KR100378759B1 - 자기기록매체 제조방법, 자기기록매체, 및 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치 - Google Patents

자기기록매체 제조방법, 자기기록매체, 및 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 기록방법은 마스터 정보 담체를 기록매체에 포갤 때에, 마스터 정보 담체의 기록매체측의 면을 외주부로부터 중앙부를 향하여 안쪽 방향으로 오목한 상태로 하고, 이 상태에서 마스터 정보 담체를 기록매체에 포갠 후 밀착시켜서, 정보신호를 기록매체에 전사기록하는 것이다. 본 발명의 기록방법은 자기 디스크나 광자기 디스크, 광 디스크 등, 구멍이 가공된 디스크의 제조에 널리 이용된다. 본 발명의 기록방법에 의하면, 평탄성 및 평활성이 우수하고, 또한 표면이 청정한 디스크를 단시간에 생산성 좋게, 또한 자기기록매체 전면에 걸쳐서 균일하고 안정하게 고밀도의 정보신호를 기록할 수 있다.

Description

자기기록매체 제조방법, 자기기록매체, 및 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치{Method of manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium, and apparatus for transferring and recording information signals onto magnetic recording medium}
현재, 자기기록 재생장치는, 소형이고 또한 대용량의 것을 실현하기 위해서, 고기록 밀도화의 경향에 있다. 대표적인 자기기록 재생장치인 하드 디스크 드라이브의 분야에 있어서는 이미 면기록 밀도가 3Gbit/in2(4.65Mbit/㎟)를 넘는 장치가 상품화되어 있고, 수년후에는 면기록 밀도가 10Gbit/in2(15.5Mbit/㎟)의 장치의 실용화가 예측될 정도로 급격하게 기술이 진보될 것이라고 판단된다.
이와 같은 고기록 밀도화에는 기록재생헤드의 트랙킹 서보 기술이 중요한 역할을 하고 있다. 현재의 자기기록매체의 트랙킹 서보 기술에서는 자기기록매체에는 일정한 각도의 간격으로 트랙킹용 서보 신호나 어드레스 정보신호, 재생 클럭 신호 등이 기록된 영역(이하, 프리 포맷 기록이라고 한다)이 형성되어 있다. 자기헤드는 일정한 간격으로 이들 신호를 재생함으로써, 자기헤드의 위치를 확인, 수정하면서정확하게 트랙 위를 주사하고 있다(예를 들면 야마구치 : 자기 디스크 장치의 고정밀도 서보 기술, 일본 응용 자기학회지, vol. 20, No. 3, pp771, 1996).
트랙킹용 서보 신호나 어드레스 정보신호, 재생 클럭 신호 등은 자기헤드가 정확하게 트랙 위를 주사하기 위한 기준신호가 되기 때문에, 그 기록시에는 정확한 위치결정 정밀도가 요구된다. 이 때문에, 종래에는 자기기록매체를 전용의 서보기록장치에 세트하여, 엄밀하게 위치제어된 자기헤드에 의해 프리 포맷 기록을 행하고 있었다(예를 들면, 植松, 외 ; 메카·서보, HDI 기술의 현상과 전망, 일본 응용 자기학회 제 93회 연구회 자료, 93-5, pp. 35, 1996).
그러나, 전용의 서보기록장치를 이용하여 프리 포맷 기록을 행하는 종래의 방법에서는 이하와 같은 과제가 있었다.
먼저 첫번째, 자기헤드에 의한 기록은 기본적으로 자기헤드와 자기기록매체의 상대이동에 의한 선기록이기 때문에, 상기 종래의 방법에서는 프리 포맷 기록에 많은 시간을 요한다. 또한, 프리 포맷 기록에 고가인 전용의 서보기록장치가 필요하기 때문에, 프리 포맷 기록의 비용이 높아졌다.
또, 두번째, 헤드와 매체 사이의 스페이싱이나 기록헤드의 분극형상에 의한 기록자계의 확대 때문에, 프리 포맷 기록된 트랙 단부의 자화전이가 급준성이 부족하다고 하는 문제가 있었다. 자화전이가 급준성이 부족한 경우에는, 정확한 트랙킹 서보 기술의 실현이 곤란하게 된다.
그래서, 자기헤드를 이용한 상기 종래의 프리 포맷 기록의 과제를 해결하는 수단으로서, 이하와 같은 방법이 제안되고 있다.
예를 들면, 일본국 특개평 7-78337호 공보에는 마스터 매체와 슬레이브 매체(피전사 매체)를 접촉시킨 상태에서, 탄성체로 이루어지는 압접수단에 의해 마스터 매체와 슬레이브 매체를 전면적으로 압착시키는 방법이 개시되어 있다.
또, 일본국 특개평 10-40544호 공보에는 기체(基體)의 표면에 정보신호에 대응하는 패턴 형상으로 강자성 재료로 이루어지는 자성부를 형성하여 마스터 정보 담체로 하고, 마스터 정보 담체에 형성한 정보신호에 대응하는 패턴 형상의 자기 패턴을 자기기록매체에 전사기록하는 방법이 개시되어 있다. 전사기록은 마스터 정보 담체의 표면을 강자성 박막 혹은 강자성 분말 도포층이 형성된 시트형상 또는 디스크형상 자기기록매체의 표면에 접촉시켜서 소정의 자계를 움직임으로써 행해진다.
그런데, 근래 자기 디스크, 광자기 디스크, 광 디스크 등의 디스크형상 기록매체는 소형화, 박형화(薄型化), 고용량화 등의 고성능화가 진행되고 있지만, 이에 따라서 상술한 바와 같이 고밀도 기록매체로의 요구가 높아지고 있다. 그와 같은 요구를 만족하기 위해서는, 고밀도로 높은 신뢰성을 갖는 디스크형상 기록매체가 필요하게 되기 때문에, 평탄성이나 평활성이 우수하고, 정보를 기록할 때에 미세한 먼지 등의 부착이 없는 디스크형상 기록매체를 제조하는 것이 급무가 되어 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 소정의 정보신호를 자기전사에 의해 기록하는 디스트형상 자기기록매체에 있어서, 정보신호를 자기전사 기록하는 공정에서는 디스크형상의 마스터 정보 담체의 정보를 정밀도 좋게 전사하기 위해 마스터 정보 담체와디스크형상 기록매체를 간극없이 밀착시킬 필요가 있다. 일본국 특개평 11-25455호 공보에는 이와 같은 밀착성을 향상시키는 자기전사에 관한 기술이 개시되어 있다. 그러나 이 공보기재의 방법에서는 마스터 정보 담체로서 구멍이 가공된 디스크형상의 마스터 정보 담체를 사용하고 있기 때문에, 마스터 정보 담체의 구멍의 가공에 의해서 생기는 미세한 먼지가 발생하는 등, 밀착성에 대해서 충분하다고는 말할 수 없었다.
본 발명은 이와 같은 현상을 감안하여 이루어진 것으로, 자기기록매체, 특히 고정 하드 디스크 매체, 리무버블 하드 디스크 매체, 대용량 플렉시블 매체 등의 디스크형상 기록매체에 단시간에 생산성이 좋고, 또한 안정하여 고밀도의 정보신호를 기록할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은 소정의 정보신호가 형성된 디스크형상의 마스터 정보 담체를 디스크형상의 기록매체에 포개어서, 마스터 정보 담체에 형성된 정보신호를 기록매체에 전사기록하는 것에 관한 것으로, 본 발명은 마스터 정보 담체를 기록매체에 포갤 때에, 마스터 정보 담체의 기록매체측의 면을 외주부로부터 중앙부를 향하여 오목한 상태로 하고, 이 상태에서 마스터 정보 담체를 상기 기록매체에 포개는 동시에 밀착시키는 것이다.
본 발명은 하드 디스크 드라이브 등의 기록재생장치에 이용되는 디스크형상 기록매체에 소정의 정보신호를 기록하기 위한 것으로, 자기기록매체 제조방법, 자기기록매체, 및 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 자기기록매체로의 기록방법을 실시하기 위한 장치의 일례의 개요를 도시하는 단면도, 도 2는 본 발명의 기록방법에 이용하는 마스터 정보 담체의 일례를 도시하는 평면도, 도 3은 마스터 정보 담체에 형성되는 정보신호의 배열 패턴의 일례를 설명하기 위한 설명도, 도 4는 본 발명에 의한 마스터 정보 담체의 일례를 도시하는 단면도, 도 5는 본 발명의 기록방법에서의 주요부 공정을 설명하기 위한 단면도, 도 6은 본 발명의 기록방법에서의 주요부 공정을 설명하기 위한 단면도, 도 7은 본 발명의 기록방법에서의 주요부 공정을 설명하기 위한 단면도, 도 8은 본 발명의 기록방법에서의 주요부 공정을 설명하기 위한 단면도, 도 9는 본 발명의 기록방법에서의 주요부 공정을 설명하기 위한 단면도, 도 10은 본 발명에 의한 기록방법에 있어서, 하드 디스크에 한쪽 방향으로 자계를 인가하고 있는 상황을 도시하는 사시도, 도 11은 도 10에 도시하는 공정에 의해 한쪽 방향으로 착자된 하드 디스크의 상황을 모식적으로 도시하는 사시도, 도 12는 본 발명에 의한 기록방법에 의해 하드 디스크에 정보신호를 전사기록하고 있는 상황을 도시하는 사시도, 도 13은 도 12에 도시하는 공정에 의해 정보신호가 기록된 하드 디스크의 상황을 모식적으로 도시하는 사시도, 도 14는 도 12에 도시하는 공정에 의해 하드 디스크에 정보신호를 전사기록한 경우의 자화 패턴의 모양을 설명하기 위한 설명도, 도 15는 본 발명의 방법을 이용하지 않고 전사를 행한 경우의 전사공정을 설명하기 위한 단면도, 도 16은 동일하게 본 발명의 방법을 이용하지 않고 전사를 행한 경우의 전사공정의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명의 방법은 자기 디스크나 광자기 디스크, 광 디스크 등, 구멍이 가공된 디스크형상 기록매체에 널리 이용할 수 있다. 본 발명에 의해, 평탄성 및 평활성이 우수하고, 또한 미세한 먼지 등이 부착하지 않는 기록매체를 얻을 수 있다.
또, 본 발명의 방법에 있어서, 마스터 정보 담체는 실리콘 웨이퍼로 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 실리콘 웨이퍼는 범용성이 높고, 또 재료로서도 미세가공이 용이하며 또한 강도적으로 우수하기 때문에, 예를 들면 평탄성 및 평활성이 우수한 것을 용이하게 제조할 수 있다. 이와 같은 실리콘 웨이퍼를 마스터 정보 담체로 하여, 하드 디스크 등의 디스크형상 기록매체에 밀착시킴으로써, 평탄성 및 평활성이 우수한 디스크형상 기록매체를 제조할 수 있다.
또, 본 발명에 의하면, 마스터 정보 담체와 기록매체의 밀착성이 높기 때문에, 정밀도 좋게 전사기록할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 전사를 위한 흡인상태를 해제하여 디스크형상 마스터 정보 담체와 디스크형상 기록매체를 분리할 때에, 마스터 정보 담체를 기록매체측에 가압한 상태에서, 마스터 정보 담체와 기록매체의 사이에 기체를 압송한다. 마스터 정보 담체와 기록매체가 분리된 후, 상기 마스터 정보 담체로의 가압을 해제함으로써, 전사기록을 행한 후에 기록매체를 마스터 정보 담체로부터 분리할 때, 기록매체가 마스터 정보 담체에 흡착한 상태로 분리할 수 없다고 하는 경우가 없기 때문에, 기록매체를 용이하게 분리할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 상술한 기록방법을 이용하여 디스크형상 자기기록매체에 프리 포맷 기록을 행하고, 그 자기기록매체를 이용하여 자기기록 재생장치를 구성하면 좋다.
또, 디스크형상 자기기록매체를 갖는 하드 디스크 드라이브에 있어서, 상술한 기록방법에 의해, 디스크형상 자기기록매체의 자성막에 프리 포맷 기록에 이용하는 자화 패턴을 전사기록하여, 그 디스크형상 자기기록매체를 본체 내에 조립하는 구성으로 할 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 실시형태의 일례에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 이러한 기록방법을 실시하기 위한 기록장치의 개요를 나타내고 있다. 도 1에 있어서, 슬레이브 디스크가 되는 디스크형상 자기기록매체인 하드 디스크(1)는 중심구멍(1a)을 도넛형상의 알루미늄 기판의 표면에 Co 등으로 이루어지는 강자성 박막이 스퍼터링법에 의해서 성막된 것이다.
상기 하드 디스크(1)에 포개어져서 배치된, 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상의 마스터 정보 담체(2)는 상기 하드 디스크(1)보다 직경이 큰 형상이다. 마스터 정보 담체(2)가 하드 디스크(1)에 접촉하는 면에는 하드 디스크(1)에 자기전사해야하는 정보신호에 대응한 미세한 배열 패턴 형상의 강자성 박막으로 이루어지는 신호영역이 설치되어 있다.
하드 디스크(1)를 유지하는 디스크 유지체인 스핀들(3)의 선단부에는 하드 디스크(1)를 위치결정하고, 유지하는 척부(3a)가 설치되어 있다. 또, 스핀들(3) 내부에는 하드 디스크(1)의 구멍(1a)에 연통하고 또한 일단이 배기 덕트(도시하지 않음)에 접속되는 흡인구멍(3b)이 설치되어 있다. 또, 배기 덕트의 단부에는 배기장치(도시하지 않음)가 장착되어 있다. 배기장치를 시동시킴으로써, 배기덕트, 스핀들(3)이 흡인구멍(3b)을 통과하며, 하드 디스크(1)와 마스터 정보 담체(2) 사이의 공간이 부압상태가 된다. 이 결과 마스터 정보 담체(2)가 하드 디스크(1)의 방향으로 흡인되고, 마스터 정보 담체(2)에 하드 디스크(1)가 위치결정된 상태에서 포개어진다. 또한, 이 때, 하드 디스크(1)와 마스터 정보 담체(2)의 사이에는 약간의 간극이 있고, 그 간극을 통하여 외부로부터 공기가 흡인된다.
마스터 정보 담체(2)의 유지체인 흡인 패드(4)는 마스터 정보 담체(2)의 거의 중앙부를 흡인함으로써, 하드 디스크(1)측의 면을 오목한 상태로 유지한다. 흡인 패드(4)는 마스터 정보 담체(2)를 흡인하기 위한 흡인구멍(4a)을 갖고, 또 마스터 정보 담체(2)에 맞닿는 선단부에는 그 흡인구멍(4a)에 연통하는 오목부(4b)가 설치되어 있다. 또, 흡인 패드(4)의 선단부의 오목부(4b)의 내부 직경은 하드 디스크(1)의 구멍(1a)의 직경과 거의 동일하게 구성되어 있다.
구멍이 가공되어 있지 않은 마스터 정보 담체(2)는 흡인 패드(4)에서 흡인되어 장착된다. 그 때의 흡인압력(P2)은 흡인 패드(4) 안쪽이 대기압보다도 낮게 되도록 설정되고, 마스터 정보 담체(2)의 하드 디스크(1)측 면의 거의 중앙부에 오목부가 형성된다. 이와 같이, 외주부로부터 중앙부를 향하여 흡인 패드(4)측에 오목한 상태가 된다.
예를 들면, 마스터 정보 담체(2)로서 약 0.5㎜ 두께의 실리콘 웨이퍼를 사용한 경우에는, 0.3∼1㎏/㎠ 범위의 압력으로 흡인하면, 마스터 정보 담체(2)는 거의 중앙부가 흡인 패드(4)측에 오목한 상태로 유지된다.
착자용 헤드(5)는 마스터 정보 담체(2)로부터 하드 디스크(1)에 전사기록하기 위한 것이다. 착자용 헤드(5)가 발생하는 자계에 의해, 마스터 정보 담체(2)에 형성된 정보신호에 대응한 자화 패턴으로 하드 디스크(1)에 정보신호가 기록된다.마스터 정보 담체(2)에 대향하는 착자용 헤드(5)의 갭의 형상은 기록재생용 자기헤드의 트랙킹 주사궤도와 동일한 반경의 원호로 되어 있다. 또, 자기헤드의 마스터 정보 담체(2)에 대향하는 면에는 부채형상이고, 그 한 변이 기록재생용 자기헤드의 트랙킹 주사궤도와 동일한 반경의 원호로 되어 있다. 따라서, 갭에 발생하는 자계의 방향은 트랙킹 주사궤도와 항상 수직으로 되고, 마스터 정보 담체(2)의 강자성 박막은 모든 트랙에서 기록재생용 자기헤드의 트랙킹 주사방향과 직각인 방향으로 자화된다. 즉, 강자성 박막은 기록재생용 자기헤드의 헤드 갭 방향과 동일한 방향으로 자화된다.
다음에, 본 발명에 사용하는 마스터 정보 담체(2)의 일례에 대해서 설명한다.
도 2는 마스터 정보 담체(2)의 일례의 평면을 모식적으로 나타내고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 마스터 정보 담체(2)의 한쪽 주면, 즉 하드 디스크(1)의 강자성 박막 표면에 접촉하는 측의 표면에는 대략 방사형상으로 신호영역(2a)이 형성되어 있다.
도 2의 점선으로 둘러싸인 부분(100)의 확대도를 도 3에 모식적으로 나타낸다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 신호영역(2a)에는 자기기록매체에 기록되는 디지털 정보신호(예를 들면 프리 포맷 기록)에 대응하는 위치에, 상기 정보신호에 대응한 패턴 형상으로 강자성 박막으로 이루어지는 마스터 정보 패턴이 형성되어 있다. 도 3에 있어서, 해칭을 실시한 부분이 강자성 박막에 의해서 구성된 자성부이다. 도 3에 나타내는 마스터 정보 패턴은 클럭 신호(101), 트랙킹용 서보 신호(102), 어드레스 정보신호(103) 등의 각각의 영역을 트랙킹 방향(104)으로 순서대로 배열한 것이다. 또한, 도 3에 나타내는 마스터 정보 패턴은 일례이고, 자기기록매체에 기록되는 디지털 정보신호에 따라서 마스터 정보 패턴의 구성이나 배치 등은 적당히 결정된다.
예를 들면, 하드 디스크 드라이브와 같이, 하드 디스크의 자성막에 먼저 레퍼런스 신호만을 기록하고, 그 후, 그 레퍼런스 신호에 따라서 트랙킹용 서보 신호 등의 프리 포맷 기록을 행하는 경우의 예를 다음에 기술한다.
먼저, 마스터 정보 담체(2)을 이용하여 하드 디스크의 자성막에 미리 프리 포맷 기록에 이용하는 레퍼런스 신호만을 전사기록한다. 다음에, 그 하드 디스크를 하드 디스크 드라이브의 본체 내에 장착하고, 트랙킹용 서보 신호 등의 프리 포맷 기록은 하드 디스크 드라이브의 자기헤드를 사용하여 행할 수 있다.
도 2, 도 3에 도시한 영역의 일부 단면을 도 4에 도시한다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 마스터 정보 담체(2)는 실리콘 웨이퍼(Si 기판) 등의 비자성 재료로 이루어지는 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상의 기체(10)로 이루어진다. 기체(10)의 한쪽 주면, 즉 하드 디스크(1)의 표면이 접촉하는 측의 표면에 정보신호에 대응하는 다수의 미세한 배열 패턴 형상으로 오목부(10a)가 형성되어 있다. 오목부(10a)에 자성부로 이루어지는 강자성 박막(11)을 메운 형태로 형성함으로써 마스터 정보 담체(2)는 구성되어 있다.
강자성 박막(11)으로서는 경질 자성 재료, 반경질 자성 재료, 연질 자성 재료를 포함하여, 많은 종류의 자성 재료를 이용할 수 있다. 즉, 강자성 박막(11)은자기기록매체에 디지털 정보신호를 전사기록할 수 있는 것이면 좋다.
예를 들면, Fe, Co, Fe-Co 합금 등을 이용할 수 있다. 또한, 마스터 정보가 기록되는 자기기록매체의 종류에 상관없이 충분한 기록자계를 발생시키기 위해서는 자성 재료의 포화 자속 밀도가 클수록 좋다. 특히, 2000에르스테드를 넘는 고보자력의 자기 디스크나 자성층의 두께가 큰 플렉시블 디스크에 대해서는 포화자속밀도가 0.8테슬라 이하가 되면 충분한 기록을 행할 수 없는 경우가 있기 때문에, 일반적으로는 0.8테슬라 이상, 바람직하게는 1.0테슬라 이상의 포화 자속 밀도를 갖는 자성 재료가 이용된다.
또, 강자성 박막(11)의 두께는 비트 길이나 자기기록매체의 포화 자화나 자성층의 막두께에 의해 변화하지만, 예를 들면 비트 길이 약 1㎛, 자기기록매체의 포화자화 약 500emu/cc, 자기기록매체의 자성층의 두께가 약 20㎚인 경우에는 50㎚∼500㎚ 정도이면 좋다.
다음에, 마스터 정보 담체를 제조하는 방법에 대해서 설명한다.
본 발명의 기록방법에 이용하는 마스터 정보 담체(2)는 다음 프로세스로 제조된다. 먼저, Si 기판의 표면에 레지스트막을 성막하고, 레이저 빔에 의한 포토리소그래피법 또는 전자 빔을 이용한 리소그래피 기술에 의해서 레지스트막을 패터닝한다. 그 후, 드라이 에칭 등에 의해서 Si 기판의 표면을 에칭하고, 정보신호에 대응한 미세한 요철형상을 형성한다. 그 후 Co 등으로 이루어지는 강자성 박막을 스퍼터링법, 진공증착법, 이온 플레이팅법, CVD법, 도금법 등에 의해 성막한다. 그 후, 이른바 리프트오프법에 의해서 레지스트막 상의 강자성 박막을 제거한다. 이것에 의해, 오목부에 강자성 박막이 메워진 형태로, 또한 정보신호에 대응한 자성부를 구비한 마스터 정보 담체(2)를 얻을 수 있다.
또한, 마스터 정보 담체의 표면에 요철형상을 형성하는 방법은 상술한 방법으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 레이저, 전자 빔 또는 이온 빔을 이용하여 미세한 요철형상을 직접 형성한다든지, 기계가공에 의해서 미세한 요철형상을 직접 형성해도 좋다.
다음에 마스터 정보 담체(2)에 형성한 패턴 형상으로 대응한 정보신호를 디스크형상 자기 기록매체인 하드 디스크에 기록하는 순서에 대해서 설명한다.
먼저 도 5에 도시하는 바와 같이, 원반형상의 마스터 정보 담체(2)를 흡인 패드(4)의 선단의 오목부(4b)에 의해 흡인압력(P2)으로 흡인한다. 이 때, 마스터 정보 담체(2)는 거의 중앙부가 흡인 패드(4)측에 오목한 상태로 유지되어 있다.
다음에, 이와 같이 흡인 패드(4)에 장착된 마스터 정보 담체(2)를 스핀들(3)에 장착된 슬레이브 디스크인 하드 디스크(1)에 근접시킨다.
여기에서, 이 하드 디스크(1)로서 예를 들면 내직경(Dm) 25㎜, 외직경 95㎜의 자기 디스크를 이용한 경우, 마스터 정보 담체(2)의 외직경은 100㎜ 정도가 적당하고, 또, 흡입 패드(4)의 선단부의 내직경, 즉 오목부(4b)의 내직경(Dp)은, 하드 디스크(1)의 중심구멍(1a)의 직경과 거의 동일한 직경으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명은 다양한 사이즈의 디스크에 사용하는 것이 가능하지만, 본 발명의 방법에 이용하는 마스터 정보 담체(2)의 외직경은 슬레이브 디스크인 하드 디스크(1)의 외직경보다도 약간 큰 외직경으로 하는 것이 바람직하다.
도 6에 도시하는 바와 같이, 양 디스크를 근접시킨 후, 이어서 스핀들(3)의 흡인구멍(3b)을 통해서 기체(氣體)를 압송한다. 이것에 의해, 대향하는 양 디스크 표면에 부착하는 미세한 먼지 등이 제거되고, 양 디스크의 표면이 청정화된다. 이 때, 압송하는 기체의 압력(P3)은 0.3∼1㎏/㎠의 범위가 적당하다.
이 공정에 의해 미세한 먼지 등이 제거되지만, 1㎛ 이하의 초미세한 먼지 등은 이 처리에 의해서도 제거되지 않은 경우가 있다. 이와 같은 초미세한 먼지 중, 하드 디스크(1)에 부착한 것은 뒤의 공정에서 마스터 정보 담체(2)와 하드 디스크(1)를 밀착시킨 후, 양 디스크를 분리함으로써, 하드 디스크(1)로부터 완전히 제거된다.
이와 같이 해서, 미세한 먼저를 제거한 후에는, 도 7에 도시하는 바와 같이 스핀들(3)을 통해서 기체의 압송을 중지하고, 마스터 정보 담체(2)와 하드 디스크(1)를 접착시키고, 그 후 도 1에 도시하는 바와 같이, 마스터 정보 담체(2)의 중앙부의 오목부가 평탄하게 되는 압력으로 스핀들(3)을 통해서 흡인한다. 이 때, 스핀들(3)의 흡인압력(P1)을 흡인패드(4)의 흡인압력(P2)과 동일한 압력으로 함으로써, 마스터 정보 담체(2)의 패임이 없어져서 평탄한 디스크형상이 되어, 슬레이브 디스크인 하드 디스크(1)와 마스터 정보 담체(2)는 양호하게 밀착하게 된다.
그 후, 양 디스크가 밀착한 상태에서 착자용 자기헤드(5)에 의해 전사자계를 인가하여 마스터 정보 담체(2)의 정보를 하드 디스크(1)에 전사기록한다. 그리고 다음에 스핀들(3)의 흡인을 중지하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 역으로스핀들(3)을 통하여 압력(P4)의 기체를 압송하여, 도 9에 도시하는 바와 같이, 양 디스크를 분리한다. 스핀들(3)에 기체를 압송하는 경우의 기체의 압력(P4)은 0.3∼1㎏/㎠의 범위가 적당하다.
여기에서, 착자용 자기헤드(5)에 의해 전사자계를 인가하여 마스터 정보 담체(2)의 정보를 하드 디스크(1)에 전사기록할 때의 방법에 대해서 설명한다.
먼저, 미리 도 10에 나타내는 바와 같이, 착자용 헤드(5)를 하드 디스크(1)에 근접시킨 상태에서 하드 디스크(1)의 중심축을 회전축으로 하여 하드 디스크(1)와 평행하게 회전시켜서, 도 11의 화살표로 나타내는 바와 같이 하드 디스크(1)를 한쪽 방향으로 자화한다(초기 자화).
다음에, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하드 디스크(1)에 마스터 정보 담체(2)를 위치결정하여, 마스터 정보 담체(2)의 강자성 박막(11)이 형성되어 있는 면과, 하드 디스크(1)가 균일하게 밀착하도록 포개진다. 그 후, 도 12에 도시하는 바와 같이, 착자용 헤드(5)에 의한 자계의 방향을 초기 자화와는 역방향으로 발생하도록 착자용 헤드(5)에 인가하는 전류의 방향을 역으로 한다. 또한, 하드 디스크(1)의 중심을 회전중심으로 하여, 착자용 헤드(5)를 마스터 정보 담체(2)와 평행하게 회전시켜서, 마스터 정보 담체(2)에 직류 여자 자계를 인가한다. 이것에 의해, 마스터 정보 담체(2)의 강자성 박막(11)이 자화된다. 그리고 마스터 정보 담체(2)에 포개어진 하드 디스크(1)의 소정의 영역(1b)에 도 13에 도시하는 바와 같이 강자성 박막(11)에 의한 자성부의 패턴형상에 대응한 정보신호가 기록된다. 또한, 도 13에 나타내는 화살표는 이 때 하드 디스크(1)에 전사기록되는 자화 패턴의 자계의 방향을 나타내고 있다.
도 14에 자화처리시의 모양을 나타낸다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 마스터 정보 담체(2)를 하드 디스크(1)에 밀착시킨 상태에서 마스터 정보 담체(2)에 외부로부터 자계를 인가하여 강자성 박막(11)을 자화한다. 이와 같이, 하드 디스크(1)의 강자성 박막으로 이루어지는 자기기록층(1c)에 정보신호를 기록할 수 있다. 즉, 비자성 기체(10)에 소정의 배열 패턴 형상으로 강자성 박막(11)을 형성하여 구성한 마스터 정보 담체(2)를 이용함으로써, 디지털 정보 신호를 하드 디스크(1)에 자기적으로 전사기록할 수 있다.
또한, 마스터 정보 담체(2)의 패턴을 하드 디스크(1)에 전사기록할 때의 방법으로서, 상술한 바와 같이 마스터 정보 담체(2)를 하드 디스크(1)에 접촉시킨 상태에서 외부 자계를 인가하는 방법 이외에, 마스터 정보 담체(2)의 강자성 박막(11)을 미리 자화시켜 두고, 그 상태에서 마스터 정보 담체(2)를 하드 디스크(1)에 밀착하도록 접촉시키는 방법이 있다. 이 방법으로도 하드 디스크(1)에 디지털 정보신호를 기록할 수 있다.
그런데, 본 발명과 같은 마스터 정보 담체로부터 자기기록매체에 전사기록하는 방법에서는, 마스터 정보 담체에 자기기록매체에 기록시키고 싶은 소정의 디지털 정보신호에 대응하도록 배열 패턴 형상으로 강자성 박막에 의한 자성부를 미리 형성하여 두고, 그리고 그 마스터 정보 담체에 자기기록매체를 접촉시켜서, 마스터 정보 담체에 형성된 배열 패턴 형상을 자화 패턴으로서 전사기록하기 때문에, 마스터 정보 담체에 형성한 자성부의 배열 패턴에 대응하는 자화 패턴으로서 어떻게 신뢰성 좋고 정확하게 전사할 수 있는지가 중요하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 방법에서 이용하는 마스터 정보 담체(2)는 구멍이 가공되어 있지 않은 디스크이다. 이와 같은 형상의 마스터 정보 담체(2)를 이용함으로써, 마스터 정보 담체(2)의 구멍의 가공이 불필요하게 되어, 디스크의 전사에 사용하는 경우에 디스크형상 자기기록매체의 생산성을 향상시킬 수 있다.
또, 마스터 정보 담체(2)가 평탄하지 않은 경우, 디스크형상 자기기록매체를 마스터 디스크에 밀착시켜서 정보를 전사할 때에 스핀들(3)로 흡인하면, 도 15에 도시하는 바와 같이 마스터 정보 담체(2)의 외주 부분에서 슬레이브 디스크인 하드 디스크(1)와의 사이에 간극이 생긴다든지, 도 16에 도시하는 바와 같이 마스터 정보 담체(2)의 내주 부분에서 하드 디스크(1)의 사이에 간극이 생긴다. 이와 같은 간극이 생긴 경우에는, 마스터 정보 담체(2)의 정보를 하드 디스크(1)에 전사할 때에, 전면에 걸쳐서 균일하게 정밀도 좋게 전사기록할 수 없게 될 우려가 있다.
본 발명의 방법에서는, 상술한 바와 같이 마스터 정보 담체(2)의 거의 중앙부를 흡인 패드(4)에 의해 흡인하는 등에 의해, 미리 마스터 정보 담체(2)의 거의 중앙부를 오목한 상태로 하고 있기 때문에, 양 디스크를 밀착하였을 때, 도 7에 도시하는 바와 같이, 마스터 정보 담체(2)의 외주측으로부터 점차적으로 간극이 발생하는 구조가 된다. 이것에 의해서 양 디스크를 포개었을 때에, 스핀들(3)을 흡인하여 마스터 정보 담체(2)를 평탄하게 하면, 양 디스크가 간극없이 밀착되고, 이것에 의해서 마스터 정보 담체(2)의 정보 신호를 슬레이브 디스크인 하드 디스크(1)에 전면에 걸쳐서 균일하고 정밀도 좋게 전사기록할 수 있다.
또한, 본 발명의 방법에 의하면, 슬레이브 디스크로서의 하드 디스크(1)와 마스터 정보 담체(2)의 밀착성이 양호하게 된다. 이것에 의해, 평탄성 및 평활성이 우수하고, 또한 미세한 먼지 등이 부착되지 않는 슬레이브 디스크로 할 수 있다.
이하, 구체적인 실시예에 의해 제조조건의 일례를 설명한다.
(실시예 1)
정보신호를 갖는 디스크형상 마스터 정보 담체로서, 외직경 100㎜, 두께 0.525㎜의 실리콘 웨이퍼를 이용하고, 또 슬레이브 디스크로서 외직경 95㎜, 내직경 25㎜, 두께 0.8㎜의 자기 하드 디스크 매체(3.5인치 하드 디스크)를 이용하여 마스터 정보 담체로부터 자기 하드 디스크 매체로의 정보의 전사기록을 행하였다.
이 때, 도 5에서, 흡인 패드의 내부직경(Dp)도 슬레이브 디스크의 내부직경과 동일하게 25㎜로 하고, 흡인압력(P2)은 0.8㎏/㎠로 설정하였다. 도 6에서, 스핀들로 보내는 기체의 압력(P3)은 0.6㎏/㎠로 설정하였다. 또, 도 1에서의 P1은 P2와 동일하게 흡인압력으로 설정하고, 도 8에서의 스핀들로 보내는 기체의 압력(P4)은 0.6㎏/㎠로 설정하였다.
이와 같은 방법으로 기록을 행한 자기 하드 디스크 매체는 전사기록된 정보신호에 결락이 없고, 또 디스크에 먼지의 부착 등에 의한 손상도 발견되지 않았다. 또한, 전사후의 디스크의 표면을 10㎚레벨의 측정 정밀도를 갖는 레이저 도플러형 디스크 검사장치로 검사한 결과, 전사후의 디스크에 먼지의 부착이나 먼지에 의한 상처가 전혀 발견되지 않았다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 평탄성 및 평활성이 우수하고, 또한 미세한 먼지 등이 부착하지 않는 디스크를 얻을 수 있으며, 또한 디스크에 정보를 전사기록하는데에 있어서, 마스터 정보 담체로부터 슬레이브 디스크인 디스크형상 기록매체에 정보를 정밀도 좋게 전사하는 것이 가능하다. 특히, 하드 디스크 드라이브나 플로피 디스크 드라이브에 이용되는 자기 디스크에서의 전사기록에 있어서, 마스터 정보 담체와 슬레이브 디스크를 간극없이 밀착시킬 수 있기 때문에, 단시간에 생산성 좋고, 또한 자기기록매체 전면에 걸쳐서 균일하고 안정하게 고밀도의 정보신호를 기록할 수 있으며, 고정밀도로 신뢰성이 높은 자기 디스크를 얻을 수 있다.

Claims (41)

  1. (정정)자기기록매체 제조방법에 있어서,
    디스크형상의 기체(基體) 상에 정보신호에 대응하는 패턴 형상의 강자성 박막으로 이루어지는 자성부를 형성하여 마스터 정보 담체를 제조하는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체를상기자기기록매체에 포개는 공정과,
    상기 자성부를 자화하여 상기 정보신호에 대응하는상기패턴을 자화 패턴으로서상기자기기록매체에 전사기록하는 공정을 포함하고,
    상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체에 포개는 공정에서, 상기 자기기록매체에 대한 상기 마스터 정보 담체의 면을 오목한 형상으로 하여, 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체에 포갠 후에, 상기 자기기록매체에 밀착시키는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  2. (정정)자기기록매체 제조방법에 있어서,
    스크형상의 기체 상에 정보신호에 대응하는 패턴 형상의 강자성 박막으로 이루어지는 자성부를 형성하여 마스터 정보 담체를 제조하는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체를상기자기기록매체에 포개는 공정과,
    상기 자성부를 자화하여 상기 정보신호에 대응하는상기패턴을 자화 패턴으로서상기자기기록매체에 전사기록하는 공정을 포함하고,
    상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체에 포개는 공정에서,상기 자기기록매체에 대한 상기 마스터 정보 담체의 면을 오목한 형상으로 하여, 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체에 포갠 후에,상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體))를 압송함으로써 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 표면을 청정하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  3. (정정) 제1항에 있어서, 상기 포개어지는 공정에서,상기 자기기록매체와 상기 마스터 정보담체간 공간에 배기장치를 사용하여 부압을 가하여,상기 마스터 정보 담체의 상기 오목한 면이평탄하게 되는 압력으로 상기 마스터 정보 담체를 흡인하면서, 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체를 밀착시키는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  4. (정정) 제3항에 있어서, 상기 포개어지는 공정에서, 상기 마스터 정보 담체의 면이 오목한 상태에서 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송함으로써 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 표면을 청정하는 공정을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  5. (정정) 제3항에 있어서, 상기 전사기록 후, 상기 흡인상태를 해제하여 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체를 분리하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  6. (정정) 제4항에 있어서, 상기 전사기록 후, 상기 흡인상태를 해제하여 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체를 분리하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  7. (정정) 제5항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  8. (정정) 제5항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체측에 가압한 상태에서, 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하여, 상기 분리한 후에, 상기 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  9. (정정) 제1항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 흡인구멍과 오목부를 갖는 마스터 정보담체 유지체에 의해 흡인 유지되고, 또한 상기 오목부의 내직경은 상기 자기기록매체의 중심구멍의 직경과 거의 동일한 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  10. (정정)디스크 형상의 기록매체 제조방법에 있어서,
    마스터 정보 담체에 소정의 정보신호를 형성하는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체를 디스크형상 기록매체에 포개는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체에 형성된 정보신호를상기 디스크형상기록매체에 전사기록하는 공정을 포함하고,
    상기포개는 공정에서, 상기디스크형상기록매체에 대한 상기 마스터 정보 담체의 면이 오목한 상태에서 상기 마스터 정보 담체를 상기디스크형상기록매체에 포개어, 밀착시키는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  11. (정정)디스크형상의 기록매체 제조방법에 있어서,
    마스터 정보 담체에 소정의 정보신호를 형성하는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체를 디스크형상 기록매체에 포개는 공정과,
    상기 마스터 정보 담체에 형성된 정보신호를상기 디스크형상기록매체에 전사기록하는 공정을 포함하고,
    상기 마스터 정보 담체를 상기디스크형상기록매체에 포개는 공정에서,상기 디스크형상 기록매체에 대한 상기 마스터 정보 담체의 면을 오목한 형상으로 하여, 상기 마스터 정보 담체를 상기 디스크형상 기록매체에 포갠 후에,상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송함으로써 상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체의 표면을 청정하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  12. (정정) 제10항에 있어서, 상기 포개는 공정에서,상기 디스크형상 기록매체와 상기 마스터 정보담체간 공간에 배기장치를 사용하여 부압을 가하여,상기 마스터 정보 담체의 상기 오목부가 평탄하게 되는 압력으로 상기 마스터 정보 담체를 흡인하면서 상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체를 밀착시키는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  13. (정정) 제12항에 있어서, 상기 포개는 공정에서, 상기 마스터 정보 담체의 면이 오목한 상태에서 상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송함으로써 상기 마스터 정보 담체와 상기 디스크형상 기록매체의 표면을 청정하는 공정을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  14. (정정) 제12항에 있어서, 상기 전사기록 후, 상기 흡인상태를 해제하여 상기 마스터 정보 담체와 상기 디스크형상 기록매체를 분리하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  15. (정정) 제13항에 있어서, 상기 전사기록 후, 상기 흡입상태를 해제하여 상기 마스터 정보 담체와 상기 디스크형상 기록매체를 분리하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  16. (정정) 제1항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상인 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  17. (정정) 제1항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 실리콘 웨이퍼로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는자기기록매체제조방법.
  18. (정정) 제14항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  19. (정정) 제14항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체측에 가압한 상태에서, 상기 마스터 정보 담체와 상기디스크형상기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하여, 상기 분리한 후에, 상기 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  20. (정정) 제10항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 흡인구멍과 오목부를 갖는 마스터 정보담체 유지체에 의해 흡인유지되고, 또한 상기 오목부의 내직경은 상기 디스크형상 기록매체의 중심구멍의 직경과 거의 동일한 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체제조방법.
  21. (삭제)
  22. (정정) 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된자기기록매체로의 기록방법에 의해, 사전에 자성막에 프리 포맷 기록에 이용하는 자화 패턴이 전사기록되어 이루어지는자기기록매체.
  23. (신설) 제6항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  24. (신설) 제6항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체측에 가압한 상태에서, 상기 마스터 정보 담체와 상기 자기기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하여, 상기 분리한 후에, 상기 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  25. (신설) 제2항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 흡인구멍과 오목부를 갖는 마스터 정보담체 유지체에 의해 흡인 유지되고, 또한 상기 오목부의 내직경은 상기 자기기록매체의 중심구멍의 직경과 거의 동일한 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  26. (신설) 제2항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상인 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  27. (신설) 제10항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상인 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  28. (신설) 제11항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 구멍이 가공되어 있지 않은 원반형상인 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  29. (신설) 제2항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 실리콘 웨이퍼로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  30. (신설) 제10항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 실리콘 웨이퍼로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  31. (신설) 제11항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 실리콘 웨이퍼로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  32. (신설) 제15항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에, 상기 마스터 정보 담체와 상기 디스크형상 기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  33. (신설) 제15항에 있어서, 상기 분리를 행할 때에 상기 마스터 정보 담체를 상기 자기기록매체측에 가압한 상태에서, 상기 마스터 정보 담체와 상기 디스크형상 기록매체의 사이에 기체(氣體)를 압송하여, 상기 분리한 후에, 상기 가압을 해제하는 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  34. (신설) 제15항에 있어서, 상기 마스터 정보 담체는 흡인구멍과 오목부를 갖는 마스터 정보담체 유지체에 의해 흡인유지되고, 또한 상기 오목부의 내직경은 상기 디스크형상 기록매체의 중심구멍의 직경과 거의 동일한 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  35. (신설) 제2항에 기재된 자기기록매체 제조방법에 의해, 사전에 자성막에 프리 포맷 기록에 이용하는 자화 패턴이 전사기록되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  36. (신설) 제1항에 있어서, 상기 마스터 정보담체는 상기 마스터 정보담체의 중심에 정점을 가진 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  37. (신설) 제10항에 있어서, 상기 마스터 정보담체는 상기 마스터 정보담체의 중심에 정점을 가진 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
  38. (신설) 자기기록매체에 정보신호들을 전사기록하는 장치에 있어서,
    상기 자기기록매체를 유지하는 유지체;
    마스터 정보담체를 흡인함으로써, 상기 정보신호들을 갖는 상기 마스터 정보담체를 유지하는 흡인 패드;
    상기 마스터 정보담체를 상기 자기기록매체에 포갠 상태에서 상기 마스터 정보담체로부터의 정보신호들을 상기 자기기록매체에 전사시키는 자기헤드를 포함하고;
    상기 마스터 정보담체는 상기 마스터 정보담체의 중심에 정점을 갖는 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치.
  39. (신설) 제38항에 있어서, 상기 유지체는 상기 자기기록매체의 구멍을 통해 상기 마스터 정보담체의 표면을 흡인하는 흡인구멍을 구비하고, 상기 유지체에 의해 흡인되는 상기 표면은 상기 흡인 패드에 의해 흡인되는 표면과는 대향되는 측인 것을 특징으로 하는 자기기록매체에의 정보신호 전사기록 장치.
  40. (신설) 제2항에 있어서, 상기 마스터 정보담체는 상기 마스터 정보담체의 중심에 정점을 가진 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 자기기록매체 제조방법.
  41. (신설) 제11항에 있어서, 상기 마스터 정보담체의 중심에 정점을 가진 오목한 형상인 것을 특징으로 하는 디스크형상 기록매체 제조방법.
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