KR100622877B1

KR100622877B1 - 섀도우 마스크용 고강도 Ｆｅ-Ｎｉ-Ｃｏ 계 합금 및 그제조방법

Info

Publication number: KR100622877B1
Application number: KR1020040030380A
Authority: KR
Inventors: 히라노야스오; 가와하라데쯔오
Original assignee: 닛코킨조쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2003-04-30
Filing date: 2004-04-30
Publication date: 2006-09-19
Also published as: CN1550564A; KR20040094358A; JP2004331997A; CN1324157C

Abstract

(과제) 본 발명은, 고강도화를 위한 원소를 첨가하지 않고서 Fe-Ni-Co 계 합금의 낙하 강도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.

(해결수단) Ni: 30∼35질량%, Co: 2∼8질량%, Mn: 0.50질량% 이하를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물 또는 수반 원소(단 C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하)로 이루어지고, 압연 가공 조직으로 구성되는 Fe-Ni-Co 계 합금으로, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발현되고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발현되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금.

Description

섀도우 마스크용 고강도 Ｆｅ-Ｎｉ-Ｃｏ 계 합금 및 그 제조방법{HIGH STRENGTH Ｆｅ-Ｎｉ-Ｃｏ ALLOY FOR SHADOW MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은, 섀도우 마스크의 전자선 투과 부분의 형상을 완전 플랫이 되도록 프레스했다고 하더라도 브라운관에 장착된 상태에서의 낙하 충격에 의한 내변형성이 우수하고, 또한 도밍(Doming)현상이 발생하지 않는 저열팽창을 유지할 수 있는 플랫 마스크용 합금 박대(薄帶)에 관한 것으로, 소둔 연화 특성을 제어하는 것에 의해 내낙하충격 변형성을 향상시키고, 또 저열팽창성을 유지하는 상기 플랫 마스크용 Fe-Ni-Co 계 합금 박대에 관한 것이다.

컬러 브라운관에서는, 전자총에서 쏜 전자빔을 유리 패널의 내측의 형광체에 닿게 함으로써 화면을 표시한다. 전자빔의 방향을 자력에 의해 제어하는 것이 편향 요크(Deflection Yoke)이다. 유리 패널의 바로 앞에는 전자빔이 소정의 형광체(phosphor)에 닿도록 화소 단위로 구분하는 기구가 형성되어 있으며, 이러한 기구를 마스크 또는 색선별 기구라고 한다. 컬러 브라운관용 마스크는 마스크 소재를 도트형상 또는 슬롯형상으로 에칭 가공한 후 프레스 성형하는 섀도우 마스 크 방식과, 격자(簾)형상으로 에칭 후 틀재에 상하로 강한 인장력을 가하여 가장(架張)하는 애퍼추어그릴 (Aperture-grille) 방식으로 대별된다. 각각의 방식은 일장 일단이 있어, 양쪽 방식 모두 시장에서 사용되고 있다.

그런데, 표시 화면을 평탄하게 하는 플랫 화면의 개발을 목표로 많은 시도가 이루어져 왔다. 여기서 플랫 화면이란, 종래의 구면 표시 화면이 거의 완전에 가까운 평면 형태를 갖는 것이다. 브라운관의 화면을 평탄하게 하고자 할 때 큰 문제가 되는 것 중 하나가, 섀도우 마스크나 애퍼추어그릴을 어떻게 해서 평탄에 가깝게 하는가이다. 각각 난제를 안고 있지만, 프레스에 의해 섀도우 마스크의 표면을 평탄에 가깝게 하는 것은, 애퍼추어그릴과 같은 가장(架張) 방식의 것보다도 기본적으로 어렵다고 되어 있다 (예를 들어, NIKKEI ECTRONICS., 1999.7.26 (No.748) 128 페이지).

이는, 섀도우 마스크는 금속 시트를 프레스 성형하여 제조하기 때문에 가장 방식과 달리 자기 보형력(自己保形力)에 의해 형상을 유지할 필요가 있어, 기본적으로는 구형이 아니면 형상 유지를 할 수 없기 때문이다. 한편, 플랫 마스크는 마스크를 거의 평탄하게 하기 때문에 형상 유지가 곤란하다. 이것을 해결하기 위해서는, 마스크의 강도를 높이는 것 외에 방법이 없다. 여기서 말하는 「마스크 강도」란, 일반적인 금속의 강도 (예를 들어 인장 시험에 의한 강도) 의 의미와는 달리, 브라운관을 조립한 후, 브라운관 전체에 충격을 부여하여 마스크의 변형이 일어나는지 여부이다. 구체적으로는, 브라운관을 일정 높이에서 낙하시켜, 마스크가 변형하는지 여부를 시험한다. 이러한 충격 변형에 대하여 강한, 즉 내낙하충격 변형성 (이하, 낙하 강도라고 한다) 을 향상시킨 마스크의 개발이 플랫관에는 필요하다.

또한, 플랫관에는 우수한 도밍 특성이 요구된다. 요컨대, 마스크가 구면에서 플랫으로 되는 것에 따라서, 마스크의 네 모서리에서의 전자총으로부터 방출된 전자빔의 입사각이 예각이 된다. 즉 이것은, 마스크가 열팽창에 의해 미소하게 어긋나는 것만으로 전자빔이 잘못 충돌하여, 색편차 폐해가 발생할 문제가 있다는 것을 의미한다. 이것에 의해, 열팽창이 종래의 마스크보다 현격하게 낮은 저열팽창 마스크의 개발이 필요하다.

플랫 마스크를 대상으로 한 것은 아니지만, 열팽창 특성이나 내충격성을 개선하려는 시도로서 일본 특허 제 2723718 호에서는, 2∼7질량% 의 Co 를 함유하는 Fe-Ni-Co 계 합금 (Super Invar) 을 섀도우 마스크로 함으로써 열팽창 계수를 저하시키는 것이 제안되어 있다. 그러나, Co 를 2∼7질량% 함유시키는 것만으로는 프레스전에 어닐링 처리를 실시한 후의 마스크를 플랫으로 한 경우의 낙하 충격에 견딜 수 없었다. 또한, 일본 특허 제 1854642 호에서는, Ni 가 34∼38질량% 인 Fe-Ni 계 합금에 Ti, Zr, B, Mo, Nb, N, P 및 Cu 중 1 종 또는 2 종 이상을 합계로 0.01∼1.0질량% 함유시킴으로써 조립시의 충격으로 좌굴(座屈, buckling)이 일어나는 것을 방지하는 것이 제안되어 있으나, 열팽창 계수가 10×10^-7/℃ 를 초과하고 있어, 마스크를 플랫으로 한 경우의 색편차를 억제한다는 관점에서는 만족할 만한 것이 아니었다.

섀도우 마스크 소재는, 소정 조성의 합금 재료를 예를 들면 진공 유도 용해로 (VIM 노(爐)) 에서 용제 후, 잉곳으로 주조하고, 단조 후에 열간 압연 및 냉간 압연하며, 그 후 광휘 소둔(Bright Annealing)과 냉간 압연을 반복하고, 마지막으로 0.05∼0.3㎜ 범위의 소정 두께까지 덜 가공(dull finishing)한 압연롤에 의한 최종 냉간 압연이 실시된다. 에칭 가공에 의해 제조되는 각종 섀도우 마스크재의 판두께는 0.05∼0.30㎜ 가 일반적이며, 특히 프레스 성형형의 플랫 마스크에는 판두께 0.1∼0.13㎜ 의 재료가 사용되고 있다. 그 후, 슬릿하여 소정의 판폭으로 하여 섀도우 마스크용 소재를 얻는다. 섀도우 마스크용 소재는, 탈지 후, 포토레지스트를 양면에 도포하여 패턴을 베이킹(프린팅)하여 현상한 후, 에칭 천공 가공되고, 개개로 절단되어 섀도우 마스크 소재 유닛이 된다.

섀도우 마스크 소재 유닛은, 비산화성 분위기, 예를 들어 환원성 분위기 중에 있어서 700℃ 이상의 온도에서 어닐링되고 프레스 성형성이 부여된다. 프리 어닐링법에서는, 상기 소둔이 에칭전에 최종 냉간 압연재에 대하여 실시된다. 레벨러 가공을 거친 후, 프레스에 의해 플랫 마스크 형태로 성형된다.

그리고 마지막으로 프레스 성형된 플랫 마스크는, 탈지 후, 대기 또는 CO/CO₂ 가스 분위기 중에서 흑화 처리가 실시되어 표면에 흑색 산화막이 형성된다. 본 발명의 프레스 성형형 「플랫 마스크」는 예를 들어, 외면 곡률 반경 R: 100,000㎜ 이상 그리고 평면도 (화면 곡면부의 최대 높이/유효 화면 대각 치수): 0.1% 이하의 거의 완전에 가까운 평면 형태를 갖는 것이다.

본 발명은, 고강도화를 위한 원소를 첨가하지 않고서 Fe-Ni-Co 계 합금의 낙하 강도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.

발명자들은, 이 과제를 해결하기 위해 예의 연구를 거듭한 결과, 섀도우 마스크의 낙하 강도가 그 내력(耐力, proof stress)과 매우 양호한 상관을 갖는 것을 발견하였다. 그리고 프레스 성형전의 어닐링을 실시한 후에, 높은 내력을 얻을 수 있도록 Fe-Ni-Co 계 합금을 최적화하고, 동시에 이를 위한 제조 방법을 밝혔다.

요컨대, 본 발명은

(1) Ni: 30∼35질량%, Co: 2∼8질량%, Mn: 0.50질량% 이하를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물 또는 수반 원소(단 C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하)로 이루어지고, 압연 가공 조직으로 구성되는 Fe-Ni-Co 계 합금으로, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발현되고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발현되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금,

(2) 인장 강도가 630MPa 이상인 것을 특징으로 하는 상기 (1) 에 기재된 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금,

(3) 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 30% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 및 (2) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.

(4) 슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 50% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 상기 (1) 및 (2) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.

(5) 최종 냉간 압연전의 소둔에서, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 상기 (3) 및 (4) 의 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법,

에 관한 것이다.

발명의 실시형태

이하에 본 발명의 한정 이유를 서술한다.

(1) Ni, Co 에 대해서

본 발명에 있어서의 Fe-Ni-Co 계 합금조의 Ni 함유량은 30∼35질량% 의 범위이다. 또한, Co 함유량은 2∼8질량% 의 범위이다.

Ni 함유량이 30질량% 미만 또는 35질량% 를 초과하면, 열팽창 계수가 커져 섀도우 마스크용으로 부적당하다.

Co 는 열팽창을 저하시키면서 동시에 재결정후의 내력의 향상에도 기여한다. 이 때문에 2질량% 이상 첨가시킬 필요가 있으나, 첨가량이 8질량% 를 초과하면 자기 특성을 악화시키기 때문에, 2∼8질량% 의 범위에서 첨가된다.

(2) Mn, 불순물 및 수반 원소에 대해서

a) C 함유량

C 가 0.10질량% 를 초과하면, 탄화물의 생성에 의해 에칭 천공성이 저해되어 합금조가 섀도우 마스크용 소조(素條)로서 적합하지 않게 된다. 따라서, C 함유량의 상한을 0.10질량% 로 정하였다.

b) Si 함유량

Si 가 0.10질량% 를 초과하면, 합금 소조는 그 에칭 천공성이 저해되기 때문에 섀도우 마스크용 소조로서 적합하지 않게 된다. 따라서, Si 함유량의 상한을 0.10질량% 로 정하였다.

c) Al 함유량

Al 이 0.05질량% 를 초과하면, 알루미나계의 개재물의 형성이 현저해져 합금조의 에칭 천공성이 저해된다. 따라서, Al 함유량의 상한을 0.05질량% 로 정하였다.

d) Mn 함유량

Mn 은 열간 가공성을 저해하는 S 를 무해화하기 위해서 철계 합금에 함유되어 있다. 그 함유량이 적으면 충분한 효과를 얻을 수 없다. 그러나, 0.5질량% 를 초과하면, 합금조가 경(硬)하게 되어 그 가공성이 떨어지게 된다. 따라서, Mn 함유량의 상한을 0.5질량% 로 정하였다. 바람직하게는, 0.05∼0.5질량% 의 범위의 첨가가 권장된다.

e) S 함유량

S 는, 0.005질량% 를 초과하면 소조의 열간 가공성을 현저히 저해한다. 따라서, S 함유량의 상한을 0.005질량% 로 정하였다.

f) P 함유량

P 는, 0.005질량% 를 초과하면, 합금조는 그 에칭 천공성이 저해되어 섀도우 마스크용 소조로서 적합하지 않게 된다. 따라서, P 함유량의 상한을 0.005질량% 로 정하였다.

(3) 재결정 특성에 대해서

낙하 강도는 섀도우 마스크 상태에서의 내력과 상관을 갖기 때문에, 프레스 성형전에 700∼950℃ 의 어닐링 처리를 실시한 후의 내력이 높을 것이 요구된다. 원하는 내력을 발현하기 위해서는, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발생하고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발생하는 Fe-Ni-Co 계 합금이어야 하고, 재결정 특성이 이 규정에서 벗어나는 경우에는 섀도우 마스크로서 충분한 낙하 강도가 얻어지지 않는다.

(4) 인장 강도에 대해서

재결정 특성은 소재 (최종 압연을 마친 것) 의 인장 강도와 상관을 갖는다. 인장 강도가 630MPa 이상이면, 상기한 재결정 특성을 얻을 수 있다.

(5) 최종 압연전의 소둔 및 최종 압연 가공도에 대해서

본 발명에서는, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정립 미세화와 최종 압연 공정의 강(强)가공에 의해 Fe-Ni-Co 계 합금에 상기한 재결정 특성을 부여한다. 즉, 최종 압연전의 소둔에서 얻어지는 결정 입도 번호가 8.0 이상인 미세립의 상태에서 가공도 30% 이상의 강가공 압연을 실시하면 원하는 재결정 특성을 얻을 수 있다. 최종 압연 공정의 가공도가 30% 미만인 경우에서는 원하는 재결정 특성을 얻을 수 없다. 따라서 본 발명에서는 최종 압연전의 소둔에서 얻어지는 결정 입도 번호를 8.0 이상, 최종 압연 공정의 가공도를 30% 이상으로 규정한다. 보다 바람직한 최종 압연 가공도는 50% 이상이다.

결정 입도 번호는, JIS G 0551 에 규정되어 있는 방법에 준거하여 측정한다. 또한, 압연 가공도 (R) 는 다음의 식에 의해 정의된다.

R = {(t₀-t)/t₀}×100%

여기서, t: 압연후의 두께, t₀: 압연전의 두께

(6) 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율에 대해서

본 발명에서는, 최종 압연전의 소둔에 있어서 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정한다. (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은 하기의 식에 의해 정의된다.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I₂₀₀/(I₁₁₁＋I₂₀₀＋I₂₂₀＋I ₃₁₁)×100(%)

상기 식에서, I_hkl 은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다. 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은, 최종 압연재의 특성에 영향을 미친다. 즉, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율이 90% 를 초과하면 가공 경화능이 저하된다. 이 때문에, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율이 90% 를 초과하면, 최종 압연에서 강가공을 실시하여도 인장 강도가 낮아진다. 인장 강도는 재결정 특성과 상관이 있기 때문에, 인장 강도가 저하되면 원하는 재결정 특성이 얻어지지 않게 된다. 따라서, (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율은 90% 이하로 조정한다.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율의 정의에는, 회절 격자면으로서 (111) 면, (200) 면, (220) 면 및 (311) 면을 포함하고 있다. 이는 이들 4 개의 회절 격자면이, 본 발명에서 대상으로 하는 Fe-Ni-Co 계 합금의 주요한 회절 격자면인 것에 따른 것이다.

X 선 회절 강도 (cps) 는, 일반적으로 사용되고 있는 X 선 회절 분석기 (diffractometer) 로 측정한다. 관구(管球)는 Co 관구를 사용한다. X 선 회절 강도 (cps) 의 측정에는, 피크의 높이를 구하는 방법과 피크의 적분치를 구하는 방법이 있다. 본 발명에서는 피크의 적분치를 구한다.

(실시예)

실시예에 나타내는 섀도우 마스크재의 제조에 있어서는, 우선 소정 화학 조성의 슬래브를 조제하고, 열간 압연을 실시하고, 표면의 산화 스케일을 제거하여, 두께 3㎜ 의 판을 얻었다. 여기서 불순물 농도에 대해서는, C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하를 만족하고, 실시예 및 비교예 모두 Ni: 31∼33질량%, Co: 4.5∼5.5질량%, Mn: 0.2∼0.4질량% 의 범위로 조성을 조정하였다. 또한, Nb 등의 강화 원소는 첨가하고 있지 않고, 예를 들어 Nb 의 분석치는 0.01질량% 미만이었다.

얻어진 두께 3㎜ 의 열간 압연판을 다음의 공정에서 가공하여, 두께 0.12㎜ 의 제품으로 하였다.

열간 압연판 →소압연(素壓延) →중간 소둔 →중간 압연 →최종 압연전의 소둔 →최종 압연

여기서, 소둔은 모두 재결정 소둔이고, 열간 압연이외의 압연은 모두 냉간 압연이다. 각 공정에서의 가공 조건 또는 목표 품질을 다음에 나타낸다.

(1) 소압연

중간 압연 가공도, 최종 압연 가공도 및 제품의 판두께로부터 역산하여, 소압연에서 마무리하는 판두께를 설정하였다.

(2) 중간 소둔 및 중간 압연

최종 압연전의 소둔에 있어서 소정의 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율(%) 을 얻기 위해서는, 중간 소둔에서의 결정 입도 번호와 중간 압연에서의 가공도를 소정의 것으로 설정해야 한다. 본 발명예에서는, 중간 소둔에서의 결정 입도 번호를 8.0 으로, 중간 압연의 가공도를 72% 로 설정하였다.

(3) 최종 압연전의 소둔

소둔 온도와 소둔 시간을 제어하여, 본 발명예에서는 결정 입도 번호가 9.0 인 소둔재를 얻었다.

(4) 최종 압연

판두께를 0.12㎜ 로 압연하여 제품으로 하였다.

[표 1]

표 1 에 발명예 및 비교예의 특성을 나타낸다.

표 1 에 있어서의 최종 압연전 소둔 (200) 면 강도는, 최종 압연전의 소둔을 마친 상태에서 측정한 (200) 면 회절 X 선 강도의 구성 비율 (%) 로서, 다음 식에 의해 구하였다.

(200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율 = I₂₀₀/(I₁₁₁＋I₂₀₀＋I₂₂₀＋I ₃₁₁)×100(%)

여기서, I_hkl 은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다. 회절 X 선의 강도 (cps) 는, X 선 회절 분석기로 측정하였다. 관구는 Co 관구를 사용하였다. 회절 X 선 강도 (cps) 의 측정에서는 피크의 적분치를 구하였다. 측정 시료의 전처리로서 표층을 화학 연마 (에칭) 에 의해 제거하였다. 표층을 제거하는 것은, 표면에 형성되어 있는 변질층의 영향을 없애기 위해서이다. 제거량은 판두께의 5% 분(分)으로 하였다. 5% 의 제거량은, 판두께 내부의 (200) 강도의 분포를 확인한 다음에 설정한 것이다.

소둔전의 인장 강도는, 0.12㎜ 두께 제품의 인장 강도 (MPa) 를 나타낸다. 제품 결정 입도 (750℃) 는, 0.12㎜ 두께 제품의 가열 시험 (750℃×15분간: 비산화성 분위기) 후의 결정 입도를 나타낸다. 제품 결정 입도 (850℃) 는, 0.12㎜ 두께 제품의 가열 시험 (850℃×15분간: 비산화성 분위기) 후의 결정 입도를 나타낸다. 어닐링후 내력은, 섀도우 마스크를 프레스 성형하기 전에 실시하는 어닐링을 상정(想定)한 열처리 (8% H₂-N₂, 이슬점 0℃, 800℃×15분) 를 0.12㎜ 두께 제품에 실시한 후의 0.2% 내력 (MPa) 이다.

발명예 No.1∼5 에 대해서는, 제품 결정 입도 (750℃) 가 9.5 이상, 또 제품 결정 입도 (850℃) 가 8.5 이상으로, 프레스 성형전의 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 높다.

한편 비교예 1 은, 중간 압연 가공도가 78% 로 높기 때문에, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율이 청구 범위인 90% 를 초과하고 있다. 또한, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정 입도도 청구 범위인 8.0 를 밑돌고 있다. 이 때문에 비교예 1 은, 소둔전의 인장 강도, 제품 결정 입도 (750℃) 및 제품 결정 입도 (850℃) 가 청구 범위로부터 벗어나, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 낮다.

또한, 비교예 2 는, 최종 압연 가공도가 청구 범위를 만족하고 있지 않다. 이 때문에 비교예 2 는, 소둔전의 인장 강도, 제품 결정 입도 (750℃) 및 제품 결정 입도 (850℃) 가 청구 범위로부터 벗어나, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 낮다.

그리고 비교예 3 은, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 (200) 면 회절 X 선 강도 구성 비율, 최종 압연전의 소둔에 있어서의 결정 입도 번호 및 최종 압연에 있어서의 압연 가공도가 모두 청구 범위를 만족하고 있지 않다. 그 결과 비교예 3 은, 어닐링을 상정한 열처리후의 내력이 전체 실시예 중에서 가장 낮은 값으로 되어 있다.

Fe-Ni-Co 계 합금에 있어서, 고강도화를 위한 원소를 첨가하지 않고서, 저비용으로, 생산 효율을 저해시키지 않고, 낙하 강도를 향상시킨 섀도우 마스크재를 제공할 수 있다.

Claims

Ni: 30∼35질량%, Co: 2∼8질량%, Mn: 0.50질량% 이하를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피한 불순물 또는 수반 원소(단 C: 0.10질량% 이하, Si: 0.10질량% 이하, Al: 0.05질량% 이하, S: 0.005질량% 이하, P: 0.005질량% 이하)로 이루어지고, 압연 가공 조직으로 구성되는 Fe-Ni-Co 계 합금으로, 750℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 9.5 이상인 재결정 조직이 발현되고, 또 850℃, 15분의 소둔을 실시했을 때에 결정 입도 번호가 8.5 이상인 재결정 조직이 발현되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금.
제 1 항에 있어서, 인장 강도가 630MPa 이상인 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금.
슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 30% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.
슬래브를 열간 압연하고, 냉간 압연과 재결정 소둔을 반복한 후, 마지막으로 냉간 압연을 실시하는 공정에 의해 제조되고, 최종 냉간 압연전의 소둔에서 결정 입도 번호를 8.0 이상으로 조정하고, 최종 냉간 압연의 가공도를 50% 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.
제 3 항에 있어서, 최종 냉간 압연전의 소둔에서, 하기 식에 의해 정의되는 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I₂₀₀/(I₁₁₁＋I₂₀₀＋I₂₂₀＋I ₃₁₁)×100(%)

{여기서, I_hkl 은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다}
제 4 항에 있어서, 최종 냉간 압연전의 소둔에서, 하기 식에 의해 정의되는 (200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율을 90% 이하로 조정하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 고강도 Fe-Ni-Co 계 합금의 제조 방법.

(200) 면 X 선 회절 강도 구성 비율 = I₂₀₀/(I₁₁₁＋I₂₀₀＋I₂₂₀＋I ₃₁₁)×100(%)

{여기서, I_hkl 은 (hkl) 격자면의 X 선 회절 강도를 나타낸다}