KR100474365B1 - 웨이퍼연마장치 및 그 연마방법 - Google Patents

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Abstract

물체연마장치는, (a) 물체(12)가 연마되는 연마면을 가지는 회전가능한 원형 연마판(11); (b) 물체(12)가 연마면과 접촉하도록 물체(12)에 압력을 적용하는 가압기(21); (c) 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛(13); (d) 연마면을 다듬는 드레서(23); 및 (e) 연마판(11)의 회전방향에서 드레서(23)의 전방이며 제1유닛(13)의 후방인 위치에 위치하고, 연마면에서 연마액을 빨아들이는 흡수면(31)을 가지는 제2유닛(14)을 포함하고, 흡수면(31) 위에 복수개의 피벗들(35)이 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼연마장치 및 그 연마방법{Apparatus for polishing wafer and method of doing the same}
본 발명은, 반도체웨이퍼, 반도체회로에 절연막으로 피복된 웨이퍼, 금속선이 형성된 웨이퍼, 마그네틱디스크 또는 유리기판과 같은 판형상의 물체를 연마하는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 더 나아가 연마방법에 관한 것이다.
반도체웨이퍼, 마그네틱디스크 또는 유리기판과 같은 판형상의 물체를 연마하기 위한 장치들 및 방법들이 다수 제안되어 왔다.
예를 들어, 일본 특허공개공보 No. 5-69310은 웨이퍼가 놓이는 연부성 탄성막을 포함하는 물체연마장치를 제안하였다.
일본 특허공개공보 No. 5-309559는 물체연마장치 및 방법을 제안하고 있는데, 레이저빔이 물체에 투사되고, 반사된 레이저빔은 회수되고, 그런 다음 물체의 두께가 반사된 레이저빔에 기초하여 측정된다.
일본 특허공개공보 No. 7-105369는, 특정분자, 색소 또는 화학물질을 함유하는 유기레지스트를 기판에 도포하는 단계, 사용된 연마액을 분석하는 단계, 분자, 색소 및 화학물질을 검출하는 단계, 검출결과에 기초해서 물체연마장치의 회전속도, 하중압력 및 위치를 제어하는 단계를 포함하는 방법을 제안하고 있다.
일본 특허공개공보 No. 9-11117은, 물체를 연마하는 연마천을 다듬는 드레서를 포함하는 장치를 제안하고 있다. 드레서는 연마천을 지지하는 연마판의 반경방향에 위치한다.
일본 특허공개공보 No. 11-179648은, 컨디셔너 및 컨디셔너주위에 위치한 흡수기들을 포함하는 물체연마장치를 제안하고 있다. 연마패드를 컨디셔닝한 결과 발생된 먼지는 흡수기들에 의해 회수된다.
일본 특허공개공보 No. 11-48122은, 제1드레서 및 제2드레서를 포함하는 물체연마장치를 제안하였다. 제1드레서는 연마패드의 면을 연마하여 평탄화시킨다. 그 후에, 연마패드가 원통상솔을 포함하는 제2드레서에 의해 다듬어져서 최초 미가공결(rough grain)을 회수한다.
도 1은 전술한 공보들에서 제안된 장치와 유사한 종래의 물체연마장치의 측면도이다.
장치의 작동에서, 물체(132)는 지지구(133)에 의해 압력하에서 원형 연마판(polishing plate)(131)의 표면위에 놓여진 상태가 유지된다. 연마판(131)이 회전되는 동안, 연마재를 함유하는 연마액(134)은 연마판(131)의 표면에 공급되어 물체(132)를 연마한다.
도 2는, 도 1에 도시된 장치에서 물체(132)가 연마되는 연마비(polishing rate)와 시간 사이의 관계를 나타내는 그래프이다. 여기서, 연마비는 A/B로 정의되고, 여기서 A는 물체의 연마된 양을 나타내고, B는 연마시간을 나타낸다. 도 2에서 명백하게 나타난 것 같이, 연마시간이 길어질 수록 연마비는 더 작아지는데, 연마판(131)의 표면은 물체(132)의 연마에 의해 발생되는 입자들로 도포되기 때문이다. 따라서, 도 1에 도시된 종래의 장치는 물체들이 정도를 달리하여 연마되는 문제를 수반한다.
게다가, 물체(132)를 연마하기 위해 사용된 연마액은 물체(132)가 연마될 때마다 소모되기 때문에, 종래의 장치는 운전비용이 불가피하게 높은 또 다른 문제를 수반한다.
그러므로, 본 발명의 발명자는 일본 특허공개공보 No. 11-70459에서 물체연마장치를 제안하였는데, 상기 장치는, 물체가 연마되는 연마면을 가지는 회전가능한 원형 연마판; 물체가 연마면과 접촉하도록 물체에 압력을 적용하는 가압기(pressurizer); 연마판의 회전방향에서 물체의 후방에 위치하며, 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛; 연마판의 회전방향에서 물체의 전방에 위치하고, 연마면을 다듬는 드레서; 및 연마판의 회전방향에서 드레서의 전방이며 제1유닛의 후방인 위치에 위치하고, 연마면에서 연마액을 빨아들이는 제2유닛을 포함한다.
실제사용에서, 그 장치는 도 1에 도시된 종래의 장치보다 잘 작동한다. 그러나, 그 장치는 다음 문제들을 가지고 있다.
첫째, 연마액을 흡수하는 제2유닛의 충분한 흡수능력을 보장하기 위해 흡수면과 연마면 사이의 간격을 1mm이하로 유지할 필요가 있다. 그러나, 만약 연마판이 마모되어 간격이 더 커질 수록, 연마액을 흡수하는 제2유닛의 흡수능력은 감소된다.
둘째, 연마판이 새 것으로 교환될 때마다, 제2유닛을 적절하게 세팅하기 위해 많은 시간이 소요되어, 생산성을 악화시키는 결과가 초래된다.
종래의 장치들에서 전술한 문제점들을 고려하여, 본 발명의 목적은, 연마판이 마모되더라도 연마액을 흡수하는 제2유닛이 충분한 능력을 유지하고 제2유닛을 적절하게 세팅하는 것을 보다 용이하게 하는 물체연마 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에서 물체연마장치가 제공되는데, 상기 장치는 (a) 물체가 연마되는 연마면을 가지는 회전가능한 원형 연마판; (b) 물체가 연마면과 접촉하도록 물체에 압력을 적용하는 가압기; (c) 연마판의 회전방향에서 물체의 후방에 위치하고, 상기 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛; (d) 연마판의 회전방향에서 물체의 전방에 위치하고, 연마면을 다듬는 드레서; 및 (e) 연마판의 회전방향에서 드레서의 전방이며 상기 제1유닛의 후방인 위치에 위치하고, 연마면에서 연마액을 빨아들이는 흡수면을 가지는 제2유닛을 포함하고, 흡수면 위에 복수개의 피벗들이 형성되는 것을 특징으로 한다.
이 장치에 따르면, 제2유닛의 흡수면이 복수개의 피벗들을 가지도록 설계되었기 때문에, 흡수면과 연마면 사이의 간격이 피벗들의 높이와 동일하게 필연적으로 유지된다. 따라서, 제2유닛은 연마판이 새 것으로 교체될 때마다 용이하게 세팅될 수 있다.
상기 피벗들의 각각은 둥근 선단을 가지는 것이 바람직하다. 이것으로 피벗들과 연마판의 연마면 사이가 부드럽게 접촉할 수 있게 된다.
피벗들이 흡수면 위 어디에도 형성될 수 있지만, 피벗들은 흡수면의 네 모퉁이에 형성되는 것이 바람직하다.
이것으로 가장 넓은 흡수면을 확보할 수 있다.
피벗들은 어떤 물질로도 구성될 수 있다. 예를 들어, 피벗들은 테플론으로 구성될 수 있다.
흡수면은, 연마면의 내부영역에 면하는 제1영역, 내부영역을 완전히 둘러싸는 연마면의 외부영역에 면하는 제2영역 및 상기 제1 및 제2 영역들 사이에 위치한 중간영역을 포함할 수 있고, 제1영역은 중간영역보다 더 많은 수의 흡수공들을 가지며, 제2영역은 중간영역보다 더 많은 수의 흡수공들을 가진다. 연마액은 흡수공들을 통하여 제2유닛안으로 흡수된다.
회전하는 연마판은 연마액 위에 원심력을 부여하여, 따라서 연마액은 연마판의 방사상의 외부로 흐르는 경향이 있다. 그러므로, 중간영역보다 더 많은 수로 제1 및 제2영역들에 흡수공을 형성하여, 연마액을 특히 제2영역에 면하는 연마면의 외부영역에서 효과적으로 흡수할 수 있다.
흡수면은 연마판의 회전방향에서 복수개의 오목부(recess)들이 반대 가장자리에서 형성되는 것이 바람직하다.
이러한 오목부들은, 회전하는 연마판에 의해 부여된 원심력에 의해 연마판의 주변으로 향해 흐르는 연마액을 포착할 수 있다.
흡수면은 연마판의 회전방향에서 반대 가장자리에서 둥근 또는 모서리를 깍는 것이 바람직하다.
이것으로 제2유닛이 연마판의 연마면과 직접 접촉하게 되는 경우에도, 제2유닛 및 연마판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
장치는 드레서의 중심 주위로 드레서를 회전시키기 위한 유닛을 더 포함할 수 있다.
이 유닛은 연마판의 연마면 및 드레서의 드레싱면 사이의 상대속도를 변화시킬 수 있고, 연마판이 회전하는 방향에 반대되는 방향으로 드레서를 회전시킬 수 있어 연마면을 다듬는 정도를 조정할 수 있게 한다.
장치는 연마면에 대해 제2유닛을 상방 또는 하방으로 이동시키기 위한 유닛을 더 포함할 수 있다.
이 유닛은, 연마판에 구비된 연마패드가 마모되는 경우에도 흡수면 및 연마면 사이의 간격을 일정하게 유지시킨다. 이 유닛은 나사 또는 모터와 모터에 의해 자동적으로 회전되는 나사의 조합을 포함할 수 있다.
장치는, 연마판의 주변을 따라 서 있고 연마판과 함께 회전가능한 환상벽(annular wall), 및 환상벽의 내부 및 환상벽(6)의 내면부근에 위치하고, 상기 연마액을 회수하는 제3유닛을 더 포함할 수 있다.
환상벽은 연마액의 회수와 물체의 연마에 의해 발생된 부스러기의 포착을 용이하게 하고, 제3유닛은 제2유닛에 의해 흡수되지 않은 연마액을 확실하게 제거한다.
제2유닛 및 드레서는 연마면 위에 일체로 지지되어 제2유닛 및 드레서는 연마판의 회전방향으로 함께 회전가능하는 것이 바람직하다.
제2유닛 및 드레서가 연마면 위에서 회전하기 때문에, 연마판이 회전할 때 연마면을 균일하게 다듬고 연마액을 균일하게 흡수하는 것이 가능하다.
장치는, 연마판의 반경방향에서 제2유닛 및 드레서를 함께 왕복운동시키는 제4유닛을 더 포함하는 것이 바람직하다.
대안으로, 제2유닛은 연마면의 반경과 동일한 길이를 가질 수 있고, 제2유닛은 연마면의 반경을 완전히 넘는 연마판 위에 놓인다.
대안으로, 드레서는 연마면의 반경과 동일한 길이를 가질 수 있고, 드레서는 연마면의 반경을 완전히 넘는 연마판 위에 놓인다.
제4유닛은, 그런 길이를 가지는 제2유닛 또는 그런 길이를 가지는 드레서가, 연마면의 전체반경 너머 연마액을 흡수할 수 있게 하고, 어떤 물체도 물체의 크기에 상관없이 동일 조건하에서 연마될 수 있게 한다.
장치는, 제2유닛에 의해 흡수되는 연마액을 여과하여, 제1유닛에 이렇게 여과된 연마액을 공급하는 제5유닛을 더 포함하는 것이 바람직하다.
제5유닛은 연마액을 재사용할 수 있게 하여 장치의 운전비용을 감소시킬 수 있게 한다.
(a) 회전가능한 원형 연마판 (b) 물체가 연마면과 접촉하도록 물체에 압력을 적용하는 가압기 (c) 연마판의 회전방향에서 상기 물체의 후방에 위치하며, 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛 (d) 연마판의 회전방향에서 물체의 전방에 위치하고, 연마면을 다듬는 드레서; 및 (e) 연마판의 회전방향에서 드레서의 전방이며 제1유닛의 후방인 위치에 위치하고, 연마면에서 연마액을 빨아들이는 흡수면을 가지는 제2유닛을 포함하고, 드레서는 제2유닛과 일체로 형성되고, 제2유닛은 제2유닛이 연마면에서 연마액을 빨아들이는 흡수면을 가지고, 그리고 상기 흡수면 위에 복수개의 피벗들이 형성되는 것을 특징으로 하는 물체연마장치가 더 제공된다.
이 장치에 따르면, 첫째 드레서에 의해 연마판의 연마면을 다듬을 수 있고 둘째 드레서와 일체로 형성된 제2유닛에 의해 연마액을 흡수할 수 있다.
예를 들어, 드레서는 원형일 수 있다.
드레서는, 드레서의 드레싱면과 흡수면이 방사상이면서 교대로 배열되는 원형판으로 형성될 수 있다.
드레싱면 및 흡수면이 방사상이면서 교대로 배열되기 때문에, 연마면의 드레싱, 및 연마액과 부스러기의 흡수가 반복 순환적으로 수행된다.
드레서는, 흡수면이 원형판의 내부영역에 배열되고, 드레서의 드레싱면이 원형판의 내부영역을 둘러싸는 외부영역에 배열되는 원형판으로 형성될 수 있다.
흡수면 및 드레싱면이 서로 인접하게 배열되기 때문에, 연마면의 드레싱, 및 연마액과 부스러기의 흡수가 동시에 수행될 수 있다.
드레서는, 드레서의 드레싱면과 흡수면이 동축이면서 교대로 배열되는 원형판으로 형성될 수 있다.
흡수면 및 드레싱면이 동축으로 배열되기 때문에, 연마면의 드레싱, 및 연마액과 부스러기의 흡수가 반복 순환적으로 수행된다.
드레서는, 실린더, 실린더의 축방향에서 연장하는 드레서의 드레싱면 및 실린더의 외면상에 교대로 배열되는 실린더의 축방향에서 연장하는 흡수면으로 형성될 수 있다.
드레싱면 및 흡수면이 실린더의 외면에 배열되기 때문에, 실린더가 회전할 때, 연마면의 드레싱, 및 연마액과 부스러기의 흡수가 반복 순환적으로 수행된다.
드레서는, 복수개의 드레서들이 일 원주 위에 배열되고, 드레서들 이외의 영역은 흡수면으로 형성되는 원형판으로 형성될 수 있다.
드레서를 이용함으로서, 연마면의 드레싱, 및 연마액과 부스러기의 흡수가 동시에 수행된다.
드레서의 드레싱면은 흡수면보다 바람직하게 1mm이하로 돌출되는 것이 바람직하다.
드레싱면이 흡수면보다 돌출되도록 설계함으로서, 연마면을 적절하게 다듬고 연마액을 흡수할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에서 물체연마방법을 제공하는데, 그 방법은, (a) 물체가 압력하에서 회전하는 연마판의 연마면과 접촉하도록 하고, 연마판의 회전방향에서 물체의 후방 제1위치에서 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 단계 (b) 연마판의 회전방향에서 물체의 전방 제2위치에서 연마면에서 연마액을 파내는(digging) 단계 (c) 연마판의 회전방향에서 제2위치의 전방 및 제1위치 후방 위치에서 연마면에서 연마액을 빨아들이는 단계를 포함한다.
이 방법에 따르면, 연마액은 물체의 전방위치에서 드레서에 의해 연마면에서 파내어져, 물체가 연마되는 동시에 파내어진 연마액은 제2유닛에 의해 흡수된다. 그러므로, 연마액, 및 물체와 연마판의 부스러기는 제조과정중에서 제거되어, 연마면이 청결하게 유지될 수 있게 된다.
단계 (b) 및 (c)는 동시에 수행될 수 있다.
그 방법은, 단계 (c)에서 빨아들인 연마액을 여과하는 단계; 및 연마면에 이렇게 여과된 연마액을 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이것으로 연마액이 여과되고, 그런 다음에 이렇게 여과된 연마액이 다시 연마면에 공급되게 된다. 그러므로, 연마액은 반복적으로 사용될 수 있고, 운전비용을 감소시킬 수 있다.
게다가, 연마액의 소비로 인해 초래되는 환경적 부담도 감소시킬 수 있다.
도 3 및 4는 제1실시예에 따른 물체연마장치를 도시한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 장치는 중심에 개구부를 가지는 지지판(2)과 상부가장자리 약간 아래에 형성되는 상자형 용기(1)를 포함한다.
연마판의 연마면이 상부에 면하도록 원형 연마판(11)은, 지지판(2) 위에 회전을 위해 설치된다. 연마판(11)은, 도 3에서 화살표 "A"로 표시된 방향, 즉 상부에서 볼 때 시계방향으로 모터(20)에 의해 회전된다.
물체(12)가 연마판(11)의 연마면과 근접한 상태를 유지하도록, 지지구(21)는 물체(12)에 압력을 적용한다. 지지구(21) 및 물체(12)가 그 중심 주위를 함께 회전할 수 있도록 지지구(21) 및 물체(12)는 지지롤러들(4)에 의해 연마면에 접촉해서 또는 그 위의 고정된 위치로 유지된다. 지지롤러들(4)은 연마판의 회전방향, 즉 A 방향에서 물체(12)의 전방에 위치된 수평프레임(3)에 의한 회전을 위해 구비된다.
직사각의 평행관형 제1유닛(13) 및 직사각의 평행관형 제2유닛(14)은, 연마판(11)의 연마면위에 1mm이하의 간격을 두고 떨어져 있다. 제1유닛(13)은 제1유닛(13)의 저면에 형성된 많은 공들을 통해 연마면 위에 연마제를 함유하는 연마액을 뿌린다. 제2유닛(14)은 제2유닛(14)의 저면에 형성된 복수개의 공들을 통해 연마면에서 연마액을 흡수한다.
연마판(11)의 연마면을 다듬기 위한 드레서(23)는 연마면 위에 놓인다.
도 5는, 연마액이 흡수되는 제2유닛(14)의 흡수면(31)을 도시하는 제2유닛(14)의 저면도이다. 도 5에서 도시된 바와 같이, 피벗들(35)이 흡수면(31)의 네 모퉁이에 형성된다. 각각의 피벗들(35)의 높이는 0.8mm이고, 그것의 선단은 둥글고, 테프론으로 구성된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제2유닛(14)은 모터(미도시)에 의해 구동되는 나사유닛이 구비된다. 나사유닛(28)은 연마면에 대해 제2유닛(14)을 높이거나 낮춘다.
도 3에 도시된 대로, 제1유닛은 방향 A에서 물체의 후방에 위치한다. 드레서(23)는, 방향 A에서 물체의 전방에 위치한다. 제2유닛(14)은 방향 A에서 드레서(23)의 전방 및 제1유닛(13)의 후방에 위치한다. 즉, 제2유닛은 드레서(23) 및 제1유닛(13) 사이에 위치한다.
제1유닛(13)은 연마면의 반경과 동일한 길이를 가지며, 따라서, 연마면 위에 전체적으로 연마액을 스프레이할 수 있다. 제2유닛(14)은 연마면의 반경과 동일한 길이를 가지며, 따라서 연마면 전체에서 연마액을 흡수할 수 있다. 드레서(23)는 연마면의 반경과 같은 직경을 가지며, 따라서 연마면의 전체영역을 다듬을 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 환상벽(6)은 원형 연마판(11)의 외주연을 따라 세워진다. 환상벽(6)은 연마판(11)과 함께 회전할 수 있도록 설계된다.
연마액을 연마면에서 흡수하는 개구를 가지는 제3유닛(7)은, 개구가 환상벽(6)의 부근에서 연마면에 면하도록 위치한다.
제1유닛(13)은 3mm의 간격(pitch)으로 1mm의 직경을 가지는 많은 공들이 저면에 형성된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 연마면(31)은 연마면의 내부영역에 면하는 제1영역(31a), 내부영역을 완전히 둘러싸는 연마면의 외부영역에 면하는 제2영역(31b) 및 제1 및 제2영역들(31a,31b) 사이에 낀 중간영역(31c)를 포함한다. 제1 및 제2 영역들(31a, 31b)는 중간영역(31c) 보다 3배 더 많은 수의 흡수공들(32)을 가지도록 설계된다. 각각의 흡수공들(32)은 1mm의 직경을 가진다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제2유닛(14)의 흡수면(31)은, 일 피치에서 복수개의 얕은 오목부들이 반대측 가장자리에 형성된다. 각각의 오목부들(33)은 1mm이하의 깊이를 가진다. 오목부들(33)은 부여된 원심력에 의해 연마판(11)의 방사상으로 외부로 흐르는 연마액을 포착한다.
게다가, 흡수면(31)은 반대측 가장자리에서 둥글다. 둥근 측면 가장자리들은 약 2mm의 반경을 가진다. 둥근 측 가장자리들은, 서로 접촉하게 되는 경우에도 제2유닛(14) 및 연마판(11)이 손상받는 것을 방지한다. 흡수면(31)의 측면 가장자리를 둥글게 하는 대신에, 흡수면(31)의 반대측 가장자리들의 모서리들을 깍아낼 수 있다.
도 3 및 4에 도시된 대로, 드레서(23)는 원형 베이스판(24) 및 베이스판(24)의 저면 위로 원에 고정된 복수개의 원형 연마석(22)을 포함한다. 각각의 연마석(22)은 약 150마이크론미터의 직경을 가지는 천연다이아몬드입자들과 약 100마이크론미터의 직경을 가지는 인공다이아몬드입자들의 혼합물로 구성된다.
드레서(23)는 자신의 무게에 의한 압력하에서 연마면과 접촉하게 된다. 드레서(23)가 그 중심주위를 회전할 수 있도록, 드레서(23)는 수평프레임(3a)에 의한회전이 수행되는 지지롤러들(4a)에 의해 방향 A에서 물체(12)의 전방의 고정위치에서 연마면 위에 유지된다.
지지프레임(2) 아래에, 제2 및 제3유닛(14,7)에 의해 흡수되고 회수된 연마액을 재사용하고, 이렇게 재사용된 연마액을 제1유닛(13)으로 공급하는 제5유닛(5)이 배열된다.
제5유닛은, 연마액탱크(18) 및 재사용된 연마액에서 외부물질을 제거하기 위한 필터(16)를 포함한다. 연마액탱크(18)는 제1 내지 제3의 침전조들(18A, 18B 및 18C)을 포함한다. 회수된 연마액은 처음에 제1침전조(18A)에 담겨지고, 넘쳐흐른 것은 제2침전조(18B)안으로 연이어 제3침전조(18C)로 유입된다. 연마액이 제1 내지 제3 침전조들(18A 내지 18C)에 함유되는 동안, 연마액중 외부물질들은 침전된다.
제1 및 제2 침전조들(18A 및 18B) 사이의 칸막이벽은 제2 및 제3 침전조들( 18B 및 18C) 사이의 칸막이벽 보다 높다. 그러므로, 흘러넘치는 것은 제1, 제2 및 제3 침전조들(18A, 18B 및 18C)로 차례로 흐른다.
제2 및 제3 유닛들(14,7)은, 펌프(19)를 통해 제1침전조(18A)와 유체 연결되고, 제3침전조(18C)는 파이프(15)를 통해 펌프(17), 필터(6) 및 제1유닛(13)과 유체 연결된다.
펌프(19)는, 제2유닛(4)에서 공기와 함께 연마액을 흡수하도록 충분히 강력하다. 펌프(19)에 의해 흡수된 공기는, 제1침전조(18A)로 도입되지 않도록 유닛(미도시)에 의해 외부로 배출된다.
재사용된 연마액을 제1유닛(13)에 공급하는 펌프(17)는 약 100cc/min의 유출량을 가진다.
필터(16)는 제1 및 제3 침전조들(18A, 18B 및 18C)에 의해 제거될 수 없는 외부물질들을 제거한다. 필터(16)는 50㎛-mesh 및 100㎛-mesh를 포함한다.
이하에서 제1실시예에 따른 장치의 작동이 설명된다.
물체(12)가 연마판(11)에 의해 연마될 때, 제1유닛(13)은 연마판(11)의 연마면 위에 연마액을 공급한다. 물체(12)의 후방 연마면에 공급된 연마액은, 연마판(11)의 회전에 의해 물체(12)에 도달한다. 물체(12)는, 방향 A로의 연마판(11)의 회전 및 화살표 "B"로 표시된 방향에서 물체(12)의 회전에 의해, 연마판(11) 및 물체(12) 사이에 발생된 마찰력에 의해 연마된다.
연마액은 물체(12)를 통과한 후, 물체(12)의 전방에 위치한 드레서(23)는 연마판(11)의 연마면을 다듬고, 결과적으로 연마액은 연마면에서 파내어진다. 이렇게 파내어진 연마액은 제2 및 제3 유닛들(14,7)에 의해 즉시 흡수된다.
제2유닛(14)의 흡수면(31)은 둥근 테플론 피벗들(35)이 네 모퉁이에 형성되기 때문에, 피벗들(35)의 높이(0.8mm)에 따라 흡수면(31)과 연마면 사이에 일정한 간격을 유지할 수 있다.
게다가, 연마판(11) 두께의 마모 또는 감소에 따라 나사유닛(28)에 의해 제2유닛(14)을 낮춤으로서, 흡수면(31) 및 연마면 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
드레서(23)는, 연마판(11)이 회전함에 따라 화살표 "C"로 표시된 방향으로 그 중심 주위를 회전한다. 연마면은, 연마면과 드레서(23)의 저면에 고정된 다이아몬드연마석들(22) 사이에 발생되는 마찰력에 의해 다듬어진다.
연마석들(22)은 천연다이아몬드입자들을 포함하기 때문에, 연마면은 천연다이아몬드입자들의 예리한 가장자리들에 의해 예리하게 다듬어질 수 있다. 더욱이, 연마석들(22)는 천연 및 인공 다이아몬드 입자들의 혼합으로 구성되기 때문에, 드레서(23)의 제조비용은, 천연다이아몬드 입자들만으로 구성되는 드레서에 비해 감소될 수 있다.
전술한 대로, 연마면은 제1실시예에 따른 장치에서 드레서(23)에 의해 다듬어진다. 그러므로, 물체(12)가 지지구(21)에 의해 연마면 위에서 고압을 받을 경우에도, 부스러기는 연마액과 함께 연마액에서 확실히 파내어진다. 이들 부스러기는 제조과정에서 제거될 수 있어, 연마면이 청결하게 유지된다.
이전에 언급된 대로, 연마판(11)의 내부 및 외부 영역들에 면하는 제1 및 제2 영역들(31a, 31b)은 중간영역(31c) 보다 3배 더 많은 수의 흡수공들(32)을 가지도록 설계된다. 그러므로, 연마판(11)의 외부 및 내부 영역에서 더 많은 연마액을 효율적으로 회수할 수 있다.
게다가, 연마판(11)에 면하는 흡수면(31)은, 얕은 오목부들(33)이 반대측 가장자리들에 형성되기 때문에, 오목부들(33)에 의해 원심력에 의해 연마판(11)의 방사상 외부로 흐르는 연마액을 포착할 수 있어, 연마액이 효과적으로 흡수되게 한다.
더욱이, 흡수면(31)의 반대측 가장자리들은 둥글게 형성되기 때문에, 서로 충돌하는 경우에도 연마판(11) 및 제2유닛(14)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이제까지 전술된 것과 같이, 제1실시예에 따른 장치는 연마비의 감소없이 물체(12)를 효과적으로 연마할 수 있게 한다. 이 장치에 따르면, 연마액은 연마면 전체영역에 공급되고 연마액은 연마면의 전체영역에서 흡수되어, 어떤 물체(12)도 물체(12)의 크기에 상관없이 동일조건하에서 연마될 수 있게 된다.
더욱이, 제2유닛(14)은 연마판(11)이 새 것으로 교체될 때마다 용이하게 적절히 세팅될 수 있기 때문에, 이 장치는 생산성을 향상시킨다.
이 장치에 따르면, 연마판(11)이 마모되는 경우에도 제2유닛(14)의 흡수능력을 일정하게 유지할 수 있다.
발명자는, 제1실시예에 따른 장치에 의해 제시된 전술한 장점들을 확인하기 위한 실험들을 행하였다.
실험에서, 25인치의 직경을 가지며 폴리우레탄으로 구성되는 연마판(11) 및 연마액으로 100옹스트롬의 입자직경을 가지는 콜로이드실리카가 사용되었다. 이산화규소막이 형성된 웨이퍼가 물체(12)로서 연마되었다.
연마판(11)은 24rpm으로 회전되었다. 지지구(21)는 물체(12)에 60kPa의 압력을 적용하였다.
그 결과, 연마시간이 20시간 이하일때 연마비는 2200±50Å/min이었다. 이것은, 물체가 고압에서 연마면 위로 압축되었을 때 연마시간이 길수록 연마비가 작아지는 종래장치에서의 문제점이 해결되었다는 것이 확인되었다는 것을 의미한다.
게다가, 제2유닛(14)은, 종래장치에서 제2유닛(14)을 적절하게 세팅하기 위해 필요적인 시간의 1/5 미만으로 적절하게 세팅될 수 있다.
전술된 장점들은 제1유닛(13), 드레서(23) 및 제2유닛(14)에 의해 제시된다는 것이 고려되어야 한다. 즉, 장점들이 장치에 의해 제공되는 이유는, 물체가 연마되는 동안에 연마면에 공급되는 연마액이 물체(12)를 연마하기 위해 사용된 후 드레서(23)에 의해 연마면에서 파내어지고 그런 다음에 물체(12)가 연마판(11)으로 연마되는 동안 발생된 부스러기와 함께 제2유닛(14)에 의해 흡수되기 때문이다.
게다가, 흡수면(31)은 둥근 피벗들(35)이 네 모퉁이에 형성되고, 제2유닛(14)은 나사유닛(28)에 의해 높아지거나 낮아지기 때문에, 흡수면(31)과 연마면 사이의 간격은 용이하게 세팅되고 일정하게 유지된다. 이것은 전술된 장점들이 얻어질수 있는 이유들 중의 하나이다.
발명자에 의해 행해진 실험에서, 연마액이 6회 재사용되었다. 그러나, 연마비는 저하되지 않고, 물체(12)의 연마된 면의 질은 저하되지 않는다. 그러므로, 장치의 운전비용을 감소시킬 수 있고 연마액을 소비하여 발생되는 환경적 부담을 감소시킬 수 있다.
제1실시예에서, 드레서(23)는 연마판(11)이 회전될 때 중심주위를 단독으로 회전하도록 설계되지만, 장치는 드레서(23)를 회전시키는 유닛을 포함할 수도 있다. 그런 유닛은 연마면과 드레서의 드레싱면 사이의 상대속도를 변화시킬 수 있고, 방향 A의 반대방향으로 드레서(23)를 회전시킬 수 있어, 연마면이 드레서(23)에 의해 다듬어지는 정도를 조절할 수 있다.
도시되지 않았지만, 장치는 연마판(11)의 반경방향에서 제2유닛(14) 및 드레서(23) 모두를 왕복운동시키는 제4유닛을 더 포함할 수 있다. 제2유닛(14)은 연마판(11)의 반경보다 작은 길이를 가지고 드레서(23)은 연마판(11)의 반경보다 작은 직경을 가지는 경우에도, 제4유닛은 연마면의 전체영역을 다듬을 수 있게 하고, 연마면의 전체영역에서 연마액을 흡수할 수 있게 한다.
각각 독립적으로 회전할 수 있도록 드레서(23)가 제2유닛(14)과 일체될 수 있다.
도 6은 제2실시예에 따른 물체 연마장치의 평면도이다. 도 7은 제2유닛(14) 및 드레서(23) 둘 다 형성된 원형 컨디셔너(36)의 저면도이다.
제2실시예에 따른 장치는 별도의 부품들로서 제2유닛(14) 및 드레서(23) 모두 대신에 원형 컨디셔너(36)를 구비한다. 도 7에 도시된 바와 같이, 연마판(11)에 면해 있는 컨디셔너(36)는, 8개의 흡수면들(31) 및 8개의 드레싱면들(23a)이 방사상으로 교대로 형성된 원형하부를 갖도록 설계된다. 컨디셔너(36)는 8개의 흡수면들(31)을 통해 연마액을 흡수하고, 8개의 드레싱면들(23a)을 통해 연마면을 다듬는다.
도 8은 도 7에서 Ⅷ-Ⅷ선에 따른 단면도이다. 드레싱면들(23a)은 흡수면들(31)보다 0.8㎜ 돌출하도록 설계된다. 컨디셔너(36)는, 컨디셔너(36)가 단독으로 회전될 수 있도록 연마판(11)의 연마면상의 지지롤러들(4)에 의해 지지된다. 지지롤러들(4)은 방향 A로 드레서(23)의 전방에 위치된 수평프레임(3)에 의해 회전하기 위해 구비된다.
호스(8)는 컨디셔너(36)의 중심에서 컨디셔너(36)에 연결된다. 사용된 후, 연마액이 호스(8)를 통해 흡수된다.
제2실시예에 따른 장치는, 제2실시예에 따른 장치가 컨디셔너(36) 및 호스(8)를 구비하지만, 컨디셔너(36)가 흡수면들(31)을 갖기 때문에 제2유닛(14)을 구비하지 않는다는 점을 제외하고는 제1실시예에 따른 장치와 구조적으로 동일하다. 제1실시예에서의 부품 또는 등가물들에 대응하는 부품 또는 등가물에는 도 6 내지 도 8에서 동일한 참조부호들이 제공되었다.
이하, 제2실시예에 따른 장치의 동작이 설명된다.
물체(12)가 연마판(11)에 의해 연마될 때, 제1유닛(13)은 연마판(11)의 연마면 위에 연마액을 공급한다. 물체(12)의 후방으로의 연마면에 공급된 연마액은 연마판(11)의 회전에 의해 물체(12)에 도달된다. 물체(12)는 방향 A로의 연마판(11)의 회전 및 방향 B로의 물체(12)의 회전 둘 다에 의해 연마판(11) 및 물체(12)간에 발생된 마찰력에 의해 연마된다.
연마액이 물체(12)를 통과한 후, 연마액은 물체(12)의 하방에 위치된 컨디셔너(36)의 드레싱면(23a)에 의해 연마면에서 파내어진다. 여기서, 드레싱면(23a)은 컨디셔너(36)의 무게로 인해 생긴 10kPa의 압력하에서 연마면과 접촉한다. 컨디셔너(36)가 회전되므로, 이렇게 파내어진 연마액은 흡수공들(32)을 통해 흡수면들(31)로 흡수된다.
전술한 바와 같이, 연마면의 부스러기들과 함께 연마액은 파내어지고 바로 제거된다. 그 결과, 연마면은 청결하게 유지된다.
지금까지 전술한 바와 같이, 제2실시예에 따른 장치는 연마비의 감소없이 물체(12)를 효과적으로 연마할 수 있게 한다. 장치에 따르면, 연마액은 연마면의 전체영역에 공급되고, 연마액은 연마면의 전체영역으로부터 흡수되어, 어떤 물체(12)도 물체(12)의 크기에 관계없이 동일한 조건들하에서 연마될 수 있다는 것을 확실하게 한다.
장치에서, 컨디셔너(36)는, 컨디셔너(36)가 단독으로 회전될 수 있도록 지지롤러들(4)에 의해서 연마면상에 단지 세팅된다. 그러므로, 컨디셔너(36)는 연마판(11)이 새 것으로 교환될 때마다 손쉽게 적절히 세팅될 수 있다.
장치에 따르면, 연마판(11)이 마모되더라도, 컨디셔너(36)의 흡수능력을 일정하게 유지할 수 있다.
발명자는 제2실시예에 따른 장치에 의해 제시된 전술한 이점들을 확인하기 위해 실험을 하였다.
실험은 제1실시예에서 설정된 실험에서의 조건들과 동일한 조건들하에서 행하여졌다. 결과는, 연마시간이 20시간 이하이었을 때 연마비가 2200±40Å/min 이었다는 것이었다. 따라서, 물체가 고압으로 연마면상에 압축되었을 때 연마시간이 더 길어질 때 연마율이 더 작아지는 종래 장치에서의 문제점이 해결되었다는 것이 확인되었다.
게다가, 컨디셔너(36)는, 종래장치에서 제2유닛(14)을 적절하게 세팅하기 위해 필요한 시간보다 20배 적은 시간으로 적절하게 세팅될 수 있다.
더욱이, 컨디셔너(36)의 흡수능력이 일정하게 유지될 수 있으므로, 물체(12)의 연마수득율이 향상되었다.
그 결과, 제2실시예에 따른 장치는 종래 장치보다 단위시간 당 더 많는 수의 물체들(12)을 연마할 수 있고, 따라서 작업처리량이 40% 향상되었다.
아래에서 언급된 바와 같이, 다양한 조건들이 전술한 컨디셔너(36) 대신에 사용될 수 있다.
예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 환상 드레싱면(23b) 및 환상 드레싱면(23b)내에서 일체로 형성되는 흡수면(31)으로 구성된 원형판의 형태로 컨디셔너(36a)가 사용될 수 있다.
대안으로서, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수개의 환상 흡수면들(31) 및 복수개의 환상 드레싱면들(23c)로 구성된 원형판의 형태로 컨디셔너(36b)가 사용될 수 있다. 흡수면들(31) 및 드레싱면들(23c)은 서로 동축으로 교대로 배열된다.
도 11에 도시된 바와 같이, 실린더의 축방향으로 연장하는 드레싱면들(23d) 및 실린더의 축방향으로 연장하는 흡수면들(31)로 구성된 외면을 갖는 원통상 형태로 컨디셔너(36c)가 사용될 수 있다. 흡수면들(31) 및 드레싱면들(23d)은 실린더의 외면상에 축으로 교대로 배열된다. 흡수면(31)은 연마면의 내부영역에 면하는 제1영역, 내부영역을 완전히 둘러싸는 연마면의 외부영역에 면하는 제2영역 및 제1 및 제2영역들 사이에 낀 중간영역을 포함한다. 제1 및 제2영역들은 중간영역보다 3배 더 많은 수의 흡수공들(32)을 가지도록 설계된다.
대안으로서, 도 12에 도시된 바와 같이, 일 원주상에 배열된 복수개의 드레서들(23e) 및 드레서들(23e)들이외의 영역을 갖는 흡수면(31)으로 구성된 원형판 형태로 컨디셔너(36d)가 사용될 수 있다.
컨디셔너들(36a, 36b, 36c 및 36d)은, 연마판(11)이 새로운 연마판으로 교환될 때마다 연마면상에 세팅될 수 있다. 그러므로, 연마판(11)을 교환하는 데 필요한 시간을 단축할 수 있다.
게다가, 연마판(11)이 마모되더라도, 연마면과 흡수면 사이의 간격이 일정하게 유지될 수 있어, 연마액의 흡수능력이 일정하게 유지될 수 있다는 것을 확실하게 할 수 있고, 생산성이 향상될 수 있다.
이산화규소막이 형성된 웨이퍼가 전술한 제1 및 제2실시예들에서 물체(12)로서 사용되기도 하지만, 금속선이 형성된 웨이퍼, 마그네틱디스크 또는 유리기판이 물체(12)로서 사용될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 제2유닛의 연마액 흡수면에 선단이 둥근 피벗을 복수개 설치하여, 피벗의 높이만큼 연마액 흡수면과 연마면과의 간격이 일정하게 유지할 수 있는 동시에, 연마판의 교환시에 제2유닛의 세팅을 용이하게 할 수 있다. 이 때문에, 생산작업성이 우수한 물체연마장치를 얻을 수 있다.
또한, 연마액을 여과하여, 여과한 연마액을 다시 제1유닛으로부터 연마판의 연마면에 공급 재사용하기 때문에, 연마액을 다수회 사용할 수 있어 운전비용을 저감할 수 있고 연마액의 소비에 의한 환경적 부담을 저감할 수 있다.
도 1은 종래의 물체연마장치의 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 장치에서 연마비와 연마시간 사이의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 물체연마장치의 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선에 따른 단면도이다.
도 5는 제1실시예의 제2유닛의 저면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 물체연마용 장치의 평면도이다.
도 7은 제2실시예에 사용된 컨디션너의 제1실시예의 저면도이다.
도 8은 도 7의 Ⅷ-Ⅷ선에 따른 단면도이다.
도 9은 제2실시예에 사용된 컨디션너의 제2실시예의 저면도이다.
도 10은 제2실시예에 사용된 컨디션너의 제3실시예의 저면도이다.
도 11은 제2실시예에 사용된 컨디션너의 제4실시예의 저면도이다.
도 12는 제2실시예에 사용된 컨디션너의 제5실시예의 저면도이다.

Claims (27)

  1. (a) 물체(12)가 연마되는 연마면을 가지는 회전가능한 원형 연마판(11);
    (b) 상기 물체(12)가 상기 연마면과 접촉하도록 물체(12)에 압력을 적용하는 가압기(21);
    (c) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 물체(12)의 후방에 위치하고, 상기 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛(13);
    (d) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 물체(12)의 전방에 위치하고, 상기 연마면을 다듬는 드레서(23); 및
    (e) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 드레서(23)의 전방이며 상기 제1유닛(13)의 후방인 위치에 위치하고, 상기 연마면에서 상기 연마액을 빨아들이는 흡수면(31)을 가지는 제2유닛(14)을 포함하고,
    상기 흡수면(31) 위에 복수개의 피벗들(35)이 형성되는 것을 특징으로 하는 물체(12) 연마장치.
  2. (a) 회전가능한 원형 연마판(11);
    (b) 상기 물체(12)가 상기 연마면과 접촉하도록 물체(12)에 압력을 적용하는 가압기(21);
    (c) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 물체(12)의 후방에 위치하고, 상기 연마면에 연마재를 함유하는 연마액을 공급하는 제1유닛(13);
    (d) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 물체(12)의 전방에 위치하고, 상기 연마면을 다듬는 드레서(23); 및
    (e) 상기 연마판(11)의 회전방향에서 상기 드레서(23)의 전방이며 상기 제1유닛(13)의 후방인 위치에 위치하고, 상기 연마면에서 상기 연마액을 빨아들이는 흡수면(31)을 가지는 제2유닛(14)을 포함하고,
    상기 드레서(23)는 상기 제2유닛(14)과 일체로 형성되고,
    상기 드레서(23)의 드레싱면(23a, 23b, 23c, 23d, 23e)은 상기 흡수면(31)보다 돌출되는 물체(12) 연마장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23) 및 상기 제2유닛(14)은 원형인 물체(12) 연마장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23)는, 상기 드레서의 드레싱면(23a)과 상기 흡수면(31)이 방사상이면서 교대로 배열되는 원형판으로 형성되는 물체(12) 연마장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23)는, 상기 흡수면(31)이 상기 원형판의 내부영역에 배열되고, 상기 드레서(23)의 드레싱면(23b)이 상기 원형판의 상기 내부영역을 둘러싸는 외부영역에 배열되는 원형판으로 형성되는 물체(12) 연마장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23)는, 상기 드레서(23)의 드레싱면(23c)과 상기 흡수면(31)이 동축이면서 교대로 배열되는 원형판으로 형성되는 물체(12) 연마장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23)는, 실린더, 상기 실린더의 축방향에서 연장하는 상기 드레서(23)의 드레싱면(23d) 및 상기 실린더의 외면상에 교대로 배열되는 상기 실린더의 축방향에서 연장하는 상기 흡수면(31)으로 형성되는 물체(12) 연마장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 드레서(23)는, 복수개의 드레서들(23e)이 일 원주 위에 배열되고, 상기 드레서들(23e) 이외의 영역은 흡수면(31)으로 형성되는 원형판으로 형성되는 물체(12) 연마장치.
  9. 삭제
  10. 제2항에 있어서, 상기 드레싱면(23a, 23b, 23c, 23d, 23e)는 상기 흡수면(31)보다 1mm이하로 돌출되는 물체(12) 연마장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 피벗들(35)의 각각은 둥근 선단을 가지는 물체(12) 연마장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 피벗들(35)은 상기 흡수면(31)의 네 모퉁이에 형성되는 물체(12) 연마장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 피벗들(35)은 테플론으로 구성되는 물체(12) 연마장치.
  14. 제1항, 제2항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 흡수면(31)은, 상기 연마면의 내부영역에 면하는 제1영역(31a), 상기 내부영역을 완전히 둘러싸는 상기 연마면의 외부영역에 면하는 제2영역(31b) 및 상기 제1 및 제2 영역들(31a, 31b) 사이에 위치한 중간영역(31c)을 포함하고, 상기 제1영역(31a)은 상기 중간영역(31c)보다 더 많은 수의 흡수공들(32)을 가지며, 상기 제2영역(31b)은 상기 중간영역(31c)보다 더 많은 수의 흡수공들(32)을 가지며, 상기 연마액은 상기 흡수공들(32)을 통하여 제2유닛안으로 흡수되는 물체(12) 연마장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 흡수면(31)은 상기 연마판(11)의 회전방향에서 복수개의 오목부들(33)이 반대 가장자리에 형성되는 물체(12) 연마장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 흡수면(31)은 상기 연마판(11)의 회전방향에서 반대 가장자리에서 둥근 또는 모서리가 깍인 물체(12) 연마장치.
  17. 제1항에 있어서, 상기 드레서(23)의 중심 주위로 상기 드레서(23)를 회전시키기 위한 유닛을 더 포함하는 물체(12) 연마장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 연마면에 대해 상기 제2유닛(14)을 상방 또는 하방으로 이동시키기 위한 유닛(28)을 더 포함하는 물체(12) 연마장치.
  19. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연마판(11)의 주변을 따라 서 있고 상기 연마판(11)과 함께 회전가능한환상벽(6); 및
    상기 환상벽의 내부 및 상기 환상벽(6)의 내면부근에 위치하고, 상기 연마액을 회수하는 제3유닛(7)을 더 포함하는 물체(12) 연마장치.
  20. 제2항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2유닛(14) 및 상기 드레서(23)는 상기 연마면 위에 일체로 지지되어 상기 제2유닛(14) 및 상기 드레서(23)은 상기 연마판(11)의 회전방향에서 함께 회전가능한 물체(12) 연마장치.
  21. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연마판(11)의 반경방향에서 상기 제2유닛(14) 및 상기 드레서(23)를 함께 왕복운동시키는 제4유닛을 더 포함하는 물체(12) 연마장치.
  22. 제1항에 있어서, 상기 제2유닛(14)은 상기 연마면의 반경과 동일한 길이를 가지고, 상기 제2유닛(14)은 상기 연마면의 반경을 완전히 넘는 상기 연마판(11) 위에 놓이는 물체(12) 연마장치.
  23. 제1항에 있어서, 상기 드레서(23)는 상기 연마면의 반경과 동일한 길이를 가지고, 상기 드레서(23)는 상기 연마면의 반경을 완전히 넘는 상기 연마판(11) 위에 놓이는 물체(12) 연마장치.
  24. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2유닛(14)에 의해 흡수되는 상기 연마액을 여과하여, 상기 제1유닛(13)에 이렇게 여과된 연마액을 공급하는 제5유닛(5)을 더 포함하는 물체(12) 연마장치.
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