KR100561804B1 - 슬립 방지 수평 반도체 웨이퍼 보트 - Google Patents
슬립 방지 수평 반도체 웨이퍼 보트 Download PDFInfo
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
Abstract
Description
Claims (14)
- 상승된 온도들에서 웨이퍼 처리시 반도체 웨이퍼를 홀딩하기 위한 웨이퍼 보트(wafer boat)로서, 제 1 및 제 2 단부들을 갖는 상기 웨이퍼 보트에 있어서:a) 상기 제 1 및 제 2 단부들 사이에 위치되고 반도체 웨이퍼들을 내부에 수용하기 위한 복수의 슬롯들로서, 상기 슬롯들 각각은 상기 반도체 웨이퍼들을 수직 방향으로 유지하기 위해 제 1 및 제 2 상부 지지 가이드들을 포함하는, 상기 복수의 슬롯들; 및b) 하부 홈 부분으로서, 상기 웨이퍼의 맨아래 부분에 접촉되고, 상기 웨이퍼가 상기 하부 홈 부분 위에 위치될 때 상기 웨이퍼의 중량을 지지하며, 상기 홈 부분은 약 1000℃ 내지 1400℃ 사이의 반도체 처리 온도들에서 상기 하부 홈 부분 위에 지지되는 상기 웨이퍼의 맨아래 부분을 실질적으로 따르는 원호 형상(arcuate configuration)을 갖고, 상기 하부 홈 부분의 반경은 상기 웨이퍼의 반경보다 크며, 상기 하부 홈 부분과 상기 웨이퍼 사이의 반경들의 차는 약 1000℃ 내지 1400℃ 사이의 반도체 처리 온도들에서 감소되는, 상기 하부 홈 부분을 포함하는, 웨이퍼 보트.
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- 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼의 중심으로부터 상기 제 1 상부 지지 가이드들에 근접하는 상기 웨이퍼의 외주(periphery)까지 연장하는 상기 웨이퍼의 제 1 반경과, 상기 웨이퍼의 중심으로부터 상기 홈 부분의 중심에 대응하는 상기 웨이퍼 외주 상의 한 포인트까지 수직 하향 연장하는 제 2 반경 사이의 각도(∝)를 규정하며, 상기 각도(∝)는 10 내지 80°의 범위에 있는, 웨이퍼 보트.
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- 상승된 온도들에서 웨이퍼 처리시 반도체 웨이퍼를 홀딩하기 위한 웨이퍼 보트로서, 제 1 및 제 2 단부들을 갖는 상기 웨이퍼 보트에 있어서:a) 상기 제 1 및 제 2 단부들 사이에 위치되고 반도체 웨이퍼들을 내부에 수용하기 위한 복수의 슬롯들로서, 상기 슬롯들 각각은 상기 반도체 웨이퍼들을 수직 방향으로 유지하기 위해 제 1 및 제 2 상부 지지 가이드들을 포함하는, 상기 복수의 슬롯들;b) 하부 홈 부분으로서, 상기 웨이퍼의 맨아래 부분에 접촉되고, 상기 웨이퍼가 상기 하부 홈 부분 위에 위치될 때 상기 웨이퍼의 중량을 지지하며, 상기 홈 부분은 약 1000℃ 내지 1400℃ 사이의 반도체 처리 온도들에서 상기 하부 홈 부분 위에 지지되는 상기 웨이퍼의 맨아래 부분을 실질적으로 따르는 원호 형상을 갖고, 상기 하부 홈 부분의 반경은 상기 웨이퍼의 반경보다 크며, 상기 하부 홈 부분과 상기 웨이퍼 사이의 반경들의 차는 약 1000℃ 내지 1400℃ 사이의 반도체 처리 온도들에서 감소되는, 상기 하부 홈 부분; 및c) 상기 보트의 상기 제 1 및 제 2 단부들로부터 10mm 보다 크지 않게 위치되는 하나 이상의 윈도우들을 포함하는, 웨이퍼 보트.
- 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 보트는 실리콘 탄화물로 제조되는, 웨이퍼 보트.
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- 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 하부 홈 부분의 중앙 포인트가 상기 제 1 및 제 2 상부 지지 가이드들 사이에서 동등한 거리에 있는, 웨이퍼 보트.
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