JP2010010555A - 基板の処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カップ体2内に設けられた回転テーブル3と、カップ体内の雰囲気を排出する第1の排気ブロア21と、回転テーブルの外周とカップ体の内周との間に周方向全長にわたって設けられる固定仕切体11及び上下駆動手段13によって上下方向に駆動される可動仕切体12を有し、上昇方向に駆動されたときに基板から飛散する処理液を内周面に衝突させる仕切体と、仕切体の内周面に衝突してカップ体の内底部に落下した処理液を回収する気液分離器22と、仕切体の周壁に設けられ仕切体を上昇させて処理液を回収するときに第1の排気ブロアによる排気経路が仕切体によって遮断されるのを阻止する気体を通過して液体の通過を阻止する材料によって形成された通気性部材12aを具備する。
【選択図】 図1
Description
上述したように、基板を処理するために用いられる種々の薬液は高価であるから、回収して再使用するということが行われている。
カップ体と、
このカップ体内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
上記カップ体内の雰囲気を排出する第1の排気手段と、
上記回転テーブルの外周と上記カップ体の内周との間に周方向全長にわたって上記カップ体に固定して設けられた固定仕切体及びこの固定仕切体に上下駆動手段によって上下方向に駆動可能に設けられた可動仕切体を有し、この可動仕切体を上昇方向に駆動したときに上記基板から飛散する処理液を内周面に衝突させる仕切体と、
この仕切体の内周面に衝突して上記カップ体の内に落下した処理液を回収する回収手段と、
上記仕切体の周壁に設けられこの仕切体を上昇させて処理液を回収するときに上記第1の排気手段による排気経路が上記仕切体によって遮断されるのを阻止する気体を通過して液体の通過を阻止する材料によって形成された通気性部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
内周空間部14に落下下薬液L1は配管24によって内周空間部14に接続された回収タンク25に回収される。
Claims (4)
- 基板を複数の処理液によって処理する処理装置であって、
カップ体と、
このカップ体内に設けられ上記基板を保持して回転駆動される回転テーブルと、
上記カップ体内の雰囲気を排出する第1の排気手段と、
上記回転テーブルの外周と上記カップ体の内周との間に周方向全長にわたって上記カップ体に固定して設けられた固定仕切体及びこの固定仕切体に上下駆動手段によって上下方向に駆動可能に設けられた可動仕切体を有し、この可動仕切体を上昇方向に駆動したときに上記基板から飛散する処理液を内周面に衝突させる仕切体と、
この仕切体の内周面に衝突して上記カップ体の内に落下した処理液を回収する回収手段と、
上記仕切体の周壁に設けられこの仕切体を上昇させて処理液を回収するときに上記第1の排気手段による排気経路が上記仕切体によって遮断されるのを阻止する気体を通過して液体の通過を阻止する材料によって形成された通気性部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記仕切体を上昇させることで、この仕切体の内周面側の上記カップ体の内底部に落下した処理液を、このカップ体から回収する回収手段が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記仕切体の外周面側に対応する上記カップ体の底部に連通して設けられた気液分離器と、この気液分離器によって分離された気体と液体のうち、気体を上記気液分離器から排出させる第2の排気手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記通気性部材は上記固定仕切体と可動仕切体の少なくともどちらか一方に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
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