KR100648411B1 - 유체분사노즐 - Google Patents

Abstract

평판 디스플레이 패널 등의 기판에 유체를 분사하여 표면을 처리할 때 이용될 수 있으며, 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐을 개시한다.

이러한 유체분사노즐은 서로 마주하는 제1, 2 플레이트를 구비하며, 상기 제1, 2 플레이트에는 유체가 통과할 수 있는 관로가 제공되고, 상기 제1, 2 플레이트의 선단부의 길이가 서로 다르게 이루어진다.

따라서 상기 유체분사노즐은 유체가 일방향으로 휘어지는 상태로 분사될 수 있어 유체분사노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않아도 기판의 처리 효율을 향상시킬 수 있으며, 기판의 이동 방향과 반대측으로 유체분사노즐에서 분사되는 유체가 이동되고, 그 반대측인 기판이 이동되는 방향 측으로는 유체가 전달되는 것을 방지할 수 있어 유체의 분사 압력 등으로 발생할 수 있는 와류 또는 부압의 발생을 억제하여 기판의 떨림 등이 방지되어 기판 처리 효율을 향상시키면서도 기판의 수율을 높일 수 있는 효과를 가진다.

분사, 노즐, 유체, 기판, 와류

Description

유체분사노즐{Injection nozzle}

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이다.

도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 실시 예의 작용을 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 유체분사노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널 등의 기판에 유체를 분사하여 표면을 처리할 때 이용될 수 있으며, 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐에 관한 것이다.

일반적으로 기판의 표면을 처리하기 위하여 기판의 표면에 유체를 분사할 수 있는 분사장치에 사용되는 노즐은 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 제20-0305052호에 그 기술이 개시되어 있다. 상기 공보에 개시된 기술은 노즐의 선단부의 길이가 동일한 길이로 제공되어 있다. 이러한 분사장치의 노즐을 이용하여 기판을 처리하는 경우에, 노즐의 선단 부분이 기판과 일정한 각도를 가지도록 기울인 상태로 배치되어 상기 노즐을 통하여 유체가 분사되어 기판의 표면 처리가 이루어진다. 이것은 분사장치의 노즐에서 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사되도록 하여 기판의 처리 효율을 높이기 위한 것이다.

그러나 종래의 분사장치에 사용되는 노즐은 이송되는 기판과 인접한 위치에서 경사각을 작게 하는 경우, 기판이 노즐의 일단에 접촉될 수 있는 우려로 인하여 경사각을 충분히 작게 조절하기 어려운 문제점이 있다. 또한, 상기 분사장치에 사용되는 노즐에서 분사되는 유체가 특정한 방향으로만 분사되지 않고 원하지 않는 방향으로 분사됨으로서 기판의 처리 효율이 떨어지고, 기판에 분사되는 유체의 방향과 반대 측 부분으로 상기 유체의 일부가 분사되면서 와류 및 저압 등이 형성됨으로서 기판의 진동 또는 들림 현상이 발생하여 불량을 가지는 기판이 제조될 수 있는 문제점이 있다.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 이동하는 기판에 대하여 기판에 인접된 위치에서 분사장치에 사용되는 노즐의 각도를 충분히 기울여 설치하는 것이 가능함은 물론 노즐을 설치할 때 기구적인 구조의 한계를 가지는 경우, 기판에 대하여 노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않고도 일정한 방향으로 유체가 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 유체를 분사하여 기판을 처리하기 위한 유체분사노즐에 있어서, 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 체결수단에 의하여 유체가 통과할 수 있는 관로가 제공되는 상태로 결합되는 제2 플레이트; 상기 제1, 2 플레이트는 유체가 분사되는 선단부의 길이가 서로 다르게 이루어지는 유체분사노즐을 제공한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 유체분사노즐을 기판에 대하여 경사지게 배치한다. 특히, 상기 유체분사노즐은 제1, 2 플레이트 중 선단부의 길이가 작은 쪽이 기판이 이동되는 방향 측에 위치되도록 배치한다. 그리고 상기 제1, 2 플레이트 사이에 제공되는 관로를 통하여 유체를 분사시키면 선단부의 길이가 짧은 쪽 부분에서는 관로의 마찰력이 최소화되어 유체의 분사 속도가 증가하게 되고, 선단부의 길이가 긴 쪽 부분에서는 관로와의 마찰력이 극대화되어 유체의 분사속도가 짧은 쪽에 비하여 줄어들게 되어 선단부의 긴쪽 방향으로 유체가 휘어지는 상태로 분사된다. 즉, 기판이 이동되는 방향과 반대 방향으로 유체의 분사가 이루어지면서 기판을 처리하게 된다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 부를 절개하여 도시한 단면도로, 유체분사장치를 통하여 유체를 분사할 수 있는 노즐(1)을 도시하고 있다. 상기 노즐(1)은 기판(G)의 일측면에 이동되는 방향(실선 화살표로 표시)과 경사각(θ)을 가지는 상태로 배치될 수 있다.

상기 노즐(1)은 일정한 폭을 가지는 제1, 2 플레이트(3, 5)가 볼트 및 너트 등의 체결수단에 의하여 체결된다. 상기 제1, 2 플레이트(3, 5)가 결합되는 부분 사이에는 유체가 통과되어 분사될 수 있는 관로(7)가 제공된다. 그리고 상기 제2 플레이트(5)는 선단부가 제1 플레이트(3)의 선단부의 길이에 비하여 L로 표시된 만큼 짧게 이루어진다. 그리고 상기 노즐(1)은 제2 플레이트(5)가 기판(G)의 이동 방향 측에 배치되는 것이 바람직하다. 물론 도시는 생략하였으나, 기판의 방향이 바뀌는 경우에는 제1 플레이트(3)의 선단부 길이가 제2 플레이트(5)의 선단부 길이에 비하여 짧게 이루어질 수 있으며, 또한 기판(G)에 대하여 경사지는 방향도 반대로 될 수 있다.

상기 제1, 2 플레이트(3, 5) 사이에 제공되는 관로(9)는 상기 제1, 2 플레이트(3, 5)에 홈을 내서 구성할 수 도 있으며, 상기 제1, 2 플레이트(3, 5) 사이에 별도의 간격유지부재(도시생략) 등을 끼워 체결수단으로 결합하여 구성할 수 도 있다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 작용을 도 3을 통하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

우선 롤러(R) 등에 의하여 이송되는 기판(G)의 일측면에 노즐(1)을 경사각 (θ, 도 1에 표시하고 있음)을 가지는 상태로 배치하되 선단부의 길이가 짧은 제2 플레이트(5)가 기판(G)이 이송되는 방향(실선 화살표로 표시) 측에 위치하도록 배치한다. 이러한 상태에서 유체가 관로(9)를 통하여 분사되면 관로의 중간 부분의 유체 속도는 관로의 면과 인접되는 부분이 관로의 마찰력에 의하여 중앙부보다 느려지는 상태가 되고(A, 화살표의 길이는 유체의 속도를 표시함), 유체가 분사되는 관로의 선단에서 유체의 속도는 제2 플레이트(5)의 선단을 통과하는 순간 제1 플레이트(5)와의 마찰력의 해제로 급격한 속도의 증가가 이루어진다(B, 화살표의 길이 는 유체의 속도를 표시함).

따라서, 제1, 2 플레이트(3, 5)의 선단부를 통과한 유체는 선단부의 길이가 더 긴 제1 플레이트(3) 측 방향으로 휘어지면서 분사가 이루어진다. 그리고 노즐(1) 자체가 기판(G)이 이동되는 방향과 기울어진 상태로 배치되므로 분사되는 유체는 기판(G)이 이동되는 방향과 반대 방향으로 분사가 이루어진다. 따라서 제2 플레이트(5)의 하부 부분 측 또는 기판(G)이 이동되는 부분으로 유체가 분사되는 것을 방지할 수 있는 것이다. 따라서 제1 플레이트(5)가 위치한 부분의 기판에서는 와류 및 부압 생성이 억제되어 기판(G)의 떨림 등을 방지할 수 있고 안정적으로 기판(G)이 이동된다.

이와 같이 유체가 기판(G)이 이송되는 반대 방향 부분으로만 분사되어 기판(G)의 처리 효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 것이다.

또한, 기판(G)에 인접한 위치에 상기 노즐(1)이 경사진 상태로 배치되어도 기판(G)과 제2 플레이트(5)의 선단부의 거리를 최대한 유지할 수 있어 롤러(R) 등에 의하여 미세한 흔들림 등이 발생한다 하더라고 기판(G)이 노즐(1)과 접촉될 수 있는 여지를 줄임으로서 기판(G)의 불량을 방지할 수 있는 것이다.

이와 같이 본 발명은 선단부의 길이가 다른 유체분사노즐을 제공하여 유체가 일방향으로 휘어지는 상태로 분사될 수 있어 유체분사노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않아도 기판의 처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 선단부의 길이가 작은 쪽이 이동되는 기판에 인접한 위치에 서 경사지게 배치되는 경우, 유체분사노즐을 기판에 근접하게 위치시킨 상태에서도 기판과의 간격이 유지되므로 기판의 미세한 요동 등으로 인하여 발생할 수 있는 불량을 방지할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 본 발명은 기판의 이동 방향과 반대측으로 유체분사노즐에서 분사되는 유체가 이동되고, 그 반대측인 기판이 이동되는 방향 측으로는 유체가 전달되는 것을 방지할 수 있어 유체의 분사 압력 등으로 발생할 수 있는 와류 또는 부압의 발생을 억제하여 기판의 떨림 등이 방지되어 기판 처리 효율을 향상시키면서도 기판의 수율을 높일 수 있는 효과를 가진다.

Claims (4)

1. 유체를 분사하여 기판을 처리하기 위한 유체분사노즐에 있어서,

   제1 플레이트;

   상기 제1 플레이트에 체결수단에 의하여 유체가 통과할 수 있는 관로가 제공되는 상태로 결합되는 제2 플레이트;

   상기 제1, 2 플레이트는 유체가 분사되는 선단부의 길이가 서로 다르게 이루어지며, 상기 제1, 2 플레이트 중 선단부가 짧은 부분이 기판의 이동방향 측에 배치되는 유체분사노즐.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제

Images