JP2002008230A

JP2002008230A - マスターディスク

Info

Publication number: JP2002008230A
Application number: JP2001122461A
Authority: JP
Inventors: Taizo Hamada; 泰三浜田; Hideyuki Hashi; 秀幸橋; Tatsuro Ishida; 達朗石田; Nobuyuki Furumura; 展之古村; Yasuaki Ban; 泰明伴; Keizo Miyata; 宮田　　敬三; Kiyokazu Toma; 清和東間
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-04-21
Filing date: 2001-04-20
Publication date: 2002-01-11
Anticipated expiration: 2021-04-20
Also published as: JP3349143B2

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ディスクやマスターディスクに付着する
異物の影響を回避するマスターディスクを提供するこ
と。【解決手段】強磁性薄膜の配列が形成され磁気ディス
ク表面に密着するランド部に対し、磁気ディスク表面に
密着しない凹部を設け、ランド部の存在領域が対向する
磁気ディスクの外周端部から所定の距離内側あるいはま
た内周端部から所定の距離外側の領域に限定されてい
る。さらに、マスターディスクの外径は、対向する磁気
ディスクより大きい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクをス
レーブディスクとして、磁気的な情報をスレーブディス
クに磁気転写するマスターディスクに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔｓ／ｉｎ２（４．６５Ｍｂｉｔｓ／ｍｍ２）を超え
る装置が商品化されており、数年後には、面記録密度が
１０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎ２（１５．５Ｍｂｉｔｓ／ｍｍ
２）の装置の実用化が予測されるほどの急激な技術の進
歩が認められる。

【０００３】このような高記録密度化が可能となった技
術的背景として、磁気記録媒体及びヘッド・ディスクイ
ンターフェースの性能の向上やパーシャルレスポンス等
の新規な信号処理方式の出現による線記録密度の向上が
挙げられる。

【０００４】ここで、パーシャルレスポンスとは、線記
録密度が高くなった時に、符号間干渉を回避するために
行う波形等化の際に、既知の符号間干渉を意図的に与え
る方式であって、従来のピーク検出や積分検出に比べて
Ｓ／Ｎの悪化を防止出来る、という特徴を有する。

【０００５】しかし、このような信号処理方式の出現に
加え、近年では、トラック密度の増加傾向が線記録密度
の増加傾向を大きく上回り、面記録密度の向上の主な要
因となっている。これは、従来の誘導型磁気ヘッドに比
べて再生出力性能がはるかに優れた磁気抵抗素子型ヘッ
ドの実用化によるものである。現在、磁気抵抗素子型ヘ
ッドの実用化により、数μｍ以下のトラック幅信号を高
いＳ／Ｎ比をもって再生することが可能となっている。
一方、今後のさらなるヘッド性能の向上に伴い、近い将
来には、トラックピッチがサブミクロン領域に達するも
のと予想されている。

【０００６】磁気ヘッドがこのような狭いトラックを正
確に走査し、高いＳ／Ｎ比をもって信号を再生するため
には、磁気ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役
割を果たす。このようなトラッキングサーボ技術に関し
ては、例えば、『山口：磁気ディスク装置の高精度サー
ボ技術、日本応用磁気学会誌、Vol.20, No.3, p.771,
（１９９６）』に詳細な内容が開示されている。この文
献によれば、現在のハードディスクドライブでは、ディ
スクの１周、すなわち角度にして３６０度中に、一定の
角度間隔でトラッキング用サーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等が記録された領域（以下『プリ
フォーマット記録領域』という。）が設けられている。
これにより、磁気ヘッドは、一定の間隔でこれらの信号
を再生して自己の位置を確認し、磁気ディスクの径方向
における変位を必要に応じて修正しながら正確にトラッ
ク上を走査することができる。

【０００７】上記したトラッキング用サーボ信号、アド
レス情報信号、再生クロック信号等のプリフォーマット
情報信号は、磁気ヘッドが正確にトラック上を走査する
ための基準信号となるものであるから、その記録時に
は、正確なトラック位置決め精度が要求される。例え
ば、『植松、他：メカ・サーボ、ＨＤＩ技術の現状と展
望、日本応用磁気学会第９３回研究会資料、93-5, pp.3
5 （１９９６）』に開示された内容によれば、現在のハ
ードディスクドライブでは、磁気ディスク及び磁気ヘッ
ドをドライブ内に組み込んだ後、専用のサーボトラック
記録装置を用いて、ドライブ内に組み込まれた固有の磁
気ヘッドにより、トラッキング用サーボ信号、アドレス
情報信号、再生クロック信号等の記録が行われている。
この場合、ドライブ内に組み込まれた固有の磁気ヘッド
を、サーボトラック記録装置に装備された外部アクチュ
エータによって精密に位置制御しながらプリフォーマッ
ト記録を行うことにより、必要なトラック位置決め精度
が実現されている。

【０００８】しかし、専用のサーボトラック記録装置を
用い、ドライブ内に組み込まれた固有の磁気ヘッドによ
ってプリフォーマット記録を行う従来の技術には、以下
のような問題点があった。

【０００９】第１に、磁気ヘッドによる記録は、基本的
に磁気ヘッドと磁気記録媒体との相対的な移動による線
記録であるため、専用のサーボトラック記録装置を用
い、磁気ヘッドを精密に位置制御しながら記録を行う上
記方法では、プリフォーマット記録に多くの時間を要す
る。さらに、専用のサーボトラック記録装置はかなり高
価であるため、プリフォーマット記録に要するコストが
高くなる。

【００１０】この課題は、磁気記録再生装置のトラック
密度が向上するほど深刻である。ディスクの径方向のト
ラック数が増加することに加えて、以下の理由によって
もプリフォーマット記録に要する時間が長くなる。すな
わち、トラック密度が向上するほど磁気ヘッドの位置決
めに高精度が要求されるため、ディスクの１周において
トラッキング用サーボ信号等の情報信号を記録するプリ
フォーマット記録領域を設ける角度間隔を小さくしなけ
ればならない。従って、高記録密度の装置ほどディスク
にプリフォーマット記録すべき信号量が多くなり、多く
の時間を要することになる。

【００１１】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向に
あるものの、依然として３．５インチや５インチの大径
ディスクに対する需要も多い。ディスクの記録面積が大
きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くな
る。このような大径ディスクのコストパフォーマンスに
関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく
影響している。

【００１２】第２に、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間
のスペーシング、及び、磁気ヘッドの先端ポール形状に
起因して記録磁界が広がるため、プリフォーマット記録
されたトラック端部の磁化遷移が急峻性に欠ける。

【００１３】磁気ヘッドによる記録は、基本的に磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体との相対的な移動による動的な線記
録であるため、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間のイン
ターフェース性能の観点から、磁気ヘッドと磁気記録媒
体との間に一定量のスペーシングを設けざるを得ない。
また、現在の磁気ヘッドは、通常、記録と再生を別々に
担う２つのエレメントを有する構造であるため、記録ギ
ャップの後縁側ポールの幅が記録トラック幅に相当し、
前縁側ポールの幅は記録トラック幅の数倍以上と大きく
なっている。

【００１４】上記２つの問題点は、いずれも、記録トラ
ック端部において記録磁界の広がりを生じさせる要因と
なる。その結果、プリフォーマット記録された記録トラ
ック端部の磁化遷移が急峻性に欠ける、あるいはトラッ
ク端両側に消去領域を生じるといった問題が生じる。現
在のトラッキングサーボ技術では、磁気ヘッドがトラッ
クを外れて走査した際の再生出力の変化量に基づいて磁
気ヘッドの位置を検出している。このため、サーボ領域
間に記録されたデータ信号を再生する際のように、磁気
ヘッドがトラック上を正確に走査したときのＳ／Ｎ比に
優れることだけではなく、磁気ヘッドがトラックを外れ
て走査したときの再生出力変化量、すなわちオフトラッ
ク特性が急峻であることが要求される。従って、上記の
ようにプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミクロントラック
記録における正確なトラッキングサーボ技術の実現が困
難になる。

【００１５】そこで、上記のような磁気ヘッドによるプ
リフォーマット記録における２つの問題点を解決するた
め、基体の表面にプリフォーマット情報信号に対応する
強磁性薄膜パターンが形成されているマスター情報担体
の表面を、磁気記録媒体の表面に接触させた後に、マス
ター情報担体に形成された強磁性薄膜パターンを磁化さ
せることにより、強磁性薄膜パターンに対応する磁化パ
ターンを磁気記録媒体に記録する技術が特開平１０−４
０５４４号公報に開示されている。

【００１６】このプリフォーマット記録技術によれば、
記録媒体のＳ／Ｎ比、インターフェース性能等の他の重
要性能を犠牲にすることなく、良好なプリフォーマット
記録を効率的に行うことができる。

【００１７】同公報に開示された内容によると、トラッ
キング用サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック
信号などのプリフォーマット情報信号に対応する強磁性
薄膜パターンは、従来のフォトリソグラフィ技術を用い
て、マスター情報担体の表面に形成させることができ
る。

【００１８】図３にその強磁性薄膜パターンの配列の１
例を示す。図中ハッチング部（２）は強磁性薄膜の配列
である。

【００１９】図４は同公報に示されているような方法に
よってサーボ信号を磁気ディスクに転写するための磁気
転写用マスターディスクの部分断面図である。１はマス
ターディスク基体であり、２は強磁性薄膜である。強磁
性薄膜２はマスターディスク基体１に一部埋め込まれて
いる。強磁性薄膜２には、コバルト、パーマロイなどの
軟磁性材料で飽和磁束密度の高い材料が用いられる。

【００２０】図５は上記したような強磁性薄膜の配列パ
ターンを有する従来のマスターディスクの全体構成を説
明するものである。３はマスターディスク、５は磁気デ
ィスクを密接したときに磁気ディスク表面に密着するラ
ンド部、４はランド部５上に設けられた強磁性薄膜の配
列パターン部、６はランド部５から特定の段差をもった
凹部である。

【００２１】図６は同従来のマスターディスク３の平面
図を示し、同心円状大小に描かれた破線は、マスターデ
ィスク３に対向して密着し情報が転写される磁気ディス
ク７の外径及び内径を示す。凹部６は、マスターディス
ク７の中心部から複数の溝となって放射状に拡がり、磁
気ディスク７の外径の内側で閉じている。一方、ランド
部５は、マスターディスク３の中心部から放射状に外周
に向かって放射状に広がっており、磁気ディスク７の外
径の内側でつながっている。

【００２２】このようにして、転写の際に磁気ディスク
７がマスターディスク３に密接されると、凹部６は磁気
ディスク７の外周端部で閉じ、磁気ディスク内周端部で
解放される放射状の空間を形成することとなる。

【００２３】図７から図１０は上記マスターディスク３
をもちいて磁気ディスク７に磁気転写する過程を説明す
る図である。これらの図において、８は磁気ディスク７
を支持するスピンドル、９は転写磁界を発生するマグネ
ットである。

【００２４】磁気転写の第１段階は、図７に示すように
磁気ディスク７にマグネット９を近接させ、磁気ディス
ク７の円周方向に回転走査させる。このようにすること
により、図９矢印に示すように、磁気ディスク７の全面
に円周方向に一方向の第１磁化１０が残る。

【００２５】磁気転写の第２段階は、図８に示すように
一方向に着磁された磁気ディスク７にマスターディスク
３を重ね合わせる。次にスピンドル８の通気口から排気
をおこないマスターディスク３と磁気ディスク７の間の
空気を排出する。このとき、マスターディスク３の凹部
６と磁気ディスク７とで形成された空間の空気が排出さ
れて凹部６が負圧になる。こうすることによってマスタ
ーディスクと磁気ディスクが密着する。

【００２６】次に第１段階と同様にマグネット９を磁気
ディスク７に近接させて、磁気ディスク７の円周方向に
回転走査させる。このとき、回転走査方向は第１段階と
同方向あるいは逆方向どちらでも良いが、マグネット９
の極性は第１段階における極性とは逆にする。こうする
ことにより、図１０に示すように、マスターディスク３
の強磁性薄膜の配列パターン部４に対向した部分には、
その配列に対応した磁化したパターン磁化領域１１が形
成され、また、マスターディスク３の強磁性薄膜の配列
パターン部４に対向した部分以外の部分には矢印で示し
た通り円周方向に一方向の第２磁化１２が残る。

【００２７】このような磁気転写によって磁気ディスク
１に記録される信号の品質は、転写磁界を印可する際の
強磁性薄膜と磁気ディスク表面の距離で決まる。すなわ
ちマスターディスクと磁気ディスクがいかに良く密着す
るかによって決まる。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】ここで、ハードディス
クドライブでは、磁気ヘッドと磁気ディスクの隙間は数
十ナノメートルであるので、磁気ディスク上に微細な異
物があっても問題となる。そこで磁気ディスクの製造過
程において、磁気ディスク上の異物を検査することが行
われている。

【００２９】その検査は、一般的に図１１に示すような
方法で行われる。図１１において、１３は磁気ディスク
７の表面に照射されるレーザー光、１４は磁気ディスク
７で反射されるレーザー光１３の正反射成分、１５は磁
気ディスク７上の異物によって散乱する反射散乱光であ
る。通常、異物によって散乱する反射散乱光１５をディ
テクタ１６で検出することにより磁気ディスク７上の異
物の有無を判定する。

【００３０】しかし図１２に示すように磁気ディスク７
の内周や外周エッジではレーザー光１３が乱反射し易
く、異物が無くとも反射散乱光１５としてディテクタ１
６に入射し異物と誤判定される。従って通常、図１３に
示すように異物検査範囲１７は内周エッジから所定の距
離（一般的に０．１ｍｍから０．５ｍｍ）以上外側でか
つ外周エッジから所定の距離（一般的に０．１ｍｍから
０．５ｍｍ）以上内側の領域に設定されるのが実情であ
る。

【００３１】一方、磁気ディスクの製造過程において
は、磁気ディスク１の外周、内周端部は搬送のために把
持されので、異物の付く確率が高い。にもかかわらず、
上記に述べたように外周、内周端部は異物検査範囲に含
まれないので異物があっても検出されることはなく、図
１３に示すように外周、内周端部に異物１８が付着した
磁気ディスク７が検査を通過して製造される確率は非常
に高い。

【００３２】図１４はこのような異物の付着した磁気デ
ィスク７に転写を行う場合の問題点を示している。図１
４に示すように磁気ディスク７の異物１８が付着した部
分ではマスターディスク３の表面と磁気ディスク７の表
面とが異物１８によって密着できず離れてしまう。この
ような部分では、磁気ディスク７の表面の磁界が乱れ、
マスターディスク３の強磁性薄膜配列による情報が磁気
ディスク７に正しく磁気転写されない。

【００３３】つまり、磁気ディスクの外周端部及び内周
端部は異物検査範囲に含まれない為、これら領域に異物
が存在しても異物検査を通過し、外周端部及び内周端部
で転写不良が頻繁に発生していた。

【００３４】また、マスターディスクの製造過程におい
ても、マスターディスクを搬送するためにマスターディ
スクの外周端部を把持することが多く、マスターディス
クの外周端部に異物が付着する確率も高かった。

【００３５】従来のマスターディスクは図６に示すよう
に、磁気ディスク７の外径より大なる領域はランド部５
である。したがってマスターディスク７のハンドリング
によってマスターディスク７の端部に付着した異物が、
磁気ディスク７との密着領域であるランド部５に移行し
やすい。特に、粘液質の異物ではそのようなことが起こ
る。密着領域に移行した異物はマスターディスクと磁気
ディスクの密着を妨げ、転写信号不良を引き起こす。

【００３６】そこで本発明は、このような転写信号不良
の発生することのないマスターディスクを提供するもの
である。

【００３７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のマスターディスクは、強磁性薄膜の配列が
形成され磁気ディスク表面に密着するランド部に対し、
磁気ディスク表面に密着しない凹部を設け、ランド部の
存在領域が対向する磁気ディスクの外周端部から所定の
距離内側あるいはまた内周端部から所定の距離外側の領
域に限定されている。

【００３８】さらに、本発明のマスターディスクは、対
向する磁気ディスクより大きな径を有している。

【００３９】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、強磁性薄膜の配列が形成され前記磁気ディスク表面
に密着するランド部と、磁気ディスク表面に密着しない
凹部を有し、磁気ディスクの外周端部から所定の距離内
側の領域に対向するランド部のみを有するマスターディ
スクであり、かかる構成により、磁気ディスクの外周端
部の異物によってマスターディスクと磁気ディスクの密
着が妨げられるのを回避することが出来る。

【００４０】また、本発明の請求項２に記載の発明は、
磁気ディスクの内周端部から所定の距離外側の領域に対
向するランド部のみを有するマスターディスクであり、
かかる構成をとることにより、磁気ディスクの内周端部
の異物によってマスターディスクと磁気ディスクの密着
が妨げられるのを回避することが出来る。

【００４１】また、本発明の請求項３に記載の発明は、
マスターディスクの外径が磁気ディスクより大きいこと
を特徴とする請求項１に記載のマスターディスクであ
り、かかる構成をとることにより、マスターディスクの
外周に付着する異物が、マスターディスクの外周部に付
着する異物によってマスターディスクと磁気ディスクの
密着が妨げられるのを回避することが出来る。

【００４２】（実施の形態１）以下、本発明のマスター
ディスクについて説明する。

【００４３】図１は、本発明の実施の形態におけるマス
ターディスク３の平面図である。図１中、同心円状大小
の破線は磁気ディスク７の外径及び内径を示すものであ
る。

【００４４】図１に示すように、マスターディスク３の
表面には磁気ディスク７に密接されるランド部５が設け
られ、ランド部５の上には強磁性薄膜の配列パターン４
が形成されており、ランド部５の範囲は、その内径が磁
気ディスク７の内径Ｄｉより大なる直径ＤＬｉで、その
外径は磁気ディスク７の外径Ｄｏより小なる直径ＤＬｏ
となっている。これらの寸法関係は以下の範囲にあるこ
とが望ましい。ＤＬｉ−Ｄｉ＝０．１〜１．０（ｍｍ）Ｄｏ−ＤＬｏ＝０．１〜１．０（ｍｍ）即ち、ＤＬｉとＤｉの寸法差及びＤｏとＤＬｏの寸法差
が０．１ｍｍ以上あれば、磁気ディスク７とマスターデ
ィスク３との密着によってもマスターディスクに異物が
付着することなく、またこの寸法差が１ｍｍ以下である
ことにより、磁気ディスクの信号記録領域を狭めること
なく、有効に利用できることとなる。

【００４５】また、ランド部５の形状は図示のごとく放
射状形状で、マスターディスク３上のランド部５以外の
領域は、ランド部５に対して、数マイクロメートルから
数十マイクロメートルの段差を持った凹部６となってい
る。

【００４６】また、マスターディスク基体１の外径Ｄｍ
は、磁気ディスク７の外径Ｄｏより大きい。

【００４７】図２は、本発明の実施の形態におけるマス
ターディスクの効果を説明する図である。図２におい
て、マスターディスク３の凹部６と磁気ディスク７によ
って形成されている空間の空気が、真空ポンプ１９によ
って、スピンドル８の通気口を介して排出されている。
そして、それらの空間が負圧になることによってマスタ
ーディスク３と磁気ディスク７は大気圧によって圧接さ
れ、マスターディスク３のランド部５が磁気ディスク７
に密着する。

【００４８】図４はマスターディスク３の断面を示すも
のであり、前述したように、マスターディスク基体１上
に設けられたランド部５上に強磁性薄膜２が配置されて
いる。

【００４９】つまり、マスターディスク３は、Ｓｉ基
板、ガラス基板、プラスチック基板などの非磁性材料か
らなる円盤状のマスターディスク基体１のランド部５の
表面に、情報信号に対応する複数の微細な配列パターン
形状で凹部を形成し、その凹部にに強磁性薄膜２を埋め
込む形態で形成されている。

【００５０】強磁性薄膜２としては、硬質磁性材料、半
硬質磁性材量、軟質磁性材料を問わず、多くの種類の磁
性材料を用いることができ、磁気記録媒体にディジタル
情報信号を転写記録できるものであれば良い。例えば、
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｆｅ−Ｃｏ合金などを用いることが出来
る。なお、マスター情報が記録される磁気記録媒体の種
類によらずに十分な記録磁界を発生させるためには、磁
性材料の飽和磁束密度が大きい程よい。特に、２０００
エルステッドを超える高保磁力の磁気ディスクや磁性層
の厚みの大きいフレキシブルディスクに対しては、飽和
磁束密度が０．８テスラ以下になると十分な記録を行う
ことができない場合があるので、一般的には、０．８テ
スラ以上、好ましくは０．１テスラ以上の飽和磁束密度
を有する磁性材料が用いられる。

【００５１】また、強磁性薄膜２の厚みはピット長や磁
気記録媒体の飽和磁化や磁性層の膜厚によるが、例えば
ピット長約１μ、磁気記録媒体の飽和磁化約５００ｅｍ
ｕ／ｃｃ、磁気記録媒体の磁性層の厚さが約２０ｎｍの
場合では、５０ｎｍ〜５００ｎｍ程度あればよい。

【００５２】ここで、図１に示した本発明によるマスタ
ーディスク３を用いれば、図２に示すように、磁気ディ
スク７の内周端部や外周端部に付着した異物１８につい
ては、マスターディスク３側でこれらの箇所に対応する
のは凹部６であり、たとえ異物１８が存在していたとし
てもランド部５と凹部６との段差に入り込むため、ラン
ド部５に形成されている強磁性薄膜の配列パターン部４
と磁気ディスク７の密着が妨げられることはない。した
がって、転写信号不良が生じない。

【００５３】また、マスターディスク３の外周部に付着
した異物については、磁気ディスク７の外径Ｄｏより外
側のマスターディスク３上領域に付着している場合、か
かる異物はマスターディスク３と磁気ディスク７の密着
を何ら妨げるものではなく、たとえ磁気ディスク７の外
径Ｄｏより内側のマスターディスク３上領域に付着して
いたとしても、マスターディスク３の外周部にランド部
５は存在せず、凹部６のみであるため、異物はランド部
５と凹部６との段差に入り込むため、マスターディスク
３と磁気ディスク７の密着が妨げられることはない。し
たがって、転写信号不良は生じない。

【００５４】また、マスターディスク３のハンドリング
過程で外周部に異物が付着したとしても凹部６に付着す
るものであり、ランド部５と凹部６の段差を乗り越えて
ランド部５に移行する確立は非常に低い。つまり、マス
ターディスク３と磁気ディスク７との密着が妨げられる
ことはなく、転写信号不良が生じない。

【００５５】図１に示したようなマスターディスク基体
１に凹部６を形成する方法としては、マスターディスク
基体１の材質がシリコンウエハの場合はリアクティブイ
オンエッチングやイオンミリングプロセスなどの物理化
学的手法を用いるのが適当であるが、他の方法、例えば
サンドブラストなどの機械的手法でも同様な結果が得ら
れることはいうまでもない。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように本発明のマスターデ
ィスクを用いることにより、強磁性薄膜の配列による形
状パターンによって特定の情報を有し、磁気ディスク表
面に密接して磁化することによって強磁性薄膜配列に対
応する磁化パターンを磁気ディスク表面に記録する磁気
転写において、磁気ディスク製造過程で回避できない内
周端部や外周端部の異物の転写信号に与える影響を排除
でき、またマスターディスクのハンドリングによってマ
スターディスクの外周端部に付着する異物の転写信号に
与える影響をも排除できるという、簡単な構成で効果の
大なるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態におけるマスターディスク
の平面図

【図２】同マスターディスクの効果を説明する図

【図３】ハードディスクの磁気的サーボパターンの１例
を示す図

【図４】磁気転写マスターの部分断面図

【図５】従来のマスターディスクの部分斜視図

【図６】同平面図

【図７】磁気転写過程を説明する図

【図８】磁気転写過程を説明する図

【図９】磁気転写過程における磁気ディスクの磁化を説
明する図

【図１０】磁気転写過程における磁気ディスクの磁化を
説明する図

【図１１】異物検査の原理を説明する図

【図１２】磁気ディスクの異物検査を説明する図

【図１３】磁気ディスクの異物検査範囲を説明する図

【図１４】従来のマスターディスクを使用した磁気転写
を説明する図

【符号の説明】

１マスターディスク基体２強磁性薄膜３マスターディスク４配列パターン部５ランド部６凹部７磁気ディスク８スピンドル９マグネット１０一方向磁化Ａ１１パターン磁化領域１２一方向磁化Ｂ１３レーザー光１４正反射光１５散乱光１６ディテクタ１７検査領域１８異物１９真空ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石田達朗大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者古村展之大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者伴泰明大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者宮田敬三大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者東間清和大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5D006 DA03 DA04 FA00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基体表面に堆積された強磁性薄膜の配列
による形状パターンによって特定の情報を有し、磁気デ
ィスク表面に密接させて外部磁化を印加することで前記
強磁性薄膜配列に対応する磁化パターンを前記磁気ディ
スク表面に記録するマスターディスクであって、前記強
磁性薄膜の配列が形成され前記磁気ディスク表面に密着
する放射状のランド部と、前記磁気ディスク表面に密着
しない凹部を有し、前記ランド部は前記磁気ディスクの
外径より所定寸法だけ小さい円領域内部に設けられたこ
とを特徴とするマスターディスク。
【請求項２】基体表面に堆積された強磁性薄膜の配列
による形状パターンによって特定の情報を有し、磁気デ
ィスク表面に密接させて外部磁化を印加することで前記
強磁性薄膜配列に対応する磁化パターンを前記磁気ディ
スク表面に記録するマスターディスクであって、前記強
磁性薄膜の配列が形成され前記磁気ディスク表面に密着
するランド部と、前記磁気ディスク表面に密着しない凹
部を有し、前記ランド部は前記磁気ディスクの内径より
所定寸法だけ大きい円領域の外部に設けられたことを特
徴とするマスターディスク。
【請求項３】マスターディスクの径が磁気ディスクよ
り大であることを特徴とする請求項１に記載のマスター
ディスク。