JP4544730B2 - ウエハー洗浄装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、シリコンウエハー等(以下、単にウエハーという)表面を薬品等で処理及び/又は洗浄する場合に使用するウエハー洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ウエハーの表面を薬品等で処理及び/又は洗浄するウエハー洗浄装置として、テーブルの上面に吸着固定されて高速回転されるウエハーの上面に、薬液ノズルにより薬液を吐液して所定の処理をした後、ウエハーの裏面外周部に付着している薬液の残部を洗い落とすために、ウエハーの下方に配置された空気又は窒素等の気体と水との共用ノズルを用いて、気体、水を別々に吹き付けるように構成したものが知られている。この際、共用ノズルに供給される気体と水は、テーブルを回転させる回転軸の中を通る構造になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記ウエハー洗浄装置においては、解決すべき以下の問題があった。ウエハーの裏面外周部に付着している残液の水滴等に水を吹き付けてウエハーの表面に付着した残液の薄い膜を洗い落とし、さらに、もう一度気体を、この部分に付着した水滴に吹き付けてこれを除去(必要によっては、この部分を乾燥する)するために、気体と水との共用ノズルを使用しているので、ウエハーの下面に水分(水滴)が残留することがあった。また、共用ノズルに供給される気体と水は回転軸の中を通る構造となっているので、気体及び水の回転シール部が複雑な構造を必要とした。
【0004】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、ウエハーの裏面外周部に付着する残液を完全に除去するための品質向上と装置の簡素化が図れるウエハー洗浄装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係るウエハー洗浄装置は、軸心を合わせて載置された実質的に円板状のウエハーを吸着支持して回転駆動可能なテーブルを上部に備えるウエハー支持機構と、テーブルに載置されるウエハーの外径よりその内側径が大きく、ウエハーを洗浄後の薬液を回収する環状液回収槽と、テーブルに対して環状液回収槽を上下動する昇降手段とを有するウエハー洗浄装置において、ウエハーの外径よりテーブルの外径を小さくし、しかも、テーブルの外周部に、載置されたウエハーの底面に純水を吹き付ける液ノズルと、ウエハーの底面に気体を吹き付けるガスノズルを、半径方向外側から内側に順次配置し、環状液回収槽の外側には環状液回収槽全体を収納する固定容器が設けられていると共に、環状液回収槽の底部に設けられている環状の底板の下面には、下方に開く円錐台で筒状のバッフルが設けられ、昇降手段によって、環状液回収槽を上昇させ、バッフルの高さ方向の中間位置にウエハーの高さ位置を調整し、液ノズルからウエハーに吹き付けられた純水を、バッフルに衝突させて固定容器の底部に落下させている。これによって、ウエハーの底面に付着した洗浄後の薬液に純水を吹き付けて洗い流し、その後、付着した純水に内側から外側に向けて気体を吹き付けることができる。また、ウエハーの底面に吹き付けられた純水及び気体を固定容器に回収できる。
【0006】
本発明に係るウエハー洗浄装置において、ウエハーの外縁と環状液回収槽の内縁との隙間は1〜10mmの範囲にあり、ガスノズルから吹き付けられる気体は空気又は窒素からなるようにしてもよい。これによって、隙間は1〜10mmとしているので、ウエハーを洗浄する薬液又はウエハーを洗浄した後の薬液と純水との混合を極力回避することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。図1は本発明の一実施の形態に係るウエハー洗浄装置の全体構成図、図2(A)、(B)はそれぞれ、液ノズル及びガスノズルの配置図、液ノズル及びノズルヘッダーの平面図、図3(A)、(B)はそれぞれ、ガスノズルの平面図、ガスノズルの分解図である。
【0008】
図1に示すように、本発明の一実施の形態に係るウエハー洗浄装置10は、軸心を合わせて載置された実質的に円板状のウエハー11を吸着、支持して回転駆動可能な上下方向に固定状態のテーブル12を上部に備えるウエハー支持機構13と、テーブル12に載置されるウエハー11の外径Dより少しの範囲でその内側径dが大きく、ウエハー11を洗浄後の液を回収する環状液回収槽14と、固定されたテーブル12に対して環状液回収槽14を相対的に上下動する昇降手段15とを有して構成されている。以下、図を参照しながら詳細に説明する。
【0009】
図1及び図2に示すように、ウエハー支持機構13は、例えば、移動台車上の固定架台16に設けられおり、同じ移動台車上に設けられたロボットの先端に取付けられた吸着式のマジックハンド17によってウエハー11が載置されるテーブル12を備えている。図2に詳細に示すように、テーブルの外径Wはウエハー11の外径Dより小さく、テーブル12の上部には吸着用のOリング18が設けられており、Oリング18の内側の上面には複数の吸着用の吸気孔(図示せず)が形成されて、該吸気孔はテーブル12を回転する回転軸19内に形成された吸気孔とロータリージョイント20を介して吸気手段21に接続されている。なお、必要に応じて、Oリング18を省略する場合もある。
【0010】
図1及び図2に示すように、回転軸19は固定架台16に設けられたベアリングボックス22を垂直方向に挿通し、かつベアリングボックス22に回転支持されて設けられており、ロータリージョイント20の上方には回転駆動用のベルトホイール23が取付けられている。ベルトホイール23には固定架台16に固定された駆動モータ(図示せず)の出力軸に設けられたベルトホイールとの間に無端ベルトが掛けられており、駆動モータを駆動してテーブル12を回転するようになっている。
【0011】
図1及び図2に示すように、ベアリングボックス22の上部近傍には、ウエハー11の外周部に付着している薬液の残部に、液体の一例である純水を吹き付ける2個の液ノズル24、25がリング状のノズルヘッダー26の上部に取付けられており、ノズルヘッダー26は対向して配置された2個の取付けブラケット27、28を介してベアリングボックス22の上部に取付けられている。図2(A)、(B)に詳細に示すように、2個の液ノズル24、25は中心Oに対して対向して設けられ、また取付けブラケット27、28は2個の液ノズル24、25に対して90°位相をずらして中心Oに対して対向して設けられている。液ノズル24、25はウエハー11の底面11aに対して半径方向外側に向かって傾斜した噴射部29、30と、噴射部29、30と同じ傾きで噴射部29、30に接続して下側に沿って内側に傾斜した傾斜部31、32と、傾斜部31、32に接続してノズルヘッダー26の上面部に連通して略垂直方向に取付けられた取付け部33、34とから構成されている。
【0012】
図2に示すように、取付けブラケット27、28の上部には、図示はされていないが、ウエハー11の底面11aに気体の一例である空気を吹き付けるガスノズル35が取付けられている。図2(A)及び図3(A)に示すように、ガスノズル35はリング状に形成されており、ノズルヘッダー26と同心円状に配置されている。取付けブラケット27、28の上部に固定されるガスノズル35は、図3(A)、(B)に示すように、底部の周方向に等ピッチで形成された4個の空気供給口36を備え断面が略U字状の固定リング37と、固定リング37に被さって周方向に等ピッチで8本のボルト38により固定リング37に固定され、断面が略L字状の蓋リング39とで構成されている。図3(B)に示すように、ガスノズル35は固定リング37の内側に対向して取付けられた取付け座40、41を介して取付けブラケット27、28に取付けられている。
【0013】
図3(B)に示すように、蓋リング39が固定リング37に固定された状態(蓋リング39の外周先端部42を一点鎖線で示す)では、蓋リング39の外周先端部42に形成された外側に約45°の角度で上昇する傾斜面43と、傾斜面43に対向する固定リング37の外周先端部44に形成された外側に約45°の角度で上昇する傾斜面45との間に環状で、上に向いて外側に約45°傾斜した隙間Gが形成されるようになっている。同時に、蓋リング39及び固定リング37によって、断面が略矩形でリング状のヘッダー部46も形成される。従って、圧縮空気の供給源に接続された4個の空気供給口36から供給された空気は、ヘッダー部46で均一にされた後、リング状の隙間Gからウエハー11の底面11aに吹き付けられる。このように、テーブル12の外周部の周囲には、ウエハー11の底面11aに純水を吹き付ける2個の液ノズル24、25と、ウエハー11の底面11aに環状に空気を吹き付けるガスノズル35を、半径方向外側から内側に順次配置している。
【0014】
図1に示すように、環状液回収槽14はチャンバー47を備えており、チャンバー47によって、ウエハー11の上面11bを薬液で処理した後の液を回収している。環状液回収槽14の底部の環状の底板54上には、環状で外側に向かって下に僅かに傾斜した排水ガイド板48が設けられている。チャンバー47の上方には環状天井部材50が設けられており、底板54の下面には、外形が円錐台で筒状のバッフル49が一体的に設けられている。バッフル49は純水を吹き付ける際に、飛散する使用済みの水が上方のチャンバー47内に入らないようにしている。なお、使用済みの純水は固定された固定容器60内に回収される。洗浄後の薬液と洗浄後の純水が外に飛散したり又は混じり合わないように、環状天井部材50、排水ガイド板48の内縁51、52と、ウエハー11の外縁53との隙間は1〜10mmの範囲に設定してある。
【0015】
図1に示すように、昇降手段15は、先端部が環状液回収槽14の底板54の外周部を等ピッチで掛止して固定する4本のL字状の掛止部材55と、掛止部材55の基端部に昇降ロッド56の先端部が連結され、固定架台16に平面視して矩形状に配置、固定された4台のスクリュージャッキ57とを有している。スクリュージャッキ57はカップリング58を介して昇降モータ(図示せず)、又は隣のスクリュージャッキ57に昇降モータの回転力を伝達する同期軸(図示せず)に連結されている。従って、昇降モータを駆動することによって環状液回収槽14を上下に移動することができる。
【0016】
環状液回収槽14の外側には、掛止部材55の垂直部59を囲んで環状液回収槽14全体を収納する固定容器60が設けられており、固定容器60は固定架台16に固定、支持されている。固定容器60は、掛止部材55の水平部55aより低い位置に配置された大円筒部60aと、大円筒部60aに下端に連結され、内側にベアリングボックス22が挿通する小円筒部60bを備えた底板部60cを備えている。小円筒部60bの上端部の外周は、ベアリングボックス22の上部に取付けられたパイプ状のカバー61の下端部の内周に嵌入している。
【0017】
図1に示すように、固定容器60の外側には、処理時に固定容器60内で飛散する気体を排気するための排気ダクト62が設けられており、排気ダクト62と固定容器60内とは連通されると共に、排気量を調整可能な流量調整手段が設けられている。なお、図1中の符号64は、テーブル12の停止位置を検出するための位置検出センサーを表しており、テーブル12に積載されるウエハー11のハンドリングを確実にするために設けられている。また、符号65はノズルヘッダー26の4個の空気供給口36に空気を供給する空気配管を表している。
【0018】
続いて、本発明の一実施の形態に係るウエハー洗浄装置10の使用方法について図1を参照しながら説明する。
(1)環状液回収槽14は、昇降手段15によって、図1に示す状態より上方に移動させて、回転するウエハー11の上面11bから水平に振り飛ばされる使用済み薬液がチャンバー47内に入る位置に調整しておく。
(2)まず、マジックハンド17によってウエハー11をテーブル12上に載置し、ウエハー11を吸気手段21により吸着し、固定する。
(3)ガスノズル35から空気を噴出させている状態で、テーブル12を高速回転させ、ウエハー11の上面11bに薬液を吐液すると、薬液は遠心力によってウエハー11の半径方向外側に振り飛ばされ、チャンバー47内に導入される。
【0019】
(4)チャンバー47内に導入された処理後の薬液は、チャンバー47の底部の排水ガイド板48によって外側ガイドされて、排出口63を介して外部に排出されて回収又は廃棄される。
【0020】
(5)続いて、昇降手段15によって環状液回収槽14を上昇させて、バッフル49の高さ方向の中間位置にウエハー11の高さがくるように調整する。
(6)ウエハー11の上面11bに洗浄水を吐液すると同時に、ウエハー11の裏面外周部に付着している薬液の残部に、液ノズル24、25から純水を吹き付けて洗い落とす。
(7)洗い落とされた薬液の残部と吹き付けられた純水はバッフル49に衝突し、固定容器60の底部に落下し、図示しない排出口を介して外部に排出されて廃棄又は回収される。
(8)ウエハー11の上面11bに乾燥気体を吐出させてウエハー11の表面を乾燥させると共に、ウエハー11の裏面外周部には、ガスノズル35から空気を噴出させてウエハー11を乾燥する。
【0021】
(9)昇降手段15によって環状液回収槽14を元の位置に下降し、吸気手段21によりウエハー11の吸着を解除した後、マジックハンド17によってウエハー11をテーブル12から取り去る。本実施の形態においては、ウエハー11に付着した薬液をまず、外側にある液ノズル24、25によって純水を吹き付けて水洗し、その後、吹き付けて付着した純水を、液ノズル24、25の内側にあるガスノズル35によって空気で吹き飛ばすことができるので、確実に薬液及び純水を除去することができる。
【0022】
以上、本発明に係る実施の形態について説明してきたが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、環状液回収槽14のチャンバーの数が1個の場合について説明したが、必要に応じて、2個又は3個設けて、取り扱う処理用液体を別々に回収することもできる。水洗用の2個の液ノズル24、25を設けたが、これに限定されず、3個以上の液ノズルを設けたり、又はガスノズル35のように、環状の吹き出し部を設けた環状の液ノズルを使用することもできる。ガスノズル35はリング状の吹き出し部を形成したものを使用したが、これに限定されず、液ノズル24、25のようなパイプ状のノズルを複数環状に設けることもできる。
【0023】
ウエハー11の外縁53と環状液回収槽14の内縁51、52との隙間は1〜10mmとしたが、これに限定されず、必要に応じて(品質上の問題がない場合)、隙間をこれより大きくすることもできる。ガスノズル35から吹き付けられる気体は空気としたが、これに限定されず、その他の気体(例えば、窒素)を使用することもできる。
【0024】
【発明の効果】
請求項1及び2記載のウエハー洗浄装置においては、ウエハーの底面に付着した洗浄後の薬液に純水を吹き付けて洗い流し、その後、付着した純水に内側から外側に向けて気体を吹き付けることができるので、ウエハーに付着している残液及び残液を洗い流す純水を完全に除去でき、この結果、作業工程の短縮が図られると共に、品質に関する信頼性が向上する。
更に、ウエハーの底面に吹き付けられた純水及び気体を固定容器に回収できるので、装置がコンパクトになり、かつ吹き付けられた純水による装置の汚れを回避できる。また、吹き付ける純水及び気体の回転シール部がないので、漏洩の可能性もなく、この結果、品質に関する信頼性がさらに向上する。
請求項2記載のウエハー洗浄装置においては、ウエハーを洗浄する薬液又は洗浄後の薬液と水との混合を極力回避することができる。また、ウエハーを洗浄する薬液の回収効率が向上するので、安価なランニングコストで運転できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るウエハー洗浄装置の全体構成図である。
【図2】(A)、(B)はそれぞれ、液ノズル及びガスノズルの配置図、液ノズル及びノズルヘッダーの平面図である。
【図3】(A)、(B)はそれぞれ、ガスノズルの平面図、ガスノズルの分解図である。
【符号の説明】
10:ウエハー洗浄装置、11:ウエハー、11a:底面、11b:上面、12:テーブル、13:ウエハー支持機構、14:環状液回収槽、15:昇降手段、16:固定架台、17:マジックハンド、18:Oリング、19:回転軸、20:ロータリージョイント、21:吸気手段、22:ベアリングボックス、23:ベルトホイール、24、25:液ノズル、26:ノズルヘッダー、27、28:取付けブラケット、29、30:噴射部、31、32:傾斜部、33、34:取付け部、35:ガスノズル、36:空気供給口、37:固定リング、38:ボルト、39:蓋リング、40、41:取付け座、42:外周先端部、43:傾斜面、44:外周先端部、45:傾斜面、46:ヘッダー部、47:チャンバー、48:排水ガイド板、49:バッフル、50:環状天井部材、51、52:内縁、53:外縁、54:底板、55:掛止部材、55a:水平部、56:昇降ロッド、57:スクリュージャッキ、58:カップリング、59:垂直部、60:固定容器、60a:大円筒部、60b:小円筒部、60c:底板部、61:カバー、62:排気ダクト、63:排出口、64:位置検出センサー、65:空気配管
Claims (2)
- 軸心を合わせて載置された実質的に円板状のウエハーを吸着支持して回転駆動可能なテーブルを上部に備えるウエハー支持機構と、前記テーブルに載置される前記ウエハーの外径よりその内側径が大きく、前記ウエハーを洗浄後の薬液を回収する環状液回収槽と、前記テーブルに対して前記環状液回収槽を上下動する昇降手段とを有するウエハー洗浄装置において、
前記ウエハーの外径より前記テーブルの外径を小さくし、しかも、前記テーブルの外周部に、載置された前記ウエハーの底面に純水を吹き付ける液ノズルと、前記ウエハーの底面に気体を吹き付けるガスノズルを、半径方向外側から内側に順次配置し、
前記環状液回収槽の外側には該環状液回収槽全体を収納する固定容器が設けられていると共に、前記環状液回収槽の底部に設けられている環状の底板の下面には、下方に開く円錐台で筒状のバッフルが設けられ、
前記昇降手段によって、前記環状液回収槽を上昇させ、前記バッフルの高さ方向の中間位置に前記ウエハーの高さ位置を調整し、前記液ノズルから前記ウエハーに吹き付けられた純水を、前記バッフルに衝突させて前記固定容器の底部に落下させることを特徴とするウエハー洗浄装置。 - 請求項1記載のウエハー洗浄装置において、前記ウエハーの外縁と前記環状液回収槽の内縁との隙間は1〜10mmの範囲にあり、前記ガスノズルから吹き付けられる前記気体は空気又は窒素からなっていることを特徴とするウエハー洗浄装置。
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