KR100606870B1 - 반사방지 코팅을 갖는 광학계 - Google Patents

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Abstract

제 1 매체로부터 제 2 매체로의 적어도 한 개의 전이를 갖는, 렌즈계와 같은 광학계에 있어서, 새롭게 고안된 코팅, 예를 들면 반사방지 코팅이 사용된다. 이 코팅은, 서로 다른 입사각에 대해 각각 최적화된 다수의 서브 코팅으로 이루어진다(25, 30, 35, 40, 45, 50). 이와 같은 코팅을 사용함으로써, 높은 개구수의 광학계를 통과한 빔의 강도가 일정하게 유지될 수 있다.
광학계, 반사장지 코팅, 서브 코팅, 전이, 기록매체, 주사장치, 리소그래피

Description

반사방지 코팅을 갖는 광학계{OPTICAL SYSTEM WITH ANTI-REFLECTION COATING}
본 발명은, 전자기 방사빔을 안내하며, 제 1 매체로부터 제 2 매체로의 적어도 하나의 전이를 갖는 광학계에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 광학 주사장치 또는 리소그래피 투사장치와 같이, 이와 같은 광학계가 그 내부에 사용되는 광학장치에 관한 것이다.
상기한 광학계는, 각각의 렌즈 표면이 상기한 전이, 즉 예를 들면 유리 또는 합성물질과 같은 렌즈 물질과 예를 들면 공기와 같이 렌즈를 둘러싸는 매체사이의 전이를 구성하는, 한 개, 복수 또는 다수의 렌즈부재를 구비한 렌즈계일 수 있다. 이와 달리, 상기한 광학계는, 빔 스플리터, 복굴절판 등과 같은, 렌즈부재 이외의 부품을 포함할 수 있다.
상기한 전이에서의 반사방지 코팅 등의 광학 코팅 또는 클래드를 이용하여, 전이에서의 불필요한 반사의 발생을 방지하는 것이 일반적으로 실시된다. 이와 같은 반사는, 이들 전이를 통한 투과를 줄일 뿐만 아니라, 반사된 방사선은 바람직하지 않은 효과를 일으킬 수 있는 관련된 광학장치 내부의 원하지 않는 위치에 도달할 수 있다.
매우 대중적이고 현재 다수가 제조되고 있는 광학장치는, 오디오 프로그램이 그 내부에 저장된 광 기록매체용 재생장치로서, 이 장치는 CD 재생기로 알려져 있다. 이와 같은 장치는, 특히, 다이오드로부터 발생된 주사빔이 초점이 맞추어져 기록매체의 정보 평면 상에 1㎛ 정도의 직경을 갖는 주사 스폿을 형성하도록 하는 한 개 또는 2개의 비구면 표면을 갖는, 바람직하게는 단일의 렌즈부재의 형태를 지닌 대물렌즈를 구비한다. 예를 들면, 디지털 형태 또는 비디지탈 형태로, 디지털 오디오 프로그램과 비디오 프로그램 또는 영화용 저장매체로서의 광 기록매체의 새로운 용도를 위해, 이와 같은 기록매체의 정보 내용이 상당히 증가되어야 하므로, 기록매체의 동일한 치수에 대해, 정보밀도를 상당히 증가시켜야만 한다. 이것은, 예를 들면, 정보가 인코딩된 형태로 저장되는 정보층 내부에 복수의 피트의 형태로 있는 정보 성분이 상당히 줄어들어야 한다는 것을 의미한다. 더 작은 정보 성분을 분리하여 판독할 수 있도록 하기 위해, 주사 스폿이 마찬가지로 줄어야만 한다. 이 주사 스폿의 크기는 λ/NA에 비례하는데, 이때 λ는 주사 빔의 파장이고 NA는 대물렌즈의 개구수이다. 따라서, 예를 들면 통상적인 860 또는 780 nm 대신에 650 nm의 더 작은 파장을 갖는 주사 빔을 사용하고, 대물렌즈의 개구수를 증가하는 것이 제안되었다.
문헌 "High-numerical-aperture lens systems for optical recording" in Optics Letters, vol. 18, no. 4, 15 February 1993, pp. 305-307에는, 통상적인 대물렌즈와 기록매체 사이에 평면-볼록 렌즈(plano-convex lens)를 설치하고, 이 렌즈의 평탄한 면을 기록매체와 마주보게 함으로써, 광 기록매체용 주사장치에서 개구수를 증가시킬 수 있는 방법에 대해 기재되어 있다. 이와 같은 평면-볼록 렌즈 는, 현미경에서 사용되는 침적렌즈와 유사하게 SIL(solid immersion lens)로도 불린다. 대물렌즈와 상기한 평면-볼록 렌즈의 조합으로 0.85의 NA를 실현할 수 있다.
그러나, 높은 개구수를 갖는 이와 같은 광학계를 사용하는 경우에, 주사 빔이 렌즈 조합을 통과한 후에 더 이상 균일한 강도 분포를 갖지 않으므로, 이 빔에 의해 형성된 주사 스폿은 원하는 품질을 갖지 않는다. 그 결과, 판독신호가 상당히 줄어든 품질을 갖게 된다.
결국, 본 발명의 목적은, 특히, 광학계를 통과한 빔의 강도 분포에 영향을 미치지 않는, 광 기록매체용 주사장치를 위한 높은 개구수를 갖는 광학계를 제공함에 있다. 이와 같은 광학계는, 상기 전이의 영역에 설치된 반사방지 코팅이 서로 다른 입사각에 대해 최대로 반사방지성을 갖는 적어도 2개의 서브 코팅을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다수의 개구에서, 표준 코팅은 반사선의 효과를 손상하지 않는 렌즈표면상에 정상으로, 또 큰 각도, 예를 들면 ４０°이상의 각도로 이 표면상에 구성되는 반사방지 코팅상에 빔의 가장자리 광선이 입사한다는 착상에 근거하고 있다. 그 결과, 관련된 렌즈부재의 투과율은 광축까지의 거리에 의존하는데, 광축까지의 거리가 증가함에 따라 투과율이 더 작아진다. 본 발명에 따르면, 이와 같은 새로운 문제점은, 0°의 입사각에 대해 최적화된 표준 코팅 대신에, 그 각각이 서로 다른 입사각에 대해 최적화된 다수의 서브 코팅의 조합을 사용함으로써 해결된다. 이와 같은 합성 코팅은, 높은 개구수에서 발생하는 것과 같이 커다란 입사각의 퍼짐에 대해 원하는 효과를 유지한다.
원리상, 광학계 내부의 서브 코팅은, 두께와 굴절률의 곱이 일정한 값을 갖는 단일 층으로 구성될 수 있다. 상기한 광학계는, 각각의 서브 코팅은 서로 다른 물질로 이루어진 적어도 2개의 층으로 구성된 또 다른 특징을 갖는다.
단일층으로 이루어진 서브 코팅과 마찬가지로, 2개의 층으로 구성된 서브 코팅은, 이하에서 설계 각도로 칭하는, 그것이 설계된 각도에 대해 0%의 반사율을 갖지만, 설계 각도 근처의 입사각의 작은 범위에 대해서는 예를 들면 1%보다 작은 반사율을 갖는다. 서브 코팅을 2개의 층을 구성하는 대신에, 2개 또는 그 이상의 층으로 이루어진 서브 코팅이 사용될 수 있다. 3개의 층으로 구성된 코팅은 더 넓은 범위의 입사각에 걸쳐 작은 반사율을 갖는 반면에, 설계 각도에 대한 반사율은 제로 퍼센트보다 약간 크다.
0.85 정도의 개구수에 적합한 광학계의 실용적인 실시예는, 상기 코팅이 서로 다른 물질로 이루어진 2개의 층으로 각각 구성된 7개의 2층 서브 코팅으로 이루어진 적층체를 구비하고, 이들 서브 코팅은 각각 0°, 15°, 30°, 40°, 45°, 50° 및 55°의 입사각에 대해 최대의 반사방지성을 갖는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 서브 코팅의 개수 및 제한된 전체 수의 층과, 서브 코팅이 최적화된 입사각의 선택에 의해, 거의 균일한 투과율을 갖는 상기한 개구수를 갖는 광학계가 구현될 수 있다.
코팅이 동일한 수의 층을 갖는 서브 코팅만을 포함하는 대신에, 상기한 광학계는, 상기 코팅이, 2층 서브 코팅과, 서로 다른 물질로 이루어진 3개의 층으로 각각 구성된 3층 서브 코팅의 조합을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 코팅은, 2층 서브 코팅과 3층 서브 코팅의 장점을 겸비한다.
상기한 2층 및 3층 서브 코팅은 서로 다른 방식으로 배치될 수 있다. 이와 같은 코팅을 지닌 광학계의 바람직한 실시예는, 상기 코팅이 2층 서브 코팅으로 이루어진 제 1 적층체와, 3층 서브 코팅으로 이루어진 제 2 적층체를 구비한 것을 특징으로 한다.
이와 같은 코팅을 갖는 광학계의 바람직한 실시예는, 제 1 및 제 2 적층체가, 0°, 10°, 20°, 30°, 40°, 50°, 55° 및 60°의 입사각에 대해 최대의 반사방지성을 각각 갖는 8개의 서브 코팅을 각각 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명은 서로 다른 형태의 광학계에 사용될 수 있다. 제 1 용도는, 적어도 한 개의 렌즈부재를 구비하고, 각각의 렌즈부재의 2개의 렌즈 표면이 각각 상기한 전이를 구성하는 렌즈계의 형태를 갖는 광학계이다. 따라서, 이와 같은 렌즈계는, 렌즈 표면이 상기 코팅을 구비한 것을 특징으로 한다.
이와 달리, 상기한 렌즈계는, 2개 내지 더 큰 수의 렌즈부재의 범위에 있는 다수의 렌즈부재를 구비하고, 본 발명에 따른 코팅이, 렌즈계를 통과하는 빔이 큰 개구 각도를 갖는 렌즈 표면에 설치된다.
상기한 광학계는, 일반적으로 빔의 주 광선에 대해 45°의 각도로 배치되고 광선이 그 위에 매우 다른 입사각으로 입사할 수 있는 빔 스플리터, 또는 예를 들면 λ/4판의 형태를 갖는 복굴절판과 같이, 렌즈부재 이외의 부품이 그 내부에 배치될 수 있는 더 큰 광학계의 일부분을 형성할 수 있다. 본 발명에 따른 코팅이 이들 부재 위에 설치될 수도 있다. 본 발명의 용도는, 렌즈부재와 조합한 이들 부재 에 제한되지 않으며, 한가지 부재로서, 또는 렌즈계 이외의 광학계와 결합된 부재로서 이들 렌즈부재를 포함한다.
특정한 렌즈계는, 더 큰 수의 렌즈부재를 구비하고, 바람직하게는 IC 패턴과 같이 마스크 패턴의 최소의 상세내용의 상을 형성할 수 있도록 하는 최대의 개구수를 갖는 리소그래피 투사렌즈이다.
또 다른 특별한 렌즈계로는, 대물렌즈와, 대물렌즈와 마주보는 볼록 표면을 갖는 평면-볼록 렌즈의 전술한 조합을 들 수 있다. 이와 같은 조합은, 광 기록매체용 판독장치에 사용될 수 있으며, 예를 들면 광학 현미경에도 사용될 수 있다.
또한, 본 발명은, 투사 빔을 공급하는 UV 방사원과, 투사하려는 마스크를 지지하는 마스크 홀더와, 마스크가 그 위에 투사되는 기판을 지지하는 기판 홀더와, 마스크 홀더와 기판 홀더 사이에 배치된 투사장치를 구비한 리소그래피 투사장치에 관한 것이다. 이 장치는, 상기 투사장치가 전술한 광학계인 것을 특징으로 한다.
더구나, 본 발명은, 정보 평면과 투명 기판을 갖는 광 기록매체를 주사하며, 주사 빔을 공급하는 방사원과, 기판을 통해 주사 빔을 수렴하여 정보층 위에 주사 스폿을 형성하는 렌즈계를 구비한 광학 주사장치에 관한 것이다. 이 주사장치는, 상기 렌즈계가 대물렌즈와 평면-볼록 렌즈의 상기 조합으로 이루어지고, 평면-볼록 렌즈의 평탄한 면이 기판과 마주보는 것을 특징으로 한다.
본 발명이 이와 같은 발명내용과 또 다른 발명내용은 이하에서 설명되는 실시예를 참조하여 보다 명백해질 것이다.
도 1은 빔 내부의 렌즈부재의 표면에 대한 서로 다른 입사각을 나타낸 것이고,
도 2는 빔 내부의 강도 분포에 대한 서로 다른 입사각의 효과를 나타낸 것이며,
도 3은 서로 다른 층 수 및 0°의 설계 각도를 갖는 코팅에 대해 입사각의 함수로써의 S 및 P-편광 방사선의 반사 계수를 나타낸 것이고,
도 4는 0° 및 50°의 설계 각도를 각각 갖는 2가지의 다른 2층 코팅에 대해 입사각의 함수로써의 평균 반사 계수를 나타낸 것이며,
도 5는 큰 개구수를 갖는 렌즈계의 일 실시예를 나타낸 것이고,
도 6은 본 발명에 따른 반사방지 코팅의 제 1 실시예를 나타낸 것이며,
도 7은 서로 다른 반사방지 코팅, 특히 본 발명에 따른 코팅에 대해 도 5에 도시된 렌즈계에 대한 광축까지의 거리의 함수로써의 투과율을 나타낸 것이고,
도 8은 본 발명에 따른 반사방지 코팅의 제 2 실시예를 나타낸 것이며,
도 9는 본 발명이 적용된 광 기록매체용 주사장치의 일 실시예를 나타낸 것이다.
도 1은 방사 빔 b가 입사되는 렌즈계 또는 다른 광학계의 일부분을 구성하는 렌즈부재(1)를 나타낸 것이다. 렌즈부재는, 유리 또는 투명한 합성물질로 이루어진 렌즈 몸체(2)로 구성되고, 그것의 표면 5 및 6에는 반사방지 코팅 7 및 8이 설치된다. 광축 OO'까지 서로 다른 거리 h1 및 h2를 갖는 빔 b의 2개의 광선 b1 및 b2가 도 시되어 있다. 이와 같은 서로 다른 거리 및 렌즈 표면(5)의 곡률로 인해, 이 렌즈 표면에, 따라서 반사반지 코팅(7)에 광선이 입사될 때의 입사각 α1 및 α2가 서로 다르게 된다. 광축까지의 거리가 증가함에 따라, 입사각도 증가한다.
렌즈 표면에 대한 가장 간단한 반사방지 코팅은, 광학 두께 D = nxd가 정확하게 입사 방사 빔 b의 파장의 1/4가 되도록, 일정한 굴절률 n과 일정한 두께 d를 갖는 물질로 이루어진 단일 층으로 구성된 1층 코팅에 해당한다. 반사방지 코팅을 설치함으로써, 두 가지 전이, 즉 공기 또는 다른 주변 매체의 반사방지 물질로의 제 1 전이와, 이 물질의 렌즈 물질로의 제 2 전이가 형성된다. 방사선이 반사될 때, 그것의 일부는 제 1 전이로부터 유래되고, 나머지는 제 2 전이로부터 유래된다. 반사방지 코팅의 광학 두께, 따라서 전이 사이의 거리가 1/4 파장인 경우에, 제 2 전이로부터 유래된 반사된 방사선은 제 1 전이로부터 유래되어 반사된 방사선에 대해 정확히 180°위상이 지연된다. 이에 따라, 반사된 방사선 부분 사이에 상쇄 간섭이 발생하여, 반사된 빔이 소멸되는데, 즉 렌즈 표면과 반사방지 코팅의 반사율이 제로값이 된다.
공지된 것과 같이, 상기한 위상차는 빔 b의 파장에 의존한다. 입사각은 반사방지 코팅 내부의 광선 또는 빔 부분에 의해 커버되는 경로 길이를 결정하기 때문에, 위상차도 입사각에 의존한다. 그 결과, 주어진 파장과 주어진 입사각에 대해 상쇄 간섭만이 존재한다. 본 발명에 대해서는, 입사각의 의존성만이 중요하다. 이 각도 의존성은 특히 빔의 가장자리 광선 또는 가장자리 부분에서 나타나게 되는데, 이것은 그것의 입사각이 광축에 근접하거나 광축을 따라 연장된 광선 또는 빔 부분 의 입사각보다 크기 때문이다. 통상적인 것과 같이, 반사방지 코팅이 제로값과 동일한 입사각에 대해 설계되면, 광축을 따라 연장된 빔 부분에 대해, 이와 같은 코팅은 광축으로부터 증가하는 거리에 존재하는 빔 부분에 대해 점점 더 효과가 줄어든다. 광축으로부터 증가하는 거리에 존재하는 빔 부분에 대해, 증가하는 부분은 반사되고 감소하는 부분은 통과한다. 이것은, 렌즈부재로부터 나온 빔이 더 이상 균일한 강도를 갖지 않는다는 것을 의미한다.
광 기록매체용 주사장치에 있어서 렌즈부재를 판독 대물렌즈 또는 이와 같은 대물렌즈의 일부로서 사용할 때, 이와 같은 대물렌즈의 도움으로 형성된 방사선 스폿은 더 이상 원하는 균일한 강도를 갖지 않는다. 이것을 도 2에 나타내었다. 이 도면에 있어서, 기준값 IDb는 대물렌즈 Obj에 입사하는 빔의 강도 분포를 나타내고, TRobj는 대물렌즈의 투과 특성을 표시하며, IDsp는 형성된 주사 스폿의 강도 분포를 나타낸다. 이때, 입사하는 빔은 균일한 강도를 갖는 것으로 가정하였다. 도 2의 좌측 부분은 이상적인 상태를 나타낸다. 대물렌즈는 전체 직경에 걸쳐 일정한 투과율을 갖고, 대물렌즈를 사용하여 형성된 주사 스폿의 강도는 가공의 분포(Airy distribution), 즉 가능한 한 폭이 좁으며 높은 중앙 로브(lob)와 가능한 한 높이가 낮은 일부의 사이드 로브를 갖는다. 일반적으로, 전폭 반 최대치(full-width half maximum: FWHM) d는 형성된 스폿의 크기, 즉 강도가 중앙부의 강도의 절반으로 줄어드는 위치에 있는 폭에 대한 측정값으로 취해진다. 도 2의 우측 부분에 도시된 것과 같이, 대물렌즈의 투과율 TR'obj가 중앙부로부터 모서리를 향해 줄어들면, 이와 같은 대물렌즈를 사용하여 형성된 방사 스폿은 가우시안 강도 분포 ID'sp를 갖는다, 원리상, FWHM d', 이에 따라 주사 스폿의 크기는 도 2의 좌측 부분에 도시된 것보다 크다.
반사방지 코팅의 효과가 입사각에 의존하는 정도, 따라서, 대물렌즈로부터 나온 빔의 강도가 균일하지 않은 정도는, 대물렌즈의 개구수에 의해 결정된다. 0.45의 차수의 개구수를 갖는 종래의 대물렌즈에 있어서, 이 효과는 무시할 수 있다. 40°또는 그 이상의 입사각이 발생할 수 있는, 더 큰 개구수, 예를 들면 0.85의 차수의 개구수를 갖는 미래의 대물렌즈에 대해, 빔의 가장자리에서의 강도는 10% 이상 만큼 줄어들 수 있다.
본 발명은, 입사각의 의존성을 거의 갖지 않으며, 더 높은 개구수에서도, 특히 균일한 강도를 갖는 빔과 가공의 분포를 갖는 주사 스폿이 얻어질 수 있도록 하는 반사방지 코팅을 제공한다. 본 발명에 따르면, 상기한 코팅은 복수의 서브 코팅으로 이루어지며, 한편으로, 이와 같은 서브 코팅은 합성 코팅일 수 있고, 예를 들면 2개 또는 3개의 층으로 구성될 수 있다.
도 3은 0°의 설계 각도 α와 650 nm의 설계 파장에 대해 최적화된, 2층 서브 코팅(2-L) 및 3층 서브 코팅(3-L)의 입사각 의존성을 나타낸 것이다. 입사각 α는 횡축에 도시하였으며, 반사 계수 R은 종축에 % 단위로 도시하였다. 비교를 위해, 코팅되지 않은 공기-유리 전이(0-L)에 대한 입사각의 함수로써의 반사 계수의 변화를 나타내었다. 방사선의 편광은 0°와 같지 않은 입사각에 대해 중요한 역할을 하기 때문에, 도 3에는 이들 반사 계수의 평균(AV) 뿐만 아니라, S 편광(S) 및 P 편광(P)에 대한 반사 계수를 나타내었다.
도 4는 0°의 설계 각도에 대해 최적화된 제 1의 2층 서브 코팅과, 50°의 설계 각도에 대해 최적화된 제 2의 2층 서브 코팅에 대한 입사각의 함수로써의 평균 반사계수 R을 나타낸 것이다. 도면에 도시된 것과 같이, 제 2 서브 코팅은 제 1 서브 코팅보다 더 큰 입사각에 대해 효과적이다. 최대로 허용가능한 반사율에 대한 한계가 1%로 설정되며, 40°에 이르는 입사각에 대해 제 1 서브 코팅이 사용될 수 있는 반면, 약 25°내지 50°의 입사각에 대해서는 제 2 서브 코팅이 사용될 수 있다. 그러나, 약 25°보다 작은 입사각에 대해서는 제 2 코팅이 적합하지 않다.
그러나, 서로 다른 설계 각도에 대해 최적화된 복수의 서브 코팅의 본 발명에 따른 조합은, 2가지 매체 사이의 전이, 예를 들면 공기-유리 전이에 걸친, 또는 다수의 이들 전이에 걸친 순 투과율을 필요에 따라 변형할 수 있는 가능성을 제공한다.
이와 같은 일련의 전이에 대한 일례를 도 5에 나타내었다. 이 도면에는, 매우 높은 정보밀도를 갖는 광 기록매체에 대한 주사장치를 위해 구성된 렌즈계가 도시되어 있다. 이 렌즈계는, 우측으로부터 들어온 예를 들면 평행한 빔 b를 수렴하는 렌즈 표면 11 및 12를 갖는 대물렌즈(10)와, 빔을 정보 평면(21) 상의 주사 스폿(25)에 초점을 맞추는 렌즈 표면 16 및 17을 갖는 평면-볼록 렌즈(15)를 구비하는데, 이때 이중에서 투명 기판만을 도시하였다. 이 렌즈계는, 반사가 그 위에서 발생할 수 있는 4개의 굴절면(11, 12, 16, 17)을 구비한다. 어떠한 반사방지 코팅도 렌즈 표면에 설치되지 않거나, 0°의 설계 각도에 대해 최적화된 단일의 표준 반사방지 코팅이 렌즈 표면에 설치된 경우에, 광축으로부터 더 멀리 떨어진 광선이 렌즈계의 전체 투과율이 이들 광선에 대해 줄어들므로 줄어든 강도를 갖기 때문에, 동일한 강도를 갖는 모든 광선이 렌즈계를 통과한 후에 불균일한 방사선 분포를 갖는다. 그 결과, 가장자리 강도가 10% 이상 줄어들 수 있다. 이 4개의 렌즈 표면 각각에 복수의 서브 코팅의 조합을 설치함으로써, 빔이 렌즈계를 통과한 후에도, 빔이 여전히 균일하게 될 수 있다. 이에 따라, 광축으로부터 더 멀리 떨어진 렌즈계의 부분의 투과율이 증가하는 한편, 이들 렌즈의 중앙 부분의 투과율이 매우 작은 양으로 줄어든다.
적절한 복수의 서브 코팅의 조합을 결정할 때에는, 예를 들면, 투과율의 최소의 분산 조건 또는 최소의 분산 조건과 투과율의 평균값이 적어도 95%가 되어야 한다는 것과 같은 서로 다른 조건이 부과될 수 있다.
0.85의 개구수를 갖는 도 5에 도시된 렌즈계와 650 nm의 파장에 적합한 본 발명에 따른 반사방지 코팅의 제 1 실시예는, 공지된 반사방지 물질 SiO2 및 TiO2로 구성된 층을 갖는 7개의 2층 서브 코팅의 조합을 구비한다. 이 코팅을 도 6에 나타내었다. 복수의 서브 코팅을 도면부호 25, 30, 35, 40, 45 및 50으로 각각 표시하였으며, 이들 서브 코팅의 층을 도면부호 26, 27, 31, 32, 36, 37. 41, 42, 46, 47, 51, 52, 56 및 57로 각각 표시하였다. 서로 다른 서브 코팅은 각각 0°, 15°, 30°, 40°, 45°, 50° 및 55°의 설계 각도에 대해 최적화된다. 계산시에, 6개의 광선을 사용할 수 있는데, 이들 중에서 한 개는 광축과 일치하며, 나머지는 이 축으로부터 증가하는 거리에 놓인다. 각각의 표면에 대한 각각의 광선의 입사각은 " 광선 추적(ray tracing)" 프로그램으로 알려진 적절한 컴퓨터 프로그램을 사용하여 고정될 수 있다. 이때, 서로 다른 렌즈 표면에 대한 코팅은, "TFCalc" 및 "FilmStat Design"과 같은 공지된 프로그램과 같은 공지된 특수한 컴퓨터 프로그램을 사용하여 최적화될 수 있다. 이에 따라, 코팅에 대한 상세내용, 즉 각각의 층의 두께 d와 굴절률 n을 사용할 수 있게 된다.
도 7은 도 5에 도시된 렌즈계의 6개의 광선의 전체 투과율을 나타낸 것으로, 그것의 렌즈 표면에는 본 실시예의 반사방지 코팅(CC)이 설치된다. 동공(pupil) 광선을 사용하여 정규화된 광축까지의 거리(h/Rp)를 횡축에 도시하였으며, 전체 투과율(Tt)을 종축에 나타내었다. 비교를 위해, 0°의 설계 각도를 갖는 표준 2층 코팅을 사용한 경우의 투과율(SC)과, 어떠한 코팅도 사용되지 않은 경우의 투과율(NC)을 마찬가지로 나타내었다. 이 도면으로부터, 서로 다른 광선에 대한 투과율의 표준 편차가 최적화된 합성 코팅 CC에 대해 1.35%이고 중앙 투과율이 95.5%인 반면에, 가장자리에서의 투과율이 93.38% 라는 것을 도출할 수 있다. 표준 코팅 SS에 대해서는, 분산이 3.84%이고, 중앙 투과율이 100%이며, 가장자리에서의 투과율이 90.34%이다.
이때, 본 실시예의 조합 코팅은 설계 각도에 대해서만 최적화되었다는 점에 주목하기 바란다. 새로운 코팅 내부에 3층 서브 코팅이 설치되는 경우에, 더 우수한 결과를 얻을 수 있다.
도 7에는, 렌즈계의 동공 전체에 걸쳐 더욱 더 균일한 투과율이 동공의 중앙부에 줄어든 투과율을 수반하는 것으로 나타나 있다. 그러나, 동공 전체를 통해 적분하면, 전체의 통과된 강도는 훨씬 작지는 않으며, 심지어는 표준 코팅 SC가 사용된 경우보다 더 우수하게 최적화된 코팅에 대해 더 큰 값을 갖는다. 이에 대한 이유는, 평탄한 파면을 갖는 빔이 그것의 가장자리에서 가장 큰 강도를 갖기 때문에, 가장자리에서의 투과율의 감소는 전체 강도의 상당한 감소를 유발한다.
도 8은, 복수의 2층 서브 코팅과 3층 서브 코팅이 사용된 신규한 코팅의 일 실시예를 나타낸 것이다. 이 코팅은, 8개의 2층 서브 코팅 60, 65, 70, 75, 80, 85, 90 및 95로 이루어진 제 1 적층체 P1과, 3층 서브 코팅 100, 105, 110, 115, 120, 125, 130 및 135로 이루어진 제 2 적층체로 구성된다. 복수의 서브 코팅의 층은, 이들 층이 서로 다른 굴절률을 가질 뿐만 아니라, 서로 다른 두께를 가질 수 있다는 것을 나타내기 위해 별도의 도면부호, 예를 들면 서브 코팅 60에 대해서는 61 및 62와, 서브 코팅 135에 대해서는 137 및 138로 표시하였다. 2층 서브 코팅의 층들 공지된 반사방지 물질 SiO2 및 TiO2로 구성될 수 있으며, 3층 서브 코팅의 층들은 마찬가지로 공지된 반사방지 물질 Al2O3, ZrO2 및 MgF2로 구성될 수 있다. 양 적층체의 서브 코팅은, 각각 0°, 10°, 20°, 30°, 40°, 50°, 55° 및 60°의 입사각에 대해 최적화된다.
도 9는 본 발명이 적용될 수 있는 광 기록매체(140)용 주사장치의 일 실시예를 나타낸 것이다. 기록매체는, 정보층(143)을 구비한 투명 기판(142)을 갖는다. 이때, 외부의 영향으로부터 정보층을 보호하는 보호층(144)이 기판으로부터 떨어진 정보층의 일측에 설치될 수 있다. 정보층 내부에, 정보는 평행한 복수의 트랙 또는 나선형 트랙으로 배치된 광학적으로 판독가능한 복수의 정보 요소 내부에 저장된다. 이들 정보 요소은, 임의의 광학적으로 판독가능한 형태를 가질 수 있으며, 예를 들면 그것의 주변과는 다른 반사계수 또는 자화 방향을 갖는 복수의 피트 또는 영역으로 구성된다.
상기한 주사장치는, 발산하는 주사빔(147)을 방출하는 방사원(146), 예를 들면 반도체 레이저를 구비한다. 이 빔은, 예를 들면 반투과판의 형태를 갖는 빔 스플리터(148)에 의해 렌즈계로 반사된다. 이 렌즈계는, 집광 렌즈(149), 대물렌즈(150) 및 평면-볼록 렌즈(151)를 구비한다. 집광 렌즈는 발산하는 빔을 평행한 빔(152)으로 변화시킨다. 이 빔과 대물렌즈(150) 및 평면-볼록 렌즈(151)는 도 5에 도시된 빔 b와 렌즈 10 및 15에 대응한다. 광축(153)을 갖는 대물렌즈(150)는, 평행한 빔(152)을 렌즈(151)에 입사되는 수렴 빔(154)으로 변화시킨다. 상기한 집광렌즈(149)와 대물렌즈는 한 개의 렌즈로 일체화될 수 있다. 평면-볼록 렌즈는, 그것에 입사된 빔(154)을 정보층(143)에 초점이 맞추어지는 수렴 빔(155)으로 변화시킨다. 평면-볼록 렌즈(151)의 평탄한 측면은, 이 렌즈와 기판 사이에 갭이 존재하도록 투명 기판과 마주본다. 대물렌즈를 도면에는 단일의 렌즈 부재로 도시하였지만, 이 대물렌즈는 복수의 렌즈부재로 구성될 수도 있다. 정보층(143)에 의해 반사된 수렴 빔(155)의 방사선은, 진행하는 빔(154)의 경로를 따라 복귀하는 반사된 빔(157)을 구성한다. 대물렌즈(150)와 집광렌즈(149)는 빔(157)을 수렴하는 반사된 빔(158)으로 변화시키고, 빔 스플리터(148)는 이 빔의 일부분을 검출계(159)로 통과시킨다. 이 검출계는 정보층에 의해 변조된 방사선을 이 정보신호를 나타내는 정 보신호(160)로 변환한다.
렌즈 150 및 151의 표면은 전술한 것과 같은 조성을 갖는 반사방지 코팅(161, 162, 163, 164)을 구비한다.
이와 같은 코팅은 렌즈 표면 뿐만 아니라, 장치의 다른 부재의 표면, 특히 빔이 큰 개구수를 갖는 표면에 설치될 수 있다. 예를 들면, 빔 내부에 45°의 각도로 배치된 빔 스플리터(148)이다. 이와 같은 방향으로 인해, 빔의 서로 다른 광선의 입사각은 큰 변화를 가지므로, 빔 스플리터에 의해 반사된 빔도 균일하지 않은 강도를 얻을 수 있다. 이것은, 빔 스플리터에 전술한 것과 같은 반사방지 코팅을 설치함으로써 방지될 수 있다.
도 9로부터 알 수 있듯이, 공기와 투명 기판(142) 사이에 있는 전이 영역에서 큰 개구수를 가지므로, 이 영역에서 40° 또는 그 이상의 입사각이 발생할 수 있다. 따라서, 반사에 기인하여 줄어든 가장자리 강도의 문제가 이 전이에서도 발생한다. 이와 같은 문제점은, 이러한 전이에도 본 발명에 따른 반사방지 코팅을 설치함으로써 해결될 수 있으며, 이것은 본 발명의 또 다른 용도를 포함한다.
그러나, 이 문제에 대한 다른 해결책이 더 바람직하다. 이러한 해결책은, 렌즈계의 투과 특성의 변형으로 이루어진다. 렌즈 표면에의 반사방지 코팅의 조합에 대한 적절한 선택을 통해, 빔의 가장자리에 대한 렌즈계의 투과율이 추가로 증가되도록 함으로써, 공기와 기판 사이의 전이에서의 줄어든 가장자리 투과율을 보상할 수 있다.
본 발명은, 광 기록매체용 주사장치에 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 여러 가지의 다른 장치와 수많은 다른 부재를 위해 사용될 수 있다. 일례로는, 마스크 패턴, 예를 들면 IC 패턴이 기판에 반복적으로 상이 형성될 수 있도록 하는 리소그래피 투사장치 내부의 투사 렌즈 내부의 용도를 들 수 있다. 기판에 최소 크기를 갖는 상세한 상을 형성할 수 있도록 하기 위해, 투사렌즈는, 투사 빔의 광선이 이와 같은 투사장치 내부의 다수의 렌즈계의 표면에 매우 다른 각도로 입사될 수 있도록 최대 개구를 가져야만 한다. 또한, 이들 장치에서는, 본 발명에 의해, 투사 빔이 이들 서로 다른 입사각으로 인해 균일하지 않은 강도 분포를 얻는 것을 방지할 수 있다. 상기한 리소그래피 투사장치와 리소그래피 투사 렌즈에 대한 다양한 실시예가 공지되어 있다. 일례로서, 리소그래피 투사장치의 설명에 대해서는 US-A 4,778,275를 참조하기 바라며, 투사 렌즈의 내용에 대해서는 EP-A 0 770 895를 참조하기 바란다.
본 발명은 일반적으로 높은 개구수가 요구되거나 필요한 광학계에 사용될 수 있다.
이와 달리, 본 발명의 개념은, 광학계 내부의 투과율 이외의 파라미터를 최적화하는데 사용될 수 있다. 이것의 일례로는, 빔이 광학계를 통과한 후의 빔의 광학 위상을 들 수 있다. 광학계의 표면에 예를 들면 표준 반사방지 코팅의 설치로 인해 일부의 광학 경로 길이가 추가되기 때문에, 입사각에 의존하는 빔 내부의 상전이가 발생할 수 있다. 이와 같은 상전이는, 이와 같은 위상차를 보상하는 합성 코팅이 설계될 수 있도록 계산될 수 있다.
본 발명의 용도는, 높은 개구수를 갖는 시스템에 한정되지 않으며, 이와 달리 더 낮은 개구수를 갖는 시스템에 있어서 부작용을 최소하는데 사용될 수도 있다. 예를 들면, 코팅을 설치하는데 있어서 문제점은, 코팅하려는 표면상에서 통상적으로 스퍼터링 또는 증착 유속의 방향으로 더 큰 각도로 연장됨으로써 스퍼터링되거나 증착되는 층의 두께가 감소한다는 것이다. 반사방지 코팅에 대해, 층 두께의 변화는 반사 특성의 변화를 포함한다. 이와 같은 문제는, 특히 평면-볼록 렌즈의 볼록한 표면이 이 경우는 반구의 형태를 갖기 때문에, 광 디스크를 판독하는 높은 개구수의 렌즈계에서 발생할 수 있다. 이와 같은 증착공정 또는 스퍼터링 공정의 효과는, 본 발명에 따른 합성 코팅의 변형된 실시예에 의해 보상될 수 있다.
스펙트럼의 청색 영역에 있는 파장을 갖는 주사 빔과 높은 개구수를 갖는 대물렌즈가 그 내부에 사용되는, 매우 높은 정보밀도를 갖는 광 기록매체용 주사장치를 설계하는 경우에, 목표는 호환성이 얻어지도록 이와 같은 장치를 낮은 정보밀도를 갖는 현존하는 광 기록매체를 주사하기에 적합하도록 하는 것이다. 그러나, 후자의 기록매체는, 적색 레이저 빔과 더 작은 개구수를 갖는 대물렌즈를 사용하여 주사되도록 설계된다. 이와 같은 기록매체용 주사장치에게 더 작은 밀도를 갖는 기록매체를 주사하기에 적합한 높은 밀도를 부여하기 위해서는, 청색 방사선을 방출하는 레이저 뿐만 아니라, 적색 방사선을 방출하는 레이저를 구비할 수 있다. 그러나, 이와 같은 장치의 렌즈계의 개구수는 청색 방사선에 대해서보다 적색 방사선에 대해 더 작아야 한다. 본 발명에 따르면, 이것은, 높은 개구수를 갖는 렌즈계의 렌즈 표면에 모서리 부분에서 칼라 선택성을 갖는, 즉 청색 방사선만을 통과시키는 코팅을 설치함으로써 실현될 수 있다. 이에 따르면, 개구수를 변화시키지 않으면서 원하는 호환성을 얻을 수 있다.

Claims (11)

  1. 제 1 매체로부터 제 2 매체로의 적어도 하나의 전이를 가지며, 전자기 방사빔을 안내하는 광학계에 있어서,
    상기 전이의 영역에 설치된 반사방지 코팅은 다른 입사각에 대하여 최대의 반사방지성을 갖는 적어도 2개의 서브 코팅을 구비한 것을 특징으로 하는 광학계.
  2. 제 1항에 있어서,
    각각의 서브 코팅은 다른 물질로 이루어진 적어도 2개의 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 광학계.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 코팅은 다른 물질로 이루어진 2개의 층으로 각각 구성된 7개의 2층 서브 코팅으로 이루어진 적층체를 구비하고, 이들 서브 코팅은 각각 0°, 15°, 30°, 40°, 45°, 50° 및 55°의 입사각에 대해 최대의 반사방지성을 갖는 것을 특징으로 하는 광학계.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 코팅은, 2층 서브 코팅과, 다른 물질로 이루어진 3개의 층으로 각각 구성된 3층 서브 코팅의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 코팅은 2층 서브 코팅으로 이루어진 제 1 적층체와, 3층 서브 코팅으로 이루어진 제 2 적층체를 구비한 것을 특징으로 하는 광학계.
  6. 제 5항에 있어서,
    제 1 및 제 2 적층체는, 0°, 10°, 20°, 30°, 40°, 50°, 55° 및 60°의 입사각에 대하여 최대의 반사방지성을 각각 갖는 8개의 서브 코팅을 각각 구비한 것을 특징으로 하는 광학계.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 1개의 렌즈부재를 구비한 렌즈계의 형태를 갖고, 이 렌즈계의 2개의 렌즈 표면 각각이 상기 전이를 구성하며, 상기 렌즈 표면은 상기 코팅이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학계.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 렌즈계는, UV 투사 빔을 안내하고 집광시키는데 적합한 리소그래피 투사장치인 것을 특징으로 하는 광학계.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 렌즈계는, 대물렌즈와, 이 대물렌즈와 마주보는 볼록 표면을 갖는 평면-볼록 렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 광학계.
  10. 투사 빔을 공급하는 UV 방사원과, 투사하려는 마스크를 지지하는 마스크 홀더와, 마스크가 그 위에 투사되는 기판을 지지하는 기판 홀더와, 마스크 홀더와 기판 홀더 사이에 배치된 투사장치를 구비한 리소그래피 투사장치에 있어서,
    상기 투사장치가 청구항 8에 기재된 광학계인 것을 특징으로 하는 리소그래피 투사장치.
  11. 주사 빔을 공급하는 방사원과, 기판을 통해 주사 빔을 수렴하여 정보층 위에 주사 스폿을 형성하는 렌즈계를 구비하고, 정보평면과 투명기판을 갖는 광 기록매체를 주사하는 광학 주사장치에 있어서,
    상기 렌즈계가 청구항 9에 기재된 렌즈계이고, 평면-볼록 렌즈의 평탄한 면이 기판과 마주보는 것을 특징으로 하는 광학 주사장치.
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1152263A4 (en) * 1999-09-30 2003-08-20 Nikon Corp OPTICAL DEVICE WITH THIN MULTI-LAYER SYSTEM AND THEIR USE FOR ALIGNMENT
US6771583B2 (en) * 2001-01-19 2004-08-03 Konica Corporation Optical component
US6940651B2 (en) * 2002-12-30 2005-09-06 Eitan Zeira Durable nano-structured optical surface
US7457224B2 (en) * 2003-06-30 2008-11-25 Konica Minolta Opto, Inc. Optical element having an anti-reflection film and optical pickup apparatus
WO2005036266A1 (de) 2003-09-17 2005-04-21 Carl Zeiss Smt Ag Masken, lithographievorrichtung und halbleiterbauelement
JP2005209769A (ja) * 2004-01-21 2005-08-04 Canon Inc 露光装置
US7142375B2 (en) * 2004-02-12 2006-11-28 Nanoopto Corporation Films for optical use and methods of making such films
WO2005119369A1 (en) * 2004-06-04 2005-12-15 Carl Zeiss Smt Ag Projection system with compensation of intensity variatons and compensation element therefor
JP2006073709A (ja) * 2004-09-01 2006-03-16 Sony Corp 多層反射防止膜
US8049964B2 (en) * 2005-06-14 2011-11-01 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical element with an antireflection coating, projection objective, and exposure apparatus comprising such an element
DE102005041938A1 (de) * 2005-09-03 2007-03-08 Carl Zeiss Smt Ag Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
TW200907263A (en) * 2007-08-03 2009-02-16 Prodisc Technology Inc Light collection device
DE202009015830U1 (de) 2009-11-20 2010-03-11 Noell Mobile Systems Gmbh Modulares verfahrbares Meßportal
DE202013004617U1 (de) 2013-05-10 2013-06-12 Mortop International Co., Ltd. Die Nabekonstruktion
WO2022255791A1 (ko) * 2021-06-01 2022-12-08 엘지이노텍 주식회사 렌즈 모듈 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
DE102021129976A1 (de) 2021-11-17 2023-05-17 Marelli Automotive Lighting Reutlingen (Germany) GmbH Scheinwerfer und Verfahren zum Betrieb eines Scheinwerfers

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8600639A (nl) 1986-03-12 1987-10-01 Asm Lithography Bv Werkwijze voor het ten opzichte van elkaar uitrichten van een masker en een substraat en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
JPH08271807A (ja) 1995-04-03 1996-10-18 Olympus Optical Co Ltd 内視鏡の照明光学系
JP3624973B2 (ja) 1995-10-12 2005-03-02 株式会社ニコン 投影光学系
JPH09258006A (ja) * 1996-03-22 1997-10-03 Canon Inc 反射防止膜及びそれを施した光学系
JP3924806B2 (ja) * 1996-06-10 2007-06-06 株式会社ニコン 反射防止膜
US5780857A (en) * 1996-10-04 1998-07-14 Wallac Oy Apparatus for imaging biochemical samples on substrates
JPH10160906A (ja) 1996-11-29 1998-06-19 Sony Corp 反射防止膜付きレンズ及び反射防止膜の形成方法
JP4161387B2 (ja) * 1997-01-23 2008-10-08 株式会社ニコン 多層反射防止膜

Also Published As

Publication number Publication date
DE69932130D1 (de) 2006-08-10
JP2002515142A (ja) 2002-05-21
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US6243203B1 (en) 2001-06-05
KR20010014091A (ko) 2001-02-26
EP0991960B1 (en) 2006-06-28
TW407214B (en) 2000-10-01
WO1999056157A2 (en) 1999-11-04
EP0991960A2 (en) 2000-04-12
DE69932130T2 (de) 2007-02-01

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