KR100382343B1 - 스핀 드라이어 - Google Patents

스핀 드라이어 Download PDF

Info

Publication number
KR100382343B1
KR100382343B1 KR10-2001-0011355A KR20010011355A KR100382343B1 KR 100382343 B1 KR100382343 B1 KR 100382343B1 KR 20010011355 A KR20010011355 A KR 20010011355A KR 100382343 B1 KR100382343 B1 KR 100382343B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
drive shaft
frame
clean gas
rotating
Prior art date
Application number
KR10-2001-0011355A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20020071292A (ko
Inventor
장인석
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR10-2001-0011355A priority Critical patent/KR100382343B1/ko
Publication of KR20020071292A publication Critical patent/KR20020071292A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100382343B1 publication Critical patent/KR100382343B1/ko

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/005Treatment of dryer exhaust gases

Abstract

본 발명의 스핀 드라이어는 플랫 판넬 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 FPD라 함)용 글래스가 안착되는 회전판을 회전시키는 구동축과, 상기 구동축을 회전 구동시키는 모터의 회전축을 동일축 선상으로 연결하고, 상기 구동축이 프레임에 의해 지지되도록 하여 회전판 및 글래스의 요동을 막고, 그로 인해 고정도의 건조가 가능한 효과가 있다.
또한, 상기 프레임의 일측에 이물질흡입로를 형성하고 상기 이물질흡입로 내측을 진공상태로 하여 구동축과 프레임 사이에서 발생된 분진 등의 이물질을 외부로 배출시킴에 따라, 구동축과 프레임 사이에서 발생된 분진 등의 이물질이 상기 글래스로 유입되는 것을 막고, 그로 인해 글래스의 물기를 청결하게 분리할 수 있는 이점이 있다.

Description

스핀 드라이어{A spin dryer}
본 발명은 플랫 판넬 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 FPD라 함)용 글래스의 세정 후 잔존하는 물기를 원심력에 의해 제거하는 스핀 드라이어(Spin Dryer)에 관한 것으로서, 특히 구동력을 발생하는 모터의 축과 글래스를 회전시키는 구동축이 동일축 선상에 연결된 스핀 드라이어에 관한 것이다.
일반적으로 FPD의 제조 공정 중 글래스 세정은 오염물질을 제거하고 불량률을 낮추기 위해 각 공정의 전, 후에 필수적으로 거쳐야 하는 과정이다.
종래의 FPD용 글래스의 건조는 열풍에 의한 건조방법과, 미세한 틈새에 고속으로 공기를 불어내어 건조시키는 에어 나이프(Air Knife)를 이용한 건조방법이 있으나, 열풍에 의한 건조는 글래스 표면에 얼룩을 남길 우려가 있고, 에어 나이프를 이용한 건조방법은 기구적으로 간단하고 가격이 저렴하다는 장점이 있으나 미세한 부분까지 건조하기 어렵다는 단점이 있다.
따라서, 고정도의 건조를 요하는 부분에는 고속으로 글래스를 회전시켜 글래스 표면의 물기를 원심력으로 제거하는 스핀 드라이어가 필요하다.
도 1은 일반적인 스핀 드라이어의 주요부 구성을 나타낸 단면도로서, 크게 케이스(1)와, 글래스를 올려놓고 회전시키면서 글래스 표면의 물기를 제거하는 구동장치(10)와, 상기 글래스의 상면과 하면에등의 청정가스를 공급하여 글래스의 건조도를 향상시키는 청정가스 공급수단(30), 상기 글래스에서 원심력에 의해이탈된 물기와 상기 글래스의 상면 또는 하면에 분사된 청정가스를 외부로 배출하는 배기/배수부(3)와, 상기 구동장치 및 청정가스 공급수단(30)의 작동을 제어하는 조작부(5)로 구성된다.
도 2는 종래 기술에 따른 스핀 드라이어의 주요부 구성을 나타낸 단면도이다.
상기 구동장치(10)은 상기 글래스(12)가 안착되어 지지되는 회전판(14)과, 상기 회전판(14)의 하측에 배치되어 상기 회전판(14) 및 글래스(12)를 회전시키는 원통모양의 구동축(16)과, 상기 구동축(16) 내측에 상기 구동축(16)과 일정 간격을 두고 설치된 고정축(18)과, 상기 구동축(16)의 옆에 배치되어 상기 구동축(16)에 회전력을 제공하는 모터(20)와, 상기 모터(20)의 축(22)과 상기 구동축(16)의 외둘레를 감아 모터(20)의 구동력을 상기 구동축(16)에 전달하는 타이밍 벨트(24)로 구성된다.
상기 청정가스 공급수단(30)은 상기 글래스 상면에 청정가스를 불어주도록 상기 글래스(12) 상측에 배치되는 상면용 분사구(32)와, 상기 글래스(12)의 하면에 청정가스를 불어주도록 상기 고정축(18)의 내측에 축방향으로 형성된 하면용 분사홀(34)과, 상기 상면용 분사구(32)와 하면용 분사홀부(34)에 청정가스를 공급하는 청정가스 공급기(미도시)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 스핀 드라이어는 글래스(12)를 회전판(14) 위에 올려놓은 후, 상기 조작부(5)를 운전조작하면 상기 모터(20)는 구동되고, 상기 모터(20)의 구동력이 상기 타이밍 벨트(24) 및 구동축(16)에 의해 상기 회전판(14)및 글래스(12)에 전달되고, 상기 글래스(12) 표면의 물기는 원심력에 의해 분리되어 상기 배기/배수부(3)를 통해 외부로 배출된다.
이때, 상기 상면용 분사구(32)와 고정축(18)의 하면용 분사홀(34)을 통해 청정가스가 상기 글래스(12)의 상면과 하면 각각에 불어져 글래스(12)의 건조도를 향상시킨다.
그러나, 종래의 스핀 드라이어는 글래스(12) 하면에 청정가스를 글래스(12) 하면에 불어주기 위해 하면용 분사홀(34)이 형성된 고정축(18)을 상기 구동축(16) 내측에 배치시켜 하측에서 청정가스가 공급되도록 하고, 상기 구동축(16)을 회전시키기 위해 상기 구동축(16)에 타이밍 벨트(24)로 연결되는 모터(20)를 상기 구동축(16)의 옆에 배치되는 구조로 되고, 이러한 구조는 상기 고정축(18)과 구동축(16)이 각각 필요함과 아울러, 상기 고정축(18)과 구동축(16) 사이에서 발생되는 분진 등의 이물질로 인하여 글래스(12)가 오염될 가능성이 있고, 기구적으로 복잡해진다.
또한, 모터(20)의 축(22)과 구동축(16)이 일정 간격을 두고 설치되어 있어 정확한 축 중심 정렬이 어렵고, 이로 인해 고속 회전시 회전판(14)의 요동이 발생할 수 있으며, 상기 타이밍 벨트(24)의 마모로 인해 먼지가 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,글래스의 회전중심과 모터 축의 회전중심을 일치시켜 회전판의 요동을 막고, 그로 인해 고정도의 건조가 가능한 스핀 드라이어를 제공하는 데 그 목적이 있다.
그리고, 본 발명의 또 다른 목적은 종래의 모터의 구동을 전달하기 위한 타이밍 벨트의 마모로 인한 먼지 발생을 없애고, 장치 내에서 발생된 이물질을 외부로 배출시켜 글래스의 오염을 방지하는 것이다.
도 1은 일반적인 스핀 드라이어의 전체 구성도,
도 2는 종래 기술에 따른 스핀 드라이어의 주요부 구성을 나타낸 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 스핀 드라이어의 주요부 구성을 나타낸 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 글래스가 회전판에 안착 지지된 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 구동축의 기둥부 일부 구성을 나타낸 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
52: 글래스 60: 회전판
70: 구동축 90: 모터
92: 회전축 96: 커플링
100: 프레임 110,112: 베어링
119: 이물질 흡입로 120: 하측 유입로
122: 프레임 연통로 126: 수평 연통로
130: 수직 연통로 134: 필터
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 스핀 드라이어는 FPD용 글래스가 안착 지지도는 회전판과, 상기 회전판을 회전시키는 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 구동력을 발생하고 회전축이 상기 구동축의 하단에 일직선상으로 연결된 모터와, 상기 모터를 지지함과 아울러 상기 구동축을 둘러싸면서 상기 구동축을 회전 가능하게 지지하는 프레임으로 이루어진 구동장치와; 상기 글래스의 하면에 청정가스를 불어줄 수 있도록 상기 프레임에서 상기 구동축의 측면을 지나 상면으로 통하는 하측 유입로와, 상기 글래스의 상면에 청정가스를 불어 줄 수 있도록 상기 회전판의 상측에 배치되는 상측 유입구와, 상기 하측 유입로 및 상측 유입구에 청정가스를 공급하는 청정가스 공급기로 이루어진 청정가스 공급수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 스핀 드라이어의 주요부 구성을 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 글래스가 회전판에 안착 지지된 상태를 나타낸 사시도이며,도 5는 본 발명에 따른 구동축의 기둥부 일부구성은 나타낸 사시도이다.
본 발명에 의한 스핀 드라이어는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 외관을 형성하는 케이스(미도시)와; FPD용 글래스(52)가 안착 지지되는 회전판(60)과, 상기 회전판(60)을 회전시키는 구동축(70)과, 상기 구동축(70)을 회전시키는 구동력을 발생하고 회전축(92)이 상기 구동축(70)의 하단에 일직선상으로 연결된 모터(90)와, 상기 모터(90)를 지지함과 아울러 사익 구동축(70)을 둘러싸면서 상기 구동축(70)을 회전 가능하게 지지하는 프레임(100)으로 이루어진 구동장치와; 상기 글래스(52)의 하면에등의 청정가스를 불어줄 수 있도록 상기 프레임(100)에서 상기 구동축(70)의 측면을 지나 상면으로 통하는 하측 유입로(120)와, 상기 글래스(52)의 상면에 청정가스를 불어 줄 수 있도록 상기 회전판(60)의 상측에 배치되는 상측 유입구(140)와, 상기 하측 유입로(120) 및 상측 유입구(140)에 청정가스를 공급하는 청정가스 공급기(미도시)와, 상기 글래스(52)에서 원심력에 의해 이탈된 물기와 상기 글래스(52)의 상면 또는 하면에 분사된 청정가스를 외부로 배출하는 배기/배수부(미도시)와, 상기 구동장치 및 청정가스 공급기의 작동을 제어하는 조작부(미도시)로 구성된다.
상기 회전판(60)에는 상기 글래스(52)의 가장자리가 안착되어 지지될 수 있도록 복수개의 지지핀(63)이 일정간격으로 고정 설치된다.
상기 구동축(70)은 상기 회전판(60)의 하측에 배치되고 상단이 상기 회전판(60)에 형성된 홀(61) 내측에 배치되는 기둥부(72)와, 상기 기둥부(72)의 상측에 배치되고 중앙에 청정가스 분사구(78)가 형성된 원판부(76)으로 구성된다.
상기 기둥부(72)의 상측 외둘레에는 중앙에 상기 기둥부(72)의 상부가 관통하는 홀(82)이 형성되고, 상기 회전판(60)과 원판부(76)가 볼트(84,86)에 의해 결합되어 상기 구동축(70) 및 회전판(60)과 일체로 회전되는 회전체(80)가 배치된다.
상기 구동축(70)의 하단과 상기 모터(90)의 회전축(92)는 커플링(96)에 의해 연결된다.
상기 프레임(100)은 상기 모터(90)의 회전축(92)이 하측에서 관통될 수 있도록 관통홀(104)이 형성되어 상기 모터(90)를 지지하는 베이스(102)와, 상기 베이스(102)의 상면 가장자리에 볼트(107)에 의해 고정 배치되고 중앙에 상기 구동축을 둘러싸는 관통홀부(108)가 형성되며 상기 관통홀부(108)과 구동축(70)과의 사이에 베어링(110,112)이 설치되어 구동축(70)을 회전 가능하게 지지하는 지지체(106)와, 상기 지지체(106)의 상측에 볼트(115)에 의해 고정 배치되고 중앙에 상기 구동축(70)이 관통되는 관통홀부(118a)가 형성된 하부 원판체(114)와, 상기 하부 원판체(114)의 상부에 볼트(117)에 의해 고정 배치되고 중앙에 상기 구동축(70)이 관통되는 관통홀(118a)이 형성된 상부 원판체(118)로 구성된다.
상기 지지체(106)의 관통홀부(108) 상부에는 상기 베어링(110)이 안착될 수 있도록 원통형 홈(108a)이 형성되어 상측 베어링(110)이 상기 원통형 홈(108a)에 안착 지지되고, 상기 지지체의 관통홀부(108)의 하부에는 하측 베어링(112)이 배치될 수 있도록 원통형 홈(108b)이 형성되어 하측 베어링(112)이 상기 원통형 홈(108b)에 배치되며, 상기 지지체(106)의 하측에는 상기 하측 베어링(112)을 지지하는 돌출부(113a)가 상향 형성되고 상기 하측 베어링(112)과의 사이에오일실(113b)을 고정하는 커버부재(113)가 상기 지지체의 저면에 볼트(11)에 의해 고정된다.
상기 하부 원판체(114)의 관통홀부(116) 상부와 하부 각각에는 원통형 홈(116a)이 형성되어 오일실(116b)을 배치한다.
상기 상부 원판체(118)에는 상기 프레임(100)과 상기 기둥부(72) 사이의 분진 등 이물질은 흡입하여 프레임(100) 외측으로 배출할 수 있도록 상기 상부 원판체(118)의 관통홀부(118a)와 외측을 통하는 이물질흡입로(119)가 형성되고, 상기 이물질 흡입로(119)에는 이물질을 진공에 의해 흡입하는 진공발생기(미도시)가 호스(119a)로 연결된다.
상기 하측 유입로(120)는 상기 청정가스 공급기와 호스(112a)로 연결되어 상기 하부 원판체(114)의 내측 관통홀부(116)로 통하는 'ㄱ'자 모양의 프레임 연통로(122)와, 상기 프레임 연통로(122)와 통하도록 상기 기둥부(72)의 중앙에서 외측을 향해 도 5에 도시된 바와 같이, 방사형으로 형성된 복수개의 수평 연통로(126)와, 상기 수평 연통로(126)의 중앙에서 상기 기둥부(72)를 지나 원판부(76)의 상면으로 통하는 수직 연통로(130)로 구성된다.
상기 수직 연통로(130)는 일측에 확장부(132)가 형성되고, 상기 확장부(132)에는 상기 청정가스에 혼재된 이물질이 걸러질 수 있도록 필터(134)의 배치를 위해 필터 안착구(미도시)가 형성된다.
상기 상측 유입구(140)는 상기 구동장치의 옆에 설치된 암(150)의 끝단에 고정 배치되고, 상기 암(150)은 암구동부(미도시)에 의해 구동되어 상기 글래스(52)의 회전시 상기 상측 유입구(140)를 상기 글래스(52)의 중심 상측으로 이동시키고, 상기 글래스(52)의 회전이 완료되면 상기 구동장치의 옆으로 이동되어 물기가 분리된 글래스(52)의 꺼냄과 새로운 글래스(미도시)의 안착을 돕는다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 사용자가 상기 글래스(52)를 상기 지지핀(63) 내측에 올려 놓고, 상기 조작부를 온 작동시키면, 상기 모터(90)는 구동되어 상기 구동축(70)과 회전체(80)과 회전판(60)과 글래스(52)를 회전시킨다.
이때, 상기 모터(90)의 회전축(92)과 구동축(70)은 상기 커플링(96)에 의해 일직선상으로 연결되고, 상기 구동축(70)은 상기 지지체(106)와의 사이에 설치된 베어링(110,112)에 의해 지지되면서 원활하게 회전되어, 상기 글래스(52)의 물기를 원심력에 의해 고정도로 건조시킨다.
이와 함께, 상기 청정가스 공급기에서는 상기 상측 유입구(140) 및 하측 유입로(120)로 청정가스를 공급하고, 이러한 청정가스는 상기 글래스(52)의 상면과 하면에 불어지게 되어 글래스(52)의 건조도를 향상시킨다.
이를 좀더 자세히 설명하면, 청정가스 공급기에서 공급된등의 청정가스는 일부가 상기 상측 유입구(140)를 통해 글래스(52)의 상면으로 공급되어 글래스(52) 상면의 건조도를 향상시킨다. 상기 청정가스 공급기에서 상기 상측 유입구(140)로 유입되지 않는 나머지는 상기 호스(112a)를 통해 프레임 연통로(122)로 유입되고, 상기 모터(90)의 구동에 의해 회전 중인 구동축(70)의 수평 연통로(126)를 통해 구동축(70)의 기둥부(72) 내측 중앙으로 유입되며, 상기 수직연통로(126)와 필터(134)와 상기 원판부(76)의 청정가스 분사구(78)을 통해 상기 글래스(52)의 하면으로 유입되어 글래스(52) 하면의 건조도를 향상시킨다.
여기서, 상기 프레임 연통로(122)에서 수평 연통로(126)로 유입되는 과정은 상기 구동축(70)이 회전됨에 따라 상기 수평 연통로(126)는 일정 간격으로 상기 프레임 연통로(122)와 통하게 되고, 상기 구동축(70)이 빠르게 회전되어 상기 수평 연통로(126) 내측으로는 지속적인 청정가스 공급이 가능하게 된다.
그리고, 상기 하측 유입로(120)로 유입된 청정가스는 상기 수직 연통로(130)에 설치된 상기 필터(134)를 통과하면서 청정가스 내의 이물질이 걸러지고, 상기 청정가스 분사구(78)를 통해 상기 글래스(52)의 하면에 분사되므로, 상기 글래스(52)의 하면의 물기 또는 기타 먼지 등을 청결하게 제거하게 된다.
그리고, 상기 진공발생기는 상기 이물질흡입로(119) 내측을 통해 상기 구동축(70)과 프레임(100) 사이에서 발생된 분진 등의 이물질을 흡입하여 외부로 배출하여, 상기 글래스(52)의 하면측으로 이물질이 유입되는 것을 막는다.
한편, 상기 글래스(52)의 상면과 하면에서 원심력에 의해 분리된 물기와, 상기 상측 유입구(140)를 통해 상기 글래스(52)의 상면으로 분사된 청정가스와, 상기 하측 유입로(120)를 통해 상기 글래스(52)의 하면으로 분사된 청정가스는 상기 배기/배수부를 통해 외부로 배출된다.
여기서, 본 실시예에서는 하나의 청정가스 공급기에서 공급된 청정가스가 상기 상측 유입구(140)와 하측 유입로(120)를 통해 글래스(52)의 상면과 하면으로 분사되지만, 상기 상측 유입구(140)와 하측 유입로(120)로 공급되는 청정가스를 별도의 청정가스 공급기(미도시)에서 각각 공급되도록 하는 것도 가능할 것이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 스핀 드라이어는 글래스가 안착되는 회전판을 회전시키는 구동축과, 상기 구동축을 회전 구동시키는 모터의 축을 커플링에 의해 일직선상으로 연결하고, 상기 구동축이 구동축 외측의 프레임에 의해 지지되도록 하여 회전판 및 글래스의 요동을 막고, 그로 인해 고정도의 건조가 가능한 효과가 있다.
그리고, 본 발명의 스핀 드라이어는 청정가스 공급기에서 공급된 청정가스를 상측 유입구와 하측 유입로를 통해 상기 글래스의 상면과 하면에 적절하게 공급함에 따라 글래스의 건조도를 향상시킬 수 있고, 상기 하측 유입로를 통하는 청정가스를 필터로 걸러준 후 글래스의 하면으로 분사함에 따라 글래스의 하면에 묻은 이물질 등을 청결하게 제거할 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기 프레임의 일측에 이물질흡입로를 형성하고 상기 이물질흡입로 내측을 진공상태로 하여 구동축과 프레임 사이에서 발생된 분진 등의 이물질을 외부로 배출시킴에 따라, 구동축과 프레임 사이에서 발생된 분진 등의 이물질이 상기 글래스로 유입되는 것을 막고, 그로 인해 글래스의 물기를 청결하게 분리할 수 있는 이점이 있다.

Claims (7)

  1. FPD용 글래스가 안착 지지되는 회전판과, 상기 회전판을 회전시키는 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 구동력을 발생하고 회전축이 상기 구동축의 하단에 일직선상으로 연결된 모터와, 상기 모터를 지지함과 아울러 상기 구동축을 둘러싸면서 상기 구동축을 회전 가능하게 지지하는 프레임으로 이루어진 구동장치와; 상기 글래스의 하면에 청정가스를 불어줄 수 있도록 상기 프레임에서 상기 구동축의 측면을 지나 상면으로 통하는 하측 유입로와, 상기 글래스의 상면에 청정가스를 불어 줄 수 있도록 상기 회전판의 상측에 배치되는 상측 유입구와, 상기 하측 유입로 및 상측 유입구에 청정가스를 공급하는 청정가스 공급기로 이루어진 청정가스 공급수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동축은 상기 회전판의 하측에 배치되고 상단이 상기 회전판에 형성된 홀 내측에 배치되는 기둥부와, 상기 기둥부의 상측에 배치되고 중앙에 청정가스 분사구가 형성된 원판부로 구성된 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기둥부의 상측 외둘레에는 중앙에 상기 기둥부의 상부가 관통하는 홀이 형성되고, 상기 회전판과 원판부가 볼트에 의해 결합되어 상기 구동축 및 회전판과일체로 회전되는 회전체가 배치된 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동축의 하단과 상기 모터의 회전축는 커플링에 의해 연결된 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 스핀 드라이어는 상기 프레임 내측의 이물질을 흡입하여 프레임 외측으로 배출할 수 있도록 상기 프레임의 내측과 외측을 통하는 이물질 흡입로와, 상기 이물질흡입로에 호스로 연결되어 진공에 의해 이물질을 흡입하도록 상기 프레임 외측에 설치된 진공발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하측 유입로는 상기 청정가스 공급기와 호스로 연결되어 상기 프레임의 내측으로 통하는 프레임 연통로와, 상기 프레임 연통로와 통하도록 상기 구동축의 기둥부 중앙에서 외측을 향해 방사형으로 형성된 복수개의 수평 연통로와, 상기 수평 연통로의 중앙에서 구동축의 상면으로 통하는 수직 연통로로 구성된 것을 특징으로 하는 스핀 드라이어.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 수직 연통로는 일측에 확장부가 형성되고, 상기 확장부에는 상기 청정가스에 혼재된 이물질이 걸러질 수 있도록 필터의 배치를 위해 필터 안착구가 형성된 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 스핀 드라이어.
KR10-2001-0011355A 2001-03-06 2001-03-06 스핀 드라이어 KR100382343B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0011355A KR100382343B1 (ko) 2001-03-06 2001-03-06 스핀 드라이어

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0011355A KR100382343B1 (ko) 2001-03-06 2001-03-06 스핀 드라이어

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020071292A KR20020071292A (ko) 2002-09-12
KR100382343B1 true KR100382343B1 (ko) 2003-05-09

Family

ID=27696462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0011355A KR100382343B1 (ko) 2001-03-06 2001-03-06 스핀 드라이어

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100382343B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115164536B (zh) * 2022-06-09 2023-09-26 安徽宏远机械制造有限公司 一种机械加工沥水装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5745233A (en) * 1980-08-30 1982-03-15 Konishiroku Photo Ind Co Ltd Cleaning and drying device for spinner
JPS6032324A (ja) * 1983-08-02 1985-02-19 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハ乾燥装置
JPS62172729A (ja) * 1986-01-24 1987-07-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd スピン乾燥装置
JPH0283927A (ja) * 1988-09-21 1990-03-26 Shibaura Eng Works Co Ltd ガラス基板の乾燥装置
JPH11176795A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2000021841A (ja) * 1998-07-03 2000-01-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法及び基板処理装置
JP2000040687A (ja) * 1998-07-23 2000-02-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板乾燥装置
JP2000105076A (ja) * 1998-09-30 2000-04-11 Shibaura Mechatronics Corp スピン処理装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5745233A (en) * 1980-08-30 1982-03-15 Konishiroku Photo Ind Co Ltd Cleaning and drying device for spinner
JPS6032324A (ja) * 1983-08-02 1985-02-19 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハ乾燥装置
JPS62172729A (ja) * 1986-01-24 1987-07-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd スピン乾燥装置
JPH0283927A (ja) * 1988-09-21 1990-03-26 Shibaura Eng Works Co Ltd ガラス基板の乾燥装置
JPH11176795A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法および基板処理装置
JP2000021841A (ja) * 1998-07-03 2000-01-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法及び基板処理装置
JP2000040687A (ja) * 1998-07-23 2000-02-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板乾燥装置
JP2000105076A (ja) * 1998-09-30 2000-04-11 Shibaura Mechatronics Corp スピン処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020071292A (ko) 2002-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3556043B2 (ja) 基板乾燥装置
CN101060069B (zh) 液体处理装置
US8479753B2 (en) Liquid processing apparatus and method
KR970077082A (ko) 기판처리장치 및 처리방법
KR20150010630A (ko) 스피너 세정 장치
JP7365160B2 (ja) スピナー乾燥装置
KR20080028872A (ko) 원심분리 탈수장치
KR101377196B1 (ko) 액처리 장치
CN1459337A (zh) 具有可拆腔体的生物细胞清洗离心机
KR100382343B1 (ko) 스핀 드라이어
JP3171965B2 (ja) スピン洗浄乾燥装置
JP2003163147A (ja) 基板液処理装置
KR101953741B1 (ko) 웨이퍼 세정장치 및 이를 이용한 웨이퍼 세정방법
JP4593713B2 (ja) スピン処理装置
JP2007214459A (ja) 基板の洗浄装置
KR100408114B1 (ko) 기판처리장치
JP4544730B2 (ja) ウエハー洗浄装置
JP3946026B2 (ja) スピン処理装置
JPH09167747A (ja) 基板処理装置
JP2001276714A (ja) スピン処理装置
JP2645150B2 (ja) 洗浄装置
JP2000105076A (ja) スピン処理装置
KR20120003070U (ko) 유체의 배출이 용이한 부품세척기
KR100886366B1 (ko) 소형 바이오 칩 세정 및 건조용 마이크로 스핀 프로세서장치
JP2000286219A (ja) スピン処理装置およびスピン処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070329

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee