KR100648411B1

KR100648411B1 - Injection nozzle

Info

Publication number: KR100648411B1
Application number: KR1020030072489A
Authority: KR
Inventors: 허경헌
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2003-10-17
Filing date: 2003-10-17
Publication date: 2006-11-24
Also published as: TWI250897B; CN1608740A; TW200514622A; JP2005118770A; CN100333839C; JP4002911B2; US20050082397A1; KR20050037078A

Abstract

평판 디스플레이 패널 등의 기판에 유체를 분사하여 표면을 처리할 때 이용될 수 있으며, 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐을 개시한다.Disclosed is a fluid spray nozzle which can be used to treat a surface by spraying a fluid onto a substrate such as a flat panel display panel, and enables the sprayed fluid to be sprayed in a specific direction.

이러한 유체분사노즐은 서로 마주하는 제1, 2 플레이트를 구비하며, 상기 제1, 2 플레이트에는 유체가 통과할 수 있는 관로가 제공되고, 상기 제1, 2 플레이트의 선단부의 길이가 서로 다르게 이루어진다.The fluid injection nozzle has first and second plates facing each other, and the first and second plates are provided with a passage through which fluid can pass, and the lengths of the tips of the first and second plates are different from each other.

따라서 상기 유체분사노즐은 유체가 일방향으로 휘어지는 상태로 분사될 수 있어 유체분사노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않아도 기판의 처리 효율을 향상시킬 수 있으며, 기판의 이동 방향과 반대측으로 유체분사노즐에서 분사되는 유체가 이동되고, 그 반대측인 기판이 이동되는 방향 측으로는 유체가 전달되는 것을 방지할 수 있어 유체의 분사 압력 등으로 발생할 수 있는 와류 또는 부압의 발생을 억제하여 기판의 떨림 등이 방지되어 기판 처리 효율을 향상시키면서도 기판의 수율을 높일 수 있는 효과를 가진다.Therefore, the fluid spray nozzle can be sprayed in a state in which the fluid is bent in one direction, so that the processing efficiency of the substrate can be improved even when the fluid spray nozzle is not inclined sufficiently, and sprayed from the fluid spray nozzle in a direction opposite to the moving direction of the substrate. It is possible to prevent the fluid from being transferred to the direction in which the opposite side of the substrate is moved, and to prevent the vortex or negative pressure that may occur due to the injection pressure of the fluid. It has the effect of increasing the yield of the substrate while improving the processing efficiency.

분사, 노즐, 유체, 기판, 와류Spray, nozzle, fluid, substrate, vortex

Description

Fluid Injection Nozzle

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a perspective view for explaining an embodiment according to the present invention.

도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the A-A section of FIG. 1;

도 3은 본 발명의 실시 예의 작용을 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining the operation of the embodiment of the present invention.

본 발명은 유체분사노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널 등의 기판에 유체를 분사하여 표면을 처리할 때 이용될 수 있으며, 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid spray nozzle, and more particularly, may be used when treating a surface by spraying a fluid on a substrate, such as a flat panel display panel, and the fluid spray nozzle to be sprayed in a specific direction It is about.

일반적으로 기판의 표면을 처리하기 위하여 기판의 표면에 유체를 분사할 수 있는 분사장치에 사용되는 노즐은 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 제20-0305052호에 그 기술이 개시되어 있다. 상기 공보에 개시된 기술은 노즐의 선단부의 길이가 동일한 길이로 제공되어 있다. 이러한 분사장치의 노즐을 이용하여 기판을 처리하는 경우에, 노즐의 선단 부분이 기판과 일정한 각도를 가지도록 기울인 상태로 배치되어 상기 노즐을 통하여 유체가 분사되어 기판의 표면 처리가 이루어진다. 이것은 분사장치의 노즐에서 분사되는 유체가 특정한 방향으로 분사되도록 하여 기판의 처리 효율을 높이기 위한 것이다. In general, a nozzle used in an injector capable of injecting a fluid onto the surface of a substrate to treat the surface of the substrate is disclosed in Korean Utility Model Publication No. 20-0305052. The technique disclosed in this publication is provided with the same length of the tip of the nozzle. When the substrate is processed using the nozzle of the injector, the tip portion of the nozzle is inclined to have a predetermined angle with the substrate so that the fluid is ejected through the nozzle to treat the substrate. This is to increase the processing efficiency of the substrate by allowing the fluid injected from the nozzle of the injector to be injected in a specific direction.

그러나 종래의 분사장치에 사용되는 노즐은 이송되는 기판과 인접한 위치에서 경사각을 작게 하는 경우, 기판이 노즐의 일단에 접촉될 수 있는 우려로 인하여 경사각을 충분히 작게 조절하기 어려운 문제점이 있다. 또한, 상기 분사장치에 사용되는 노즐에서 분사되는 유체가 특정한 방향으로만 분사되지 않고 원하지 않는 방향으로 분사됨으로서 기판의 처리 효율이 떨어지고, 기판에 분사되는 유체의 방향과 반대 측 부분으로 상기 유체의 일부가 분사되면서 와류 및 저압 등이 형성됨으로서 기판의 진동 또는 들림 현상이 발생하여 불량을 가지는 기판이 제조될 수 있는 문제점이 있다.However, the nozzle used in the conventional injector has a problem that it is difficult to adjust the inclination angle sufficiently small due to the fear that the substrate may contact one end of the nozzle when the inclination angle is reduced at a position adjacent to the substrate to be transferred. In addition, the fluid injected from the nozzle used in the injector is not sprayed only in a specific direction, but is injected in an undesired direction, thereby reducing the processing efficiency of the substrate, and part of the fluid on the side opposite to the direction of the fluid sprayed on the substrate. As the vortex and low pressure are formed while spraying, there is a problem that a substrate having a defect may be manufactured due to vibration or lifting of the substrate.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 이동하는 기판에 대하여 기판에 인접된 위치에서 분사장치에 사용되는 노즐의 각도를 충분히 기울여 설치하는 것이 가능함은 물론 노즐을 설치할 때 기구적인 구조의 한계를 가지는 경우, 기판에 대하여 노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않고도 일정한 방향으로 유체가 분사될 수 있도록 하는 유체분사노즐을 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to install the nozzle as well as the angle of the nozzle used in the injector at a position adjacent to the substrate with respect to the moving substrate. In the case of having a mechanical structure limitation in installation, it is to provide a fluid injection nozzle that allows the fluid to be injected in a constant direction without arranging the nozzle with a sufficient inclination with respect to the substrate.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 유체를 분사하여 기판을 처리하기 위한 유체분사노즐에 있어서, 제1 플레이트; 상기 제1 플레이트에 체결수단에 의하여 유체가 통과할 수 있는 관로가 제공되는 상태로 결합되는 제2 플레이트; 상기 제1, 2 플레이트는 유체가 분사되는 선단부의 길이가 서로 다르게 이루어지는 유체분사노즐을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, a fluid injection nozzle for treating a substrate by injecting a fluid, the first plate; A second plate coupled to the first plate in a state in which a conduit through which fluid can pass is provided by a fastening means; The first and second plates provide fluid injection nozzles having different lengths of the tip portion from which the fluid is injected.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 유체분사노즐을 기판에 대하여 경사지게 배치한다. 특히, 상기 유체분사노즐은 제1, 2 플레이트 중 선단부의 길이가 작은 쪽이 기판이 이동되는 방향 측에 위치되도록 배치한다. 그리고 상기 제1, 2 플레이트 사이에 제공되는 관로를 통하여 유체를 분사시키면 선단부의 길이가 짧은 쪽 부분에서는 관로의 마찰력이 최소화되어 유체의 분사 속도가 증가하게 되고, 선단부의 길이가 긴 쪽 부분에서는 관로와의 마찰력이 극대화되어 유체의 분사속도가 짧은 쪽에 비하여 줄어들게 되어 선단부의 긴쪽 방향으로 유체가 휘어지는 상태로 분사된다. 즉, 기판이 이동되는 방향과 반대 방향으로 유체의 분사가 이루어지면서 기판을 처리하게 된다.According to the present invention, the fluid spray nozzle is disposed to be inclined with respect to the substrate. In particular, the fluid injection nozzle is arranged so that the one of the first and second plates with the smaller length of the tip portion is located on the side of the direction in which the substrate is moved. When the fluid is injected through the pipes provided between the first and second plates, the frictional force of the pipe is minimized at the shorter portion of the tip portion, thereby increasing the injection speed of the fluid, and the pipe is disposed at the longer portion of the tip portion. The frictional force between and is maximized so that the injection speed of the fluid is reduced compared to the short side, so that the fluid is bent in the long direction of the tip. That is, the substrate is processed while the fluid is sprayed in the direction opposite to the direction in which the substrate is moved.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 부를 절개하여 도시한 단면도로, 유체분사장치를 통하여 유체를 분사할 수 있는 노즐(1)을 도시하고 있다. 상기 노즐(1)은 기판(G)의 일측면에 이동되는 방향(실선 화살표로 표시)과 경사각(θ)을 가지는 상태로 배치될 수 있다.1 is a perspective view for explaining an embodiment according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing the AA portion of Figure 1, showing a nozzle (1) capable of injecting a fluid through the fluid injection device. . The nozzle 1 may be disposed in a state having a direction (indicated by a solid arrow) and an inclination angle θ that is moved on one side of the substrate G.

상기 노즐(1)은 일정한 폭을 가지는 제1, 2 플레이트(3, 5)가 볼트 및 너트 등의 체결수단에 의하여 체결된다. 상기 제1, 2 플레이트(3, 5)가 결합되는 부분 사이에는 유체가 통과되어 분사될 수 있는 관로(7)가 제공된다. 그리고 상기 제2 플레이트(5)는 선단부가 제1 플레이트(3)의 선단부의 길이에 비하여 L로 표시된 만큼 짧게 이루어진다. 그리고 상기 노즐(1)은 제2 플레이트(5)가 기판(G)의 이동 방향 측에 배치되는 것이 바람직하다. 물론 도시는 생략하였으나, 기판의 방향이 바뀌는 경우에는 제1 플레이트(3)의 선단부 길이가 제2 플레이트(5)의 선단부 길이에 비하여 짧게 이루어질 수 있으며, 또한 기판(G)에 대하여 경사지는 방향도 반대로 될 수 있다.The nozzle 1 is fastened by fastening means such as bolts and nuts to the first and second plates 3 and 5 having a predetermined width. Between the portions to which the first and second plates 3 and 5 are coupled is provided a conduit 7 through which fluid can be injected and injected. The second plate 5 has a shorter end portion as short as indicated by L than the length of the front end portion of the first plate 3. In the nozzle 1, the second plate 5 is preferably disposed on the side of the substrate G in the moving direction. Of course, although not shown, when the direction of the substrate is changed, the length of the tip of the first plate 3 may be shorter than the length of the tip of the second plate 5, and the direction inclined with respect to the substrate G may also be inclined. Can be reversed.

상기 제1, 2 플레이트(3, 5) 사이에 제공되는 관로(9)는 상기 제1, 2 플레이트(3, 5)에 홈을 내서 구성할 수 도 있으며, 상기 제1, 2 플레이트(3, 5) 사이에 별도의 간격유지부재(도시생략) 등을 끼워 체결수단으로 결합하여 구성할 수 도 있다.The conduit 9 provided between the first and second plates 3 and 5 may be formed by grooves in the first and second plates 3 and 5, and the first and second plates 3 and 5. 5) It may be configured by inserting a separate spacing member (not shown), etc. between the coupling means.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 작용을 도 3을 통하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention made in this way in detail as follows.

우선 롤러(R) 등에 의하여 이송되는 기판(G)의 일측면에 노즐(1)을 경사각 (θ, 도 1에 표시하고 있음)을 가지는 상태로 배치하되 선단부의 길이가 짧은 제2 플레이트(5)가 기판(G)이 이송되는 방향(실선 화살표로 표시) 측에 위치하도록 배치한다. 이러한 상태에서 유체가 관로(9)를 통하여 분사되면 관로의 중간 부분의 유체 속도는 관로의 면과 인접되는 부분이 관로의 마찰력에 의하여 중앙부보다 느려지는 상태가 되고(A, 화살표의 길이는 유체의 속도를 표시함), 유체가 분사되는 관로의 선단에서 유체의 속도는 제2 플레이트(5)의 선단을 통과하는 순간 제1 플레이트(5)와의 마찰력의 해제로 급격한 속도의 증가가 이루어진다(B, 화살표의 길이 는 유체의 속도를 표시함).First, the second plate 5 having a short length at the tip end is arranged with the nozzle 1 on the one side of the substrate G, which is conveyed by the roller R, with an inclination angle θ (shown in FIG. 1). Is placed so as to be located on the side of the direction in which the substrate G is transferred (indicated by a solid arrow). In this state, when the fluid is injected through the conduit 9, the fluid velocity of the middle portion of the conduit becomes slower than the central portion due to the frictional force of the conduit (A, the length of the arrow The speed of the fluid at the tip of the pipeline through which the fluid is injected is increased rapidly by releasing the frictional force with the first plate 5 at the moment of passing through the tip of the second plate 5 (B, The length of the arrow indicates the velocity of the fluid).

따라서, 제1, 2 플레이트(3, 5)의 선단부를 통과한 유체는 선단부의 길이가 더 긴 제1 플레이트(3) 측 방향으로 휘어지면서 분사가 이루어진다. 그리고 노즐(1) 자체가 기판(G)이 이동되는 방향과 기울어진 상태로 배치되므로 분사되는 유체는 기판(G)이 이동되는 방향과 반대 방향으로 분사가 이루어진다. 따라서 제2 플레이트(5)의 하부 부분 측 또는 기판(G)이 이동되는 부분으로 유체가 분사되는 것을 방지할 수 있는 것이다. 따라서 제1 플레이트(5)가 위치한 부분의 기판에서는 와류 및 부압 생성이 억제되어 기판(G)의 떨림 등을 방지할 수 있고 안정적으로 기판(G)이 이동된다.Accordingly, the fluid passing through the tip of the first and second plates 3 and 5 is bent while being bent toward the side of the first plate 3 with the longer length of the tip. In addition, since the nozzle 1 itself is disposed in an inclined state with the direction in which the substrate G is moved, the injected fluid is sprayed in a direction opposite to the direction in which the substrate G is moved. Therefore, the fluid can be prevented from being injected to the lower portion side of the second plate 5 or to the portion where the substrate G is moved. Therefore, in the substrate in the portion where the first plate 5 is located, the generation of vortex and negative pressure is suppressed to prevent shaking of the substrate G and the like, and the substrate G is stably moved.

이와 같이 유체가 기판(G)이 이송되는 반대 방향 부분으로만 분사되어 기판(G)의 처리 효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 것이다.In this way, the fluid is injected only in the opposite direction to which the substrate G is conveyed, thereby significantly improving the processing efficiency of the substrate G.

또한, 기판(G)에 인접한 위치에 상기 노즐(1)이 경사진 상태로 배치되어도 기판(G)과 제2 플레이트(5)의 선단부의 거리를 최대한 유지할 수 있어 롤러(R) 등에 의하여 미세한 흔들림 등이 발생한다 하더라고 기판(G)이 노즐(1)과 접촉될 수 있는 여지를 줄임으로서 기판(G)의 불량을 방지할 수 있는 것이다.In addition, even when the nozzle 1 is disposed in an inclined position adjacent to the substrate G, the distance between the distal end of the substrate G and the second plate 5 can be maintained to the maximum, so that minute shaking is caused by the roller R or the like. Even if such occurrence occurs, the defect of the substrate G can be prevented by reducing the possibility that the substrate G can come into contact with the nozzle 1.

이와 같이 본 발명은 선단부의 길이가 다른 유체분사노즐을 제공하여 유체가 일방향으로 휘어지는 상태로 분사될 수 있어 유체분사노즐을 충분히 기울인 상태로 배치하지 않아도 기판의 처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As such, the present invention provides fluid spray nozzles with different tip lengths so that the fluid can be sprayed in one direction, thereby improving processing efficiency of the substrate even when the fluid spray nozzles are not inclined sufficiently. .

또한, 본 발명은 선단부의 길이가 작은 쪽이 이동되는 기판에 인접한 위치에 서 경사지게 배치되는 경우, 유체분사노즐을 기판에 근접하게 위치시킨 상태에서도 기판과의 간격이 유지되므로 기판의 미세한 요동 등으로 인하여 발생할 수 있는 불량을 방지할 수 있는 효과를 가진다.In addition, in the present invention, when the length of the distal end portion is disposed inclined at a position adjacent to the substrate to be moved, the gap with the substrate is maintained even in a state where the fluid spray nozzle is placed close to the substrate. Due to this has the effect of preventing a defect that can occur.

또한, 본 발명은 기판의 이동 방향과 반대측으로 유체분사노즐에서 분사되는 유체가 이동되고, 그 반대측인 기판이 이동되는 방향 측으로는 유체가 전달되는 것을 방지할 수 있어 유체의 분사 압력 등으로 발생할 수 있는 와류 또는 부압의 발생을 억제하여 기판의 떨림 등이 방지되어 기판 처리 효율을 향상시키면서도 기판의 수율을 높일 수 있는 효과를 가진다.In addition, the present invention can prevent the fluid from being transferred to the side of the direction in which the fluid injected from the fluid injection nozzle is moved to the side opposite to the moving direction of the substrate, the opposite side of the substrate can be generated by the injection pressure of the fluid, etc. By suppressing the generation of eddy currents or negative pressure, the shaking of the substrate is prevented, and the yield of the substrate can be increased while improving the substrate processing efficiency.

Claims

In the fluid injection nozzle for processing a substrate by injecting a fluid,

A first plate;

A second plate coupled to the first plate in a state in which a conduit through which fluid can pass is provided by a fastening means;

The first and second plates may have different lengths of the tip portion from which the fluid is injected, and a portion of the first and second plates having a shorter tip portion is disposed on the side of the substrate in the moving direction.

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