CN104089809B - 一种膜层去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及膜厚测试技术领域，公开一种膜层去除装置，包括：底座；安装于底座的载台，载台承载面的第一侧边和第二侧边相对，且沿第一侧边朝向第二侧边的方向，承载面与底座之间的距离增大；安装于载台、且位于载台背离底座的一侧的第一挡板；第一挡板具有：密封面，当承载面上放置有待处理基板时，密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边的汇流槽；缺槽的内壁中具有朝向第一侧边的挡面；第一挡板内部形成多个导液孔。该膜层去除装置可以使膜层部分去除后有明显的边界，从而提高膜层厚度测试的准确性。

Description

一种膜层去除装置

技术领域

本发明涉及膜厚测试技术领域，尤其是涉及一种膜层去除装置。

背景技术

台阶仪测试液晶取向层PI膜厚过程中需将一部分PI去除，根据同层膜厚的段差来确定膜层厚度。在样品制作工程中由于不能精确控制刻蚀位置，去除膜层的位置没有明显的边界，造成设备不能准确测试出膜层厚度。

发明内容

本发明提供了一种膜层去除装置，该膜层去除装置可以使膜层部分去除后有明显的边界，从而提高膜层厚度测试的准确性。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种膜层去除装置，包括：

底座；

载台，所述载台背离所述底座的一面为承载面；所述载台安装于所述底座，所述承载面的第一侧边和第二侧边相对且平行，所述第一侧边与所述底座朝向所述载台的侧面平行，且沿所述第一侧边朝向第二侧边的方向，所述承载面与所述底座之间的距离增大；

第一挡板，所述第一挡板安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座的一侧；所述第一挡板具有：

密封面，当所述承载面上放置有待处理基板时，所述密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；

缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，所述缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向所述承载面的第一侧边的汇流槽；所述缺槽的内壁中具有朝向所述第一侧边的挡面，所述挡面与所述密封面相连、且形成所述汇流槽的底面；

所述第一挡板内部形成多个导液孔，每一个所述导液孔的一端开口位于所述第一挡板背离所述载台的侧面上，另一端开口位于所述缺槽的内壁。

当采用此膜层去除装置去除膜层时，首先，将待处理基板平放于载台上，第一挡板的密封面与基板背离载台的一面密封配合；缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边的汇流槽；缺槽的内壁中具有朝向承载面的第一侧边的挡面。当将刻蚀液从导液孔位于第一挡板背离载台的侧面上的开口导入，刻蚀液可以从导液孔位于缺槽内壁的另一端开口流出，并且在汇流槽中汇流；由于沿第一侧边朝向第二侧边的方向，承载面与底座之间的距离增大，即承载面沿其第一侧边朝向第二侧边的方向逐渐升高，所以，汇流槽中的刻蚀液自挡面开始向挡面所朝向的承载台的第一侧边流动，从而实现对其所经过处的基板的膜层进行去除，此时，膜层去除的部分在挡面处会有明显的去除边界，所以在根据膜层段差来确定膜层厚度时，测试出的膜层厚度会更准确。

较佳的实施例中，

所述第一挡板安装于所述载台，包括：

所述载台设有沿垂直于所述第一侧边方向延伸的滑道，所述第一挡板通过锁紧机构可沿所述滑道的延伸方向滑动地安装于所述滑道。

较佳的实施例中，

所述滑道为贯穿所述载台厚度方向的滑道孔。

较佳的实施例中，

所述锁紧机构为锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的螺杆贯穿所述滑道孔与所述第一挡板螺纹配合，且所述锁紧螺钉的螺帽朝向所述载台的一面与所述载台背离所述承载面的一侧表面相抵。

较佳的实施例中，

所述载台的承载面上形成沿垂直于所述承载面的第一侧边的方向排列的多个刻度以形成第一刻度尺。

较佳的实施例中，所述膜层去除装置还包括：

安装于第一挡板上的第二刻度尺，所述第二刻度尺与所述第一刻度尺配合形成游标卡尺结构，且所述第二刻度尺上的零刻度线在所述承载面上的投影与所述挡面在所述承载面上的投影在一条直线上。由此可以得出，挡面与待处理基板背离载台的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上。

较佳的实施例中，所述膜层去除装置还包括：

安装于所述第一挡板、以阅读所述第二刻度尺与所述第一刻度尺刻度对齐状态的显微镜。

通过显微镜观察第二刻度尺与第一刻度尺刻度对齐状态来得出游标卡尺的读数，由于挡面与待处理基板背离载台的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上，则可以得到挡面与待处理基板背离载台的表面的交线的位置，即去除膜层的起始位置，从而可以实现对去除膜层的起始位置的精确控制和定位。

较佳的实施例中，

所述导液孔为锥形通孔，所述锥形通孔的轴心线垂直于所述载台的承载面所在的平面；且从所述第一挡板背离所述载台的侧面的开口到所述缺槽内壁的开口方向，所述锥形通孔的孔径逐渐减小。

较佳的实施例中，

所述承载面的第一侧边通过枢转轴枢装于所述底座，所述枢转轴的轴心线与所述第一侧边平行；且所述底座以及所述载台之间连接有升降装置以驱动所述载台绕所述枢转轴旋转。

通过升降装置可以控制载台承载面的倾斜度，从而来控制刻蚀液自挡面开始向挡面所朝向的载台的第一侧边流动的速度，使得膜层去除更加均匀。

较佳的实施例中，所述膜层去除装置还包括：

安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座一侧的第二挡板；所述第二挡板朝向所述第一挡板的侧面与所述第一挡板的挡面平行，且所述第二挡板位于所述第一挡板朝向所述承载面的第一侧边的一侧。

通过设置第二挡板，可以把膜层去除部分限定在第一挡板与第二挡板之间，限定去除膜层的宽度。

附图说明

图1为本发明一种实施例提供的膜层去除装置结构示意图；

图2为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的第一挡板结构示意图；

图3为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的第二挡板结构示意图；

图4为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的载台承载面示意图；

图5为本发明另一种实施例提供的膜层去除装置的载台承载面示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1和图2，图1为本发明一种实施例提供的膜层去除装置结构示意图；图2为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的第一挡板结构示意图。

如图1和图2所示，本发明实施例提供的膜层去除装置，包括：

底座1；

载台2，载台2背离底座1的一面为承载面；载台2安装于底座1，承载面的第一侧边23和第二侧边相对且平行，第一侧边23与底座1朝向载台2的侧面平行，且沿第一侧边23朝向第二侧边的方向，承载面与底座1之间的距离增大；

第一挡板4，第一挡板4安装于载台2、且位于载台2背离底座1的一侧；第一挡板4具有：

密封面，当承载面上放置有待处理基板9时，密封面与待处理基板9背离载台2的一面密封配合；

缺槽41，当承载面上放置有待处理基板9时，缺槽41的各个侧壁与待处理基板9背离载台2的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边23的汇流槽；缺槽41的内壁中具有朝向第一侧边23的挡面411，挡面411与密封面相连、且形成汇流槽的底面；

如图2所示，第一挡板4内部形成多个导液孔42，每一个导液孔42的一端开口位于第一挡板4背离载台2的侧面上，另一端开口位于缺槽41的内壁。

当采用此膜层去除装置去除膜层时，首先，将待处理基板9平放于载台2上，第一挡板4的密封面与基板9背离载台2的一面密封配合，缺槽41的各个侧壁与待处理基板9背离载台2的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边23的汇流槽；缺槽41的内壁中具有朝向第一侧边23的挡面411，当将刻蚀液从导液孔42位于第一挡板4背离载台2的侧面上的开口导入，刻蚀液可以从导液孔42位于缺槽41内壁的另一端开口流出，并且在汇流槽中汇流；由于沿第一侧边23朝向第二侧边的方向，载台2的承载面与底座1之间的距离增大，即承载面沿其第一侧边23朝向第二侧边的方向逐渐升高，所以，汇流槽中的刻蚀液自挡面411开始向挡面411所朝向的承载台的第一侧边23流动，从而实现对其所经过处的基板9的膜层进行去除，此时，膜层去除的部分在挡面411处会有明显的去除边界，所以在根据膜层段差来确定膜层厚度时，测试出的膜层厚度会更准确。

请参考图3，图3为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的第二挡板结构示意图。

一种具体的实施例中，如图1和图3所示，

膜层去除装置还包括：

安装于载台2、且位于载台2背离底座1一侧的第二挡板7；第二挡板7朝向第一挡板4的侧面与第一挡板4的挡面平行，且第二挡板7位于第一挡板4朝向承载面的第一侧边23的一侧。

通过设置第二挡板7，可以把膜层去除部分限定在第一挡板4与第二挡板7之间，限定去除膜层的宽度。

请参考图4和图5，图4为本发明一种实施例提供的膜层去除装置的载台承载面示意图；图5为本发明另一种实施例提供的膜层去除装置的载台承载面示意图。

一种具体的实施例中，在上述实施例的基础上，如图1和图4所示，

第一挡板4和第二挡板7安装于载台，具体为：

载台2设有沿垂直于第一侧边23方向延伸的滑道21，第一挡板4和第二挡板7通过锁紧机构可沿滑道21的延伸方向滑动地安装于滑道21。

一种具体的实施例中，在上述实施例的基础上，

滑道21为贯穿载台2厚度方向的滑道孔；如图5所示，滑道21可以为多个。

锁紧机构为锁紧螺钉，如图1中所示的锁紧螺钉81和锁紧螺钉82，锁紧螺钉81的螺杆贯穿滑道孔与第一挡板4螺纹配合，锁紧螺钉82的螺杆贯穿滑道孔与第二挡板7螺纹配合，且锁紧螺钉81和锁紧螺钉82的螺帽朝向载台2的一面与载台2背离承载面的一侧表面相抵。

一种具体的实施例中，在上述各实施例的基础上，如图1和图4所示，

载台2的承载面上形成沿垂直于承载面的第一侧边23的方向排列的多个刻度以形成第一刻度尺22。

如图5所示，第一刻度尺22可以为多个，且当滑道21为多个时，每一个第一刻度尺22位于相邻的两个滑道之间。此时，将多个待处理基板9平放于相邻的滑道21和第一刻度尺22之间，并固定在第一挡板4的正下方，可同时去除多个基板9的膜层。

一种具体的实施例中，在上述实施例的基础上，如图1和图4所示，

膜层去除装置还包括：

安装于第一挡板4上的第二刻度尺5，第二刻度尺5与第一刻度尺22配合形成游标卡尺结构，且第二刻度尺5上的零刻度线在承载面上的投影与挡面411在承载面上的投影在一条直线上。由此可以得出，挡面411与待处理基板9背离载台2的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺5上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上。

安装于第一挡板4、以阅读第二刻度尺5与第一刻度尺22刻度对齐状态的显微镜6。

通过显微镜6观察第二刻度尺5与第一刻度尺22刻度对齐状态来得出游标卡尺的读数，由于挡面411与待处理基板9背离载台2的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺5上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上，则可以得到挡面411与待处理基板9背离载台2的表面的交线的位置，即去除膜层的起始位置，从而可以实现对去除膜层的起始位置的精确控制和定位。

一种具体的实施例中，在上述各实施例的基础上，如图1和图2所示，

导液孔42为锥形通孔，锥形通孔的轴心线垂直于载台2的承载面所在的平面，且从第一挡板4背离载台2的侧面的开口到缺槽41内壁的开口方向，锥形通孔的孔径逐渐减小。锥形通孔结构可以实现刻蚀液从小口径开口缓慢流出并在汇流槽内汇流。

一种具体的实施例中，在上述各实施例的基础上，如图1所示，

承载面的第一侧边23通过枢转轴12枢装于底座1，且枢转轴12的轴心线与第一侧边23平行；且底座1以及载台2之间连接有升降装置3以驱动载台2绕枢转轴12旋转。

通过升降装置3可以控制载台2承载面的倾斜度，从而来控制刻蚀液自挡面411开始向挡面411所朝向的承载面的第一侧边23流动的速度，使得膜层去除更加均匀。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种膜层去除装置，其特征在于，包括：

底座；

载台，所述载台背离所述底座的一面为承载面；所述载台安装于所述底座，所述承载面的第一侧边和第二侧边相对且平行，所述第一侧边与所述底座朝向所述载台的侧面平行，且沿所述第一侧边朝向第二侧边的方向，所述承载面与所述底座之间的距离增大；

第一挡板，所述第一挡板安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座的一侧；所述第一挡板具有：

密封面，当所述承载面上放置有待处理基板时，所述密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；

缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，所述缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向所述承载面的第一侧边的汇流槽；所述缺槽的内壁中具有朝向所述第一侧边的挡面，所述挡面与所述密封面相连、且形成所述汇流槽的底面；

所述第一挡板内部形成多个导液孔，每一个所述导液孔的一端开口位于所述第一挡板背离所述载台的侧面上，另一端开口位于所述缺槽的内壁。

2.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述第一挡板安装于所述载台，包括：

所述载台设有沿垂直于所述第一侧边方向延伸的滑道，所述第一挡板通过锁紧机构可沿所述滑道的延伸方向滑动地安装于所述滑道。

3.根据权利要求2所述的膜层去除装置，其特征在于，所述滑道为贯穿所述载台厚度方向的滑道孔。

4.根据权利要求3所述的膜层去除装置，其特征在于，所述锁紧机构为锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的螺杆贯穿所述滑道孔与所述第一挡板螺纹配合，且所述锁紧螺钉的螺帽朝向所述载台的一面与所述载台背离所述承载面的一侧表面相抵。

5.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述载台的承载面上形成沿垂直于所述承载面的第一侧边的方向排列的多个刻度以形成第一刻度尺。

6.根据权利要求5所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于第一挡板上的第二刻度尺，所述第二刻度尺与所述第一刻度尺配合形成游标卡尺结构，且所述第二刻度尺上的零刻度线在所述承载面上的投影与所述挡面在所述承载面上的投影在一条直线上。

7.根据权利要求6所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于所述第一挡板、以阅读所述第二刻度尺与所述第一刻度尺刻度对齐状态的显微镜。

8.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述导液孔为锥形通孔，所述锥形通孔的轴心线垂直于所述载台的承载面所在的平面；且从所述第一挡板背离所述载台的侧面的开口到所述缺槽内壁的开口方向，所述锥形通孔的孔径逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，

所述承载面的第一侧边通过枢转轴枢装于所述底座，所述枢转轴的轴心线与所述第一侧边平行；且所述底座以及所述载台之间连接有升降装置以驱动所述载台绕所述枢转轴旋转。

10.根据权利要求1～9任一项所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座一侧的第二挡板；所述第二挡板朝向所述第一挡板的侧面与所述第一挡板的挡面平行，且所述第二挡板位于所述第一挡板朝向所述承载面的第一侧边的一侧。