KR100538902B1 - 초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른 - Google Patents

초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른 Download PDF

Info

Publication number
KR100538902B1
KR100538902B1 KR10-2003-7010122A KR20037010122A KR100538902B1 KR 100538902 B1 KR100538902 B1 KR 100538902B1 KR 20037010122 A KR20037010122 A KR 20037010122A KR 100538902 B1 KR100538902 B1 KR 100538902B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
horn
ultrasonic vibration
working surface
ultrasonic
vibration
Prior art date
Application number
KR10-2003-7010122A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040024543A (ko
Inventor
다마모토오사무
Original Assignee
미시마 다이지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미시마 다이지 filed Critical 미시마 다이지
Publication of KR20040024543A publication Critical patent/KR20040024543A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100538902B1 publication Critical patent/KR100538902B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • B29C65/08—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • B29C65/08—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using ultrasonic vibrations
    • B29C65/081—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using ultrasonic vibrations having a component of vibration not perpendicular to the welding surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/70—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material
    • B29C66/73—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset
    • B29C66/739—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset
    • B29C66/7392—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of at least one of the parts being a thermoplastic
    • B29C66/73921—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts characterised by the composition, physical properties or the structure of the material of the parts to be joined; Joining with non-plastics material characterised by the intensive physical properties of the material of the parts to be joined, by the optical properties of the material of the parts to be joined, by the extensive physical properties of the parts to be joined, by the state of the material of the parts to be joined or by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of the parts to be joined being a thermoplastic or a thermoset characterised by the material of at least one of the parts being a thermoplastic characterised by the materials of both parts being thermoplastics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/83—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof characterised by the movement of the joining or pressing tools
    • B29C66/832—Reciprocating joining or pressing tools
    • B29C66/8322—Joining or pressing tools reciprocating along one axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90—Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/92—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the pressure, the force, the mechanical power or the displacement of the joining tools
    • B29C66/924—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the pressure, the force, the mechanical power or the displacement of the joining tools by controlling or regulating the pressure, the force, the mechanical power or the displacement of the joining tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90—Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/92—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the pressure, the force, the mechanical power or the displacement of the joining tools
    • B29C66/929—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the pressure, the force, the mechanical power or the displacement of the joining tools characterized by specific pressure, force, mechanical power or displacement values or ranges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90—Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/95—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94
    • B29C66/951—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 by measuring or controlling the vibration frequency and/or the vibration amplitude of vibrating joining tools, e.g. of ultrasonic welding tools
    • B29C66/9513—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 by measuring or controlling the vibration frequency and/or the vibration amplitude of vibrating joining tools, e.g. of ultrasonic welding tools characterised by specific vibration frequency values or ranges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90—Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/95—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94
    • B29C66/951—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 by measuring or controlling the vibration frequency and/or the vibration amplitude of vibrating joining tools, e.g. of ultrasonic welding tools
    • B29C66/9517—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 by measuring or controlling the vibration frequency and/or the vibration amplitude of vibrating joining tools, e.g. of ultrasonic welding tools characterised by specific vibration amplitude values or ranges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90—Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/95—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94
    • B29C66/959—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 characterised by specific values or ranges of said specific variables
    • B29C66/9592—Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling specific variables not covered by groups B29C66/91 - B29C66/94 characterised by specific values or ranges of said specific variables in explicit relation to another variable, e.g. X-Y diagrams

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 용착 작업을 위한 충분한 패스 라인을 확보하고, 더욱이 세로 성분의 초음파 진동이 발생하지 않는 초음파 용착 장치와 초음파 진동 호른(horn)을 제공한다.
초음파 용착 장치(1000)는 초음파 진동 호른(2000)에 초음파 진동이 발생되었을 때에, 진동이 유기되지 않은 노달 포인트(NP)를 용착 처리의 작업면의 바로 위에 위치시켜, 상기 노달 포인트(NP) 근방에 있어서 초음파 진동 호른(2000)을 지지한다. 초음파 진동 호른(2000)은 그 길이 방향을 따른 중심 축선에 관해서 대칭형 단면 형상을 나타낸 접합 동작부(2100)에 테이퍼형으로 경사지는 작업면(2110)과 대향면(2110X)을 대칭형으로 배치하고, 상기 작업면(2110)과 대향면(2110X)에 계속되는 오목부(2133)를 대칭형으로 형성하여 접합 작업면(2110)에 평행한 초음파 진동만을 상기 작업면에 발생시키도록 하고 있다.

Description

초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른 {Ultrasonic vibration welding device and ultrasonic vibration horn}
본 발명은 초음파 가로 진동을 이용하여 공진체(共振體)를 이루는 초음파 호른(horn)을 가로 진동시켜 열가소성 수지나 금속을 용착, 용접하는 초음파 진동 용접 기술 분야에 속하는 것으로, 초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른에 관한 것이다.
종래, 초음파 진동 용착 기술에 있어서는, 공진체(초음파 호른)를 접합 부재에 접촉시키고, 초음파 진동을 유발시켜, 호른의 중심 축선에 병행하는 측면을 이용하는 방식의 가로 진동 방식에 의해, 그 중심 축 방향으로 미세하게 신축시켜 접합 부재를 피접합 부재에 접착시키는 기술은 널리 알려져 있다(종래 기술).
또한, 본 출원인의 선행 출원에 관한 일본 특허출원 제2001-7240호(선행 기술)의 발명을 들 수 있다.
이 선행 기술의 발명에 있어서도, 용착 처리 작업에 필요한 패스 라인을 확보하고, 더구나, 용착 작업의 단점이 되는 작업면에 수직인 진동 성분(세로 진동)을 발생시키는 것을 없애고, 작업면에 평행한 방향의 진동 성분(가로 진동)만을 발생시켜서 높은 용착 품질의 진동 용착 작업을 가능하게 하는 것이었다.
그렇지만, 선행 기술의 발명에 있어서는, 초음파 진동 호른은 초음파 진동 수단에 하향으로 경사져서 한쪽만 지지되는 형상으로 보유되고, 더욱이, 그 컬럼부 상의 노달 포인트(nodal point)를 서포트 수단(200)에 의해 지지하는 형식으로, 말하자면 접합 용착부가 한쪽만 지지되는 형상으로 2개소에서 지지된 것이다.
따라서, 접합 부재에 대한 가압력이, 예를 들면, 10kgf 정도로 비교적 작은 경우에는, 작업면의 경사는 무시할 수 있어, 용착 처리에 지장은 생기지 않지만, 작업면의 사용 면적이 확대됨에 따라 가압력이 커지면, 예를 들어, 수 미크론 정도이기는 하지만, 작업면에 면 경사가 발생하여 고품질의 용착 처리를 보장하기 어렵다는 것이 분명해진다.
물론, 이 때에, 반파장 호른이 아니라 1파장 호른을 이용하면, 면 경사는 발생하지 않고, 이 점의 불량은 해소되지만, 장치의 컴팩트화는 바랄 수 없고, 중량이 커져 각 부의 정밀한 조정에 시간이 걸린다는 결점은 회피할 수 없다는 것은 말할 필요도 없다.
또한, 마찬가지로 미국 특허 제 4088257호 명세서(공지 기술)에서는, 작업면 바로 위를 가압하는 형식의 발명이 개시되어 있다.
이 공지예에 의하면, 상기한 면 경사의 발생을 방지할 수 있지만, 초음파 진동이 원호 진동이기 때문에, 용착 처리의 불량 요인인 세로 성분의 초음파 진동 발생은 피할 수 없다.
본 발명에 있어서는, 상기한 종래 기술을 근거로 하여, 상기 선행 기술이나 공지 기술에 있어서의 단점을 개선한 창의적인 장치를 완성한 것이다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제를 들면, 다음과 같다.
즉, 이 발명이 해결하고자 하는 제 1 과제는 충분한 패스 라인을 확보할 수 있어, 용착 처리 작업의 용이화를 도모할 수 있는 것을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 제 2 과제는 초음파 호른에 있어서의 작업면에서의 세로 방향에 관한 초음파 진동 성분을 배제하고, 작업면에 평행한 진동만을 발생시켜, 접합 부재간의 접착 정밀도를 대폭으로 향상시킬 수 있는 것을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 제 3 과제는 높은 가압시에도 작업면에 경사를 발생시키지 않는 것을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 제 4 과제는 초음파 호른의 휨 진동에 의해, 그 선단으로부터의 진폭 감쇠를 작게 하고, 깊이를 길게 하여 이용 주파수를 증대할 수 있어서, 파장을 1파장 이하로 하여, 컴팩트화할 수 있는 것을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태 1의 초음파 진동 용착 장치의 기능 블럭도.
도 2는 도 1의 초음파 진동 호른과 노달 서포트 수단의 정면도.
도 3은 도 1의 초음파 진동 호른의 확대 측면도.
도 4는 도 2의 초음파 진동 호른의 진동 벡터를 시뮬레이션한 압축 상태의 진동 벡터의 모식적 측면도.
도 5는 도 2의 초음파 진동 호른의 진동 벡터를 시뮬레이션한 인장 상태의 진동 벡터의 모식적 측면도.
도 6은 초음파 진동 호른의 진폭 분포도.
도 7은 도 4의 최선의 형태 2의 모식적 측면도.
도 8은 도 4의 최선의 형태 3의 모식적 측면도.
도 9는 도 8의 초음파 진동 호른의 가압 수단의 설명도.
본 발명은 초음파 진동 호른의 형상을 특정하여, 그 노달 포인트에 있어서 초음파 진동이 발생하지 않도록 고안하여, 이 노달 포인트를 작업면의 바로 위쪽에 배치시켜 가압 가능하게 지지시킨 점을 주안점으로 한 것이다.
즉, 다음과 같다.
(1) 열가소성 수지 재료 등의 열용융성 재료를 포함하는 접합 부재를 압접시키고, 초음파 진동을 부여하여 용착 처리하는 초음파 진동 용착 장치에 장착되는 초음파 진동 호른으로서, 그 길이 방향을 따른 중심 축선에 관해서 대칭형 단면 형상을 나타낸 접합 동작부에는 테이퍼 형상으로 경사하는 작업면과 대향면을 대칭형으로 배치하고, 상기 작업면과 대향면에 계속되는 오목부를 대칭형으로 형성하여 접합 작업면에 평행한 초음파 진동만을 상기 작업면에 발생시키도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
(2) 상기 (1)의 초음파 진동 호른으로서, 초음파 진동이 발생되었을 때에, 진동이 유기되지 않은 노달 포인트를 상기 용착 처리의 작업면의 바로 위쪽에 위치시켜, 상기 노달 포인트 근방에 있어서 상기 호른을 지지할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
삭제
삭제
(3) 상기 (1)의 초음파 진동 호른에 있어서, 상기 호른의 중심 축선을 작업면에 대하여 20 내지 50도 정도 경사형이 되도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
(4) 상기 (1)에 있어서의 상기 오목부의 끼인각(挾角)을 둔각형으로 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
(5) 상기 (4)에 있어서의 끼인각을 90 내지 180도로 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
따라서, 작업면에 평행한 초음파 진동만이 작업면에 발생하여, 유효하게 용착 처리를 실행할 수 있다.따라서, 작업면에 충분한 가압력을 부여하여 효과적으로 용착할 수 있다.또한, 충분한 패스 라인도 확보할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 있어서의 초음파 진동 용접 장치(본 발명의 장치; 1000)와, 그 초음파 진동 호른(본 발명의 호른; 2000)의 최선의 형태를 도면을 참조하여 설명한다.
(최선의 형태 1)
1. 전체 구성
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 장치(1000)에 있어서는, 본 발명의 호른(2000)의 노달 포인트(NP)를 노달 서포트 수단(200)에 의해 유지시키고, 그 중심 축선(L)을 피접합 부재(W2)를 배치하는 테이블 수단(400)의 지지면(410)에 대하여 경사 각도(A)를 약 20 내지 50도 정도로 경사시켜 초음파 진동 발생기(공급 수단; 500)에 한쪽만 지지되는 형상으로 연결하고 있으며, 본 발명의 호른(2000)에, 후술하는 컴퓨터 등의 제어 수단(600)에 의해 초음파 진동을 기동시키도록 구성된 것이다.
2. 각 부의 구성
(1) 본 발명의 장치(1000)
① 노달 서포트 수단(200)
본 발명의 장치(1000)의 프레임(1100)에 배치한 승강 위치 변경 수단(1200)에 연결된 노달 서포트 수단(200)은 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 주요 프레임(210)에 설치한 지지 다리(211) 사이에, 후술하는 본 발명의 호른(2000)을 배치하고, 본 발명의 호른(2000)의 노달 포인트(NP) 위치의 수용 구멍(212)에 관통하여 배치한 단면 사각 형상의 지지 로드(220)의 양단을 상기 지지 다리(211)에 삽입 통과시키고, 세로 방향에 관한 제 1 조정 나사(213)와, 가로 방향에 관한 제 2 조정 나사(214)에 의해, 상기 지지 로드(220)를 상기 지지 다리(211) 사이에 위치 조정 가능하게 고정 설치한 것이다.
② 초음파 진동 공급 수단(500)
이 초음파 진동 공급 수단(500)은 초음파 진동 발진기, 컨버터, 부스터 등으로 구성되어 있으며, 후술하는 본 발명의 호른(2000)을, 그 중심 축선(L)이 후술하는 접합 작업면(S)에 대하여 경사진 한쪽만 지지되는 형상으로 연결하여 보유함과 동시에, 도시하지 않은 전력 공급 수단에 의해 초음파 진동을 발생시켜, 본 발명의 호른(2000)에 이 초음파 진동을 공급할 수 있는 것이다.
③ 진공 흡착 수단(300)
본 발명의 장치(1000)에 구비된 진공 흡착 수단(300)은, 도시하지 않은 진공 동력원을, 후술하는 본 발명의 호른(2000)의 흡인 구멍(2111)에 계속되는 통기 구멍(2134)에 연통시켜, 접합 부재(W1)를 착탈 가능하게 하여, 피접합 부재(W2)에 대향시킬 수 있는 것이다.
④ 테이블 수단(400)
필요에 따라서, X-Y 방향으로 이동 가능한 이 테이블 수단(400) 상에 피접합 부재(W2)를 보유시키고, 상기 본 발명의 호른(2000)에 흡착된 접합 부재(W1)에 정렬하여 대향시켜, 초음파 진동 용착시킬 수 있는 것이다.
⑤ 제어 수단(600)
도 1과 같이, 이 제어 수단(600)은 데이터 처리 기능을 구비한 퍼스널 컴퓨터 등으로 구성되어 있으며, 조작 패널(수단)(700)에 의해 매뉴얼 조작되어 상기 각 수단에 동작을 지령할 수 있는 것이고, 또한, 그 동작 상황에 대해서는, 액정 패널 등의 표시 수단(800)에 표시할 수 있는 것이다.
⑥ 초음파 진동 호른(본 발명의 호른; 2000)
예를 들면, 티타늄 합금 또는 SKD재 등의 금속으로 구성된 본 발명의 호른(2000)은 도 3 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 외관상 편평하고 다각 형상의 접합 동작부(2100)와, 상기 초음파 진동 공급 수단(500)의 연결 로드(510)에 연결되는 내측 단부면(2220)을 형성한 컬럼부(2200)로 구성되어 있다.
이 접합 동작부(2100)의 외측 단부에는 경사형으로 작업면(2110)을 형성함과 동시에, 진동 용착 처리 시에 접합 부재(W1)에 접촉하고, 이것을 흡착하여 보유할 수 있는 흡인 구멍(2111)을 개설하여 진공 흡착 수단(300)에 연통시켜, 접합 부재(W1)를 흡착할 수 있도록 구성되어 있다.
더구나, 도면 중, 2110X는 중심 축선(L)에 관해서 작업면(2110)에 대칭적으로 형성한 대향면이다.
이 접합 동작부(2100)의 외측 단부면에는 컬럼부(2200)의 중심 축선(L) 위치를 가장 깊은 중심부로 한 오목면(2120)을 형성하고, 그 중심부의 오목 각도(B)를 약 90 내지 180도로 하여, 상기 작업면(2110)과 상기 컬럼부(2200) 사이의 접합 동작부(2100)에는 상기 중심 축선(L)을 중심으로 하는 방향의 요철부(2130)가 형성되어 있다.
이 요철부(2130)에 대해서, 더욱 상세하게 서술하면 다음과 같다.
(a) 인접하는 작업면(2110)에 연속하고, 중심 축선(L)에 관해서 대향하는 대향면(2110X)에 평행한 짧은 제 1 오목면(2131)과, 이 제 1 오목면(2131)에 연속하고, 상기 인접하는 작업면(2110)에 평행한 제 1 돌출면(2132)으로 제 1 오목부(2133)를 형성한다.
(b) 상기 제 1 돌출면(2132)에 연속하고, 상기 중심 축선(L)에 관해서 대칭인 대향면(2110X)에 평행한 긴 제 2 오목면(2134)과, 이 긴 제 2 오목면(2134)에 연속하는 상기 컬럼부(2200)의 외주면(2210)으로 제 2 오목부(2135)를 형성하여, 제 1 및 제 2 오목부(2133, 2135) 사이에 돌출각 약 110도의 돌출부(2136)가 형성된다.
(c) 상기 제 1 오목면(2131)과, 상기 제 1 돌출면(2132)과의 제 1 끼인각(C)을 약 90 내지 180도로 하고, 상기 제 1 돌출면(2132)과 상기 컬럼부(2200)의 외주면(2210)의 제 2 끼인각(D)을 약 140도로 한다.
(d) 컬럼부(2200)에는 상기 외주면(2210)으로 계속되어, 상기 중심 축선(L)에 직교하는 내측 단부면(2220)을 형성하고 있다.
더욱이, 본 발명의 호른(2000)의 상기 작업면(2110)에 개설한 흡인 구멍(2111)을 상기 진공 흡착 수단(300)에 연통시키는 연통 구멍(2140)을 개통시키고 있다.
더구나, 이러한 본 발명의 호른(2000)에 대해서는, 사용시에는 반파장의 진폭으로 초음파 진동되는 반파장 호른으로서, 초음파 진동 공급 수단(500)으로부터 발생하는 소정의 주파수에 의해 진폭이 5㎛ 정도의 가로 진동이 발생하도록 되어 있지만, 도 4 및 도 5에 화살표로 도시하는 진동 벡터에 대해서는 후술한다.
3. 초음파 진동 용착 처리
(1) 용착 처리 준비
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 호른(2000)을 초음파 진동 발생기(공급 수단)(500)에 장착하고, 작업면(2110)을 테이블 수단(400) 상의 피접합 부재(W2) 상에 위치시킨 상태에서 조작 패널(수단)(700)을 매뉴얼 조작하여 제어 수단(600)에 의해 노달 서포트 수단(200)을 동작시키고, 상기 진공 흡착 수단(300)에 의해 접합 부재(W1)를 흡착시킨 본 발명의 호른(2000)의 위치를 조정하여, 초음파 진동 발생기(500)에 의해 본 발명의 호른(2000)에, 예를 들면 반파장의 초음파 진동을 유발시켜서 피접합 부재(W2)에 압접시켜 용접하고, 그후, 테이블 수단(400)을 화살표 M-M' 방향으로 이동시켜 다음 용착 공정으로 진행하는 것이다.
(2) 진동 용착의 요점
그런데, 본 발명의 호른(2000)의 작업면(2110)에 있어서, 이 작업면(2110)과 평행한 진동(가로 진동 성분)만이 본 발명의 호른(2000)에 발생되어, 효율적으로 진동 용착 처리가 실행되는 점으로, 이 때, 접합 부재(W1)를 위한 충분한 패스 라인을 확보하여도 작업면(2110)에 수직인 진동(세로 진동 성분)은 거의 발생하지 않기 때문에, 접합 정밀도가 향상하도록 한 점이다.
즉, 본 발명의 호른(2000)의 길이 방향 중심 축선(L)에 대하여 경사시켜 접합 부재(W1)의 패스 라인(G)을 확보하고, 결과적으로 본 발명의 호른(2000)의 사용 가능한 깊이를 충분히 확보할 수 있도록 한 점이다.
다음으로, 그 원리와 작용을 상세하게 설명한다.
즉, 도 5에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 호른(2000)에 있어서, 그 선단으로부터의 거리와, 본 발명의 호른(2000)의 진폭 크기와의 관계는 COS 파형에 가깝게 변화하기 때문에, 선단으로부터 1/8 파장의 위치에서는 일반적으로 진폭은 약 70%로 저하하여, 용착 처리의 품질 저하가 염려되는 바이다.
그렇지만, 본 발명의 호른(2000)에 있어서는, 그 접합 동작부(2100)의 형상을 특정함으로써, 본 발명의 호른(2000) 자체에 발생되는 휨 진동을 유효하게 이용하여 진폭의 감쇠율을 10% 이하로 억제하고, 더구나 세로 진동 성분을 포함하지 않는 초음파 진동을 얻을 수 있던 것으로 한 점이다.
이하, 도 4 및 도 5에 도시하는 화살표는 도시하지 않은 벡터 해석기에 의해 해석한 진동 벡터를 도시하는 것으로, 그 길이가 진폭치, 방향이 진동 모드로서 설명한다.
즉, 일반적으로, 이러한 종류의 진동 호른에 있어서 패스 라인(G)을 확보하기 위해, 이 호른을 작업면에 대하여 경사시켜 배치하면, 이 작업면에 있어서 세로 성분의 진동이 발생하게 되어, 접합 품질을 저하시키는 불량 요인이 되었었다.
이에 대하여, 도 3 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 호른(2000)을 상기한 특정 형상으로 함으로써, 본 발명의 호른(2000)에 있어서는, 초음파 진동시에 본 발명의 호른(2000)의 접합 동작부(2100)에 휨 진동을 발생시키고, 초음파 진동의 세로 성분을 소거시켜서 접합 작업시에 있어서의 진동 벡터가 작업면(2110)과 완전히 평행형이 될 수 있던 것이다.
즉, 도 4에 도시하는 바와 같이 본 발명의 호른(2000)에 대하여 중심 축선(L)에 관하여 압축 방향의 진동 벡터(CV)가 그 내측 단부면(2220)에 부여된 때에는, 이 진동 벡터(CV)는 본 발명의 호른(2000)의 선단의 오목면(2120)으로부터 멀어지는 방향으로 지향되고, 더구나 이 때, 작업면(2110)에 일치하여, 이것과 평행한 방향으로만 진동시키는 것은 도 4(가)의 영역에 있어서의 진동 벡터(CV)군의 상황으로 분명하다.
더욱이, 이 진동 벡터(CV)는 상기한 제 1 오목면(2131)으로부터 방출되고(나), 그 나머지 진동 벡터(CV)에 대해서는, 상기한 돌출부(2136) 방향으로 지향되어 방출된다(다).
또한, 계속해서 도 5에 도시하는 바와 같이 본 발명의 호른(2000)에 대하여 인장 방향의 진동 벡터(PV)가 부여된 때에는, 이 진동 벡터(PV)는 상기 진동 벡터(CV)와 등가로 역방향으로 지향되어 진동을 발생하게 되고, 이 경우에도 작업면(2110)과 일치하여, 이것과 평행한 진동 벡터(PV)에 의해 진동시켜지는 것은 분명하다.
더구나, 이러한 진동 벡터(CV, PV)가 발생하고 있는 동안, 본 발명의 호른(2000)은 노달 포인트(NP)에 있어서 지지 로드(220)에 의해 안정적으로 지지되어 있기 때문에, 진동 벡터에 손실이 생기지 않고, 효과적으로 접합 작업을 실행할 수 있는 것으로, 지지 로드(220)에는 진동이 부여되지 않고, 안정적으로 본 발명의 호른(2000)을 지지할 수 있다.
또한, 반파장 호른이어도 선단으로부터의 진폭 감쇠가 비교적 작고, 깊이를 충분히 길게 얻을 수 있게 되기 때문에, 주파수를 올릴 수 있다는 것은 말할 필요도 없는 것이다.
더구나, 접합 동작부(2100)의 형상에 대해서는, 작업면(2110)을 180도 대향하는 위치에 2갈래형으로 배치하는 것도 설계 변경의 범위 내이다.
즉, 상기한 바와 같이, 작업면(2110)의 바로 위에서 작업면(2110) 방향으로 충분히 가압력이 부여된 상태에서, 작업면(2110)에 평행한 가로 진동 벡터(CV, PV)만이 작업면(2110)에 부여되는 결과, 접합 부재(W1)와 피접합 부재(W2)는 효과적으로 용착 처리되게 되는 것이 확인되어 있다.
참고로 상기 최선의 형태의 구체적인 실례를 들어 보면, 다음과 같다.
W1 … 반도체 칩 부품
W2 … 회로 기판
호른 … 티타늄 합금제
경사 각도(A) … 약 20 내지 50도
오목 각도(B) … 약 155도
제 1 끼인각(C) … 약 105도
제 2 끼인각(D) … 약 145도
돌출각 … 약 110도
발진기 진동수 … 40kHz
진폭 … 5미크론
시간 … 0.1 내지 0.3초
가압력 … 5 내지 30kg중
최대 작업 면적 … 20mm각
(단, 진폭 분포 … 90% 이상,
세로 성분비 … 5% 이하,
발진 주파수 … 40kHz)
(최선의 형태 2)
1. 외관 형상
도 7에 도시하는 본 발명의 호른(2000')의 특징은 상기한 본 발명의 호른(2000)의 외관 형상이 부분적으로 변경된 점이다.
즉, 본 발명의 호른(2000)과 상위한 점은 컬럼부(2200')에 계속되는 접합 동작부(2100')에 있어서, 제 1 오목면(2131')에 계속되는 경사면(2137')은 상기 컬럼부(2200')에 계속되고 있고, 제 1 오목면(2131')과 경사면(2137')은 둔각형으로 함몰되어 있고, 그 제 3 끼인각(F)은 약 160도 정도로, 외관적으로는, 본 발명의 호른(2000)에 있어서의 제 1 오목부(2133)의 제 1 끼인각(C)에 비교하여 함몰이 얕고 완만하게 가늘어져, 그대로 컬럼부(2200')에 도달하도록 형성되어 있다.
2. 기능
상기한 본 발명의 호른(2000)과 공통하고 있기 때문에 중복된 설명은 생략한다.
(최선의 형태 3)
1. 외관 형상
도 8에 도시하는 본 발명의 호른(2000")이 상기한 본 발명의 호른(2000 및 2000')과 상위한 점은 본 발명의 호른(2000")의 돌출부(2136")와 컬럼부(2200")의 사이에 약간 융기하는 융기부(2138")를 형성한 점이다.
2. 가압 수단(200")
도 9에 도시하는 바와 같이 본 발명의 호른(2000")의 작업면(2110") 바로 위쪽의 노달 포인트(NP) 위쪽에 위치하고, 작업면(2110")에 평행형의 지지면(2110Y)에 가압면(230")을 설치한 공진 막대(240")를 연결시켜, 이 공진 막대(240")를 승강 구동 수단에 연계시킨 것이다.
3. 기능
상기한 본 발명의 호른(2000 및 2000')과 공통되어 있기 때문에 중복된 설명은 생략한다.
이상 설명한 본 발명의 산업상의 이용 가능성은 다음과 같다.
① 초음파 진동 호른의 작업면에는 세로 성분의 진동이 발생하지 않기 때문에 접합 품질이 대폭 향상된다.
② 초음파 진동 용접 수단과 가공재(접합 부재 등) 사이에 충분한 패스 라인(작업 공간)을 형성할 수 있기 때문에 작업성이 향상한다.
③ 높은 가압에 의한 접합 작업 시에도 작업면에 경사가 발생하지 않아, 고품질의 접합 처리가 달성된다.
④ 초음파 진동 호른의 진폭 감쇠를 적게 하여, 깊이를 길게 하였기 때문에, 주파수를 증대할 수 있고, 초음파 진동을 1파장 이하로 하여도 용접 효과에 불량이 생기지 않아, 초음파 진동 용접 장치의 소형, 경량화를 도모할 수 있다.
⑤ 상기한 바와 같이 세로 성분의 진동이 생기지 않기 때문에, 접합 부재가 파손될 우려가 없다.

Claims (5)

  1. 열가소성 수지 재료 등의 열용융성 재료를 포함하는 접합 부재를 압접시키고, 초음파 진동을 부여하여 용착 처리하는 초음파 진동 용착 장치에 장착되는 초음파 진동 호른으로서, 그 길이 방향을 따른 중심 축선에 관해서 대칭형 단면 형상을 나타낸 접합 동작부에는 테이퍼 형상으로 경사지는 작업면과 대향면을 대칭형으로 배치하고, 상기 작업면과 대향면에 계속되는 오목부를 대칭형으로 형성하여 접합 작업면에 평행한 초음파 진동만을 상기 작업면에 발생시키도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
  2. 제 1 항에 있어서, 초음파 진동이 발생되었을 때에, 진동이 유기되지 않는 노달 포인트를 상기 용착 처리의 작업면의 바로 위쪽에 위치시켜, 상기 노달 포인트 근방에 있어서 상기 호른을 지지할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 호른의 중심 축선을 작업면에 대하여 20 내지 50도 정도 경사형이 되도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 오목부의 끼인각을 둔각형으로 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 끼인각을 90 내지 180도로 한 것을 특징으로 하는 초음파 진동 호른.
KR10-2003-7010122A 2001-12-03 2002-10-25 초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른 KR100538902B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2001-00368604 2001-12-03
JP2001368604A JP3466175B2 (ja) 2001-12-03 2001-12-03 超音波振動ホーン
PCT/JP2002/011089 WO2003047844A1 (en) 2001-12-03 2002-10-25 Ultrasonic vibration welding device and ultrasonic vibration horn

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040024543A KR20040024543A (ko) 2004-03-20
KR100538902B1 true KR100538902B1 (ko) 2005-12-27

Family

ID=19178171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-7010122A KR100538902B1 (ko) 2001-12-03 2002-10-25 초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20040112547A1 (ko)
EP (1) EP1462237A4 (ko)
JP (1) JP3466175B2 (ko)
KR (1) KR100538902B1 (ko)
CN (1) CN100431826C (ko)
TW (1) TWI228062B (ko)
WO (1) WO2003047844A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180020301A (ko) * 2015-06-30 2018-02-27 텔소닉 홀딩스 에이쥐 초음파에 의해 부품들을 용접하는 장치

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3952959B2 (ja) * 2002-02-25 2007-08-01 株式会社村田製作所 超音波ホーンおよびこの超音波ホーンを用いた超音波接合装置
FR2859409B1 (fr) 2003-09-08 2006-06-16 Plastic Omnium Cie Ensemble d'une piece d'aspect d'un vehicule automobile et d'une autre piece solidarisee a la piece d'aspect par fusion de matiere et procede d'assemblage de ces pieces
DE10349380B3 (de) * 2003-10-21 2005-06-02 Schunk Ultraschalltechnik Gmbh Werkzeug für eine Ultraschallschweißvorrichtung
KR100679797B1 (ko) * 2004-08-20 2007-02-07 전주선 유리재질의 솔더링을 위한 초음파 솔더링 장치
DE102005004899A1 (de) * 2005-02-02 2006-08-03 Schunk Ultraschalltechnik Gmbh Verdichtungsraum sowie ein einen Verdichtungsraum begrenzendes Werkzeug
CN101190475B (zh) * 2006-11-29 2011-06-29 比亚迪股份有限公司 超声波焊接治具
US9038688B2 (en) 2009-04-29 2015-05-26 Covidien Lp System and method for making tapered looped suture
US8056792B2 (en) * 2009-05-05 2011-11-15 Branson Ultrasonics Corporation Scalloped horn
DE102010005230A1 (de) * 2010-01-21 2011-07-28 ATHENA Technologie Beratung GmbH, 33106 Vorrichtung und Verfahren zur Ultraschall-Materialbearbeitung
US9005799B2 (en) 2010-08-25 2015-04-14 Lg Chem, Ltd. Battery module and methods for bonding cell terminals of battery cells together
US9034129B2 (en) 2011-01-13 2015-05-19 Lg Chem, Ltd. Ultrasonic welding system and method for forming a weld joint utilizing the ultrasonic welding system
KR101831319B1 (ko) 2011-03-11 2018-02-22 넥실리스 아게 초음파 에너지 도입용 소노트로드
JP6022784B2 (ja) * 2011-04-07 2016-11-09 日産自動車株式会社 セパレータ溶着装置、およびセパレータの溶着方法
US8640760B2 (en) 2011-08-19 2014-02-04 Lg Chem, Ltd. Ultrasonic welding machine and method of aligning an ultrasonic welding horn relative to an anvil
US8695867B2 (en) 2011-08-31 2014-04-15 Lg Chem, Ltd. Ultrasonic welding machine and method of assembling the ultrasonic welding machine
JP2015116602A (ja) * 2013-12-20 2015-06-25 株式会社アドウェルズ 超音波振動接合装置
US9205596B2 (en) 2014-01-28 2015-12-08 Frito-Lay North America, Inc. Ultrasonic sonotrode for transversely aligned transducer
US20150210003A1 (en) 2014-01-28 2015-07-30 Frito-Lay Noth America, Inc. Transverse Sonotrode Design for Ultrasonic Welding
KR20170108189A (ko) * 2016-03-16 2017-09-27 (주)엘지하우시스 이종소재 바닥재의 초음파 용착장치 및 초음파 용착방법
DE102017220079A1 (de) * 2017-11-10 2019-05-16 Schunk Sonosystems Gmbh Ultraschall-Schweißeinrichtung
JP7175108B2 (ja) * 2018-06-21 2022-11-18 ブランソン・ウルトラソニックス・コーポレーション 超音波溶着システム
CN109703037A (zh) * 2018-12-28 2019-05-03 上海骄成机电设备有限公司 一种焊接塑料和金属复合材料的装置
CN110967293A (zh) * 2019-12-24 2020-04-07 华侨大学 超声振动辅助金属塑性成形模具摩擦磨损测试装置
CN115922052B (zh) * 2022-12-30 2023-07-21 山东大学 一种超声波连续焊接系统及方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS384490B1 (ko) * 1961-12-25 1963-04-24
US3436005A (en) 1962-02-13 1969-04-01 Philips Corp Welding apparatus provided with a vibrating contact tip
DE1427329A1 (de) 1962-09-29 1969-01-16 Lehfeldt & Co Gmbh Dr Verfahren,eine Ultraschall-Schweissverbindung zu erzielen
US3242029A (en) * 1963-05-13 1966-03-22 Kleer Vu Ind Inc Ultrasonic sealer for sealing plastics
US3657033A (en) * 1969-03-26 1972-04-18 Ultrasonic Systems Method and apparatus for continuous cutting and joining of thermoplastic sheet material
US3602421A (en) * 1969-07-11 1971-08-31 Branson Instr Sonic welding tool
DE3229076A1 (de) * 1981-08-07 1983-03-24 Pola Chemical Industries, Inc., Shizuoka Verfahren und vorrichtung zum verschweissen des bodens eines rohrfoermigen behaelters aus kunstharz
US4704172A (en) * 1986-03-14 1987-11-03 Katz Marcella M Method of producing composite non-distortable needlework canvas materials
US4767492A (en) * 1986-04-18 1988-08-30 Pola Chemical Industries, Inc. Ultrasonic fuse-bonding sealing apparatus with improved contact surfaces
JPS6337923A (ja) * 1986-07-31 1988-02-18 Seidensha Denshi Kogyo Kk 超音波プラスチツク溶着装置
US6511563B2 (en) * 1991-03-01 2003-01-28 Foster-Miller, Inc. Device for ultrasonically consolidating fiber reinforced composite structures
US6585839B2 (en) * 1991-03-01 2003-07-01 Foster-Miller, Inc. Method of fabricating a polymer-matrix fiber-reinforced composite and the product thereof
DE4313875C3 (de) * 1993-04-28 2001-01-18 Karl Widmann Schweismaschinen Vorrichtung zum Herstellen von Einsteckhüllen oder Einbanddecken
US5443240A (en) * 1994-02-09 1995-08-22 Branson Ultrasonics Corporation Mounting means for vibration member
JPH07266419A (ja) * 1994-03-30 1995-10-17 Suzuki Motor Corp 超音波溶着方法およびその装置
JP2984225B2 (ja) * 1997-01-23 1999-11-29 三島 大二 超音波溶接装置
JP3600431B2 (ja) * 1998-03-09 2004-12-15 三島 大二 超音波溶接装置
JP3290632B2 (ja) * 1999-01-06 2002-06-10 株式会社アルテクス 超音波振動接合装置
JP3447982B2 (ja) * 1999-06-16 2003-09-16 株式会社アルテクス 超音波振動接合装置
JP3541354B2 (ja) * 2000-12-21 2004-07-07 ソニー株式会社 超音波振動接合装置
JP3597476B2 (ja) * 2001-01-16 2004-12-08 三島 大二 超音波溶接装置における超音波振動ホーン
US8068513B2 (en) * 2007-05-07 2011-11-29 Nokia Siemens Networks Gmbh & Co. Kg Determining load measure for network element

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180020301A (ko) * 2015-06-30 2018-02-27 텔소닉 홀딩스 에이쥐 초음파에 의해 부품들을 용접하는 장치
KR102495445B1 (ko) * 2015-06-30 2023-02-02 텔소닉 홀딩스 에이쥐 초음파에 의해 부품들을 용접하는 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040024543A (ko) 2004-03-20
CN1496302A (zh) 2004-05-12
JP3466175B2 (ja) 2003-11-10
EP1462237A1 (en) 2004-09-29
EP1462237A4 (en) 2005-05-11
CN100431826C (zh) 2008-11-12
TW200408485A (en) 2004-06-01
WO2003047844A1 (en) 2003-06-12
TWI228062B (en) 2005-02-21
US20040112547A1 (en) 2004-06-17
JP2003165161A (ja) 2003-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100538902B1 (ko) 초음파 진동 용착 장치 및 초음파 진동 호른
JP3952959B2 (ja) 超音波ホーンおよびこの超音波ホーンを用いた超音波接合装置
JP7082434B2 (ja) 超音波接合装置
JP2006019474A (ja) 半導体チップの接合方法および接合装置
JP2006239749A (ja) 超音波接合方法および超音波接合装置
JP3597476B2 (ja) 超音波溶接装置における超音波振動ホーン
US20070144680A1 (en) Horn, horn unit, and bonding apparatus using same
JPH10202752A (ja) 超音波溶接装置
JPS5994591A (ja) 超音波加工機械
CN208758792U (zh) 一种兆赫级高频超声波焊接装置
JPH11254153A (ja) 超音波溶接装置
JPH07266420A (ja) 超音波溶着装置
JP2983888B2 (ja) 超音波接合用共振器
JP2003059972A (ja) ボンディングヘッド及びこれを備えたボンディング装置
JP3914097B2 (ja) ボンディングツール、および電子部品の接合装置
CN214978464U (zh) 产生圆周拉伸振动的焊头和焊接设备
JP2004134426A (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール
CN112756764A (zh) 产生圆周拉伸振动的焊头和焊接设备
JP3432042B2 (ja) 超音波接合方法とその装置
JP2001168142A (ja) 超音波振動接合用ツール
JPH07100795A (ja) 超音波シート切断方法
JP3714295B2 (ja) 電子部品のボンディングツール及び電子部品のボンディング装置
JP3714294B2 (ja) 電子部品のボンディング装置
JP3714293B2 (ja) 電子部品のボンディングツール
JP3714291B2 (ja) 電子部品のボンディング方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121120

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131002

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141023

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151029

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160923

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171117

Year of fee payment: 13