JP4353335B2 - 複動形エアシリンダの位置決め制御機構 - Google Patents

複動形エアシリンダの位置決め制御機構 Download PDF

Info

Publication number
JP4353335B2
JP4353335B2 JP2007091488A JP2007091488A JP4353335B2 JP 4353335 B2 JP4353335 B2 JP 4353335B2 JP 2007091488 A JP2007091488 A JP 2007091488A JP 2007091488 A JP2007091488 A JP 2007091488A JP 4353335 B2 JP4353335 B2 JP 4353335B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solenoid valve
air
pressure chamber
piston
main
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007091488A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008249027A (ja
Inventor
拓実 松本
和宏 野口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2007091488A priority Critical patent/JP4353335B2/ja
Priority to US12/047,646 priority patent/US20080236381A1/en
Priority to DE102008014962A priority patent/DE102008014962A1/de
Priority to TW097110375A priority patent/TWI346181B/zh
Priority to KR1020080029022A priority patent/KR100962563B1/ko
Priority to CNA2008100894066A priority patent/CN101275596A/zh
Publication of JP2008249027A publication Critical patent/JP2008249027A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4353335B2 publication Critical patent/JP4353335B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/08Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
    • F15B11/12Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action
    • F15B11/121Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action providing distinct intermediate positions
    • F15B11/126Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action providing distinct intermediate positions by means of actuators of the standard type with special circuit controlling means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/24Other details, e.g. assembly with regulating devices for restricting the stroke
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B9/00Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
    • F15B9/02Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
    • F15B9/08Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor
    • F15B9/09Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type controlled by valves affecting the fluid feed or the fluid outlet of the servomotor with electrical control means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/765Control of position or angle of the output member
    • F15B2211/7656Control of position or angle of the output member with continuous position control

Description

本発明は、ワークの搬送やチャックあるいは加工等に使用されるエアシリンダの動作位置を任意に位置決め制御することが可能な位置決め制御機構に関するものであり、換言すれば、ワークに対する力の作用点の位置を任意に変更あるいは調整することが可能なエアシリンダの位置決め制御機構に関するものであって、特に、複動形エアシリンダのための制御機構に関するものである。
ワークの搬送やチャックあるいは加工等の作業に使用されるアクチュエータは、エアや液圧あるいは電気などのエネルギーによって動作する。このうち電気エネルギーを利用する電動式アクチュエータは、動作位置を自由に変更あるいは調整できるという点で勝れているが、構造が複雑で、直線的動作を得る構成のものではその構造がより複雑である。また、大きな作用力を得ようとすると大型化と大電力化とが避けられず、一定の停止位置を維持させる場合には、その間電力を供給し続けなければならないため、省エネルギーの面での損失も大きい。更に、ロッド等を介して負荷に作用力が加わった場合、アクチュエータの動力伝達部が直接衝撃を受けて機械的損失を招きやすいだけでなく、負荷に対しても過剰な反発力を与えるおそれがある。
一方、エアを利用するアクチュエータとしては、エアシリンダが良く知られている。このエアシリンダは、圧縮エアのエネルギーを直線運動に変換するもので、ピストンの両側の圧力室に交互にエアを供給することによって該ピストンを往復移動させる複動形エアシリンダと、ピストンの片側の圧力室に給排されるエアと反対側に設置されたばねの付勢力とによってピストンを往復移動させる単動形シリンダとがある。何れのタイプも、上記電動式アクチュエータに比べて手軽に直線運動が得られるため、各種作業工程に広く利用されている。
ところが、上記エアシリンダは、通常、ピストンの動作ストロークが機械的に決められていて、ストッパ等で規定される前進端の位置と後退端の位置との間を往復動作するように構成されており、上記動作ストローク(動作位置)を変更あるいは調整するのは困難である。特に、動作ストロークを任意に変更あるいは調整するのは難しい。このため、作業内容に応じて異なる動作ストロークを持つシリンダを使い分けるのが一般的である。
本発明の目的は、複動形エアシリンダにおけるピストンの動作位置を、センサと電磁弁とを用いた簡単な位置決め制御機構により、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整できるようにすることにある。
上記目的を達成するため、本発明の位置決め制御機構は、ピストンの両側に第1圧力室及び第2圧力室を有し、これらの圧力室に対するエアの供給によって上記ピストンが往復駆動される複動形の主シリンダ、この主シリンダに付設されて該主シリンダのピストンの動作位置を全ストロークにわたり測定する測長センサ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダとの間に介在する主エア回路、該主エア回路を電気的に制御するコントローラを有している。
上記主エア回路は、上記エア供給部と主シリンダの第1圧力室及び第2圧力室とを結ぶ第1エア流路及び第2エア流路と、これらのエア流路中にそれぞれ接続されて該流路を通断する2ポート式の第1供給用電磁弁及び第2供給用電磁弁と、上記第1圧力室及び第2圧力室と大気との間を通断する2ポート式の第1排気用電磁弁及び第2排気用電磁弁とを有しており、また、上記コントローラは、上記測長センサと各電磁弁とに電気的に接続されていて、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有し、この入力手段で入力された目標位置情報と上記測長センサによる測定位置情報との比較結果に基づいて上記各電磁弁をオン・オフ制御することにより、上記ピストンを目標位置に移動させると共にその位置に停止させるように構成され、上記ピストンを前進させる時は、上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオンにすると共に上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第1圧力室をエア供給部に連通させると共に第2圧力室を大気に開放させ、上記ピストンを後退させる時は、上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオンにすると共に上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第2圧力室をエア供給部に連通させると共に第1圧力室を大気に開放させ、ピストンを目標位置に停止させると共にその停止位置に保持する時は、上記各電磁弁を全てオフにすることによって上記両圧力室にエアを封じ込めるように動作するものである。
さらに、上記主シリンダの他に、位置センサを具備しない複動形の従シリンダを備えていて、この従シリンダが、上記主エア回路に対して上記主シリンダと並列に接続され、この主エア回路を介して主シリンダに倣って位置決め制御されるように構成されている。
また、本発明の位置決め制御機構は、上記主シリンダ及び主エア回路の他に、位置センサを具備しない複動形の従シリンダと該従シリンダに接続された従エア回路とを有し、この従エア回路が、上記主エア回路と同じ構成を有していて、これらの従シリンダ及び従エア回路が、上記エア供給部及びコントローラに対して上記主シリンダ及び主エア回路と並列に接続されることにより、該主シリンダ及び主エア回路に倣って位置決め制御されるように構成されている。
本発明において好ましくは、上記エア供給部が、エア圧力を設定圧に保つためのレギュレータを有することである。
本発明によれば、測長センサと複数の2ポート電磁弁とコントローラとからなる簡単な位置決め制御機構を使用して、複動形エアシリンダにおけるピストンの動作位置を、機械的な調整等を一切行うことなく、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整することが可能である。
図1には、本発明に係る複動形エアシリンダの位置決め制御機構の第1実施形態が、記号によって示されている。この第1実施形態の位置決め制御機構1Aにおいて、2は複動形のエアシリンダからなる主シリンダ、3は該主シリンダ2に圧力エアを供給するためのエア供給部、4は該エア供給部3と上記主シリンダ2との間に介在する主エア回路、5は該主エア回路4を電気的に制御するコントローラを示している。
上記主シリンダ2は、ピストン10の両側に第1圧力室11及び第2圧力室12を有するもので、これらの圧力室11,12に対するエアの供給によって上記ピストン10が該主シリンダ2の内部を直線的に往復駆動される。上記ピストン10の一側には作業用ロッド13が連結され、このロッド13が上記第2圧力室12を貫通して該主シリンダ2の先端から外部に延出し、ワークに当接することによって該ワークに搬送やチャックあるいは加工等のための作用力を及ぼすようになっている。
上記ピストン10の上記ロッド13が取り付けられている側とは反対の側には、該ロッド13よりは小径で断面積の小さい測長ロッド14が連結され、この測長ロッド14が、上記第1圧力室11を貫通して主シリンダ2の基端から外部に延出し、該主シリンダ2に付設された測長センサ6の位置まで達している。そして、この測長センサ6で上記測長ロッド14の変位を検出することにより、上記ピストン10(従ってロッド13)の動作位置が全ストロークにわたって測定されるようになっている。この測長センサ6からの位置測定信号は、上記コントローラ5にフィードバックされる。
上記動作位置の測定は、上記測長ロッド14に付した目盛を測長センサ6で磁気的又は電気的あるいは光学的に読み取ることによって行われるようになっているが、上記測長センサ6による測定方式は、このような測長ロッド14を用いる方法に限定されるものではなく、その他の測定方法を用いることもできる。
上記エア供給部3は、圧力エアを出力するエア源16と、該エア源16に通じる供給流路17中に直列に接続されたドレン排出付フィルタ18及びオイルミストセパレータ19と、エア圧力を設定圧に保つためのリリーフ付減圧弁からなるレギュレータ20とを備えている。
上記主エア回路4は、上記エア供給部3と主シリンダ2の第1圧力室11及び第2圧力室12とを結ぶ第1エア流路23及び第2エア流路24を有している。このうち第1エア流路23には、該第1エア流路23を通断する2ポート式の第1供給用電磁弁25が接続されると共に、該第1供給用電磁弁25よりも第1圧力室11側に寄った位置に、該第1圧力室11と大気とを通断する2ポート式の第1排気用電磁弁26が接続されており、また、上記第2エア流路24には、該第2エア流路24を通断する2ポート式の第2供給用電磁弁27が接続されると共に、該第2供給用電磁弁25よりも第2圧力室12側に寄った位置に、該第2圧力室11と大気とを通断する2ポート式の第2排気用電磁弁28が接続されてされている。
上記第1エア流路23及び第2エア流路24には、可変絞り弁30aと逆止弁30bとを並列に接続してなるスピードコントローラ30がそれぞれ接続されている。これらのスピードコントローラ30は、上記圧力室11,12に流入又は該圧力室から流出するエアの流量を可変絞り弁30aで制限することにより、上記ピストン10の動作速度を調整するものであるが、必ずしも設ける必要のないものである。
上記コントローラ5は、上記測長センサ6と各電磁弁25,26,27,28とにそれぞれ電気的に接続されていて、上記ピストン10の動作目標位置を入力するための入力手段7を有している。この入力手段7は、例えば、ピストン10の前進端及び/又は後退端の位置や、前進端あるいは後退端を基準とするピストン10の動作ストローク等を、キー操作や釦操作あるいはボリューム操作により入力するもので、該入力手段7で目標位置が入力されると、上記コントローラ5が、その目標位置情報と上記測長センサ6による測定位置情報とを比較し、その比較結果に基づいて上記各電磁弁25,26,27,28をオン・オフ制御することにより、上記ピストン10を上記目標位置に移動させると共に、その位置に停止させ、かつその停止位置を保持させるように動作するものである。
上記コントローラ5による制御例を具体的に説明する。いま、上記入力手段7によってピストン10の前進端及び後退端の位置が目標位置として入力されると、このコントローラ5で上記ピストン10がこれらの前進端と後退端との間を往復駆動される。この場合、上記ピストン10が後退端から前進端まで前進する前進行程においては、上記第1供給用電磁弁25及び第2排気用電磁弁28がオンに切り換えられる共に、第2供給用電磁弁27及び第1排気用電磁弁26がオフに切り換えられることにより、上記第1圧力室11がエア供給部3に連通されると共に第2圧力室12が大気に開放される。これにより、上記第1圧力室11にエア供給部3から圧力エアが供給されるため、上記ピストン10及びロッド13は前進する。
このとき、上記ピストン10の動作位置は、上記測長センサ6により測長ロッド14を介して常に測定され、測定位置情報として上記コントローラ5にフィードバックされる。そして、このコントローラ5において該測定位置情報と上記目標位置情報とが比較され、それらの偏差がゼロになるまで上述した電磁弁の制御が継続される。
上記ピストン10が前進端に到達し、上記目標位置情報と測定位置情報との偏差がゼロになると、上記コントローラ5で上記第1供給用電磁弁25及び第2排気用電磁弁28が共にオフに切り換えられる。これによって全ての電磁弁25,26,27,28がオフとなるため、上記第1圧力室11及び第2圧力室12がエア供給部3からも大気からも遮断され、それらの内部にエアが封じ込められる。この結果、上記ピストン10は、前進端の位置に停止すると共に、停止状態に保持されることになる。
次に、上記ピストン10が前進端から後退端に向けて後退する後退行程においては、上記コントローラ5で上記第2供給用電磁弁27及び第1排気用電磁弁26がオンに切り換えられる共に、第1供給用電磁弁25及び第2排気用電磁弁28がオフに切り換えられることにより、上記第2圧力室12がエア供給部3に連通されると共に第1圧力室11が大気に開放される。これにより、上記第2圧力室12にエア供給部3から圧力エアが供給されるため、上記ピストン10及びロッド13は後退する。
この後退時においても、上記ピストン10の動作位置は上記測長ロッド14と測長センサ6とにより常に測定され、測定位置情報として上記コントローラ5にフィードバックされる。そして、このコントローラ5において該測定位置情報と上記目標位置情報とが比較され、それらの偏差がゼロになるまで上述した電磁弁の制御が継続される。
上記ピストン10が後退端に到達し、上記目標位置情報と測定位置情報との偏差がゼロになると、上記コントローラ5で上記第2供給用電磁弁27及び第1排気用電磁弁26が共にオフに切り換えられる。これによって全ての電磁弁25,26,27,28がオフとなるため、上記第1圧力室11及び第2圧力室12がエア供給部3からも大気からも遮断され、それらの内部にエアが封じ込められる。この結果、上記ピストン10は、後退端の位置に停止すると共に、停止状態に保持されることになる。
かくして上記位置決め制御装置によれば、測長センサ6と複数の2ポート電磁弁25,26,27,28とコントローラ5とからなる簡単な位置決め制御機構を使用して、複動形のエアシリンダにおけるピストン10の動作位置を、機械的な調整等を一切行うことなく、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整することが可能となる。
図2には本発明に係る位置決め制御機構の第2実施形態が示されている。この第2実施形態の位置決め制御機構1Bは、上記第1実施形態の位置決め制御機構1Aと同様に構成された主シリンダ2、エア供給部3、主エア回路4、及びコントローラ5を有する他に、測長センサ6を具備しない複動形の従シリンダ2aを1つ以上有し、この従シリンダ2aが、上記主エア回路4に対して上記主シリンダ2と並列に接続されたもので、上記コントローラ5で上記主エア回路4を制御することにより、上記従シリンダ2aが、上記主シリンダ2に倣って同期的に位置決め制御されるように構成されている。
上記従シリンダ2aは、測長センサを具備しない点を除けば上記主シリンダ2と同じ構成及び作用を有するものであるから、それらの同一構成部分に主シリンダ2と同じ符号を付してその構成及び作用の説明は省略する。
上記従シリンダ2aの第1圧力室11に通じる第1エア流路23と第2圧力室12に通じる第2エア流路24には、必要に応じてスピードコントローラ30を接続することができる。
図3には本発明に係る位置決め制御機構の第3実施形態が示されている。この第3実施形態の位置決め制御機構1Cが上記第2実施形態の位置決め制御機構1Bと異なる点は、従シリンダ2aとエア供給部3との間に、主エア回路4と同じ構成を有する従エア回路4aが該主エア回路4と並列に接続されると共に、各従エア回路4aの第1供給用電磁弁25、第1排気用電磁弁26、第2供給用電磁弁27、第2排気用電磁弁28が、コントローラ5に対し、上記主エア回路4の第1供給用電磁弁25、第1排気用電磁弁26、第2供給用電磁弁27、第2排気用電磁弁28とそれぞれ並列に電気接続されているという点である。従って、この第3実施形態においても、上記従シリンダ2aが、上記従エア回路4aにより、上記コントローラ5で上記主シリンダ2及び主エア回路4に倣って同期的に位置決め制御される。
なお、第3実施形態の上記以外の構成は実質的に第2実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第2実施形態と同じ符号を付してその構成及び作用の説明は省略する。
上記各実施形態において、主エア回路4又は従エア回路4aにおける各電磁弁25,26,27,28は、それぞれ独立に設置しても、集合化して電磁弁アセンブリとしても良く、あるいは、対応する主シリンダ2又は従シリンダ2aにそれぞれ搭載しても良い。さらには、コントローラ5を主シリンダに組み付けることもできる。また、上記スピードコントローラ30についても、それを設ける場合には、対応する主シリンダ2又は従シリンダ2aに組み付けることもできる。
本発明に係る位置決め制御機構の第1実施形態を示す接続図である。 本発明に係る位置決め制御機構の第2実施形態を示す接続図である。 本発明に係る位置決め制御機構の第3実施形態を示す接続図である。
符号の説明
1A,1B,1C 位置決め制御機構
2 主シリンダ
2a 従シリンダ
3 エア供給部
4 主エア回路
4a 従エア回路
5 コントローラ
6 測長センサ
7 入力手段
10 ピストン
11 第1圧力室
12 第2圧力室
16 エア源
20 レギュレータ
23 第1エア流路
24 第2エア流路
25 第1供給用電磁弁
26 第1排気用電磁弁
27 第2供給用電磁弁
28 第2排気用電磁弁

Claims (3)

  1. ピストンの両側に第1圧力室及び第2圧力室を有し、これらの圧力室に対するエアの供給によって上記ピストンが往復駆動される複動形の主シリンダ、この主シリンダに付設されて該主シリンダのピストンの動作位置を全ストロークにわたり測定する測長センサ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダとの間に介在する主エア回路、該主エア回路を電気的に制御するコントローラを有し、
    上記主エア回路が、上記エア供給部と主シリンダの第1圧力室及び第2圧力室とを結ぶ第1エア流路及び第2エア流路と、これらのエア流路中にそれぞれ接続されて該流路を通断する2ポート式の第1供給用電磁弁及び第2供給用電磁弁と、上記第1圧力室及び第2圧力室と大気との間を通断する2ポート式の第1排気用電磁弁及び第2排気用電磁弁とを有し、
    上記コントローラは、上記測長センサと各電磁弁とに電気的に接続されていて、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有し、この入力手段で入力された目標位置情報と上記測長センサによる測定位置情報との比較結果に基づいて上記各電磁弁をオン・オフ制御することにより、上記ピストンを目標位置に移動させると共にその位置に停止させるように構成され、上記ピストンを前進させる時は、上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオンにすると共に上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第1圧力室をエア供給部に連通させると共に第2圧力室を大気に開放させ、上記ピストンを後退させる時は、上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオンにすると共に上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第2圧力室をエア供給部に連通させると共に第1圧力室を大気に開放させ、ピストンを目標位置に停止させると共にその停止位置に保持する時は、上記各電磁弁を全てオフにすることによって上記両圧力室にエアを封じ込めるように動作し、
    また、上記主シリンダの他に、上記位置センサを具備しない複動形の従シリンダを備えていて、この従シリンダが上記主エア回路に対して上記主シリンダと並列に接続され、この主エア回路を介して主シリンダに倣って位置決め制御されるように構成されている、
    ことを特徴とする複動形シリンダの位置決め制御機構。
  2. ピストンの両側に第1圧力室及び第2圧力室を有し、これらの圧力室に対するエアの供給によって上記ピストンが往復駆動される複動形の主シリンダ、この主シリンダに付設されて該主シリンダのピストンの動作位置を全ストロークにわたり測定する測長センサ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダとの間に介在する主エア回路、該主エア回路を電気的に制御するコントローラを有し、
    上記主エア回路が、上記エア供給部と主シリンダの第1圧力室及び第2圧力室とを結ぶ第1エア流路及び第2エア流路と、これらのエア流路中にそれぞれ接続されて該流路を通断する2ポート式の第1供給用電磁弁及び第2供給用電磁弁と、上記第1圧力室及び第2圧力室と大気との間を通断する2ポート式の第1排気用電磁弁及び第2排気用電磁弁とを有し、
    上記コントローラは、上記測長センサと各電磁弁とに電気的に接続されていて、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有し、この入力手段で入力された目標位置情報と上記測長センサによる測定位置情報との比較結果に基づいて上記各電磁弁をオン・オフ制御することにより、上記ピストンを目標位置に移動させると共にその位置に停止させるように構成され、上記ピストンを前進させる時は、上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオンにすると共に上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第1圧力室をエア供給部に連通させると共に第2圧力室を大気に開放させ、上記ピストンを後退させる時は、上記第2供給用電磁弁及び第1排気用電磁弁をオンにすると共に上記第1供給用電磁弁及び第2排気用電磁弁をオフにすることにより、上記第2圧力室をエア供給部に連通させると共に第1圧力室を大気に開放させ、ピストンを目標位置に停止させると共にその停止位置に保持する時は、上記各電磁弁を全てオフにすることによって上記両圧力室にエアを封じ込めるように動作し、
    また、上記主シリンダ及び主エア回路の他に、上記位置センサを具備しない複動形の従シリンダとこの従シリンダに接続された従エア回路とを有し、この従エア回路が、上記主エア回路と同じ構成を有していて、これらの従シリンダ及び従エア回路が、上記エア供給部及びコントローラに対して上記主シリンダ及び主エア回路と並列に接続されることにより、該主シリンダ及び主エア回路に倣って位置決め制御されるように構成されている、
    ことを特徴とする複動形シリンダの位置決め制御機構。
  3. 上記エア供給部が、エア圧力を設定圧に保つためのレギュレータを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め制御機構。
JP2007091488A 2007-03-30 2007-03-30 複動形エアシリンダの位置決め制御機構 Active JP4353335B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091488A JP4353335B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 複動形エアシリンダの位置決め制御機構
US12/047,646 US20080236381A1 (en) 2007-03-30 2008-03-13 Positioning control mechanism for double-acting air cylinder
DE102008014962A DE102008014962A1 (de) 2007-03-30 2008-03-19 Positionssteuermechanismus für doppelt wirkende Pneumatikzylinder
TW097110375A TWI346181B (en) 2007-03-30 2008-03-24 Positioning contol mechanism for double-acting air cylinder
KR1020080029022A KR100962563B1 (ko) 2007-03-30 2008-03-28 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구
CNA2008100894066A CN101275596A (zh) 2007-03-30 2008-03-28 双作用气缸的定位控制机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091488A JP4353335B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 複動形エアシリンダの位置決め制御機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008249027A JP2008249027A (ja) 2008-10-16
JP4353335B2 true JP4353335B2 (ja) 2009-10-28

Family

ID=39719730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007091488A Active JP4353335B2 (ja) 2007-03-30 2007-03-30 複動形エアシリンダの位置決め制御機構

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20080236381A1 (ja)
JP (1) JP4353335B2 (ja)
KR (1) KR100962563B1 (ja)
CN (1) CN101275596A (ja)
DE (1) DE102008014962A1 (ja)
TW (1) TWI346181B (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5382572B2 (ja) * 2009-01-23 2014-01-08 Smc株式会社 複動形空気圧シリンダの位置決め制御装置及びその制御方法
WO2010130288A1 (en) * 2009-05-12 2010-11-18 Richard Bernard Schaper Method for operating a cylinder, system and mannequin robot comprising the same
CN104070029B (zh) * 2013-03-28 2017-02-08 金华申宇环保设备有限公司 定点清洗机构
CN104741763B (zh) * 2013-12-31 2017-02-15 深圳市鹏煜威科技有限公司 带有浮动装置的电阻焊接机及其电阻焊接方法
KR20150107450A (ko) * 2014-03-14 2015-09-23 주식회사 엔젤 테잎리스 엔코더 일체형 왕복동 실린더
CN106979359A (zh) * 2017-04-25 2017-07-25 新乡市新华液压机械有限公司 一种三位五通阀
JP7003014B2 (ja) * 2018-08-29 2022-01-20 Ckd株式会社 アクチュエータの動作検出装置
JP6960585B2 (ja) * 2018-12-03 2021-11-05 Smc株式会社 流量コントローラ及びそれを備えた駆動装置
CN110939616B (zh) * 2019-11-29 2022-04-01 张巍 一种集成气路控制系统
SE545154C2 (en) * 2021-02-11 2023-04-18 Staccato Technoligies Ab Pneumatic cylinder system
CN115704408A (zh) * 2021-08-09 2023-02-17 长鑫存储技术有限公司 气体循环装置、气体循环方法、气动装置和半导体设备
JP2024042432A (ja) * 2022-09-15 2024-03-28 Smc株式会社 エアチャック

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US323630A (en) * 1885-08-04 Corset
US323619A (en) * 1885-08-04 alldeedice
US3559534A (en) * 1968-04-23 1971-02-02 Pines Engineering Co Inc Hydraulic actuator control circuit
DE3050621A1 (de) * 1980-10-24 1982-11-04 Sp Konstrukt B Dizelestroeniya Method and device for synchronization of actuating mechanisms
US4416187A (en) * 1981-02-10 1983-11-22 Nystroem Per H G On-off valve fluid governed servosystem
JPS593001U (ja) 1982-06-29 1984-01-10 第一精機株式会社 空気シリンダのピストン定位置停止装置
US7021191B2 (en) * 2003-01-24 2006-04-04 Viking Technologies, L.C. Accurate fluid operated cylinder positioning system
US7677035B2 (en) * 2007-02-07 2010-03-16 Sauer-Danfoss Aps Control system for a hydraulic servomotor

Also Published As

Publication number Publication date
DE102008014962A1 (de) 2008-10-02
KR20080089263A (ko) 2008-10-06
CN101275596A (zh) 2008-10-01
US20080236381A1 (en) 2008-10-02
TW200916665A (en) 2009-04-16
JP2008249027A (ja) 2008-10-16
TWI346181B (en) 2011-08-01
KR100962563B1 (ko) 2010-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4353335B2 (ja) 複動形エアシリンダの位置決め制御機構
JP4353333B2 (ja) 複動形エアシリンダの位置決め制御機構
JP4353334B2 (ja) 単動形エアシリンダの位置決め制御機構
US9394897B2 (en) Apparatus using electronically-controlled valves
WO2006021076A8 (en) Hydraulic drive system and method of operating a hydraulic drive system
US8973890B2 (en) Fluid-operated actuating drive on a valve
JP2011179616A (ja) 空気圧シリンダ装置におけるピストンの減速機構
CN102966615A (zh) 一种冲床冲孔行程及速度自动可调的伺服液压控制系统
TR200400367A1 (tr) Bir tezgahın sürgüsünü doğrusal olarak her iki yönde hareket ettirmek için bir hidrolik devre
JPH07119860A (ja) 液圧方向制御装置及びこれを用いた液圧作動装置
RU2529988C1 (ru) Пневмопривод с тормозным устройством
KR101259567B1 (ko) 더블 실린더의 자동방향전환장치
SU954642A1 (ru) Пневмогидравлический мультипликатор
KR101497976B1 (ko) 복동식 왕복가능 압력 부스터용 자동 왕복운동 제어 기구
JP2564086Y2 (ja) 作動制御装置
JP2005214252A (ja) 中間位置停止シリンダー
RO125708B1 (ro) Unitate de poziționare pneumo-hidraulica liniara

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081212

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090127

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090330

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090630

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090721

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4353335

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R255 Notification that request for automated payment was rejected

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R2525

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250