기 슬릿바의 각각의 슬릿 홈을 거쳐 그들의 침선을 슬릿바의 앞 가장자리로부터 아래쪽으로 돌출시켜서 배치된다.In this probe assembly, each probe consists of a plate-like member and is disposed in parallel under the support body at intervals in the plate thickness direction from each other. Further, the probe is supported by the support through a support bar made of an electrically insulating material supported by the support and penetrating a guide hole penetrating in these plate thickness directions. In addition, each probe region is accommodated in a slit groove formed in each of the slit bars arranged at the front end and the rear end of the support and also opened downward. The probes are arranged by projecting their needle line downward from the front edge of the slit bar via each slit groove of the slit bar.

피검사체의 검사에서는, 각 프로브의 침선은 피검사체의 전극에 가압된다. 이 때 양자의 전기적 접촉을 확실하게 이루기 위해서는, 프로브의 침선영역에 약간의 휨 변형이 생기는 정도의 가압력 즉 오버드라이브력(overdrive force)이 각 프로브에 부가된다. 상기 슬릿바의 슬릿 홈의 꼭대기면(頂面)은 이들 오버드라이브력에 의해서는 프로브가 꼭대기면에 간섭하지 않도록 설정되어 있다. 때문에, 각 프로브에 이 오버드라이브력이 작용했을 때, 이 작용력은 상기 프로브에 형성된 가이드 홀을 관통하는 상기 지지바에 의해 저지된다.In the inspection of the subject, the needle needle of each probe is pressed against the electrode of the subject. At this time, in order to ensure electrical contact between the two, an overdrive force, i.e., an overdrive force, that causes slight bending deformation in the needle region of the probe is added to each probe. The top surface of the slit groove of the slit bar is set so that the probe does not interfere with the top surface by these overdrive forces. Therefore, when this overdrive force is applied to each probe, this action force is prevented by the support bar passing through the guide hole formed in the probe.

그러나 전극의 미세 피치(pitch)에 대응한 상기 프로브 조립체에서는, 전극 수에 대응하여 배치된 다수의 프로브가 지지바를 통해 지지체에 지지됨으로써, 이 지지바가 이것에 작용하는 힘이 증대되고, 이에 따라 지지바가 휨 변형을 발생하는 경우가 있다. 지지바에 이와 같은 휨 변형이 생기면, 프로브에 형성된 관통 구멍과 상기 관통 구멍을 관통하는 상기 지지바와의 제조상의 허용 오차로 인해, 프로브에 작용하는 오버드라이브력에 의해서, 상기 프로브에 비틀림이 생기기 쉽다. 이 비틀림을 수반하는 프로브의 휨 변형은 각각의 프로브의 균일하고 적정한 오버드라이브력의 설정을 곤란하게 하고, 또한 개개의 프로브를 슬릿 홈에 수용하는 상기 슬릿바의 손상을 초래할 우려가 있다.However, in the probe assembly corresponding to the fine pitch of the electrodes, a plurality of probes arranged in correspondence with the number of electrodes is supported by the support through the support bar, thereby increasing the force acting on the support bar, thereby supporting the support. The bar may generate warpage deformation. When such bending deformation occurs in the support bar, due to manufacturing tolerances between the through hole formed in the probe and the support bar penetrating the through hole, the probe tends to be twisted due to the overdrive force acting on the probe. The bending deformation of the probe with this twist makes it difficult to set the uniform and proper overdrive force of each probe, and there is a fear of damaging the slit bar that accommodates the individual probes in the slit grooves.

[특허문헌 1] 일본 특허공개 평10-132853호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-132853

따라서 본원 출원인은, 상기한 오버드라이브력이 작용했을 때에 있어서의 상기 지지바의 휨 변형을 억제하기 위한 탄성체를 프로브와 지지체와의 사이에 배치하는 것을 일본 특허출원 제2005-30700호에서 제안했다.Therefore, the present applicant has proposed in Japanese Patent Application No. 2005-30700 to arrange an elastic body between the probe and the support to suppress the bending deformation of the support bar when the above-described overdrive force is applied.

이에 따르면, 상기 탄성체가 프로브를 통해 상기 지지바의 휨 변형을 억제한다. 그러나 오버드라이브력에 의한 상기 지지바의 휨 변형을 보다 확실하게 방지하는 것이 바람직하다는 것이 판명되었다.According to this, the elastic body suppresses the bending deformation of the support bar through the probe. However, it has been found that it is desirable to more reliably prevent the bending deformation of the support bar due to the overdrive force.

따라서 본 발명의 목적은 전기적 절연 재료로 형성된 지지바를 통해서 지지체에 지지된 프로브에 오버드라이브력이 작용했을 때, 상기 지지바의 휨 변형을 더욱 확실하게 방지할 수 있는 전기적 접속 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an electrical connection device that can more reliably prevent the bending deformation of the support bar when an overdrive force is applied to a probe supported on the support through a support bar formed of an electrically insulating material.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명에 따른 프로브 조립체는, 지지체와, 띠형의 설치영역 및 상기 설치영역의 선단에서 앞쪽으로 신장하고 또한 상기 설치영역의 폭 치수보다 작은 폭 치수를 갖는 띠형의 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서 상기 설치영역의 폭 방향이 상하 방향이 되는 상태에 상기 지지체의 아래쪽에 상기 설치영역을 마주보게 하여 병렬로 배치된 복수의 프로브와, 상기 설치영역을 상기 설치영역의 두께 방향으로 관통하여 신장하고 또한 상기 지지체에 지지된 가늘고 긴 지지바와, 상기 지지체의 선단 가장자리부에 상기 지지바의 길이 방향을 따라 배치되는 슬릿바로서 상기 슬릿바의 길이 방향으로 서로 간격을 두고 또한 각각이 아래쪽으로 개방하며, 대응하는 상기 프로브의 상기 침선영역을 그 침선이 앞 가장자리로부터 돌출하도록 수용하는 복수의 슬릿 홈을 갖는 슬릿바를 포함하고, 상기 슬릿바 또는 상기 지지체에는 상기 프로브가 상기 슬릿바의 상기 앞 가장자리에서 상기 슬릿 홈의 꼭대기면(頂面)에 맞닿기 전에, 상기 프로브에 맞닿아서 상기 프로브의 변형을 구속하는 강성 지지점(rigid supporting point)이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. A probe assembly according to the present invention is a plurality of probes having a support, a band-shaped needle region having a band-shaped installation region and a band-shaped needle region extending forward from the tip of the installation region and having a width dimension smaller than the width dimension of the installation region. A plurality of probes arranged in parallel so as to face the installation region under the support body in a state where the width direction of the installation region is in the up and down direction, and the installation region extends through the thickness direction of the installation region and extends further; An elongated support bar supported by the support, and a slit bar disposed along the longitudinal direction of the support bar at the leading edge portion of the support, spaced apart from each other in the longitudinal direction of the slit bar, and respectively opened downward; A plurality of accommodating needle needle regions of the probe to protrude from the leading edge thereof; And a slit bar having a slit groove, wherein the slit bar or the support is in contact with the probe before contacting the probe with the top surface of the slit groove at the front edge of the slit bar. It is characterized in that the rigid supporting point (rigid supporting point) is installed to restrain the deformation.

본 발명에 의하면, 상기 슬릿바 또는 상기 지지체에 설치된 강성 지지점이 상기 프로브의 오버드라이브력에 의한 상기 침선영역에서의 적정한 탄성 변형을 저지하는 일 없이, 상기 프로브에 작용하는 오버드라이브력의 적어도 일부를 저지함으로써, 상기 프로브를 지지하는 상기 지지바에 종래와 같은 강한 외부 힘이 작용하지 않으며, 이에 따른 상기 지지바의 휨 변형을 확실히 방지할 수 있다.According to the present invention, at least a part of the overdrive force acting on the probe is prevented without the rigid support point provided on the slit bar or the support preventing the appropriate elastic deformation in the needle line region due to the overdrive force of the probe. By preventing, the strong external force as in the prior art does not act on the support bar for supporting the probe, it is possible to surely prevent the bending deformation of the support bar.

따라서 본 발명에 의하면, 각 프로브의 관통 구멍과 상기 관통 구멍을 관통하는 지지바와의 허용 오차에도 불구하고, 상기 지지바의 휨 변형에 기인하는 프로브의 비틀림 변형 및 이 비틀림 변형에 수반하는 슬릿바의 칸막이 벽의 손상 혹은 파손이 확실하게 방지된다. 이에 따라, 각 프로브의 침선 위치의 높이 위치가 불규칙하게 되는 것을 보다 효과적으로 억제하고, 장기간 사용하더라도 모든 프로브에 의한 안정된 전기적 접속을 실현할 수 있다.Therefore, according to the present invention, despite the tolerance between the through-hole of each probe and the support bar penetrating the through-hole, the torsional deformation of the probe due to the bending deformation of the support bar and the slit bar accompanying this torsional deformation Damage or breakage of the partition walls is reliably prevented. As a result, the height position of the needle point position of each probe can be more effectively suppressed, and stable electrical connection by all the probes can be realized even when used for a long time.

상기 강성 지지점은, 상기 슬릿바의 상기 슬릿 홈의 상기 꼭대기면에 있어서의 뒤 가장자리 부분(rear edge portion)에 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 강성 지지점을 상기 프로브의 침선의 근방에 설정할 수 있다. 이 침선 근방에 상기 강성 지지점을 설정함으로써, 각 프로브의 오버드라이브력에 의한 침선의 변위량을 비교적 고정밀도로 일정하게 맞추는 것이 가능해지고, 모든 프로브에서의 안정된 전기적 접촉을 도모하는데 있어서, 보다 유리해진다.The rigid support point may be formed at a rear edge portion of the top surface of the slit groove of the slit bar. Thus, the rigid support point can be set near the needle line of the probe. By setting the rigid support point in the vicinity of the needle line, it is possible to adjust the displacement amount of the needle line due to the overdrive force of each probe with a relatively high accuracy, and it is more advantageous in achieving stable electrical contact in all the probes.

상기 슬릿바의 상기 꼭대기면에 있어서의 뒤 가장자리 부분에, 상기 꼭대기면의 나머지 영역과 단(段) 형상을 이루는 평탄면 부분(flat surface portion)을 형성하고, 또한 상기 프로브에는 상기 설치영역과 상기 침선영역과의 사이에서 상기 평탄면 부분과 마주보는 단부(段部; stepped portion)를 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 단부에 맞닿는 상기 평탄면 부분이 상기 강성 지지점을 구성한다.On the rear edge portion of the top surface of the slit bar, a flat surface portion having a step shape with the remaining area of the top surface is formed, and the probe has the installation area and the A stepped portion facing the flat surface portion may be formed between the needle point region. In this case, the portion of the flat surface that abuts on the end constitutes the rigid support point.

상기 평탄면 부분이 상기 단부에 맞닿을 때, 상기 슬릿바의 상기 꼭대기면에 있어서의 상기 평탄면 부분을 제외한 상기 나머지의 영역은, 대응하는 상기 프로브의 상기 침선영역과 간격이 유지되고 있으며, 이에 따라 오버드라이브력에 의한 각 프로브의 적정한 탄성 변위량을 유지할 수 있다.When the flat surface portion is in contact with the end portion, the remaining region except for the flat surface portion on the top surface of the slit bar is spaced apart from the needle line region of the corresponding probe. Accordingly, an appropriate amount of elastic displacement of each probe due to the overdrive force can be maintained.

상기 슬릿바의 상기 평탄면 부분은 그 상기 나머지의 영역에 대해 아래쪽에 위치하는 단차면(段差面)을 형성하고, 상기 프로브의 상기 단부는 상기 침선영역의 꼭대기부에 대해 위쪽에 위치하는 단차면을 형성한다. 이것 대신, 상기 슬릿바의 상기 평탄면 부분을 상기 나머지의 영역에 대해 위쪽에 위치하는 단차면으로 할 수 있다. 이 경우, 상기 슬릿바의 상기 단차면과 마주보는 상기 프로브의 상기 단차는, 아래쪽 또는 위쪽으로의 단차를 가지는 어느 단차나 가능하며, 혹은 상기 프로브의 이 단차를 필요로 하지 않을 수 있다.The flat surface portion of the slit bar forms a stepped surface located below the remaining area, and the end of the probe is a stepped surface located above the top of the needle zone. To form. Instead of this, the flat surface portion of the slit bar may be a stepped surface located upward with respect to the remaining area. In this case, the step of the probe facing the step surface of the slit bar may be any step having a step downward or upward, or may not require this step of the probe.

상기 슬릿바의 상기 슬릿 홈의 상기 꼭대기면을 상기 슬릿바의 앞 가장자리로부터 뒤 가장자리에 이르는 직선형 평탄면으로 형성할 수 있으며, 상기 프로브에는 상기 설치영역과 상기 침선영역과의 사이에서 상기 평탄면 부분을 향한 볼록한 형상의 단부를 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 꼭대기면의 상기 단부와 마주보는 부분이 상기 강성 지지점을 구성한다.The top surface of the slit groove of the slit bar may be formed into a straight flat surface extending from the front edge to the rear edge of the slit bar, wherein the probe has the flat surface portion between the installation region and the needle region. It is possible to form the end of the convex shape toward. In this case, the part facing the end of the top surface constitutes the rigid support point.

상기 지지체의 아랫면에, 상기 강성 지지점 때문에, 상기 침선영역에 근접하여 배치된 상기 지지바의 배치위치보다 상기 슬릿바 측에서 상기 프로브에 맞닿는 단부를 형성할 수 있다.On the lower surface of the support, due to the rigid support point, it is possible to form an end portion which abuts the probe on the slit bar side rather than an arrangement position of the support bar disposed close to the needle point region.

상기 지지체의 상기 단부는 상기 슬릿바를 따라 아래쪽으로 돌출하는 부분에 의해, 형성할 수 있다.The end portion of the support may be formed by a portion protruding downward along the slit bar.

또한, 상기 프로브에, 상기 설치영역과 상기 침선영역과의 사이에서 상기 지지체의 상기 단부의 접촉면과 마주보는 평탄면을 형성하는 단부를 형성할 수 있다.In addition, an end portion of the probe may be formed between the installation region and the needle region to form a flat surface facing the contact surface of the end portion of the support.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명Detailed Description of the Invention

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도1에는, 본 발명에 따른 다수의 프로브 장치(10)를 포함한 검사장치(12)의 평면도가 도시되어 있다. 도1은 직사각형 액정표시패널(14)의 통전 시험에 이용되는 검사장치(12)의 예를 나타낸다.1 shows a plan view of an inspection apparatus 12 comprising a plurality of probe devices 10 according to the present invention. 1 shows an example of the inspection apparatus 12 used for the energization test of the rectangular liquid crystal display panel 14.

검사장치(12)는 액정표시패널(14)의 외형과 닮은꼴인 상기 외형보다 작은 직사각형 개구(16a)가 형성된 검사대(16)를 구비한다. 액정표시패널(14)은, 검사대(16)의 직사각형 개구(16a)를 통하여 배면으로부터 백라이트 광(backlight beam)의 조사(照射)를 받도록, 직사각형 개구(16a)를 덮어서 검사대(16) 위에 배치된다. 검사대(16) 위에는, 그 직사각형 개구(16a)의 한 쪽의 긴 변 및 한 쪽의 짧은 변의 각각을 따라 신장하는 프로브 베이스(probe base)(18; 18a, 18b)가 배치되어 있으며, 각 프로브 베이스(18) 위에는 액정표시패널(14) 표면의 가장자리부에 정렬하여 배치된 다수의 전극 패드(electrode pad)(도시 생략)에 전기적으로 접속 가능한 프로브 장치(10)가 지지기구(20)를 통해 각각 지지되어 있다.The inspection apparatus 12 includes an inspection table 16 in which a rectangular opening 16a is formed, which is smaller than the external shape similar to the external shape of the liquid crystal display panel 14. The liquid crystal display panel 14 is disposed on the inspection table 16 to cover the rectangular opening 16a so that the backlight beam is irradiated from the back through the rectangular opening 16a of the inspection table 16. . On the examination table 16, probe bases 18 (18a, 18b) extending along each of one long side and one short side of the rectangular opening 16a are disposed, and each probe base is arranged. On the 18, probe devices 10 electrically connected to a plurality of electrode pads (not shown) arranged in alignment with the edges of the surface of the liquid crystal display panel 14 are respectively supported by the support mechanism 20. Supported.

각 지지기구(20)는, 도2에 나타낸 바와 같이, 각각의 프로브 장치(10)에 설치된 후술하는 다수의 프로브(22)의 침선을 액정표시패널(14)을 향해 돌출시키도록, 대응하는 각각의 프로브 장치(10)를 분리 가능하도록 지지한다. 이에 따라, 각 프로브 장치(10)의 프로브(22)는 그 침선을 액정표시패널(14)의 가장자리부에 배열된 각각에 대응하는 상기 전극에 접촉하도록, 각 지지기구(20)를 통해 액정표시패 널(14)을 향해서 하강 가능하도록 유지된다. 이 지지기구(20)와 동일한 지지기구의 구성은, 예컨대 일본 특허공개 제2004-191064호 공보에 기재되어 있다.As shown in Fig. 2, each of the supporting mechanisms 20 corresponds to each of the supporting mechanisms 20 so as to project the needles of the plurality of probes 22, which will be described later, provided in the respective probe devices 10 toward the liquid crystal display panel 14, respectively. The probe device 10 is detachably supported. Accordingly, the probe 22 of each probe device 10 contacts the electrodes corresponding to the needles arranged at the edges of the liquid crystal display panel 14 to the liquid crystal display through the respective support mechanisms 20. It is maintained to be descendable toward the panel 14. The structure of the support mechanism similar to this support mechanism 20 is described, for example in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-191064.

각 지지기구(20)에 의해 지지되는 프로브 장치(10)는, 도2 및 도3에 도시되어 있는 바와 같이, 지지기구(20)에 의해 탈착가능하게 설치되는 프로브 블록(probe block)(24)과, 상기 프로브 블록의 아래쪽에 배치되는 다수의 상기 프로브(22)를 구비한다. 또한, 프로브 장치(10)는, 도3에 나타낸 바와 같이, 프로브(22)를 프로브 블록(24)에 지지하기 위한 한 쌍의 지지바(26; 26a, 26b)와, 지지체인 상기 프로브 블록(24)의 아랫면(24a)에 설치되는 한 쌍의 슬릿바(28; 28a, 28b)를 구비한다.The probe device 10 supported by each support mechanism 20 is a probe block 24 detachably installed by the support mechanism 20, as shown in FIGS. 2 and 3. And a plurality of the probes 22 arranged below the probe block. As shown in FIG. 3, the probe device 10 includes a pair of support bars 26 (26a, 26b) for supporting the probe 22 to the probe block 24, and the probe block serving as a support ( And a pair of slit bars 28 (28a, 28b) provided on the lower surface 24a of 24.

프로브 블록(24)은 절연막으로 피복된 금속 재료로 구성되어 있다. 또한, 한 쌍의 슬릿바(28; 28a, 28b)는 세라믹(ceramics)과 같은 절연 재료로 구성되어 있다. 지지바(26; 26a, 26b)도 종래에 있어서와 마찬가지로 봉(棒)형 세라믹과 같은 절연 재료로 구성되어 있다.The probe block 24 is made of a metal material covered with an insulating film. In addition, the pair of slit bars 28 (28a, 28b) are made of an insulating material such as ceramics. The support bars 26 (26a, 26b) are also made of an insulating material such as rod-shaped ceramics as in the prior art.

프로브 블록 즉 지지체(24)의 아랫면(24a)은, 전체에 걸쳐서 직사각형 형상을 가지며, 그 앞 가장자리인 한 변(30a)이 액정표시패널(14) 위에서 상기 액정표시패널(14)의 가장자리부를 따라 배치되어 있다. 한 쪽 슬릿바(28a)는 지지체(24)의 아랫면(24a)의 앞 가장자리(30a)를 따라 배치되어 있으며, 상기 슬릿바의 윗면에서 지지체(24)의 아랫면(24a)에 고정되어 있다. 또한 다른 쪽 슬릿바(28b)는 상기 한 쪽 슬릿바(28a)로부터 간격을 두도록, 지지체(24)의 아랫면(24a)의 뒤 가장자리(30b)를 따라 배치되며, 그 윗면에서 지지체(24)의 아랫면(24a)에 고정되어 있 다.The lower surface 24a of the probe block, that is, the support 24, has a rectangular shape throughout, and one side 30a, the front edge thereof, is along the edge of the liquid crystal display panel 14 on the liquid crystal display panel 14. It is arranged. One slit bar 28a is disposed along the front edge 30a of the bottom surface 24a of the support 24, and is fixed to the bottom surface 24a of the support 24 at the top of the slit bar. The other slit bar 28b is also disposed along the rear edge 30b of the lower surface 24a of the support 24 so as to be spaced from the one slit bar 28a, on the upper surface of the support 24. It is fixed to the lower surface (24a).

각 슬릿바(28a, 28b)의 각각의 아랫면에는, 프로브(22)의 개수에 일치하는 수의 슬릿 홈(32a, 32b)이 각 슬릿바(28a, 28b)의 길이 방향으로 서로 간격을 두고 형성되어 있다. 각각의 슬릿 홈(32a, 32b)은 대응하는 슬릿바(28a, 28b)를 그 폭 방향으로 가로질러서 신장하고, 아래쪽으로 각각 개방한다. 한 쌍의 슬릿바(28a, 28b)의 대응하는 슬릿 홈(32a, 32b)은 대응하는 프로브(22)를 수용하도록 서로 정렬하여 배치되어 있다. On each lower surface of each slit bar 28a, 28b, a number of slit grooves 32a, 32b corresponding to the number of probes 22 are formed at intervals from each other in the longitudinal direction of each slit bar 28a, 28b. It is. Each of the slit grooves 32a and 32b extends across the corresponding slit bars 28a and 28b in its width direction and opens downwardly, respectively. The corresponding slit grooves 32a, 32b of the pair of slit bars 28a, 28b are arranged in alignment with each other to receive the corresponding probes 22.

후술하는 각 프로브(22)의 판 두께가 예컨대 약 15 μm이며, 그 배열 피치가 약 30 μm일 때, 각 슬릿바(28)의 슬릿 홈(32a, 32b) 간의 격벽 즉 칸막이벽(32c)(도4 참조)의 두께 치수는 약 10 μm로 설정된다.When the plate | board thickness of each probe 22 mentioned later is about 15 micrometers, for example, and the arrangement pitch is about 30 micrometers, the partition between the slit grooves 32a and 32b of each slit bar 28, ie, the partition wall 32c ( The thickness dimension (see Fig. 4) is set to about 10 m.

지지체(24)의 아랫면(24a)의 아래쪽에 배치되는 각 프로브(22)는, 도3에 도시된 바와 같이, 그 길이 방향으로 일정한 폭 치수(W)를 가지며 중앙영역으로서 작용하는 띠형 설치영역(34)과, 상기 설치영역(34)의 선단(先端) 및 후단(後端)으로부터 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 신장하는 띠형의 한 쌍의 침선영역(36; 36a, 36b)을 구비하는 판형 도전성 부재로 이루어진다.Each probe 22 disposed below the lower surface 24a of the support 24 has a band-shaped installation area (W) having a constant width dimension W in its longitudinal direction and serving as a central area (as shown in FIG. 3). 34 and a plate-shaped conductive member having a pair of band-shaped needle-guided regions 36 (36a, 36b) extending further forward and backward from the front end and the rear end of the installation region 34, respectively. Is made of.

각 프로브(22)의 설치영역(34)에는, 한 쌍의 지지바(26; 26a, 26b)를 위한 한 쌍의 가이드 홀(38; 38a, 38b)이 형성되어 있다. 한 쌍의 가이드 홀(38; 38a, 38b)은, 설치영역(34)의 길이 방향으로 서로 간격을 두고 배치되며, 각각이 설치영역(34)을 관통하도록 상기 설치영역의 양 끝에 형성되어 있다.In the installation area 34 of each probe 22, a pair of guide holes 38; 38a, 38b for a pair of support bars 26; 26a, 26b are formed. The pair of guide holes 38 (38a, 38b) are arranged at intervals from each other in the longitudinal direction of the installation region 34, and are formed at both ends of the installation region so that each of them passes through the installation region 34.

각각의 한 쪽 침선영역(36a)은 설치영역(34)의 길이 방향의 한 쪽 끝에 있어 서의 아래쪽 가장자리부로부터 앞쪽으로 신장하고, 또한 각각의 다른 쪽 침선영역(36b)은 설치영역(34)의 다른 쪽 끝에 있어서의 위쪽 가장자리부로부터 뒤쪽으로 신장한다. 각각의 침선영역(36; 36a, 36b)은 각 설치영역(34)의 폭 치수(W)보다 작은 폭 치수를 갖는다.Each one needle point region 36a extends forward from the lower edge of the installation region 34 at one end in the longitudinal direction, and each other needle point region 36b is an installation region 34. It extends backwards from the upper edge at the other end of. Each needle point region 36 (36a, 36b) has a width dimension that is smaller than the width dimension W of each installation region 34.

프로브(22)는 그 한 쪽 침선영역(36a)이 한 쪽 슬릿바(28a)의 대응하는 슬릿 홈(32a)에 수용되고, 또한 다른 쪽의 침선영역(36b)이 다른 쪽의 슬릿바(28b)의 대응하는 슬릿 홈(32b)에 수용되도록, 지지체(24)의 아랫면(24a)으로부터 간격을 두고 상기 아랫면의 아래쪽에 배치된다. 이들 프로브(22)는, 각 설치영역(34)의 폭 치수(W)의 방향이 상하 방향이 되도록, 서로 간격을 두고 병렬로 일정하게 맞춰져 있으며, 또한 각 설치영역(34)의 각 가이드 홀(38a, 38b)이 정렬된다. 정렬된 각각의 가이드 홀(38; 38a, 38b)에는 대응하는 각 지지바(26; 26a, 26b)가 관통한다. 각 지지바(26; 26a, 26b)는 그 양 끝에서, 지지체(24)의 양측에 고정되는 한 쌍의 사이드 커버(40; side cover)(도2 참조)에 지지되어 있다. 이에 따라, 각 프로브(22)는 슬릿 바(28; 28a, 28b)와 평행하게 배치된 각 지지바(26; 26a, 26b)를 통해 지지체(24)의 아래쪽에 소정의 자세로 유지되어 있다.The probe 22 has one needle region 36a received in the corresponding slit groove 32a of one slit bar 28a, and the other needle region 36b has the other slit bar 28b. It is disposed below the bottom face at a distance from the bottom face 24a of the support body 24 so as to be received in the corresponding slit groove 32b of the back side. These probes 22 are uniformly aligned in parallel with each other so that the direction of the width dimension W of each installation area | region 34 becomes an up-down direction, and each guide hole of each installation area | region 34 38a, 38b) are aligned. The respective supporting bars 26 (26a, 26b) penetrate through the aligned guide holes 38 (38a, 38b). Each support bar 26 (26a, 26b) is supported at both ends by a pair of side covers 40 (see Fig. 2) fixed to both sides of the support 24. Accordingly, each probe 22 is held in a predetermined posture below the support 24 through the respective support bars 26; 26a and 26b disposed in parallel with the slit bars 28; 28a and 28b.

프로브(22)의 상기 다른 쪽 침선영역(36b)은 상기 침선영역의 후단에 형성된 뒤쪽의 침선(42b)을 슬릿바(28b)로부터 지지체(24)의 뒤쪽으로 돌출시킨다. 이 뒤쪽의 침선(42b)은 지지기구(20)에 지지된 지지블록(44)의 아랫면에 고정된 회로판(46)의 대응하는 접속 패드에 접속됨으로써, 각 프로브(22)는 회로판(46)을 거쳐 도시하지 않은 테스터 본체에 접속된다. 침선(42b)은 도시의 예에서는 회로판(46) 에 대한 잘못된 접촉을 방지하기 위한 가이드 필름(guide film)(48)의 구멍(48a)을 거쳐 상기 접속 패드(connection pad)에 접속되어 있다.The other needle point region 36b of the probe 22 protrudes from the slit bar 28b to the rear of the support 24 at the rear needle line 42b formed at the rear end of the needle needle region. The rear needle line 42b is connected to a corresponding connection pad of the circuit board 46 fixed to the lower surface of the support block 44 supported by the support mechanism 20, so that each probe 22 is connected to the circuit board 46. It is connected to the tester main body which is not shown in figure. The needle wire 42b is connected to the connection pad via the hole 48a of the guide film 48 for preventing erroneous contact with the circuit board 46 in the illustrated example.

프로브(22)의 상기 한 쪽 침선영역(36a)은 상기 침선영역의 선단에 형성된 앞쪽의 침선(42a)을 슬릿바(28a)의 앞쪽으로부터 그 아래쪽으로 돌출시킨다. 즉, 도4에 확대하여 도시한 바와 같이, 슬릿바(28a)의 슬릿 홈(32a)은 직선형의 꼭대기면을 가지며, 지지체(24)의 앞 가장자리(30a) 측에 대응하는 슬릿바(28a)의 앞 가장자리 측과 반대측의 뒤 가장자리 측에는 단부(50)가 형성되어 있다. 단부(50)는 평평한 단차면(50a)을 형성한다. 도시의 예에서는, 단부(50)는, 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 단차면(50a)을 제외한 다른 영역에 대해 위쪽에 위치하는 단차면(50a)을 규정한다.The one needle tip region 36a of the probe 22 projects the front needle tip 42a formed at the tip of the needle needle region from the front of the slit bar 28a downward. That is, as shown in an enlarged view in FIG. 4, the slit groove 32a of the slit bar 28a has a straight top surface, and corresponds to the slit bar 28a corresponding to the front edge 30a side of the support 24. An end portion 50 is formed at the rear edge side opposite to the front edge side of the side. The end 50 forms a flat stepped surface 50a. In the example of illustration, the edge part 50 defines the step surface 50a located upwards with respect to the other area | region except the step surface 50a in the said top surface of the slit groove 32a.

또한, 프로브(22)의 설치영역(34)과 한 쪽 침선영역(36a)과의 사이에는, 상기 단차면(50a)과 마주보는 볼록한 형상의 단부(52)가 형성되어 있으며, 상기 단부는 상기 단차면(50a)에 맞닿는 평평한 단차면(52a)을 규정한다. 슬릿바(28a)에 형성된 단부(50)의 단차면(50a)과 프로브(22)에 형성된 단부(52)의 단차면(52a)은 서로 맞닿는다. 이 양면(50a, 52a)이 접촉된 상태에서는, 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 단차면(50a)을 제외한 영역이 침선영역(36a)에 맞닿지 않으며, 단차면(50a)을 제외한 영역과 침선영역(36a)과의 사이에는 간격이 유지된 상태에서, 상기 침선영역의 침선(42a)이 슬릿바(28a)의 앞 가장자리로부터 비스듬히 아래쪽으로 돌출하여 유지되어 있다.In addition, a convex end 52 facing the step surface 50a is formed between the installation region 34 of the probe 22 and one needle region 36a. The flat step surface 52a which abuts on the step surface 50a is defined. The stepped surface 50a of the end 50 formed in the slit bar 28a and the stepped surface 52a of the end 52 formed in the probe 22 abut each other. In the state where both surfaces 50a and 52a are in contact with each other, the area except the step surface 50a on the top surface of the slit groove 32a does not contact the needle guide area 36a, and the step surface 50a In the state where the spacing is maintained between the excluded region and the needle guide region 36a, the needle guide 42a of the needle guide region protrudes obliquely downward from the front edge of the slit bar 28a.

따라서 프로브 장치(10)의 각 프로브(22)의 상기 한 쪽 침선영역(36a)이 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 가압되면, 각 프로브(22)의 침선(42a)에 작용하는 가압력의 적어도 일부는, 그 침선영역(36a)의 단차면(52a)과 마주보는 슬릿 바(28a)의 단부(50)의 단차면(50a)에서 반발력이 작용함으로써、상기 단차면이 강성 지지점으로서 작용한다. 또한, 각 침선영역(36a)이 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 단차면(50a)을 제외한 영역에 맞닿을 때까지, 침선영역(36a)에 있어서의 탄성 변형이 허용된다.Therefore, when the one needle point region 36a of each probe 22 of the probe device 10 is pressed against the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14, it acts on the needle point 42a of each probe 22. The repulsive force acts on the step surface 50a of the end portion 50 of the slit bar 28a facing the step surface 52a of the needle region 36a, so that the step surface is a rigid support point. Act as. In addition, elastic deformation in the needle region 36a is allowed until each needle region 36a abuts an area except the step surface 50a in the top surface of the slit groove 32a.

이에 따라, 각 프로브(22)는 이 탄성 변형량에 따른 오버드라이브력에 의해, 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 가압된다. 또한, 이 오버드라이브력은 강성 지지점으로서 작용하는 단부(50)의 단차면(50a)의 프로브(22)의 길이 방향을 따르는 위치 및 높이 위치(단차 레벨)를 선택함으로써, 적정하게 설정할 수 있다.Accordingly, each probe 22 is pressed against the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14 by the overdrive force corresponding to this amount of elastic deformation. In addition, this overdrive force can be suitably set by selecting the position along the longitudinal direction of the probe 22 of the step surface 50a of the edge part 50 which serves as a rigid support point, and the height position (step level).

본 발명에 따른 프로브 장치(10)가 포함된 검사장치(12)에서는, 각 프로브 장치(10)에 설치된 각 프로브(22)의 침선(42a)이 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 가압된다. 이 때, 각 프로브 장치(10)의 프로브(22)는 각각의 슬릿바(28a)에 형성된 단차면(50a)을 강성 지지점으로 하여, 탄성을 수반하는 휨 변형을 발생하고, 이 휨 변형에 따른 오버드라이브력에 의해 대응하는 상기 전극 패드에 접속됨으로써, 상기 각 전극 패드는 프로브 장치(10)를 거쳐 상기 테스터 본체에 확실하게 접속된다.In the inspection apparatus 12 including the probe apparatus 10 according to the present invention, the needle line 42a of each probe 22 installed in each probe apparatus 10 is the electrode pad corresponding to the liquid crystal display panel 14. Is pressed on. At this time, the probe 22 of each probe apparatus 10 uses the stepped surface 50a formed on each of the slit bars 28a as a rigid support point to generate bending deformation accompanied with elasticity, and according to this bending deformation By being connected to the said electrode pad by an overdrive force, each said electrode pad is reliably connected to the said tester main body via the probe apparatus 10. FIG.

또한, 이 때, 상기 강성 지지점(50a)에 의해 프로브(22)에 작용하는 오버드라이브력의 적어도 일부가 저지됨으로써, 프로브(22)를 지지하는 지지바(26; 26a, 26b)에 종래와 같은 강한 오버드라이브력이 작용하지 않으며, 이에 따른 지지바(26; 26a, 26b)의 휨 변형을 확실하게 방지할 수 있다.In addition, at this time, at least a part of the overdrive force acting on the probe 22 by the rigid support point 50a is blocked, so that the support bars 26 (26a, 26b) supporting the probe 22 are the same as before. A strong overdrive force does not work, and thus the bending deformation of the support bars 26 (26a, 26b) can be reliably prevented.

따라서 본 발명에 따른 프로브 장치(10)를 구비하는 검사장치(12)에 의하면, 각 프로브(22)의 관통 구멍인 각각의 가이드 홀(38; 38a, 38b)과 상기 가이드 홀을 관통하는 지지바(26; 26a, 26b)와의 제조 허용 오차에도 불구하고, 상기 지지바의 휨 변형에 기인하는 프로브(22)의 비틀림 변형 및 이 비틀림 변형에 수반하는 슬릿바(28a)의 슬릿 홈(32a) 간의 칸막이 벽(32c)(도4 참조)의 손상 혹은 파손이 확실하게 방지된다. 이에 따라, 각 프로브(22)의 침선(42a) 위치의 높이 방향의 불규칙함(Δz) 및 침선(42a)의 평면 위에서의 불규칙함(Δx, Δy)을 보다 효과적으로 억제하고, 장기간 사용하더라도 모든 프로브(22)에 의한 안정된 전기적 접속을 실현할 수 있다.Therefore, according to the inspection device 12 having the probe device 10 according to the present invention, each of the guide holes 38 (38; 38a, 38b) that are the through holes of each probe 22 and the support bar penetrating the guide hole Despite the manufacturing tolerance with (26; 26a, 26b), between the torsional deformation of the probe 22 due to the bending deformation of the support bar and the slit groove 32a of the slit bar 28a accompanying this torsional deformation. Damage or breakage of the partition wall 32c (see Fig. 4) is reliably prevented. As a result, irregularities (Δz) in the height direction of the needle tip 42a position of each probe 22 and irregularities (Δx, Δy) on the plane of the needle tip 42a are more effectively suppressed, and all probes are used even if used for a long time. Stable electrical connection by (22) can be realized.

프로브(22)의 침선(42a)의 높이 위치의 불규칙함에 대해서, 보다 구체적으로는, 지지바의 휨 변형을 억제하기 위해 탄성체를 이용한 경우에는, 침선(42a)의 높이 위치의 불규칙함은 40 μm 정도였으나, 탄성체 대신 강성 지지점을 이용한 본 발명에서는 그 불규칙함을 반값인 약 20 μm이하로 억제할 수 있었다.About the irregularity of the height position of the needle | tip needle 42a of the probe 22 More specifically, when an elastic body is used to suppress the bending deformation of a support bar, the irregularity of the height position of the needle needle 42a is 40 micrometers. However, in the present invention using a rigid support point instead of an elastic body, the irregularities could be suppressed to less than about 20 μm, which is half the value.

도4에 나타낸 예에서는, 슬릿바(28a)의 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 뒤 가장자리 부분에 형성된 강성 지지점은 단차면(50a)으로 형성되어 있다. 이것 대신, 도시하지 않았으나, 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 뒤 가장자리 부분이 다른 쪽 앞 가장자리 부분 보다 아래쪽에 위치하는 단차면으로 형성할 수 있다. 이 경우, 침선영역(36a)의 상기 단차면과 마주보는 영역이 상기 단차면에 맞닿을 때, 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 있어서의 앞 가장자리 부분과 침선영역(36a)과의 사이에는 상기 침선영역의 상기한 바와 같은 탄성 변형을 허용하는 간격이 유지된다. 또한, 상기 슬릿바의 상기 단차면과 마주보는 프로브(22)의 상기한 바와 같은 위쪽으로의 단차면(52a)은, 이와 같은 위쪽으로의 단차면 또는 이것과는 반대인 아래쪽으로의 단차면의 어느 것이나 가능하다. 혹은, 프로브에 형성되는 상기한 단차를 필요로 하지 않을 수 있다.In the example shown in FIG. 4, the rigid support point formed in the rear edge part of the said top surface of the slit groove 32a of the slit bar 28a is formed with the step surface 50a. Instead of this, although not shown, the rear edge portion of the top surface of the slit groove 32a can be formed into a stepped surface located below the other front edge portion. In this case, when the area facing the stepped surface of the needled area 36a is in contact with the stepped surface, between the leading edge portion of the top surface of the slit groove 32a and the needled area 36a. A gap is maintained which allows the elastic deformation as described above of the needle point region. Further, the upward stepped surface 52a as described above of the probe 22 facing the stepped surface of the slit bar is such a stepped surface upward or a stepped surface downward opposite thereto. Anything is possible. Alternatively, the above step formed in the probe may not be required.

도5에 나타낸 바와 같이, 슬릿바(28a)의 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면을 슬릿바(28a)의 앞 가장자리로부터 뒤 가장자리에 이르는 직선형 평탄면으로 형성할 수 있다. 이 경우, 프로브(22)에는 설치영역(34)과 침선영역(36a)과의 사이에서, 평탄면 부분을 향한 볼록한 형상의 단부(52)를 형성할 수 있고, 상기 꼭대기면의 단부(52)의 평평한 단차면(52a)과 마주보는 부분이 상기한 바와 같은 강성 지지점을 구성한다.As shown in Fig. 5, the top surface of the slit groove 32a of the slit bar 28a can be formed into a straight flat surface extending from the front edge to the rear edge of the slit bar 28a. In this case, in the probe 22, an end portion 52 of the convex shape facing the flat surface portion can be formed between the installation region 34 and the needle line region 36a, and the end portion 52 of the top surface. The portion facing the flat stepped surface 52a of constitutes the rigid support point as described above.

또한, 슬릿바(28a)에 상기한 바와 같은 강성 지지점을 설치하는 대신, 지지체(24)에 동일한 강성 지지점을 설치할 수 있다.In addition, instead of providing the rigid support point as described above in the slit bar 28a, the same rigid support point can be provided in the support body 24.

도6에는 지지체(24)의 아랫면(24a)에 슬릿바(28a)의 뒤 가장자리를 따라 아래쪽으로 신장하는 신장부(54)를 형성한 예를 나타낸다. 도6에 나타낸 예에서는, 신장부(54)의 하단면(54a)은 상기 아랫면(24a) 및 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면의 양 높이 위치 사이에 있다. 신장부(54)의 하단면(54a)은 프로브(22)에 형성된 단부(52)의 단차면(52a)을 수용하는 평탄면으로 구성되어 있으며, 상기한 바와 같은 프로브(22)를 위한 강성 지지점으로서 작용한다.FIG. 6 shows an example in which the elongate portion 54 extending downward along the rear edge of the slit bar 28a is formed on the lower surface 24a of the support 24. In the example shown in FIG. 6, the lower end surface 54a of the extension part 54 is between the lower surface 24a and the both height positions of the said top surface of the slit groove 32a. The lower surface 54a of the extension portion 54 is composed of a flat surface for receiving the stepped surface 52a of the end 52 formed in the probe 22, and the rigid support point for the probe 22 as described above. Act as.

또한, 도7에 나타낸 바와 같이, 지지체(24)의 아랫면(24a)에서 슬릿바(28a)로부터 간격을 두고 이것에 평행하게 형성되는 신장부(56)를 형성할 수 있다. 신장부(56)는 슬릿바(28a)에 근접하는 한 쪽 지지바(26a)의 위쪽에 배치되어 있다. 이 신장부(56)의 평탄한 하단면(56a)은 지지바(26a)의 위쪽에서 프로브(22)의 설치영역(34)의 윗면에 맞닿고, 상기한 바와 같은 강성 지지점으로서 작용한다.In addition, as shown in FIG. 7, the extension part 56 formed in parallel to this at intervals from the slit bar 28a at the lower surface 24a of the support body 24 can be formed. The extension part 56 is arrange | positioned above the one support bar 26a which adjoins the slit bar 28a. The flat lower end surface 56a of this extension part 56 abuts on the upper surface of the installation area 34 of the probe 22 above the support bar 26a, and acts as a rigid support point as described above.

지지바(26a)에 작용하는 오버드라이브력의 절감을 도모하기 위해서는, 도7에 나타낸 바와 같이, 지지바(26a)의 위쪽에서 설치영역(34)에 맞닿는 강성 지지점을 형성하는 것이 바람직하다.In order to reduce the overdrive force acting on the support bar 26a, as shown in FIG. 7, it is preferable to form a rigid support point that abuts against the installation region 34 above the support bar 26a.

그러나 지지바(26a)에 작용하는 오버드라이브력의 절감을 도모하고, 더욱이 각 프로브(22)의 오버드라이브력을 보다 고정밀도로 적정하게 설정하는데 있어서, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 강성 지지점을 침선(42a)의 근방 위치에 설정하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 각 프로브(22)의 오버드라이브력에 의한 침선의 변위량을 비교적 고정밀도로 일정하게 맞추는 것이 가능해지고, 모든 프로브(22)에서의 보다 안정된 전기적 접촉을 실현하는 것이 가능해진다.However, in order to reduce the overdrive force acting on the support bar 26a and to set the overdrive force of each probe 22 more accurately and more accurately, as shown in Figs. 4 and 5, the rigid support point Is preferably set at a position near the needle line 42a. As a result, the amount of displacement of the needle bar due to the overdrive force of each probe 22 can be adjusted to be relatively high with constant accuracy, and more stable electrical contact in all the probes 22 can be realized.

도8에 나타낸 바와 같이, 도4에 나타낸 각 프로브(22)의 설치영역(34)에 용량절감용 구멍(58a 및 58b)을 형성할 수 있다. 이들 구멍(58a 및 58b)은 인접하는 프로브(22) 사이에서의 정용량(靜容量)의 감소를 도모함으로써, 펄스(pulse)형 신호의 누락에 의한 인접하는 프로브(22) 사이에서의 크로스 토크(cross-talk)를 감소시킨다.As shown in Fig. 8, holes 58a and 58b for capacity reduction can be formed in the installation area 34 of each probe 22 shown in Fig. 4. These holes 58a and 58b reduce the constant capacitance between adjacent probes 22, thereby causing cross talk between adjacent probes 22 due to missing pulsed signals. reduce cross-talk

또한, 상기한 바에서는 한 쌍의 지지바(26; 26a, 26b)를 통해 지지체(24)에 지지되는 프로브(22)를 도시하였으나, 도9에 나타낸 바와 같이, 단일 가이드 홀(38)을 가지며, 상기 가이드 홀을 삽입 관통하는 지지바(도시 생략)를 통해 상기한 바와 같은 지지체에 지지되는 프로브(22)에 본 발명을 적용할 수 있다.In addition, while the above-described probe 22 is supported on the support 24 through a pair of support bars 26 (26a, 26b), as shown in Figure 9, having a single guide hole 38 In addition, the present invention may be applied to the probe 22 supported by the support as described above through a support bar (not shown) through which the guide hole is inserted.

본 발명에 의하면, 상기 강성 지지점(50a, 32a, 54a, 56a)에 의해 프로브(22)에 작용하는 오버드라이브력의 일부를 지지할 수 있기 때문에, 프로브(22)를 지지하는 지지바(26)에 프로브(22)에 비틀림을 발생시킬 만한 과대한 휨 변형이 생기는 것을 확실하게 저지할 수 있다. 따라서 이 지지바(26)의 휨 변형에 기인하는 프로브(22)의 비틀림 변형 및 이 비틀림 변형에 수반하는 슬릿바(28a)의 칸막이 벽(32c)의 손상 혹은 파손을 보다 확실하게 방지할 수 있고, 또한, 각 프로브(22)의 침선(42a)의 높이 위치 및 침선의 평면상의 위치의 불규칙함을 보다 효과적으로 억제할 수 있으므로, 장기간 사용하더라도 모든 프로브(22)에 의한 안정된 전기적 접속을 실현할 수 있다.According to the present invention, since the rigid support points 50a, 32a, 54a, 56a can support a part of the overdrive force acting on the probe 22, the support bar 26 supporting the probe 22 is supported. It is possible to reliably prevent the occurrence of excessive bending deformation that can cause distortion in the probe 22. Therefore, the torsional deformation of the probe 22 caused by the bending deformation of the support bar 26 and the damage or breakage of the partition wall 32c of the slit bar 28a accompanying the torsional deformation can be more reliably prevented. Further, irregularities in the height position of the needle line 42a and the position on the plane of the needle line of each probe 22 can be more effectively suppressed, so that stable electrical connection by all the probes 22 can be realized even if used for a long time. .

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명에 의하면, 상기 강성 지지점에 의해 프로브에 작용하는 오버드라이브력의 일부를 지지함으로써, 프로브를 지지하는 지지바에, 프로브에 비틀림을 발생시킬 만한 과대한 휨 변형이 생기는 것을 확실하게 저지할 수 있다. 따라서 이 지지바의 휨 변형에 기인하는 프로브의 비틀림 변형 및 이 비틀림 변형에 수반하는 슬릿바의 칸막이 벽의 손상 혹은 파손을 보다 확실하게 방지할 수 있으며, 또한, 각 프로브의 침선 위치의 높이 위치의 불규칙함을 보다 효과적으로 억제할 수 있기 때문에, 장기간 사용하더라도 모든 프로브에 의한 안정된 전기적 접속을 실현할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.According to the present invention, by supporting a part of the overdrive force acting on the probe by the rigid support point, it is possible to reliably prevent excessive bending deformation that can cause distortion in the probe in the support bar supporting the probe. . Therefore, it is possible to more reliably prevent torsional deformation of the probe due to the bending deformation of the support bar and damage or breakage of the partition wall of the slit bar accompanying this torsional deformation, Since irregularities can be more effectively suppressed, there is an effect of the invention that a stable electrical connection by all the probes can be realized even when used for a long time.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

Support 24;

The mounting region (34) includes a plurality of probes (22) having a belt-shaped mounting region (34) and a belt-shaped needle needle region (36a) extending forward from the tip of the mounting region and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting region. A plurality of probes 22 arranged in parallel to face the installation region 34 below the support 24 in a state where the width direction of the 34 is in a vertical direction;

An elongated support bar 26a extending through the installation region 34 in the thickness direction of the installation region and supported by the support; And

A slit bar 28a disposed along the longitudinal direction of the support bar 26a at the leading edge of the support, spaced apart from each other in the longitudinal direction of the slit bar, and each of which is opened downward, and corresponding probe ( A slit bar (28a) having a plurality of slit grooves (32a) for accommodating the needle point area (36a) of 22) so that the needle point (42a) protrudes from the front edge (30a);

Wherein the slit bar 28a or the support 24 includes the probe 22 before contacting the top surface of the slit groove 32a at the front edge 30a of the slit bar 28a. And a rigid support point (50a, 32a, 54a, 56a) abutting against the probe (22) to restrain deformation of the probe.

The probe assembly according to claim 1, wherein the rigid support point is formed at a rear edge portion of the top surface of the slit groove (32a) of the slit bar (28a).

The flat surface portion 50a which is stepped with respect to the remaining area of the top surface is formed at the rear edge portion of the top surface of the slit bar 28a. 22, an end portion 52 facing the flat surface portion 50a is formed between the installation region 34 and the needle line region 36a, and the flat surface portion is in contact with the end portion 52. Probe assembly (50a) constitutes the rigid support point.

4. The remaining region of claim 3, wherein when the flat surface portion 50a abuts the end portion 52, the remaining area except for the flat surface portion 50a at the top surface of the slit bar 28a is formed. And the probe assembly is spaced apart from the needle area 36a of the corresponding probe.

5. The flat surface portion (50a) of the slit bar (28a), according to claim 4, forms a stepped surface located below the remaining area, and the end portion (52) of the probe is the needle point area. And a probe assembly defining a stepped surface 52a located above the top of the 36a.

The top surface of the slit groove (32a) of the slit bar (28a) is formed of a straight flat surface extending from the front edge of the slit bar (28a) to the rear edge of the slit bar, The probe 22 is formed with an end portion 52 of the convex shape facing the flat surface portion between the installation region 34 and the needle region 36a, and the end portion 52 of the top surface. A probe assembly in which opposite portions constitute the rigid support point.

According to claim 1, On the lower surface (24a) of the support (24), between the arrangement position of the support bar 26a and the arrangement position of the slit bar (28a), the end (but abutting the probe 22) 54) formed, wherein the end portion (54) constitutes the rigid support point.

The probe assembly according to claim 7, wherein said end portion (54) of said support member (24) is formed to protrude downwardly along said slit bar (28a).

The flat surface 52a of claim 8, wherein the probe 22 faces the contact surface of the end portion 54 of the support 24 between the installation region 34 and the needle guide region 36a. A probe assembly having an end portion (52) forming a).