KR100502997B1

KR100502997B1 - Ｉｃ 핸들러

Info

Publication number: KR100502997B1
Application number: KR10-2002-7010863A
Authority: KR
Inventors: 하라다게이타로; 요코오마사요시; 오누마시게오; 우에노사토시
Original assignee: 도호쿠 세이키 고교 가부시키카이샤
Priority date: 2000-12-20
Filing date: 2001-12-19
Publication date: 2005-07-21
Also published as: WO2002050559A1; JP4349743B2; US6742981B2; KR20020081694A; JP2002189057A; US20030012633A1; TW536633B

Abstract

원반(6)은 모터(7)에 의하여 수평으로 한 방향으로 반회전하게 할 수 있고, 역방향으로 반회전하게 할 수 있다. 2개의 서보모터(8, 9)가 원반(6)의 상면에 원반(6)의 회전축에 관하여 대칭으로 설치되어 있다. 2개의 서보 모터(8, 9)에 의하여 구동되는 구동축(22, 23)이 원반(6)을 관통하여 하방으로 연신하고, 각각 수하부재(K, M)를 상하 방향으로 이동하게 한다. 2개의 수하부재(K, M)는 각각 하단에 클램퍼(32)를 구비한다. 클램퍼(32)는 각각 저면에 진공 흡착 패드(35)를 구비하고, 상면에 공기압 실린더(28, 29)를 구비한다. 공기압 실린더에 공급되는 압축 공기의 압력은 압력 조절 기기(38)에 의하여 조절된다.

Description

ＩＣ 핸들러{IC HANDLER}

본 발명은 IC 디바이스를 이동시키는 IC 핸들러에 관한 것이다. 특히, IC 디바이스를 회전 이동시킬 수 있는 IC 핸들러에 관한 것이다.

IC 디바이스를 IC 소켓에 운반하고, 검사필한 IC 디바이스를 검사 장치로부터 반출하는 IC 핸들러로서, 픽 & 플레이스(Pick & Place) 방식, 로터리 인덱스 방식, 캠 인덱스 방식 등이 널리 알려져 있다.

IC 핸들러에는 회전 동작이나 클램프 동작을 하기 위한 전력이나 압축 공기 등의 에너지를 공급하기 위하여 전선이나 에어 튜브가 설치되는 것이 많다. 이에, 이들 전선이나 에어 튜브가 동작 중에 비틀리지 않도록 하기 위하여, 다수의 캠을 사용한 인덱스 테이블 사용된다. 이와 같은 경우에는, 사용 시간에 비례하여, 캠면에 국부 마모가 발생하여, 그 마모부가 채터링의 원인이 되며, 위치 정렬 정밀도를 떨어뜨려 오버런(overun) 등을 유발하고, 검사할 IC 디바이스나 IC 소켓을 파손시키는 경우도 있다.

한 방향으로의 회전만 실시하는 IC 핸들러에서는, 상기 전선이나 에어 튜브의 설치가 복잡하고 고가가 되기 때문에, 검사시에 IC 디바이스를 클램핑하기 위해 캠을 다수 사용한 것이 있으나, 그러한 IC 핸들러는 미세한 조절이 어렵고 적용압력을 최적값으로 조정하기가 쉽지 않다.

이와 같이 클램퍼에 대한 적용압력을 조정할 수 없거나, 과부하 방지 기능이 없는 IC 핸들러에서는, 2개가 겹쳐져 공급되는 등의 이상 공급의 경우에 검사 측정 보드를 손상하는 문제가 발생한다. 또는, U자형의 스프링 측정자를 이용하여 동시에 정렬 공급되는 복수개의 IC 디바이스를 검사할 때에, IC 소켓 높이의 불균일이나 IC 디바이스의 두께 불균일에 충분히 대응할 수 없거나, 스프링의 압축 스트로크가 작은 최근의 측정자는 사용되지 못하는 경우도 있다.

본 발명은 상기 문제를 감안하여, 구성이 간단하고, 마모가 되지 않아서 장기에 걸쳐 정밀도를 유지할 수 있는 IC 핸들러를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 적용압력의 조정이 가능하도록 하는 것도 본 발명의 목적이다.

발명의 요약

본 발명에 의하면, 수평으로 회전 가능하게 지지된 원반과,

원반의 상면에 설치된 2대의 제어 구동 가능한 모터와,

원반을 관통하여 하방으로 연신하고, 상기 2대의 모터 각각에 의하여 구동되며, 원반의 회전 중심에 대하여 대칭 위치에 설치된 2개의 구동축과,

구동력 변환 기구를 통하여, 상기 2개의 구동축에 각각 계합되고, 상기 구동축의 회전에 의하여 상하 운동시킬 수 있는 2개의 수하부재(hanging emeber)와, 각 수하부재의 하단부에 부착되는 클램퍼와 상기 클램퍼의 하단에 부착되는 진공 흡착 패드와, 상기 원반을 제1 회전 방향과 그 제1 회전 방향과는 반대인 제2 회전 방향으로 회전시킬 수 있는 원반 구동용 모터를 구비하고,

상기 원반을 원반 구동용 모터에 의하여 제1 각도 위치에서 소정 시간 정지한 후에 제1 각도 위치에서 180도의 각도만큼 어긋난 제2 각도 위치로 제1 회전 방향으로 회전 이동시키고, 제2 각도 위치에서 소정 시간 정지 후에 제1 각도 위치로 제2 회전 방향으로 회전 이동시키고,

제1 각도 위치에서 정지 중에 일방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 제l 작업을 하고, 타방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 제2 작업을 하고,

제2 각도 위치에서 정지 중에 상기 일방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 상기 제2 작업을 하고, 상기 타방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 상기 제1 작업을 하는,

것을 특징으로 하는 IC 핸들러가 제공된다.

본 발명의 일 태양에 의하면, 클램퍼의 상방에 공기압 실린더가 설치되고, 공기압 공급 수단으로부터 압력의 미세 조절이 가능한 압력 조절기기를 통하여 상기 공기압 실린더에 공기압이 공급된다.

본 발명의 또 다른 태양에 의하면, 상기 원반 구동용 모터가 원반의 외부에 설치되어 벨트를 매개하여 원반을 회전시키도록 되어 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 관한 장치를 구비하는 IC 핸들러 전체의 평면도이다.

도 2는 본 발명의 요부를 설명하기 위한 사시도이다.

도 3은 검사시의 작용을 설명하기 위한, 제2 스테이지 상에 있어서 요부의 부분 확대 종단면도이다.

도 4는 클램퍼의 종단면도이다.

도 5는 수하부재의 평단면도이다.

도 6은 횡이송판의 IC 수계부의 종단면도이다.

도 7은 횡이송판의 IC 배출수령부의 종단면도이다.

도 8은 수하부재의 필요 상승치수와 허용 회전 각도와의 관계도이다

[발명의 구성]

도 l에 있어서, 프레임 테이블(A)의 상면 위에서, l은 충전 트레이의 로더, 2는 프리 히트 패널(pre-heat panel), 3은 공급 핸드, 4는 빈 트레이의 버퍼, 5는 횡이송판, 6은 원반, 7은 원반 구동용 제어 모터, 8과 9는 원반(6)에 탑재된 제어 모터, l0은 원반 구동 벨트, 11은 모터(7)의 풀리, T는 IC 소켓, 12는 배출 핸드, 13, 14는 검사필 제품의 언로더, 15는 1장 걸러 언로드하는 언로더, 16은 조작 박스를 나타내고, IC 소켓(T)에 접속하는 전선 코드는 테이블A의 하방 (미도시)의 측정 장치에 연결되어 있다.

충전 트레이의 로더(1)의 시단측은 트레이를 적재하여 순서대로 보내는 매거진 구성을 채용하고 있고, 외치수가 동일한 트레이에는 수십개 이상, 경우에 따라서는, 백개 이상의 IC 디바이스를 규칙적으로 배열하도록 되어 있고, 포개어진 아래측의 트레이로부터 도 1의 상방으로 순차적으로 송출되고, 로더(1)의 소정위치까지 보내지면 트레이는 정지되고 닫힌다. 이 때 공급 핸드(3)가 이동을 개시하고, 트레이로부터 소정 개수의 IC 디바이스를 흡착하여 횡이송판(5)의 좌단부의 IC 수계부(S)에 납입하고, 그 후 횡이송판(5)이 오른쪽으로 이동하여 정위치에 정지한다.

B는 검사 운반 장치이며, 상세한 구성에 대하여는 도 2 이후의 도면에 기초하여 후술하나, 원반(6)은 원반 구동용의 제어 모터(7)에 의하여 180도로 정회전 또는 역회전된다. 원반(6)의 하방에서 원반(6)의 회전 중심에 대하여 대칭 위치에서, 제1 스테이지측의 실린더 케이스(28)의 하단에 설치한 흡착 패드(35)는 상기한 횡이송판(5)의 IC 수계부(S)로부터 IC 디바이스를 흡착하여 상승한다. 이 경우 원반(6)은 180도 회동하여 IC 디바이스를 제2 스테이지의 IC 소켓(T)의 상방부에 위치시킨다.

이 때, 횡이송판(5)은 좌로 이동하여, 공급 핸드(3)가 다음 IC 디바이스를 IC 수계부(S)에 공급하도록 한다. 이 시점에서, 좌로 이동한 횡이송판(5)의 오른쪽 단부에 설치한 IC 배출수령부(P)의 상방에는 다른 일방의 실린더 케이스(29)에 설치한 흡착 패드(35)가 검사필된 IC 디바이스를 흡착하여 위치하고 있고, 이 흡착 패드(35)를 강하시켜 IC 배출수령부(P)에 검사필한 IC 디바이스를 적재한다.

공급 핸드(3)에 의해 공급된 IC 디바이스와, 검사필한 IC 디바이스의 두 디바이스가 세트되어 있는 횡이송판(5)이 오른쪽으로 이동하면, 배출 핸드(l2)가 구동되어 IC 배출수령부(P)로부터 검사필한 IC 디바이스를 꺼낸다. 이 IC 디바이스는 이미 IC 소켓(T) 내에 압압되어 측정 장치에 의하여 측정되며, 이 측정값에 기초한 정보가 배출 핸드(12)에 전달되고, 검사필한 IC 디바이스의 배출처에 대한 지시가 이루어진다.

측정 장치에 의하여 IC 디바이스의 특성이 검출되어, IC 디바이스의 품질 등급이 밝혀져 등급별로 선별, 즉 측정 결과로부터 여러 단계로 선별되며 IC 디바이스가 사용되는 목적물에 따라서 사용 가능한 것과 사용 불능인 불량품으로 나눠진다.

이 품질 정보에 의하여 배출 핸드(12)는 각각의 IC 디바이스의 품질에 따라 이동하여 예를 들어 언로더(13) 및 언로더(14)의 트레이나, 1장 걸러 언로드하는 언로더(15)의 트레이와 같은 목적지에 IC 디바이스를 배출한다. 이러한 일련의 작업을 하는 것으로, 본원발명의 작용이 이루어지나, 이러한 각 기능별 동작 순서는, 조작 박스(16)에 조립해 넣은 미도시한 컴퓨터에 입력한 프로그램에 따라서 하나하나 실행된다. 조작 박스에는 미도시한 조작용 스위치, 마우스, 모니터가 설치되어 있다.

이상, 도 1에 도시한 각 구성물 간의 각각의 작용을 기술하였으나, 본 발명의 요부인 검사 운반 장치 B에 관하여는 일 실시예의 도 2 이후의 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 원반(6)에 세워 설치한 서보 모터(8, 9)의 각각의 출력 축에는 풀리(18, 19)가 고착되어 있고, 풀리(18)에 걸치는 벨트(20)는, 원반(6)을 관통하여 장착된 제1 스테이지의 볼 나사(22)의 상단부에 고착된 풀리(24)에 걸쳐지고, 마찬가지로 풀리(19)와 제2 스테이지의 볼 나사(23) 상단부의 풀리(25)와의 사이에 벨트(21)가 걸쳐진다.

볼 나사(22)는 너트(26)를 통하여 수하부재(K)와 나사결합하고 있고, 마찬가지로 볼 나사(23)는 너트(27)를 통하여 수하부재(M)과 나사결합하고 있다.

수하부재(K, M)는 도 5의 평단면도에 도시하는 바와 같이, 원반의 축(l7)의 전후에, 축심에 대하여 대칭을 이루며 동일 형상으로 구성되고, 수하부재(K, M)의 상단부의 블럭(lK, lM)에는 각각 너트(26, 27)가 고착되어 있다. 너트(26, 27)의 각각의 복부의 양측에는 한 쌍의 직동 베어링(linear movement bearing)(2K, 2M)이 고착되어 있고, 직동 베어링(2K, 2M)의 롤러를 원반의 축(17)에 접촉시켜 둠으로써, 수하부재(K, M)의 자전이 저지되고 있다.

수하부재(K, M)의 하부의 L형 플랜지(3K, 3M)는 실린더(29)에 장착되도록 되어 있고, 이 실린더에 압축공기를 공급하는 압축 공기용 튜브와 최하부에 설치하는 흡착 패드의 공기를 흡인하는 튜브를 보호하는 외투관(4K, 4M)이 수하부재(K, M)에 각각 병설되어 있다.

수하부재(K, M)의 하부 구성은 동일하며, 중복을 피하기 위하여 IC 소켓(T)이 설치된 제 2 스테이지측의 수하부재 M에 대하여만 설명한다. 또한 도 3은 설명을 위하여 간략한 기재로 되어 있으나, 실제는 실린더 부분보다 하방은, 한번에 검사하는 IC 디바이스의 수와 그 IC 디바이스의 배열 방법에 대응한 구성으로 된 클램퍼(32)를 수하부재(M) 하부의 L형 플랜지(3M)의 하면에 착탈 가능하게 설치하도록 되어 있다.

도 1, 도 2는 가로로 나란한 2개의 IC 디바이스의 배열이고, 도 3은 세로로 나란히 2개, 혹은, 종횡 2개씩의 배열로 보아도 된다. 실린더 케이스(29)의 내부에 피스톤 (30)이 넣어져 있고, 각각의 피스톤(30)보다 피스톤 로드(31)가 아래측으로 돌출되어 있다. 피스톤 로드(31, 31)의 선단부에는 클램퍼(32, 32)가 물려 있다. 각각의 클램퍼(32)의 하면 주변부에는 가이드 러그(lug)(33)가 형성되어 있고, 도 4에 도시하는 바와 같이 클램퍼(32)의 하면 중앙부에 흡착패드(35)가 설치되고, 이 흡착 패드(35)에 흡인 튜브(34)가 접속되어 있다. 도 3에 있어서, 참조 번호36으로 나타내는 것은 압축 공기를 보내는 에어 튜브이다. 에어 튜브(36)에 의하여 공기는 접속 커넥터(37)로부터 압력 조정밸브(38)와 보조 탱크(39)를 거쳐 실린더(29)에 공급되고, 실린더(29)에는 소정의 압력으로 설정된 압축 공기가 공급된다.

이상과 같은 검사 운반 장치(B)를 구비한 IC 핸들러에 있어서, 본 검사 운반 장치(B)의 작용을 구체적으로 설명한다.

로더(1)에 의하여 도 1의 상방으로 운반된 트레이로부터, 공급 핸드(3)는 소정 개수의 IC 디바이스(D)를 횡이송판(5)의 IC 수계부(S)상에 운반하여 오고, 도 6에 도시하는 바와 같이, IC 수계부(S)에 납입한다.

한편, 횡이송판(5)에는 IC 배출수령부(P)가 검사 운반 장치(B)의 제1 스테이지에 배치되어 있어, 검사필한 IC 디바이스(D)를 도 7에 도시하는 바와 같이 IC 배출수령부(P)에 적재하면, IC 배출수령부(P)에 설치된 흡착 패드(1P)에 의하여 IC 디바이스(D)는 횡이송판(5)에 흡착된다. IC 배출수령부(P)의 형상은 도 6과 동일한 형상의 것도 있다.

검사 이전의 IC 디바이스(D)와 검사필한 IC 디바이스(D)의 2종류의 IC 디바이스를 보유한 횡이송판(5)은 도 2의 화살표 H방향으로 이동하고, 가상선으로 도시하는 바와 같이 위치하게 할 수 있다.

가상선으로 표시되어 있는 위치에 있어서 IC 배출수령부(P)에 흡착하고 있는 IC 디바이스(D)가 배출 핸드(12)에 의하여 흡착되면, IC 배출수령부(P)의 흡착이 해제되고, 상기 선별 방식에 따라 소정 개소에 납입된다.

한편, 도 6과 같이 흡착되어 제1 스테이지에 횡이송되어 온 IC 수계부(S)상의 신규 IC 디바이스(D)에 대하여는, 우선, 검사 운반 장치 B의 원반(6)에 세워 설치한 서보 모터(8)에 의하여, 볼 나사(22)가 회전된다. 이 때 볼 나사(22)와 나합하고 있는 너트(26)는 회전이 저지되어 있으므로 너트(26)가 설치된 수하부재(K)가 화살표 V의 상하 방향으로 이동한다.

상하의 이동 방향은 서보 모터의 회전 방향에 의하여 정해지는 것이며, 따라서, 서보 모터는 신속하게 회전 방향을 전환하고, 설정한 회전수에 도달했을 때 정확하게 정지하거나, 회전 속도가 신속하게 반응하여 조절될 수 있는 특성을 가지도록 되어 있다.

수하부재(K)의 L형 플랜지(3K)의 하면에 설치한 실린더(28)를 매개로 하여 설치된 클램퍼(32)의 하면에 부착된 흡착 패드(35)의 흡착면이 상기 IC 디바이스(D)에 도달할 때까지 수하부재(K)가 강하하면, 서보 모터(8)의 회전이 정지되어 수하부재(K)의 강하가 정지된다. 이 때 클램퍼(32)에 배관한 흡인 튜브(34)에 의하여 흡인 패드(35) 중의 공기가 배출되고, 흡인 패드(35)는 IC 디바이스(D)를 흡착한다.

다음으로 서보 모터(8)가 역회전하여 수하부재(K)를 위로 끌어올리고, 제2 스테이지의 측정이 완료되는 것을 기다린다.

제 2 스테이지의 측정이 완료되면, 수하부재(M)의 L형 플랜지(3M)의 하면에 설치한 실린더(29)를 매개로 하여 장치한 클램퍼(32)의 하면에 부착된 흡착 패드(35)에 의하여 측정 완료 IC 디바이스(D)를 흡착하면서 위로 들어올린다. IC 디바이스(D)가 약간 상승한 시점에서, 원반 구동용 서보 모터(7)가 작동하여 원반(6)을 회전시키는데, 원반(6)이 회전하는 동안 IC 디바이스(D)는 계속 상승하고, 소정의 높이에 달하면, 서보모터(9)의 회전이 정지하여 그 높이에 IC 디바이스(D)가 유지된 상태로 원반(6)은 180도 선회한다.

한번에 들어올리는 갯수와 IC 디바이스(D)의 배열 방법에 따라서 IC 디바이스(D)의 배치 면적이 다르기 때문에 IC 디바이스(D)를 상승시키는 높이를 확보하기까지의 원반(6)의 회전각은 일정하지는 않으며, 도 8에 도시하는 바와 같은 관계에 있다.

도 8에 도시하는 바와 같은 관계로 하는 것은, 원반(6)을 회전시키는 시점에 있어서, 제1 스테이지의 IC 소켓 내에서 IC 디바이스(D)를 들어올려 회전시킬 때에, IC 디바이스(D)가 장치 부품과 간섭하는 사고가 발생하는 것을 피하기 위하여 필요하고, 또한 각부의 이동량을 줄여 공정 시간을 가능한 한 짧게 하기 위해서도 필요하다.

이는 회전하면서 제2 스테이지로 강하할 때도 마찬가지로 적용된다.다음으로 도 8에 대하여 설명한다. 도 8은, 제2 스테이지에서 각각 IC 디바이스(D)가 세트되는 3종류의 소켓의 배열 형태와 그것에 대응하는 클램퍼의 움직임을 나타내고 있다.

도 8에 있어서 A행은 a의 높이까지 클램퍼(32)를 상승시키면 원반(6)의 회전을 개시할 수 있는 IC 소켓(T)의 위치이고, B행, C행은 IC 디바이스(D)의 배열에 따라서, 일정 각도 이상의 각도로 원반(6)을 회전시키기 위하여 클램퍼를 b, c 높이까지 상승시킬 필요가 있다는 것을 의미한다.

이 때 구체적인 수치를 넣어 설명하면, 도 8에 있어서 좌측에 도시하는 바와 같이 직렬 2개의 경우에 횡이송판(5)에 간섭하지 않도록 40°이상 회전시킬 때는, 클램퍼를 b의 높이까지 상승시킬 필요가 있고, IC 배출수령부(P) 및 IC 수계부(S)에 간섭하지 않도록 65°이상 회전시키려면 c 이상의 높이까지 클램퍼를 상승시켜야 한다. 배열이 동일하더라도 피치, 사이즈가 다르면 수치는 변한다.

전술한 바와 같이 원반(6)이 180도 회전하고, IC 소켓(T)의 상방에 클램퍼(32)가 회동하여 올 때는, 도 2로부터 원반(6)이 180도 선회하는 도중에 서보 모터(8)가 기동하고 볼 나사(22)를 회전시키면, 이 볼 나사(22)와 나사결합되어 있는 너트(26)가 회전이 저지된 상태로 수하부재(K)에 고정되어 있음으로 해서 수하부재(K)는 볼 나사(22)의 회전에 의하여 강하를 시작한다.

원반(6)의 회전각과 수하부재(K)의 하강량을 제어하면서 180도 선회를 마치고, 수하부재(K)의 하단부에 설치한 클램퍼(32)의 흡착 패드(35)에 흡착되어 있는 IC 디바이스(D)는 수하부재(K)의 강하에 의하여 하방의 IC 소켓(T)에 감입되면, 서보 모터(8)의 회전이 정지하고, 수하부재(K)의 강하가 정지한다.

수하부재(K)의 L형 플랜지(3K)에는 실린더(28)가 설치되고, 이 실린더(28)의 피스톤 로드(31)의 선단부에 상기 클램퍼(32)가 설치되어 있다. 수하부재(K)의 강하를 설정한 높이에서 정지시키면, 에어 튜브(36)를 통하여 실린더(28)에 압력 조절 밸브(38)에 의하여 소정의 압력으로 제어된 압축 공기가 공급되고 있어, 클램퍼(32)는 피스톤(30)으로부터 피스톤 로드(31)를 거쳐 제공되는 적절한 힘으로 IC 디바이스(D)를 IC 소켓(T) 내에 압압한다.

즉, 압축 공기를 보내는 에어 튜브(36)에는 도 3에 도시하는 바와 같이, 압력 조절밸브(38)와 보조 탱크(39)가 설치되어 있고, 압력 조절밸브(38)를 조작 박스(16)에서 원격 조작하여 공급 공기압을 용이하게 변경할 수 있으므로, 클램퍼(32)를 압압하는 스트로크의 여하에 상관없이, 희망하는 일정한 힘으로 클램퍼(32)를 압압할 수 있다.

따라서, IC 소켓(T) 내의 스트로크가 작은 측정자 스프링(40)에도 적용할 수 있다. 또한 클램퍼(32)가 IC 디바이스(D)를 눌렀을 때에 순간적으로 발생하는 압력의 급상승은 보조 탱크(39)에 의하여 확산 흡수되기 때문에, 공기압의 변동이 억제된다.

이상, 상세하게 설명한 것으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 IC 핸들러는, 원반을 서보 모터에 의해 정방향 및 역방향으로 반회전씩 선회 운동시키고 있어, 구조가 간단하고, 세게 마찰되는 곳이 없어 잘 마모되지 않아 장기간에 걸쳐 안정되게 작동한다. 또한 원반에 설치되는 모터나 공압 실린더 등에 접속되는 전선이나 에어 튜브 등에 비틀림 방지 대책을 쓸 필요가 없다. 또한 원반을 선회시키는 서보 모터는 용이하게 높은 정밀도로 회전, 정지시킬 수 있기 때문에, IC 디바이스의 검사 스피드를 높일 수 있다.

또한 수하부재의 하단부에 설치되는 클램퍼가 하나 또는 다수개의 클램퍼로 교환될 수 있게 하면 IC 핸들러는 다양한 종류의 IC 디바이스에 적용할 수 있다. 클램퍼의 상방에 공기압 실린더를 설치하고, 공기압 공급 수단으로부터 압력의 미세 조절이 가능한 압력 조절 기기를 거쳐 공기압 실린더에 공기압이 공급되도록 하면, 압압력의 조정 속도가 향상되는 동시에, 최적의 힘이 클램퍼에 가하여지도록 할 수 있다. 따라서 본 발명의 IC 핸들러는 최근 증가하고 있는, 스트로크가 작은 IC 소켓 내의 측정자 스프링에도 충분히 적용 가능하다.

Claims

수평으로 회전가능하게 지지된 원반과,

원반의 상면에 설치된 2대의 제어 구동 가능한 모터와,

원반을 관통하여 아래측으로 연신하고, 상기 2대의 모터 각각에 의하여 구동되며, 원반의 회전 중심에 대하여 대칭 위치에 설치된 2개의 구동축과,

구동력 변환 기구를 통하여 상기 2개의 구동축에 각각 계합되고, 상기 구동축의 회전에 의하여 상하 운동시킬 수 있는 2개의 수하부재(hanging member)와,

각 수하부재의 하단부에 부착되는 클램퍼와,

상기 클램퍼의 하단에 부착되는 진공 흡착 패드와,

상기 원반을 제1 회전 방향과 그 제1 회전 방향과는 반대인 제2 회전 방향으로 회전시킬 수 있는 원반 구동용 모터를 구비하고,

상기 원반을 원반 구동용 모터에 의하여 제1 각도 위치에서 소정 시간 정지 후에 제1 각도 위치에서 180도의 각도만큼 어긋난 제2 각도 위치로 제1 회전 방향으로 회전 이동시키고, 제2 각도 위치에서 소정 시간 정지 후에 제l 각도 위치로 제2 회전 방향으로 회전 이동시키고, 제l 각도 위치에서 정지 중에, 일방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 제1 작업을 하고, 타방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 제2 작업을 하고,

제2 각도 위치에서 정지 중에, 상기 일방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 상기 제2 작업을 하고, 상기 타방의 구동축에 계합되는 클램퍼가 상기 제1 작업을 하는 것을 특징으로 하는 IC 핸들러.
제1항에 있어서,

압압력(pressing force)을 제공하기 위한 공기압 실린더가 각각의 클램퍼의 상방에 추가로 설치되고, 공기압 공급 수단으로부터 압력의 미세 조절이 가능한 압력조절기기를 통하여 상기 공기압 실린더에 공기압이 공급되는 것을 특징으로 하는 IC 핸들러.
제1항에 있어서,

상기 원반 구동용 모터가 원반의 외부에 설치되어, 밸트를 매개하여 원반을 회전하게 하는 것을 특징으로 하는 IC 핸들러.