JPH06124911A - 横型ボート - Google Patents
横型ボートInfo
- Publication number
- JPH06124911A JPH06124911A JP29651692A JP29651692A JPH06124911A JP H06124911 A JPH06124911 A JP H06124911A JP 29651692 A JP29651692 A JP 29651692A JP 29651692 A JP29651692 A JP 29651692A JP H06124911 A JPH06124911 A JP H06124911A
- Authority
- JP
- Japan
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- wafer
- grooves
- boat
- supporting
- falling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱処理中にウエハに余分な応力が発生せず、
高品質のウエハを製造できる横型ボートを提供する。 【構成】 複数の半導体ウエハを積載するための横型ボ
ートにおいて、ウエハ荷重支持部材１５，２２とウエハ
倒れ防止部材１７，２０，２２を設け、ウエハ荷重支持
部材１５，２２が平坦な支持部１５ａ，２２ａを有し、
支持部１５ａ，２２ａがウエハ１の重量を支持する構成
になっていて、ウエハ倒れ防止部材１７，２０，２２が
複数の溝１６，２１，２２ｂを有し、溝１６，２１，２
２ｂの側壁がウエハ１の倒れを防止する構成になってお
り、ウエハ１を積載した時に溝１６，２１，２２ｂの底
面とウエハ周端面の間に隙間が形成され、溝１６，２
１，２２ｂと支持部１５ａ、２２ａがウエハの周方向で
ずれた位置に配置される構成になっていることを特徴と
する横型ボート。
高品質のウエハを製造できる横型ボートを提供する。 【構成】 複数の半導体ウエハを積載するための横型ボ
ートにおいて、ウエハ荷重支持部材１５，２２とウエハ
倒れ防止部材１７，２０，２２を設け、ウエハ荷重支持
部材１５，２２が平坦な支持部１５ａ，２２ａを有し、
支持部１５ａ，２２ａがウエハ１の重量を支持する構成
になっていて、ウエハ倒れ防止部材１７，２０，２２が
複数の溝１６，２１，２２ｂを有し、溝１６，２１，２
２ｂの側壁がウエハ１の倒れを防止する構成になってお
り、ウエハ１を積載した時に溝１６，２１，２２ｂの底
面とウエハ周端面の間に隙間が形成され、溝１６，２
１，２２ｂと支持部１５ａ、２２ａがウエハの周方向で
ずれた位置に配置される構成になっていることを特徴と
する横型ボート。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の半導体ウエハ
を積載するための横型ボートに関するものである。
を積載するための横型ボートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、シリコンウエハの酸化・拡散処
理工程では、多数のシリコンウエハをウエハ用ボートに
積載し、ウエハ用ボートを拡散炉内に挿入して所定の熱
処理を行う。ウエハ用ボートは一般に、ウエハを水平方
向に積載する縦型ボートとウエハを鉛直方向に積載する
横型ボートに分類できる。一般に、横型ボートは縦型ボ
ートよりも多数のウエハを収容できるので有利である。
横型ボートはフォークを用いて拡散炉に出し入れする構
成になっている。
理工程では、多数のシリコンウエハをウエハ用ボートに
積載し、ウエハ用ボートを拡散炉内に挿入して所定の熱
処理を行う。ウエハ用ボートは一般に、ウエハを水平方
向に積載する縦型ボートとウエハを鉛直方向に積載する
横型ボートに分類できる。一般に、横型ボートは縦型ボ
ートよりも多数のウエハを収容できるので有利である。
横型ボートはフォークを用いて拡散炉に出し入れする構
成になっている。
【０００３】従来の横型ボートは、ウエハを支持するた
めの棒状の支持部材を数本有していて、各支持部材には
同形の溝が多数設けられている。そして、各支持部材の
溝内にウエハを順次配置し、多数のウエハを支持部材に
沿って一列に積載するのである。
めの棒状の支持部材を数本有していて、各支持部材には
同形の溝が多数設けられている。そして、各支持部材の
溝内にウエハを順次配置し、多数のウエハを支持部材に
沿って一列に積載するのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、従来
の横型ボートにおいては、複数の支持部材の溝内に１枚
のウエハが配置される。ウエハの重量は専らウエハの下
方に位置する支持部材に加わる。そして、支持部材の溝
の底部がウエハの重量を支持することになる。下側に位
置しウエハの重量を支えている支持部材の溝は、同時に
溝の側壁でウエハの倒れを防止する作用も行う。
の横型ボートにおいては、複数の支持部材の溝内に１枚
のウエハが配置される。ウエハの重量は専らウエハの下
方に位置する支持部材に加わる。そして、支持部材の溝
の底部がウエハの重量を支持することになる。下側に位
置しウエハの重量を支えている支持部材の溝は、同時に
溝の側壁でウエハの倒れを防止する作用も行う。
【０００５】一方、ウエハの横付近に位置する支持部材
は主にウエハの倒れを防止する働きを行う。従来の横型
ボートでは、ウエハの横付近に位置する支持部材の溝の
底部もウエハの周端面に接触する構成になっている。
は主にウエハの倒れを防止する働きを行う。従来の横型
ボートでは、ウエハの横付近に位置する支持部材の溝の
底部もウエハの周端面に接触する構成になっている。
【０００６】このように従来の横型ボートにおいては、
支持部材の溝が、ウエハの重量を支持する働きとウエハ
の倒れを防止する働きの両方を任う構成になっていた。
支持部材の溝が、ウエハの重量を支持する働きとウエハ
の倒れを防止する働きの両方を任う構成になっていた。
【０００７】ところで、一般にウエハとボートの熱膨張
係数（率）は異なっている。さて、ウエハは室温の下で
ボートに積載される。そして熱処理時にはウエハとボー
トが高温にさらされ、両者は共に熱膨張を起すが、その
度合は異なる。このため従来の横型ボートにおいては、
特にウエハの下側に位置する支持部材間でウエハに応力
が発生し易く、スリップ等の問題が生じていた。他方、
ボート自体にも応力が生じ、特に溝の周辺の寿命が短く
なっていた。
係数（率）は異なっている。さて、ウエハは室温の下で
ボートに積載される。そして熱処理時にはウエハとボー
トが高温にさらされ、両者は共に熱膨張を起すが、その
度合は異なる。このため従来の横型ボートにおいては、
特にウエハの下側に位置する支持部材間でウエハに応力
が発生し易く、スリップ等の問題が生じていた。他方、
ボート自体にも応力が生じ、特に溝の周辺の寿命が短く
なっていた。
【０００８】この発明は、熱処理中にウエハに余分な応
力が発生せず、高品質のウエハを製造するための横型ボ
ートを提供することを目的としている。
力が発生せず、高品質のウエハを製造するための横型ボ
ートを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の半導体
ウエハを積載するための横型ボートにおいて、ウエハ荷
重支持部材１５，２２とウエハ倒れ防止部材１７，２
０，２２を設け、ウエハ荷重支持部材１５，２２が平坦
な支持部１５ａ，２２ａを有し、支持部１５ａ，２２ａ
がウエハ１の重量を支持する構成になっていて、ウエハ
倒れ防止部材１７，２０，２２が複数の溝１６，２１，
２２ｂを有し、溝１６，２１，２２ｂの側壁がウエハ１
の倒れを防止する構成になっており、ウエハ１を積載し
た時に溝１６，２１，２２ｂの底面とウエハ周端面の間
に隙間が形成され、溝１６，２１，２２ｂと支持部１５
ａ、２２ａがウエハの周方向でずれた位置に配置される
構成になっていることを特徴とする横型ボートを要旨と
している。
ウエハを積載するための横型ボートにおいて、ウエハ荷
重支持部材１５，２２とウエハ倒れ防止部材１７，２
０，２２を設け、ウエハ荷重支持部材１５，２２が平坦
な支持部１５ａ，２２ａを有し、支持部１５ａ，２２ａ
がウエハ１の重量を支持する構成になっていて、ウエハ
倒れ防止部材１７，２０，２２が複数の溝１６，２１，
２２ｂを有し、溝１６，２１，２２ｂの側壁がウエハ１
の倒れを防止する構成になっており、ウエハ１を積載し
た時に溝１６，２１，２２ｂの底面とウエハ周端面の間
に隙間が形成され、溝１６，２１，２２ｂと支持部１５
ａ、２２ａがウエハの周方向でずれた位置に配置される
構成になっていることを特徴とする横型ボートを要旨と
している。
【００１０】
【作用】ウエハ荷重支持部材１５，２２の平坦な支持部
１５ａ，２２ａがウエハ１のオリフラ部と接触してウエ
ハ１の重量を支える。一方、ウエハ倒れ防止部材１７，
２０，２２に設けた溝１６，２１，２２ｂの側壁がウエ
ハ１の倒れを防止する。そして、溝１６，２１，２２ｂ
の底面とウエハ周端面の間に隙間が形成され、溝１６，
２１，２２ｂの底面がウエハに接触しない構成になって
いる。また、溝１６、２１、２２ｂと支持部１５ａ、２
２ａがウエハ１の周方向でずれた位置に配置される。従
って、ウエハには、ウエハとボートの熱膨張差に起因す
る応力は発生しない。
１５ａ，２２ａがウエハ１のオリフラ部と接触してウエ
ハ１の重量を支える。一方、ウエハ倒れ防止部材１７，
２０，２２に設けた溝１６，２１，２２ｂの側壁がウエ
ハ１の倒れを防止する。そして、溝１６，２１，２２ｂ
の底面とウエハ周端面の間に隙間が形成され、溝１６，
２１，２２ｂの底面がウエハに接触しない構成になって
いる。また、溝１６、２１、２２ｂと支持部１５ａ、２
２ａがウエハ１の周方向でずれた位置に配置される。従
って、ウエハには、ウエハとボートの熱膨張差に起因す
る応力は発生しない。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本発明による横型ボートの断面図である。
する。図１は本発明による横型ボートの断面図である。
【００１２】図１に想像線で示したシリコンウエハ１
は、全体的に薄い円板形状をしていて、その一部が切欠
いてある。ウエハは略円形の表裏面２と線状の周端面３
を有している。切欠部４は通常オリフラと呼ばれてい
る。
は、全体的に薄い円板形状をしていて、その一部が切欠
いてある。ウエハは略円形の表裏面２と線状の周端面３
を有している。切欠部４は通常オリフラと呼ばれてい
る。
【００１３】横型ボート１０のボート本体１１は全体的
に細長い樋形状に形成されている。ボート本体１１の両
側には長手方向に沿って複数の足１２が設けられ下方に
突出している。足の屈曲部の下面にはボート１０をフォ
ークで支持するための支持部１３が形成されている。ボ
ート本体１１には多数の切欠部１４が形成されている。
この切欠部１４は強度的に問題が生じない程度に設けて
あり、ボート自体の熱容量を減らすのに役立っている。
横型ボートは例えばＳｉ含浸ＳｉＣで構成することがで
きる。
に細長い樋形状に形成されている。ボート本体１１の両
側には長手方向に沿って複数の足１２が設けられ下方に
突出している。足の屈曲部の下面にはボート１０をフォ
ークで支持するための支持部１３が形成されている。ボ
ート本体１１には多数の切欠部１４が形成されている。
この切欠部１４は強度的に問題が生じない程度に設けて
あり、ボート自体の熱容量を減らすのに役立っている。
横型ボートは例えばＳｉ含浸ＳｉＣで構成することがで
きる。
【００１４】ボート本体１１の中央部には、長手方向に
沿ってウエハ荷重支持部材１５が設けられている。ウエ
ハ荷重支持部材１５は断面凸形であり、その頂面が平坦
になっていてそこが支持面１５ａとして機能する。図１
で支持面１５ａはウエハのオリフラ部分４を支持してい
る。ここで注意すべき点は、ウエハ荷重支持部材１５に
は溝を設けずに、平坦な支持面１５ａでウエハを支持す
ることである。従って、ウエハ荷重支持部材１５はウエ
ハの倒れを防ぐ働きは全く有していない。
沿ってウエハ荷重支持部材１５が設けられている。ウエ
ハ荷重支持部材１５は断面凸形であり、その頂面が平坦
になっていてそこが支持面１５ａとして機能する。図１
で支持面１５ａはウエハのオリフラ部分４を支持してい
る。ここで注意すべき点は、ウエハ荷重支持部材１５に
は溝を設けずに、平坦な支持面１５ａでウエハを支持す
ることである。従って、ウエハ荷重支持部材１５はウエ
ハの倒れを防ぐ働きは全く有していない。
【００１５】ウエハ荷重支持部材１５の両隣り及びボー
ト本体１１の両側部には長手方向に沿ってウエハ倒れ防
止部材１７が設けられている。この実施例では全部で４
本のウエハ倒れ防止部材１７が配置されている。図１で
左端及び右端のウエハ倒れ防止部材１７は、ウエハを設
置した際にウエハの真横位置よりもやや下方にくるよう
に配置されている。内側のウエハ倒れ防止部材１７はウ
エハの斜め下４５度付近に来るように配置されている。
各ウエハ倒れ防止部材１７は、板状のベースとベース上
に突出した多数の突起から構成され、突起の間に溝１６
が形成されている。突起は溝１６の側壁となる。溝１６
の底面はベースによって画成されているが、溝１６の底
面すなわちベースはウエハ１の周端面３に接触しないよ
うに構成されている。従って、ウエハ倒れ防止部材１７
はウエハ１の重量を全く支持せず、溝１６の内に配置さ
れたウエハが倒れるのを防止するだけである。すなわ
ち、表裏面２が突起（溝１６の側壁）に支持されること
によってウエハがほぼ鉛直に保たれるのである。この
際、ウエハ１の（オリフラ４以外の）周端面３は溝の中
でも常に非接触に保たれるためより高品質のウエハを製
造することができる。
ト本体１１の両側部には長手方向に沿ってウエハ倒れ防
止部材１７が設けられている。この実施例では全部で４
本のウエハ倒れ防止部材１７が配置されている。図１で
左端及び右端のウエハ倒れ防止部材１７は、ウエハを設
置した際にウエハの真横位置よりもやや下方にくるよう
に配置されている。内側のウエハ倒れ防止部材１７はウ
エハの斜め下４５度付近に来るように配置されている。
各ウエハ倒れ防止部材１７は、板状のベースとベース上
に突出した多数の突起から構成され、突起の間に溝１６
が形成されている。突起は溝１６の側壁となる。溝１６
の底面はベースによって画成されているが、溝１６の底
面すなわちベースはウエハ１の周端面３に接触しないよ
うに構成されている。従って、ウエハ倒れ防止部材１７
はウエハ１の重量を全く支持せず、溝１６の内に配置さ
れたウエハが倒れるのを防止するだけである。すなわ
ち、表裏面２が突起（溝１６の側壁）に支持されること
によってウエハがほぼ鉛直に保たれるのである。この
際、ウエハ１の（オリフラ４以外の）周端面３は溝の中
でも常に非接触に保たれるためより高品質のウエハを製
造することができる。
【００１６】ウエハ倒れ防止部材は多数の溝を形成した
丸棒や角棒で構成することもできる。ただし、この場合
にも溝の底面がウエハ１に接触しないようにウエハ倒れ
防止部材を構成することが重要である。
丸棒や角棒で構成することもできる。ただし、この場合
にも溝の底面がウエハ１に接触しないようにウエハ倒れ
防止部材を構成することが重要である。
【００１７】次に、図２を参照して本発明の他の実施例
を簡単に説明する。図２では、簡単のために横型ボート
のフレームは省略し、ウエハ荷重支持部材２２とウエハ
倒れ防止部材２１，２２のみを示した。
を簡単に説明する。図２では、簡単のために横型ボート
のフレームは省略し、ウエハ荷重支持部材２２とウエハ
倒れ防止部材２１，２２のみを示した。
【００１８】この実施例では、部材２２がウエハを支持
するための平坦な支持面２２ａとウエハの倒れを防ぐ突
起を有している。支持面２２ａと突起は、同一位置では
なくウエハの周方向にずれて配置されている。支持面２
２ａはウエハ１のオリフラ１４を支持するだけで、ウエ
ハの倒れは防止しない。隣り合う突起の間には溝２２ａ
が形成され、その中にウエハ１が配置される。溝２２ｂ
の底部はウエハ１に接触せず、溝２２ｂの側壁（突起）
がウエハの倒れを防止する。
するための平坦な支持面２２ａとウエハの倒れを防ぐ突
起を有している。支持面２２ａと突起は、同一位置では
なくウエハの周方向にずれて配置されている。支持面２
２ａはウエハ１のオリフラ１４を支持するだけで、ウエ
ハの倒れは防止しない。隣り合う突起の間には溝２２ａ
が形成され、その中にウエハ１が配置される。溝２２ｂ
の底部はウエハ１に接触せず、溝２２ｂの側壁（突起）
がウエハの倒れを防止する。
【００１９】また、この実施例ではウエハ倒れ防止部材
２０は多数の溝２１を形成した丸棒で形成してある。た
だし、この場合にも溝２１の底面がウエハ１に接触しな
いようにウエハ倒れ防止部材を構成することが重要であ
る。ウエハ倒れ防止部材２０は、角棒であってもよい。
２０は多数の溝２１を形成した丸棒で形成してある。た
だし、この場合にも溝２１の底面がウエハ１に接触しな
いようにウエハ倒れ防止部材を構成することが重要であ
る。ウエハ倒れ防止部材２０は、角棒であってもよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明の横型ボートにおいては、ウエハ
荷重支持部材１５，２２の平坦な支持部１５ａ，２２ａ
がウエハ１の重量を支え、一方、ウエハ倒れ防止部材１
７，２０，２２に設けた溝１６，２１，２２ｂの側壁が
ウエハ１の倒れを防止する。そして、溝１６，２１，２
２ｂの底面とウエハ周端面の間には隙間が形成され、溝
１６，２１，２２ｂの底面がウエハに接触しない構成に
なっている。また、溝１６、２１、２２ｂと支持部１５
ａ、２２ａがウエハ１の周方向でずれた位置に配置され
る構成になっている。従って、ウエハには、ウエハとボ
ートの熱膨張差に起因する応力は発生せず、高品質の半
導体ウエハを製造することができる。
荷重支持部材１５，２２の平坦な支持部１５ａ，２２ａ
がウエハ１の重量を支え、一方、ウエハ倒れ防止部材１
７，２０，２２に設けた溝１６，２１，２２ｂの側壁が
ウエハ１の倒れを防止する。そして、溝１６，２１，２
２ｂの底面とウエハ周端面の間には隙間が形成され、溝
１６，２１，２２ｂの底面がウエハに接触しない構成に
なっている。また、溝１６、２１、２２ｂと支持部１５
ａ、２２ａがウエハ１の周方向でずれた位置に配置され
る構成になっている。従って、ウエハには、ウエハとボ
ートの熱膨張差に起因する応力は発生せず、高品質の半
導体ウエハを製造することができる。
【図１】本発明による横型ボートの実施例を示す断面
図。
図。
【図２】本発明による横型ボートの他の実施例の主要部
を示す断面図。
を示す断面図。
１ ウエハ ４ オリフラ １５，２２ ウエハ荷重支持部材 １５ａ，２２ａ 支持部 １７，２０，２２ ウエハ倒れ防止部材 １６，２１，２２ｂ 溝 ◆
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の半導体ウエハを積載するための横
型ボートにおいて、ウエハ荷重支持部材（１５，２２）
とウエハ倒れ防止部材（１７，２０，２２）を設け、ウ
エハ荷重支持部材（１５，２２）が平坦な支持部（１５
ａ，２２ａ）を有し、支持部（１５ａ，２２ａ）がウエ
ハ（１）の重量を支持する構成になっていて、ウエハ倒
れ防止部材（１７，２０，２２）が複数の溝（１６，２
１，２２ｂ）を有し、溝（１６，２１，２２ｂ）の側壁
がウエハ（１）の倒れを防止する構成になっており、ウ
エハ（１）を積載した時に溝（１６，２１，２２ｂ）の
底面とウエハ周端面の間に隙間が形成され、溝（１６，
２１，２２ｂ）と支持部（１５ａ、２２ａ）がウエハの
周方向でずれた位置に配置される構成になっていること
を特徴とする横型ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29651692A JPH06124911A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 横型ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29651692A JPH06124911A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 横型ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06124911A true JPH06124911A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17834554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29651692A Pending JPH06124911A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 横型ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06124911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7055702B1 (en) | 2000-06-06 | 2006-06-06 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Slip resistant horizontal semiconductor wafer boat |
-
1992
- 1992-10-09 JP JP29651692A patent/JPH06124911A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7055702B1 (en) | 2000-06-06 | 2006-06-06 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Slip resistant horizontal semiconductor wafer boat |
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