KR100424027B1 - 기판 하우징 및 도킹 유닛 - Google Patents

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KR100424027B1
KR100424027B1 KR10-2001-7008768A KR20017008768A KR100424027B1 KR 100424027 B1 KR100424027 B1 KR 100424027B1 KR 20017008768 A KR20017008768 A KR 20017008768A KR 100424027 B1 KR100424027 B1 KR 100424027B1
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housing
door
assembly
docking unit
tray
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KR10-2001-7008768A
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바브스다니엘에이.
슐츠리차드이.
스트리엔존반
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프로그레시브 시스템 테크놀로지즈, 인크.
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼, 마스크 및 평판 디스플레이와 같은 그러한 기판을 저장하고, 그러한 기판을 실제로 깨끗한 환경에서 유지하기 위한 모듈형의 운반이 가능한 하우징을 제공한다. 기판은 서로에 대해 이격된 관계로 기판을 유지하는 다수의 기판 지지부(206, 198)에 의해 하우징 내에 지지된다. 하우징의 내부에 대한 접근은 피봇 도어 조립체(118)에 의해 허용된다. 도킹 유닛은 하우징의 인터페이스를 깨끗한 환경에서 유지시킨다. 도킹 유닛에 제공된 제어 회로는 하우징의 존재를 검출하며 통신 링크를 통해 주컴퓨터에 의해 지시받은 하우징을 로드/언로드한다. 메모리 장치(103)는 양호하게는 하우징 내의 기판에 관한 기록 및 다른 정보를 저장하기 위해 하우징에 장착된다. 주컴퓨터는 메모리(103)로부터 기판정보를 검색하도록 제어 회로에 지시하며 그 정보를 주컴퓨터에 릴레이한다. 기판의 처리중 또는 후에, 주컴퓨터는 메모리(103)를 원하는 대로 업 데이트한다. 이와 같은 방식으로, 주컴퓨터는 하나 또는 그 이상의 도킹 유닛 및 결합된 기판 하우징을 제어 및 트랙한다.

Description

기판 하우징 및 도킹 유닛{SUBSTRATE HOUSING AND DOCKING SYSTEM}
본 발명은 물품용 하우징 및 이 하우징을 수용하기 위한 도킹 유닛에 관한것으로, 특히 다수의 기판을 실제로 청정 환경에서 보관하기 위한 운반 가능한 하우징 및 청정 환경에서 하우징과의 인터페이스를 허용하기 위한 도킹 유닛에 관한 것이다.
웨이퍼 및 마스크와 평판 디스플레이와 같은 반도체 기판의 처리는 전형적으로는 처리 전후에 실제로 청정한 환경에서 기판을 보관할 것을 요한다. 또한, 오염물 및 사람으로부터 기판을 격리시키기 위해 밀폐형 부재에 의해 국지적으로 형성된 환경인 "소규모 환경"으로 기판이 운반되거나 또는 이에 인접하게 기판이 있게 되는 것이 필요하다. 전형적인 반도체 가공 처리 장치는 하우징 또는 기판을 소규모 환경속으로 그리고 이로부터 운반하기 위한 로봇 장치 등과 같은 수단을 포함한다.
기판을 취급하기 위한 종래의 장치는 기판을 수용하는 제거가능한 카세트를 그 내부에 갖는 하우징을 포함한다. 전체 하우징은 먼저 상당한 높이까지 수동으로 들어올려져서 소규모 환경에 인접한 접근 장치 위로 배치되어야 한다. 이와 같이 수동으로 하우징을 들어올림으로써, 완전히 적재된 하우징의 허용가능한 최대 크기 및 중량이 제한된다. 하우징 바닥은 래치 해제되며 카세트는 하우징의 바닥에 대해 수직으로 하강한다. 이러한 바닥으로부터의 접근은 하우징 도어가 고장난 경우에 하우징이 카세트를 손상되게 하기가 쉽다. 또한, 종래의 장치에서, 카세트는 기판의 조작을 위해 카세트를 하우징의 바닥으로부터 소규모 환경에 접근할 수 있는 위치로 측방향으로 재배치하기 위해서는 하우징으로부터 하강한 후 로보트 또는 다른 장치에 의해 조작되어야 한다. 따라서, 기판에 접근하는데 상당히 복잡한과정이 요구된다. 또한, 접근 장치는 밑부분이 상당히 넓으므로 소규모 환경에 인접한 중요한 바닥 공간을 낭비한다.
따라서, 본 발명은 예를 들면 반도체 웨이퍼, 마스크 및 평판 디스플레이를 포함하는, 기판과 같은 물품들을 저장하고, 이러한 물품들을 상당히 청정한 환경에서 유지하기 위한 운반 가능한 모듈형 하우징을 제공한다. 양호하게는, 기판은 하우징 내에 장착되고 서로에 대해 이격된 관계로 기판을 유지시키는 다수의 기판 지지부에 의해 하우징 내에 지지된다. 하우징의 내부에 대한 접근은 하우징의 전방에서 도어 조립체에 의해 허용된다. 래치는 양호하게는 접근이 요구될 때까지 도어 조립체를 잠금 상태로 유지시키도록 하우징 상에 제공된다. 도어 조립체는 양호하게는 하우징의 상부에 장착된 한 쌍의 궤도에 의해 하우징에 피봇 가능하게 장착된 도어를 구비하며, 이에 의해 하우징과 도어의 상대적인 이동을 허용한다.
본 발명에 따른 도킹 유닛은 소규모 환경에 인접하게 위치되어 소규모 환경에 대한 기판 하우징의 인터페이스를 허용한다. 도킹 유닛은 트레이가 후퇴 위치에 있을 때 기판 하우징을 수용하기 위한 이동가능한 트레이를 가지는 프레임을 구비한다. 양호한 실시예에서, 하우징은 트레이 위로 수평으로 안내하기 위해 도킹 유닛 상의 대응 판과 구름식 결합하는 베어링을 포함한다. 트레이는 모터 조립체에 의해 조작되어 트레이를 후퇴 위치, 중간 위치, 및 삽입된 위치를 위치 설정된다. 도킹 유닛은 트레이가 중간 위치에 있을 때 하우징 도어 래치를 결합하기 위한 캠 조립체와 도킹 유닛 상의 입구 도어 및 하우징 도어를 동시에 개방시키기 위한 입구 도어 조립체를 구비한다. 입구 도어와 하우징 도어는 하우징의 상부 전방 가장자리에서 고정된 공통 회전 중심(FCCR, fixed common center of rotation)을 중심으로 90도 회전한다. 따라서, 도어는 들어 돌려져(stowed) 수평 상태로 배치되어 하우징과 소규모 환경의 사이에서 통로가 자유롭게(clear) 한다. 이어서, 트레이와 하우징은 도킹 유닛의 벌크헤드(bulkhead)와 접촉하여 소규모 환경으로부터 기판에 대한 접근을 허용하기 위해 삽입된 위치로 이동된다. 기판과 함께 하우징을 삽입하는 동안, 하우징 도어는 궤도가 도어에 대한 하우징의 활주가능한 이동을 허용하도록 정지하고 있다. 이러한 방식으로, 도어는 값비싼 공간을 낭비하지 않고 편리한 위치로 들어올려져 치워진다.
양호한 실시예에서, 초소형 제어기를 포함하는 제어 회로는 도킹 유닛 상에 배치된 기판 하우징의 존재를 자동으로 검출하여, 작업자가 기판 하우징을 적재시켜 이를 처리하도록 도킹 유닛 상에 제공된다. 메모리는 양호하게는 하우징과 그 기판의 이력 및 다른 정보를 저장 및 갱신하기 위해 기판 하우징 상에 장착된다. 주컴퓨터는 양호하게는 통신 링크를 통해 메시지 및 명령을 보냄으로써 하나이상의 도킹 유닛을 제어한다. 주컴퓨터는 기판 하우징을 적재 및 하적(unload)하고 저장된 기록 정보를 검색하는 명령을 보냄으로써 작동을 제어한다. 그 응답으로서, 도킹 유닛의 제어 회로는 기판 하우징의 메모리를 판독하여 통신 링크를 통해 주컴퓨터에 요청된 정보를 보낸다. 또한, 기판 하우징의 처리 중에 또는 처리 후에, 주컴퓨터는 갱신된 정보를 도킹 유닛으로 보내며, 제어 회로는 기판 하우징의 메모리에 갱신된 정보를 기록한다. 이와 같은 방식으로, 단일 주컴퓨터는 하나 이상의도킹 유닛 및 결합된 기판 하우징을 제어 및 트랙킹한다.
도킹 유닛의 형상 및 기판 하우징의 수평 이동에 기인하여, 여러 도킹 유닛들이 다중 유닛 형상을 이루기 위해 서로의 상부에 적재될 수 있다. 하나의 도킹 유닛의 상부판은 다른 하나의 도킹 유닛의 바닥판으로 작용한다. 이 방법에서, 다중 도킹 유닛들이 단일 유닛과 동일한 바닥 공간 또는 밑부분으로 제공된다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 하우징 및 도킹 유닛 시스템은 종래 기술의 시스템에 비해 여러 가지 중요한 이점들을 제공한다. 기판 지지부를 갖는 단일의 통합된 하우징은 우발적인 손상 가능성이 없이 청정하고 안전한 환경에서 기판의 안전성을 유지한다. 통합된 하우징 전체는 보호용 하우징으로부터 기판을 중간에서 제거하지 않고 소규모 환경에 직접 접근하기 위해 소규모 환경속으로 측방향에서 삽입된다. 하우징을 도킹 유닛에 배치하기 위해 하우징을 측방향으로 이동시킴으로써 하우징을 도킹 및 삽입된 위치로 들어올리는 작업을 제거할 수 있다. 그러한 이동은 또한 적재 과정을 간소화하며, 각각의 도킹 유닛의 적재 넓이(footprint)를 상당히 감소시켜서, 둘 또는 그 이상의 유닛들을 함께 적층하는 것을 용이하게 한다.
본 발명은 양호한 실시예에 대한 아래의 설명이 아래의 도면과 관련하여 고려될 때 더욱 잘 이해될 것이다.
도1은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 사시도.
도2는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 분해사시도.
도3은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 좌측 패널의 내측의 정면도.
도4는 도3의 단면선 4-4를 따라 취한 횡단면도.
도5는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 바닥 패널의 내측의 평면도.
도6은 도5의 단면선 6-6을 따라 취한 횡단면도.
도7은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 상부 패널의 내측의 평면도.
도8은 도7의 단면선 8-8을 따라 취한 횡단면도.
도9는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 우측 패널의 내측의 정면도.
도10은 도9의 단면선 10-10을 따라 취한 횡단면도.
도11은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 핸들의 평면도.
도12는 도11의 단면선 12-12를 따라 취한 횡단면도.
도13은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 후방 패널의 외측 정면도.
도14는 도13의 단면선 14-14를 따라 취한 횡단면도.
도14a는 O-링 가스킷의 위치를 예시하는 도16의 상부의 확대도.
도15는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 전방 패널의 내측의 정면도.
도16은 도15의 단면선 16-16을 따라 취한 횡단면도.
도16a는 O-링 가스킷의 위치를 예시하는 도16의 상부의 확대도.
도17은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 도어의 내측의 정면도.
도17a는 하우징 도어의 절반을 예시하는 도17의 단면선 17A-17A를 따른 횡단면도.
도17b는 도17의 단면선 17B-17B를 따라 취한 횡단면도.
도18은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 전방 패널과 하우징 도어의 확대한 것을 예시하는 횡단면도.
도19는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 좌측면 도어 궤도의 측면도.
도20은 도19의 단면선 20-20을 따른 횡단면도.
도21a는 도어가 폐쇄 위치(CLOSED position)에 있는 것을 예시하는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 우측 도어 궤도의 측면도.
도21b는 도어가 개방 위치(OPENED position)에 있는 것을 예시하는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 측면도.
도21c는 도어가 스토우 위치(stowed position)에 있는 것을 예시하는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예의 측면도.
도22는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 좌측면 래치 조립체의 평면도.
도23은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 좌측면 래치 조립체의 사시도.
도24는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 우측면 래치 조립체의 평면도.
도25는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 우측면 래치 조립체의 사시도.
도26은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 후방 기판 지지부의 측면도.
도27은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 후방 기판 지지부의 부분적인 측면도.
도28은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 측면 기판 지지부의 부분적인 사시도.
도29는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 측면 기판 지지부의 상면도.
도30은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 측면 기판 지지부의 횡단면 측면도.
도31은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 측면 기판 지지부의 일부분의 확대 횡단면도.
도32는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 기판 로크 조립체를 예시하는 횡단면도.
도32a는 기판 로킹 클립 조립체를 예시하는 도32의 단면선 32a-32a를 따른 횡단면도.
도33은 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 기판 로크 부재의 평면도.
도34는 본 발명의 기판 하우징의 양호한 실시예에서 기판 로크 부재의 측면도.
도35는 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예의 전방 사시도.
도36은 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예의 후방 사시도.
도37은 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예의 부분적인 분해 사시도.
도38은 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예의 부분적인 분해 사시도.
도39는 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예에서 트레이 구동 조립체의 투시도.
도40은 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예에서 캠 조립체의 후방 횡단면도.
도41은 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예에서 캠 구동 조립체의 분해사시도.
도42는 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예에서 도어 구동 조립체의 분해사시도.
도43은 도킹 유닛 도어가 폐쇄 위치에 있는 것을 예시하는 부분적인 사시도.
도44는 도킹 유닛 도어가 개방 위치에 있는 것을 예시하는 부분적인 사시도.
도45는 본 발명의 도킹 유닛의 양호한 실시예의 상부 평면도.
도46은 도킹 유닛에 장착된 기판 하우징이 후퇴 위치에 있는 것을 예시하는 투시도.
도47은 도킹 유닛에 결합된 기판 하우징이 후퇴 위치에 있는 것을 예시하는 우측면 정면도.
도48은 도킹 유닛에 결합된 기판 하우징이 후퇴 위치에 있는 것을 예시하는 상부 평면도.
도49는 도킹 유닛에 결합된 기판 하우징이 중간 위치에 있는 것을 예시하는 투시도.
도50은 도킹 유닛에 결합된 기판 하우징이 중간 위치에 있는 것을 예시하는 우측면 정면도.
도51은 기판 하우징이 중간 위치에서 도킹 유닛에 그리고 로크된 구조에서 도어에 결합되는 것을 예시하는 상부 평면도.
도52는 도킹 유닛이 기판 하우징 도어를 로크된 구조에 로크 해제시키는 것을 예시하는 상부 평면도.
도53은 도킹 유닛이 기판 도어를 로크 해제시키는 것을 예시하는 우측면 정면도.
도54는 기판 하우징 도어와 도킹 유닛 도어를 개방 위치에 대해 피봇시키는 것을 예시하는 우측면 정면도.
도55는 기판 하우징이 삽입 위치에서 도킹 유닛에 결합된 것을 예시하는 투시도.
도56은 기판 하우징이 삽입 위치에서 도킹 유닛에 결합된 것을 예시하는 우측면 정면도.
도57은 기판 하우징이 삽입 위치에서 도킹 유닛에 결합된 것을 예시하는 상부 평면도.
도58은 본 발명의 다른 도킹 유닛의 꼭대기에서 적층된 본 발명의 도킹 유닛을 예시하는 전방 투시도.
도59는 본 발명의 다른 도킹 유닛의 꼭대기에서 본 발명의 도킹 유닛이 적층된 것을 예시하는 후방 투시도.
도60은 본 발명에 따른 도킹 유닛을 제어하기 위해 사용된 전자회로를 도시하는 도면이다.
도61은 본 발명에 따른 도킹 유닛의 일반적인 작동을 예시하는 상태도.
도62a 및 도62b는 도킹 유닛이 초기에 전원이 켜질 때 도60의 초소형 제어기에 의해 실행된 루틴을 예시하는 흐름도.
도63은 도60의 도킹 유닛 상으로 기판 하우징을 적재하기 위해 도60의 초소형 제어기에 의해 실행된 절차를 예시하는 흐름도.
도64는 기판 하우징을 도킹 유닛으로부터 하적하기 위해 도60의 초소형 제어기에 의해 실행된 루틴을 예시하는 흐름도.
도65a 및 도65b는 스텝퍼 모터를 작동시키기 위해 도60의 초소형 제어기에 의해 실행된 루틴을 예시하는 흐름도.
도66은 스텝퍼 모터의 속도를 제어하기 위해 인터럽터 조작 루틴의 작동을 예시하는 흐름도.
도67은 스텝퍼 모터의 가속을 제어하기 위해 인터럽터 루틴의 작동을 예시하는 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
60: 기판 하우징
118: 도어조립체
240: 도킹 유닛
242: 기부판
244: 덮개판
250: 벌크헤드
도1 및 2를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 하우징은 부호 60 으로 표시된다. 기판 하우징(60)은 양호하게는 좌측 패널(64), 우측 패널(66), 바닥패널(68), 상부 패널(70), 후방 패널(72) 및 전방 패널(74)을 구비한다. 도3 내지 도8에 도시된 바와 같이, 좌측 패널(64)은 바닥 패널(68)에서 홈(78)과 결합하기 위한 하부 립(76)과 상부 패널(70)에서 홈(82)과 결합하기 위한 상부 립(80)을 가진다. 도5 내지 도10에 도시된 바와 같이, 우측 패널(66)은 바닥 패널(68)에서 홈(86)과 결합하기 위한 립(84)과 상부 패널(70)에서 홈(90)과 결합하기 위한 상부 립(88)을 가진다. 좌측 패널(64)은 바닥 패널(68)과 상부 패널(70)에 화학적으로 접합되고, 우측 패널(66)은 바닥 패널(68)과 상부 패널(70)에 화학적으로 접합된다. 또한, 패널(64, 66, 68, 70, 72, 74)은 폴리카보네이트이며 기판 하우징(60) 내에 공간 또는 공동(92)을 한정한다.
도2를 다시 참조하면, 다수의 장착 블록(94)은 패널(64, 66, 68, 70)의 내측 표면에 장착된다. 전방 패널(74)은 패널(74)을 통해 장착 블록(94) 내의 각각의 통로 속으로 연장하는 다수의 나사(96)에 의해 패널(64, 66, 68, 70)에 고정된다. 후방 패널(72)은 유사한 방식으로 패널(64, 66, 68, 70)에 장착된다. 도2, 도7, 도11 및 도12를 참조하면, 그립(100)을 가지는 핸들(98)은 상부 패널(70) 내에 수용되어 그곳에 화학적으로 접합된다. 터치(touch) 메모리(103)는 바닥 패널(68) 내에 장착되어, 아래에서 충분히 설명되는 바와 같이, 기판 하우징(60)과 그 내용물에 관한 정보를 저장하기 위해 사용된다.
도2, 도13, 도14 및 도14a를 참조하면, 후방 패널(72)은 O-링 가스킷(106)을 수용하기 위해 그의 주위에 홈(104)을 가진다. 또한, 핸들(108)은 패널(72)을 통해 핸들(108)속으로 연장하는 나사에 의해 패널(72)의 외측 표면에 고정될 수 있다. 도15, 도16 및 도16a를 참조하면, 전방 패널(74)은 O-링 가스킷(114)을 수용하기 위해 그 주위에 홈(112)을 가진다. 전방 패널(74)은 또한 그곳에 접근 포트 또는 통로(116)를 가진다. 패널(74)은 통로(116)의 주위에 날카로운 가장자리 시일(seal)(117)을 가진다.
도2, 도17, 도17a, 도17b, 도18 내지 도20 및 도21a 내지 도21c를 참조하면, 기판 하우징(60)은 스펀지 시일(122)을 수용하는 그 주위의 홈(121)을 가지는 도어(120)를 구비하는 피봇형 도어 조립체(118)를 구비한다. 램프(123)는 도어(120)의 대략 중앙의 어느 한 측면 상에서 평평한 중앙 부분(123b)으로 안내하는 홈(121) 내에 형성된다. 도어(120)가 폐쇄 위치에 있을 때, 가장자리(117)는, 도18에 도시된 바와 같이, 스펀지 시일(122)과 결합하여 기밀 시일을 형성하며, 이것에 의해 기판 하우징(60)에 입자가 들어가는 것을 방지한다. 램프(123)는 실제로 균일한 힘이 도어(120)의 주위에서 가장자리(117)와 스펀지(122)와의 사이에 인가되도록 도어(120)의 유연성을 보상한다.
도어 조립체(118)는 나사(126, 128)에 의해 각각 도어(120)에 고정되는 한 쌍의 도어 액추에이터 조립체(124, 125)를 구비한다. 도어 액추에이터 조립체(124)는 베어링 샤프트(134)에 의해 그곳에 장착된 베어링(132)을 가지는 브래킷 또는 액추에이터(130)를 구비한다. 베어링(132)은 샤프트(134) 상에 장착되고 샤프트(134)는 액추에이터(130)에 고정된다. 또한, 액추에이터(130)는 도어(120)를 통해 액추에이터(130)속으로 연장하는 나사(126)에 의해 도어(120)에 고정된다. 도어 액추에이터 조립체(125)는 베어링 샤프트(140)에 의해 그곳에 장착된 베어링(138)을 가지는 브래킷 또는 액추에이터(136)를 구비한다. 베어링(138)은 샤프트(140) 상에 장착되고 샤프트(140)는 액추에이터(136)에 고정된다. 액추에이터(136)는 도어(120)를 통해 액추에이터(136)속으로 연장하는 나사(128)에 의해 도어(120)에 고정된다.
도2, 도19, 도20 및 도21a-21c를 참조하면, 좌측 또는 제1 궤도(142)는 다수의 나사에 의해 상부 패널(70)에 고정된다. 우측 또는 제2 궤도(146)는 다수의 나사에 의해 상부 패널(70)에 또한 고정된다. 궤도(142)는 베어링(132)을 수용하기 위해 그곳에 채널 또는 통로(150)를 한정하며 전방 돌출부(152)를 가진다. 궤도(146)는 베어링(138)을 수용하기 위해 그곳에 채널 또는 통로(154)를 한정하며 전방 돌출부(156)를 가진다.
도21a, 도21b 및 도21c를 참조하여 도어(120)의 피봇 이동이 더욱 상세히 설명될 것이다. 도21a는 궤도(146)의 전방 단부에서 통로(154) 내에서 베어링(138)과 함께 폐쇄 위치에 있는 도어(120)를 도시하고 있다. 베어링(132)(도21a에서는 도시되지 않음)은 궤도(142)의 전방 단부에서 통로(150) 내에 마찬가지로 배치되어 있다. 도21b는 도어(120), 액추에이터(130) 및 액추에이터(136)가 피봇하는 그러한 개방 위치에 피봇된 도어(120)를 도시하고 있다. 도21c는 통로(154)의 후방 단부를 향하여 베어링(138)의 통로에 의해 컨테이너(62)에 대한 도어(120)의 이동을 도시한다. 베어링(132)은 마찬가지로 채널(150)의 후방 단부를 향해 통과한다. 즉, 도어(120)는 베어링(132, 138)이 궤도(142, 146)의 후방 단부에 각각 위치되어, 도어(120)와 컨테이너(62)의 상대 위치들이 변하도록, 도21c에서 하부 화살표로 표시된 바와 같이, 기판 하우징(60)이 전방으로 이동될 때 후퇴 위치로 후방으로 이동될 수 있다.
도2 및 도22-25를 참조하면, 도어(120)는 한 쌍의 래치 조립체(158, 160)에 의해 로크된 구조로 지지될 수 있다. 도22 및 도23에 도시된 바와 같이, 피봇 핀(164)에 의해 바닥 패널(68)의 내측에 피봇 가능하게 장착된 래치(162)를 구비한다. 탄성 스프링(165)의 한 단부는 래치(162)에서 슬롯(166)을 통해 연장하여 래치(162)와 슬롯(166)을 통해 연장하는 나사(167)를 중심으로 위치 설정된다. 스프링(165)의 대향한 단부는 바닥 패널(68)을 통해 상향으로 연장하는 포스트(168)를 중심으로 위치 설정된다. 래치(162)는 도어(120)의 베벨형 립(172)과 결합하기 위한 전방 홈(170)을 가진다. 래치 조립체(158)는 래치 덮개(174)에 의해 덮인다. 그러나, 래치(162)의 후방 단부를 누르기 위한 래치 조립체(158)에 대한 접근은 좌측 패널(64)의 통로(176) 및 바닥 패널(68)의 인접한 통로(178)를 통해 허용된다. 래치(162)의 전방 단부는 전방 패널(74)에서 통로(179)를 통해 연장한다. 통로(176, 178)는 래치(162)를 결합 및 조작하기 위해 그곳에 장착된 베어링(348)(도40)으로 액추에이터 핀(346)의 삽입을 허용한다. 또한, 통로(176, 178)는 아래에서 충분히 설명되는 바와 같이 기판 하우징(60)을 정렬하기 위해 핀(346)을 이동하는 중에 베어링(348)에 결합하기 위한 경사진 가장자리(177)를 포함한다.
도24 및 도25에 도시된 바와 같이, 래치 조립체(160)는 피봇 핀(182)에 의해 바닥 패널(68)의 내측에 피봇 가능하게 장착되는 래치(180)를 구비한다. 탄성 스프링(183)의 한 단부는 래치(180)에서 슬롯(184)을 통해 연장하여 래치(180)와 슬롯(184)을 통해 연장하는 나사(185)에 관해 위치 설정된다. 스프링(183)의 대향 단부는 바닥 패널(68)을 통해 상향으로 연장하는 포스트(186)에 관해 위치 설정된다. 래치(180)는 도어(120)의 베벨형 립(190)과 결합하기 위한 전방 홈(188)을 가진다. 래치 조립체(160)는 실제로 래치 덮개(192)에 의해 덮인다. 그러나, 래치(160)의 후방 단부를 누르기 위해 래치 조립체(160)에 대한 접근은 우측 패널(66)의 통로(194)와 바닥 패널(68)의 인접한 통로(196)를 통해 허용된다. 래치(160)의 전방 단부는 전방 패널(74)의 통로(197)를 통해 연장한다. 통로(194, 196)는 래치(180)를 결합 및 조작하기 위해 그곳에 장착된 베어링(366)(도40)으로 액추에이터 핀(364)의 삽입을 허용한다. 또한, 통로(194, 196)는 가장자리(177)와 결합하는 베어링(348)에 관련하여 기판 하우징(60)을 정렬하기 위해 핀(364)이 이동하는 동안 베어링(366)과 결합하기 위한 경사진 가장자리(195)를 포함한다.
도2 및 도26-27을 참조하면, 기판 하우징(60)은 다수의 나사(200)에 의해 후방 패널(72)에 각각 고정되는 한 쌍의 후방 기판 지지부(198)를 구비한다. 각각의 기판 지지부(198)는 그곳으로부터 외측 방향으로 연장하는 다수의 이격진 선반부(198)를 가지는 타워(202)를 구비한다. 도27에 도시된 바와 같이, 각각의 선반부(204)의 상부 및 하부 표면은 대략 10°의 각도θ로 그 전방 단부(205)로부터 타워(202)쪽으로 외측 방향으로 테이퍼진다. 두 개의 기판 지지부(198)는 양 기판 지지부(198)가 후방 패널(72)에 고정될 때 기판 지지부(198) 상의 각각의 선반부(204)가 다른 기판 지지부(198) 상의 대응한 선반부(204)와 정렬되도록 정렬된다.
도28-31을 참조하면, 기판 하우징(60)은 다수의 측방향 기판 지지부(206)를 구비하며, 그의 각각은 다수의 나사(208)에 의해 좌측 패널(64) 또는 우측 패널(66)에 고정된다. 각각의 기판 지지부(206)는 다수의 이격된 선반부(210)와 호형의 테이퍼진 내측벽(212)을 구비한다. 각각의 선반부(210)는 대략 5°의 각도α로 대략 수평면에서 하향으로 테이퍼지는 최하부 표면(218)과 기판(216)을 지지하기 위한 최상부 표면(214)을 가진다. 각각의 기판 지지부(206)는 표면(214)에 대해 대략 수직한 호형 내측벽(219)을 가진다. 벽(212)은 제1 선반부(210a) 및 인접한 상부 선반부(210b)로부터 대략 10°의 각도β로 벽(219)으로부터 내측방향으로 테이퍼진다. 기판 하우징(60)은 양호하게는 좌측면(64)에 연결된 3개의 기판 지지부(206)와 우측면(66)에 연결된 3개의 기판 지지부(206)를 가진다. 각각의 기판 지지부(206)의 각각의 선반부(210)는 기판 지지부(206) 상의 다른 선반부(210)에 정렬된다. 또한, 기판 지지부(206)가 측면(64, 66)에 고정될 때, 각각의 선반부(210)는 각각의 측면벽 상의 대응한 쌍의 선반부(210)와 대향한 측면벽 상의 대응한 선반부(210)에 정렬된다.
기판 지지부(198, 206)는 하우징 공동(92) 내에서 기판(216)을 지지한다는 것이 이해될 것이다. 또한, 기판 지지부(206)는 수평 및 수직하게 정렬된 기판(216)을 제공한다. 즉, 벽(212)의 테이퍼는 각각의 선반부(210)의 꼭대기에 걸리도록 수직하향으로 기판(216)을 가압한다. 마찬가지로, 벽(212)의 호형 표면은 기판 하우징(60)의 대향한 측면벽 상에서 각각의 대향한 선반부(210)에 수평하게 기판(216)을 가압한다.
도2, 도17 및 도32, 도32a, 도33 및 도34를 참조하면, 기판 하우징(60)은 한 쌍의 기판 로크 조립체(220)를 구비한다. 각각의 기판 로크 조립체(220)는 플랜지(224)와 그곳에 연결된 탄성 재료(226)를 가지는 기판 로크(222)를 구비한다. 재료(226)는 양호하게는 스펀지 재료 등이다. 각각의 로크(222)는 다수의 홈(228)을 가지는 양호하게는 폴리에테르 에테르 케톤을 구비하는 외측 표면(227)을 가진다. 각각의 홈(228)은 그곳에 기판(216)의 가장자리를 수용하기에 적합하다. 각각의 기판 로크(222)는 도어(120) 내의 공동(229) 내에 수용된다. 각각의 기판 로크(222)는 도어(120)에서 각각의 통로(233)속으로 연장하는 로크 클립 핀(232)에 의해 도어(120)에 각각 고정되는 한 쌍의 기판 로크 클립(230)에 의해 기판 로크 공동(229) 내에 고정된다. 핀(230)은 플랜지(224)와 결합하기 위해 피봇되거나 또는 플랜지(224)에서 해제하기 위해 피봇될 수 있는 호형 표면을 가지며, 이것에 의해 도어(120)에 대한 로크 조립체(229)의 삽입 또는 제거가능한 고정을 허용한다.
도1 및 도2를 참조하면, 다수의 휠 조립체(234)가 컨테이너(62)에 고정되어 있다. 각각의 조립체(234)는 핀(239)에 의해 덮개(236) 내에 장착된 롤러(238) 및 펜더 또는 덮개(236)를 구비한다. 휠 조립체(234)는 이후에 기술되는 바와 같이 도킹 유닛(240)(도35)의 꼭대기에 기판 하우징(60)의 장착을 용이하게 한다.
도35 내지 도38을 참조하면, 본 발명의 기판 하우징 도킹 유닛의 양호한 실시예가 부호 240 으로 표시되어 있다. 도킹 유닛(240)은 기부판(242), 덮개판(244), 좌측포스트(246) 및 우측포스트(248)를 구비한다. 전방판 또는 벌크헤드(250)는 기부판(242)과 덮개판(244)에 고정되며 그곳에 포트 또는 개구(252)를 가진다. 포스트(246, 248)는 또한 기부판(242)과 덮개(244)에 고정된다. 좌측판(254)은 포스트(246)의 각각의 홈 내의 벌크헤드(250) 및 포스트(246)와 벌크헤드(250) 사이에 수용된다. 우측판(256)은 포스트(248)의 각각의 홈 내의 벌크헤드(250) 및 우측포스트(248)와 벌크헤드(250) 사이에 수용된다. 다수의 발부분(258)이 기부판(242)의 하부 측에 고정된다.
도36-38을 다시 참조하면, 도킹 유닛(240)은 바닥판(264), 좌측판(266) 및 우측판(268)을 구비하는 트레이(262)를 포함하는 기판 하우징 위치 설정 조립체를 구비한다. 터치 메모리 접점(269)은 바닥판(264)에 장착된다. 트레이(262)는 좌측판(266)과 바닥판(264)에 의해 그곳에 한정된 좌측 슬롯(270)을 가진다. 트레이(262)는 우측판(268)과 바닥판(264)에 의해 그곳에 한정된 우측 슬롯(272)을 가진다. 다수의 롤러 베어링(274)은 대응한 홈 내에 제공되어 측면 플레이트(266, 268)의 트레이(262) 단부의 각각의 가장자리에 고정된다. 롤러 베어링(274)은 트레이(262)가 기부판(242)에 고정되는 우측 레일(278) 및 좌측 레일(276)의 위에 배치되어 구르도록 한다. 특히, 여러 롤러 베어링(274)이 레일(276, 278)과 구름식 결합을 하도록 수직위치로 장착되며, 한편 나머지 롤러 베어링(274)은 수평 이동중 트레이(262)를 안내하도록 수평으로 장착된다. 또한, 트레이(262)의 우측 또는 좌측면 상에서 수평으로 장착된 롤러 베어링들중 2개는 갭과 진동을 감소시켜 정렬을 유지하기 위해 스프링 지지된다. 한 쌍의 범퍼 조립체(316)는 기판 하우징(60)을 결합하기 위해 측면판(266)과 측면판(268)에 각각 장착된다.
도38 및 도39를 참조하면, 트레이(262)는 트레이 구동 조립체(280)와 작동 가능하게 결합된다. 트레이 구동 조립체(280)는 기부판(242)에 고정되는 모터 장착판(284)에 고정된 트레이 스텝퍼 모터(282)를 포함한다. 트레이 모터(282)는 커플링(288)에 의해 기어 박스(286)에 작동 가능하게 결합된다. 트레이 구동 조립체(280)에는 트레이 모터(282)와 기어 박스(286)에 결합된 한 쌍의 보어 리듀서(bore reducer)(289, 290)가 제공된다. 기어 박스(286)는 기부판(242)에 장착된 스페이서 블록(287)에 장착되고, 기어 박스(286)는 구동 풀리(291)와 작동 가능하게 결합된다. 구동 벨트(292)는 구동 풀리(291)와 아이들러 풀리(294)에 관해 위치 설정된다. 풀리(294)는 베어링(298) 내에 수용되는 풀리 샤프트(296) 상에 장착된다. 베어링(298)은 기부판(242)에 장착된 아이들러 풀리 베어링 블록(300)에 장착된다.
트레이 구동 브라켓 조립체(302)는 벨트(292)와 트레이(262)에 연결된다. 브라켓 조립체(302)는 그곳에 연결된 트레이 위치 센서 플래그(305)를 갖는 하부 브라켓(304)과 상부 T-형 브라켓(306)을 구비한다. 벨트(292)는 한 쌍의 나사(307)에 의해 서로 연결되는 브라켓(304, 306)들 사이에 고정된다. 상부 브라켓(306)의 T-형 단부는 트레이 측면판(266)의 하부 측에 연결된다. 트레이(262)의 이동은 트레이 위치 센서 플래그(305)와 관련하여 기부판(242) 상에 장착된 센서(308, 309, 310)에 의해 검출된다. 도39에 도시된 바와 같이, 센서(308-310)의 각각은 트레이 위치 센서 플래그(305)에 정렬된 채널(313c)을 형성하는 측면 부재(313a, 313b)를 포함한다. 발광 다이오드(LED)(도시되지 않음) 또는 다른 광원은 한 측면 부재(313a, 313b)로부터 다른 측면 부재로 채널(313c) 내에서 광의 비임을 투사한다. 구동 벨트(292)가 트레이 모터(282)에 의해 회전될 때, 트레이 위치 플래그(305)는 직선 통로를 따라 이동하여 결국 센서(308-310)의 하나의 채널(313c) 사이를 이동한다. 트레이 위치 플래그(305)가 센서의 채널(313c) 내에 있을 때, 광 비임이 인터럽트되어서 센서를 "트립핑"(tripping)한다.
각각의 센서(308-310)는 아래에 기술된 전자 제어 회로에 대한 더 이상의 접속을 위해 대응한 와이어(도시되지 않음)에 접속하기 위한 전기 접속부(313d)를 포함한다. 이러한 방식으로, 트레이(262)의 상대 위치가 결정되며, 그러므로 도킹 유닛(240) 상의 기판 하우징(60)의 위치는 센서(308-310)가 트레이 모터(282)의 작동 중에 트립될 때 결정된다. 센서(308-310)는 특히 트레이 후퇴 센서(308), 트레이 중간 센서(309) 및 트레이 삽입 센서(310)로서 언급되며, 이들은 트레이(262)와 기판 하우징(60)의 상대 위치를 확인한다.
도35, 도37, 도40 및 도45를 참조하면, 도킹 유닛(240)은 캠 조립체(322)를 구비한다. 캠 조립체(322)는 좌측 래치 액추에이터 캠(324), 우측 래치 액추에이터 캠(326) 및 캠(324)과 캠(326)에 연결된 한 쌍의 래치 액추에이터 캠 크로스바(328, 330)를 구비한다. 캠(324)은 그곳에 연결된 한 쌍의 롤러 베어링(334)과 그곳의 슬롯(332)을 가진다. 캠(324)은 기부판(242) 내의 채널(336)과 기부판(242)에 연결된 캠 궤도(338) 내에서 수용되어 이동할 수 있다.
도40 및 도45에 도시된 바와 같이, 좌측 캠 종동체 조립체(340)는 트레이(262)의 하부측에 피봇 가능하게 연결된다. 캠 종동체(340)는 나사(345)에의해 그곳의 하부측에 연결된 베어링(344)을 가지는 캠 아암(342)과 그곳의 최상부 표면에 연결된 래치 액추에이터 핀(346)을 구비한다. 베어링(344)은 슬롯(332) 내에 수용되며, 베어링(348)은 베어링(348)과 핀(346)을 통해 아암(342)속으로 연장하는 나사(349)에 의해 핀(346)에 연결된다.
캠(326)은 그곳에 연결된 한 쌍의 베어링(352)과 그곳의 슬롯(350)을 가진다. 캠(326)은 기부판(242) 내의 채널(354)과 기부판(242)에 연결된 캠 궤도(356) 내에 수용되어 이동할 수 있다. 우측 캠 종동체 조립체(358)는 바닥판(264)의 하부측에 피봇 가능하게 연결된다. 캠 종동체 조립체(358)는 그곳의 최하부 표면에 연결된 래치 액추에이터 핀(364)과 나사(363)에 의해 그곳의 하부측에 연결된 베어링(362)을 가지는 캠 아암(360)을 구비한다. 베어링(362)은 슬롯(350) 내에 수용되며 베어링(366)은 베어링(366)과 핀(364)을 통해 아암(360)속으로 연장하는 나사(367)에 의해 핀(364)에 연결된다.
도41 및 도45를 참조하면, 도킹 유닛(240)은 캠 구동 조립체(368)를 포함한다. 조립체(368)는 판(242)에 연결된 모터 브라켓(372)에 의해 지지된 래치 모터(370)를 구비한다. 래치 모터(370)는 커플링(376)에 의해 리드 스크류(374)에 작동 가능하게 결합된다. 리드 스크류(374)는 판(242)에 연결된 베어링 블록(380)에 장착된 베어링(378) 내에 수용되어 너트(382)로 나사결합된다. 래치 나사(374)의 대향한 단부는 베어링 블록(386)에 장착된 베어링(384) 내에 수용된다. 너트(382)는 캠 크로스바(330)에 연결되는 너트장착 탭(387)에 고정된다. 탭(387)은 래치 해제 센서(389)와 래치 센서(390)에 각각 결합하기 위한 래치 센서플래그(388a, 388b)를 포함한다. 특히, 래치 모터(370)가 도어(120)를 래치 해제 또는 래치하도록 작동될 때, 트레이 위치 설정 플래그(305)와 센서(308-310)에 대해 위에서 기술된 바와 같은 방식으로 래치 센서 플래그(388a)는 래치 해제 센서(389)를 트립하기 위해 인터페이스되며 래치 센서 플래그(388b)는 래치 센서(390)를 트립하기 위해 인터페이스된다. 센서(389, 390)는 도어(120)가 센서(389, 390)를 각각 트립핑함으로써 래치 또는 래치 해제될 때를 결정하는 아래에서 설명되는 전자 제어 회로에 접속된다. 덮개(391)는 조립체(368)를 위해 제공될 수 있고 판(242)에 연결될 수 있다.
도38 및 도42를 참조하면, 도킹 유닛(340)은 도어 구동 조립체(392)를 구비한다. 도어 구동 조립체(392)는 커플링(398)에 의해 기어 박스(396)에 작동 가능하게 결합되는 도어 스텝퍼 모터(394)를 구비한다. 기어 박스(396)는 장착판(402)에 연결되고 도어 모터(394)는 장착판(402)에 고정되는 모터 장착 브라켓(404)에 고정된다. 도어 구동 조립체(392)에는 도어 모터(394)와 기어 박스(396)에 각각 결합된 한 쌍의 보어 리듀서(406, 408)가 제공된다. 도어 구동 조립체(392)는 장착판(402)과 포스트(246)에 연결되는 구동 조립체 장착판(412)에 의해 포스트(246)에 연결된다. 구동 풀리(414)는 기어 박스(396)에 작동 가능하게 결합되며 타이밍 벨트(416)는 풀리(414)와 아이들러 풀리(418)에 관해 위치 설정된다. 풀리 조정판(422)은 구동 조립체 장착부(402)에 연결되며 나사(426)를 느슨하게 하여 벨트(416)를 조정하기 위해 그곳에 한 쌍의 슬롯(424)을 가진다.
도36-38 및 도42-44를 참조하면, 풀리(418)는 포스트(246) 내의 구멍(426)에수용된 베어링(424)을 통해 연장하는 도어 샤프트(422)에 작동 가능하게 결합된다. 도어 센서 플래그(427)는 도어(120)가 폐쇄 위치(도43)에 있을 때 도어 폐쇄 센서(428) 및 도어(120)가 개방 위치(도44)에 있을 때 도어 개방 센서(430)에 결합하기 위한 샤프트(422)에 연결된다. 센서(428, 430)는 도어 센서 플래그(427)를 수용하기 위한 채널을 포함하며 센서(308-310, 389, 390)에 대해 앞에서 기술한 바와 유사한 방식으로 트립된다. 이러한 방식으로, 제어 회로는 도어(120)가 개방 또는 폐쇄될 때를 결정한다.
샤프트(422)는 킥커(kicker) 브라켓(434)속으로 연장하여 이것을 구동시킨다. 킥커 브라켓(434)은 롤러 샤프트(438)에 의해 그곳에 장착된 상부 킥커 롤러(436)와 롤러 샤프트(444)에 의해 그곳에 장착된 하부 킥커 롤러(442)를 가진다. 우측 킥커 피봇 샤프트(446)는 포스트(248) 내의 구멍(454) 내에 수용된 베어링(452)에 장착되는 정사각형 부싱(448)에 대한 라운드 내에 수용된다. 피봇 샤프트(446)는 우측 킥커 브라켓(456)에 연결된다. 킥커 브라켓(456)은 롤러 샤프트(462)에 의해 그곳에 연결된 상부 킥커 롤러(458)와 롤러 샤프트(466)에 의해 그 속에 연결된 하부 킥커 롤러(464)를 가진다.
도35 내지 도38을 참조하면, 포트 도어(468)는 포트 도어 장착 브라켓(472)에 의해 좌측 킥커(434)와 우측 킥커(456)에 연결된다. 포트 도어(468)는 킥커(434, 456)와 장착 브라켓(472) 사이에 위치되며 다수의 나사(474)는 브라켓(472)과 도어(468)를 통해 킥커(434, 456)속으로 연장한다. 도36은 설명을 목적으로 우측판(256)없이 도시된다. 포트 영역(470)은 포트 도어(468),기부판(242), 덮개판(244), 좌측판(254) 및 우측판(256)에 의해 한정된다. 포트 영역(470)은 벌크헤드(250)의 포트 개구(252)를 통해 소규모 환경과 유체 연통한다. 포트 영역(470)은 소규모 환경이 전형적으로는 주변공기 또는 대기보다 더 크기 때문에 기밀하게 밀봉될 필요가 없다. 그럼에도 불구하고, 포트 도어(468), 기부판(242), 덮개판(244), 좌측판(254) 및 우측판(256)은 아주 작은 주위 환경으로부터 대기를 분리한다. 포트 도어(468)가 제공되지 않고, 그 대신 다른 도어 수단이 포트 영역(470)을 분리하는 다른 실시예가 계획되는데, 이 다른 실시예에서는 대기를 아주 작은 주위 환경으로부터 분리한다. 이와 같은 다른 도어 수단은 기판 하우징(60)의 내부 공간(92)을 아주 작은 주위 환경에 접근하도록 개방되어야 할 것이다. 포트 도어(468)가 양호한데, 아래에서 더욱 충분히 기술되는 바와 같이, 기판 하우징(60)의 도어(120)와 포트 도어(468)는 동시에 개방되어서 유체를 연통시키고 내부 공간(92)의 접근을 허용하며, 따라서 기판(216)은 소규모 환경에 접근할 수 있다. 이는 소규모 환경을 보전하기 위해 다른 시간에 두 개의 독립적인 도어를 개방시켜야 하는 것보다 더 간단하다.
도35 및 도36에 도시된 바와 같이, 도킹 유닛(240)에는 도어 구동 조립체(392)용 하우징(476), 트레이 구동 조립체(280)용 하우징(478) 및 아래에서 기술된 전자 제어 회로용 전원 공급원(도시되지 않음) 및 모터(282, 370, 394)용 하우징(477)이 제공될 수 있다. 내부 버튼등(482)을 가지는 버튼(480)은 하우징(478)의 꼭대기에 장착된다. 또한, 하우징(478)은 녹색, 황색, 적색 등의 색상을 보여주기에 적합한 그곳에 장착된 다수의 상태등(484, 486, 488)을 갖는다.
도46-57을 참조하여, 기판 하우징(60)을 가지는 도킹 유닛(240)의 상호작용이 더욱 상세히 기술될 것이다. 우측판(256)은 설명을 위해 도49 및 도55에는 포함되지 않는다. 도46 내지 도48은 트레이(262)의 꼭대기에 위치된 기판 하우징(60)을 도시하며, 트레이(262)는 그의 후퇴 위치에 그리고 하우징 도어(120)는 그 폐쇄 및 래치 위치에 있다. 기판 하우징(60)은 트레이 측면판(266, 268) 상의 구름 휠(238)에 의해 트레이(262)의 꼭대기에 위치된다. 트레이(262)는 트레이 구동 조립체(280)에 의해 전방으로 이동됨으로써, 도51에 도시된 바와 같이 하우징 래치(162, 180)에 인접하게 래치 액추에이터 핀(346, 364)을 위치시킨다. 도49-51에 도시된 중간 위치에서, 하우징 도어 액추에이터(130)는 킥커 롤러(436, 442)와 결합하고 하우징 도어 액추에이터(136)는 킥커 롤러(458, 464)와 결합한다. 이 위치에서, 포트 도어(468), 킥커 브라켓(434, 456), 롤러(436, 442, 458, 464), 액추에이터(130, 136) 및 베어링(138, 132)은 고정된 공통의 회전 중심(FCCR)(490)을 중심으로 회전하도록 설정된다.
도48-54를 참조하면, 리드 스크류(374)는 그후 래치 모터(370)에 의해 회전되어 캠(324, 326)을 후방으로 이동시킴으로써, 하우징 래치(162, 180)에 대해 캠 액추에이터 아암(342, 360)을 피봇시키고, 이것에 의해 도52에 도시된 바와 같이 하우징 도어(120)를 로크 해제시킨다. 통로(178, 196)의 아우트라인과 기판 하우징(60)의 래치 조립체(158, 160)의 대응한 경사진 가장자리(177, 195)는 도51에 도시되어 있다. 따라서, 아암(342, 360)과 대응한 액추에이터 핀(346, 364)이 베어링(348, 366)과 함께 이동되기 때문에, 베어링(348, 366)은 기판 하우징(60)이 이미 정렬되어 있지 않다면, 가장자리(177, 195)와 결합하여 트레이(262) 상에 기판 하우징(60)을 정렬시킨다. 또한, 액추에이터 핀(346, 364)과 대응한 베어링(348, 366)이 도52에 도시된 바와 같이 충분히 삽입되면, 기판 하우징(60)은 트레이(262)에 단단하게 지지된다. 그후 도어 구동 조립체(392)는 킥커(434, 456)를 피봇시키는 도어 샤프트(422)를 회전시키며, 이것에 의해 도54에서 화살표로 표시된 바와 같이 FCCR(490)을 중심으로 회전시킴으로써 포트 도어(468)와 하우징 도어(120)를 동시에 개방시킨다. 기판 하우징(60)의 도어(120)와 도킹 유닛(240)의 포트 도어(468)는 동시에 개방되는 것이 중요하다. 개방 위치에서, 기판 하우징(60)의 내부 공간(470)은 포트 영역(470)과 액체연통하며, 따라서 소규모 환경과도 액체 연통한다. 중간 위치는 중간의 또는 초기의 접근위치로서 생각될 수 있고, 액체연통 또는 접근은 도어(120)와 포트 도어(468)가 폐쇄되는 동안 방지되며, 그러한 접근은 도어(120, 468)가 개방될 때 제공된다.
도55-57을 참조하면, 트레이 구동 조립체(276)는 그후 기판 하우징(60)을 포트 영역(470)속으로 삽입하여 기판 하우징(60)을 벌크헤드(250)에 대해 접촉시키기 위해 트레이(262)를 삽입 위치 또는 적재 위치로 이동시킨다. 이러한 구조에서, 기판 하우징(60) 내의 기판(216)은 소규모 환경 내에서 벌크헤드 포트(252)와 로보트 장치 또는 다른 기구를 통해 직접 접근될 수 있다. 브라켓(434, 456)과 롤러(458, 464)는 도어(120)를 회전 구동시키며, 롤러(444, 464)는 액추에이터(130, 136)를 FCCR을 중심으로 회전시킨다. 베어링(132, 138)은 액추에이터(130, 136)와 도어(120)를 통해 회전을 매끄럽게 끝내게 한다. 기판하우징(120)이 삽입 위치로 이동할 때, 도어(120)는 정지 상태에 있게 된다. 도어(120)는 따라서 궤도(142, 146)와 롤러(458, 464)에 의해 기판 하우징(60) 위의 들어 올려 치워진 위치에서 유지된다. 접합부(152)는 도어(120)가 더 이상 이동하지 못하게 한다. 기판 하우징(60)을 처리한 후, 기판 하우징(60)을 하적하여 도어(120)를 폐쇄하기 위한 절차가 역순으로 수행된다.
기판(216)이 제거, 교환, 또는 작동되면, 트레이(262)가 중간 위치로 후방으로 이동하도록 역 작동이 행해질 수 있다. 도어 구동 조립체(392)는 그후 포트 도어(468)와 하우징 도어(120)를 동시에 폐쇄 위치로 이동시키기 위해 킥커(434, 456)를 피봇시킨다. 캠(324, 326)은 그후 전방으로 이동되어 핀(346, 364)을 래치(162, 180)로부터 해제시키며, 이것에 의해 스프링(165, 183)의 편향에 기인하여 래치(162, 180)를 로크된 구조로 복귀시킨다. 트레이 구동 조립체(280)는 그후 도46 내지 도48에 도시된 후퇴 위치로 트레이(362)를 이동시키며, 이것에 의해 기판 하우징(60)을 트레이(362)로부터 제거되게 한다.
도58 및 도59를 참조하면, 하부 도킹 유닛(240b)의 상부에 적층된 상부 도킹 유닛(240a)을 예시하는 사시도가 도시되어 있다. 비록 두개의 도킹 유닛이 함께 적층된 상태로 도시되어 있지만, 둘 이상이 이러한 형태로 함께 적층될 수 있다. 전원 장치, 하우징(477) 및 하부 도킹 유닛(240a)의 덮개판(244)이 제거된다. 상부 도킹 유닛(240a)의 다리부(258)가 또한 제거된다. 기부판(242)은 양호하게는 적층된 구조로 중간판 또는 분할판으로서 효과적으로 작용하는 덮개판(244)을 대신하도록 설계된다. 하우징(477) 내의 전원 장치는 도킹 유닛(240a, 240b)의 전자부품에 전원을 공급하도록 접속된다. 물론, 전원 장치는 적층된 유닛의 수에 따라 필요한 량의 전원을 제공하도록 구성된다. 각각의 도킹 유닛(240a, 240b)의 작동은 전술한 바와 같이 반드시 도킹 유닛(240)과 같거나 매우 유사하다.
이제 도60을 참조하면, 도킹 유닛(240)을 제어하기 위해 사용된 전자 제어 회로의 도식적인 도면이 도시된다. 제어 회로의 제1 부분은 양호하게는 하우징(478) 내에 위치된 인쇄회로기판(PCB)(도시되지 않음) 상에 장착된다. 전원은 하우징(477)에 전형적으로 장착된 전원 장치(도시되지 않음)로부터 제공된다. 트레이 후퇴 센서(308), 트레이 중간 센서(309), 트레이 삽입 센서(310), 도어 개방 센서(430), 도어 폐쇄 센서(428), 래치 해제 센서(389), 래치 센서(390), 및 터치 메모리 접점(269)은 커넥터(J4, J5, J6, J7, J8, J9, J10, J11)를 통해 각각 제어 회로에 접속된다. 비록 명확하게 도시되지는 않았지만, 전기 와이어는 센서(308, 309, 310, 430, 428, 389, 390)와 터치 메모리 접점(269)의 각각을 각각의 커넥터(J4-J11)에 전기적으로 접속하기 위해 제공된다. 커넥터(J4-J10)의 각각은 양호하게는 3개의 핀을 포함하며, 핀의 하나는 양호하게는 +5V 인 VCC에 접속된다. 커넥터(J4-J10)의 각각의 3개의 핀은 그라운드에 접속되고 2개의 핀은 풀-업 저항기(500)를 통해 VCC에 접속된다. 커넥터(J4-J7)의 각각의 핀 2개는 양호하게는 SN74157 인 쿼드 2 : 1 데이타 다중변환기(quad 2 to 1 data multiplex)의 1B, 2B, 3B 및 4B 입력에 각각 접속된다. 마찬가지로, 커넥터(J11)의 핀(1)과 커넥터(J8-J10)의 각각의 핀 2개는 다중 변환기(502)와 유사한 다른 쿼드 2 : 1 데이타 다중 변환기(504)의 1B, 2B, 3B 및 4B 입력에 각각 접속된다.
2개의 4-비트 DIP 스위치 패키지(SW1, SW2)는 스위치(SW1, SW2)의 각각의 딥 스위치의 비트 위치에 따라서 다른 유사한 도킹 유닛에 대해 도킹 유닛(240)을 확인하기 위한 NODE ADDR로서 언급된 8-비트 어드레스를 형성한다. 스위치(SW1)의 4 출력단자는 각각의 풀-업 저항기(506)를 통해 VCC에 접속되며 또한 다중 변환기(502)의 1A, 2A, 3A 및 4A 입력에 접속된다. 스위치(SW2)의 4 출력단자는 각각의 풀-업 저항기(506)를 통해 VCC에 접속되며 또한 다중 변환기(504)의 1A, 2A, 3A 및 4A 입력에 각각 접속된다.
커넥터(J11)의 핀 2개는 그라운드에 접속되며 핀 1개는 저항기(508)를 통해 VCC에 접속되고 또 트랜지스터(Q1)의 콜렉터에 접속되는 신호(TM)를 제공한다. 트랜지스터(Q1)는 양호하게는 양극 2N2222형 트랜지스터 등이다. 신호 TCHMEMOUT는 저항기(510)를 통해 그 에미터가 그라운드에 접속된 트랜지스터(Q1)의 베이스에 접속된다. 이것은 아래에서 더욱 상세히 설명되는, 터치 메모리 접점(269)과의 전기접촉관계에 있을 때의 터치 메모리(103)와, 커넥터(J11)의 핀 1을 통한 초소형 제어기(512) 사이에서 TM 신호를 사용하는 하나의 와이어 버스를 형성한다. 다중 변환기(502, 504)의 칩 선택 입력은 그라운드에 접속되고 그 /B 입력은 신호 SEL 을 수신한다. SEL 신호가 낮게 끌어당겨지면 다중 변환기(502, 504)의 입력이 선택되고 대응한 신호가 그들의 Y출력에 제공되며, SEL 신호가 높게 설정되면 B 입력이 그 대신에 선택된다.
도60에 도시된 제어 회로의 심장부는 양호하게는 마이크로칩 테크놀러지 인코포레이티드의 PIC 17C42 고성능 8-비트 CMOS EPROM 초소형 제어기인 초소형 제어기(512)이다. 초소형 제어기(512)는 신호 RA0-RA5에 의해 확인된 6-비트 A 포트, 신호 RB0-RB7에 의해 확인된 8-비트 B 포트, 신호 RC0-RC7 에 의해 확인된 8-비트 C 포트, 신호 RD0-RD7 에 의해 확인된 8-비트 D 포트 및 3-비트 E 포트 RE0-RE2를 포함한다. A-E 포트의 여러 핀들은 당해 기술분야에서 숙달된 자들에게 알려진 바와 같은 다른 신호 기능으로 다중 변환된다. 예를 들면, RA0및 RA1 입력 핀들은 트레이 모터(282) 및 도어 모터(394)의 에러를 각각 표시하는 인터럽트 입력 수신 신호 TRAYMTRFAULT 및 DOORMTRFAULT로서 선택적으로 작용한다. 입력 RA4 및 RA5는 양호하게는 아래에 기술된 여러 통신을 실행하기 위해 신호 RECEIVE 및 XMIT에 각각 접속된 수신(RX) 및 송신(TX) 포트로서 작용한다. 다중 변환기(502)의 1Y, 2Y, 3Y 및 4Y 출력은 신호 MUX0, MUX1, MUX2 및 MUX3를 초소형 제어기(512)의 RB0, RB1, RB2 및 RB3 입력에 각각 제공한다. 마찬가지로, 다중 변환기(504)의 1Y-4Y 출력은 신호 MUX4-MUX7을 초소형 제어기(512)의 RB4-RB7 입력에 제공한다.
트레이 모터(282)는 6-핀 커넥터(J13)를 통해 제어되며, 여기서 신호 TRAYMTRSTEP는 핀 1을 통해 실행되고, 신호 TRAYMTRDIR는 핀 2를 통해 실행되고, 신호 RESETSTEPMTRS는 핀 5를 통해 실행되며, TRAYMTRFAULT 신호는 커넥터(J13)의 핀 6을 통해 실행된다. TRAYMTRSTEP, TRAYMTRDIR, 및 RESETSTEPMTRS 신호들은 초소형 제어기(512)의 RC0, RC1 및 RC4 출력핀에 의해 각각 제공된다. 유사한 방식으로, 도어 모터(394)는 6-핀 커넥터(J14)를 통해 제어되고, 여기서 신호 DOORMTRSTEP, DOORMTRDIR 및 DOORMTRFAULT는 커넥터(J14)의 핀(1, 2, 5, 6)을 통해 실행된다. DOORMTRSTEP 및 DOORMTRDIR 신호는 초소형 제어기(512)의 RC2 및 RC3출력에 의해 제공된다. 커넥터(J14)의 핀(3, 4)은 VCC에 접속된다.
명료하게 도시되지는 않았지만, 커넥터(J13, J14)는 트레이 모터(282) 및 도어 모터(394)에 접속되는 각각의 스텝퍼 모터 구동원에 접속된다. 초소형 제어기(512)는 트레이 모터(282)와 도어 모터(394)의 방향을 표시하기 위해 방향신호 TRAYMTRDIR 및 DOORMTRDIR를 발하며, 여기서 방향은 시계방향 또는 반시계 방향의 회전을 표시한다. 초소형 제어기(512)는 방향신호에 의해 표시된 방향으로 한 스텝씩, 트레이 모터(282) 또는 도어 모터(394)를 각각 전진시키기 위해 스텝 신호 TRAYMTRSTEP 또는 DOORMTRSTEP 위에 펄스, 양호하게는 음의 펄스를 발한다. 트레이 모터(282) 및 도어 모터(394)의 속도 및 가속도는 주어진 시간 내에 TRAYMTRSTEP 및 DOORMTRSTEP 신호 위에 가해진 펄스의 수에 의해 표시된다. TRAYMTRFAULT 및 DOORMTRFAULT 신호는 각각의 스텝퍼 모터 구동원에 의해 검출된 장애 또는 에러가 발생되면, 트레이 모터(282) 및 도어 모터(394)의 모터 구동원에 의해 발해진다. 초소형 제어기(512)는 RESETSTEPMTRS 신호를 일시적으로 발함으로써 양 스텝퍼 모터를 리세트한다.
초소형 제어기(512)의 RC5 출력은 양호하게는 2N2222 n-채널 양극형 트랜지스터인 트랜지스터(Q2)의 베이스에 저항기(514)를 통해 제공되는 신호 SONALERT 를 제공한다. 트랜지스터(Q2)의 에미터는 그라운드에 접속되고 그의 콜렉터는 점퍼(518)를 통해 VCC에 접속된 다른 단자를 가지는 스피커(516)의 한 단자에 접속된다. 이러한 방식으로, 점퍼(518)가 설치될 때, 초소형 제어기(512)는 스피커(516)를 통해 경고음을 내도록 SONALERT 신호를 통해 신호를 보낸다. 초소형 제어기(512)의 RC6 출력은 터치 메모리(103)가 터치 메모리 접점(269)과 전기적으로 접촉할 때 커넥터(J11)를 통해 터치 메모리(103)에 데이타를 보내기 위해 TCHMEMOUT 신호를 공급한다. TM 신호는 저항기(508)를 통해 일반적으로 높게 끌어당겨진다. 터치 메모리(103)는 데이타를 전송하거나 그렇지 않으면 TM 신호를 낮게 끌어당겨 하나이상의 펄스를 형성함으로써 통신한다. 마찬가지로, 초소형 제어기(512)는 데이타를 전송하거나 그렇지 않으면 대응하게 그라운드되거나 또는 TM 신호를 펄스하는 TCHMEMOUT 신호 상에 양의 펄스를 제공함으로써 터치 메모리(103)와 통신한다. 초소형 제어기(512)에 의해 실행된 메인 소프트웨어 루프는 양호하게는 TCHMEMOUT 신호 위에 펄스를 주기적으로 공급한 다음, 터치 메모리(103)에 의해 모든 반응을 검출하도록 TM 신호를 모니터함으로써 터치 메모리(103)를 포울(poll)한다. 이것은 프레전스 검출(presence detect)로서 언급되는데, 여기서 초소형 제어기(512)는 결합된 기판 하우징(60)은 물론 터치 메모리(103)가 트레이(262) 상에 위치 설정되어 터치 메모리(103)를 터치 메모리 접점(269)과 전기적으로 접촉시키는 것을 결정한다. 초소형 제어기(512)의 출력 핀 RC7은 SEL 신호를 다중 변환기(502, 504)로 공급한다. 이러한 방식으로, SEL 신호가 낮게 설정될 때, 초소형 제어기(512)는 NODE ADDR을 다중 변환기(608, 610)를 통해 스위치(SW1, SW2)로부터 초소형 제어기(512)의 B 포트 핀 RB0-RB7 으로 검색한다. SEL 신호가 높게 설정되면, 초소형 제어기(512)는 데이타를 센서(308, 309, 310, 428, 430, 390)로부터 그리고 터치 메모리(103)로부터 검색한다.
초소형 제어기(512)의 RD0 핀은 저항기(520)를 통해 VCC에 접속된 애노드를가지는 발광다이오드(LED) CR1의 캐소드에 접속된다. 유사하게, 초소형 제어기(512)의 RD1 핀은 저항기(522)를 통해 VCC에 접속된 애노드를 가지는 발광다이오드(LED) CR2의 캐소드에 접속된다. 초소형 제어기(512)는 RD0, RD1 핀을 통해 각각 LED CR1 또는 LED CR2를 켬으로써 데이타를 전송 또는 수신하는 지의 여부를 표시한다. 초소형 제어기(512)의 포트(D)의 RD2 및 RD3 핀은 신호 LATCHMTRA 및 LATCHMTRB를 L298 듀얼 풀 브릿지 모터 구동원(524)의 IN1 및 IN2 입력에 공급한다. 모터 구동원(524)의 출력핀 OUT1 및 OUT2는 래치 모터(370)의 단자에 접속되는 커넥터(J19)의 핀(1, 2)에 각각 접속된다. 다이오드(D1, D2)의 애노드는 모터 구동원(524)의 OUT1 및 OUT2 출력에 접속되고, 다이오드(D1, D2)의 캐소드는 12볼트 전원신호 12V에 접속된다. 두개의 유사한 다이오드(D3, D4)의 캐소드는 모터 구동원(524)의 OUT1 및 OUT2 출력에 각각 접속되며, 다이오드(D3, D4)의 애노드는 그라운드에 접속된다. 래치 모터(370)는 스텝퍼 모터보다 오히려 DC 전기 모터이다. 이러한 방식으로, 초소형 제어기(512)는 LATCHMTRA 및 LATCHMTRB 신호를 통해 래치 모터(370)를 제어한다.
출력핀 RD4, RD5 및 RD6은 저항기(526, 528, 530)를 통해 신호 GREEN LIGHT, YELLOW LIGHT 및 RED LIGHT를 트랜지스터(Q3, Q4, Q5)의 베이스에 각각 공급한다. 트랜지스터(Q3, Q4, Q5)는 양호하게는 그라운드에 접속된 그들의 에미터를 각각 가지는 양극 2N2222형 트랜지스터이다. 트랜지스터(Q3, Q4, Q5)의 콜렉터는 커넥터(J12)의 핀(2, 3, 4)에 각각 접속되며, 이들 핀들은 본 발명에 따라서 도킹 유닛(240)의 작업자에게 상태 표시를 제공하기 위해 녹색등(484), 황색등(486) 및적색등(488)에 각각 접속된다. 신호 BUTTONLGT는 초소형 제어기(512)의 RD7 출력핀에 의해 제공되며, 또한 저항기(532)를 통해 다른 트랜지스터(Q6)의 베이스에 접속되는데, 여기서 트랜지스터(Q6)는 또한 2N2222 양극형 트랜지스터이다. 트랜지스터(Q6)의 에미터는 그라운드에 접속되고 그의 콜렉터는 버튼(480) 내에서 버튼등(482)에 접속되는 커넥터(J12)의 핀(5)에 접속된다. 신호 BUTTON 은 초소형 제어기(512)의 RA2 핀에 그리고 커넥터(J12)의 핀(6)에 접속된다. 풀업 저항기(534)는 VCC와 BUTTON 신호 사이에서 접속된다. 버튼(480)의 접점들은 BUTTON 신호가 버튼(480)이 눌러지는 동안 접지되도록 커넥터(J12)의 핀(6)과 그라운드 사이에서 접속된다.
초소형 제어기(512)의 RA4/RX 핀은 다중 변환기(502, 504)와 유사한 다중 변환기(540)의 1Y입력에 접속된다. XMIT 신호는 초소형 제어기(512)의 RA5/TX 핀에 의해 양호하게는 RS-485 표준 시리얼 통신과 일치할 수 있는 SN75176B인 시리얼 포트(536)의 D 입력에, 그리고 또한 양호하게는 RS-232 표준 시리얼 통신과 일치할 수 있는 MAX232인 시리얼 포트(538)의 T1IN 입력에 공급된다. 다중 변환기(540)의 1A 출력은 초소형 제어기(512)의 RE1 출력핀으로부터 제공된 칩 가능 입력에서 신호 XMITENABLE를 수신하는 485 시리얼 포트(536)의 R 입력에 접속된다. 초소형 제어기(512)의 RE2 출력은 다중 변환기(540)의 /B 입력에 제공되는 신호 MAINTRCV를 제공한다. 다중 변환기(540)의 1B 출력은 232 시리얼 포트(538)의 R1OUT 역 입력에 제공된다. 485 시리얼 포트(536)의 차동 출력(A, B)은 그라운드에 접속된 제3 핀을 가지는 3-핀 커넥터(J2)의 핀(1, 2)에 각각 접속된다. 6-핀 커넥터(J3)는 도킹 유닛(240)의 테스트 작업에 대한 수동의 메인터넌스 기능을 수행하기 위해 손잡이가 달린 휴대용 입출력장치에 접속하기 위해 제공된다. 커넥터(J3)의 핀(2, 3)은 232 시리얼 포트(538)의 R1IN 입력 및 역 T1OUT 출력에 각각 접속된다.
커넥터(J2)는 주컴퓨터(545)의 시리얼 커넥터에 접속되며, 485 시리얼 포트(536)는 초소형 제어기(512)와 주컴퓨터(545) 사이의 RS485 통신을 용이하게 한다. 232 시리얼 포트(538)는 커넥터(J3)를 통해 손잡이 달린 메인터넌스 장치와의 RS232 통신을 용이하게 한다. 따라서, XMIT 신호 위에서 초소형 제어기(512)에 의해 제공된 전송 신호는 시리얼 포트(536, 538)에 제공된다. 그러나, 초소형 제어기(512)는 485 시리얼 포트(536)로부터 그리고 마지막으로 주컴퓨터(545)로부터 데이타를 수신하기 위해 MAINTRCV 신호를 작동 모드로 낮추고, 초소형 제어기(512)는 232 시리얼 포트(538)로부터 그리고 마지막으로 손잡이 달린 메인터넌스 유닛으로부터 데이타를 수신하기 위해 MAINTRCV 신호를 메인터넌스 모드로 높인다. 손잡이 달린 메인터넌스 유닛은 메인터넌스 및 테스트의 목적으로 도킹 유닛(240)의 수동조작을 허용한다.
주컴퓨터(545), 도킹 유닛(240)의 초소형 제어기(512) 및 터치 메모리(103) 사이의 통신 및 데이타 전송 프로토콜이 이제 간략하게 설명될 것이다. 터치 메모리(103)는 양호하게는 기판 하우징(60) 및 기판 하우징(60) 내에 적재된 기판에 특정한 정보를 함유하는 여러 데이타 필드를 포함한다. 일반적으로, 도킹 유닛(240)의 초소형 제어기(512)는 터치 메모리(103)를 통해 기판 하우징(60)을 검출하고, 기판 하우징(60)의 이동을 제어하며, 주컴퓨터(545)에 의해 제어되는 대로 터치 메모리(103)의 데이타를 판독 및 기록하기 위해 주컴퓨터(545)에 인터페이스를 제공한다. 주컴퓨터(545)는 기판 하우징(60)을 적재 또는 삽입 및 하적하기 위해 그리고 터치 메모리(103) 내의 정보를 검색 및 갱신시키기 위해 초소형 제어기(512)로 명령을 보냄으로써 작동을 제어한다.
터치 메모리(103)는 양호하게는 15 데이타 필드로 분할된 데이타의 대략 300 바이트를 포함한다. 이 정보는 양호하게는 표1 에서 도시된 바와 같이 구성된다.
표 1 : 터치 메모리 103 의 내용
데이타필드 데이타필드내용 데이타바이트 CRC바이트 총 계 Addr 개시 Addr 종료 바이트 Cnt
1 하우징 ID 15 2 25 0000 0018 19h
DOB 8
2 최종클린데이타 8 2 25 0020 0038 19h
장치형 15
3 루트 ID 4 2 23 0040 0056 17h
작업 스텝 4
스텝 ID 4
다음 툴 3
작업자 ID 6
4 슬롯1 기판 ID 16 2 18 0060 0071 12h
5 슬롯2 기판 ID 16 2 18 0080 0091 12h
6 슬롯3 기판 ID 16 2 18 00A0 00B1 12h
7 슬롯4 기판 ID 16 2 18 00C0 00D1 12h
8 슬롯5 기판 ID 16 2 18 00E0 00F1 12h
9 슬롯6 기판 ID 16 2 18 0100 0111 12h
10 슬롯7 기판 ID 16 2 18 0120 0131 12h
11 슬롯8 기판 ID 16 2 18 0140 0151 12h
12 슬롯9 기판 ID 16 2 18 0160 0171 12h
13 슬롯10 기판 ID 16 2 18 0180 0191 12h
14 슬롯11 기판 ID 16 2 18 01A0 01B1 12h
15 슬롯12 기판 ID 16 2 18 01C0 01D1 12h
일반적으로, 데이타필드(1)는 그의 식별 번호 및 제조일(original date)과같은 그러한 기판 하우징(60)에 특정한 정보를 포함하며, 데이타필드(2)는 장치형태 및 소거일 정보를 포함하며, 데이타필드(3)는 기판 하우징(60)의 상태 및 내역의 정보를 포함한다. 데이타필드(4-15)는 기판 하우징(60)의 12개의 슬롯 내에 적재된 기판의 정보를 저장한다. 이러한 방식으로, 주컴퓨터(545)는 기판 하우징(60) 내에 적재된 기판의 각각을 확인하여, 터치 메모리(103)의 내용을 판독함으로써 기판 하우징(60) 자체에 관한 정보를 검색할 수 있다. 이 정보는 에러 검출을 수행하기 위해 주기적인 잉여 체크(CRC) 바이트를 포함하며, 전송단자에서 발생된 캐릭터는 당해 기술분야에서 숙달된 자들에게 알려진 바와 같이 검색 단자에서 캐릭터와 매치된다. 통신된 데이타의 정확도를 결정하기 위한 체크합계등과 같은 그러한 에러검출의 다른 형태가 고려된다.
주컴퓨터(545)와 초소형 제어기(512) 사이의 통신은 RS 485 시리얼 통신을 실행하기 위한 485 시리얼 포트(536)의 사용을 통해 촉진된다. 일반적으로, 주컴퓨터(545)는 여러 명령들중의 하나를 485 시리얼 포트(536)를 통해 초소형 제어기(512)로 보내며, 초소형 제어기(512)는 기판 하우징(60)과 도킹 유닛(240)의 현 상태에 따라 응답한다. 표2 는 초소형 제어기(512)에 의해 제공된 대응한 응답과 주컴퓨터(545)에 의해 보내어진 여러 작동 명령들을 예시한다.
테이블 2 : 주컴퓨터 (545) 명령 및 도킹 유닛 (240) 응답
주 명령 (데이타) 도킹 유닛으로부터의 응답
Cmd(hex) 명령 네임 데이타 Rsp(hex) 반응 네임 데이타
1 상태 요청 무 1 Not Present
2 하적 데이타
3 적재/하적
4 적재
5 에러 에러 코드
2 적재 무 20 적재 확인 무
21 에러 에러 코드
3 하적 무 30 하적 확인 무
31 에러 에러 코드
4 터치 메모리 판독 데이타 필드 40 태그 데이타 충전 데이타#, 데이타
41 에러 에러 코드
5 터치 메모리 기록 데이타 필드#, 데이타 50 기록 확인 무
51 에러 에러 코드
6 Good Ack 60 무 무
7 Bad Ack 70 무 무
이러한 방식으로, 주컴퓨터(545)는 기판 하우징(60)이 존재하는지 않는지, 그리고 존재한다면 기판 하우징(60)이 적재되거나, 하적되거나 또는 적재/하적하는지 않는 지를 지시함으로써 응답하는 초소형 제어기(512)로 상태요청명령을 보냄으로써 기판 하우징(60)의 상태를 결정할 수 있다. 에러정보는 또한 주컴퓨터(545)가 있다면 이것에 제공된다. 주컴퓨터(512)는 기판 하우징(60)을 적재하기 위해 LOAD 명령을 보내며, 초소형 제어기(512)는 도킹 유닛(240)의 상태에 따라서 적절한 메시지에 응답한다. 마찬가지로, 주컴퓨터(545)는 기판 하우징(60)을 하적하기위해 UNLOAD 명령을 보내며, LOAD 명령에 대해 설명된 것과 유사한 응답을 수신한다.
주컴퓨터(545)는 READ DATA FIELD 명령을 보내어 설명된 정보에 대한 데이타필드 넘버를 제공함으로써 터치 메모리(103)로부터 특별한 데이타를 검색한다. 이것은 상기 표1 에서 기술된 터치 메모리(103) 내의 정보에 대응한다. 초소형 제어기(512)는 유사하게 터치 메모리(103) 내의 적절한 데이타 필드로부터 정보를 판독하여 이 정보를 주컴퓨터(545)로 전송한다. 유사하게, 기판 하우징(60) 내의 기판(216)이 처리된 후, 주컴퓨터(545)는 초소형 제어기(512)가 터치 메모리(103)속으로 기록하는 새로운 터치 메모리 데이타와 함께 WRITE DATA FIELD 명령을 초소형 제어기(512)로 보냄으로써 기판(216)에 연합된 데이타필드정보를 갱신하기를 바랄 수도 있다. 판독 및 기록명령은 또한 터치 메모리(103)가 존재하지 않는 것을 가리키는 에러 메시지를 제공한다. 많은 다른 형태의 명령 및 통신 프로토콜들이 고려되며, 본 발명은 모든 특별한 명령구조 또는 통신 프로토콜에 한정되지 않는다는 것이 이해된다.
주컴퓨터(545)에 의해 보내어진 명령 및 초소형 제어기(512)의 응답은 일반적으로 다음 포맷을 따른다:
Node Addr Cmd/Rsp 데이타 렌(Data Len) [데이타] [데이타] CRCL CRCH CRCX
여기서 각각의 필드는 양호하게는 정보가 있다면 1 바이트를 나타낸다. Node Addr 필드는 공급된 제1 바이트이며 양호하게는 이것이 NODE ADDR인 것을 표시하기 위해높게 인가된 최상위 비트를 가진다. 주컴퓨터(545)용 어드레스는 영(zero)이며 기판 하우징(60)용의 유효 어드레스는 1과 31(십진법) 사이에 있다. CMD/RSP 필드는 표2 에서 기술된 명령의 각각에 대한 16진수 코드를 포함하며, 그렇지 않다면, 이 필드는 초소형 제어기(512)로부터의 응답에 대한 대응한 16진수 코드를 표시한다.
Data Len 필드는 얼마나 많은 데이타 바이트가 이들 명령요청 데이타에 대해 포함되는지를 특정한다. 어떤 데이타도 메시지에 대해 요구되지 않는다면, Data Len 값은 제로가 될 것이다. 데이타필드는 특별한 명령 또는 응답이 요하는 모든 데이타를 보유한다. 마지막으로, 로우 바이트, 하이 바이트 및 앞의 두 바이트의 MSBs(가장 중요한 비트)를 포함하는 제3 바이트를 포함하는 3개의 CRC 바이트가 당해 기술분야에서 숙련된 자들에게 알려진 CRC 에러 체크를 실행하기 위해 공급된다. 이와는 달리, 체크합계 바이트가 제공될 수 있는데, 이것은 그 이전의 바이트의 값을 부가하고, 모든 오버플로우를 무시하며, MSB를 클리어함으로써 계산되어, 바이트가 어드레스 바이트가 아니라 데이타 바이트로서 판독된다. 상기 프로토콜은 비록 많은 다른 형태의 적절한 프로토콜이 사용될 수 있다고 할지라도, 단순하게 할 목적으로 선택된다.
이제 도61을 참조하면, 본 발명에 따른 도킹 유닛(240)의 일반적인 작동을 예시하는 상태 다이어그램이 도시된다. 각각의 상태로의 변환은, 도킹 유닛(240) 상에 배치된 기판 하우징(60)이 부정확한 기판 하우징(60)인 것을 표시하는 WRONG 비트, 도킹 유닛(240)이 주컴퓨터(545)로부터 대응한 UNLOAD 명령을 수신하였는지를 표시하는 UNLOAD 비트, 도킹 유닛(240)이 주컴퓨터(545)로부터 대응한 LOAD 명령을 수신하였는 지를 표시하는 LOAD 비트, 작업자가 버튼(480)을 눌렀는지 아닌지를 표시하는 BUTTON PRESSED 비트, 마지막으로 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에서 검출되었는지 아닌지를 표시하는 PRESENT 비트를 포함하는 5개의 입력비트에 의해 결정된다. 4개의 출력 또는 상태 비트 RED, YELLOW, GREEN 및 BUTTON는 시스템의 상태를 표시하며, 이들 비트들은 적색등(488), 황색등(486), 녹색등(484) 및 버튼등(482)을 작동시켜 상태를 표시하거나, 또는 도킹 유닛(240)의 작업자로부터 작용을 신속하게 행하게 하기 위해 간접적으로 사용된다. BUTTON 비트가 설정될 때, 버튼등(482)은 작업자로 하여금 BUTTON 신호와 함께 마이크로컴퓨터(512)에 의해 검출되는 버튼(480)을 누르도록 하기 위해 간헐적으로 깜박거린다. RED 비트는 에러가 검출되면 적색등(488)이 켜지도록 설정된다. YELLOW 비트는 도킹 유닛(240)이 적재된 기판 하우징(60)을 처리할 때 황색등(486)이 켜지도록 설정된다. GREEN 비트는 도킹 유닛(240)이 작동하는 것을 표시하기 위해 녹색등(484)을 켜도록 설정된다. 상태변화 및 그 결과적인 출력 비트를 야기하는 입력 비트는 대응하는 전환의 다음에 도시된다. "X"는 비트의 상태가 "중요하지 않음"(don't care)을 표시한다.
도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 존재하지 않고 도킹 유닛(240)이 새로운 기판 하우징(60)을 수신하게 되는 것을 표시하는 제1 상태(1)에서 시작한다. 이것은 상태(1)에 남아있는 반면, PRESENT 비트는 터치 메모리(103)가 검출되지 않은 것을 표시하는 논리 0 에 남아있다. 녹색등(484)이 켜지고 모든 다른 상태등은 상태(1)에서 꺼진다. 기판 하우징(60)이 터치 메모리(103)가 터치메모리접점(269)과 접촉하도록 도킹 유닛(240) 상에 적재될 때, PRESENT 비트는 1로 설정되고, 도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 트레이(262) 상에서 검출되고 이전의 어떤 에러도 없었다는 것을 표시하는 상태(2a)로 들어간다. 녹색등(484)은 켜지고 다른 모든 상태등은 꺼진다. 또한 버튼등(482)은 작업자로 하여금 버튼(480)을 누르게 하도록 깜박이기 시작한다. 도킹 유닛(240)은 터치 메모리(103)가 검출되어 버튼(480)이 눌러지지 않는 한 상태(2a)에 머무른다. 도킹 유닛(240)은 PRESENT 비트가 클리어되어 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240)으로부터 제거된 것을 표시한다면 상태(1)로 되돌아간다.
상태(2a)로부터, 도킹 유닛은 기판 하우징(60)이 여전히 존재하는 동안 버튼(480)이 눌러진다면 상태(3a)로 들어간다. 버튼(480)이 눌러지는 것에 응답하여, 초소형 제어기(512)는 도49에 도시된 바와 같이, 후퇴 위치로부터 중간 위치로 기판 하우징(60)을 이동시키기 위해 트레이 모터(282)를 제어한다. 버튼등(482)은 기판 하우징(60)이 이동되는 동안 꺼진다. 기판 하우징(60)이 중간 위치에 도달하면, 버튼등(482)은 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240)으로부터 제거될 수 있는 것을 표시하기 위해 다시 깜박거리기 시작한다. 상태(3a)에 있는 동안, 주컴퓨터(545)는 도킹 유닛(240)이 터치 메모리(103)로부터 정보를 판독하는 것을 지시하며, 여기서 이 정보는 485 시리얼 포트(536)를 거쳐 주컴퓨터(545)로 전송된다. 이 방식으로, 주컴퓨터(545)는 현재의 처리에 대한 정확한 기판 하우징이 있는 지를 결정한다. 도킹 유닛(240)은 주컴퓨터(545)가 작동이 상태(4)로 진행되는 LOAD 명령을 보내든가, 또는 작업자가 작동이 상태(2a)로 복귀되는, 버튼(480)을누름으로써 기판 하우징(60)을 제거하기로 결정하든가, 또는 주컴퓨터(545)가 작동이 상태(3b)로 진행되는, 잘못된 기판 하우징이 있다는 정보를 도킹 유닛(240)으로 보낼 때까지 상태(3a)에 남아 있게된다.
주컴퓨터(545)가 잘못된 기판 하우징이 있다는 것을 결정한다면, 도킹 유닛(240)은 WRONG 비트가 논리 1로 설정되는 상태(3b)로 들어간다. 녹색등(484)은 꺼지고, 적색등(488)은 켜지고, 버튼등(480)은 잘못된 기판 하우징이 있어서 제거되어야 한다는 것을 작업자에게 표시하기 위해 깜박거리게 된다. 작동은 작업자가 잘못된 기판 하우징이 있다는 것을 확인한 것을 표시하는 버튼(480)이 눌러질 때까지 상태(3b)에 머무르게 된다. 버튼(480)이 눌러질 때, 도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 후퇴 위치로 이동되는 상태(3b)로부터 상태(2b)로 들어간다. 버튼등(482)과 적색등(488)은 꺼진다. 작동은 잘못된 기판 하우징(60)이 있는 동안 상태(2b)에 머무르지만, 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240)으로부터 제거될 때 상태(1)로 복귀한다. 이 경우에, 녹색등(484)은 역으로 켜지고, 다른 상태등은 꺼진다.
상태(3a)로 되돌아가서, 기판 하우징(60)이 정확하다는 것이 결정된다면, 그리고 LOAD 명령이 주컴퓨터(545)로부터 보내어 졌다면, 도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 삽입 위치로 이동되는 상태(4)로 진행한다. 황색등(486) 및 녹색등(484)이 켜지고, 적색등(488)은 켜짐 상태로 남아있다. 상태(4)는 기판 하우징(60)이 처리되고 있는 것을 표시한다. 도킹 유닛(240)은 UNLOAD 명령이 주컴퓨터(545)로부터 보내어질 때까지 상태(4)에 머무른다. 이때, 도킹 유닛(240)은기판 하우징(60)이 중간 위치로 역으로 이동되고 도어(120)가 폐쇄되는 상태(5)로 진행한다. 상태(5)에서, 황색등(486)과 녹색등(484)은 켜지고, 버튼등(482)은 깜박거리며, 이것에 의해 작업자에게 기판 하우징(60)이 처리되었고 제거될 준비가 되어 있다는 것을 표시한다. 도킹 유닛(240)은 버튼(480)이 눌러질 때까지 상태(5)에 머무르며, 이 시간에 도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240)으로부터의 제거를 허용하는 후퇴 위치로 이동되는 상태(6)로 진행한다. 황색등(486) 및 버튼등(482)은 꺼지고 녹색등(484)은 상태(6)에서 계속 켜져있다. 도킹 유닛(240)은 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240)으로부터 제거될 때까지 상태(6)에 머무르며, 이때 이것은 상태(1)로 복귀한다.
이제 도62a 및 도62b를 참조하면, 도킹 유닛(240)에 동력이 공급될 때의 초소형 제어기(512)에 의해 실행된 메인 루틴을 예시하는 흐름도가 도시되어 있다. 작동이 초기화 스텝(550)에서 시작되는데, 여기서 초소형 제어기(512) 및 다른 전자장치들이 초기화된다. 초기화를 위해, 메시지 "NOT PRESENT"는 주컴퓨터(545)가 상태 명령을 보냄으로써 상태를 질문하는 경우에 상태 버퍼속으로 적재되며, 이때 "NOT PRESENT" 메시지가 주컴퓨터(545)로 보내어질 것이다. 작동은 도킹 유닛(240)이 트레이(262)가 후퇴 위치에 있다는 것을 입증하거나 또는 보증하는 스텝(552)으로 진행한다. 다음의 스텝(554)에서, PRESENT 비트는 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 있는 지를 결정하기 위해 모니터된다. 일반적으로, 파워업(powerup) 시에, 기판 하우징(60)은 존재하지 않고 작동은 스텝(556)으로 진행하는데, 여기서 FIRSTTIMEPRES 비트는 스텝(568)이 기판 하우징(60)이 도킹유닛(240) 상에 배치되는 각각의 시간마다 실행되도록 설정된다. 스텝(556)으로부터, 작동은 버튼등(482)이 꺼지는 스텝(558)으로 진행한다. 작동은 주컴퓨터(545)로부터 어떤 메시지가 있는지가 결정되는 스텝(560)으로 진행하며, 만일 있다면 작동은 메시지를 처리하기 위해 스텝(562)으로 진행한다. 메시지 처리화는 전술한 바와 같이 들어오는 명령을 받아서 상태 정보를 주컴퓨터(545)로 보내는 것을 표시한다. 스텝(562)에서 메시지를 처리한 후 또는 스텝(560)에서 결정된 어떤 메시지도 없다면, 작동은 기판 하우징(60)이 있는 지를 결정하기 위해 스텝(554)으로 복귀한다. 메인 루틴은 이 루프에서 머무르며, 기판 하우징이 도킹 유닛(240)에 배치될 때까지 주컴퓨터(545)에 의해 보내어진 모든 메시지를 처리한다.
기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 배치될 때, 작동은 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 배치된 이후 이것이 루프를 통한 첫번째인지를 결정하기 위해 FIRSTTIMEPRES 비트가 체크되는 스텝(564)으로 진행한다. 만일 그렇다면, 작동은 FIRSTTIMEPRES 비트가 클리어되는 스텝(566)으로 진행한 다음, BUTTONLGT 신호를 선택적으로 올리거나 또는 낮춤으로써 버튼등(482)이 깜박이도록 설정되는 스텝(568)으로 진행한다. 스텝(568)으로부터 또는 FIRSTTIMEPRES 비트가 스텝(564)에서 클리어되었다면, 작동은 버튼(480)이 눌러졌는지를 결정하기 위해 스텝(570)으로 진행한다.
스텝(570)에서, 버튼(480)이 눌러지지 않았다면, 작동은 스텝(560)으로 진행하여 주컴퓨터(545)로부터의 모든 메시지를 처리하며, 작동은 기판 하우징(60)이 제거될 때까지 또는 버튼(480)이 눌러질 때 이 루프에 머무른다. 버튼(480)이 눌러지면, 작동은 버튼등(482)이 꺼지는 스텝(572)으로 진행한 다음 트레이(262)가 아래에서 기술된 MOVEMOTOR 루틴을 호출함으로써 중간 위치로 이동되어 트레이 모터(282)를 제어하는 스텝(574)으로 진행한다. 작동은 TIMEOUT 비트가 설정되었는 지를 결정하기 위해 스텝(576)으로 진행한다. TIMEOUT 비트는 아래에서 더욱 충분히 설명되겠지만, 그렇지 않다면 오작동을 표시한다. TIMEOUT 비트가 설정되지 않았다면, 작동은 기판 하우징(60)이 여전히 있는지를 결정하기 위해 PRESENT 비트가 모니터되는 스텝(578)으로 진행한다. 이것은 기판 하우징(60)이 이것이 도어 개방 위치에서 정위치에 로크될 때까지 물리적으로 제거될 수 있으므로 예방 스텝이다. 기판 하우징(60)이 여전히 존재한다면, 작동은 "UNLOADED" 메시지가 상태 버퍼 안으로 로드되어 시스템의 새로운 상태를 표시하는 "NOT PRESENTED" 메시지를 대체하는 스텝(580)으로 진행한다.
스텝(580)으로부터, 작동은 작업자가 잘못된 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 배치된 것을 결정하는 경우에 버튼등(482)이 깜박이도록 설정되어 시스템의 작업자로 하여금 버튼(480)을 누르게 하는 스텝(582)으로 진행한다. 작동은 버튼(480)이 눌러졌는지를 결정하기 위해 스텝(584)으로 진행한다. 만일 버튼(480)이 눌러졌다면, 트레이(262)는 후퇴 위치로 역으로 이동된다. 따라서, 작업자는 잘못된 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 배치된 것이 결정되는 경우에 버튼(480)을 누른다.
버튼(480)이 스텝(584)에서 결정된 바와 같이 눌러지지 않았다면, 작동은 주컴퓨터(545)로부터의 어떤 메시지 또는 명령이 있는 지를 결정하기 위해 스텝(586)으로 진행하며, 만일 그렇다면 작동은 메시지 또는 명령을 처리하기 위해 스텝(588)으로 진행한다. 이 지점에서, 주컴퓨터(545)는 STATUS REQUEST 명령을 보냄으로써 도킹 유닛(240)에 질문하거나, 또는 그렇지 않으면 기판 하우징(60)을 적재하도록 LOAD 명령을 보낸다. 기판 하우징(60)이 적재되어 처리된 후, 주컴퓨터(545)는 결국 기판 하우징(60)을 하적하기 위해 UNLOAD 명령을 보낸다. 주컴퓨터(545)는 기판 하우징(60)이 시스템의 작업자보다는 오히려 도킹 유닛(240)속으로 적재되는지의 여부를 제어한다. 작동은 TIMEOUT 비트가 설정되어 에러를 표시하는 지를 결정하기 위해 스텝(588)으로부터 스텝(590)으로 진행한다. 만일 타임아웃(timeout)이 스텝(590)에서 검출된다면, 작동은 기판 하우징(60)이 적재되었는 지의 여부를 결정하기 위해 LOADED 비트가 체크되는 스텝(592)으로 진행한다. 기판 하우징(60)이 적재되면, 작동은 더 이상의 메시지를 처리하기 위해 스텝(586)으로 역으로 루프 처리한다. 만일 어떤 메시지 또는 명령도 스텝(586)에서 결정된 대로 주컴퓨터(545)로부터 수신되지 않았다면, 작동은 스텝(592)으로 직접 진행한다. 기판 하우징(60)이 적재되지 않았다면, 작동은 버튼(480)이 눌러졌는지 않는 지를 결정하기 위해 스텝(584)으로 역으로 루프 처리한다. 기판 하우징(60)이 적재되는 동안, 작동은 스텝(586 내지 592)를 통해 루프 처리되는 한편, 기판 하우징(60)이 처리된다. 기판 하우징(60)이 적재되기 전 또는 하적된 후, 작동은 버튼(480)이 눌러질 때까지 스텝(584 내지 592)를 통해 루프 처리된다. 이들 메인 루프들은 TIMEOUT 비트가 설정되어 오작동을 표시한다면 사라지게 되며, 여기서 작동은 스텝(602)으로 진행하여 메인터넌스 모드로 들어간다. 버튼(480)이스텝(584)에서 결정된 대로 눌러진다면, 또는 기판 하우징(60)이 스텝(578)에서 결정된 대로 존재하지 않는다면, 작동은 버튼등(482)이 꺼지는 스텝(594)으로 진행한 다음 "NOT PRESENT" 메시지가 상태 버퍼속으로 로드되는 스텝(596)으로 진행한다. 작동은 다음에 트레이(262)가 후퇴 위치로 이동되는 스텝(598)으로 진행한다. 이 경우에, 기판 하우징(60)이 제거되었거나 또는 버튼(480)이 기판 하우징(60)을 후퇴시키기 위해 눌러졌다. 작동은 타임아웃이 일어났는지를 결정하기 위해 스텝(600)으로 진행하며, 만일 일어나지 않았다면, 작동은 메인 루프를 다시 개시하기 위해 스텝(554)으로 복귀한다. 타임아웃이 에러 상태를 표시하는 스텝(576, 590, 600)에서 일어났다면, 작동은 도킹 유닛(240)이 정확하게 작동하고 있지 않다는 것을 표시하는 메인터넌스 모드로 절환시키기 위해 스텝(602)으로 진행하며, 메인터넌스는 작업자에 의해 요구된다. 작동은 도킹 유닛(240)이 수리되어 작동 모드로 복귀할 때까지 스텝(602)에 머무르며, 이때 작동은 메인 루프로 역으로 진행하여 스텝(554)에서 개시된다.
이제 도63을 참조하면, 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상의 중간 위치에 있고 주컴퓨터(545)가 도킹 유닛(240) 상에 기판 하우징(60)을 적재하기 위해 LOAD 명령을 보낼 때 초소형 제어기(512)에 의해 실행된 절차를 예시하는 흐름도가 도시되어 있다. 작동은 래치 모터(370)가 도어(120)를 래치 해제시키도록 작동되는 스텝(658)으로 진행한다. 작동은 래치 해제 센서(389)가 도어(120)가 래치 해제될 때를 결정하기 위해 모니터되는 스텝(660)으로 진행한다. 도어(120)가 스텝(660)에서 결정된 대로 래치 해제될 때까지, 작동은 타임아웃이 TIMEOUT 비트에 의해 표시될 때 일어났는지의 여부를 결정하기 위해 스텝(662)으로 진행한다. 만일 타임아웃이 일어나지 않는다면, 작동은 스텝(660)으로 역으로 진행하며 작동은 타임아웃이 일어나던가 또는 도어(120)가 래치 해제될 때까지 스텝(662, 660)들 사이에서 루프 처리된다. 만일 타임아웃이 도어(120)가 래치 해제되기 전에 일어나야 한다면, 에러 상태가 표시되며, 작동은 초소형 제어기(512)가 메인터넌스 모드로 들어가는 스텝(664)으로 진행한다.
도어(120)가 타임아웃이 일어나기 전 스텝(660)에서 래치 해제된다면, 작동은 도어 모터(394)가 도어(120)를 개방시키도록 작동되는 스텝(666)으로 진행한다. 아래에서 더욱 충분히 기술되는 바와 같이, 이 스텝은 소정의 파라미터를 로드한 다음 초소형 제어기(512)로 하여금 MOVEMOTOR 루틴을 호출 및 실행하게 하여 도어 모터(394)를 작동시킨다. 아래에서 기술되는 바와 같이, MOVEMOTOR 루틴은 도어 모터(394) 및 트레이 모터(282)를 포함하는 모든 스텝퍼 모터를 제어하기 위해 사용된다. 만일 에러가 스텝퍼 모터의 작동중에 일어난다면, JAM 비트가 설정되어 에러가 일어난 것을 표시한다. 작동이 스텝(666)에서 MOVEMOTOR 루틴으로부터 복귀할 때, 작동은 JAM 비트가 도어(120)가 적절히 개방되었는 지를 결정하기 위해 모니터되는 스텝(668)으로 진행한다. JAM 비트가 스텝(668)에서 설정된다면, 작동은 스텝(664)으로 진행하여 메인터넌스 모드로 들어간다. 그렇지 않다면, 작동은 스텝(670)으로 진행한다. 여기서, 파라미터들은 트레이 모터(282)를 작동시켜 기판 하우징(60)을 삽입 위치로 삽입하기 위해 로드되며 MOVEMOTOR 루틴이 다시 호출된다. JAM 비트는 작동이 비정상적으로 끝나는 경우에 설정된다. 작동은 JAM 비트가 모니터되는 스텝(670)으로부터 스텝(672)으로 진행한다. 만일 JAM 비트가 설정되어 오작동을 표시한다면, 작동은 메인터넌스 모드 스텝(664)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 트레이(262)는 기판 하우징(60)이 적재되어 작동이 스텝(674)으로 진행하도록 삽입 위치에 있으며, 여기서 메시지 "OPERATION COMPLETE" 가 주컴퓨터(545)로 보내어지고 LOAD 루틴은 MAIN 루틴으로 복귀한다.
이제 도64를 참조하면, 기판 하우징(60)이 도킹 유닛(240) 상에 적재되고 주컴퓨터(545)가 기판 하우징(60)을 하적하기 위해 UNLOAD 명령을 보낼 때의 초소형 제어기(512)에 의해 실행되는 UNLOAD 루틴의 흐름도가 도시되어 있다. 작동은 파라미터가 기판 하우징(60)을 삽입 위치로부터 중간 위치로 이동시키기 위해 트레이 모터(282)를 작동시키도록 로드되고 다시 MOVEMOTOR 루틴이 호출되는 스텝(692)에서 시작한다. 작동은 기판 하우징(60)이 계속적으로 이동되는 지를 결정하기 위해 JAM 비트가 체크되는 스텝(694)으로 진행한다. JAM 비트가 스텝(694)에서 설정된다면, 작동은 오작동을 표시하는 메인터넌스 모드로 전환시키기 위해 스텝(696)으로 진행한다. JAM 비트가 스텝(694)에서 결정된 대로 설정되지 않았다면, 작동은 도어 모터(394)를 작동시키고 MOVEMOTOR 루틴을 호출하기 위해 적절한 파라미터들을 설정함으로써 도어(120)가 폐쇄되는 스텝(698)으로 진행한다. 작동은 JAM 비트가 체크되는 스텝(700)으로 진행한다. 다시, JAM 비트가 스텝(700)에서 설정된다면, 작동은 메인터넌스 모드 스텝(696)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 작동은 래치 모터(370)가 인터페이스 도어(120)를 래치하도록 작동되는 스텝(702)으로 진행한다. 그 다음에 작동은 도어(120)가 래치 해제되어 있는지 않는 지를 결정하기위해 래치 해제 센서(389)가 체크하는 스텝(704)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 작동은 TIMEOUT 비트가 설정되어 오작동을 표시하는지를 결정하기 위해 스텝(706)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 작동은 도어(120)가 래치될 때까지 또는 타임아웃이 일어날 때까지 작동이 스텝(704, 706)들 사이에서 루프되는 스텝(704)으로 역으로 진행한다. 타임아웃이 스텝(706)에서 일어난다면, 작동은 메인터넌스 모드 스텝(696)으로 진행한다. 그렇지 않으면, 만일 도어(120)가 타임아웃이 스텝(704)에서 일어나기 전에 래치된다면, 작동은 "OPERATION COMPLETE" 메시지가 주컴퓨터(545)로 보내어지는 스텝(708)으로 진행하며, 작동은 MAIN 루틴으로 복귀된다.
이제 도65A 및 도65B를 참조하면, 트레이 모터(282)와 도어 모터(394)를 작동시키기 위해 초소형 제어기(512)에 의해 실행된 MOVEMOTOR 루틴을 예시하는 흐름도가 도시되어 있다. 양호한 실시예에서, 스텝퍼 모터들중의 하나만 주어진 시간에 제어된다. 작동은 스텝퍼 모터의 속도를 표시하는 VELOCITY 레지스터, 스텝퍼 모터에 의해 이동된 스텝의 수를 표시하는 STEPCOUNT 레지스터, 스텝퍼 모터의 속도 및 가속도를 제어하기 위해 속도값을 어큐뮬레이트하기 위한 STEPREG, 및 다수의 세그먼트가 주어진 시간에 수행되는 것을 표시하고, 완전한 이동이 이들 세그먼트들에 의해 이루어지는 SEGMENTNUM 레지스터를 포함하여, 여러 파라미터들 또는 레지스터들이 클리어되는 스텝(710)에서 시작한다. 일반적으로, MOVEMOTOR 루틴은 제1 세그먼트 중 제로 속도로부터 예정된 속도로 가속시키기 위해, 제2 세그먼트중 예정된 속도를 유지시키기 위해, 그리고 제3 세그먼트중 제로 속도로 역으로 감속시키기 위해 각각의 스텝퍼 모터를 제어한다.
다음의 스텝(712)에서, 여러 파라미터들이 제1 세그먼트의 이동을 위해 검색되는데, 이들 파라미터들은 속도를 비교하기 위한 STEP THRESHOLD 값, VELOCITY 레지스터를 증가시키기 위한 VELOCITYINC 값, 스텝퍼 모터가 현재의 세그먼트중 이동해야 하는 스텝들의 총 수를 표시하는 TOTAL STEPS 값, 아래에서 기술된, T121SR 인터럽터 조작 루틴을 호출하기 위해 인터럽터를 일으키는 카운터 레지스터와 비교하기 위한 그리고 주기 레지스터 속으로 로드하기 위한 T12 PERIOD 값, 주어진 세그먼트, 및 스텝퍼 모터가 가속하는지 또는 감속하는 지를 표시하기 위해 ACCEL 비트를 포함하는 다수의 비트를 구비하는 모터 제어 바이트 또는 값에 대한 최대 또는 최소의 예정된 일정 속도를 표시하는 ENDVELOCITY 값, 속도가 변하고 있는지 또는 일정한 지를 표시하기 위한 CHANGE SPEED 비트, 및 설정되는 세그먼트가 마지막 세그먼트의 이동인 것을 표시하기 위해 사용되는 LAST SEGMENT 비트를 포함한다.
다음의 스텝(713)에서, JAM 비트는 클리어된 다음, 아래에 기술된 타임아웃 루틴이 타이밍 기능을 수행하기 위해 설정되는 스텝(714)으로 진행한다. 작동은 NEARFLAG 비트 및 FLAGSLOT 비트가 모두 클리어되는 스텝(715)으로 진행한다. 대응하는 스텝퍼 모터(282, 370)에 대한 물리적인 플래그(305, 427)의 각각은 양호하게는 제어를 위한 센터 슬롯을 포함한다. 플래그가 대응한 센서의 광비임을 약화시키고 이것에 의해 이 센서를 트립핑하는 첫번째 시기에, 모터의 이동이 거의 완료된다. 비임은 다음에 플래그 슬롯이 도달될 때 약화되지 않고, 따라서 센서는 더이상 트립되지 않는다. 센서가 물리적인 슬롯의 먼 측면 상에서 다시 트립될 때까지 운동이 계속된다면, 최대의 바람직한 이동 또는 변위가 일어난 이후에 즉시 이 운동이 종료된다.
다음의 스텝(716)에서, SEGMENTNUM 레지스터는 다음의 세그먼트에 대한 파라미터들을 검색하도록 증대되고, 다음의 스텝(717)에서 T12 PERIOD 값은 PERIOD 레지스터속으로 로드되어 아래에서 기술된, T121SR 루틴을 얼마나 자주 호출하는 지를 결정하기 위해 카운터 레지스터와 주기적으로 비교된다. 특히, 카운터 레지스터는 카운터 레지스터의 값이 주기 레지스터의 값과 같을 때까지 주기 레지스터가 로드된 후 제로로부터 합계하며, 이때 인터럽트는 그에 따라 T121SR 루틴을 실행하는 초소형 제어기(512)에 의해 발생된다. 다음의 스텝(718)에서, 현재의 T12 및 T13 인터럽트 요청들이 클리어되고, 다음에 T12 및 T13 인터럽트는 인터럽트 루틴이 실행되게 하기 위해 스텝(720)에서 가능하게 된다.
작동은 각각의 스텝퍼 모터가 다른 스텝을 증대시키기 위한 펄스를 수신했는 지를 결정하기 위해 NEWSTEPCOUNT 비트가 모니터되는 스텝(721)으로 진행한다. NEWSTEPCOUNT 비트가 클리어된다면, 작동은 NEWSTEPCOUNT 비트가 설정될 때까지 스텝(721)에서 머무른다. T12 인터럽트가 가능해진 이후, 이 비트는 결국 T121SR 루틴으로 설정된다. NEWSTEPCOUNT 비트가 설정될 때, 작동은 NEWSTEPCOUNT 비트가 클리어되는 스텝(722)으로 진행한 다음 작동 모드가 작동 또는 메인터넌스에 있는 지를 결정하기 위해 스텝(723)으로 진행한다. 작동 모드가 표시된다면, 작동은 현재의 스텝퍼 모터가 제어되는 것에 대응하는 센서가 트립되어 이동이 종료에 가깝다는 것을 표시하는 지를 결정하기 위해 스텝(724)으로 진행한다. 센서가 트립되지 않았다면, 작동은 NEARFLAG 비트가 설정되었는지의 여부가 결정되는 스텝(725)으로 진행한다. 그렇다면, 이때 운동은 물리적인 플래그의 슬롯이 센서에 도달한 지점으로 진행했어야 하며, FLAGSLOT 비트는 스텝(726)으로 설정된다.
NEARFLAG 비트가 스텝(725)에서 결정된 대로 설정되지 않았다면 또는 FLAGSLOT 비트가 스텝(726)으로 설정된 후, 작동은 STEPCOUNT 레지스터의 값이 TOTAL STEPS 파라미터와 비교되는 스텝(727)으로 진행한다. 스텝(727)는 현재의 세그먼트가 끝나는 지를 결정하며, 그렇지 않다면 작동은 NEWSTEPCOUNT 비트가 설정되었는지 아닌지를 결정하기 위해 스텝(721)으로 역으로 진행한다. 스텝(727)을 다시 참조하면, STEPCOUNT 레지스터의 값이 TOTAL STEPS 파라미터보다 더 크거나 같다면, 작동은 작동이 종료되는 지를 결정하기 위해 모터 제어 바이트 내에서 LAST SEGMENT 비트를 모니터하기 위해 스텝(928)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 작동은 STEPCOUNT 레지스터가 클리어되는 스텝(729)으로 진행한 다음, 스텝(712)의 제1 세그먼트에 대해 수행된 다음의 세그먼트에 대해 새로운 파라미터를 주기 위해 스텝(730)으로 진행한다. 작동은 다음에 SEGMENT NUM 값이 다음의 세그먼트를 준비하기 위해 증대되는 스텝(731)으로 진행한다. 스텝(731)으로부터, 작동은 스텝(721)으로 복귀한다.
스텝(724)을 다시 참조하면, 센서가 트립되었다면, 작동은 NEARFLAG 비트가 미리 설정되었는지 아닌지를 결정하기 위해 스텝(732)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 다음에 물리적인 플래그는 센서를 막 트립했고 NEARFLAG 비트는 스텝(733)에서 설정되며, 작동은 스텝(732)으로 진행한다. NEARFLAG 비트가 스텝(732)에서 결정된 대로 미리 설정되었다면, 다음에 작동은 물리적인 플래그가 슬롯을 지나갔는 지를 결정하기 위해 스텝(734)으로 진행한다. FLAGSLOT 비트가 스텝(734)에서 결정된 대로 미리 설정되었다면, 다음에 작동은 T12 인터럽트가 무력화되는 스텝(735)으로 진행하며, MOVEMTRENABLE 비트는 작동이 완료되므로 클리어되어 스텝퍼 모터가 꺼지고 작동이 정지된다. 다음에 루틴이 호출 루틴으로 나간다. FLAGSLOT 비트가 스텝(734)에서 결정된 대로 미리 설정되지 않았다면, 센서가 슬롯에 도달하지 않았다는 것을 표시하며, 다음에 작동은 스텝(727)으로 진행한다.
스텝(728)을 다시 참조하면, LAST SEGMENT 비트가 설정되면, 작동은 모드가 작동 또는 메인터넌스인지를 결정하기 위해 스텝(736)으로 진행한다. 메인터넌스 모드라면, 작동은 스텝퍼 모터를 정지시켜서 배출시키기 위해 스텝(735)으로 진행한다. 그렇지 않다면, 스텝(736)에서 결정된 대로 작동 모드에 있다면, 작동은 NEARFLAG 비트가 미리 설정되었는지를 결정하기 위해 스텝(737)으로 진행한다. 만일 그렇다면, 다음에 작동은 FLAGSLOT 비트가 미리 설정되었는지를 결정하기 위해 스텝(738)으로 진행하며, 만일 그렇지 않다면, 다음에 TIMEOUT 비트는 에러가 일어났는지를 결정하기 위해 스텝(739)에서 모니터된다. TIMEOUT 비트가 설정되지 않았다면, 작동은 스텝(721)으로 복귀한다. 그러나, NEARFLAG 비트가 스텝(737)에서 결정된 대로 설정되지 않거나 또는 TIMEOUT 비트가 스텝(739)에서 결정된 대로 미리 설정되었다면, 다음에 작동은 오작동을 표시하는 JAM 비트를 설정하기 위해 스텝(740)으로 진행한다. 스텝(740)으로부터 또는 FLAGSLOT 비트가 스텝(738)에서 설정된 대로 결정되었다면, 작동은 위에서 기술된 스텝(735)으로 진행한다.
이제 도66을 참조하면, T121SR 인터럽트 조작 루틴의 작동을 예시하는 흐름도가 도시되어 있다. 일반적으로, T121SR 루틴은 각각의 스텝퍼 모터의 실제적인 스텝핑이 구동되게 한다. 작동은 STEPREG 레지스터가 VELOCITY 레지스터의 값에 의해 증대되는 스텝(750)에서 시작한다. 작동은 STEPREG 레지스터의 값이 STEPTHRESHOLD 값과 비교되는 스텝(752)으로 진행한다. STEPREG 레지스터의 값이 STEPTHRESHOLD 값보다 더 크거나 같다면, 다음에 펄스가 모터를 한 스텝씩 전진시키기 위해 스텝퍼 모터의 스텝 입력에 인가되어야 하는 것이 결정된다. 만일 그렇다면, 작동은 STEPREG 레지스터가 STEPTHRESHOLD 값에 의해 감소되는 스텝(754)으로 진행한다. 일반적으로, STEPREG 레지스터는 모터가 자주 펄스되는 것을 제어함으로써, 특별한 스텝퍼 모터의 속도가 제어되는 것을 결정하기 위한 에너지 값을 나타낸다. 작동은 펄스가 한 스텝씩 전진시키기 위해 스텝퍼 모터의 스텝 입력에 인가되는 스텝(756)으로 진행한다. 펄스가 TRAYMTRSTEP 또는 DOORMTRSTEP 신호에 인가되며, 그에 따라 특별한 스텝퍼 모터가 제어된다. 다음의 스텝(758)은 스텝퍼 모터가 한 스텝씩 전진된 것을 표시하는 STEPCOUNT 레지스터를 증대시킨다. 작동은 NEWSTEPCOUNT 비트가 설정되는 스텝(760)으로 진행한 다음, T12 인터럽트 요구 및 카운터 레지스터가 클리어되는 스텝(762)으로 진행한다. 다시 스텝(752)을 참조하면, STEPREG 레지스터가 STEPTHRESHOLD 값과 아직 같게 되지 않았다면, 작동은 즉시 스텝(760)으로 진행한다. 스텝(762)으로부터, 작동은 호출 루틴으로 복귀한다.
이제 도67을 참조하면, 특별한 스텝퍼 모터의 가속 또는 감속을 제어하기 위한 T31SR 루틴의 작동을 예시하는 흐름도가 도시되어 있다. 작동은 MOVEMOTOR 플래그가 스텝퍼 모터가 제어되고 있는지를 결정하기 위해 모니터되는 스텝(770)에서 시작한다. 스텝퍼 모터가 제어되고 있지 않다면, 작동은 속도가 일정한지 또는 변화(감속 또는 가속을 표시)되는 지를 결정하기 위해 모터의 제어 바이트의 CHANGE SPEED 비트가 체크되는 스텝(772)으로 진행한다. 속도가 일정하지 않다면, 작동은 ACCEL 비트가 스텝퍼 모터가 가속 또는 감속되는 지를 결정하기 위해 모니터되는 스텝(774)으로 진행한다. 스텝퍼 모터가 가속된다면, 작동은 VELOCITY 레지스터의 값이 END VELOCITY 값 마이너스 VELOCITYINC 값보다 더 크거나 같은 지가 결정되는 스텝(776)으로 진행한다. 이 스텝은 속도가 END VELOCITY 값의 이상으로 증대되지 않게 해준다. VELOCITY 레지스터의 값이 END VELOCITY 값 마이너스 VELOCITYINC 값보다 더 작다면, 작동은 VELOCITYINC 값에 의해 증대되는 스텝(778)으로 진행하며 작동은 아래에서 기술된 스텝(792)으로 진행한다.
스텝(776)을 다시 참조하면, VELOCITY 레지스터의 값이 END VELOCITY 값 마이너스 VELOCITYINC 값보다 더 크거나 같다면, 다음에 작동은 VELOCITY 레지스터가 END VELOCITY 값과 같게 설정되는 스텝(784)으로 진행한다. 작동은 다음에 스텝퍼 모터의 마지막 속도가 특별한 이동 세그먼트에 대해 성취된 이후에 CHANGE SPEED 비트가 클리어되는 스텝(786)으로 진행하며 작동은 스텝(792)으로 진행한다.
스텝(774)을 다시 참조하면, ACCEL 플래그가 클리어되어 스텝퍼 모터가 감속하는 것을 표시한다면, 작동은 VELOCITY 레지스터의 값이 END VELOCITY 값 플러스 VELOCITYINC 값보다 작거나 또는 같은 지가 결정되는 스텝(788)으로 진행한다. 여기서, 속도의 감소가 END VELOCITY 값에 의해 나타내는 최소속도 이하로 되는 것이 바람직한 지가 결정된다. 만일 그렇다면, 작동은 VELOCITY 레지스터가 END VELOCITY 값과 같게 설정되는 스텝(784)으로 진행한다. 그렇지 않다면, VELOCITY 레지스터는 스텝(790)의 VELOCITYINC 값에 의해 결정되어 작동이 스텝(792)으로 진행한다.
스텝(770)을 다시 참조하면, MOVEMTRENABLE 비트가 설정되지 않거나 또는 스텝(772)에서 CHANGESPEED 비트가 설정되지 않는 것이 결정된다면, 일정한 속도를 표시하며, 작동은 작동 시간이 측정되는 지를 표시하는 타임아웃 루틴이 가능한 지를 결정하기 위해 스텝(792)으로 진행한다. 항상, 타임아웃 루틴은, 모터가 작동되어 작동이 무한정 계속되는 것을 방지하도록 작동될 때 워치도그(watchdog)형 타이머로서 작동될 수 있다. 또한, 타임아웃 루틴은 예정된 기간이 경과했는 지를 결정하기 위해 사용될 수 있다. 타임아웃이 스텝(792)에서 결정된 대로 가능해 진다면, 작동은 타임아웃이 가능해 진 이후에 예정된 양의 시간이 경과한다면 TIMEOUT 비트를 설정하는 타임아웃 코드를 실행하기 위해 스텝(794)으로 진행한다. 다음에, 작동은 스텝(794)으로부터 스텝(780)으로 진행한다. 타임아웃이 스텝(792)에서 가능하지 않다면, 작동은 T3 인터럽트 요구가 클리어되고 작동이 호출 루틴으로 복귀하는 스텝(780)으로 직접 진행한다.
비록 본 발명의 방법 및 장치가 양호한 실시예에 관련하여 지금까지 설명되어 왔지만, 여기에 설명된 특별한 형태에 제한되는 것이 아니며, 첨부된 특허 청구의 범위에 의해 한정된 본 발명의 정신 및 범주 내에서 합리적으로 포함될 수 있는그러한 다른 모든 형태의 변형, 변경 등이 포함된다.
본 발명은 도킹 유닛을 제공함으로써, 하우징의 인터페이스를 청정 환경에서 유지시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 물품을 포함하는 하우징을 수용하고 하우징 내에 있는 동안 물품의 접근을 허용하도록 하우징을 조작하며, 상기 하우징은 물품을 지지하기 위한 내부 공간 및 도어를 포함하는 도킹 유닛에 있어서,
    포트 영역을 한정하는 벌크헤드 조립체와,
    하우징이 트레이 조립체 상에 있는 동안 상기 벌크헤드 조립체 내의 삽입된 접근 위치와 상기 벌크헤드 조립체에 인접한 초기 접근 위치와의 사이에서 하우징의 수평 이동을 허용하며 하우징을 수용하기 위해 상기 벌크헤드 조립체에 장착된 트레이 조립체와,
    하우징이 상기 초기 접근 위치에 있을 때 하우징의 도어를 인터페이스하고 하우징 도어를 개방 및 폐쇄하기 위해 상기 벌크헤드 조립체에 장착되며, 하우징의 내부는 하우징 도어가 개방될 때 상기 포트 영역과 유체 연통하는 도어 구동 조립체를 구비하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 트레이 조립체는 가이드 수단, 하우징을 수용 및 지지하며 상기 가이드 수단과 활주가능하게 결합하는 트레이, 상기 트레이와 작동 가능하게 결합된 구동 풀리 수단, 상기 구동 풀리 수단과 작동 가능하게 결합하는 기어 박스, 및 상기 초기 및 상기 삽입된 접근 위치 사이에서 하우징을 이동시키기 위한 상기 기어 박스에 작동 가능하게 결합된 트레이 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 트레이 조립체는 레일을 구비하는 상기 가이드 수단과 상기 레일과 구름 가능하게 결합하기 위해 상기 트레이에 장착된 베어링을 구비하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 도어 구동 조립체는 하우징의 도어를 인터페이스하기 위한 피봇 수단과, 하우징 도어를 피봇 가능하게 개방 및 폐쇄시키기 위해 상기 피봇 수단에 작동 가능하게 결합하는 도어 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  5. 제4항에 있어서, 상기 피봇 수단은 폐쇄 위치에 있을 때 상기 포트 영역을 둘러싸기 위해 상기 벌크헤드 조립체에 피봇 가능하게 연결된 입구 도어를 포함하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  6. 제4항에 있어서, 하우징은 하우징이 상기 초기 접근 위치에 있을 때 상기 피봇 수단과 작동 가능하게 결합하는 하우징 도어에 연결된 도어 액추에이터 조립체를 포함하며, 상기 도어 구동 조립체는 하우징 도어를 개방 및 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  7. 제1항에 있어서, 하우징은 하우징 도어를 로크하기 위한 래치를 포함하며, 상기 도킹 유닛은 상기 초기 접근 위치에 있는 동안 하우징 도어를 로크 및 로크 해제하기 위해 하우징의 래치에 작동 가능하게 결합하며 상기 트레이 조립체에 장착된 캠 종동체 조립체와, 상기 캠 종동체 조립체와 작동 가능하게 결합하며 상기 벌크헤드 조립체에 장착된 캠 조립체를 구비하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
  8. 제1항에 있어서, 하우징은 하우징 내에 물품의 정보를 저장하기 위해 하우징에 장착된 메모리 장치를 포함하며, 상기 도킹 유닛은 하우징이 상기 트레이 조립체 상에 배치될 때 상기 메모리 장치와 전기적으로 인터페이스하기 위해 상기 트레이 조립체에 장착된 통신 링크, 및 상기 통신 링크에 전기적으로 결합된 처리 시스템을 더 구비하며, 상기 처리 시스템은 상기 트레이 조립체 상에 있을 때 상기 메모리 장치와 하우징의 존재를 검출하며, 상기 처리 시스템은 그후 상기 메모리 장치로부터 상기 저장된 정보를 검색하는 것을 특징으로 하는 도킹 유닛.
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