JP2009210493A - ハンドラのテープクランパー - Google Patents

ハンドラのテープクランパー Download PDF

Info

Publication number
JP2009210493A
JP2009210493A JP2008055711A JP2008055711A JP2009210493A JP 2009210493 A JP2009210493 A JP 2009210493A JP 2008055711 A JP2008055711 A JP 2008055711A JP 2008055711 A JP2008055711 A JP 2008055711A JP 2009210493 A JP2009210493 A JP 2009210493A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape
air
handler
clamper
clamp body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008055711A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiji Kuninobu
誠治 國信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2008055711A priority Critical patent/JP2009210493A/ja
Publication of JP2009210493A publication Critical patent/JP2009210493A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

【課題】適切なクランプ力が容易に得られ、クランプ力が変化せず、テープ状デバイスのセットが容易なハンドラのテープクランパーを実現する。
【解決手段】テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段とを具備したことを特徴とするハンドラのテープクランパーである。
【選択図】図1

Description

本発明は、ハンドラのテープクランパーに関するものである。
ハンドラのテープクランパーに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開2002−328151号公報
図4は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図、図5は図4の要部構成説明図、図6は図4の動作説明図である。
図4において、テープ状デバイス用オートハンドラは、リールに巻かれたテープ状デバイスを自動的に測定位置まで逐次搬送し、ICテスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
1はテープ状デバイス、2Aは供給リール、2Bは収容リール、3Aは第1のスプロケット、3Bは第4のスプロケット、4Aは第1のプーリ、4Bは第2のプーリ、5Aと5Bはガイド、6Aは第1のテンションプーリ、6Bは第2のテンションプーリ、7Aは第2のスプロケット、7Bは第3のスプロケット、8はテープクランプ本体、9はプッシャプレート、10はプッシャ、11はパンチユニット、12はプローブカード、12Aはプローブ、13はアタッチメントユニット、14はテストヘッド、15,15A,15Bはカメラ、15Cは画像処理装置である。
図4では、供給リール2Aに巻かれたテープ状デバイス1を収容リール2Bが巻き取る。
プッシャプレート9の両翼には第2・第3のスプロケット7A・7Bが配置され、第2のスプロケット7Aと第3のスプロケット7Bは同期回転してテープ状デバイス1を走行させる。 プッシャプレート9の下面にはテープクランプ本体8が配置され、テープ状デバイス1はプッシャプレート9とテープクランプ本体8間を走行する。
プッシャ10はプッシャプレート9を昇降させる。
プッシャ10は、テープクランプ本体8とプッシャプレート9で保持されたテープ状デバイス1を降下させ、前記テープ状デバイス1をプローブカード12に接触させて試験する。
図4のプローブカード12はプッシャプレート9と対向する形で装置に保持される。
プローブカード12とアタッチメントユニット13は機械的または電気的に分離可能に接続される。
ICテスタのテストヘッド14は、上部にアタッチメントユニット13を配置する。
図5は、テープクランプ本体8とプッシャプレート9とプッシャ10との要部構成説明図である。
テープクランプ本体8はプッシャプレート9に対向して設けられ、プッシャ10にシャフト10Aとばね10Bとを介して支持されている。
図4では、テープ状デバイス1は第2・第3のスプロケット7A・7Bが同期して回転することによりテープ状デバイス1のピッチ分送られ、供給リール2Aからテンションプーリ6A、第2・第3のスプロケット7A・7B、テンションプーリ6B、収容リール2Bの順に移動する。
第1のプーリ4Aは第1のスプロケット3Aと第1のテンションプーリ6A間に配置され、第2のプーリ4Bは第4のスプロケット3Bとテンションプーリ6B間に配置される。
第1・第2のプーリ4A・4Bは回転中心が固定され、円周面が転動してテープ状デバイス1を案内する。
ガイド5Aは第1のプーリ4Aと第1のテンションプーリ6A間に配置され、ガイド5Bは第2のテンションプーリ6Bと第2のプーリ4B間に配置される。
ガイド5A・5Bはテープ状デバイス1を介在させ、テープ状デバイス1を案内する。
図4では、テープ状デバイス1の屈曲や波うちを防止するためテープ状デバイス1にある程度の張力をかける。
すなわち、第1のテンションプーリ6Aは、第1のプーリ4Aと第2のスプロケット7A間に配置され、テープ状デバイス1を上昇方向に押圧する。
第2のテンションプーリ6Bは、第3のスプロケット7Bと第2のプーリ4B間に配置され、テープ状デバイス1を上昇方向に押圧する。
ガイド5Aは回転中心を固定し、第1のプーリ4A第1のとテンションプーリ6A間に配置され、テープ状デバイス1を案内する。
ガイド5Bは回転中心を固定し、テンションプーリ6Bと第2のプーリ4B間に配置され、テープ状デバイス1を案内する。
パンチユニット11はガイド5Bと第2のプーリ4B間に配置される。
カメラ15Aは第1のプーリ4Aとガイド5A間に配置され、カメラ15Bはパンチユニット11と第2のプーリ4B間に配置される。
カメラ15Aとカメラ15Bは画像処理装置15Cに接続する。
カメラ15Aは測定前のテープ状デバイス1を撮像し、撮像データを画像処理装置15Cに送出する。
カメラ15Bはテープ状デバイス1を撮像し、カメラ15Aによる画像データと比較照合またはパンチユニット11の打ち抜き指令と比較照合する。
カメラ15はテストヘッド14の下方に配置され、テストヘッド14の中央中空穴を通して、テープ状デバイス1の画像を認識する。
カメラ15は画像処理装置15Cと接続され、テープ状デバイス1の接触位置を補正演算する。
以上の構成において、動作を説明する。
第2・第3のスプロケット7A・7Bで位置決めされたテープ状デバイス1は、テープクランプ本体8とプッシャプレート9により固定される。
次に、矢印Aに示す如く、プッシャ10はテープクランプ本体8とプッシャプレート9を一体にしてテープ状デバイス1を、プローブカード12のプローブ12Aにテープ状デバイス1が接触しない程度まで下降させる。
この場合、図6に示す如く、プッシャプレート9がテープクランプ本体8を押し下げながら下降する。
このとき、テープクランプ本体8上部に取り付けられたばね10Bの力で、テープ状デバイス1をプッシャプレート9とテープクランプ本体8で挟み込み、テープ状デバイス1の位置がずれないようにする。また、テープ状デバイス1をクランプすることでテープ状デバイス1の歪みを矯正できる。
即ち、プッシャプレート9とテープクランプ本体8とでテープ状デバイス1をクランプした後、プッシャプレート9とテープクランプ本体8とは、所定距離下降する。
プッシャプレート9は、図示しないモータやボールネジ駆動などにより駆動され、下降する。
カメラ15はテープ状デバイス1の画像データを取り込み、テープ状デバイス1の位置の補正量を算出する。
画像データを取り込み後、テープ状デバイス1の位置を補正後、テープ状デバイス1をプローブカード12のプローブ12Aに接触するように下降させる。
次に、テープ状デバイス1がプローブ12Aに接触した状態で、ICテスタ側にオートハンドラからテストスタート要求信号を送る。
テストが終了するとプッシャプレート9とプッシャ10は上昇し、第2・第3のスプロケット7A・7Bが回転して次のテープ状デバイス1が送られる。
図4では、第1・第2・第3・第4のスプロケット3A・7A・7B・3Bが反時計方向に同期して回転することにより、テープ状デバイス1は図4の左側から右側に送られていく。
図4では、テープ状デバイス1に無理な力が加わらないようにしているので、プッシャプレート9が降下前には、第2・第3のスプロケット7A・7B間のテープ状デバイス1はたわんでいる。
テープ状デバイス1のたわみをとって測定するため、図4では、第3のスプロケット7Bの回転を停止し、第2のスプロケット7Aを時計方法に逆回転する。
このような装置においては、以下の間題点がある。
ばね10Bを交換しないと、テープ状デバイス1のクランプ力の変更ができない。
したがって、テープ状デバイス1の種類に応じて、適切なクランプ力を得ようとすれば、その度に、適切なばねに取り替えねばならず、セッティングが大変である。
ばね10Bは縮むほど力が強くなるので、プッシャプレート9の下降量によって、クランプ力が変化してしまう。
ばね10Bでは、クランプ力を変化させずに、大きなストロークを得ることは難しく、テープクランパ本体8とプッシャプレート9とのストロークが狭く、テープ状デバイス1のセットが難しい。
ストロークを広げる為には、別の機構を付加する必要がある。
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、適切なクランプ力が容易に得られ、クランプ力が変化せず、テープ状デバイスのセットが容易なハンドラのテープクランパーを提供することにある。
このような課題を達成するために、本発明では、請求項1のハンドラのテープクランパーにおいては、
テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段とを具備したことを特徴とする。
本発明の請求項2のハンドラのテープクランパーにおいては、請求項1記載のハンドラのテープクランパーにおいて、
前記空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたことを特徴とする。
本発明の請求項3のハンドラのテープクランパーにおいては、請求項1又は請求項2記載のハンドラのテープクランパーにおいて、
テープ状デバイスセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように前記エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段を具備したことを特徴とする。
本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
テープ状デバイスをクランプする力はシリンダに供給されているエアーの圧力により決まり、このエアーの圧力を空気設定圧調節手段により制御し、その設定を変更することで、テープ状デバイスの種類に応じて適切なクランプ力を得ることができるハンドラのクランパーが得られる。
テープクランプ本体が下降移動してもクランプ力が変化しないハンドラのテープクランパーが得られる。
本発明の請求項2によれば、次のような効果がある。
空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたので、簡潔確実に空気設定圧調節ができるハンドラのテープクランパーが得られる。
本発明の請求項3によれば、次のような効果がある。
テープ状デバイスのセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように、エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段が設けられたので、プッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできるハンドラのテープクランパーが得られる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2,図3は図1の動作説明図である。
図において、図4と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図4との相違部分のみ説明する。
図1において、エアシリンダー31は、テープクランプ本体8を駆動する。
この場合は、プッシャ10に設けられ、シャフト10Aを介してテープクランプ本体8を駆動している。
空気設定圧調節手段32は、エアシリンダー31に空気圧を供給すると共に、空気設定圧を調節することでテープクランプ本体8のクランプ力を変更する。
この場合は、空気設定圧調節手段32は、電空レギュレータ32が使用されている。
供給空気圧切換手段33は、エアシリンダー31と空気設定圧調節手段32との間に設けられ、テープ状デバイスのセット時に、プッシャプレート9とテープクランプ本体8との間隔を広げるように、エアシリンダー31への供給空気圧の供給方向を切り換える。
以上の構成において、テープ状デバイス1をクランプする為、プッシャプレート9が下降する。
このとき、エアシリンダ31には、図2に示す如く、ピストン311が矢印B方向に動作するようにエアーが供給されている。
プッシャプレート9が下降した状態で、テープ状デバイス1はプッシャプレート9とテープクランプ本体8にてクランプされる。
このときのクランプ力は、エアシリンダ31に供給されているエアーの圧力により決定され、一定の変動しないクランプ力が働く。
次に、テープ状デバイス1のセット時には、図3に示す如く、供給空気圧切換手段33により、ピストン311が矢印C方向に動作するようにエアーが切換供給される。
テープクランパー本体8のみが下降する。
この結果、図3に示す如く、プッシャプレート9とテープクランプ本体8との間隔Dを広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできる。
この結果、
テープ状デバイス1をクランプする力はシリンダ31に供給されているエアーの圧力により決まり、このエアーの圧力を空気設定圧調節手段32により制御し、その設定圧を変更することで、テープ状デバイスの種類に応じて適切なクランプ力を得ることができるハンドラのテープクランパーが得られる。
テープクランプ本体8が下降移動しても、クランプ力が変化しないハンドラのテープクランパーが得られる。
空気圧一定の場合のシリンダの推力は一定の為、プッシャプレート9の下降量が変化してもクランプ力は変化しないからである。
空気設定圧調節手段32は、電空レギュレータ32が使用されたので、簡潔確実に空気設定圧調節ができるハンドラのテープクランパーが得られる。
テープ状デバイスのセット時にプッシャプレート9とテープクランプ本体8との間隔Dを広げるように、エアシリンダー31への供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段33が設けられたので、プッシャプレート9とテープクランプ本体8との間隔Dを広げることができて、テープ状デバイスのセットが容易にできるハンドラのクランパーが得られる。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
本発明の一実施例の要部構成説明図である。 図1の動作説明図である。 図1の動作説明図である。 従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。 図4の要部構成説明図である。 図5の動作説明図である。
符号の説明
1 テープ状デバイス
2A 供給リール
2B 収容リール
3A 第1のスプロケット
3B 第4のスプロケット
4A 第1のプーリ
4B 第2のプーリ
5A ガイド
5B ガイド
6A 第1のテンションプーリ
6B 第2のテンションプーリ
7A 第2のスプロケット
7B 第3のスプロケット
8 テープクランプ本体
9 プッシャプレート
10 プッシャ
10A シャフト
10B ばね
11 パンチユニット
12 プローブカード
12A プローブ
13 アタッチメントユニット
14 テストヘッド
15 カメラ
15A カメラ
15B カメラ
15C 画像処理装置
31 エアシリンダー
311 ピストン
32 空気設定圧調節手段
33 供給空気圧切換手段
D 間隔

Claims (3)

  1. テープ状デバイスをプッシャプレートと挟持するテープクランプ本体を具備するハンドラのテープクランパーにおいて、
    前記テープクランプ本体を駆動するエアシリンダーと、
    このエアシリンダーに空気圧を供給すると共に空気設定圧を調節することでテープクランプ本体のクランプ力を変更する空気設定圧調節手段と
    を具備したことを特徴とするハンドラのテープクランパー。
  2. 前記空気設定圧調節手段は、電空レギュレータが使用されたこと
    を特徴とする請求項1記載のハンドラのテープクランパー。
  3. 前記テープ状デバイスセット時にプッシャプレートとテープクランプ本体との間隔を広げるように前記エアシリンダーへの供給空気圧の供給方向を切り換える供給空気圧切換手段
    を具備したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のハンドラのテープクランパー。
JP2008055711A 2008-03-06 2008-03-06 ハンドラのテープクランパー Pending JP2009210493A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008055711A JP2009210493A (ja) 2008-03-06 2008-03-06 ハンドラのテープクランパー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008055711A JP2009210493A (ja) 2008-03-06 2008-03-06 ハンドラのテープクランパー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009210493A true JP2009210493A (ja) 2009-09-17

Family

ID=41183792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008055711A Pending JP2009210493A (ja) 2008-03-06 2008-03-06 ハンドラのテープクランパー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009210493A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06196536A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Nec Kansai Ltd Tab式半導体装置の特性検査装置
JPH06334018A (ja) * 1993-05-18 1994-12-02 Hitachi Ltd Icハンドラ
JP2002001922A (ja) * 2000-06-23 2002-01-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 印刷機械の運転方法及び印刷機械
JP2002189057A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Tohoku Seiki Kogyo Kk Icハンドラー
JP2002236141A (ja) * 2001-02-08 2002-08-23 Seiko Epson Corp 押圧装置、icハンドラ及びic検査装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06196536A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Nec Kansai Ltd Tab式半導体装置の特性検査装置
JPH06334018A (ja) * 1993-05-18 1994-12-02 Hitachi Ltd Icハンドラ
JP2002001922A (ja) * 2000-06-23 2002-01-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 印刷機械の運転方法及び印刷機械
JP2002189057A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Tohoku Seiki Kogyo Kk Icハンドラー
JP2002236141A (ja) * 2001-02-08 2002-08-23 Seiko Epson Corp 押圧装置、icハンドラ及びic検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5099874B2 (ja) プローブカードの固定機構、プローブカードの固定方法及びプローブ装置
US6505553B2 (en) Screen printing method and screen printing apparatus
JP5047188B2 (ja) Tcpハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法
JP5350615B2 (ja) 電子部品の打ち抜き装置及び打ち抜き方法
KR100708323B1 (ko) 마스크 장치 및 그 제어 방법
JP2009210493A (ja) ハンドラのテープクランパー
JP4098306B2 (ja) Tcpハンドリング装置および当該装置における位置ずれ補正方法
JP3637350B2 (ja) 粘着性テ−プ片の貼着装置
JP2009004652A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JPWO2007074509A1 (ja) Tcpハンドリング装置およびtcpハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法
KR20170094603A (ko) Acf부착형 cof 타발장치
KR20170011485A (ko) 백라이트유닛 적재용 지그, 백라이트유닛 제조장치 및 검사장치
JP2002234131A (ja) スクリーン印刷装置
JP2006308294A (ja) オートハンドラ
JP5059672B2 (ja) ハンドラー
JP2011237387A (ja) Tcpハンドリング装置
KR20040107440A (ko) 전자부품 실장용 필름 캐리어 테이프의 검사장치 및검사방법
JP4493650B2 (ja) Tcpハンドリング装置
JP5075573B2 (ja) バックテンション機構
JP2006317240A (ja) オートハンドラ
CN209889922U (zh) 一种抵压装置
JP2002328151A (ja) Tab用オートハンドラ
JPWO2008132935A1 (ja) Tcpハンドリング装置
JP7175647B2 (ja) 粘着テープの貼着装置及び粘着テープの貼着方法
JP2017211212A (ja) 電気検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20091113

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110106

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120412

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120424

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120821