JP2005079219A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 処理液の非回転部への付着を防止して、パーティクルの発生を抑制すると共に、被処理基板のウォターマークを防止し、かつ、処理液の回収効率の向上を図るようにすること。
【解決手段】 半導体ウエハWを回転可能に保持するスピンチャック10と、スピンチャック10を回転駆動する中空モータ12と、スピンチャック10にて保持されたウエハWの表面に適宜処理液を供給するノズル20と、スピンチャック10を収容するアウターチャンバ32,インナーカップ31を具備し、スピンチャック10の下部外周に、処理液がスピンチャック10の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体50を周設する。これにより、処理時に処理液がスピンチャック10の下方へ落下するのをカバー体50によって受け止めて、スピンチャック10の回転による遠心力によってウエハWの外周方向に飛散(排出)させることができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 半導体ウエハWを回転可能に保持するスピンチャック10と、スピンチャック10を回転駆動する中空モータ12と、スピンチャック10にて保持されたウエハWの表面に適宜処理液を供給するノズル20と、スピンチャック10を収容するアウターチャンバ32,インナーカップ31を具備し、スピンチャック10の下部外周に、処理液がスピンチャック10の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体50を周設する。これにより、処理時に処理液がスピンチャック10の下方へ落下するのをカバー体50によって受け止めて、スピンチャック10の回転による遠心力によってウエハWの外周方向に飛散(排出)させることができる。
【選択図】 図2
Description
この発明は、例えば半導体ウエハやLCD用ガラス基板等の被処理基板に処理液を供給して処理する基板処理装置に関するものである。
一般に、半導体デバイスの製造工程においては、被処理基板としての半導体ウエハやLCD用ガラス基板等(以下にウエハ等という)に付着するレジスト,パーティクル,有機汚染物,金属不純物等のコンタミネーション(contamination)を除去するために洗浄処理装置が使用されている。ウエハ等を洗浄する洗浄処理装置の1つとして、例えばスピン式のウエハ洗浄処理装置が知られている。
従来のこの種のスピン式のウエハ洗浄処理装置は、処理容器内に収容される保持手段であるスピンチャックにてウエハを保持すると共に、スピンチャックを回転駆動した状態で、ウエハの表面に処理液である薬液,純水を供給して、薬液処理,リンス処理を行い、その後、スピンチャックを高速回転して乾燥処理を行っている(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−160546号公報(段落番号0028,0047〜0050、図2〜図4)
しかしながら、従来のこの種の洗浄処理装置においては、薬液処理の際に、スピンチャックの下部側非回転部に薬液の液滴が付着し、乾燥処理時にスピンチャックが高速回転することにより、下部側非回転部に付着した液滴が吹き飛ばされて処理容器の内壁に衝突して弾け散った液滴がウエハ上へ回り込むことによってパーティクルの発生や、ウォターマークが生じる虞があった。また、薬液を回収して使用する場合、薬液処理に供された薬液が処理容器内に残留することにより、薬液の回収効率が低下するという問題もあった。
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、処理液の非回転部への付着を防止して、パーティクルの発生を抑制すると共に、被処理基板のウォターマークを防止し、かつ、処理液の回収効率の向上を図るようにした基板処理装置を提供することを目的とするものである。
上記課題を解決するために、この発明の基板処理装置は、被処理基板に処理液を供給して処理する基板処理装置を前提とし、
請求項1記載の基板処理装置は、上記被処理基板を水平状態で回転可能に保持する保持手段と、 上記保持手段を回転駆動する回転手段と、 上記保持手段にて保持された被処理基板の表面に適宜処理液を供給する処理液供給手段と、 上記保持手段を収容する処理容器と、を具備し、 上記保持手段の下部外周に、処理液が保持手段の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体を周設してなる、ことを特徴とする。
請求項1記載の基板処理装置は、上記被処理基板を水平状態で回転可能に保持する保持手段と、 上記保持手段を回転駆動する回転手段と、 上記保持手段にて保持された被処理基板の表面に適宜処理液を供給する処理液供給手段と、 上記保持手段を収容する処理容器と、を具備し、 上記保持手段の下部外周に、処理液が保持手段の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体を周設してなる、ことを特徴とする。
また、請求項2記載の基板処理装置は、請求項1記載の基板処理装置における処理容器を、上記保持手段を収容すべく保持手段に対して相対的に昇降可能な内容器と、この内容器と上記保持手段及び回転手段を収容する外容器とで構成すると共に、上記回転手段を囲繞する回転体囲繞筒体と、を具備し、 上記回転体囲繞筒体に、上記内容器が降下した際に内容器の開口縁部に接触可能な固定カバー体を周設してなる、ことを特徴とする。
この発明において、上記カバー体は、下方方向に向かって拡開する略スカート状の基部と、この基部の先端から外方に向かって延在する水平片部とを具備する方が好ましい(請求項3)。
また、上記内容器の底部に設けられた排出管路に開閉弁を介設し、内容器が保持手段に対して下方位置に移動して固定カバー体と接触した状態において上記開閉弁を閉じるように形成する方が好ましい(請求項4)。
この発明の基板処理装置は、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
(1)請求項1記載の発明によれば、被処理基板を水平状態で回転可能に保持する保持手段の下部外周に、処理液が保持手段の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体を周設することにより、処理液供給手段から被処理基板に供給された処理液の液滴はカバー体に受け止められると共に、保持手段の回転による遠心力によって処理容器内の外方側に飛散(排出)される。したがって、処理液の液滴が保持手段の下部側非回転部に付着するのを抑制することができ、処理液の供給後に、乾燥処理のために保持手段が高速回転しても液滴によってパーティクルが発生したり、ウォターマークが生じることを防止することができる。また、薬液を回収して使用する場合、処理に供された処理液(薬液)が処理容器内に残留する量を少なくすることができると共に、他の処理液との混合を防ぎ、処理液(薬液)の回収効率の向上を図ることができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明に加えて、更に、回転手段を囲繞する回転体囲繞筒体に、処理容器を構成する内容器が降下した際に内容器の開口縁部に接触可能な固定カバー体を周設することにより、内容器を保持手段に対して相対的に下降させた状態で処理を行う際の異なる処理液や雰囲気が内容器内に流入するのを阻止することができる。したがって、請求項1記載の発明に加えて、更に処理液(薬液)の回収効率の向上を図ることができる。この場合、内容器の底部に設けられた排出管路に開閉弁を介設し、内容器が保持手段に対して下方位置に移動して固定カバー体と接触した状態において開閉弁を閉じることにより、負圧になることを防ぐことができるので、更に確実に異なる処理液や雰囲気が内容器内に流入するのを阻止することができる(請求項4)。
(3)請求項3記載の発明によれば、カバー体に、下方方向に向かって拡開する略スカート状の基部と、この基部の先端から外方に向かって延在する水平片部とを設けることにより、処理中にカバー体に受け止められた処理液の液滴を、速やかにスカート状の基部から水平片部に移動し、水平片部から処理容器内の外方側に確実に飛散(排出)させることができる。
以下に、この発明の最良の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、この発明の基板処理装置を半導体ウエハの洗浄処理装置に適用した場合について説明する。
図1は、上記洗浄処理装置の概略横断面図、図2は、上記洗浄処理装置の概略縦断面図である。
上記洗浄処理装置は、被処理基板である半導体ウエハW(以下に、ウエハWという)を水平状態で回転可能に保持する保持手段であるスピンチャック10と、スピンチャック10を回転駆動する回転手段例えば中空モータ12と、スピンチャック10にて保持されたウエハWの表面に適宜処理液例えば酸性薬液,アルカリ性薬液,純水(DIW)や窒素(N2)ガス等を供給する処理液供給手段であるノズル20と、スピンチャック10を選択的に収容すべくスピンチャック10に対して相対的に昇降可能な内容器31(以下に、インナーカップ31という)と、インナーカップ31とスピンチャック10を収容する外容器32(以下に、アウターチャンバ32という)とからなる処理容器30と、中空モータ12を囲繞する回転体囲繞筒体40(以下に、モータ囲繞筒体40という)と、を具備している。
また、洗浄処理装置におけるスピンチャック10の下部外周に、処理液(薬液等)がスピンチャック10の下部側非回転部例えば中空モータ12,モータ囲繞筒体40等へ付着するのを阻止するカバー体50が周設されている。更に、モータ囲繞筒体40に、インナーカップ31の開口部31aに接触可能な固定カバー体60が突設されている。
上記処理容器30(インナーカップ31,アウターチャンバ32)は、ウエハWを搬入出させるための開口33aを有するユニットチャンバ33内に配置されている。
アウターチャンバ32の外側には、アウターチャンバ32の内方にノズル20を移動するノズルアーム21が配置されている。
アウターチャンバ32におけるユニットチャンバ33の開口33aと対向する部位には、ウエハWを搬入出させるための開口32aが形成されており、この開口32aを開閉するシャッタ34が設けられている。シャッタ34は、環状に形成されており、その内側面には、ウエハWの周囲に飛散した処理液を受け止める下方側に向かって拡開する傾斜面34aが形成されている。また、シャッタ34は、図示しない開閉機構例えばシリンダによってアウターチャンバ32の内壁面に周設されたシール部材35に摺接しつつ昇降し、閉鎖時においてOリング36を介してアウターチャンバ32に密接されるように構成されている。したがって、アウターチャンバ32内が陽圧になった場合でも、シャッタ34によって開口32aを確実に閉塞し、アウターチャンバ32内部の雰囲気は開口32aから外部に漏出することがない。
アウターチャンバ32の上部には、筒状の上部側壁37が形成されている。この上部側壁37の下部には、上部側壁37の内面から内部に向かって下向きの勾配を有する内向きフランジ部37aが形成されており、この内向きフランジ部37aの先端側に、処理液の液滴を集める環状溝37bが形成されている。このように構成することにより、上部側壁37に付着した処理液の液滴は、上部側壁37及び内向きフランジ部37aに沿って落下して環状溝37bに集められ、図示しない排出孔を通過してアウターチャンバ32の下部側に排出される。
また、上部側壁37における開口32aとほぼ対向する部位には、ノズルアーム21を通過させるノズル用開口32bが形成されている。
また、上部側壁37の上端部は、天井38によって塞がれている。天井38には、N2ガスあるいはクリーンエア等のダウンフロー用の流体DFを誘導する導入口38aが、天井38の中央と、中央を囲むように複数例えば5箇所に設けられている。また、上部側壁37における天井38の直下部位には、天井38に設けられた導入口38aから流入されるダウンフローDFを分散させて均等にアウターチャンバ32の内側壁側に流すための円盤状の邪魔板39が水平状態に配設されている。邪魔板39は、アウターチャンバ32の上部側壁37より小径の円盤状に形成されており、中央部に円形の誘導孔39aが設けられている。各導入口38aから誘導されたN2ガスは、邪魔板39と上部側壁37との間及び誘導孔39aを通過し、邪魔板39を迂回して邪魔板39の下方に流れ、スピンチャック10によって保持されたウエハWの上方に流れるようになっている。そして、後述するインナーカップ31を上昇させ傾斜部31bによってウエハWを囲む状態においては、N2ガスはウエハWの上方からスピンチャック10と傾斜部31bとの間に流入して、後述するインナーカップ排出路31cによって排気されるようになっている。また、インナーカップ31を下降させ、アウターチャンバ32によってウエハWを囲む状態においては、N2ガスはウエハWの上方からスピンチャック10とアウターチャンバ32の内側壁との間に流入して、後述するアウターチャンバ排出路32cによって排気されるようになっている。このように、導入口38aから導入されたN2ガスが邪魔板39を迂回して流入する。
また、アウターチャンバ32の底部32dに排出口32eが設けられており、この排出口32eには、アウターチャンバ32内から液滴を排出し、また、アウターチャンバ32内を排気するアウターチャンバ排出路32cが接続されている。なお、ここでは、アウターチャンバ排出路32cをアウターチャンバ32の底部32dに設けてあるが、図2に二点鎖線で示すように、アウターチャンバ排出路32cをアウターチャンバ32の側壁の下部にアウターチャンバ排出路32cを設けるようにしてもよい。
インナーカップ31は、スピンチャック10を囲むように形成されており、スピンチャック10にて保持されたウエハWを囲む上昇位置とウエハWより下方の下降位置との間で昇降可能に形成されている。このインナーカップ31は、円筒状の側壁31dと、側壁31dの上端から内方に向かって縮径する傾斜部31bと、側壁31dの下端部に沿って形成された底部31eとで構成されている。このように構成されるインナーカップ31は、ユニットチャンバ33に鉛直状に設置された昇降手段である昇降シリンダ70のロッド71に連結された水平部材72に連結シャフト73を介して連結されている。なお、連結シャフト73は、アウターチャンバ32の底部32dに設けられた貫通孔に遊嵌状に貫挿しており、アウターチャンバ32内における連結シャフト73のインナーカップ31の底部とアウターチャンバ32の底部32dとの間に伸縮可能な蛇腹74が介在されている。蛇腹74は、上端がインナーカップ31に固着された固定部材75に固定され、蛇腹74の下端は、底部32dの貫通孔の周囲に固定されている。したがって、昇降シリンダ70の駆動によってロッド71が伸縮することにより、蛇腹74が伸縮しながらインナーカップ31が昇降する。
この場合、インナーカップ31の底部31eの中心部には、円形の開口31fが設けられており、開口31fの内側にモータ囲繞筒体40が配置されている。また、インナーカップ31によって受け止められる処理液は、開口31fを通過して底部31eの下方に排出されるようになっている。すなわち、インナーカップ31の内面とモータ囲繞筒体40の外面との間には、環状の隙間Sが形成されており、インナーカップ31によって受け止められた処理液は、この隙間Sを通過して排出口31gに接続するインナーカップ排出路31cを介して排出されるようになっている。
なお、インナーカップ31の底部31eの下面には、開口31fと同径の第1の円筒状部材31hと、この第1の円筒状部材31hより大径の第2の円筒状部材31iが同心状に垂下されている。また、第1及び第2の円筒状部材31h,31iの間には、アウターチャンバ32の底部32dに立設された第3の円筒状部材31jが第1及び第2の円筒状部材31h,31iと隙間をおいて挿入されており、これら第1及び第2の円筒状部材31h,31iと第3の円筒状部材31jは、インナーカップ31を昇降させる間、常に重なるように形成されている。これにより、インナーカップ31を昇降させるときにおいても、開口31fから排出される処理液が第1の円筒状部材31hと第2の円筒状部材31iから外側に飛散するのを防止することができる。
上記スピンチャック10は、ウエハWの周縁を保持する3つの保持部材11と、枢支ピン11aを介して保持部材11を鉛直方向に回動(揺動)可能すなわちウエハWの保持位置と非保持位置に切換移動可能に支持するチャックプレート13と、チャックプレート13の下面に連結する回転筒体14とで構成されている。回転筒体14の下端は、中空モータ12の中空回転軸12aの上端に連結されている。中空モータ12を駆動させると、中空回転軸12aが回転して、回転筒体14、チャックプレート13及び保持部材11が一体に回転するようになっている。なお、チャックプレート13は、その上部に仮置き部(図示せず)と、略L字状に形成されており、スピンチャック10の回転時にウエハWの周縁に接触してウエハWの周縁を保持する保持部材11が形成されている。このように形成される保持部材11は、鉛直方向に移動可能な操作ピン(図示せず)に係脱可能になっており、操作ピンを上昇させて係合して状態において保持部材11によるウエハWの保持が解除され、また、操作ピンが下降して係合が解かれた状態で保持部材11によってウエハWの周縁が保持されるようになっている。
また、スピンチャック10のチャックプレート13の下部外周には、処理液の液滴がスピンチャック10の下部側非回転部すなわち中空モータ12やモータ囲繞筒体40及び後述する固定カバー体60へ付着するのを阻止するカバー体50が周設されている。このカバー体50は、図3に示すように、チャックプレート13の下部外周に固着される環状取付部51を有すると共に、下方方向に向かって拡開する略スカート状の基部52と、この基部52の先端から外方に向かって延在する水平片部53とで構成されている。このように構成されるカバー体50は、耐薬性、耐食性に富む合成樹脂例えばPVC(ポリ塩化ビニル),PEEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)あるいはPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等にて形成されている。なお、このカバー体50は、インナーカップ31の昇降時にインナーカップ31と干渉しないようにインナーカップ31の開口部31aより若干小径に形成されている。
このように、スピンチャック10のチャックプレート13の下部外周に、カバー体50を周設することにより、処理中にウエハWの表面に供給された処理液の液滴をカバー体50によって受け止めることができると共に、受け止めた液滴を速やかにスカート状の基部52から水平片部53に移動し、スピンチャック10の回転による遠心力によって処理容器30(インナーカップ31,アウターチャンバ32)内の外周側に飛散(排出)させることができる。したがって、処理液の液滴が中空モータ12やモータ囲繞筒体40及び固定カバー体60に付着するのを抑制することができる。
また、モータ囲繞筒体40の上端には、回転筒体14を遊嵌する開口41aを有する天井部41が設けられている。また、モータ囲繞筒体40の天井部41には、インナーカップ31の開口部31aの縁部に接触可能な固定カバー体60が突設されている。この固定カバー体60は、図3に示すように、モータ囲繞筒体40の天井部41に固着される環状取付部61を有すると共に、外方に向かって下り勾配状に延在する略スカート状の本体62と、この本体62の外周に延在する可撓性を有する環状鰭片63とで構成されている。このように構成される固定カバー体60は、上記カバー体50と同様に、耐薬性、耐食性に富む合成樹脂例えばPVC(ポリ塩化ビニル),PEEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)あるいはPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等にて形成されている。
このように、モータ囲繞筒体40に、インナーカップ31の開口部31aの縁部に接触可能な固定カバー体60を突設することにより、インナーカップ31を下降させた状態で処理を行う際の異なる処理液や雰囲気がインナーカップ31内に流入するのを阻止することができる。
また、チャックプレート13の上方には、スピンチャック10に保持されたウエハWの下面を覆う円盤状のアンダープレート80が、3つの保持部材11より内側に配設されている。このアンダープレート80は、中空回転軸12aの中空部12b及びチャックプレート13の中心部に形成された透孔13a内に隙間をおいて貫通するシャフト81によってウエハWの下面とほぼ平行に支持されている。シャフト81の下端は、ユニットチャンバ33の底面に形成された透孔33bを遊嵌して下方に突出しており、シャフト81の下端は、ユニットチャンバ33の底面下方に配置されたアンダープレート昇降用シリンダ82のロッド83に連結する水平支持部材84に連結されている。したがって、アンダープレート昇降用シリンダ82を駆動させることにより、ロッド83が伸縮して、水平支持部材84,シャフト81及びアンダープレート80を一体的に鉛直方向に昇降させることができる。これにより、アンダープレート80を、スピンチャック10に保持されたウエハWの下面に近接した位置と、ウエハWの下面から離れた位置とに上下に移動させることができる。
なお、アンダープレート80には、ウエハWの下面に酸性の薬液,アルカリ性の薬液,純水(DIW)等の処理液、N2ガス等を供給する下面供給路85が設けられている。この下面供給路85は、シャフト81の内部を貫通するように設けられている。
上記ノズル20を支持するノズルアーム21の内部には、処理液又はN2ガス等の処理流体供給路22が設けられている。処理流体供給路22は、ノズルアーム21の先端部に装着されたノズル20に開口している。ノズルアーム21の基端部は回転駆動機構23に連結されており、回転駆動機構23の駆動によってノズルアーム21は基端を中心として、水平面内で回動されるようになっている。これにより、ノズル20は、アウターチャンバ32の外側の待機位置からノズル用開口32bを通過してウエハWの中心部上方に移動され、また、ウエハWの中心部上方からアウターチャンバ32の外側の待機位置に移動される。したがって、ノズル20は、少なくともウエハWの中心部上方から周縁上方までの間を移動することができる。
次に、洗浄処理装置の配管系について、図4を参照して説明する。図4に示すように、ノズルアーム21に設けられた処理流体供給路22と、シャフト81に設けられた下面供給路85は、それぞれ第1の開閉弁V1を介設したノズル供給管路91、及び第2の開閉弁V2を介設した下面供給管路92を介して主供給管路90に接続されている。主供給管路90には、処理液の供給を切り換える供給切換弁93を介して、酸性薬液供給源94から酸性薬液を供給する酸性用ノズル供給管路95と、アルカリ性薬液供給源96からアルカリ性薬液を供給するアルカリ性用ノズル供給管路97と、純水供給源98から純水を供給する純水供給管路99と、N2ガス供給源100からN2ガスを供給するN2ガス供給管路101と、主供給管路90,ノズル供給管路91(処理流体供給路22),下面供給管路92(下面供給路85)内の処理液を吸引するアスピレータ110が接続されている。
一方、インナーカップ排出路31cの下流端は、開閉弁Vを介してミストトラップ200に接続されている。このミストトラップ200により、インナーカップ排出路31cによって排液された液滴中から気泡等を除去するようになっている。除去された気泡は、ミストトラップ200に設けられたミストトラップ排気管201により洗浄処理装置の外部に排気されるようになっている。気泡を除去された液滴は、ミストトラップ200に接続された排液回収管路202に回収される。
排液回収管路202には、切換弁203を介して排液管路204と、タンク205に接続される回収管路206が切換可能に接続されている。タンク205には、切換弁207を介して酸性用ノズル供給管路95に接続する循環管路208が接続されており、この循環管路208には、タンク側から順にポンプ209、フィルタ210が介設されている。また、タンク205の底部には、ドレイン弁211を介設したドレイン管路212が接続されている。これにより、インナーカップ排出路31cによって排出された薬液例えば酸性薬液は、回収されて再利用されるようになっている。一方、アウターチャンバ排出路32cによって排出された排液及び排気は再利用されず、洗浄処理装置の外部に排出されるようになっている。
次に、ウエハWの洗浄処理について説明する。
ウエハWを搬入する前の状態においては、インナーカップ31を予め下降させ、スピンチャック10の上部をインナーカップ31の上方に突出させておく。この際、アンダープレート80は予め下降されており、ウエハWがスピンチャック10に保持される高さより下方に離隔した位置に待機している。アンダープレート80の上面と保持部材11の上部との間には、ウエハWの受渡しに十分な空間が形成されている。また、保持部材11は操作ピン(図示せず)の上昇によって外側に移動した状態になっている。また、ノズルアーム21は、ノズル用開口32bの外側に待機している。
この状態において、図5に示すように、シャッタ34を下降させて、アウターチャンバ32の開口32aを開き、ウエハWを保持した搬送アーム300をユニットチャンバ33の開口33a及びアウターチャンバ32の開口32aからアウターチャンバ32内に進入させる。そして、搬送アーム300を水平方向に直線移動させて、3つの保持部材11の上方にウエハWの周縁部が位置するようにウエハWを移動させ、搬送アーム300を下降させて、保持部材11の仮置き部にてウエハWの下面周縁部を支持する。
ウエハWをスピンチャック10に受け渡した後、搬送アーム300をウエハWとアンダープレート80の間に下降させ、水平方向に直線移動させて保持部材11の間から後退させ、アウターチャンバ32の外部へ退出させ、退出後、シャッタ34によって開口32aを閉じる。
次に、操作ピン(図示せず)を下降させることにより、各保持部材11の当接部を内側に移動させて、ウエハWの周縁を保持させる。このようにして、ウエハWは周縁を保持部材11によって保持された状態でスピンチャック10に保持される。スピンチャック10は、操作ピンが下降し保持部材11との係合が解かれたことにより、回転可能な状態となる。
次に、図6に示すように、アンダープレート80をウエハWに近接した位置に上昇させる。近接位置に移動したアンダープレート80とウエハWの下面(裏面)の間には、例えば1mm程度の隙間が形成される。また、インナーカップ31を上昇させ、インナーカップ31の傾斜部31bによってウエハWの周縁を囲む状態にする。
次に、回転駆動機構23を駆動させてノズルアーム21を回動させ、ノズルアーム21の先端のノズル20をノズル用開口32bからアウターチャンバ32内に移動させ、ウエハWの中心部上方まで移動させる。中空モータ12の駆動によりスピンチャック10を低速回転させ、ウエハWをスピンチャック10と一体的に低速回転させる。そして、ノズル20から酸性薬液を吐出(供給)して、ウエハWの上面中心部近傍に酸性薬液を供給する。ウエハWの中心部に供給された酸性薬液は、ウエハWの回転による遠心力でウエハWの外周方向に流れ、ウエハWの上面に酸性薬液の液膜が形成される。また、ノズル20からウエハW上面に酸性薬液を供給すると同時に、下面供給路85からウエハWの下面に酸性薬液を供給する。ウエハWの下面中心部に供給された酸性薬液は、ウエハWの回転による遠心力でウエハWの外周方向に流れ、ウエハWの下面に酸性薬液の液膜が形成される。この際、スピンチャック10の外周から薬液が下方に落下するが、落下した薬液の液滴はスピンチャック10の外周下部に周設されたカバー体50によって受け止められた後、スピンチャック10の回転による遠心力で外周方向に飛散(排出)される。すなわち、スピンチャック10の外周から落下した薬液の液滴はカバー体50のスカート状の基部52上に受け止められた後、水平片部53側へ移動し、遠心力により外周方向に飛散(排出)される。したがって、ウエハWから落下した薬液がモータ囲繞筒体40,中空モータ12及び固定カバー体60側に付着するのを阻止することができる。
上記のようにして、ウエハWの両面に酸性薬液の液膜を形成したら、供給切換弁93を閉じて、ノズル20と下面供給路85からの酸性薬液の供給を停止し、所定時間、ウエハWを液膜が崩れない程度に低速に回転させる。このようにして、ウエハWの両面を酸性薬液によって処理する。
なお、ノズル20と下面供給路85から酸性薬液の供給を停止するときは、供給切換弁93を接続する状態から主供給管路90と酸性用ノズル供給管路95を接続する状態から主供給管路90とアスピレータ110を接続する状態にする。この状態で、アスピレータ110を作動させ、主供給管路90,処理流体供給路22,下面供給路85から酸性薬液を吸引する。その後、第1及び第2の開閉弁V1,V2を閉じる。
酸性薬液の供給時や酸性薬液処理の間、ウエハWの周囲に飛散した酸性薬液は、インナーカップ31によって受け止められ、側壁31dとモータ囲繞筒体40との間から、第1の円筒状部材31hとモータ囲繞筒体40との間に落下して、インナーカップ排出路31cによって排液される。
酸性薬液の供給時や酸性薬液処理の間は、導入口38aからN2ガス又はクリーンエアを導入し、アウターチャンバ32内にN2ガス又はクリーンエアによるダウンフローDFが形成される。導入口38aから導入されたN2ガス又はクリーンエアは、邪魔板39と上部側壁37との間、及び誘導孔39aを通過し、邪魔板39を迂回して邪魔板39の下方に流れ、スピンチャック10によって保持されたウエハWに向かって流れ、ウエハWの上方からスピンチャック10と傾斜部31bとの間に流入する。そして、側壁31dとモータ囲繞筒体40との間から、第1の円筒状部材31hとモータ囲繞筒体40との間を下降するようにインナーカップ31内を流れて、インナーカップ排出路31cによって排出される。このように、ダウンフローDFを形成することにより、スピンチャック10及びウエハWの回転によって発生した旋回気流が上昇することを防止できる。すなわち、ウエハWより下方の雰囲気がウエハWに向かって上昇することを防止して、側壁31dに衝突して弾けた液滴やパーティクル等がウエハWに付着することを防止できる。排液や排気は、ダウンフローによりインナーカップ31内をスムーズに下降して、インナーカップ排出路31cによってスムーズに排出される。また、高温の酸性薬液が蒸発して酸性薬液雰囲気が発生しても、酸性薬液雰囲気をダウンフローによってインナーカップ31内に下降させ、インナーカップ排出路31cによってスムーズに排気させることができ、ウエハWの上方に酸性薬液雰囲気が上昇して滞留することを防止できる。
なお、ウエハWの上方に酸性薬液雰囲気が上昇し、酸性薬液雰囲気が上部側壁37において結露して液滴となって付着した場合、液滴は上部側壁37に沿って下降し、上部側壁37に設けられた環状溝37bによって受け止められる。したがって、上部側壁37に付着した酸性薬液がウエハWに向かって落下することを防止できる。環状溝37bによって受け止められた液滴は、連通孔(図示せず)を通過して下端部に排出され、アウターチャンバ32とインナーカップ31との間を下降して、アウターチャンバ排出路32cによってアウターチャンバ32内から排出され、洗浄処理装置外に排出される。
ウエハWの両面の酸性薬液処理が終了したら、中空モータ12の駆動によりスピンチャック10を酸性薬液処理時より高速で回転させ、ウエハWをスピンチャック10と一体的に酸性薬液処理時より高速に回転させる。この回転により、ウエハWの両面の液膜を振り切る。また、スピンチャック10を回転させる際、スピンチャック10,カバー体50及びアンダープレート80に付着した酸性薬液が振り切られる。ウエハW,スピンチャック10,カバー体50及びアンダープレート80から振り切られた酸性薬液は、インナーカップ31によって受け止められ、側壁31dとモータ囲繞筒体40との間から第1の円筒状部材31hとモータ囲繞筒体40との間に落下して、インナーカップ排出路31cによって排出される。なお、酸性薬液を振り切る際に、ノズル20と下面供給路85からN2ガスを供給して、N2ガスによって酸性薬液を押し流すようにしてもよい。
酸性薬液を振り切る間も、導入口38aからN2ガス又はクリーンエアを導入する。
インナーカップ排出路31cによって排出された酸性薬液,酸性薬液雰囲気,N2ガス又はクリーンエア等は、ミストトラップ200に導入される。ミストトラップ200により、排液及び排気中の酸性薬液と気体が分離される。気体は、ミストトラップ排気管201により洗浄処理装置外の外部に排気される。一方、酸性薬液は、ミストトラップ200に接続された排液回収管路202により送液され、排液管路204によってタンク205に回収され、又は、排液回収管路202によって洗浄処理装置の外部に排液される。タンク205に貯留された酸性薬液は、循環管路208を通過して、フィルタ210によって清浄化された後、再び酸性用ノズル供給管路95及び主供給管路90に送液され、処理流体供給路22,ノズル20又は下面供給路85からウエハWに供給される。このようにして、酸性薬液を再利用することができ、低コスト化を図ることができる。
酸性薬液を振り切った後、インナーカップ31を下降させ、ウエハWの周縁がアウターチャンバ32に囲まれた状態にする(図2参照)。インナーカップ31は、傾斜部31bの先端が固定カバー体60の先端の環状鰭片63に密着する位置まで下降させる。
その後、ノズル20から純水を吐出(供給)しながら、ノズルアーム21の先端のノズル20を回転中のウエハWの少なくとも中心から周縁まで移動させ、ウエハWの上面(表面)全体に純水を供給して、ウエハWに付着した酸性薬液を純水によって洗い流す。また、下面供給路85からも純水を吐出(供給)し、ウエハWの下面に純水を供給して、ウエハWの下面(裏面)に付着した酸性薬液を純水によって洗い流す。このようにして、ウエハWを純水によってリンス処理する。リンス処理においては、スピンチャック10とウエハWを酸性薬液処理時よりも高速に回転させる。この際、スピンチャック10の外周から純水が下方に落下するが、落下した純水の液滴はスピンチャック10の外周下部に周設されたカバー体50によって受け止められた後、スピンチャック10の回転による遠心力で外周方向に飛散(排出)される。したがって、ウエハWから落下した純水がモータ囲繞筒体40,中空モータ12及び固定カバー体60側に付着するのを阻止することができる。また、リンス処理時において、インナーカップ排出路31cに介設された開閉弁Vを閉じて、インナーカップ排出路31cからの排気を停止、すなわち傾斜部31bが固定カバー体60に密着して気密状態におかれたインナーカップ31内の圧力をインナーカップ31の外部に対して少なくとも等圧以上にしておく。これにより、純水がインナーカップ31内に流入(侵入)するのを阻止することができる。
なお、純水を供給する前に、アスピレータ110の作動により、主供給管路90,ノズル供給管路91,処理流体供給路22,下面供給管路92,下面供給路85から酸性薬液が吸引されているので、ノズル20,下面供給路85から清浄な純水を供給することができる。また、アンダープレート80とウエハWとの間に狭い隙間を形成して、これらの間に純水を流すことにより、少量の純水でウエハWの下面全体をリンス処理することができる。
ウエハWに供給された純水は、ウエハWの外周方向へ流れ、アウターチャンバ32によって受け止められアウターチャンバ32の側壁とインナーカップ31の側壁31dとの間からアウターチャンバ32の下部に落下してアウターチャンバ排出路32cによってアウターチャンバ32内から洗浄処理装置の外部に排出される。純水がウエハWから外側に流れる際、保持部材11,アンダープレート80も、純水によって洗浄され、保持部材11,アンダープレート80に付着した酸性薬液が純水によって洗い流される。
リンス処理の間も、導入口38aからN2ガス又はクリーンエアを導入し、アウターチャンバ32内にN2ガス又はクリーンエアによるダウンフローDFが形成される。導入口38aから導入されたN2ガス又はクリーンエアは、邪魔板39と上部側壁37との間、及び誘導孔39aを通過し、邪魔板39を迂回して邪魔板39の下方に流れ、ウエハWの上方からスピンチャック10とアウターチャンバ32の側壁との間に流入し、アウターチャンバ32の側壁とインナーカップ31の側壁31dとの間を流れて、アウターチャンバ排出路32cによって排出される。このように、ダウンフローDFを形成することにより、スピンチャック10及びウエハWの回転によって発生した旋回気流が上昇することを防止できる。すなわち、ウエハWより下方の雰囲気がウエハWに向かって上昇することを防止して、アウターチャンバ32の側壁に衝突して弾けた液滴やパーティクル等がウエハWに付着することを防止できる。
ウエハWのリンス処理を十分にしたら、ノズル20と下面供給路85からの純水の供給を停止する。純水の供給を停止するときは、供給切換弁93を切り換えて、主供給管路90と純水供給管路99を接続する状態から主供給管路90とアスピレータ110を接続する状態にする。この状態で、アスピレータ110を作動させ、主供給管路90,ノズル供給管路91,処理流体供給路22,下面供給管路92及び下面供給路85から純水を吸引する。これにより、ノズル20,下面供給路85にアルカリ性薬液を通過させる際、アルカリ性薬液の濃度が低下することを防止できる。その後、第1及び第2の開閉弁ウエハWにV1,V2を閉じる。
次に、ノズル20からアルカリ性薬液を吐出(供給)しながら、ノズルアーム21を回動してノズル20を回転中のウエハWの少なくとも中心から周縁まで移動させ、ウエハWの上面(表面)全体にアルカリ性薬液を供給する。また、下面供給路85からもアルカリ性薬液を吐出(供給)し、ウエハWの下面(裏面)にアルカリ性薬液を供給する。このようにして、ウエハWの両面(表裏面)をアルカリ性薬液によって処理する。アルカリ性薬液処理時においては、スピンチャック10とウエハWを、酸性薬液処理時よりも高速に回転させる。このアルカリ性薬液処理の際、スピンチャック10の外周から薬液が下方に落下するが、落下した薬液の液滴はスピンチャック10の外周下部に周設されたカバー体50によって受け止められた後、スピンチャック10の回転による遠心力で外周方向に飛散(排出)される。したがって、ウエハWから落下した薬液がモータ囲繞筒体40,中空モータ12及び固定カバー体60側に付着するのを阻止することができる。また、アルカリ性薬液処理時においても、開閉弁Vを閉じて、インナーカップ排出路31cからの排気を停止、すなわち傾斜部31bが固定カバー体60に密着して気密状態におかれたインナーカップ31内の圧力をインナーカップ31の外部に対して少なくとも等圧以上にしておく。これにより、アルカリ性薬液がインナーカップ31内に流入(侵入)するのを阻止することができる。
ウエハWに供給されたアルカリ性薬液は、ウエハWの外周方向に流れ、アウターチャンバ32によって受け止められ、アウターチャンバ32の側壁とインナーカップ31の側壁31dとの間からアウターチャンバ32の下部に落下して、アウターチャンバ排出路32cによってアウターチャンバ32内から排出され、洗浄処理装置の外部に排出される。
アルカリ性薬液処理の間も、導入口38aからN2ガス又はクリーンエアを導入する。
なお、ウエハWの上方にアルカリ性薬液雰囲気が上昇し、アルカリ性薬液雰囲気が上部側壁37において結露して液滴となって付着した場合、液滴は上部側壁37に沿って下降し、上部側壁37に設けられた環状溝37bによって受け止められる。したがって、上部側壁37に付着したアルカリ性薬液がウエハWに向かって落下することを防止できる。環状溝37bによって受け止められた液滴は、連通孔(図示せず)を通過して下端部に排出され、アウターチャンバ32とインナーカップ31との間を下降して、アウターチャンバ排出路32cによってアウターチャンバ32内から排出され、洗浄処理装置外に排出される。
アルカリ性薬液処理を十分にしたら、ノズル20と下面供給路85からのアルカリ性薬液の供給を停止する。アルカリ性薬液の供給を停止するときは、供給切換弁93を切り換えて、主供給管路90とアルカリ性用ノズル供給管路97を接続する状態から主供給管路90とアスピレータ110を接続する状態にする。この状態で、アスピレータ110を作動させ、主供給管路90,ノズル供給管路91,処理流体供給路22,下面供給管路92及び下面供給路85からアルカリ性薬液を吸引する。その後、第1及び第2の開閉弁V1,V2を閉じる。
その後、酸性薬液処理の後と同様に、ノズル20から純水を吐出(供給)しながら、ノズルアーム21の先端のノズル20を回転中のウエハWの少なくとも中心から周縁まで移動させ、ウエハWの上面(表面)全体に純水を供給して、ウエハWに付着したアルカリ性薬液を純水によって洗い流す。また、下面供給路85からも純水を吐出(供給)し、ウエハWの下面に純水を供給して、ウエハWの下面(裏面)に付着したアルカリ性薬液を純水によって洗い流す。このようにして、ウエハWを純水によってリンス処理する。
リンス処理を十分にしたら、ノズル20と下面供給路85からの純水の供給を停止する。純水の供給を停止するときは、上述したように、供給切換弁93を切り換えて、主供給管路90と純水供給管路99を接続する状態から主供給管路90とアスピレータ110を接続する状態にする。この状態で、アスピレータ110を作動させ、主供給管路90,ノズル供給管路91,処理流体供給路22,下面供給管路92及び下面供給路85から純水を吸引する。その後、第1及び第2の開閉弁V1,V2を閉じる。
次に、ノズル20からN2ガスを吐出(供給)しながら、ノズルアーム21を回動してノズル20を回転中のウエハWの少なくとも中心から周縁まで移動させ、ウエハWの上面(表面)全体にN2ガスを供給して、純水を除去する。また、下面供給路85からもN2ガスを吐出(供給)し、ウエハWの下面(裏面)にN2ガスを供給して、純水を除去する。このようにして、ウエハWにN2ガスを供給してウエハWを乾燥させる。乾燥処理時においては、スピンチャック10とウエハWを酸性薬液処理時よりも高速に回転させる。なお、N2ガスを供給する前に、アスピレータ110の作動により、主供給管路90,ノズル供給管路91,処理流体供給路22,下面供給管路92及び下面供給路85から純水が吸引されているので、ノズル20及び下面供給路85から不用意に純水が押し出されることがなく、乾燥したN2ガスを供給することができる。また、アンダープレート80とウエハWの間に狭い隙間を形成して、これらの間にN2ガスを流すことにより、少量のN2ガスでウエハWの下面(裏面)全体を乾燥させることができる。
乾燥処理時に、スピンチャック10とウエハWを高速に回転しても、薬液処理やリンス処理の際にスピンチャック10の下方に落下する薬液,純水等をカバー体50が受け止めてウエハWの外周方向に飛散(排出)させる。また、モータ囲繞筒体40及び固定カバー体60側に液滴が付着していないので、この液滴が飛散してウエハWに再付着する虞がない。したがって、ウエハWにパーティクルが付着することや、ウォターマークが生じることを防止することができる。
乾燥処理の間も、導入口38aからN2ガス又はクリーンエアを導入し、アウターチャンバ32内にN2ガス又はクリーンエアによるダウンフローDFが形成される。
ウエハWを十分に乾燥処理したら、供給切換弁93,第1及び第2の開閉弁V1,V2を閉じて、ノズル20と下面供給路85からのN2ガスの供給を停止する。そして、回転駆動機構23を駆動させてノズルアーム21を回動させ、ノズルアーム21をノズル用開口32bからアウターチャンバ32の外側に移動させる。また、中空モータ12の駆動を停止させ、スピンチャック10とウエハWの回転を停止させる。スピンチャック10の回転を停止させるときは、操作ピンが保持部材11を押し上げることができる位置になるように、各保持部材11の位置を調整して停止させる。また、アンダープレート80を下降させ、ウエハWの下面から離隔させる。
更に、操作ピンを上昇させ保持部材11に係合させて保持部材11を外側に移動(回動)させ、ウエハWの周縁部を保持部材11の仮置き部によって支持する。
次に、シャッタ34を下降させて開口32aを開き、搬送アーム300をユニットチャンバ33の開口33a及びアウターチャンバ32の開口32aからアウターチャンバ32内に進入させる。そして、搬送アーム300を水平方向に直線移動させて、保持部材11の間からウエハWとアンダープレート80の間に進入させる。この状態で、搬送アーム300を上昇させることにより、保持部材11からウエハWを上昇させて、スピンチャック10から搬送アーム300にウエハWが受け渡されるようにする。ウエハWを搬送アーム300によって保持した後、搬送アーム300をスピンチャック10も上方から水平方向に直線移動させ、アウターチャンバ32の内部から退出させ、シャッタ34によって開口32aを閉じる。このようにして、洗浄されレジストが除去されたウエハWが洗浄処理装置から搬出される。
なお、上記実施形態では、この発明の基板処理装置が半導体ウエハの洗浄処理装置に適用される場合について説明したが、この発明は、これに限定されるものではない。例えば、基板は半導体ウエハに限らず、その他のLCD用ガラス基板やCD基板等であってもよい。
10 スピンチャック(保持手段)
12 中空モータ(回転手段)
20 ノズル(処理液供給手段)
30 処理容器
31 インナーカップ(内容器)
31c インナーカップ排出路
31e 底部
32 アウターチャンバ(外容器)
40 モータ囲繞筒体(回転体囲繞体)
50 カバー体
52 基部
53 水平片部
60 固定カバー体
70 昇降シリンダ
V 開閉弁
W 半導体ウエハ(被処理基板)
12 中空モータ(回転手段)
20 ノズル(処理液供給手段)
30 処理容器
31 インナーカップ(内容器)
31c インナーカップ排出路
31e 底部
32 アウターチャンバ(外容器)
40 モータ囲繞筒体(回転体囲繞体)
50 カバー体
52 基部
53 水平片部
60 固定カバー体
70 昇降シリンダ
V 開閉弁
W 半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (4)
- 被処理基板に処理液を供給して処理する基板処理装置であって、
上記被処理基板を水平状態で回転可能に保持する保持手段と、
上記保持手段を回転駆動する回転手段と、
上記保持手段にて保持された被処理基板の表面に適宜処理液を供給する処理液供給手段と、
上記保持手段を収容する処理容器と、を具備し、
上記保持手段の下部外周に、処理液が保持手段の下部側非回転部へ付着するのを阻止するカバー体を周設してなる、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
上記処理容器は、保持手段を収容すべく保持手段に対して相対的に昇降可能な内容器と、この内容器と上記保持手段を収容する外容器とからなり、
上記回転手段を囲繞する回転体囲繞筒体を更に具備し、
上記回転体囲繞筒体に、上記内容器が降下した際に内容器の開口縁部に接触可能な固定カバー体を周設してなる、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は2記載の基板処理装置において、
上記カバー体は、下方方向に向かって拡開する略スカート状の基部と、この基部の先端から外方に向かって延在する水平片部とを具備する、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2記載の基板処理装置において、
上記内容器の底部に設けられた排出管路に開閉弁を介設し、内容器が保持手段に対して下方位置に移動して固定カバー体と接触した状態において上記開閉弁を閉じるように形成してなる、ことを特徴とする基板処理装置。
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