JP2008152069A - 反射防止膜 - Google Patents
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Abstract
【課題】収差補正素子等の光学素子の反射防止膜に適切な改良を加えることにより、多少の膜厚のばらつきがあっても、反射防止膜の反射色が変化し難い信頼性の高い光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】本発明の反射防止膜は、光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられ、658nm及び780nmでの光ビームの反射率が3%以下である反射防止膜であって、波長が405nmでの光ビームの反射率が7〜20%である。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の反射防止膜は、光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられ、658nm及び780nmでの光ビームの反射率が3%以下である反射防止膜であって、波長が405nmでの光ビームの反射率が7〜20%である。
【選択図】図2
Description
本発明は、反射防止膜に係り、詳しくは、複数種の光ディスクに対して互換性のある光ピックアップ装置の収差補正素子等の光学素子に設けられる反射防止膜の改良技術に関する。
周知のように、光学的に情報記録または情報再生が行なわれる情報記録媒体としては、CD(Compact Disc)やDVD(Digital Versatile Disc)等の光ディスクが、小型且つ大容量で利便性を有する観点から注目されている。そして、近年においては、これらの種類の異なる光ディスクを一台で使用することが可能な互換性を有する光ピックアップ装置(光学式情報記録再生装置)が開発されるに至っている。
この場合、DVDは、CDの約7倍の情報の高密度化を確保したものであるが、このように光ディスクの高密度化を確保するには、光ピックアップ装置に備えられている対物レンズの開口数(NA)を大きくすることや、短波長の光ビームを用いることにより、照射径の小さな光ビームを光ディスクに照射することが必要となる。
しかしながら、上記のように対物レンズのNAを大きくしたり、短波長の光ビームを用いる手法では、光ディスクによる光ビームへの収差の影響が大きくなり、記録や再生の精度を向上させることが困難となる。そこで、下記の特許文献1や特許文献2によれば、このような収差の影響を低減するため、収差補正素子(特許文献1では光学素子と称されている)を使用することが開示されている。
特開2001−100174号公報
特開2000−292755号公報
ところで、上述の特許文献1、2に開示された何れの収差補正素子にも、光ビームの反射による光源への戻り光を低減することや、ロスなく光ビームを透過させることを目的として、反射防止膜が設けられている。
従来の反射防止膜は、物理蒸着法、スパッタ法等の成膜方法によって形成されるが、多少の膜厚のばらつきが生じ、その結果、膜特性(CDで使用される波長780nmの光ビームやDVDで使用される波長658nmの光ビームの反射率)は問題にはならないが、膜の反射色にばらつきが生じ、製品の安定性への不安を感じさせることがあった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、収差補正素子等の光学素子の反射防止膜に適切な改良を加えることにより、多少の膜厚のばらつきがあっても、反射防止膜の反射色が変化し難い信頼性の高い光ピックアップ装置を提供することを技術的課題とする。
本発明者は、CDで使用される波長780nmの光ビームやDVDで使用される波長658nmの光ビームの反射率は3%以下に維持しつつ、反射防止膜の400nm付近の反射率が7〜20%になるような膜構成にすることによって、反射防止膜の反射色を安定化できることを見出した。
即ち上記技術的課題を解決するために創案された本発明の反射防止膜は、光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられる反射防止膜であって、波長658nm及び波長780nmでの光ビームの反射率が3%以下であり、波長405nmでの光ビームの反射率が7〜20%であることに特徴づけられる。
即ち、本発明は、波長が405nmでの光ビームの反射率が7〜20%であるため、膜厚が多少変化しても、この反射率の範囲内であれば、反射色が緑色を呈しその緑色が変化し難い。つまり、波長が405nmでの光ビームの反射率が7%よりも低いあるいは20%よりも高いと、少しの膜厚の変化によって反射色の色調が変化するからである。波長が405nmでの光ビームの反射率の好ましい範囲は8〜15%である。
また収差補正素子に設けられる反射防止膜の特性を適切なものとすれば、当該収差補正素子における特定複数の波長での光ビームの透過特性が優れたものになり、上記の構成によれば、CD及びDVDでそれぞれ使用される波長780nm及び658nmでの光ビームの反射率がいずれも3%以下となる反射防止膜が提供されることから、上記二種の光ディスクに対して的確な互換性を有し且つ信頼性に優れた収差補正素子ひいては光ピックアップ装置を得ることが可能となる。詳述すると、上記二つの波長のうち少なくとも何れかの波長での光ビームの反射率が仮に3%を超える反射防止膜を収差補正素子に設けたならば、そのうち一つの波長での光ビームの反射に起因する光源への戻り光を適切に低減できなくなり、或いはロスを生じることなくその光ビームを透過させることが困難となるおそれがある。従って、上記の反射率がいずれも3%以下であれば、このような不具合は生じ難くなる。この事を勘案すれば、波長780nm及び658nmでの光ビームの反射率は全て1%以下、更には全て0.5%以下であることがより好ましい。
また、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る反射防止膜は、波長領域が、640〜680nm及び760〜800nmでの光ビームの反射率が3%以下であり、波長405nmでの光ビームの反射率が7〜20%であることに特徴づけられる。
このような構成によれば、上記と同様の作用効果が得られることに加えて、光源の波長のバラツキや光ディスクからの反射光の波長シフトがあっても、当該収差補正素子としては、不当なロスを生じることなく好適に光ビームを透過させることが可能となる。この事を勘案すれば、上記二つの波長領域での光ビームの反射率は、全て1%以下であることがより好ましい。
上記した特性を備えた第1の反射防止膜は、収差補正素子の基体上に少なくとも4つの層が形成され、この4つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第3の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第4の層とを備えている。
また上記した特性を備えた第2の反射防止膜は、収差補正素子の基体上に少なくとも6つの層が形成され、この6つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第3の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが1〜20nmの第4の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第5の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第6の層とを備えている。
また上記した特性を備えた第3の反射防止膜は、収差補正素子の基体上に少なくとも8つの層が形成され、この8つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが5〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜100nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第3の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが50〜100nmの第4の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが20〜100nmの第5の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第6の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第7の層とSiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第8の層とを備えている。
ここで、上記の「幾何学的厚み」とは、λ/4等の光学的厚みと区別されるものであり、波長に依存しない厚みである。また、上記の「SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み」とは、それらの物質が主たる成分として含まれていることを意味する。
そして、上記のように4つの層、6つの層あるいは8つの層を形成すれば、従来の単層の場合と比較して、反射率特性が好適に変化し、既に述べたように、波長が、405nmでの光ビームの反射率が7〜20%(好ましくは8〜15%)、658nm及び780nmでの光ビームの反射率が3%以下(好ましくは1%以下、より好ましくは0.5%以下)の反射防止膜を得ることができる。従って、これらに対応する構成について既に述べた事項と同様の作用効果を得ることができる。
この場合、上述した反射率を示す反射防止膜を得るという要請に応じるには、以下に示すような構成とすることもできる。
即ち、前記基体上に前記第1〜第8の層に加えて、前記基体と前記第1の層との間に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の内層を備えるようにする。
以上の構成において、前記屈折率ndが2.0以上の層は、TiO2またはNb2O5を含む層であり、前記屈折率ndが1.5以下の層は、SiO2、MgF及びCaFから選ばれた層であることが好ましい。
また、以上の第1の反射防止膜の構成においては前記第4の層を、第2の反射防止膜の構成においては前記第6の層を、第3の反射防止膜の構成においては第8の層を最外層とすることができる。このようにした場合に、最外層が、特に既述のSiO2を含むものであれば、保護膜としての役目を果たすことができ、耐アルカリ性、耐溶剤性、耐NaCl性、及び耐湿性に優れた反射防止膜を得ることが可能となる。
また上記した構成において、波長領域300〜400nmにおける平均反射率が20%以上であることが好ましい。このようにすれば、特に液晶素子を用いた収差補正素子においては、液晶を劣化させる紫外線を抑制できる。
更に、以上の各層は、スパッタ膜として形成することができ、そのようにした場合には、耐摩耗性や付着性(または密着性)に優れた反射防止膜を得ることが可能となる。
そして、以上の反射防止膜は、良好な特性を得る上で、収差補正素子の表裏両面に設けることが好ましい。
この場合において、以上の反射防止膜は、光ピックアップ装置の収差補正素子に代えて、他の光学素子に使用することもできる。すなわち、波長が658nm及び780nmでの光ビームの反射率、または、波長領域が640〜680nm及び760〜800nmでの光ビームの反射率が、上述のように小さな値を示すことが要求される光学素子であれば、収差補正素子に限らず、他の光学素子に以上の反射防止膜を設けるようにしてもよい。
また、以上の反射防止膜をガラス板(例えば光学素子の全部又は一部として使用されるガラス板の表面)に設けて、ガラス物品として提供することもできる。
以上のように本発明に係る反射防止膜によれば、膜厚が多少変化しても、反射色が緑色を呈しその緑色が変化し難いため、反射色にばらつきが生じにくく、製品の安定性への不安を感じにくい。またCD及びDVDでそれぞれ使用される二つの波長または二つの波長領域での光ビームの反射率が適切に小さくされることから、上記三種の光ディスクに対して的確な互換性を有し且つ信頼性に優れた光学素子ひいては光ピックアップ装置を得ることが可能となり、利便性の向上を図る上で極めて有利となる。加えて、この反射防止膜が設けられた光学素子は、上記二つの波長の光ビームが反射することによる光源への戻り光を適切に低減でき、しかも不当なロスを生じることなくそれらの光ビームを良好に透過させることが可能となり、高品質の光学的特性が得られる。
以下、本発明の実施形態を添付図面及び表を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る反射防止膜が設けられた収差補正素子を構成要素とする光ピックアップ装置の一例を示す概略図である。表1は、実施例1〜4、表2は実施例5〜7の反射防止膜の反射率曲線を示す。
図1に示すように、この光ピックアップ装置1は、半導体レーザ2、ビームスプリッタ3、倍率変換機構4、ミラー5、収差補正素子(液晶素子)6、NA制御素子7、1/4波長板8、対物レンズ9、及び光検出器10から概略構成されている。そして、半導体レーザ2から照射された光ビームLは、ビームスプリッタ3を透過した後、倍率変換機構4で平行光線とされ、更に収差補正素子6などを透過して、対物レンズ9により光ディスクDの記録面に集光される。また、光ディスクDの記録面で反射した光ビームLは、ビームスプリッタ3に再度入射した後、光路を屈曲させて光検出器10に導かれ、所定の検出が行なわれる。
この場合、光ビームLは、収差補正素子6を透過することにより、球面収差などが補正されるが、この収差補正素子6の表裏両面または片面には、それぞれ以下に示すような反射防止膜が設けられている。
即ち、実施例1〜7として、表1、2に記載した4層〜8層の反射防止膜が、収差補正素子6の基体(例えば当該素子6の表裏に配置されるガラス基材)の片面(光ビームが入射する側の面)に、スパッタ法により形成される。詳述すると、この4層〜8層の反射防止膜は、基体側から順に、表1、2に記載の通り構成されている。この場合、TiO2の屈折率ndは、2.32であり、SiO2の屈折率ndは、1.47であり、Nb2O5の屈折率ndは、2.20である。
図2〜図8は、本発明者等が、ホウケイ酸塩ガラス基板(屈折率ndが1.52)上に、実施例1〜7の反射防止膜をスパッタ法により形成し、その反射防止膜の反射率を測定することにより得られた反射率曲線を示すグラフである。そして、これらのグラフから得られた波長405nm、波長658nm及び波長780nmでの光ビームの反射率並びに波長領域300〜400nmでの光ビームの平均反射率は表1、2に示してある。
上記の図2〜図8に示す各反射防止膜の各反射率曲線によれば、光ディスクDとしてCD及びDVDでそれぞれ使用される波長780nm及び658nmでの光ビームの反射率がいずれも3%以下(実験値では0.25%以下)となり、波長405nmでの光ビームの反射率が7〜20%となっており、いずれも緑色の反射色が得られた。しかも、波長領域が、640〜680nm及び760〜800nmでの光ビームの反射率も全て3%以下(実験値では0.8%以下)となっている。従って、これらの反射防止膜が表裏両面に形成された収差補正素子6は、上記二種の光ディスクに対して的確な互換性を有するものとなることが伺える。
なお、上記実施形態では、本発明に係る反射防止膜を、光ピックアップ装置の収差補正素子に設けるようにしたが、波長が、658nm及び780nmでの光ビームの反射率、または、波長領域が、640〜680nm及び760〜800nmでの光ビームの反射率が、上述のように小さな値を示すことが要求される光学素子であれば、他の光学素子に、本発明に係る反射防止膜を設けるようにしてもよい。
本発明に係る反射防止膜は、CD、DVDの互換性のある収差補正素子(例えばホログラム素子)に使用可能である、また、これと同様の作用効果を奏することが要求されるガラス物品にも使用可能である。
1 光ピックアップ装置
2 半導体レーザ
3 ビームスプリッタ
4 倍率変換機構
5 ミラー
6 収差補正素子(光学素子)
7 NA制御素子
8 1/4波長板
9 対物レンズ
10 光検出器
2 半導体レーザ
3 ビームスプリッタ
4 倍率変換機構
5 ミラー
6 収差補正素子(光学素子)
7 NA制御素子
8 1/4波長板
9 対物レンズ
10 光検出器
Claims (11)
- 光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられる反射防止膜であって、波長658nm及び波長780nmでの光ビームの反射率が3%以下であり、波長405nmでの光ビームの反射率が7〜20%であることを特徴とする反射防止膜。
- 光ピックアップ装置の構成要素である収差補正素子に設けられる反射防止膜であって、波長領域が、640〜680nm及び760〜800nmでの光ビームの反射率が3%以下であり、波長405nmでの光ビームの反射率が7〜20%であることを特徴とする反射防止膜。
- 前記収差補正素子の基体上に少なくとも4つの層が形成され、この4つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第3の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第4の層とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止膜。
- 前記収差補正素子の基体上に少なくとも6つの層が形成され、この6つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第3の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが1〜20nmの第4の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第5の層と、SiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第6の層とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止膜。
- 前記収差補正素子の基体上に少なくとも8つの層が形成され、この8つの層は、前記基体側から順に、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが5〜50nmの第1の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜100nmの第2の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第3の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが50〜100nmの第4の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが20〜100nmの第5の層と、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜50nmの第6の層と、屈折率ndが2.0以上で且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第7の層とSiO2またはAl2O3もしくはSiONを含み且つ幾何学的厚みが50〜200nmの第8の層とを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止膜。
- 前記基体と前記第1の層との間に、屈折率ndが1.5以下で且つ幾何学的厚みが10〜150nmの第1の内層を備えていることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の反射防止膜。
- 前記屈折率ndが2.0以上の層は、TiO2またはNb2O5を含む層であり、前記屈折率ndが1.5以下の層は、SiO2、MgF及びCaFから選ばれた層であることを特徴とする請求項3〜6の何れかに記載の反射防止膜。
- 波長領域300〜400nmにおける平均反射率が20%以上である請求項1〜7の何れかに記載の反射防止膜。
- 前記収差補正素子の表裏両面に設けられていることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の反射防止膜。
- 請求項1〜9の何れかに記載の反射防止膜が、収差補正素子に代えて、他の光学素子に設けられていることを特徴とする反射防止膜。
- 請求項1〜10の何れかに記載の反射防止膜が、ガラス板に設けられてなることを特徴とするガラス物品。
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120110 |