KR100622172B1 - 전기 광학 장치 - Google Patents

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KR100622172B1
KR100622172B1 KR1020040010963A KR20040010963A KR100622172B1 KR 100622172 B1 KR100622172 B1 KR 100622172B1 KR 1020040010963 A KR1020040010963 A KR 1020040010963A KR 20040010963 A KR20040010963 A KR 20040010963A KR 100622172 B1 KR100622172 B1 KR 100622172B1
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사카이가즈요시
와타나베다다시
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 목적은 배선 저항의 값을 저감할 수 있는 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것이다.
실장 단자(160)에 연결되는 상층 배선(152)과 제 1 기판간 도통 단자(170)를 접속하는 제 2 배선 패턴(12)은 하지 전극(122)을 포함한다. 이 하지 전극(122)의 측면(122A)에는 무기 절연막(140)이 부착되지 않는다. 이 때문에, 하지 전극(122)의 각 측면(122A)에 걸치는 상층 배선(152) 및 제 1 기판간 도통 단자(170)는 측면(122A)을 거쳐서 하지 전극(122)에 전기적으로 접속된다. 실장 단자(160)로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)까지의 경로는 상층 배선(152)→하지 전극(122)의 한쪽 측면(122A)→하지 전극(122)→다른쪽 측면(122A)→제 1 기판간 도통 단자(170)로 된다. 제 2 배선 패턴(12)의 도중에 금속막으로 이루어지는 하지 전극(122)을 이용하는 것에 의해 배선 저항을 대폭 작게 할 수 있다.

Description

전기 광학 장치{ELECTRIC OPTICAL APPARATUS}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 사시도,
도 2는 본 실시예에 따른 액정 표시 장치의 분해 사시도,
도 3은 액정 표시 장치에 이용되는 제 1 기판의 평면도,
도 4(a)는 도 3 중 Ⅰ-Ⅰ 방향에서 본 단면도, (b)는 도 3 중 Ⅱ-Ⅱ 방향 및 Ⅲ-Ⅲ 방향에서 본 단면도,
도 5는 도 4(a) 중의 (가)부를 나타내는 확대 단면도,
도 6은 도 4(b)중의 (나)부를 나타내는 확대 단면도,
도 7은 도 3 중의 (다)부를 나타내는 확대 단면도,
도 8은 도 7 중의 Ⅳ-Ⅳ 방향에서 본 단면도,
도 9는 도 1에 나타내는 액정 표시 장치에 이용한 제 1 기판 및 제 2 기판에 형성된 각 요소의 설명도,
도 10(a)∼(f)는 각각 도 1에 나타내는 액정 표시 장치에 이용되는 제 1 기판의 제조 방법을 도 4(a)에 대응하도록 나타낸 공정도,
도 11(a)∼(f)는 각각 도 1에 나타내는 액정 표시 장치에 이용되는 제 1 기 판의 제조 방법을 도 4(b)에 대응하도록 나타낸 공정도,
도 12는 본 발명을 적용한 액정 표시 장치를 이용한 전자 기기의 전기적인 구성을 나타내는 블록도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 액정 표시 장치 2 : 화상 표시 영역
7R, 7G, 7B : 컬러 필터층 9 : 백라이트 장치
10 : 제 1 기판 11 : 제 1 배선 패턴
12 : 제 2 배선 패턴 15 : 연장 영역
20 : 제 2 기판 30 : 밀봉재
35 : 액정 봉입 영역 36 : 액정층(전기 광학 물질층)
50 : 구동용 IC 61, 62 : 편광판
110 : 하지 도전막 120 : 광 반사막
121, 122, 123 : 하지 전극 121A, 122A, 123A : 측면
122B : 치상(齒狀)부 125 : 광 투과 구멍
130 : 유기 절연막 140 : 무기 절연막
150 : 제 1 구동 전극 151, 152 : 상층 배선
160 : 실장 단자 170 : 제 1 기판간 도통 단자
190 : 도전성 보호막 250 : 제 2 구동 전극
270 : 제 2 기판간 도통 단자
301 : 도전 입자가 들어가 있는 밀봉재
303 : 도전 입자
본 발명은, 예컨대 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치에 이용하기에 적합한 전기 접속 구조, 전기 광학 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.
대향하는 1쌍의 기판과의 사이에 액정 등의 전기 광학 물질이 개재되어 이루어지는 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치가 알려져 있다.
이 액정 표시 장치의 구성을 보다 구체적으로 설명하면, 액정 표시 장치는 기대를 이루는 제 1 기판과, 이 제 1 기판에 대향하여 배치되고, 관찰측으로 되는 제 2 기판과, 이들 기판 사이에 간격을 갖게 하여 그 내부에 액정층을 구획하여 이루어지는 직사각형 형상의 밀봉재를 구비하여 구성된다. 그리고, 제 1 기판에는 투명한 제 1 구동 전극이 형성되고, 제 2 기판에는 제 1 구동 전극과 거의 직교하는 방향으로 연장되는 투명한 제 2 구동 전극이 형성되며, 각 전극 사이가 교차하는 부분의 전극과 이 전극 사이에 개재된 액정에 의해 하나의 화소가 구성된다. 그리고, 각 구동 전극에 신호가 공급되는 것에 의해, 각 화소에 위치한 액정에는 신호에 따른 비틀림이 발생한다. 이 때, 각 전극 사이의 액정을 통과하는 광에는 이 액정의 비틀림에 의하여 광 변조가 실시되게 된다.
이러한 액정 표시 장치에는, 제 1 기판의 배면측에 백라이트 장치를 배치한 투과형과, 제 1 구동 전극의 하층측에 광 반사막이 형성된 반사형이 있다.
투과형 액정 표시 장치는, 백라이트 장치로부터 출사된 광에 대하여, 전기 광학 물질층을 투과하는 동안에 광 변조를 실시해서 소정의 화상을 표시하는 것이며, 반사형의 액정 표시 장치는, 제 2 기판측으로부터 입사한 외광이 광 반사막에 의해 반사되고, 다시 제 2 기판으로부터 출사되는 동안에 광 변조를 실시하여 소정의 화상을 표시하는 것이다.
또한, 액정 표시 장치에는 반(半)투과 반사형 액정 표시 장치가 있다. 이 장치는, 제 1 기판의 배면측에 백라이트 장치를 배치하고, 또한, 제 1 구동 전극의 하층측에 광 투과 구멍을 갖는 광 반사막을 형성한 것이다. 이 반투과 반사형 액정 표시 장치는, 광 투과 구멍을 거쳐서 백라이트 장치로부터의 광을 투과시켜 표시를 행하고(이하, 투과 모드라 함), 또한, 광 투과 구멍이 형성되어 있지 않은 영역에서는 입사한 외광을 광 반사막에 의해 반사시켜 표시를 행하도록(이하, 반사 모드라 함) 되어 있다.
그리고, 액정 표시 장치에 화상을 표시시키기 위해서는, 제 1 구동 전극 및 제 2 구동 전극에 소정의 신호를 각각 공급하는 구동용 IC를 마련할 필요가 있다. 이 구동용 IC를 액정 표시 장치에 마련하는 방법으로서는, 제 1 기판 및 제 2 기판의 쌍방에 구동용 IC를 따로 마련하는 방법과, 한쪽의 기판에만 구동용 IC를 마련하는 방법이 있다.
그래서, 액정 표시 장치의 형상을 소형화하고 또한 조금이라도 크게 화상 표 시 영역을 확보하기 위해서, 제 1 기판에 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역을 형성하고, 이 연장 영역에 구동용 IC을 마련하는 방법이 종래부터 채용되고 있다.
이 연장 영역에는, 구동용 IC이 직접 실장되거나, 구동용 IC이 접속된 가효성 기판이 실장되거나 하는 실장 단자가 형성되고, 이 실장 단자에 제 1 구동 전극 및 제 2 구동 전극을 접속하기 위해서, 제 1 기판에는 후술하는 제 1 기판간 도통 단자, 제 1 배선 패턴 및 제 2 배선 패턴이 형성되며, 제 2 기판에는 제 2 기판간 도통 단자가 형성된다.
여기서, 제 1 배선 패턴은 실장 단자와 제 1 구동 전극을 전기적으로 접속하는 배선이다. 제 1 기판간 도통 단자는 제 2 기판과 겹치는 영역에 형성되고, 제 2 배선 패턴은 실장 단자와 제 1 기판간 도통 단자를 접속하는 배선이다. 제 2 기판측의 제 2 기판간 도통 단자는 제 1 기판간 도통 단자에 대향하는 위치에 형성된다.
그리고, 제 1 기판과 제 2 기판은 도전 입자가 배합된 밀봉재에 의해 소정 거리를 이간(離間)한 상태로 접합된다. 이 도전 입자는 제 1 기판간 도통 단자와 제 2 기판간 도통 단자를 전기적으로 접속한다.
이와 같이, 실장 단자와 제 1 구동 전극은 제 1 배선 패턴에 의해서만 접속된다. 또한, 실장 단자와 제 2 구동 전극은 제 2 배선 패턴, 제 1 기판간 도통 단자, 도전 입자 및 제 2 기판간 도통 단자에 의해서 접속된다.
그러나, 제 1 배선 패턴 및 제 2 배선 패턴은 그 재료에 제 1 구동 전극을 형성하는 투명 도전막(예컨대, ITO막(Indium Tin Oxide막))과 동일한 재료가 이용되고 있었다.
이들 배선 패턴의 재료에 이용되는 ITO막은 금속 재료에 비해서 전기적 저항의 값이 비교적 큰 재료이다. 이 때문에, 제 1 배선 패턴 및 제 2 배선 패턴은 그 배선 저항값이 현저히 커지게 되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 사정을 감안하여 행해진 것으로서, 본 발명은 배선 저항의 값을 저감할 수 있는 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명이 채용하는 전기 광학 장치의 구성은, 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판과, 제 1 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 1 구동 전극과, 제 2 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 2 구동 전극과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 밀봉재에 의해 구획되어 이루어진 공간에 전기 광학 물질이 봉입됨으로써 형성된 전기 광학 물질층을 구비한 전기 광학 장치로서, 상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는 광 반사막과, 컬러 필터층과, 상기 컬러 필터층을 덮는, 상기 컬러 필터층을 보호하기 위한 유기 절연막과, 상기 제 1 기판의 거의 전체를 덮는 무기 절연 막을 이 순서대로 구비하며, 상기 제 1 기판에는, 상기 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역에 형성된 실장 단자와, 상기 제 2 기판과 겹치는 영역에 형성된 제 1 기판간 도통 단자와, 상기 실장 단자와 상기 제 1 기판간 도통 단자를 접속하는 배선 패턴이 마련되고, 상기 제 2 기판에는, 상기 제 1 기판간 도통 단자에 상기 밀봉재을 거쳐서 대향하는 위치에, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 전기적으로 접속되는 제 2 기판간 도통 단자가 마련되며, 상기 배선 패턴은 적어도 그 일부 영역에서, 상기 광 반사막과 동일한 금속 재료에 의해 형성되어 거의 수직으로 솟아오르는 측면을 갖는 금속막을 구비하고, 당해 영역에서는, 상기 제 1 기판 상에, 상기 금속막, 상기 무기 산화물막, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 동일한 재료의 투명 도전막으로 이루어지는 도전막의 순서로 마련한 구조를 구비하고 있으며, 상기 금속막의 측면은 상기 무기 절연막으로부터 노출되고, 상기 도전막은 당해 영역으로부터 연장하여 당해 측면에 접촉하고 있으며, 상기 제 1 기판간 도통 단자 및 상기 실장 단자는 당해 측면에 접촉한 상기 도전막을 통해서 상기 금속막에 도통되고, 상기 금속막을 거쳐서 서로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성과 같이, 제 1 기판간 도통 단자와 실장 단자를 접속하는 배선 패턴은 금속막 및, 이 금속막의 측면에 접촉한 도전막을 통해서 서로 접속한다.
이에 따라, 배선 패턴은 금속막에 의해 배선의 전기 저항을 작게 할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명이 채용하는 전기 광학 장치의 구성은, 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판과, 제 1 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 1 구동 전극과, 제 2 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 2 구동 전극과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 밀봉재에 의해 구획되어 이루어진 공간에 전기 광학 물질이 봉입됨으로써 형성된 전기 광학 물질층을 구비한 전기 광학 장치로서, 상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는 광 반사막과, 컬러 필터층과, 상기 컬러 필터층을 덮는, 상기 컬러 필터층을 보호하기 위한 유기 절연막과, 상기 제 1 기판의 거의 전체를 덮는 무기 절연막을 이 순서대로 구비하며, 상기 제 1 기판에는, 상기 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역에 형성된 실장 단자와, 상기 실장 단자와 상기 제 1 구동 전극을 접속하는 배선 패턴이 마련되고, 상기 배선 패턴은, 적어도 그 일부 영역에서, 상기 광 반사막과 동일한 금속 재료에 의해 형성되어 거의 수직으로 솟아오르는 측면을 갖는 금속막을 구비하고, 당해 영역에서는, 상기 제 1 기판 상에, 상기 금속막, 상기 무기 산화물막, 상기 제 1 구동 전극과 동일한 재료의 투명 도전막으로 이루어지는 도전막의 순서로 마련한 구조를 구비하고 있으며, 상기 금속막의 측면은 상기 무기 절연막으로부터 노출되고, 상기 도전막은 당해 영역으로부터 연장되어 당해 측면에 접촉하고 있으며, 상기 제 1 구동 전극 및 상기 실장 단자는 당해 측면에 접촉한 상기 도전막을 통해서 상기 금속막에 도통되고, 상기 금속막을 거쳐서 서로 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성과 같이, 제 1 구동 전극과 실장 단자를 접속하는 배선 패턴은 금속막과 이 금속막의 측면에 접촉한 도전막을 통해서 서로 접속한다. 이에 따라, 배선 패턴은 금속막에 의해 배선의 전기 저항을 작게 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제 1 구동 전극 및 상기 제 2 구동 전극이 서로 겹치는 영역에 대응하여 마련된 복수의 화소로 이루어지는 화상 표시 영역을 구비하고, 상기 화상 표시 영역 근방의 상기 배선 패턴의 일부가 상기 유기 절연막층으로 피복되고, 상기 실장 단자 및 상기 제 1 기판간 도통 단자가 상기 유기 절연막 밖으로 노출되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제 1 구동 전극 및 상기 제 2 구동 전극이 서로 겹치는 영역에 대응하여 마련된 복수의 화소로 이루어지는 화상 표시 영역을 구비하고, 상기 화상 표시 영역 근방의 상기 배선 패턴의 일부가 상기 유기 절연층으로 피복되고, 상기 실장 단자가 상기 유기 절연막 밖으로 노출되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 제 1 구동 전극과 실장 단자를 확실히 도통시키기 위해서 절연막으로부터 노출되는 금속막의 측면의 면적을 늘릴 필요가 있다.
구체적으로는, 금속막의 막 두께를 a, 절연막의 막 두께를 b로 한 경우에, a/b>5인 것이 바람직하다.
또한, 금속막의 막 두께 a는 a>100㎚, 절연막의 막 두께 b는 b<20㎚이더라도 무방하다.
본 발명에 있어서, 상기 배선 패턴은 상기 금속막 및 상기 도전막이 상기 무기 절연막으로부터 노출된 상기 금속막의 상기 측면을 통해서 서로 전기적으로 접속되는 부분을 2부분 이상 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 금속막 중 상기 측면을 통해서 상기 도전막과 전기 적으로 접속되는 부분은 빗살 모양으로 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 빗살 모양으로 형성함으로써, 측면의 면적을 확대할 수 있어, 상기 금속막과 상기 도전막의 전기적인 접촉 면적을 확대하여, 보다 전기 저항을 저감시킬 수 있다.
본 발명에 있어서는, 상기 배선 패턴은 상기 금속막 아래에 형성된 도전성의 하지 밀착막을 구비하고, 상기 금속막 중 상기 측면을 통해서 도전막과 전기적으로 접속되는 부분은 고립된 아일랜드 형상의 패턴으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서는, 상기 밀봉재 내에는 상기 제 1 기판간 단자와 상기 제 2 기판간 단자를 전기적으로 접속하는 도전 입자가 분산되는 것이 바람직하다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명이 채용하는 전기 광학 장치의 구성은, 대향하는 1쌍의 기판 사이에 전기 광학 물질이 개재된 전기 광학 장치에 있어서, 상기 기판 중 한쪽의 기판 상에는 거의 수직으로 솟아오르는 측면을 갖는 형상으로 금속 재료에 의해 형성된 금속막, 상기 금속막을 덮는 절연막, 및 상기 금속막의 측면을 타넘는 배선이 순차적으로 적층되며, 상기 금속막의 측면은 상기 절연막으로부터 노출되고, 상기 금속막과 상기 배선은 당해 측면을 통해서 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성과 같이, 절연막으로부터 노출된 금속막의 측면을 통해서 상기 금속막과 상기 배선을 전기적으로 접속시킴으로써, 예컨대, 금속막의 좌우 측면을 배선이 타넘는 경우를 생각하면, 배선을 거쳐서 전류가 흐르는 경로와, 금속막의 한쪽의 측면으로부터 금속막의 내부를 거쳐서 다른쪽 측면에 이르도록 전류가 흐르는 경로와의 2 계통으로 되어, 경로가 배선만의 전기 저항의 값에 비해서 작게 할 수 있다.
본 발명에 있어서는, 상기 금속 재료는 은 합금, 알루미늄 합금, 알루미늄 중 어느 하나의 금속 재료에 의해서 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서는, 상기 금속 재료는, 상층에 알루미늄 합금 또는 알루미늄을 갖고, 하층에 몰리브덴막 또는 몰리브덴 합금막을 갖는 2층 구조로 하는 것이 바람직하다.
본 발명을 적용한 전기 광학 장치는, 예컨대, 전자 기기의 표시부로서 이용된다.
이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
(실시예)
<전체 구성>
도 1은 본 발명의 일 실시예인 전기 광학 장치로서의 액정 표시 장치(1)의 사시도이며, 도 2는 액정 표시 장치(1)의 분해 사시도이다. 이들 도면 및 이하에 나타내는 각 도면에서는 각 층이나 각 부재를 도면 상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하기 위해서, 편의상, 각 층이나 각 부재마다 축척이나 수를 다르게 하고 있다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치(1)는, 밀봉재(30)에 의해서 소정의 간격을 이간한 상태에서, 투명 재료(예컨대, 유리 등)에 의해서 직사각형 형상으로 형성된 1쌍의 제 1 기판(10) 및 제 2 기판(20)이 접합된 형상을 이룬다. 이들 기판(10, 20) 사이에는 밀봉재(30)에 의해서 액정 봉입 영역(35)이 구획되어 이루어지고, 이 액정 봉입 영역(35) 내에 전기 광학 물질로서의 액정이 봉입되는 것에 의해 액정층(36)(전기 광학 물질층)이 형성된다.
제 1 기판(10)에는 화상이 표시되는 화상 표시 영역(2) 내에서 세로 방향(도 1 및 도 2 중 X 방향)으로 연장되는 복수열의 제 1 구동 전극(150)이 형성되고, 제 2 기판(20)에는 화상 표시 영역(2) 내에서 가로 방향(도 1 및 도 2 중 Y 방향)으로 연장되는 복수열의 제 2 구동 전극(250)이 형성된다.
제 1 기판(10)의 외측 표면에 편광판(61)이 부착되고, 제 2 기판(20)의 외측 표면에는 편광판(62)이 부착된다. 또한, 제 1 기판(10)의 외측에는 백라이트 장치(9)가 배치되어 있다.
이 액정 표시 장치(1)에서는, 제 1 기판(10)과 제 2 기판(20)을 비교하면, 서로 폭 치수(Y 방향)는 거의 동등하고, 길이 치수(X 방향)는 제 1 기판(10)이 길게 되어 있다. 제 1 기판(10)은, 제 2 기판(20)을 접합한 상태에서, 제 2 기판(20)으로부터 연장된 연장 영역(15)을 갖고, 이 연장 영역(15)에는 구동용 IC(50)가 실장되는 실장 단자(160)가 군을 이루어 X축 방향을 향해서 배열한 상태로 형성되어 있다. 또한, 이 실장 단자(160)에는 가효성 기판(8)이 더 실장된다.
또한, 제 1 기판(10) 상에는, 이들 실장 단자(160) 중 Y축 방향의 중앙부 부근에서 배열되어 있는 실장 단자(160)로부터 X축 방향으로 연장되는 제 1 구동 전극(150)을 향해서 제 1 배선 패턴(11)이 형성되어 있다.
또한, 제 1 기판(10)에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 화상 표시 영역(2)의 Y축 방향 양측에는, 제 2 기판(20)과 겹치는 영역에 제 1 기판간 도통 단자(170)가 군을 이루어 Y축 방향을 향해서 배열한 상태로 형성되어 있다. 또한, 구동용 IC(50)가 실장되는 실장 단자(160) 중 Y축 방향 양측의 영역에서 배열되어 있는 실장 단자(160)는 제 1 배선 패턴(11)이 형성되어 있는 영역의 외측을 지나는 제 2 배선 패턴(12)에 의해 제 1 기판간 도통 단자(170)에 접속된다.
이에 반하여, 제 2 기판(20)에서는, 화상 표시 영역(2) 내에서 제 2 구동 전극(250)이 Y축 방향으로 연장되어 있고, 제 2 구동 전극(250)의 단부는 제 1 기판간 도통 단자(170)와 대향하는 위치에 형성된 제 2 기판간 도통 단자(270)(도 4 참조)로 된다.
<기판 상의 구조>
이와 같이 구성한 액정 표시 장치(1)의 구성을 도 3 및 도 4(a), (b)에 근거하여 설명한다.
도 3은 도 1에 나타내는 전기 광학 장치에 이용한 제 1 기판(10)의 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이고, 도 4(a)는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ에서 본 단면도, 도 4(b)는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ 및 Ⅲ-Ⅲ에서 본 단면도이다.
도 3 및 도 4(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판(10)에는, 하층측으로부터 상층측을 향해서, ITO막으로 이루어지는 하지 도전막(110), 은 합금 등으로 이루어지는 광 반사막(120), 컬러 필터층(7R, 7G, 7B), 평탄화막으로서의 유기 절연막(130), 실리콘 산화막 등으로 이루어지는 무기 절연막(140), ITO막으로 이루어 지는 제 1 구동 전극(150) 및 배향막(도시하지 않음)이 순차적으로 형성되어 있다.
이에 반하여, 제 2 기판(20)에는, ITO막으로 이루어지는 제 2 구동 전극(250) 및 배향막(도시하지 않음)이 순차적으로 형성되어 있다.
제 1 기판(10)과 제 2 기판(20)은 수지 성분에 구(球) 형상의 스페이서가 배합된 밀봉재(30)에 의해서 접합되어 있다. 여기서, 밀봉재(30)는 화상 표시 영역(2)을 구획하도록 형성되고, 그 내측이, 전기 광학 물질이 봉입되어 액정층(36)로 된다.
밀봉재(30)에는, 수지 성분에 구 형상의 스페이서 및 도전 입자가 배합된 도전 입자가 들어가 있는 밀봉재(301)와, 수지 성분에 구 형상의 스페이서만이 배합된 밀봉재(302)가 있다. 도전 입자가 들어가 있는 밀봉재(301)는 밀봉재(30)의 4 근처 중, X축 방향으로 연장되는 양변과, 연장 영역(15)측에 위치하여 Y축 방향으로 연장되는 변, 총 3개의 변에 대하여 도포되고, 나머지 변에는 스페이서만이 배합된 밀봉재(302)가 도포된다.
또한, 하지 도전막(110)은, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 광 반사막(120)의 하층측뿐만 아니라, 실장 단자(160)의 하층측으로부터 연장 영역(15)측에서 제 2 기판(20)과 겹치는 위치까지 연장된다. 또한, 하지 도전막(110)은, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 실장 단자(160)의 하층측으로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)의 하층측까지 연장된다.
광 반사막(120)은, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동 전극(150)과 제 2 구동 전극(250)이 대향하는 위치(이하, 화소라고 함)에서는 그 일부가 제거되 어 광 투과 구멍(125)이 뚫린다.
광 반사막(120)과 동시에 형성되는 금속막은, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 실장 단자(160)의 하층측에 위치한 부분이 하지 전극(123)으로 되고, 밀봉재(301)와 겹치는 영역에 위치한 부분이 하지 전극(121)으로 된다. 또한, 광 반사막(120)과 동시에 형성되는 금속막은, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 밀봉재(301)와의 겹치는 위치로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)의 하층측까지 연장되는 부분이 제 2 배선 패턴(12)의 하지 전극(122)으로 된다.
광 반사막(120)의 상층측에는 R(적), G(녹), B(청)의 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)이 형성된다. 이 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)은 색재를 수지에 분산시킨 것이다. 각 화소에서는, 광 반사막(120)이 제거되어 광 투과 구멍(125)이 형성되어 있는 영역이, 광 반사막(120)이 형성되어 있는 영역과 비교하여 두껍게 된다.
컬러 필터층(7R, 7G, 7B)의 상층에는 두꺼운 유기 절연막(130)이 평탄화막으로서 형성되어 있다. 이 유기 절연막(130)은, 화상 표시 영역(2) 내의 제 1 기판(10) 위를 평탄화하는 것이 목적이기 때문에, 실장 단자(160), 제 1 기판간 도통 단자(170) 및 밀봉재(30)가 마련되어 있는 위치를 피하여 형성된다.
또한, 유기 절연막(130)의 상층에는, 제 1 기판(10)의 전면(全面)을 덮도록 얇은 실리콘 산화막으로 이루어지는 무기 절연막(140)이 형성된다.
무기 절연막(140)의 상층에는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 화상 표시 영역(2)에 ITO막으로 이루어지는 제 1 구동 전극(150)이 형성된다. 제 1 구동 전극(150)과 동시에 형성되는 ITO막은, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 실장 단자(160)로부터 밀봉재(301)와 겹치는 부분까지가 제 1 배선 패턴(11)으로 된다.
또한, 이 제 1 구동 전극(150)과 동시에 형성되는 ITO막은, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 실장 단자(160)로부터 밀봉재(301)까지 연장되는 부분이 상층 배선(152)으로 되고, 제 2 기판간 도통 단자(270)와 대향하는 부분이 제 1 기판간 도통 단자(170)로 된다.
<배선 패턴의 구조>
다음에, 도 5 내지 도 8에 근거하여, 본 발명의 특징으로 되는 제 1 배선 패턴(11) 및 제 2 배선 패턴(12)에 대해 설명한다. 도 5는 도 4(a) 중의 (가)부를 확대한 도면이고, 도 6은 도 4(b) 중의 (나)부를 확대한 도이다. 도 7은 도 3 중의 (다)부를 확대한 도면이고, 도 8은 도 7 중의 Ⅳ-Ⅳ선에서 본 단면도이다.
여기서, 하지 전극(121)에는 거의 수직으로 솟아오르는 측면(121A, 121A)이 형성되고, 하지 전극(123)에는 거의 수직으로 솟아오르는 측면(123A)이 형성된다. 또한, 하지 전극(122)에는 거의 수직으로 솟아오르는 측면(122A, 122A)이 형성된다.
또한, 하지 전극(121∼123)으로 되는 금속막의 막 두께 a는 약 100㎚, 무기 절연막(140)의 막 두께 b는 약 20㎚로 되어 있다. 이 때문에, 금속막에 무기 절연막(140)을 형성하는 공정에서, 막 두께의 차로 인해, 금속막의 각 측면에는 무기 절연막(140)이 부착되는 것이 방지된다.
따라서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 하지 전극(121)의 측면(121A)에는 무기 절연막(140)이 부착되지 않는다. 이에 따라, 하지 전극(121)을 타넘는 제 1 배선 패턴(11)은 각 측면(121A)을 거쳐서 하지 전극(121)과 전기적으로 접속된다. 하지 전극(123)의 측면(123A)에는 무기 절연막(140)이 부착되지 않는다. 이에 따라, 하지 전극(123)을 타넘는 제 1 배선 패턴(11)은 측면(123A)을 거쳐서 하지 전극(123)과 전기적으로 접속된다.
여기서, 실장 단자(160)로부터 제 1 구동 전극(150)까지의 경로를 생각하면, 제 1 배선 패턴(11)의 상층 배선(151)을 전류가 흐르는 경로와, 하지 전극(121)의 한쪽 측면(121A)→하지 전극(121)→다른쪽 측면(121A)으로 전류가 흐르는 경로의 총 2개의 경로가 형성되게 된다. 특히, 하지 전극(121)은 금속 재료에 의해서 형성되어 있기 때문에, 상층 배선(151)을 경로로 한 경우의 배선 저항의 값에 비해서, 그 저항값을 대폭 저감할 수 있다.
다음에, 실장 단자(160)로 연결되는 상층 배선(152)과 제 1 기판간 도통 단자(170)를 접속하는 제 2 배선 패턴(12)은, 도 6에 나타내는 바와 같이, 하지 전극(122)을 구비한다. 이 하지 전극(122)의 측면(122A)에는 무기 절연막(140)이 부착되어 있지 않기 때문에, 하지 전극(122)의 각 측면(122A)에 걸친 상층 배선(152) 및 제 1 기판간 도통 단자(170)는 각 측면(122A)을 거쳐서 하지 전극(122)과 전기적으로 접속되게 된다.
실장 단자(160)로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)까지의 경로를 생각하면, 상층 배선(152)→하지 전극(122)의 한쪽 측면(122A)→하지 전극(122)→다른쪽 측면(122A)→제 1 기판간 도통 단자(170)로 전류가 흐르는 경로가 형성된다.
이와 같이, 제 2 배선 패턴(12)을 금속막으로 이루어지는 하지 전극(122)을 이용하도록 했기 때문에, 배선 저항의 값을 대폭 저감할 수 있다.
또한, 하지 전극(122)의 선단은, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 선단이 분기된 치상(齒狀)부(122B, 122B, …)로 되는 빗살 모양으로 형성되어 있다. 이와 같이, 하지 전극(122)의 선단을 빗살 모양으로 형성함으로써, 측면(122A)의 면적을 확대할 수 있어, 제 1 기판간 도통 단자(170)와 하지 전극(122)의 접촉 면적을 확대할 수 있다. 이 결과, 제 1 기판간 도통 단자(170)로부터 하지 전극(122)으로 흘러 들어오는 전류값을 크게 할 수 있어, 나아가서는, 배선 저항의 값을 더욱 저감할 수 있다.
또, 이 하지 전극(122)의 빗살 모양의 형상은 하지 전극(121, 123)에도 적용하더라도 무방한 것은 물론이다.
<제조 방법>
다음에, 도 9, 도 10 및 도 11을 참조하면서, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치(1)를 구성하는 기판(10, 20)의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 9(a)∼(f)는 각각 도 1에 나타내는 액정 표시 장치(1)에 이용한 제 1 기판 및 제 2 기판에 형성된 각 요소의 설명도이다. 도 10(a)∼(f) 및 도 11(a)∼(f)는 각각 도 1에 나타내는 액정 표시 장치(1)에 이용한 제 1 기판 및 제 2 기판의 제조 방법을 나타내는 공정 단면도이다. 또, 도 9(b), (c), (d)에서 화상 표시 영역 내에, 직사각형 범위내 복수의 화소를 확대하여 모식적으로 나타내고 있다.
먼저, 도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 제 2 기판(20)을 제조하기 위해서는, 기판 전면에 ITO막을 형성한 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여 패터닝하고, 화상 표시 영역(2)에서 가로 방향(Y축 방향)으로 연장되는 제 2 구동 전극(250)을 형성한다. 여기서, 제 2 구동 전극(250)의 단부가 제 2 기판간 도통 단자(270)로 된다.
이에 반하여, 제 1 기판(10)을 제조함에 있어서, 먼저, 도 9(b), 도 10(a) 및 도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 기판 전면에 ITO막을 형성한 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여 패터닝하고, 하지 도전막(110)(도 9(b))을 화상 표시 영역(2)에 직사각형 영역으로서 형성한다. 또한, 하지 도전막(110)은 실장 단자(160)의 하층측으로부터 제 2 기판(20)과 겹치기까지의 부분, 및 실장 단자(160)의 하층측으로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)의 하층측까지의 부분에 형성된다.
다음에, 도 9(c), 도 10(b) 및 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 하지 도전막(110)의 상층에 은 합금막 등으로 이루어지는 금속막을 형성한 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여 패터닝하고, 화상 표시 영역(2) 내에 광 반사막(120)(도 9(c))이 형성된다. 이 때, 광 반사막(120)에는, 제 1 구동 전극(150)과 제 2 구동 전극(250)이 대향하는 영역의 일부를 제거하여 광 투과 구멍(125)이 형성된다.
또한, 광 반사막(120)과 동시에 형성된 금속막은, 실장 단자(160)를 형성할 영역의 하층측에 하지 전극(123)으로서 남고, 또한, 제 2 기판(20)과 겹치는 영역에 하지 전극(121)으로서 남는다. 또한, 광 반사막(120)과 동시에 형성된 금속막 은, 제 2 기판(20)과 겹치는 영역으로부터 제 1 기판간 도통 단자(170)까지를 제 2 배선 패턴(12)으로 되는 하지 전극(122)으로서 남는다.
여기서, 광 반사막(120)을 구성하는 금속막의 하층측에 하지 도전막(110)이 형성되어 있기 때문에, 금속막과 기판의 밀착성이 낮더라도, 광 반사막(120) 등의 패터닝 정밀도의 저하나 벗겨짐 등의 불량이 발생하지 않는다.
다음에, 도 9(d), 도 10(c) 및 도 11(c)에 나타내는 바와 같이, 광 반사막(120)의 상층측에서, 화상 표시 영역(2)의 소정 위치에 R(적), G(녹), B(청)의 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)을 형성한다. 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)은 색재를 수지에 분산시켜 이루어지는 것으로서, 각 화소에서, 광 반사막(120)이 제거되어 광 투과 구멍(125)이 형성되어 있는 영역에서는 광 반사막(120)이 형성되어 있는 영역과 비교하여 두껍게 형성된다.
다음에, 도 9(e), 도 10(d) 및 도 11(d)에 나타내는 바와 같이, 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)의 상층에 두꺼운 유기 절연막(130)을 형성한 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여 패터닝하고, 유기 절연막(130)을 화상 표시 영역(2)에 선택적으로 남기고, 그 외주측에는 남기지 않는다. 그 결과, 유기 절연막(130)은 실장 단자(160) 및 제 1 기판간 도통 단자(170)를 피하여 형성되고, 또한, 밀봉재(30)가 도포되는 영역도 피하여 형성된 상태로 된다.
다음에, 도 10(e) 및 도 11(e)에 나타내는 바와 같이, 유기 절연막(130)의 상층에서, 기판 전면에 얇은 실리콘 산화막으로 이루어지는 무기 절연막(140)을 형성한다.
이 때, 상술한 바와 같이, 하지 전극(121∼123)의 측면에는, 무기 절연막(140)의 막 두께의 관계로부터, 무기 절연막(140)이 부착되기 어렵게 하고 있다.
다음에, 도 9(f), 도 10(f) 및 도 11(f)에 나타내는 바와 같이, 무기 절연막(140)의 상층에서 기판 전면에 ITO막을 형성한 후, 포토리소그래피 기술을 이용하여 패터닝하고, 화상 표시 영역(2)에 제 1 구동 전극(150)을 형성한다. 또한, 제 1 구동 전극(150)과 동시에 형성된 ITO막은 실장 단자(160) 및 제 1 기판간 도통 단자(170)로서 남겨진다.
또한, 제 1 구동 전극(150)과 동시에 형성된 ITO막은, 실장 단자(160)로부터 제 2 기판(20)과 겹치는 영역까지가 제 1 배선 패턴(11)의 상층 배선(151)으로서 남겨진다.
에칭을 할 때, 광 반사막(120)을 구성하는 금속막은, 외부에 노출한 상태가 아니기 때문에, ITO막에 대한 에칭액으로 광 반사막(120)을 구성하는 은 합금막이 부식되는 경우는 없다.
<IC의 실장 구조 및 기판간 도통 구조>
실장 단자(160)에는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 수지 성분에 도전 입자(41)가 배합된 이방성 도전막(40)에 의해서 구동용 IC(50)가 실장된다. 이 때, 실장 단자(160)의 하층측에는 실리콘 산화막으로 이루어지는 얇은 무기 절연막(140)이 형성되어 있지만, 그 하층측에는 광 반사막(120)과 동시에 형성된 금속막으로 이루어지는 하지 전극(123)이 형성되어 있다.
이 때문에, 이방성 도전막(40)을 거쳐서 구동용 IC(50)를 제 1 기판(10)의 실장 단자(160)에 접촉시킨 경우, 실장 단자(160)는 하지 전극(123)의 측면(123A)을 통해서 이 하지 전극(123)에 전기적으로 접속되고, 이 하지 전극(123)은 하지 도전막(110)에 전기적으로 접속된다.
또한, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판간 도통 단자(170)와 제 2 기판간 도통 단자(270) 사이에는 도전 입자(303)가 혼재된 밀봉재(301)가 개재되어, 이 밀봉재(301)에 의해서 제 1 기판간 도통 단자(170)와 제 2 기판간 도통 단자(270)는 전기적으로 접속된다. 더구나, 제 1 기판간 도통 단자(170)는 하지 전극(122)을 거쳐서 실장 단자(160)에 접속되기 때문에, 제 2 구동 전극(250)은 제 2 기판간 도통 단자(270)→도전 입자(303)(밀봉재(301))→제 1 기판간 도통 단자(170)→하지 전극(122)(제 2 배선 패턴(12))→상층 배선(12)의 경로로 실장 단자(160)에 접속된다.
이와 같이 구성한 액정 표시 장치(1)에 있어서, 구동용 IC(50)로부터 신호가 출력되면, Y축 방향 중앙에 위치한 각 실장 단자(160)를 거쳐서 출력되는 신호는 상층 배선(151) 및 하지 전극(121)을 구비한 제 1 배선 패턴(11)을 거쳐서 제 1 구동 전극(150)에 공급된다.
이에 반하여, 실장 단자(160) 중 Y축 방향 양측에 형성되어 있는 실장 단자(160)를 거쳐서 출력되는 신호는, 상층 배선(152) 및 하지 전극(122)을 거쳐서 신호가 전달된 후, 제 2 기판(20)과 겹치는 영역에서 제 1 기판간 도통 단자(170), 도전 입자(303) 및 제 2 기판간 도통 단자(270)를 거쳐서 제 2 구동 전극(250)에 공급된다.
이 결과, 제 1 구동 전극(150)과 제 2 구동 전극(250)이 대향하는 부분에서는 액정층(36)의 배향 상태가 화소마다 제어된다. 따라서, 제 2 기판(20)측으로부터 입사한 외광은 광 반사막(120)에서 반사하여 재차, 제 2 기판(20)으로부터 출사되는 동안에 광 변조를 받아 화상을 표시한다(반사 모드). 또한, 제 1 구동 전극(150)의 하층측에 형성한 광 반사막(120)에는 광 투과 구멍(125)이 형성되어 있기 때문에, 제 1 기판(10)의 배면측에 배치한 백라이트 장치(9)로부터 출사된 광은 광 투과 구멍(125)을 투과하여 액정층(36)에 입사하고, 제 2 기판(20)으로부터 출사하는 동안에 광 변조를 받아 화상을 표시한다(투과 모드).
이 때, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치에서는, 제 1 기판(10)에는 제 1 구동 전극(150)과 제 2 구동 전극(250)이 대향하는 영역과 겹치는 부분에 컬러 필터층(7R, 7G, 7B)이 형성되어 있기 때문에, 컬러 화상을 표시하는 것이 가능해진다.
<본 실시예의 효과>
이상 상술한 바와 같이, 실장 단자(160)와 제 1 구동 전극(150)을 접속하는 제 1 배선 패턴(11)의 도중에, 금속막으로부터 형성되는 하지 전극(121)을 이용하여 바이패스 경로를 형성하였다. 이에 따라, 실장 단자(160)와 제 1 구동 전극(150)을 접속하는 제 1 배선 패턴(11)의 배선 저항은 그 값을 상층 배선(151)만으로 접속하고 있었던 경우에 비해서 대폭 작게 할 수 있다.
또한, 실장 단자(160)와 제 2 기판간 도통 단자(270)를 접속하는 제 2 배선 패턴은 금속막으로 이루어지는 하지 전극(122)을 구비하고 있으므로, 배선 저항을 대폭 작게 할 수 있다.
이와 같이, 배선 저항을 대폭 저감할 수 있으므로, 배선에서의 전력 소비를 저감할 수 있어, 배터리나 전지의 수명을 대폭 연장시킬 수 있다.
(변형예)
또, 상기 실시예에서는, 광 반사막으로서 은 합금막, 알루미늄막을 이용한 예를 설명했지만, 알루미늄 합금막, 또는 몰리브덴막 혹은 몰리브덴 합금막과 알루미늄막 혹은 알루미늄 합금막과의 다층 구조 등을 채용하더라도 된다.
또한, 금속막의 막 두께 a와 절연막의 막 두께 b의 관계는 막 두께 a>100㎚, 막 두께 b<20㎚의 조건, 혹은 막 두께의 비율 a/b>5의 조건을 만족하는 막 두께로 형성하면 된다. 이와 같이 막 두께를 조정함으로써, 금속막의 측면에 절연막이 부착하는 것을 적극적으로 방지할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치는, 상술한 액정 표시 장치 외에도, 전계 발광 장치, 특히, 유기 전계 발광 장치, 무기 전계 발광 장치 등이나, 플라즈마 디스플레이 장치, FED(필드 에미션 디스플레이) 장치, LED(발광 다이오드) 표시 장치, 전기 영동 표시 장치, 박형의 브라운관, 액정 셔터 등을 이용한 소형 텔레비전, 디지털 마이크로 미러 장치(DMD)를 이용한 장치 등에 적용 가능하다.
(전자 기기로의 적용)
다음에, 본 발명을 적용한 전기 광학 장치를 구비한 전자 기기의 일례를, 도 12를 참조하여 설명한다.
도 12는 상기 전기 광학 장치와 마찬가지로 구성된 액정 표시 장치(1)를 구비한 전자 기기의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 12에 있어서, 전자 기기는 표시 정보 출력원(1000), 표시 정보 처리 회로(1002), 표시 모드를 전환하기 위한 제어 회로를 구비한 구동 회로(1004), 액정 표시 장치(1), 클럭 발생 회로(1008), 및 전원 회로(1010)를 포함하여 구성된다. 표시 정보 출력원(1000)은 ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory), 광 디스크 등의 메모리, 텔레비전 신호의 화상 신호를 동조하여 출력하는 동조 회로 등을 포함하여 구성되며, 클럭 발생 회로(1008)로부터의 클럭에 근거하여, 소정 포맷의 화상 신호를 처리해서 표시 정보 처리 회로(1002)에 출력한다. 이 표시 정보 처리 회로(1002)는, 예를 들면 증폭·극성 반전 회로, 상 전개 회로, 로테이션 회로, 감마 보정 회로, 혹은 클램프 회로 등의 주지의 각종 처리 회로를 포함하여 구성되며, 클럭 신호에 근거하여 입력된 표시 정보로부터 디지털 신호를 순차적으로 생성하여 클럭 신호 CLK와 함께 구동 회로(1004)에 출력한다. 구동 회로(1004)는 액정 표시 장치(1)를 구동한다. 전원 회로(1010)는 상술한 각 회로에 소정의 전원을 공급한다.
이러한 구성의 전자 기기로서는, 모바일형 퍼스널 컴퓨터, 휴대 전화기, 멀티미디어 대응 퍼스널 컴퓨터(PC), 및 엔지니어링·워크스테이션(EWS), 페이져 혹 은 휴대 전화, 워드프로세서, 텔레비전, 뷰 파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테이프 레코더, 전자 수첩, 전자 탁상 계산기, 카 네비게이션 장치, POS 단말, 터치 패널 등을 들 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에서는 절연막으로부터 노출한 금속막의 측면을 통해서 금속막과 배선을 전기적으로 접속시킨다. 이에 따라, 예컨대, 금속막의 좌우의 측면을 배선이 걸치는 경우를 생각하면, 배선을 거쳐서 전류가 흐르는 경로와, 금속막의 한쪽 측면으로부터 금속막의 내부을 거쳐서 다른쪽 측면에 이르도록 전류가 흐르는 경로의 2 계통으로 되어, 경로가 배선만의 배선 저항으로 대폭 작게 할 수 있다.

Claims (15)

  1. 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판과, 제 1 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 1 구동 전극과, 상기 제 2 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 2 구동 전극과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 밀봉재에 의해 구획되어 이루어진 공간에 봉입된 전기 광학 물질층을 구비한 전기 광학 장치로서,
    상기 제 1 기판에는, 상기 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역에 형성된 실장 단자와, 상기 제 2 기판과 겹치는 영역에 형성된 제 1 기판간 도통 단자와, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 상기 실장 단자를 전기적으로 접속하는 배선 패턴이 마련되고,
    상기 제 2 기판에는, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 전기적으로 접속되고, 또한 상기 제 2 구동 전극과 전기적으로 접속된 제 2 기판간 도통 단자가 마련되고,
    상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 제 1 구동 전극보다 전기적인 배선 저항값이 작고 또한 반사형 표시에 이용되는 금속막과, 절연막이, 이 순서로 마련되어 있고,
    상기 실장 단자 및 상기 제 1 기판간 도통 단자 부분은, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 금속막, 상기 절연막, 상기 제 1 구동 전극 순으로 마련된 구조를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  2. 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 1 구동 전극과, 상기 제 2 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 2 구동 전극과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 밀봉재에 의해 구획되어 이루어진 공간에 봉입된 전기 광학 물질층을 구비한 전기 광학 장치로서,
    상기 제 1 기판에는, 상기 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역에 형성된 실장 단자와, 상기 제 2 기판과 겹치는 영역에 형성된 제 1 기판간 도통 단자와, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 상기 실장 단자를 전기적으로 접속하는 배선 패턴이 마련되고,
    상기 제 2 기판에는, 상기 제 1 기판간 도통 단자와 전기적으로 접속되고, 또한 상기 제 2 구동 전극과 전기적으로 접속된 제 2 기판간 도통 단자가 마련되고,
    상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 제 1 구동 전극보다 전기적인 배선 저항값이 작고, 또한 반사형 표시에 이용되는 금속막과, 절연막이, 이 순서로 마련되어 있고,
    상기 실장 단자 및 상기 제 1 기판간 도통 단자 부분은, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 금속막, 상기 절연막, 상기 제 1 구동 전극 순으로 마련된 구조를 구비하고,
    상기 배선 패턴은, 상기 투명 도전막, 상기 금속막, 상기 투명 도전막 순으로 전류가 흐르는 경로를 갖는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 배선 패턴에는, 상기 전기 광학 물질층이 봉입된 영역 내에서, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 금속막과 상기 절연막이, 이 순으로 적층된 부위 중, 해당 절연막 상에 상기 금속막과 전기적으로 접속된 상기 제 1 구동 전극이 적층되어 있지 않은 부위가 존재하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는, 컬러 필터층과, 해당 컬러 필터층을 덮는 유기 절연막이 마련되고, 상기 금속막과 상기 절연막 사이에 해당 유기 절연막이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 실장 단자 및 상기 제 1 기판간 도통 단자의 상기 금속막과 전기적으로 접속된 투명 도전막은, 상기 배선 패턴이 연장되는 어느 한 쪽에서는 서로 접촉하여 전기적으로 접속된 구조로 되고, 다른 쪽에서는 접촉하지 않는 구조로 되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  6. 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하는 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 1 구동 전극과, 상기 제 2 기판 상에 형성된 투명 도전막으로 이루어지는 제 2 구동 전극과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 밀봉재에 의해 구획되어 이루어진 공간에 봉입된 전기 광학 물질층을 구비하고, 상기 제 1 기판에는 상기 제 2 기판으로부터 연장된 연장 영역이 구비되고, 해당 연장 영역에는 배선 패턴에 의해 상기 제 1 구동 전극과 전기적으로 접속된 실장 단자가 형성된 전기 광학 장치로서,
    상기 제 1 기판과 상기 제 1 구동 전극 사이에는, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 제 1 구동 전극보다 전기적인 배선 저항값이 작은 금속막과, 절연막이 구비되고, 상기 배선 패턴의 일부에는, 상기 제 1 기판쪽으로부터, 상기 금속막과, 상기 절연막과, 투명 도전막이, 이 순서로 마련된 구조를 구비하고 있고,
    상기 배선 패턴은, 상기 제 1 구동 전극의 배선을 통해 전류가 흐르는 경로와, 상기 투명 도전막, 상기 금속막, 상기 투명 도전막의 순으로 전류가 흐르는 경로의 2계통을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 배선부는 상기 실장 단자에 대응한 부분에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 절연막은 상기 제 1 기판의 대략 전체를 덮는 무기 절연막인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  9. 제 1 항, 제 2 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 금속막과 상기 제 1 기판 사이에는, 도전성의 하지 밀착막을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  10. 제 1 항, 제 2 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 금속막의 막 두께를 a, 상기 절연막의 막 두께를 b로 한 경우에, a/b>5인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  11. 제 1 항, 제 2 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 금속막의 막 두께 a는 a>100㎚, 상기 절연막의 막 두께 b는 b<20㎚인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  12. 제 2 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 배선 패턴은, 상기 금속막 및 상기 투명 도전막이 상기 절연막으로부터 노출된 상기 금속막의 측면을 통해 서로 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  13. 제 2 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 금속막 중 측면을 통해 상기 투명 도전막과 전기적으로 접속되는 부분은, 빗살 모양으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
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