KR100492661B1 - 광학소자 탑재기판 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 광반도체소자와 광 화이버를 광결합시키기 위한 광학소자탑재용 기판에 있어서,상기 기판상에 형성되는 절연막과,상기 광 화이버를 설치할 수 있도록 상기 기판에 형성된 광 화이버 보지부와,상기 광 화이버 보지부 주위에 위치하는 상기 절연막 상에 형성된 박막전극및 박막콘덴서를 구비한 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광학반도체소자와 광 화이버를 렌즈를 통해 광결합시키는 광학소자 탑재용 기판에 있어서,상기 광 화이버와 상기 렌즈가 설치할 수 있도록 상기 기판에 형성된 홈부와,상기 기판 상에 형성되는 박막전극, 필터회로를 구성하는 저항과 콘덴서, 및 상기 콘덴서와 간격을 통해 배치되는 박막온도센서와, 상기 박막전극에 전기적으로 연락되는 상기 광반도체 소자를 탑재하는 영역에 형성된 납땜막을 갖고,상기 필터회로는 적어도 박막저항 혹은 박막콘덴서의 한쪽을 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 청구항 2에 있어서,상기 온도센서는 제 1 전극과 제 2 전극이 저항막을 통해 배치되고, 상기 제 1 전극과 제 2 전극은 상기 박막전극과 동일한 층에 위치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 청구항 2에 있어서,상기 온도센서는 제 1 전극과 제 2 전극의 층이 상기 저항막의 적어도 일부를 위에서 덮듯이 형성되고, 혹은 상기 저항막이 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 중 적어도 일부를 덮듯이 형성되는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체소자와 광 화이버를 렌즈를 통해 광결합시키는 광학소자 탑재용 기판에 있어서,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치할 수 있도록 형성된 보지부와,상기 광반도체소자를 탑재하는 주표면에 형성된 절연막과,상기 절연막 상에 형성되는 박막전극층, 박막콘덴서층, 및 박막저항층을 구비하고, 상기 박막전극층은 제 1 층을 갖고, 상기 박막콘덴서층 혹은 상기 박막저항층을 구성하는 복수의 층 중 적어도 일부의 층은 상기 제 1 층을 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광학반도체소자와 광 화이버를 광결합시키는 광학소자 탑재용 기판에 있어서,상기 광학소자 탑재기판은 실리콘을 주구성원소로 하고,상기 광 화이버를 설치되기 위한 광 화이버 보지부와,상기 광 화이버 보지부 주위의 상기 기판상에 형성된 박막전극, 박막콘덴서, 온도센서, 외부로부터 연결되는 와이어의 단부가 접속되기 위한 제 1 영역, 및 광반도체소자를 탑재하는 영역을 갖고,상기 박막전극은 상기 제 1 영역과 상기 광반도체소자를 탑재하는 영역과 연락하고, 상기 광반도체소자가 탑재되는 영역과 광 화이버가 탑재되는 영역을 연결하는 선의 한쪽 방향으로 상기 제 1 영역과 상기 박막콘덴서가 형성되고, 다른쪽 방향으로 상기 온도센서가 형성되는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체소자와 광 화이버를 렌즈를 통해 광결합시키는 광학소자 탑재용 기판에 있어서,상기 기판은 실리콘을 주구성원소로 하고,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치할 수 있도록 실질적으로 상기 실리콘의 하나의 결정면을 따라 형성된 영역을 갖는 홈부와,상기 홈부 주위의 상기 광학소자 탑재기판 상에 형성되는 박막전극, 필터회로를 구성하는 저항과 콘덴서, 온도센서, 외부로부터 연결되는 와이어의 단부가 접속되기 위한 제 1 영역, 및 광반도체 소자를 탑재하는 영역을 갖고,상기 콘덴서는 박막전극과 박막콘덴서의 적어도 한쪽을 구비하고,상기 박막전극은 상기 제 1 영역과 광반도체소자를 탑재하는 영역을 연결하고,상기 광반도체소자가 탑재되는 영역과 광 화이버가 연락되는 영역을 연결하는 선의 한쪽방향으로 상기 제 1 영역 및 상기 저항과 상기 콘덴서가 형성되고, 다른 쪽 방향으로 상기 온도센서가 형성되는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체 소자와 광 화이버를 렌즈를 통해 광결합시키는 광학소자 탑재용 기판에 있어서,상기 광학소자 탑재기판은 실리콘 기판이고,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치할 수 있는 상기 기판에 형성된 홈부와,상기 홈부의 주위의 상기 기판상에 형성된, 필터회로를 형성하는 저항과 콘덴서, 박막온도센서, 광반도체소자 및 광 수광소자를 설치하는 영역, 상기 광 수광소자에 연락하기 위한 제 1 박막전극과 제 2 박막전극을 갖고,상기 필터회로는 적어도 박막저항 혹은 박막콘덴서의 적어도 한쪽을 갖고,상기 광반도체 소자와 광 수광소자를 설치하는 영역을 연결하는 선의 한쪽 방향으로,상기 제 1 박막전극과 상기 제 2 박막전극으로 둘러싸인 영역의 바깥쪽으로 상기 제 1 전극측에 상기 박막온도센서를 배치하고,상기 광반도체소자와 광 수광소자를 설치하는 영역을 연결하는 선의 다른 쪽 방향으로,상기 제 1 박막전극과 상기 제 2 박막전극으로 둘러싸인 영역의 바깥쪽으로 상기 제 2 전극측에 상기 저항과 상기 콘덴서를 배치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 청구항 2에 있어서,상기 박막저항, 박막콘덴서 및 온도센서의 적어도 하나는 탄탈 질화물을 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체소자와 광 화이버를 광결합시키는 광학소자 탑재용기판에 있어서,상기 기판표면에 형성되는 절연막과,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치할 수 있도록 상기 기판에 형성된 보지부와,상기 절연막 상에 형성되는 박막저항, 상기 박막저항과 간격을 통해 배치되는 박막콘덴서, 외부로부터 연결되는 와이어의 단부가 접속되기 위한 제 1 영역, 상기 광반도체소자를 탑재하는 영역, 상기 제 1 영역과 상기 광반도체 소자를 탑재하는 영역을 연결하는 박막전극을 갖고,상기 박막저항 혹은 상기 박막콘덴서의 적어도 한쪽은, 그 주위의 과반수 영역이 상기 박막전극의 일부와 간격을 통해 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체소자와 광 화이버를 광결합시키는 광학소자 탑재용기판에 있어서,상기 광반도체소자를 탑재하는 주표면에 형성된 절연막과,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치할 수 있도록 상기 기판에 형성된 보지부와,상기 보지부의 주위 상기 절연막 상에 형성되는 박막저항, 상기 박막콘덴서와,상기 박막저항과 상기 박막콘덴서를 전기적으로 연결하는 박막전극을 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판.
- 광반도체소자와 광 화이버를 고정시켜서 광결합을 시키는 광학소자 탑재용 기판의 제조방법에 있어서,상기 기판을 제공하는 공정과,이방성 에칭에 의해 상기 기판에 홈을 형성하는 홈형성공정과,상기 홈형성공정 후에, 적어도 상기 기판의 홈이 형성된 하나의 주면에 있어서 상기 홈 바깥 영역에 레지스트를 도포하는 공정과,상기 레지스트를 마스크로 하여 상기 기판의 홈이 형성된 상기 주면측에 박막전극, 박막저항, 박막콘덴서의 홈부분을 형성하는 공정을 포함하는 광학소자 탑재기판의 제조방법.
- 청구항 12에 있어서,실리콘기판을 공급하는 공정과, 실리콘의 이방성 에칭에 의해 광 화이버와 유지하기 위한 홈과 렌즈를 유지하기 위해 상기 홈과는 깊이가 다른 홈을 형성하는 홈형성공정과, 상기 홈형성공정 후에, 상기 실리콘기판의 홈형성부 및 홈이 형성된 상기 실리콘기판의 하나의 주면에 35cp 이하의 저점성 레지스트를 회전도포하는 도포공정을 포함하는 광학소자 탑재기판의 제조방법.
- 청구항 12에 있어서,실리콘기판을 공급하는 공정과, 실리콘의 이방성에칭에 의해 광화이버와 유지하기 위한 홈과 렌즈를 유지하기 위해 상기 홈과는 깊이가 다른 홈을 형성하는 홈형성공정과, 상기 홈형성공정 후에 전착 레지스트를 상기 실리콘기판에 도포하는 도포공정을 포함하는 광학소자 탑재기판의 제조방법.
- 청구항 12에 있어서,실리콘기판을 공급하는 공정과, 실리콘의 이방성에칭에 의해 광 화이버와 유지하기 위한 홈과 렌즈를 유지하기 위한 상기 홈과는 깊이가 다른 홈을 형성하는 홈형성공정과, 상기 홈형성공정 후에 레지스트를 분무상으로 하여 상기 실리콘기판에 도포하는 도포공정을 포함하는 광학소자 탑재기판의 제조방법.
- 청구항 12에 있어서,상기 레지스트를 이용하여 상기 실리콘기판의 홈이 형성된 상기 주면측에, 박막전극층과, 두개의 온도센서전극층 사이를 상기 온도센서 전극층보다 고저항의 저항영역에서 연락하는 박막온도센서와, 를 형성하는 공정을 갖고,상기 박막전극층과 상기 박막온도센서를 구성하는 적어도 어느 하나의 층을 공통하는 층에서 퇴적하는 퇴적공정과, 상기 퇴적공정 후에 불필요한 부분을 에칭하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재기판의 제조방법.
- 광반도체소자와, 광 화이버 또는 광 화이버 및 렌즈를 구비하고, 광반도체소자와 상기 광 화이버를 광결합시키는 광학소자 탑재장치에 있어서,상기 기판의 표면에 형성된 절연막과,상기 광 화이버 혹은 상기 렌즈를 설치하기 위한 상기 기판에 형성된 보지부와,상기 절연막 상에 형성되는 박막전극, 필터회로를 구성하는 저항과 콘덴서, 박막온도센서와, 를 갖고,상기 콘덴서는 적어도 박막저항 혹은 박막콘덴서를 갖는 것을 특징으로 하는 광학소자 탑재장치.
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