JPH05144756A - 基板収納用ボート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウェーハを互いに離隔させて輪切り状
に収納する基板収納用ボートに関し、特に半導体ウェー
ハを収納する際にこの半導体ウェーハ等から発生する破
砕微細粒であるパーティクルを内部に堆積させることの
ない基板収納用ボートの提供を目的とする。 【構成】 互いに離隔且つ平行状の少なくとも２つの棒
状部材21a,21cを含んで構成し、基板40の周面の少なく
とも２点を棒状部材21a,21c で支持してこの基板40を互
いに離隔させて輪切り状に収納するホルダー21と、樋状
をして、ホルダー21を内部に着脱自在に装着させるカバ
ー22とを含ませて基板収納用ボートを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板、例えば、半導体
ウェーハを互いに離隔させて輪切り状に収納する基板収
納用ボート、特に半導体ウェーハを収納する際にこの半
導体ウェーハ等から発生する破砕微細粒であるパーティ
クルを内部に堆積させることのない基板収納用ボートに
関する。

【０００２】

【従来の技術】次に、半導体ウェーハの表面に酸化膜等
を形成するために使われている従来の基板収納用ボート
について図３を参照して説明する。図３は、従来の基板
収納用ボートを説明するための斜視図である。

【０００３】従来の基板収納用ボート10は、耐熱性材
料、例えば、石英製で両端を閉口した円筒体を筒軸方向
に半割りした如く形成した樋状のカバー12と、このカバ
ー12の開口部の端面に溶着されて、カバー12に固着され
た石英製で枠状をしたホルダー11とから構成されてい
る。

【０００４】そして、この枠状をしたホルダー11の、樋
状のカバー12の長手方向と平行で互いに対向するそれぞ
れの枠辺12a,12b の内側面12a',12b' には、板厚方向の
複数のノッチＣが前記長手方向に列設されている。

【０００５】したがって、このように構成した従来の基
板収納用ボート10への半導体ウェーハ40の収納は、クリ
ーンベンチのテーブル（図示せず）等に載置した基板収
納用ボート10のホルダー11のノッチＣに半導体ウェーハ
40の周縁部を差し込むことで行なっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
基板収納用ボート10は、ホルダー11とカバー12とが固着
されて分離できない状態で形成されていたために、この
基板収納用ボートに半導体ウェーハ40を収納する際のシ
ョック等で発生するパーティクルＰ、すなわち、半導体
ウェーハ40や基板収納用ボート10のホルダー11等の破砕
微細粒がカバー12の内壁等に堆積する等の問題があっ
た。

【０００７】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は半導体ウェーハを
基板収納用ボートに収納する際に発生するパーティクル
をカバーの内壁に堆積することのない基板収納用ボート
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的は図１に示す如
く、互いに離隔且つ平行状の少なくとも２つの棒状部材
21a,21c を含んで構成し、基板40の周面の少なくとも２
点を棒状部材21a,21cで支持してこの基板40を互いに離
隔させて輪切り状に収納するホルダー21と、樋状をし
て、ホルダー21を内部に着脱自在に装着させるカバー22
とを含んで構成したことを特徴とする基板収納用ボート
により達成される。

【０００９】

【作用】本発明の基板収納用ボートは、基板、例えば、
半導体ウェーハ40を収納する際に発生するパーティクル
をホルダー21から落下させるとともに、このホルダー21
は樋状のカバー22内に着脱自在に装着できるように構成
されている。

【００１０】したがって、ホルダー21に半導体ウェーハ
40を収納した後に、半導体ウェーハ40を収納したホルダ
ー21をカバー22内に収納すれば、カバー22の内壁にパー
ティクルＰが堆積することはない。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の第１及び第２の実施例の基板
収納用ボートについて図１及び図２を参照しながら説明
する。

【００１２】図１は、本発明の第１の実施例の基板収納
用ボートを説明するための図で、同図(a) はホルダーの
斜視図、同図(b) はカバーの斜視図、同図(c) はホルダ
ーをカバーに収納してなる基板収納用ボートの斜視図で
ある。

【００１３】また、図２は、本発明の第２の実施例の基
板収納用ボートを説明するための図で、同図(a) はホル
ダーの斜視図、同図(b) はカバーの斜視図、同図(c) は
ホルダーをカバーに収納してなる基板収納用ボートの斜
視図である。

【００１４】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の第１の実施例の基板収納用ボート20は、
図１(a) 〜(c) に示すように半導体ウェーハ40を互いに
離隔して輪切り状で収容する石英製のホルダー21と、こ
のホルダー21を着脱自在に内部に装着させる石英製で樋
状のカバー22とで構成したものである。

【００１５】このホルダー21は、図１(a) に示す如く棒
状をした第１〜第４の枠体21a,21b,21c,21d のそれぞれ
の両端を連結して枠状に構成し、そして互いに平行な第
２及び第４の枠体21b,21d の長さ方向の中間部に垂直に
固定した棒状の第５と第６の枠体21e,21f の先端に、棒
状の第７の枠体21g の両端を連結したものである。

【００１６】そして、互いに平行な第１と第３の枠体21
a,21c 及び第７の枠体21g のそれぞれの内側面21a',21
c',21g'には、半導体ウェーハ40の周縁部を収容できる
複数のノッチＣが長手方向に列設されている。

【００１７】また、如上のカバー22は、図１(b) に示す
如く両端閉口で外周に長手方向に細長の開孔Ｓを複数設
けた円筒体を筒軸方向に半割りしたような形状、すなわ
ち、樋状に形成されて、前述したように内部にホルダー
21を着脱自在に装着させるものである。

【００１８】本発明の第２の実施例の基板収納用ボート
30は、上述した第１の実施例の基板収納用ボート20のカ
バー22だけを変更、すなわち、このカバー22の細長の開
孔Ｓを円形の開孔Ｓ’にしたカバー31と、第１の実施例
におけるホルダー21とで構成したものである。

【００１９】このようにホルダー21を着脱自在にカバー
22(31)に収納できる構造とした本発明の基板収納用ボー
トは、ホルダー21に半導体ウェーハ40を収納 (この収納
時に発生するパーティクルＰはホルダー21から落下し、
ホルダー21には残存しない)した後に、このホルダー21
をカバー22(31)に収納するようにすれば、パーティクル
Ｐがカバー22(31)の内壁に堆積することがない。

【００２０】また、半導体ウェーハ40の処理条件が異な
ると基板収納用ボートのカバーの開孔の形状を一般的に
変えることが必要となるが、前述した第１及び第２の実
施例の基板収納用ボートで明らかなように本発明の基板
収納用ボートにおいては、カバーだけを変更すればよ
く、高価な基板収納用ボートの購入費用等の大幅な低減
が可能となる。

【００２１】更に、本発明の基板収納用ボートは、ホル
ダーに収納した半導体ウェーハ40に上下２方向らのアク
セスが可能 (図３で説明した従来の基板収納用ボートに
おいては上方向だけ）であるために、半導体ウェーハ40
のハンドリングを自動化する際にハンドリング装置等の
設計の自由度が増加するという大きなメリットも発生す
ることとなる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、パーティ
クルがカバーの内壁に堆積することがない基板収納用ボ
ートを提供できる。したがって、本発明の基板収納用ボ
ートを採用すれば、基板収納用ボートのカバーに付着し
たパーティクルが舞い上がって半導体ウェーハ等の基板
表面に付着することがないので、半導体装置等を歩留り
良く製造することを可能にする。

【図面の簡単な説明】

【図１】は本発明の第１の実施例の基板収納用ボートを
説明するための図、

【図２】は本発明の第２の実施例の基板収納用ボートを
説明するための図、

【図３】は従来の基板収納用ボートを説明するための斜
視図である。

【符号の説明】

10,20,30は、基板収納用ボート、11,21,は、ホルダー、
12,22,31は、カバー、40は、半導体ウェーハ (基板) を
それぞれ示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに離隔且つ平行状の少なくとも２つ
   の棒状部材(21a,21c) を含んで構成し、基板(40)の周面
   の少なくとも２点を棒状部材(21a,21c) で支持してこの
   基板(40)を互いに離隔させて輪切り状に収納するホルダ
   ー(21)と、 樋状をして、前記ホルダー(21)を内部に着脱自在に装着
   させるカバー(22)とを含んで構成したことを特徴とする
   基板収納用ボート。