KR100962563B1 - 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구 - Google Patents

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카즈히로 노구치
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

피스톤의 동작 위치를 측정하는 측장 센서를 구비한 복동형의 주 실린더의 제 1 압력실 및 제 2 압력실과 에어원 사이에 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 공급용 전자밸브를 접속함과 아울러, 상기 제 1 압력실 및 제 2 압력실과 대기 사이에 제 1 배기용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 접속하고, 컨트롤러에 피스톤의 동작 목표 위치가 입력되면 측장 센서에 의한 측정 위치와 목표 위치가 일치하도록 상기 각 전자밸브가 온·오프 제어되어서 피스톤이 목표 위치로 이동하고, 목표 위치에 도달하면 상기 전자밸브가 모두 오프로 되어서 각 압력실에 에어가 봉입됨으로써 상기 피스톤이 정지됨과 아울러 정지 상태로 유지된다.
복동형 에어 실린더

Description

복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구{POSITIONING CONTROL MECHANISM FOR DOUBLE-ACTING AIR CYLINDER}
본 발명은 워크의 반송이나 척 또는 가공 등에 사용되는 에어 실린더의 동작 위치를 임의로 위치결정 제어할 수 있는 위치결정 제어기구에 관한 것으로, 환언하면, 워크에 대한 힘의 작용점의 위치를 임의로 변경하거나 또는 조정할 수 있는 에어 실린더의 위치결정 제어기구에 관한 것으로서, 특히 복동형 에어 실린더를 위한 제어기구에 관한 것이다.
워크의 반송이나 척 또는 가공 등의 작업에 사용되는 액츄에이터는 에어나 액압 또는 전기 등의 에너지에 의해 동작된다. 이 중 전기 에너지를 이용하는 전동식 액츄에이터는 동작 위치를 자유롭게 변경하거나 또는 조정할 수 있다는 점에서 우수하지만, 구조가 복잡하고, 직선적 동작을 얻는 구성의 것에서는 그 구조가 보다 복잡하다. 또한, 큰 작용력을 얻으려고 하면 대형화와 대전력화를 피할 수 없고, 일정 정지 위치를 유지시키는 경우에는 그동안 전력을 계속해서 공급해야 하기 때문에 에너지 절약면에서의 손실도 크다. 또한, 로드 등을 통해서 부하에 작용력이 가해졌을 경우, 액츄에이터의 동력 전달부가 직접 충격을 받아서 기계적 손실을 초래하기 쉬울 뿐만 아니라, 부하에 대해서도 과잉한 반발력을 부여할 우려가 있다.
한편, 에어를 이용하는 액츄에이터로서는 에어 실린더가 잘 알려져 있다. 이 에어 실린더는 압축 에어의 에너지를 직선 운동으로 변환하는 것으로, 피스톤 양측의 압력실에 교대로 에어를 공급함으로써 상기 피스톤을 왕복 이동시키는 복동형 에어 실린더와, 피스톤 한쪽의 압력실에 공급/배출되는 에어와 반대측에 설치된 스프링의 바이어싱 포오스(biasing force)에 의하여 피스톤을 왕복 이동시키는 단동형 실린더가 있다. 어느 타입이나 상기 전동식 액츄에이터에 비해서 손쉽게 직선 운동이 얻어지기 때문에 각종 작업 공정에 널리 이용되고 있다.
그런데, 상기 에어 실린더는 통상 피스톤의 동작 스트로크가 기계적으로 정해져 있고, 스토퍼 등에 의해 규정되는 전진단의 위치와 후퇴단의 위치 사이를 왕복 동작하도록 구성되어 있어, 상기 동작 스트로크(동작 위치)를 변경하거나 또는 조정하는 것은 곤란하다. 특히, 동작 스트로크를 임의로 변경하거나 또는 조정하는 것은 어렵다. 이 때문에, 작업 내용에 따라서 다른 동작 스트로크를 갖는 실린더를 구별해 쓰는 것이 일반적이다.
본 발명의 목적은 복동형 에어 실린더에 있어서의 피스톤의 동작 위치를, 센서와 전자밸브를 사용한 간단한 위치결정 제어기구에 의해 작업 내용에 따라서 임의로 변경하거나 또는 조정할 수 있도록 하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 위치결정 제어기구는 피스톤 양측에 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 갖고, 이들 압력실에 대한 에어의 공급에 의해 상기 피스톤이 왕복 구동되는 복동형의 주 실린더, 상기 피스톤의 동작 위치를 전체 스트로크에 걸쳐 측정하는 측장 센서, 에어원을 구비한 에어 공급부, 상기 에어 공급부와 상기 주 실린더 사이에 개재하는 주 에어회로, 상기 주 에어회로를 전기적으로 제어하는 컨트롤러를 갖고 있다.
상기 주 에어회로는 상기 에어 공급부와 주 실린더의 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 연결하는 제 1 에어유로 및 제 2 에어유로와, 이들 에어유로 속에 각각 접속되어서 상기 유로를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 공급용 전자밸브와, 상기 제 1 압력실 및 제 2 압력실과 대기 사이를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 배기용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 갖고 있으며, 또한 상기 컨트롤러는 상기 측장 센서와 각 전자밸브에 전기적으로 접속되어 있고, 상기 피스톤의 동작 목표 위치를 입력하기 위한 입력수단을 갖고, 이 입력수단에 의해 입력된 목표 위치 정보와 상기 측장 센서에 의한 측정 위치 정보의 비교 결과에 기초하여 상기 각 전자밸브를 온·오프 제어함으로써 상기 피스톤을 목표 위치로 이동시킴과 아울러 그 위치에 정지시키도록 구성되고, 상기 피스톤을 전진시킬 때에 는 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 1 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 2 압력실을 대기에 개방시키고, 상기 피스톤을 후퇴시킬 때에는 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 2 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 1 압력실을 대기에 개방시키며, 피스톤을 목표 위치에 정지시킴과 아울러 그 정지 위치에 유지할 때에는 상기 각 전자밸브를 모두 오프로 함으로써 상기 양 압력실에 에어를 봉입하도록 동작하는 것이다.
본 발명에 있어서는 상기 주 실린더 이외에 위치 센서를 구비하지 않는 복동형의 종 실린더를 구비하고 있고, 이 종 실린더가 상기 주 에어회로에 대하여 상기 주 실린더와 병렬로 접속됨으로써 이 주 에어회로를 통해서 주 실린더에 따라서 위치결정 제어되도록 구성할 수도 있다.
또는, 상기 주 실린더 및 주 에어회로 이외에 위치 센서를 구비하지 않는 복동형의 종 실린더와 상기 종 실린더에 접속된 종 에어회로를 갖고, 이 종 에어회로가 상기 주 에어회로와 같은 구성을 갖고 있으며, 이들 종 실린더 및 종 에어회로가 상기 에어 공급부 및 컨트롤러에 대하여 상기 주 실린더 및 주 에어회로와 병렬로 접속됨으로써 상기 주 실린더 및 주 에어회로를 따라서 위치결정 제어되도록 구성할 수도 있다.
본 발명에 있어서 바람직하게는 상기 에어 공급부가 에어 압력을 설정압으로 유지하기 위한 레귤레이터를 갖는 것이다.
본 발명에 의하면, 측장 센서와 복수의 2포트 전자밸브와 컨트롤러로 이루어지는 간단한 위치결정 제어기구를 사용하여, 복동형 에어 실린더에 있어서의 피스톤의 동작 위치를 기계적인 조정 등을 일체 행하지 않고, 작업 내용에 따라서 임의로 변경하거나 또는 조정할 수 있다.
도 1에는 본 발명에 따른 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구의 제 1 실시형태가 기호에 의해 나타내어져 있다. 이 제 1 실시형태의 위치결정 제어기구(1A)에 있어서, 2는 복동형의 에어 실린더로 이루어지는 주 실린더, 3은 상기 주 실린더(2)에 압력 에어를 공급하기 위한 에어 공급부, 4는 상기 에어 공급부(3)와 상기 주 실린더(2) 사이에 개재하는 주 에어회로, 5는 상기 주 에어회로(4)를 전기적으로 제어하는 컨트롤러를 나타내고 있다.
상기 주 실린더(2)는 피스톤(10)의 양측에 제 1 압력실(11) 및 제 2 압력실(12)을 갖는 것으로, 이들 압력실(1l, 12)에 대한 에어의 공급에 의해 상기 피스톤(10)이 상기 주 실린더(2)의 내부를 직선적으로 왕복 구동된다. 상기 피스톤(10)의 일측에는 작업용 로드(13)가 연결되고, 이 로드(13)가 상기 제 2 압력실(12)을 관통해서 상기 주 실린더(2)의 선단으로부터 외부로 연장되어 워크에 접촉함으로써 상기 워크에 반송이나 척 또는 가공 등을 위한 작용력이 미치도록 되어 있다
상기 피스톤(10)의 상기 로드(13)가 부착되어 있는 측과는 반대측에는 상기로드(3)보다는 소경이며 단면적이 작은 측장 로드(14)가 연결되고, 이 측장 로 드(14)가 상기 제 1 압력실(11)을 관통해서 주 실린더(2)의 기단으로부터 외부로 연장되어 상기 주 실린더(2)에 부설된 측장 센서(6)의 위치까지 도달하고 있다. 그리고, 이 측장 센서(6)로 상기 측장 로드(14)의 변위를 검출함으로써 상기 피스톤(10)(따라서 로드(13))의 동작 위치가 전체 스트로크에 걸쳐서 측정되도록 되어 있다. 이 측장 센서(6)로부터의 위치 측정 신호는 상기 컨트롤러(5)에 피드백된다.
상기 동작 위치의 측정은 상기 측장 로드(14)에 붙여진 눈금을 측장 센서(6)로 자기적 또는 전기적 또는 광학적으로 판독함으로써 행하여지도록 되어 있지만, 상기 측장 센서(6)에 의한 측정 방식은 이러한 측장 로드(14)를 사용하는 방법에 한정되는 것은 아니고, 그 밖의 측정 방법을 사용할 수도 있다.
상기 에어 공급부(3)는 압력 에어를 출력하는 에어원(16)과, 상기 에어원(16)에 통하는 공급유로(17) 속에 직렬로 접속된 드레인 배출 필터(18) 및 오일미스트 세퍼레이터(19)와, 에어 압력을 설정압으로 유지하기 위한 릴리프 감압밸브로 이루어지는 레귤레이터(20)를 구비하고 있다.
상기 주 에어회로(4)는 상기 에어 공급부(3)와 주 실린더(2)의 제 1 압력실(11) 및 제 2 압력실(12)을 연결하는 제 1 에어유로(23) 및 제 2 에어유로(24)를 갖고 있다. 이 중 제 1 에어유로(23)에는 상기 제 1 에어유로(23)를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 공급용 전자밸브(25)가 접속됨과 아울러, 상기 제 1 공급용 전자밸브(25)보다 제 1 압력실(11)측에 치우친 위치에 상기 제 1 압력실(11)과 대기를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 배기용 전자밸브(26)가 접속되어 있고, 또한 상기 제 2 에어유로(24)에는 상기 제 2 에어유로(24)를 연통/차단하는 2포트식의 제 2 공급 용 전자밸브(27)가 접속됨과 아울러, 상기 제 2 공급용 전자밸브(27)보다 제 2 압력실(12)측에 치우친 위치에 상기 제 2 압력실(12)과 대기를 연통/차단하는 2포트식의 제 2 배기용 전자밸브(28)가 접속되어 있다.
상기 제 1 에어유로(23) 및 제 2 에어유로(24)에는 가변 스로틀밸브(30a)와 역지밸브(30b)를 병렬로 접속해서 이루어지는 스피드 컨트롤러(30)가 각각 접속되어 있다. 이들 스피드 컨트롤러(30)는 상기 압력실(11,12)에 유입 또는 상기 압력실로부터 유출되는 에어의 유량을 가변 스로틀밸브(30a)로 제한함으로써 상기 피스톤(10)의 동작 속도를 조정하는 것이지만, 반드시 설치할 필요는 없는 것이다.
상기 컨트롤러(5)는 상기 측장 센서(6)와 각 전자밸브(25, 26, 27, 28)에 각각 전기적으로 접속되어 있고, 상기 피스톤(10)의 동작 목표 위치를 입력하기 위한 입력수단(7)을 갖고 있다. 이 입력수단(7)은, 예를 들면 피스톤(10)의 전진단 및/또는 후퇴단의 위치나, 전진단 또는 후퇴단을 기준으로 하는 피스톤(10)의 동작 스트로크 등을 키 조작이나 버턴 조작 또는 볼륨 조작에 의해 입력하는 것으로, 상기 입력수단(7)에 의해 목표 위치가 입력되면 상기 컨트롤러(5)가 그 목표 위치 정보와 상기 측장 센서(6)에 의한 측정 위치 정보를 비교하고, 그 비교 결과에 기초하여 상기 각 전자밸브(25, 26, 27, 28)를 온·오프 제어함으로써, 상기 피스톤(10)을 상기 목표 위치로 이동시킴과 아울러 그 위치에 정지시키며, 또한 그 정지 위치를 유지시키도록 동작하는 것이다.
상기 컨트롤러(5)에 의한 제어예를 구체적으로 설명한다. 지금, 상기 입력수단(7)에 의해 피스톤(10)의 전진단 및 후퇴단의 위치가 목표 위치로서 입력되면, 이 컨트롤러(5)로 상기 피스톤(10)이 이들 전진단과 후퇴단 사이를 왕복 구동한다. 이 경우, 상기 피스톤(10)이 후퇴단으로부터 전진단까지 전진하는 전진 행정에 있어서는, 상기 제 1 공급용 전자밸브(25) 및 제 2 배기용 전자밸브(28)가 온으로 스위칭됨과 아울러 제 2 공급용 전자밸브(27) 및 제 1 배기용 전자밸브(26)가 오프로 스위칭됨으로써, 상기 제 1 압력실(11)이 에어 공급부(3)에 연통됨과 아울러 제 2 압력실(12)이 대기에 개방된다. 이것에 의해, 상기 제 1 압력실(11)에 에어 공급부(3)로부터 압력 에어가 공급되기 때문에 상기 피스톤(10) 및 로드(13)는 전진한다.
이 때, 상기 피스톤(10)의 동작 위치는 상기 측장 센서(6)에 의해 측장 로드(14)를 통해서 항상 측정되어, 측정 위치 정보로서 상기 컨트롤러(5)에 피드백된다. 그리고, 이 컨트롤러(5)에 있어서 상기 측정 위치 정보와 상기 목표 위치 정보가 비교되고, 그들의 편차가 제로가 될 때까지 상술한 전자밸브의 제어가 계속된다.
상기 피스톤(10)이 전진단에 도달하고, 상기 목표 위치 정보와 측정 위치 정보의 편차가 제로로 되면, 상기 컨트롤러(5)에 의해 상기 제 1 공급용 전자밸브(25) 및 제 2 배기용 전자밸브(28)가 모두 오프로 스위칭된다. 이것에 의해 모든 전자밸브(25, 26, 27, 28)가 오프가 되기 때문에 상기 제 1 압력실(11) 및 제 2 압력실(12)이 에어 공급부(3)로부터도 대기로부터도 차단되어, 그들의 내부에 에어가 봉입된다. 이 결과, 상기 피스톤(10)은 전진단의 위치에 정지함과 아울러 정지 상태로 유지되게 된다.
다음에, 상기 피스톤(10)이 전진단으로부터 후퇴단을 향해서 후퇴하는 후퇴행정에 있어서는, 상기 컨트롤러(5)에 의해 상기 제 2 공급용 전자밸브(27) 및 제 1 배기용 전자밸브(26)가 온으로 스위칭됨과 아울러 제 1 공급용 전자밸브(25) 및 제 2 배기용 전자밸브(28)가 오프로 스위칭됨으로써, 상기 제 2 압력실(12)이 에어 공급부(3)에 연통됨과 아울러 제 1 압력실(11)이 대기에 개방된다. 이것에 의해, 상기 제 2 압력실(12)에 에어 공급부(3)로부터 압력 에어가 공급되기 때문에 상기 피스톤(10) 및 로드(13)는 후퇴한다.
이 후퇴시에 있어서도, 상기 피스톤(10)의 동작 위치는 상기 측장 로드(14)와 측장 센서(6)에 의하여 항상 측정되어 측정 위치 정보로서 상기 컨트롤러(5)에 피드백된다. 그리고, 이 컨트롤러(5)에 있어서 상기 측정 위치 정보와 상기 목표 위치 정보가 비교되어, 그들의 편차가 제로가 될 때까지 상술한 전자밸브의 제어가 계속된다.
상기 피스톤(10)이 후퇴단에 도달하고, 상기 목표 위치 정보와 측정 위치 정보의 편차가 제로가 되면, 상기 컨트롤러(5)에 의해 상기 제 2 공급용 전자밸브(27) 및 제 1 배기용 전자밸브(26)가 모두 오프로 스위칭된다. 이것에 의해 모든 전자밸브(25, 26, 27, 28)가 오프로 되기 때문에 상기 제 1 압력실(11) 및 제 2 압력실(12)이 에어 공급부(3)로부터도 대기로부터도 차단되어, 그들의 내부에 에어가 봉입된다. 이 결과, 상기 피스톤(10)은 후퇴단의 위치에 정지함과 아울러 정지 상태로 유지되게 된다.
이리 하여 상기 위치결정 제어장치에 의하면, 측장 센서(6)와 복수의 2포트 전자밸브(25, 26, 27, 28)와 컨트롤러(5)로 이루어지는 간단한 위치결정 제어기구를 사용하여, 복동형의 에어 실린더에 있어서의 피스톤(10)의 동작 위치를 기계적인 조정 등을 일체 행하지 않고, 작업 내용에 따라 임의로 변경하거나 또는 조정하는 것이 가능해진다.
도 2에는 본 발명에 따른 위치결정 제어기구의 제 2 실시형태가 나타내어져 있다. 이 제 2 실시형태의 위치결정 제어기구(1B)는 상기 제 1 실시형태의 위치결정 제어기구(1A)와 마찬가지로 구성된 주 실린더(2), 에어 공급부(3), 주 에어회로(4), 및 컨트롤러(5)를 갖는 것 외에, 측장 센서(6)를 구비하지 않는 복동형의 종 실린더(2a)를 1개 이상 갖고, 이 종 실린더(2a)가 상기 주 에어회로(4)에 대하여 상기 주 실린더(2)와 병렬로 접속된 것으로, 상기 컨트롤러(5)로 상기 주 에어회로(4)를 제어함으로써 상기 종 실린더(2a)가 상기 주 실린더(2)를 따라서 동기적으로 위치결정 제어되도록 구성되어 있다.
상기 종 실린더(2a)는 측장 센서를 구비하지 않는 점을 제외하면 상기 주 실린더(2)와 같은 구성 및 작용을 갖는 것이기 때문에, 그들의 동일 구성 부분에 주 실린더(2)와 동일한 부호를 붙여서 그 구성 및 작용의 설명은 생략한다.
상기 종 실린더(2a)의 제 1 압력실(11)에 통하는 제 1 에어유로(23)와 제 2 압력실(12)에 통하는 제 2 에어유로(24)에는, 필요에 따라서 스피드 컨트롤러(30)를 접속할 수 있다.
도 3에는 본 발명에 따른 위치결정 제어기구의 제 3 실시형태가 나타내어져 있다. 이 제 3 실시형태의 위치결정 제어기구(1C)가 상기 제 2 실시형태의 위치결 정 제어기구(1B)와 다른 점은, 종 실린더(2a)와 에어 공급부(3) 사이에 주 에어회로(4)와 같은 구성을 갖는 종 에어회로(4a)가 상기 주 에어회로(4)와 병렬로 접속됨과 아울러, 각 종 에어회로(4a)의 제 1 공급용 전자밸브(25), 제 1 배기용 전자밸브(26), 제 2 공급용 전자밸브(27), 제 2 배기용 전자밸브(28)가 컨트롤러(5)에 대하여 상기 주 에어회로(4)의 제 1 공급용 전자밸브(25), 제 1 배기용 전자밸브(26), 제 2 공급용 전자밸브(27), 제 2 배기용 전자밸브(28)와 각각 병렬로 전기 접속되어 있다고 하는 점이다. 따라서, 이 제 3 실시형태에 있어서도, 상기 종 실린더(2a)가 상기 종 에어회로(4a)에 의해 상기 컨트롤러(5)에서 상기 주 실린더(2) 및 주 에어회로(4)를 따라 동기적으로 위치결정 제어된다.
또한, 제 3 실시형태의 상기 이외의 구성은 실질적으로 제 2 실시형태와 같기 때문에, 그들의 주요한 동일 구성 부분에 제 2 실시형태와 동일한 부호를 붙여서 그 구성 및 작용의 설명은 생략한다.
상기 각 실시형태에 있어서, 주 에어회로(4) 또는 종 에어회로(4a)에 있어서의 각 전자밸브(25, 26, 27, 28)는 각각 독립적으로 설치해도, 집합화해서 전자밸브 어셈블리로 해도 되고, 또는 대응하는 주 실린더(2) 또는 종 실린더(2a)에 각각 탑재해도 좋다. 또한, 컨트롤러(5)를 주 실린더에 설치할 수도 있다. 또한 상기 스피드 컨트롤러(30)에 대해서도 그것을 설치할 경우에는 대응하는 주 실린더(2) 또는 종 실린더(2a)에 설치할 수도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 위치결정 제어기구의 제 1 실시형태를 나타내는 접속도이다.
도 2는 본 발명에 따른 위치결정 제어기구의 제 2 실시형태를 나타내는 접속도이다.
도 3은 본 발명에 따른 위치결정 제어기구의 제 3 실시형태를 나타내는 접속도이다.

Claims (4)

  1. 삭제
  2. 피스톤의 양측에 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 갖고, 이들 압력실에 대한 에어의 공급에 의해 상기 피스톤이 왕복 구동되는 복동형의 주 실린더, 상기 주 실린더에 부설되어 상기 주 실린더의 피스톤의 동작 위치를 전체 스트로크에 걸쳐 측정하는 측장 센서, 에어원을 구비한 에어 공급부, 상기 에어 공급부와 상기 주 실린더 사이에 개재되는 주 에어회로, 상기 주 에어회로를 전기적으로 제어하는 컨트롤러를 갖고:
    상기 주 에어회로는 상기 에어 공급부와 상기 주 실린더의 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 연결하는 제 1 에어유로 및 제 2 에어유로와, 이들 에어유로 속에 각각 접속되어서 상기 제 1 에어유로 및 상기 제 2 에어유로를 각각 연통/차단하는 2포트식의 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 공급용 전자밸브와, 상기 제 1 압력실 및 제 2 압력실과 대기 사이를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 배기용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 가지며;
    상기 컨트롤러는 상기 측장 센서와 각 전자밸브에 전기적으로 접속되어 있고, 상기 피스톤의 동작 목표 위치를 입력하기 위한 입력수단을 갖고, 이 입력수단에 의해 입력된 목표 위치 정보와 상기 측장 센서에 의한 측정 위치 정보의 비교 결과에 기초하여 상기 각 전자밸브를 온·오프 제어함으로써 상기 피스톤을 목표 위치로 이동시킴과 아울러 그 위치에 정지시키도록 구성되고, 상기 피스톤을 전진시킬 때에는 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 1 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 2 압력실을 대기에 개방시키고, 상기 피스톤을 후퇴시킬 때에는 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 2 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 1 압력실을 대기에 개방시키며, 피스톤을 목표 위치에 정지시킴과 아울러 그 정지 위치에 유지할 때에는 상기 각 전자밸브를 모두 오프로 함으로써 상기 양 압력실에 에어를 봉입하도록 동작하고,
    또한, 상기 주 실린더 이외에 위치센서를 구비하지 않는 복동형의 종 실린더를 구비하고 있고, 이 종 실린더가, 상기 주 에어회로에 대하여 상기 주 실린더와 병렬로 접속되고, 이 주 에어회로를 통해서 주 실린더에 따라서 위치결정 제어되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구.
  3. 피스톤의 양측에 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 갖고, 이들 압력실에 대한 에어의 공급에 의해 상기 피스톤이 왕복 구동되는 복동형의 주 실린더, 상기 주 실린더에 부설되어 상기 주 실린더의 피스톤의 동작 위치를 전체 스트로크에 걸쳐 측정하는 측장 센서, 에어원을 구비한 에어 공급부, 상기 에어 공급부와 상기 주 실린더 사이에 개재되는 주 에어회로, 상기 주 에어회로를 전기적으로 제어하는 컨트롤러를 갖고:
    상기 주 에어회로는 상기 에어 공급부와 상기 주 실린더의 제 1 압력실 및 제 2 압력실을 연결하는 제 1 에어유로 및 제 2 에어유로와, 이들 에어유로 속에 각각 접속되어서 상기 제 1 에어유로 및 상기 제 2 에어유로를 각각 연통/차단하는 2포트식의 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 공급용 전자밸브와, 상기 제 1 압력실 및 제 2 압력실과 대기 사이를 연통/차단하는 2포트식의 제 1 배기용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 가지며;
    상기 컨트롤러는 상기 측장 센서와 각 전자밸브에 전기적으로 접속되어 있고, 상기 피스톤의 동작 목표 위치를 입력하기 위한 입력수단을 갖고, 이 입력수단에 의해 입력된 목표 위치 정보와 상기 측장 센서에 의한 측정 위치 정보의 비교 결과에 기초하여 상기 각 전자밸브를 온·오프 제어함으로써 상기 피스톤을 목표 위치로 이동시킴과 아울러 그 위치에 정지시키도록 구성되고, 상기 피스톤을 전진시킬 때에는 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 1 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 2 압력실을 대기에 개방시키고, 상기 피스톤을 후퇴시킬 때에는 상기 제 2 공급용 전자밸브 및 제 1 배기용 전자밸브를 온으로 함과 아울러 상기 제 1 공급용 전자밸브 및 제 2 배기용 전자밸브를 오프로 함으로써 상기 제 2 압력실을 에어 공급부에 연통시킴과 아울러 제 1 압력실을 대기에 개방시키며, 피스톤을 목표 위치에 정지시킴과 아울러 그 정지 위치에 유지할 때에는 상기 각 전자밸브를 모두 오프로 함으로써 상기 양 압력실에 에어를 봉입하도록 동작하고,
    또한, 상기 주 실린더 및 주 에어회로 이외에 위치센서를 구비하지 않는 복동형의 종 실린더와 상기 종 실린더에 접속된 종 에어회로를 갖고, 이 종 에어회로가, 상기 주 에어회로와 같은 구성을 갖고 있으며, 이들 종 실린더 및 종 에어회로가 상기 에어 공급부 및 컨트롤러에 대하여 상기 주 실린더 및 주 에어회로와 병렬로 접속됨으로써 상기 주 실린더 및 주 에어회로에 따라서 위치결정 제어되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 에어 공급부는 에어 압력을 설정압으로 유지하기 위한 레귤레이터를 갖는 것을 특징으로 하는 복동형 에어 실린더의 위치결정 제어기구.
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