KR100603243B1

KR100603243B1 - 에어 서보 실린더장치 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR100603243B1
Application number: KR1020050026382A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 마츠모토; 노부히로 후지와라; 히로시 미야치
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2004-03-30
Filing date: 2005-03-30
Publication date: 2006-07-20
Also published as: KR20060045348A; DE102005014416B4; DE102005014416A1; US20050217475A1; CN100458187C; FR2868485B1; FR2868485A1; JP4687944B2; US7178448B2; JP2005279763A; CN1676950A

Abstract

실린더의 헤드측 압력실 및 로드측 압력실에 개별적으로 접속된 서보밸브를 컨트롤러로 제어함으로써 피스톤을 목표 위치까지 전진시키는 전진 프로세스와, 그 후 상기 피스톤에 필요한 가압력을 발생시키는 가압 프로세스를 행하고, 상기 전진 프로세스에서는 상기 헤드측 서보밸브를 급기측으로 개방함과 아울러 상기 로드측 서보밸브를 배기측으로 개방해서 상기 피스톤의 구동을 개시한 후, 상기 로드측 서보밸브의 개도를 상기 피스톤의 현재 위치와 상기 목표 위치의 편차에 따른 개도로 변화시킴으로써, 상기 피스톤의 속도를 상기 목표 위치에 근접함에 따라서 원활하게 감속시킨다.

에어 서보 실린더장치, 에어 서보 실린더장치의 제어 방법

Description

에어 서보 실린더장치 및 그 제어 방법{AIR SERVO CYLINDER APPARATUS AND CONTROLLING METHOD THEREFOR}

도 1은 본 발명에 의한 실린더 제어 방법을 실시하기 위한 용접용 용접 건과 그 제어 시스템의 구성예를 나타내는 개요도,

도 2는 본 발명의 제어 방법의 일예를 설명하기 위한 타이밍 차트,

도 3은 본 발명의 제어 방법의 다른 일예를 설명하기 위한 타이밍 차트,

도 4는 본 발명의 제어 방법의 다른 일예를 설명하기 위한 타이밍 차트,

도 5는 본 발명의 제어 방법의 또 다른 일예를 설명하기 위한 타이밍 차트.

본 발명은 워크(work)의 가압에 사용하는 에어 서보 실린더장치 및 그 제어 방법에 관한 것이고, 더욱 구체적으로는 가압부재가 워크에 접촉했을 때의 충격을 완화할 수 있음과 아울러, 그 접촉 후 단시간에 상기 워크에 필요한 가압력을 가할 수 있는 에어 서보 실린더장치와 그 제어 방법에 관한 것이다.

예를 들면, 워크의 용접에 사용되는 용접 건에 있어서는, 일반적으로 통상의 에어 실린더가 사용되고, 클램프 기구로 워크를 클램핑한 후, 필요한 가압력을 가 하면서 용접하도록 구성되어 있지만, 클램핑시에 용접 칩이 워크에 충돌해서 변형되는 일이 있고, 이것이 용접 불량의 원인이 된다. 따라서, 에어 서보 실린더를 사용해서 용접 건을 구성하고, 그 때 워크를 클램핑했을 때의 충격을 완화함과 아울러, 클램핑 후의 가압 시간을 짧게 해서 용접 시간의 단축화를 도모하기 위해서, 실린더에 에어 쿠션 기구를 부설하거나 그 실린더의 구동 회로에 스위칭 밸브나 급속 배기밸브를 설치함으로써, 에어 실린더에 적절한 동작을 행하게 하도록 하고 있다.

그러나, 상기 에어 실린더에 부설하는 에어 쿠션 기구에서는 스트로크 엔드(stroke end)라고 한 바와 같은 특정한 위치에서 밖에 쿠션 작용을 발휘시킬 수 없고, 복수의 위치에서 클램핑을 행할 경우 즉, 워크의 두께가 바뀌어 목표 위치가 일정하지 않을 경우에는 에어 쿠션에 의한 충격 완화를 행할 수 없다. 또한, 서보밸브 이외에 에어 쿠션이나 스위칭 밸브, 급속 배기밸브를 설치하면, 대형ㆍ대중량ㆍ고가ㆍ단수명ㆍ저신뢰성 등의 문제가 있었다.

또한, 본 발명자들은 5포트의 서보밸브로 에어 실린더를 구동하는 것을 시험해 보았지만, 그것에 의해서 가압력을 제어하기 위해서는 별도의 압력제어 밸브가 필요하게 되고, 대형화나 가격을 저감하는 것이 곤란해진다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 가압부재가 워크에 접촉했을 때의 충격을 완화할 수 있음과 아울러, 그 접촉 후에 단시간에 상기 워크에 필요한 가압력을 가할 수 있는 에어 서보 실린더장치와 그 제어 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면, 워크용의 가압부재를 구동하는 피스톤을 구비한 실린더와, 이 실린더의 헤드측 및 로드측의 압력실에 개별적으로 접속된 서보밸브와, 상기 양쪽 압력실의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 실린더의 동작 위치를 검출하는 위치 센서와, 상기 가압 센서 및 위치 센서로부터의 검출 신호에 근거해서 상기 양쪽 서보밸브에 제어 신호를 출력하는 컨트롤러를 구비해서 이루어지는 에어 서보 실린더장치가 제공된다.

그리고, 상기 컨트롤러에 의한 제어에서는 상기 가압부재가 워크에 접촉하는 목표 위치까지 상기 피스톤을 전진시키는 전진 프로세스와, 그 후 상기 워크에 필요한 가압력을 가하는 가압 프로세스가 행하지고, 상기 전진 프로세스에 있어서는 상기 헤드측 서보밸브를 급기측으로 개방함과 아울러 상기 로드측 서보밸브를 배기측으로 개방해서 상기 피스톤의 구동을 개시한 후, 상기 로드측 서보밸브를 배기측으로 개방한 채 그 개도를 상기 피스톤의 현재 위치와 상기 목표 위치의 편차에 따른 개도가 되도록 조절함으로써, 상기 피스톤의 속도를 상기 목표 위치에 근접함에 따라서 원활히 감속시킨다.

본 발명에 있어서는, 상기 피스톤을 중간 정지 위치에 유지하는 중간 정지 프로세스를 더 구비하고 있어서, 이 중간 정지 프로세스에서는 상기 가압 실린더의 양측 압력실 내의 압력을 워크의 클램핑시에 있어서의 헤드측 압력실의 압력보다도 낮고, 서로 근사하는 크기로 유지되도록 한다.

또한, 상기 전진 프로세스에 있어서는 상기 헤드측 서보밸브의 개도를 상기 편차에 따라서 조절하던지, 또는 상기 압력 센서에 의한 측정 압력과 설정 압력의 편차에 따라서 조절하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 전진 프로세스에서는 상기 피스톤의 속도가 충분히 감속되고 상기 피스톤이 상기 목표 위치에 충분히 가까운 설정 위치까지 도달한 시점에서 상기 로드측 서보밸브의 개도를 미소한 일정 값으로 고정함으로써, 상기 가압부재를 일정하게 저속으로 워크에 접촉시키도록 할 수도 있다.

또한, 상기 가압 프로세스에 있어서 상기 압력 센서로부터의 신호에 의해 실린더의 양쪽 압력실 내의 압력을 비교하고, 헤드측 압력실의 압력이 로드측 압력실의 압력보다도 커진 시점에서 로드측 서보밸브를 배기측으로 전개함으로써, 이 로드측 압력실 내의 압축 공기를 급속히 배기하도록 할 수도 있다.

또한, 상기 피스톤이 목표 위치에 도달한 후, 상기 로드측 압력실의 압축 공기가 배출될 때까지의 사이, 상기 헤드측 압력실을 승압시켜서 상기 헤드측 압력실의 압력과 로드측 압력실의 압력의 차이가 소기의 실린더 추진력이 되도록 제어하는 것이 바람직하고, 이것에 의해 소기의 실린더 추진력에 도달할 때까지의 시간을 단축할 수 있다.

상기 본 발명에 의하면, 가압부재가 워크에 접촉했을 때의 충격을 완화할 수 있음과 아울러, 그 접촉 후에 단시간으로 상기 워크에 필요한 가압력을 가할 수 있다고 하는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 의한 에어 서보 실린더장치의 적용예인 용접 건과 그 제어 시스템의 구성예를 나타내고 있다.

도 1에 도시한 용접 건(G)은 가압용의 실린더(10)와, 이 실린더(10)의 헤드측 압력실(11)의 압축 공기를 제어하는 헤드측 서보밸브(20)와, 로드측 압력실(12)의 압축 공기를 제어하는 로드측 서보밸브(30)와, 이것들에 제어 신호를 출력하는 컨트롤러(40)와, 외부로부터 상기 컨트롤러(40)에 지령을 주는 외부 컨트롤러(50)를 구비하고, 상기 컨트롤러(40)에 의해 상기 실린더(10) 즉, 용접 건(G)이 소망의 동작 상태로 제어되는 것이다.

상기 실린더(10)는 실린더 튜브(13)와, 이것에 슬라이딩 가능하게 끼워진 피스톤(14)과, 상기 피스톤(14)에 연결된 피스톤 로드(15)를 구비하고, 상기 피스톤 로드(15)에 의해 워크의 클램핑을 행하는 것이다. 실린더 튜브(13)는 밀폐된 통체이고, 피스톤(14)을 사이에 두고 그 헤드측의 압력실(11)과 로드측 압력실(12)을 구비하고 있다. 피스톤 로드(15)는 실린더 튜브(13)를 밀폐상으로 관통해서 외부로 연장되어 있다. 이 피스톤 로드(15)의 외부로 연장된 단부에는 워크에 접촉해서 가압하는 가압부재(15a)로서 용접 건의 한 쌍의 전극부재 중 한 쪽의 전극부재가 장착된다.

헤드측 압력실(11)은 헤드측 서보밸브(20)로부터 유로(22)를 통해서 급배(給排)되는 압축 공기에 의해 피스톤(14)을 구동하기 위한 것이고, 이 압력실(11)에 그 실내의 압력을 검출하는 헤드측 압력 센서(23)를 구비하고, 이 헤드측 압력실(11)에는 헤드 커버측으로부터 피스톤(14) 내에 삽입되어 상기 피스톤(14)의 구동 위치를 검지하는 위치 검출 센서(25)의 프로브(26)가 마련되어 있다. 상기 헤드측 압력 센서(23)와 위치 검출 센서(25)는 각각 그 출력이 컨트롤러(40)에 출력된다.

한편, 로드측 압력실(12)은 로드측 서보밸브(30)로부터 유로(32)를 통해서 급배되는 압축 공기에 의해 피스톤(14)을 구동하기 위한 것이고, 이 압력실(12)에 그 실내의 압력을 검출하는 로드측 압력 센서(33)를 구비하고 있다. 로드측 압력 센서(33)의 출력도 컨트롤러(40)에 출력된다.

상기 헤드측 서보밸브(20) 및 로드측 서보밸브(30)는 압축 공기의 공급원(41)으로부터의 압축 공기를 도입하는 급기 포트와, 그것을 출력하는 출력 포트와, 그것을 배출하는 출력 포트를 갖는 3포트 밸브이고, 이 서보밸브는 컨트롤러(40)로부터의 출력 신호에 따라서 각 포트를 적당히 연통시키며, 제어된 압축 공기를 흘려 보내는 것이다. 양쪽 서보밸브(20,30)는 실질적으로 같은 구성을 갖는 것이다.

컨트롤러(40)는 마이크로프로세서를 내장하고, 헤드측 및 로드측 압력 센서(23,33)와 위치 검출 센서(25)의 검출값 등이 입력된다. 또한, 컨트롤러(40)에는 피스톤(14)의 동작 위치나 중간 정지 위치 등의 정보가 입력되어 기억된다. 이들 정보는 디지털 값으로 입력할 수도, 전압이나 전류 등의 아날로그 값으로 입력할 수도 있다. 그리고, 외부 컨트롤러(50)로부터 입력되는 「중간 정지」, 「클램프」 및 「가압력 부여」 등의 용접의 실시를 지령하는 지령 신호에 근거해서 상기 검출값과 설정값을 비교하고, 실린더(10)가 소정의 동작을 실현하도록 헤드측 서보밸브(20)와 로드측 서보밸브(30)에 구동 신호가 출력된다.

또한, 도면 중 24,34는 서보밸브(20,30)로부터 압력실(11,12)에 이르는 유로(22,32)에 설치한 압력 센서이다.

다음에, 상기 컨트롤러(40)의 기능 및 상기 컨트롤러(40)에 의한 상기 용접 건(G)의 제어 방법에 대해서 설명한다.

상기 용접 건의 제어에 있어서는, 기본적으로 상기 피스톤(10)을 제어함으로써 상기 전극부재(15a)를 워크에 접촉하는 클램프 위치(목표 위치)까지 이동시키는 전진 프로세스와, 그 후 상기 전극부재(15a)로 워크에 필요한 클램프력(가압력)을 가하는 가압 프로세스와, 용접 후에 상기 전극부재(15a)를 후퇴시켜서 중간 위치에 정지시키는 중간 정지 프로세스가 행해진다. 그 때, 실린더(10)에 있어서의 압력실(11,12) 내의 압력을 압력 센서(23,33)로 검출하고, 피스톤(14)의 위치를 위치 센서(25)로 검출하고, 컨트롤러(40)에 의해 서보밸브(20,30)를 제어해서 상기 압력실(11,12)의 각각에 있어서의 압력을 적절하게 조정함으로써, 용접 건의 가압력(클램프력)이 정확하게 제어되어 용접 품질의 향상이 도모된다. 이 경우에, 실린더(10)의 헤드측 압력(Ph) 및 로드측 압력(Pr)의 양쪽을 검출함으로써 이하에 서술하는 바와 같이 이들 압력(Ph 및 Pr)에 근거해서 실린더 추진력을 검출하고, 이에 따라 실린더가 제어된다.

또한, 상기 실린더의 제어에 있어서는, 에어 서보 쿠션을 채용하고 있다. 즉, 실린더(10)에 있어서의 피스톤(14)의 위치ㆍ속도를 위치 센서(25)로, 압력실(11,12) 내의 압력을 압력 센서(23,33)로 검출해서 컨트롤러(40)에 입력하고, 상기 컨트롤러(40)로부터 서보밸브(20,30)에 그것들을 구동하기 위한 신호를 출력함으로써, 피스톤(14)의 위치와 압력실(11,12)의 압력을 제어할 수 있도록 하고, 워크에 대하여 용접 칩이 충돌해서 충격을 주는 것을 완화하도록 하고 있다. 이 경우에, 상기 서보밸브(20,30)를 사용해서 쿠션 기능을 발휘시키므로, 상기 충격 완화를 위 해서 특별한 기구를 필요로 하지 않고, 실린더(10) 및 쿠션 기능을 부여하기 위한 주변기기의 설치 스페이스ㆍ중량의 삭감을 가능하게 하는 것이다.

이하에, 도 2 이하에 나타내는 타이밍 차트에 근거하여 상기 용접 건의 제어 방법 및 그 동작에 대해서 상세하게 설명한다.

도 2의 (A)는 상기 전진 프로세스에 있어서 실린더(10)를 임의의 중간 정지 위치로부터 클램프 위치까지 구동할 경우의 양쪽 서보밸브(20,30)에 인가되는 입력 신호를, 동(同) 도면 (B)는 피스톤 스트로크를, 동 도면 (C)는 실린더에 있어서의 헤드측 및 로드측의 압력실(11,12)에 있어서의 압력을 나타내고 있다.

도 2에 근거해서 상기 용접 건의 기본 동작에 대해서 설명한다. 우선, 시각(t1)에 있어서, 도 2(A)에 나타낸 바와 같이, 헤드측 서보밸브(20)에 곡선 Vh로 나타내는 입력 신호가 인가되어 상기 서보밸브(20)의 급기(給氣)측이 전개(全開) 또는 이에 가까운 곳까지 개방된다. 한편, 로드측 서보밸브(30)에는 곡선 Vr로 나타내는 입력 신호가 인가되어서 상기 서보밸브(30)의 배기측이 전개된다.

그 때문에, 동 도면 (B)에 나타낸 바와 같이, 어떤 임의의 정지 위치(Xa)에 있던 피스톤(14)이 그 위치로부터 목표 위치(Xt)인 워크의 클램프 위치(Xo)로 향해서 고속으로 구동된다.

또한, 헤드측 및 로드측 압력실(11,12)에 있어서의 압력은 동 도면 (C)에 나타낸 바와 같이, 일단은 헤드측 압력실(11)의 압력(Ph)이 로드측 압력실(12)의 압력(Pr)보다도 높아지지만, 이에 따라 피스톤(14)이 이동해서 로드측 압력실(12)의 공기를 압축하므로 양쪽 압력은 복잡하게 변화된다.

상술한 바와 같이, 피스톤(14)의 구동을 개시한 후, 헤드측 서보밸브(20)를 도시한 바와 같은 곡선을 따라 압력 제어하고, 로드측 서보밸브(30)에 대해서는 그것을 배기측으로 개방한 채, 그 개도를 피스톤(14)의 현재 위치(X)와 목표 위치(Xo)의 편차(ΔX=X-Xo)에 비례한 입력 신호(aㆍΔX : 단, a는 상수)에 따른 서보밸브 개도가 되도록 직선 또는 매끄러운 곡선을 따라 연속적으로 제어함으로써, 피스톤(14)의 속도를 목표 위치에 가까이 갈수록 원활하게 감속시켜 상기 전극부재(15a)를 워크에 완충적으로 접촉시킬 수 있다.

이 경우, 상기 헤드측 서보밸브(20)의 개도는 상기 편차(ΔX)에 따라서 저감되던지 또는 압력 센서(23)에 의한 헤드측 압력실(11)의 측정 압력이 클램핑시의 압력(설정 압력)과 같아지도록 이들 측정 압력과 설정 압력의 편차에 따라서 조절하는 것이 바람직하다.

도시한 예에 있어서는, 피스톤(14)의 구동 개시와 아울러 로드측 서보밸브(30)의 개도를 원활하게 변화시키고, 헤드측 서보밸브(20)의 개도는 피스톤(14)의 구동 개시로부터 조금 늦게 변화되도록 하고 있다.

상기 전진 프로세스에 있어서, 바람직하게는 상기 피스톤의 속도가 충분히 감속되고, 상기 피스톤이 목표 위치에 충분히 가까이 감으로써 설정 위치(Xc)에 도달한 시점에서 로드측의 서보밸브(30)의 서보밸브 개도(ΔV)를 미소한 일정 값으로 고정하는 것이며, 이것에 의해 전극부재(15a)를 일정하고 저속으로 워크로 접촉시킬 수 있다.

그리고, 상술한 바와 같이 피스톤(14)이 클램프 위치에 도달하고, 전극부재 (15a)가 워크에 접촉한 후에는 이어서 상기 가압 프로세스가 행해지고, 가압 상태에서 워크의 용접이 행해진다. 이 가압 프로세스에서는 컨트롤러(40)에 있어서 압력 센서(23,33)로부터 출력되는 실린더(10)의 양쪽 압력실(11,12) 내의 압력 신호가 감시되어, 도 3에 나타낸 바와 같이, 헤드측 압력실(11)의 압력(Ph)이 로드측 압력실(12)의 압력(Pr)보다도 커진 시점에서 일정한 서보밸브 개도(ΔV)로 고정되어 있었던 로드측 서보밸브(30)를 배기측으로 전개함으로써, 로드측 압력실(12) 내의 압축 공기가 급속히 배기된다. 이것에 의해, 로드측 서보밸브(30)에 일정한 개도(ΔV)를 유지시킬 경우[점선으로 나타내는 압력(Pr')]에 비해서 규정의 실린더 추진력(Pf)에 근거해서 클램프력이 얻어질 때까지의 시간을 가급적으로 단축할 수 있고, 도시한 예에서는 시간(ts)만큼 단축할 수 있다.

또한, 상기 로드측 압력실(12) 내의 압축 공기[압력(Pr)]가 배출될 때까지의 사이, 도 4의 (C)에 나타낸 바와 같이, 헤드측 압력실(11)을 승압시켜 상기 헤드측 압력실(11)의 압력(Ph)과 로드측 압력실(12)의 압력(Pr)의 차(Ph-Pr)가 소기의 실린더 추진력을 얻기 위한 압력차(Pf)가 되도록 제어함으로써, 소기의 실린더 추진력에 도달할 때까지의 시간을 시간(ts)만큼 단축하고, 클램핑한 워크를 급속 가압할 수 있다.

상기 가압 프로세스 및 용접이 행해진 후, 상기 가압부재(15a) 즉 피스톤(14)을 후퇴시켜서 임의의 중간 위치에 정지시키는 중간 정지 프로세스가 행해지지만, 이 중간 정지 위치에서는 도 5의 (C)에 나타낸 바와 같이, 실린더(10)의 양측 압력실(11,12) 내의 압력을 워크의 클램핑시에 있어서의 헤드측 압력실의 목표 압 력(Pt)보다도 낮은 압력으로 유지하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 목표 압력(Pt)의 2/3∼1/3 정도가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1/2 전후이다. 이 경우, 양쪽 압력실(11,12)은 대략 같은 압력이어도 좋지만, 로드측 압력실(12)의 압력(Pr)을 헤드측 압력실(11)의 압력(Ph)보다도 상기 피스톤 로드(15)의 유무에 의한 수압면적차(受壓面積差) 분만큼 조금 높게 함으로써, 헤드측과 로드측의 작용력을 균형있게 하는 것이 바람직하다.

이것에 의해, 클램프 동작 개시시에 피스톤(14)이 움직여 나올 때까지의 지연 시간을 단축할 수 있고, 소비 공기압량을 절약할 수 있다. 구체적으로는, 상기 양쪽 압력실(11,12)의 압력을 Pt/2로 했을 경우에, 공기 사용량이 약 1/2로 되는 것을 검산할 수 있다. 또한, 실린더가 중간 정지 위치에 있을 때 서보밸브로부터의 에어의 리크(leak)양도 절약할 수 있다.

또한, 상기 실시예는 본 발명을 용접 건에 적용했을 경우이지만, 본 발명은 이러한 용접 건 이외에도 워크를 척(chuck)한 상태에서 가공하는 일반적인 가공 기술에 적용할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 가압부재가 워크에 접촉했을 때의 충격을 완화할 수 있음과 아울러, 그 접촉 후에 단시간으로 상기 워크에 필요한 가압력을 가할 수 있다.

Claims

워크용의 가압부재를 구동하는 피스톤을 구비한 실린더와, 이 실린더의 헤드측 및 로드측의 압력실에 개별적으로 접속된 서보밸브와, 상기 양쪽 압력실의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 실린더의 동작 위치를 검출하는 위치 센서와, 상기 압력 센서 및 위치 센서로부터의 검출 신호에 근거해서 상기 양쪽 서보밸브에 제어 신호를 출력하는 컨트롤러를 구비한 에어 서보 실린더장치를 제어하기 위한 방법으로서,

상기 컨트롤러에 의해 상기 가압부재가 워크에 접촉하는 목표 위치까지 상기 피스톤을 전진시키는 전진 프로세스와, 그 후 상기 워크에 필요한 가압력을 가하는 가압 프로세스를 갖고,

상기 전진 프로세스에 있어서는 상기 헤드측 서보밸브를 급기측으로 개방함과 아울러 상기 로드측 서보밸브를 배기측으로 개방해서 상기 피스톤의 구동을 개시한 후, 상기 로드측 서보밸브를 배기측으로 개방한 채 그 개도를 상기 피스톤의 현재 위치와 상기 목표 위치의 편차에 따른 개도가 되도록 조절함으로써, 상기 피스톤의 속도를 상기 목표 위치에 근접함에 따라서 원활히 감속시키는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 1항에 있어서,

상기 피스톤을 중간 정지 위치에 유지하는 중간 정지 프로세스를 더 구비하 고, 이 중간 정지 프로세스에서는 상기 가압 실린더의 양측 압력실 내의 압력을 워크의 클램핑시에 있어서의 헤드측 압력실의 압력보다도 낮고, 로드측 압력실의 압력이 헤드측 압력실의 압력으로부터 로드의 유무에 의한 수압면적차분만큼 높아지도록 유지되는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 전진 프로세스에 있어서 상기 헤드측 서보밸브를 상기 편차에 따라서 제어하는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 전진 프로세스에 있어서 상기 헤드측 서보밸브를 상기 압력 센서에 의한 측정 압력과 설정 압력의 편차에 따라서 제어하는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 전진 프로세스에 있어서 상기 피스톤의 속도가 충분히 감속되고 상기 피스톤이 상기 목표 위치에 충분히 가까운 설정 위치에 도달한 시점에서, 상기 로드측 서보밸브의 개도를 미소한 일정값으로 고정함으로써, 상기 가압부재를 일정하게 저속으로 워크에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 가압 프로세스에 있어서는 상기 압력 센서로부터의 신호에 의해 실린더의 양쪽 압력실 내의 압력을 비교하고, 헤드측 압력실의 압력이 로드측 압력실의 압력보다도 커진 시점에서 로드측 서보밸브를 배기측으로 전개함으로써, 이 로드측 압력실 내의 압축 공기를 급속히 배기하는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
제 6항에 있어서,

상기 피스톤이 목표 위치에 도달한 후, 상기 로드측 압력실의 압축 공기가 배출될 때까지의 사이, 상기 헤드측 압력실을 승압시켜서 상기 헤드측 압력실의 압력과 로드측 압력실의 압력의 차이가 소기의 실린더 추진력이 되도록 제어함으로써, 소기의 실린더 추진력에 도달할 때까지의 시간을 단축하는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치의 제어 방법.
피스톤으로 구동되는 가압부재에 의해 워크를 가압하는 실린더와, 이 실린더의 헤드측 및 로드측의 압력실에 개별적으로 접속된 서보밸브와, 상기 양쪽 압력실의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 실린더의 동작 위치를 검출하는 위치 센서와, 상기 가압 센서 및 위치 센서로부터의 검출 신호에 근거해서 상기 양쪽 서보밸브에 제어 신호를 출력하는 컨트롤러를 구비하고,

상기 컨트롤러가 제 1항 내지 제 7항 중 어느 하나에 기재된 제어 기능을 갖도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 에어 서보 실린더장치.