JPH06334018A - Icハンドラ - Google Patents

Icハンドラ

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Publication number
JPH06334018A
JPH06334018A JP5115601A JP11560193A JPH06334018A JP H06334018 A JPH06334018 A JP H06334018A JP 5115601 A JP5115601 A JP 5115601A JP 11560193 A JP11560193 A JP 11560193A JP H06334018 A JPH06334018 A JP H06334018A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piston rod
air
detection sensor
time
elapsed time
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5115601A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeaki Sugiyama
滋章 杉山
Eiji Kawashima
英治 川島
Takeo Ogawa
健男 尾川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5115601A priority Critical patent/JPH06334018A/ja
Publication of JPH06334018A publication Critical patent/JPH06334018A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Special Conveying (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】動作コントローラ3が供給エア切替えバルブ1
2に切替え動作指令を出力してから、ピストンロッド後
退端の位置検出センサ5のオフ反応及びピストンロッド
前進端の位置検出センサ4のオン反応するまでの経過時
間を計測し、正常動作最大時間との比較を行い正常・異
常の自己診断を行う機能を有したICハンドラ。 【効果】ハンドラの性能低下を検出し、装置停止トラブ
ルを未然に防ぐ効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はエアシリンダを構成部品
とする装置において、エアシリンダの動作不良を検出す
るICハンドラに関する。
【0002】
【従来の技術】エアシリンダの動作コントローラと供給
エア切替えバルブ及びエアシリンダ各部の関係を図1に
示す。複数のエアシリンダを有する装置の動作コントロ
ーラ3は供給エア切替えバルブ12に切替え動作指令を
出し、シリンダケーシング1への圧縮空気を供給を切替
えることにより、ピストンロッド2を前進・後退させ、
ピストンロッド前進端位置検出センサ4とピストンロッ
ド後退端位置検出センサ5により、ピストンロッド2の
前進端・後退端への到達を確認し、各エアシリンダと連
結しているメカニカル部品の干渉を防いでいる。しか
し、ピストンロッド2のエアシールの摩耗によるエア洩
れや固渋が発生すると、ピストンロッド2の動作速度が
低下し、装置本来の動作性能は低下してしまう。なお、
この種の装置として関連するものには特開昭63−63325
号公報がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、図
2の様にエアシリンダのピストンロッド2からのエア洩
れ,ロッド側エア配管6からのエア洩れ,シリンダケー
シング1の内周面のきず等によるエアシリンダ動作速度
低下と動作不良の検出ができずに、装置の性能が低下し
た状態で運転を続けてしまう問題があった。
【0004】本発明の目的はピストンロッドの動作時間
を検出して動作不良の早期検出を可能とする方法を提供
することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は動作コントローラが供給エア切替えバルブ
に切替え動作指令を出力してから、ピストンロッドが動
作する前の停止位置でオン反応していたピストンロッド
検出センサがオフ反応するまでの時間とピストンロッド
の動作端のピストンロッド検出センサがオン反応するま
での時間を計測する方法を採用するものである。又、装
置本来の運転とは別に各エアシリンダを一本ずつ動作さ
せた状態で計測する方式を採用することで供給エアの圧
力と流量の変動による影響を少なくし、計測精度を向上
させている。
【0006】
【作用】図3に本発明の計測タイミングチャートを示
す。動作コントローラは供給エア切替えバルブに対して
切替え動作指令を出力すると同時に動作経過時間t1の
計測を開始し、ピストンロッドの動作する前の停止位置
でオン反応していたピストンロッド後退端位置検出セン
サ5がオフ反応した時点で計測を終了する。又、動作経
過時間t1の計測終了と同時に動作経過時間t2の計測
を開始し、エアシリンダの動作端のピストンロッド前進
端位置検出センサ4がオン反応した時点で計測を終了す
る。この計測時間t1があらかじめ登録された正常動作
最大時間T1より小さければ正常とし、大きければ供給
エアの配管のエア洩れ異常と判断する。また、計測時間
t2があらかじめ登録された正常動作最大時間T2より
小さければ正常とし、大きければシリンダケーシングの
内周面のきずや固渋異常と判断する。この動作・計測を
装置の各エアシリンダの往・復動作について一つずつ行
い、それぞれの動作毎に登録された正常動作最大時間T
1,T2と比較判断を自動的に行うことで、全エアシリ
ンダの動作不良の自己診断が可能となる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図4,図5,図6
により説明する。図4はハンドラのIC部品搬送装置の
構成を示し、図5はその装置の本来の運転動作を示すフ
ローチャートであり、図6は本発明による動作不良自己
診断動作のフローチャートを示す。
【0008】図4に示す装置ではハンドラベース8上に
エアシリンダ固定ブラケット9,ガイドレール10,動
作コントローラ3,供給エア切替えバルブ12が取り付
けてある。エアシリンダ固定ブラケット9にシリンダケ
ーシング1が取り付き、ガイドレール10上をスライド
するスライドテーブル11はピストンロッド2に連結し
てある。シリンダケーシング1にはピストンロッド2の
前進端と後退端を検出するためのピストンロッド前進端
位置検出センサ4とピストンロッド後退端位置検出セン
サ5が取り付けてある。動作コントローラ3は検出セン
サ配線13でピストンロッド前進端位置検出センサ4と
ピストンロッド後退端位置検出センサ5に接続して、セ
ンサ反応状態を信号として取り込んでいる。また、動作
コントローラ3はバルブ配線14で供給エア切替えバル
ブ12に接続して、切替え動作指令信号を供給エア切替
えバルブ12に出力している。供給エア切替えバルブ1
2はエアシリンダケーシング1のロッド側にロッド側エ
ア配管6とエンド側にエンド側エア配管7で配管接続し
てあり、動作コントローラ3からの切替え動作指令信号
により供給エア配管15からの圧縮エアをロッド側エア
配管6とエンド側エア配管7に供給切替えを行うもので
ある。
【0009】本装置はスライドテーブル11内のIC部
品を次工程の装置が受け取り可能な位置へ搬送する装置
であり、通常運転時の動作は図5に示す様に、動作コン
トローラ3はシリンダケーシング1のエンド側エア配管
7に圧縮エアを供給した(ステップ63)後、ピストン
ロッド前進端位置検出センサ4のオンを確認し(ステッ
プ64)、動作終了したものとしている。
【0010】本発明の動作不良自己診断動作は図6に示
す様に、動作コントローラ3からの切替え動作指令信号
により、供給エア切替えバルブ12はシリンダケーシン
グ1のエンド側エア配管7に圧縮エアを供給した(ステ
ップ51)後、ピストンロッド後退端位置検出センサ5
がオフするまで(ステップ52)の経過時間t1を0.
01秒単位(実用上の数値であり、他の値でも計測は可
能である)で計測し(ステップ53)、経過時間t1が
あらかじめ登録してある正常動作最大時間T1以上とな
った場合(ステップ54)は供給エアの洩れ・シリンダ
の不良・コントローラの不良があると判断しエラー停止
となる(ステップ55)。経過時間t1が正常動作最大
時間T1を超える前にピストンロッド後退端位置検出セ
ンサ5がオフした場合(ステップ56)は、ピストンロ
ッド前進端位置検出センサ4がオンするまで(ステップ
57)の経過時間t2を0.01秒単位で計測し(ステッ
プ58)、経過時間t2があらかじめ登録してある正常
動作最大時間T2以上となった場合(ステップ59)は
シリンダケーシング1の内周面のきずや固渋があると判
断しエラー停止となる(ステップ60)。経過時間t2
が正常動作最大時間T2を超える前にピストンロッド前
進端位置検出センサ4がオンした場合(ステップ61)
は正常動作となる(ステップ62)。ハンドラは一ロッ
ト自動運転前に自動的に図6の動作不良自己診断動作を
全エアシリンダの前進方向と後退方向に一方向ずつシー
ケンシャルに行うことで、各エアシリンダの動作不良を
自動発見できる。
【0011】また、装置が長期連続運転の時は、図5の
通常運転のステップ61の動作部を図6のステップ52
〜61の動作に置き換えて運転することも可能である。
【0012】
【発明の効果】本発明は、ハンドラを構成する各エアシ
リンダの動作不良の早期検出が可能となり、装置停止時
のトラブルを未然に防ぐ効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】エアシリンダの動作コントローラとエアシリン
ダ各部の関係を示す説明図。
【図2】エアシリンダのエア洩れ状態の一例を示す断面
図。
【図3】本発明で採用した計測方法のタイミングチャー
ト。
【図4】本発明を採用した実施例の斜視図。
【図5】実施例の通常動作を示すフローチャート。
【図6】実施例の動作不良自己診断動作を示すフローチ
ャート。
【符号の説明】
1…シリンダケーシング、2…ピストンロッド、3…動
作コントローラ、4…ピストンロッド前進端位置検出セ
ンサ、5…ピストンロッド後退端位置検出センサ、6…
ロッド側エア配管、7…エンド側エア配管、12…供給
エア切替えバルブ、13…検出センサ配線、14…バル
ブ配線、15…供給エア配管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所清水工場内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】装置を構成しているシリンダの動作開始遅
    れ時間と動作時間を計測する機能を有することを特徴と
    するICハンドラ。
JP5115601A 1993-05-18 1993-05-18 Icハンドラ Pending JPH06334018A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5115601A JPH06334018A (ja) 1993-05-18 1993-05-18 Icハンドラ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5115601A JPH06334018A (ja) 1993-05-18 1993-05-18 Icハンドラ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06334018A true JPH06334018A (ja) 1994-12-02

Family

ID=14666671

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5115601A Pending JPH06334018A (ja) 1993-05-18 1993-05-18 Icハンドラ

Country Status (1)

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JP (1) JPH06334018A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002301638A (ja) * 2001-04-04 2002-10-15 Tokyo Electron Ltd シリンダ機構の情報蓄積装置および情報蓄積方法ならびに管理システム
KR100400034B1 (ko) * 2001-02-10 2003-09-29 삼성전자주식회사 반도체 제조장치에서의 에어밸브 시스템
US7031792B2 (en) 2001-04-04 2006-04-18 Tokyo Electron Limited Processing apparatus and information storage apparatus and method
JP2009210493A (ja) * 2008-03-06 2009-09-17 Yokogawa Electric Corp ハンドラのテープクランパー

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