KR100828665B1 - Nozzle for jetting fluid - Google Patents

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김은수
이돈형
이상욱
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주식회사 디엠에스
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Abstract

A fluid injecting nozzle is provided to prevent the unnecessary discharge of a liquid upon blocking of a valve by forming the width of a fluid channel in a nozzle body in a small size to increase adhesive power between a fluid and an inner surface of the fluid channel. A nozzle body(12) is comprised of a first plate(16) arranged adjacent to a substrate and a second plate(14) arranged over the first plate and coupled thereto. An end of the first plate is protruded toward the substrate more than that of the second plate. The nozzle body has a discharge hole for discharging a fluid to the substrate. A fluid channel is formed in the nozzle body to guide the fluid toward the discharge hole. The discharge hole is configured to have a discharge area greater than a cross section of the fluid channel, thereby reducing speed of the fluid flowing in the fluid channel. A chamber having a certain volume is formed on the fluid channel to temporally store the fluid flowing on the fluid channel and then allow it to flow along the fluid channel.

Description

유체 분사노즐{NOZZLE FOR JETTING FLUID}Fluid Injection Nozzles {NOZZLE FOR JETTING FLUID}

도 1은 종래 기술에 따른 유체 분사노즐의 구조를 개략적으로 도시한 측면도이다.1 is a side view schematically showing the structure of a fluid injection nozzle according to the prior art.

도 2는 도1 의 정면도이다.2 is a front view of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 분사노즐을 개략적으로 도시한 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing a fluid injection nozzle according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 정면도이다.4 is a front view of FIG. 3.

도 5는 도 3에 도시된 유체 분사노즐의 측면도이다.5 is a side view of the fluid injection nozzle shown in FIG. 3.

도 6은 도 5의 토출구에 대한 부분 확대도이다.FIG. 6 is a partially enlarged view of the discharge port of FIG. 5.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*   * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10: 노즐(Nozzle) 12: 노즐몸체    10: nozzle 12: nozzle body

14: 제 2플레이트(First plate) 16: 제 1플레이트(second plate)    14: First plate 16: second plate

20: 유로 22: 챔버(Chamber)    20: Euro 22: Chamber

본 발명은 유체 분사노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 구조를 개선하 여 약액을 균일하게 분사할 수 있는 유체 분사노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid ejection nozzle, and more particularly to a fluid ejection nozzle capable of uniformly ejecting a chemical liquid by improving its structure.

일반적으로 유체 분사노즐은 기판의 표면에 약액 등의 유체를 분사할 수 있는 장치이다. 이러한 유체 분사노즐은 그 용도에 따라 다양한 분야에 적용될 수 있다. In general, the fluid injection nozzle is a device capable of injecting a fluid, such as a chemical liquid to the surface of the substrate. Such a fluid injection nozzle can be applied to various fields depending on its use.

즉, 기판상에 약액을 도포하여 코팅층을 형성하는 코팅장치, 약액에 의하여 기판을 현상하는 장치, 혹은 세정액을 분사하여 기판상의 이물질을 제거하는 세정장치 등에 적용될 수 있다.That is, the present invention may be applied to a coating apparatus for coating a chemical solution on a substrate to form a coating layer, a device for developing a substrate with the chemical liquid, or a cleaning apparatus for removing foreign matter on the substrate by spraying the cleaning liquid.

도1 과 도2 는 이러한 유체분사노즐이 현상장치에 적용된 경우를 예를 들어 도시하는 도면이다. 도시한 바와 같이, 유체 분사노즐(1)의 노즐몸체(2)는 기판(G)의 상부에 배치된다. 그리고, 이 노즐몸체(2)에는 약액(W)을 공급하는 약액 공급관(6)이 연결된다. 따라서, 약액 공급관(6)을 통하여 공급된 약액(W)는 노즐몸체(2)의 토출구(N)를 통하여 기판(G)상에 분사된다.1 and 2 are views showing, for example, the case where such a fluid spray nozzle is applied to a developing apparatus. As shown, the nozzle body 2 of the fluid injection nozzle 1 is disposed above the substrate G. As shown in FIG. Then, the chemical liquid supply pipe 6 for supplying the chemical liquid W is connected to the nozzle body 2. Therefore, the chemical liquid W supplied through the chemical liquid supply pipe 6 is injected onto the substrate G through the discharge port N of the nozzle body 2.

이때, 노즐몸체(2)는 제1 및 제2 플레이트(3,4)로 이루어지며, 제1 및 제2 플레이트(3,4)는 서로 일정 간격 떨어져 배치됨으로써 그 사이에 유로를 형성한다. 그리고, 이 유로의 단부에 토출구(N)가 형성됨으로써 약액(W)을 외부로 분사할 수 있다. At this time, the nozzle body (2) is composed of the first and second plates (3,4), the first and second plates (3, 4) are spaced apart from each other by a predetermined distance to form a flow path therebetween. And the discharge liquid N is formed in the edge part of this flow path, and the chemical liquid W can be sprayed to the exterior.

그러나, 이러한 종래 기술에 따른 유체 분사노즐은 약액이 노즐을 통하여 분사되는 경우, 약액이 직선 궤적을 따라 고속으로 분사되어 기판에 접촉하게 된다. 이때, 고속의 약액은 기판상에 점접촉하게 되므로 기판상에는 약액에 의하여 형성되는 토출면이 일정하지 못하고 물결무늬 형상을 이루어 공정상 에러를 발생시킬 수 있는 문제점이 있다.However, in the fluid injection nozzle according to the related art, when the chemical liquid is injected through the nozzle, the chemical liquid is injected at a high speed along a straight trajectory to contact the substrate. At this time, since the high-speed chemical liquid is in point contact on the substrate, the discharge surface formed by the chemical liquid is not constant on the substrate, there is a problem that can cause a process error by forming a wavy pattern.

그리고, 이와 같은 문제점을 극복하기 위하여, 토출구의 단면적을 늘림으로써 감속하는 경우, 토출구의 내부 표면과 약액사이의 부착력이 약해짐으로써 상대적으로 약액을 구성하는 분자간의 인력이 더 커져서 약액끼리 서로 뭉치게 되어 균일하지 못한 상태로 분사되는 문제점이 있다.And, in order to overcome such a problem, when decelerating by increasing the cross-sectional area of the discharge port, the adhesion between the inner surface of the discharge port and the chemical liquid is weakened, so that the attraction force between molecules constituting the chemical liquid becomes relatively large so that the chemical liquids stick together. There is a problem that is sprayed in a non-uniform state.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 노즐 구조를 개선하여 약액이 기판상에 균일하게 토출될 수 있도록 하는 유체 분사노즐을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a fluid ejection nozzle which allows the chemical liquid to be uniformly discharged onto a substrate by improving the nozzle structure.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예는 한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판을 향해 유체가 토출되는 토출구를 가진 노즐 몸체와, 상기 노즐 몸체 내부에 형성되어 상기 토출구로 유체를 안내하는 유로를 포함하여 이루어지되, 상기 토출구는 상기 유로의 단면적 보다 확장된 토출면적을 가지도록 형성되어 유로를 통해 유동되는 유속을 저감시켜 토출되도록 하는 유체 분사노즐을 제공한다.In order to realize the object of the present invention as described above, a preferred embodiment of the present invention consists of a pair of plates, the nozzle body having a discharge port for discharging the fluid toward the substrate, and formed inside the nozzle body It includes a flow path for guiding the fluid to the discharge port, the discharge port is provided to have a discharge area that is larger than the cross-sectional area of the flow path to provide a fluid injection nozzle to reduce the flow rate flowing through the flow path to be discharged.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 분사노즐의 구조를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the structure of the fluid injection nozzle according to the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings in detail as follows.

이때, 상기 유체분사노즐은 현상장치, 코팅장치, 혹은 세정장치 등에 적용될 수 있지만, 이하, 현상장치에 적용되는 경우에 의하여 설명한다.In this case, the fluid spray nozzle may be applied to a developing apparatus, a coating apparatus, or a cleaning apparatus, but will be described below when applied to a developing apparatus.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 분사노즐을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 정면도이다.3 is a perspective view schematically illustrating a fluid injection nozzle according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a front view of FIG. 3.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유체 분사노즐(10)은 롤러(Roller;R)에 의하여 이송되는 기판(G)의 상면에 배치될 수 있다.As shown, the fluid injection nozzle 10 according to the present invention may be disposed on the upper surface of the substrate (G) transported by a roller (R) (R).

상기 유체 분사노즐(10)에는 기판(G)상에 유체(W;이하, 약액)를 토출하기 위한 토출구(N)가 형성되고, 상기 노즐(10)에 약액(W)을 공급하는 유체 공급관(18;이하, 약액 공급관)을 포함하여 이루어진다.The fluid injection nozzle 10 is formed with a discharge port N for discharging the fluid W (hereinafter, chemical liquid) on the substrate (G), the fluid supply pipe for supplying the chemical liquid (W) to the nozzle 10 ( 18; hereafter, a chemical supply pipe).

이러한 유체분사노즐(10)은 상기 기판(G)에 대하여 일정 각도로 경사지도록 배치된다. 따라서, 유체분사노즐(10)로부터 토출되는 약액(W)은 기판(G)의 진행방향과 역방향으로 토출된다.The fluid spray nozzle 10 is disposed to be inclined at a predetermined angle with respect to the substrate G. Therefore, the chemical liquid W discharged from the fluid injection nozzle 10 is discharged in the opposite direction to the traveling direction of the substrate G.

본 발명의 실시예에 따른 유체분사노즐(10)은 도4 내지 도6 에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 플레이트(14,16)로 이루어지고 기판(G)을 향해 약액(W)이 토출되는 토출구(N)를 가진 노즐 몸체(12)와. 상기 노즐 몸체(12)의 내부에 형성되어 상기 토출구(N)로 유체의 흐름을 안내하는 유로(20)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 4 to 6, the fluid spray nozzle 10 according to the embodiment of the present invention is composed of a pair of plates 14 and 16 and the chemical liquid W is discharged toward the substrate G. A nozzle body 12 having a discharge port N; It is formed in the nozzle body 12 comprises a flow path 20 for guiding the flow of the fluid to the discharge port (N).

상기 노즐 몸체(12)를 이루는 상기 한 쌍의 플레이트(14,16)는 기판(G)에 근접하게 배치되는 제1 플레이트(16)와, 상기 제1 플레이트(16)와 대응되도록 배치되어 별도의 체결부재(미도시)에 의해 상기 제1 플레이트(16)와 체결되는 제2 플레이트(14)로 이루어지고, 장방형으로 길게 형성된 구조이다.The pair of plates 14 and 16 constituting the nozzle body 12 may be arranged to correspond to the first plate 16 and the first plate 16, which are disposed in close proximity to the substrate G, and thus separate. It consists of a second plate 14 which is fastened to the first plate 16 by a fastening member (not shown), and has a rectangular shape.

이때, 상기 제1 플레이트(16)와 제2 플레이트(14)는 서로 일정 간격 이격되도록 설치되고 그 사이에 유로(20)가 형성된다. At this time, the first plate 16 and the second plate 14 are installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance therebetween, the flow path 20 is formed therebetween.

상기 유로(20)는 언급한 바와 같이 제1 및 제2 플레이트(16,14)와 같은 2 개의 플레이트를 각각 구비하여 체결부재에 의해 서로 결합시켜 형성할 수도 있고, 하나의 플레이트의 내부를 가공하여 형성할 수도 있다.As mentioned above, the flow path 20 may include two plates, such as the first and second plates 16 and 14, respectively, and may be formed by being coupled to each other by a fastening member, or by processing the inside of one plate. It may be formed.

그리고, 상기 다수의 약액 공급관(18)은 상기 노즐 몸체(12)와 각각 연통되도록 설치되며, 각 약액 공급관(18)은 장방형인 노즐 몸체(12)에 일정 간격 이격된 상태로 설치되는 것이 바람직하다. 이는 유로(20) 상에 균일한 약액을 제공할 수 있도록 하기 위함이다.In addition, the plurality of chemical liquid supply pipes 18 are installed to communicate with the nozzle body 12, respectively, and each of the chemical liquid supply pipes 18 is preferably installed to be spaced apart at regular intervals on the rectangular nozzle body 12. . This is to provide a uniform chemical liquid on the flow path 20.

이때, 상기 유로(20)의 폭(t)은 일정 범위, 예를 들면, 0.1 내지 1.9mm 범위로 형성된다. 즉, 기존의 유로폭인 2.0mm에 비하여 좁게 형성된다.At this time, the width t of the flow path 20 is formed in a predetermined range, for example, 0.1 to 1.9mm range. That is, it is formed narrower than the existing flow path width of 2.0mm.

이와 같이, 유로(20)의 폭(t)을 좁게 형성하는 경우, 단위면적당 유량이 감소하게 되므로 유로(20) 내부의 표면과 약액(W) 사이의 부착력이 증가하게 된다.As such, when the width t of the flow path 20 is narrowly formed, the flow rate per unit area decreases, and thus the adhesion between the surface of the flow path 20 and the chemical liquid W increases.

즉, 약액(W)과 유로(20) 내면사이에 작용하는 부착력이 약액간에 작용하는 인력을 극복하게 된다. That is, the adhesive force acting between the chemical liquid W and the inner surface of the flow path 20 overcomes the attraction force acting between the chemical liquids.

따라서, 유로(20)를 흐르는 약액(W)은 서로 뭉치려는 경향보다 편평한 형상을 갖는 유로(20)의 내면을 따라 흐르는 경향이 우세하게 됨으로써, 약액(W)이 편평한 유로(20)의 내면을 따라 균일한 상태로 토출될 수 있다.Therefore, the chemical liquids W flowing through the flow channel 20 have a tendency to flow along the inner surface of the flow channel 20 having a flat shape rather than a tendency to agglomerate with each other, so that the chemical liquids W form an inner surface of the flat flow channel 20. Can be discharged in a uniform state.

그리고, 상기 유로(20)에 약액(W)을 공급하는 약액 공급관(18)은 온(On)/오프(Off) 기능에 의하여 유체를 효율적으로 분사시킬 수 있다.In addition, the chemical liquid supply pipe 18 supplying the chemical liquid W to the flow path 20 may efficiently inject the fluid by an on / off function.

즉, 노즐(12)의 유로(20)에 공급되는 약액(W)을 차단하면, 약액의 추가적인 공급이 없음으로 약액(W)은 중력에 의하여 흘러내리려는 힘보다 유로(20)의 내면에 부착되는 부착력이 더 크게 된다.That is, when the chemical liquid (W) supplied to the flow path 20 of the nozzle 12 is blocked, there is no additional supply of the chemical liquid, and thus the chemical liquid W adheres to the inner surface of the flow path 20 rather than the force to flow by gravity. The attachment force is greater.

따라서, 유로(20)의 내부에 잔존하는 약액(W)은 상기한 부착력에 의하여 흘러내리지 않게 됨으로써 일정 지점에서 멈추게 된다.Therefore, the chemical liquid W remaining inside the flow path 20 does not flow down due to the above-mentioned adhesion force, thereby stopping at a certain point.

이러한 노즐(12)의 온/오프 기능에 의하여 약액의 불필요한 토출을 방지할 수 있음으로, 약액의 약 50%를 절감할 수 있다.By the on / off function of the nozzle 12 it is possible to prevent unnecessary discharge of the chemical liquid, it is possible to save about 50% of the chemical liquid.

한편, 상기 유로(20)에는 챔버(Chamber;C)가 형성됨으로써 약액(W)을 보다 균일하게 분사될 수 있도록 유도한다. 즉, 상기 챔버(C)는 제1 플레이트(16)의 표면에 일정 깊이로 형성되는 반원단면을 갖는 홈이다. 이러한 챔버(C)는 제1 플레이트(16)의 표면에 가로방향으로 형성된다. Meanwhile, a chamber C is formed in the flow path 20 to guide the chemical liquid W more uniformly. That is, the chamber C is a groove having a semi-circular cross section formed at a predetermined depth on the surface of the first plate 16. This chamber C is formed in the transverse direction on the surface of the first plate 16.

따라서, 상기 유로(20)를 통하여 흘러내리는 약액(W)이 이 챔버(C)에 저장되며, 챔버(C) 내부에서 약액(W)이 서로 혼합된다. 그리고, 챔버(C)내부에 약액(W)이 일정량이 저장되면 넘침으로써 약액(W)이 다시 유로(20)를 따라 흘러 내리게 된다.Therefore, the chemical liquid W flowing down through the flow path 20 is stored in the chamber C, and the chemical liquids W are mixed with each other in the chamber C. Then, when a certain amount of the chemical liquid W is stored in the chamber C, the chemical liquid W flows down along the flow path 20 again.

이와 같이, 약액(W)이 챔버(C)를 통과하는 과정에서, 유로(20)의 상부구역, 즉 챔버(C)의 상부 구역을 통과할 때 약액(W)이 유로(20)의 내면에 접촉함으로써 약액(W)의 유동성이 증가하여 불균일 상태로 흘러내릴 수 있다.As such, in the process of passing the chemical liquid W through the chamber C, the chemical liquid W passes through the upper region of the flow passage 20, that is, the upper region of the chamber C. By contacting, the fluidity of the chemical liquid W increases, and it can flow down into a nonuniform state.

따라서, 상기 챔버(C)를 구비하여, 흘러내리는 약액(W)을 챔버(C)에서 일시적으로 서로 혼합시킨 후, 다시 유로(20)의 하부구역을 통하여 흘러내림으로써 약액(W)이 서로 혼합되어 보다 균일한 상태로 분사될 수 있다.Therefore, with the chamber C, the chemical liquids W flowing down are temporarily mixed with each other in the chamber C, and then the chemical liquids W are mixed with each other by flowing through the lower region of the flow path 20 again. Can be injected in a more uniform state.

상기에서는 챔버(C)의 단면형상을 반원형상으로 설명하였지만, 본 발명은 이러한 형상을 제한하지 않고, 삼각형상, 사각형상 등과 같이 약액(W)이 저장될 수 있는 형상이면 모두 포함할 수 있다.In the above, the cross-sectional shape of the chamber C has been described as a semi-circular shape, but the present invention does not limit such a shape, and may include any of the shapes in which the chemical liquid W may be stored, such as a triangular shape and a square shape.

한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 도6 에 도시된 바와 같이 토출구(N)는 제1 및 제2 플레이트(16,14)의 단부(25,22)에 의하여 형성된다. 이러한 토출구(N)는 상기 유로(20)의 폭(t) 보다 큰 폭(t1)을 갖는다.Meanwhile, according to the exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6, the discharge port N is formed by the ends 25 and 22 of the first and second plates 16 and 14. The discharge port N has a width t1 larger than the width t of the flow path 20.

따라서, 토출구(N)의 토출면적은 유로(20)의 단면적 보다 확장된 토출면적을 가지도록 형성되어 유로(20)를 통해 유동되는 유속을 저감시켜 토출시킨다.Therefore, the discharge area of the discharge port N is formed to have a discharge area that is larger than the cross-sectional area of the flow path 20 to reduce and discharge the flow rate flowing through the flow path 20.

그리고, 본 발명의 실시예는 상기 제1플레이트(16)의 단부(25)가 제2 플레이트(14)의 단부(22) 보다 기판(G)을 향해 더 돌출 형성된 것을 제시하며, 상기 제1플레이트(16)의 토출구(N) 측 단부(25)에는 곡면(24)이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, an embodiment of the present invention suggests that the end portion 25 of the first plate 16 protrudes more toward the substrate G than the end portion 22 of the second plate 14, and the first plate It is preferable that the curved surface 24 is formed in the discharge port N side edge part 25 of (16).

더욱 구체적으로 상기 제2플레이트(14) 보다 제1플레이트(16)의 단부(25)를 더 돌출 형성한 것은 제1 및 제2 플레이트(16,14)의 단부(25,22)들이 서로 일정한 높이차이(t2)를 갖도록 하여 기판(G)과 근접하게 설치된 제1플레이트(16) 측으로 약액(W)이 토출될 수 있도록 하기 위함이다.More specifically, the end portions 25 and 22 of the first and second plates 16 and 14 protrude more than the second plate 14 so that the ends 25 and 22 of the first and second plates 16 and 14 have a constant height. This is to allow the chemical liquid W to be discharged toward the first plate 16 provided close to the substrate G by having a difference t2.

상기 제1플레이트(16)의 단부(25)에 곡면(24)을 형성함에 따라 상기 토출되는 약액이 곡면(24)을 따라 토출되어 결국, 제1플레이트(16)의 저면과 기판(G)의 상면 사이로 토출된다.As the curved surface 24 is formed at the end 25 of the first plate 16, the discharged chemical liquid is discharged along the curved surface 24, so that the bottom surface of the first plate 16 and the substrate G are separated. Discharged between the upper surfaces.

이때, 상기 제1 플레이트(16)의 저면이 기판(G)상에 토출된 약액의 상층에 접촉할 수 있다.At this time, the bottom surface of the first plate 16 may contact the upper layer of the chemical liquid discharged on the substrate (G).

따라서, 다량의 약액(W)이 저속 상태로 제1플레이트(16)의 저면 측으로 토출됨으로써, 기판(G)의 표면에 선접촉 하거나, 제1 플레이트(16)의 저면이 약액의 상 층에 접촉하게 되어 기판(G)상에 보다 균일한 상태로 토출될 수 있다.Therefore, a large amount of the chemical liquid W is discharged to the bottom surface side of the first plate 16 in a low speed state, so that it is in linear contact with the surface of the substrate G, or the bottom surface of the first plate 16 is in contact with the upper layer of the chemical liquid. As a result, the substrate G may be discharged in a more uniform state.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체분사노즐의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the operation of the fluid spray nozzle according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 약액 공급관(18)을 통하여 공급된 약액(W)은 노즐 몸체(12)의 유로(20)로 공급된다. 이때, 상기 유로(20)의 폭(t)을 좁게 형성함으로써 단위면적당 유량이 감소하게 되어 유로(20) 내부의 표면과 약액(W) 사이의 부착력이 증가하게 된다.3 to 6, the chemical liquid W supplied through the chemical liquid supply pipe 18 is supplied to the flow path 20 of the nozzle body 12. At this time, by forming a narrow width t of the flow path 20, the flow rate per unit area is reduced, and the adhesion between the surface of the flow path 20 and the chemical liquid W is increased.

따라서, 유로(20)를 흐르는 약액(W)은 서로 뭉치려는 경향보다 편평한 형상을 갖는 유로(20)의 내면을 따라 흐르는 경향이 우세하게 됨으로써, 약액(W)이 편평한 유로(20)의 내면을 따라 균일한 상태로 토출될 수 있다.Therefore, the chemical liquids W flowing through the flow channel 20 have a tendency to flow along the inner surface of the flow channel 20 having a flat shape rather than a tendency to agglomerate with each other, so that the chemical liquids W form an inner surface of the flat flow channel 20. Can be discharged in a uniform state.

그리고, 상기 유로(20)를 통하여 흘러내리는 약액(W)은 챔버(C)를 거치면서 균일하게 혼합될 수 있다.In addition, the chemical liquid W flowing down through the flow path 20 may be uniformly mixed while passing through the chamber C.

즉, 유로(20)의 상부구역을 통과할 때 약액(W)의 유동성 증가로 인하여 불균일 상태로 흘러내릴 수 있는 약액(W)을 챔버(C)에서 일시적으로 서로 혼합시킨 후, 다시 유로(20)의 하부구역을 통하여 흘러내림으로써 약액(W)이 서로 혼합되어 보다 균일한 상태로 분사될 수 있다.That is, when passing through the upper region of the flow path 20, the chemical liquids (W) that can flow down into a non-uniform state due to the increased fluidity of the chemical liquid (W) temporarily mixed with each other in the chamber (C), and then flow path 20 again By flowing through the lower section of the) the chemical liquids (W) can be mixed with each other and sprayed in a more uniform state.

이와 같이, 약액(W)은 유로(20)의 내부를 균일한 상태로 흘러내려 토출구(N)를 통하여 토출될 수 있다.As such, the chemical liquid W may flow down the inside of the flow path 20 in a uniform state and be discharged through the discharge port N. FIG.

그리고, 상기 약액 공급관(18)은 온(On)/오프(Off) 기능에 의하여 유체를 효율적으로 분사시킬 수 있다.In addition, the chemical liquid supply pipe 18 may efficiently inject a fluid by an on / off function.

즉, 노즐(12)의 유로(20)에 공급되는 약액(W)을 차단하면, 약액(W)의 추가적인 공급이 없음으로 약액(W)은 중력에 의하여 흘러내리려는 힘보다 유로(20)의 내면에 부착되는 부착력이 더 크게 된다.That is, if the chemical liquid (W) supplied to the flow path 20 of the nozzle 12 is blocked, there is no additional supply of the chemical liquid (W), so that the chemical liquid (W) of the flow path (20) is less than the force to flow by gravity The attachment force attached to the inner surface becomes larger.

따라서, 유로(20)의 내부에 잔존하는 약액(W)은 상기한 부착력에 의하여 흘러내리지 않게 됨으로써 일정 지점에서 멈추게 된다.Therefore, the chemical liquid W remaining inside the flow path 20 does not flow down due to the above-mentioned adhesion force, thereby stopping at a certain point.

이러한 노즐(12)의 온/오프 기능에 의하여 약액(W)의 불필요한 토출을 방지할 수 있음으로, 약액(W)의 약 50%를 절감할 수 있다.By the on / off function of the nozzle 12 it is possible to prevent unnecessary discharge of the chemical liquid (W), it is possible to save about 50% of the chemical liquid (W).

이와 같이, 유로(20)를 통과한 약액(W)은 토출구(N)를 통하여 기판(G)상에 토출될 수 있다. 이때, 상기 토출구(N)는 상기 유로(20)의 폭(t) 보다 큰 폭(t1)을 갖는다. 따라서, 토출구(N)의 토출면적은 유로(20)의 단면적 보다 확장된 토출면적을 가지도록 형성되어 유로(20)를 통해 유동되는 유속을 저감시켜 토출시킨다.As such, the chemical liquid W that has passed through the flow path 20 may be discharged onto the substrate G through the discharge port N. FIG. In this case, the discharge port N has a width t1 greater than the width t of the flow path 20. Therefore, the discharge area of the discharge port N is formed to have a discharge area that is larger than the cross-sectional area of the flow path 20 to reduce and discharge the flow rate flowing through the flow path 20.

그리고, 상기 제1플레이트(16)의 단부(25)가 제2 플레이트(14)의 단부(22) 보다 기판(G)을 향해 더 돌출 형성되며, 상기 제1플레이트(16)의 토출구(N) 측 단부(25)에는 곡면(24)이 형성된다.In addition, an end portion 25 of the first plate 16 protrudes more toward the substrate G than the end portion 22 of the second plate 14, and the discharge hole N of the first plate 16 is formed. The side end 25 is formed with a curved surface 24.

따라서, 토출구(N)를 통하여 토출되는 약액(W)은 제1플레이트(16) 측으로 토출된다.Therefore, the chemical liquid W discharged through the discharge port N is discharged to the first plate 16 side.

이때, 토출되는 약액(W)이 상기 제1플레이트(16)의 단부(25)에 형성된 곡면(24)을 따라 토출되어 결국, 제1플레이트(16)의 저면과 기판(G)의 상면 사이로 토출된다.At this time, the discharged chemical liquid W is discharged along the curved surface 24 formed on the end portion 25 of the first plate 16 and eventually discharged between the bottom surface of the first plate 16 and the top surface of the substrate G. do.

이때, 상기 제1 플레이트(16)의 저면이 기판(G)상에 토출된 약액의 상층에 접촉할 수 있다.At this time, the bottom surface of the first plate 16 may contact the upper layer of the chemical liquid discharged on the substrate (G).

따라서, 다량의 약액(W)이 저속 상태로 제1플레이트(16)의 저면 측으로 토출됨으로써, 기판(G)의 표면에 선접촉 하거나, 제1 플레이트(16)의 저면이 약액의 상층에 접촉하게 되어 기판(G)상에 보다 균일한 상태로 토출될 수 있다.Therefore, a large amount of the chemical liquid W is discharged to the bottom surface side of the first plate 16 in a low speed state, so that the surface of the substrate G is in linear contact or the bottom surface of the first plate 16 is in contact with the upper layer of the chemical liquid. As a result, the substrate G may be discharged in a more uniform state.

상기한 바와 같은 과정을 통하여 약액(W)이 기판상에 균일한 상태로 토출될 수 있다.Through the above process, the chemical liquid W may be discharged on the substrate in a uniform state.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 유체 분사노즐은 다음과 같은 효과를 가진다.Thus, the fluid injection nozzle according to the embodiment of the present invention has the following effects.

첫째, 노즐의 내부에 형성되는 유로의 폭을 작게 형성하여 유체와 유로 내면사이의 부착력을 증가시킴으로써, 밸브 차단시, 잔존하는 유체의 흐름을 정지시켜서 불필요한 유체의 토출을 방지하여 유체를 절감할 수 있는 효과를 가진다.First, by reducing the width of the flow path formed inside the nozzle to increase the adhesion between the fluid and the inner surface of the nozzle, when the valve is shut off, the flow of the remaining fluid is stopped by stopping the flow of the remaining fluid to prevent unnecessary fluid discharge can save the fluid Has the effect.

둘째, 유로의 단면적 보다 토출구의 토출면적을 확장시킨 것에 의해 다량의 유체를 저속으로 토출시킬 수 있는 효과를 가진다. Secondly, by expanding the discharge area of the discharge port rather than the cross-sectional area of the flow path, a large amount of fluid can be discharged at a low speed.

셋째, 토출구 측에 곡면을 형성하여 유체가 이 곡면을 따라 토출되도록 함으로써, 다량의 유체를 저속으로 기판상에 토출시킬 수 있는 효과를 가진다.Third, by forming a curved surface on the discharge port side so that the fluid is discharged along this curved surface, it is possible to discharge a large amount of fluid on the substrate at a low speed.

넷째, 유로 상에 챔버를 형성하여 유체를 일시 저장한 후, 다시 유동되도록 한 것에 의해 유로 상에서 유체를 균일하게 유동시킬 수 있는 효과를 가진다.Fourth, the chamber is formed on the flow path to temporarily store the fluid and then flow again to have the effect of uniformly flowing the fluid on the flow path.

Claims (6)

한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판을 향해 유체가 토출되는 토출구를 가진 노즐 몸체와, 상기 노즐 몸체 내부에 형성되어 상기 토출구로 유체를 안내하는 유로를 포함하여 이루어지되, It consists of a pair of plates, including a nozzle body having a discharge port for discharging the fluid toward the substrate, and a flow path formed in the nozzle body to guide the fluid to the discharge port, 상기 토출구는 상기 유로의 단면적 보다 확장된 토출면적을 가지도록 형성되어 유로를 통해 유동되는 유속을 저감시켜 토출되도록 하는 유체 분사노즐.The discharge port is formed to have a discharge area that is larger than the cross-sectional area of the flow path fluid injection nozzle to reduce the flow rate flowing through the flow path to be discharged. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 노즐 몸체는 The nozzle body is 기판에 근접하게 배치된 제1 플레이트와,A first plate disposed in proximity to the substrate, 상기 제1 플레이트의 상측에 배치되어 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트를 포함하여 이루어지며, 상기 제1 플레이트의 단부가 제2 플레이트의 단부 보다 기판을 향해 더 돌출 형성된 유체 분사노즐.And a second plate disposed above the first plate and coupled to the first plate, wherein an end of the first plate protrudes more toward the substrate than an end of the second plate. 제2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제1 플레이트의 토출구 측 단부에 곡면이 형성된 유체 분사 노즐.And a curved surface formed at the discharge port side end of the first plate. 제1 항에 있어서, 상기 유로는 유체의 흐름을 차단하는 경우, 유체와 유로내면 사이의 부착력에 의하여 유체를 정지시킬 수 있는 정도의 폭을 가지도록 형성된 유체 분사노즐.The fluid injection nozzle of claim 1, wherein the flow path has a width enough to stop the fluid by an attachment force between the fluid and the inner surface of the flow path when the flow is blocked. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 유로 상에는 일정 용적을 가지도록 형성되어 상기 유로를 흐르는 유체가 일시적으로 저장된 후 다시 흐를 수 있도록 하는 챔버를 더 포함하는 유체 분사노즐.And a chamber formed on the flow path to have a predetermined volume so that the fluid flowing through the flow path is temporarily stored and then flows again. 제3 항에 있어서, 상기 토출구를 통하여 분사된 유체가 곡면을 따라 토출되어 상기 기판상에 선접촉하고, 상기 제1 플레이트의 저면이 상기 기판상의 유체에 접촉함으로써 유체가 기판상에 균일하게 도포되는 유체분사노즐.4. The fluid of claim 3, wherein the fluid injected through the discharge port is discharged along a curved surface to make linear contact with the substrate, and the bottom surface of the first plate contacts the fluid on the substrate so that the fluid is uniformly applied onto the substrate. Fluid Spray Nozzles.
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