JP3343340B2 - ディスク状磁気記録媒体の製造方法および磁気転写装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクド
ライブなどの磁気記録再生装置に用いられるディスク状
磁気記録媒体に所定の情報信号を記録することでディス
ク状磁気記録媒体を製造する製造方法および磁気転写装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔ／ｉｎ2（４．６５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）を超える装置
が商品化されており、数年後には、面記録密度が１０Ｇ
ｂｉｔ／ｉｎ2（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）の装置の実
用化が予測されるほどの急峻な技術の進歩が認められ
る。

【０００３】このような高記録密度化には、記録再生ヘ
ッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たして
いる。現在の磁気記録媒体のトラッキングサーボ技術で
は、磁気記録媒体に一定の角度間隔でトラッキング用サ
ーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記
録された領域を設け（以下、プリフォーマット記録とい
う）、磁気ヘッドが、一定間隔でこれらの信号を再生す
ることによって、磁気ヘッドの位置を確認、修正しなが
ら正確にトラック上を走査している（例えば、山口：磁
気ディスク装置の高精度サーボ技術、日本応用磁気学会
誌、Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．３，ｐｐ７７１，１９９
６）。

【０００４】トラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等は、磁気ヘッドが正確にトラ
ック上を走査するための基準信号となるので、その記録
時には、正確な位置決め精度が要求される。このため、
従来は、磁気記録媒体を専用のサーボ記録装置にセット
し、厳密に位置制御された磁気ヘッドによりプリフォー
マット記録を行っていた（例えば、植松、他：メカ・サ
ーボ、ＨＤＩ技術の現状と展望、日本応用磁気学会第９
３回研究会資料、９３−５，ｐｐ．３５，１９９６）。

【０００５】しかしながら、専用のサーボ記録装置を用
いてプリフォーマット記録を行う従来の方法において
は、以下のような課題があった。

【０００６】まず第１に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的に磁気ヘッドと磁気記録媒体との相対移動に基づく
線記録であるため、上記従来の方法では、プリフォーマ
ット記録に多くの時間を要するとともに、高価な専用の
サーボ記録装置が必要であり、プリフォーマット記録が
高コストとなっていた。

【０００７】また、第２に、ヘッドと媒体間のスペーシ
ングや記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がり
のため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁
化遷移が急峻性にかけるという問題があった。磁化遷移
が急峻性に欠ける場合には、正確なトラッキングサーボ
技術の実現が困難になる。

【０００８】そこで、磁気ヘッドを用いた上記従来のプ
リフォーマット記録の課題を解決する手段として、以下
のような方法が提案されている。

【０００９】例えば、特開平７−７８３３７号公報に
は、マスター媒体とスレーブ媒体（被転写媒体）とを対
接させた状態で、弾性体よりなる圧接手段によりマスタ
ー媒体とスレーブ媒体とを全面的に圧着させる方法が開
示されている。

【００１０】また、特開平１０−４０５４４号公報に
は、基体の表面に、情報信号に対応するパターン形状で
強磁性材料からなる磁性部を形成してマスター情報担体
とし、このマスター情報担体の表面を、強磁性薄膜ある
いは強磁性粉塗布層が形成されたシート状もしくはディ
スク状磁気記録媒体の表面に接触させ、所定の磁界をか
けることにより、マスター情報担体に形成した情報信号
に対応するパターン形状の磁化パターンを磁気記録媒体
に記録する方法が開示されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年磁気デ
ィスク、光磁気ディスク、光ディスク等のディスク状記
録媒体は、小型化、薄型化、高容量化等の高性能化が進
んでいるが、それに伴って上述のように高密度記録媒体
への要求が高まっている。そのような要求を満たすため
には、高精度で高い信頼性を有するディスク状記録媒体
が必要となり、平坦性や平滑性に優れ、情報を記録する
際に微細なゴミなどの付着がないディスク状記録媒体を
製造することが急務となっている。

【００１２】一方、上述のように、所定の情報信号を磁
気転写により記録するディスク状磁気記録媒体におい
て、情報信号を磁気転写記録する工程では、ディスク状
のマスター情報担体の情報を精度良く転写するためにマ
スター情報担体とディスク状記録媒体とを隙間なく密着
させる必要がある。特開平１１−２５４５５号公報に
は、このような密着性を向上させる磁気転写に関する技
術が開示されているが、マスター情報担体として内径加
工されたディスク状のマスター情報担体を使用している
ため、マスター情報担体の内径加工によって生じる微細
なゴミが発生するなど、密着性について充分とは言えな
かった。

【００１３】本発明は、このような現状に鑑みなされた
もので、磁気記録媒体、特に固定ハードディスク媒体、
リムーバブルハードディスク媒体、大容量フレキシブル
媒体等のディスク状記録媒体に、短時間に生産性良く、
かつ安定して高密度の情報信号を記録できるようにする
ことを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明のディスク状磁気記録媒体の製造方法に
おいては、所定の情報信号を形成してディスク状のマス
ター情報担体とし、そのマスター情報担体をディスク状
の磁気記録媒体に重ね合わせ、マスター情報担体に形成
された情報信号を磁気記録媒体に転写記録する方法であ
って、前記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね
合わせる際に、前記マスター情報担体の前記磁気記録媒
体側とは反対側の面の中央部をマスター情報担体を保持
するマスター保持手段で吸引してマスター情報担体の磁
気記録媒体側の面を外周部から中央部に向って内方向に
へこんだ状態とし、この状態で前記マスター情報担体を
前記磁気記録媒体に重ね合わせるとともに密着させるも
のである。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ディスク状の基体上に強磁性薄膜からなる磁性部を
所定の情報信号に対応する配列パターン形状になるよう
に形成してディスク状のマスター情報担体とし、前記マ
スター情報担体をディスク状の磁気記録媒体に前記磁性
部側が磁気記録媒体側にくるように重ね合わせるととも
に、前記マスター情報担体の磁性部を磁化することによ
り、前記マスター情報担体に形成された情報信号の配列
パターンを情報信号の磁化パターンとして前記磁気記録
媒体に転写記録することでディスク状磁気記録媒体を製
造する製造方法であって、前記マスター情報担体を前記
磁気記録媒体に重ね合わせる際に、前記マスター情報担
体の前記磁気記録媒体側とは反対側の面の中央部をマス
ター情報担体を保持するマスター保持手段で吸引してマ
スター情報担体の磁気記録媒体側の面を外周部から中央
部に向って内方向にへこんだ状態とし、この状態で前記
マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせると
ともに密着させることを特徴とするディスク状磁気記録
媒体の製造方法であり、短時間に生産性良く、かつ安定
して高密度の情報信号を記録することができる。

【００１６】また、本発明の請求項２に記載の発明は、
前記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせ
る際に、前記マスター情報担体の前記磁気記録媒体側と
は反対側の面の中央部をマスター情報担体を保持する保
持手段で吸引してマスター情報担体の磁気記録媒体側の
面を外周部から中央部に向って内方向にへこんだ状態と
し、この状態で前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
体との間に気体を圧送した後、前記マスター情報担体と
前記磁気記録媒体を密着させることを特徴とするディス
ク状磁気記録媒体の製造方法であり、短時間に生産性良
く、かつ安定して高密度の情報信号を記録することがで
きる。

【００１７】また、本発明の請求項３に記載の発明は、
前記請求項２に記載の発明において、前記マスター情報
担体と前記磁気記録媒体を密着させる際には、前記マス
ター情報担体と前記磁気記録媒体間の気体を吸引するこ
とを特徴とするディスク状磁気記録媒体の製造方法であ
り、短時間に生産性良く、かつ安定して高密度の情報信
号を記録することができる。

【００１８】また、本発明の請求項４に記載の発明は、
前記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせ
る際に、前記マスター情報担体の前記磁気記録媒体側と
は反対側の面の中央部をマスター情報担体を保持するマ
スター保持手段で吸引してマスター情報担体の磁気記録
媒体側の面を外周部から中央部に向って内方向にへこん
だ状態とし、この状態で前記マスター情報担体と前記磁
気記録媒体との間に気体を圧送することにより前記マス
ター情報担体と前記磁気記録媒体の表面を清浄した後、
前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体を密着させ、
この状態で前記マスター情報担体の情報信号を前記磁気
記録媒体に転写記録し、その後前記マスター情報担体と
前記磁気記録媒体との間に気体を圧送することにより前
記マスター情報担体と前記磁気記録媒体とを分離するこ
とを特徴とするディスク状磁気記録媒体の製造方法であ
り、短時間に生産性良く、かつ安定して高密度の情報信
号を記録することができる。

【００１９】また、本発明の請求項５に記載の発明は、
前記請求項４に記載の発明において、前記マスター情報
担体と前記磁気記録媒体の密着状態を解除して前記マス
ター情報担体と前記磁気記録媒体とを分離する際に、前
記マスター情報担体を前記磁気記録媒体側に押圧した状
態で、前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との間
に気体を圧送し、前記マスター情報担体と前記磁気記録
媒体とが分離された後、前記マスター情報担体への押圧
を解除することを特徴とするディスク状磁気記録媒体の
製造方法であり、短時間に生産性良く、かつ安定して高
密度の情報信号を記録することができる。

【００２０】さらに、本発明の請求項６に記載の発明
は、前記請求項１，２，４または５に記載の発明におい
て、前記マスター保持手段に前記マスター情報担体を吸
引するための吸引孔を設けるとともに、前記マスター情
報担体に当接する先端部に前記吸引孔に連通する凹部を
設け、前記凹部の内径を前記ディスク状磁気記録媒体の
中心孔の径と同じとしたことを特徴とするディスク状磁
気記録媒体の製造方法であり、短時間に生産性良く、か
つ安定して高密度の情報信号を記録することができる。

【００２１】さらに、本発明の方法は、磁気ディスクや
光磁気ディスク、光ディスク等、内径加工のされたディ
スク状記録媒体に広く用いることができ、平坦性及び平
滑性に優れ、かつ微細なゴミなどが付着していない記録
媒体を得ることができる。

【００２２】また、本発明の方法において、マスター情
報担体をシリコンウエハで構成するのが好ましい。すな
わち、シリコンウエハは汎用性が高く、また材料として
も微細加工が容易でかつ強度的に優れるため、例えば平
坦性及び平滑性の優れたものを容易に製造することがで
きる。このようなシリコンウエハをマスター情報担体と
してスレーブディスクであるハードディスクなどのディ
スク状記録媒体に密着させることにより、平坦性及び平
滑性に優れたディスク状記録媒体を製造することができ
る。

【００２３】また、両ディスクを密着させた後、マスタ
ー情報担体の情報をディスク状記録媒体に転写記録する
ことにより、マスター情報担体と記録媒体の密着性が高
いため、精度良く転写記録することができる。

【００２４】さらに、本発明において、上記両ディスク
の密着状態を解除してディスク状マスター情報担体とデ
ィスク状記録媒体とを分離する際に、マスター情報担体
を記録媒体側に押圧した状態で、マスター情報担体と記
録媒体との間に気体を圧送し、マスター情報担体と記録
媒体とが分離された後、前記マスター情報担体への押圧
を解除することにより、転写記録を行った後に記録媒体
をマスター情報担体から分離する時、記録媒体がマスタ
ー情報担体に吸着したままで分離できないということは
なく、記録媒体を容易に分離することができる。

【００２５】さらに、本発明によれば、上述の記録方法
を用いて、ディスク状磁気記録媒体にプリフォーマット
記録を行い、その磁気記録媒体を用いて磁気記録再生装
置を構成すればよい。また、ディスク状磁気記録媒体を
有するハードディスクドライブにおいて、上述の記録方
法により、ディスク状磁気記録媒体の磁性膜にプリフォ
ーマット記録に用いる磁化パターンを転写記録し、その
ディスク状磁気記録媒体を筐体内に組み込んむことによ
り構成とすることができる。

【００２６】以下、本発明による実施の形態の一例につ
いて、図面を参照しながら説明する。図１に本発明の実
施の形態にかかる製造方法を実施するための製造装置の
概要を示しており、図１において、スレーブディスクで
あるディスク状磁気記録媒体としての円盤状のハードデ
ィスク１は、中心孔１ａを有するドーナツ円盤状のアル
ミニウム基板の表面に、Ｃｏ等からなる強磁性薄膜をス
パッタリング法によって成膜することにより構成されて
いる。２は上記ハードディスク１の強磁性薄膜などから
なる磁性膜表面に接触するように重ね合わされて配置さ
れた内径加工されていない円盤状のマスター情報担体
で、このマスター情報担体２は、上記ハードディスク１
より径が大きい形状で、ハードディスク１に接触する側
の表面には、ハードディスク１に磁気転写すべき情報信
号に対応した微細な配列パターン形状の強磁性薄膜から
なる信号領域が設けられている。

【００２７】３はハードディスク１を保持するディスク
保持体としてのスピンドルであり、このスピンドル３の
先端部にはハードディスク１を位置決め保持するチャッ
ク部３ａが設けられている。また、スピンドル３内部に
は、ハードディスク１の中心孔１ａに連通しかつ一端が
排気ダクト（図示せず）に接続される吸引孔３ｂが設け
られている。また、排気ダクトの端部には排気装置（図
示せず）が装着されており、この排気装置を始動させる
ことにより、排気ダクト、スピンドル３の吸引孔３ｂを
通して、ハードディスク１とマスター情報担体２との間
の空間が負圧状態となり、この結果マスター情報担体２
がハードディスク１の方向に吸引され、マスター情報担
体２にハードディスク１が位置決めされた状態で重ね合
わされる。なお、この時、ハードディスク１とマスター
情報担体２の間には若干の隙間があり、その隙間を通し
て外部から空気が吸引される。

【００２８】マスター保持手段としての吸引パッド４
は、前記マスター情報担体２のほぼ中央部を吸引するこ
とにより、ハードディスク１側の面を外周部から中央部
に向って内方向にへこんだ状態で保持するもので、マス
ター情報担体２を吸引するための吸引孔４ａを有し、ま
たマスター情報担体２に当接する先端部にはその吸引孔
４ａに連通する凹部４ｂが設けられている。また、吸引
パッド４の先端部の凹部４ｂの内径は、ハードディスク
１の中心孔１ａの径とほぼ同じに構成されている。

【００２９】すなわち、内径加工されていない円盤状の
マスター情報担体２は吸引パッド４で吸引されて装着さ
れるが、その時の吸引圧力Ｐ２は、吸引パッド４内が大
気圧よりも低くなるように設定され、マスター情報担体
２のハードディスク１側の面のほぼ中央部に凹部が形成
されるように、外周部から中央部に向って内方向に、す
なわち吸引パッド４側にへこんだ状態となる。例えば、
マスター情報担体２として、約０．５ｍｍの厚みのシリ
コンウエハを使用した場合は、０．３〜１ｋｇ／ｃｍ²
の範囲の圧力で吸引パッド４により吸引すれば、マスタ
ー情報担体２を吸引パッド４で吸引した時、ほぼ中央部
が吸引パッド４側にへこんだ状態で保持される。

【００３０】着磁用ヘッド５は、マスター情報担体２か
らハードディスク１に転写記録するためのもので、この
着磁用ヘッド５が発生する磁界により、マスター情報担
体２に形成された情報信号に対応した磁化パターンでハ
ードディスク１に情報信号が記録される。この着磁用ヘ
ッド５のギャップの形状は、マスター情報担体２に対向
する面において、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング
走査軌道と同じ円弧になっている。また、ヘッドにおけ
るマスター情報担体２に対向する面は扇形状であり、そ
の一辺が、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング走査軌
道と同じ円弧になっている。従って、ギャップに発生す
る磁界の方向は、トラッキング走査軌道と常に垂直とな
り、マスター情報担体２の強磁性薄膜は、全てのトラッ
クにおいて、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング走査
方向と垂直な方向に磁化される。すなわち、記録再生用
磁気ヘッドのヘッドギャップ長方向と同じ方向に磁化さ
れるのである。

【００３１】次に、本発明の製造方法に使用するマスタ
ー情報担体の一例について説明する。

【００３２】図２にマスター情報担体２の一例の平面を
模式的に示しており、図２に示すように、マスター情報
担体２の一主面、すなわちハードディスク１の強磁性薄
膜表面に接触する側の表面には、略放射状に信号領域２
ａが形成されている。

【００３３】図２の点線で囲んだ部分Ａの拡大図を、図
３に模式的に示す。図３に示すように、信号領域２ａに
は、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報信号、例
えばプリフォーマット記録に対応する位置に、上記情報
信号に対応したパターン形状で強磁性薄膜からなる磁性
部によるマスター情報パターンが形成されている。図３
において、ハッチングを施した部分が強磁性薄膜によっ
て構成された磁性部である。この図３に示すマスター情
報パターンは、クロック信号、トラッキング用サーボ信
号、アドレス情報信号等の各々の領域をトラック長さ方
向に順次配列したものである。なお、図３に示すマスタ
ー情報パターンは一例であり、磁気記録媒体に記録され
るディジタル情報信号に応じて、マスター情報パターン
の構成や配置等を適宜決定することとなる。

【００３４】例えば、ハードディスクドライブのよう
に、ハードディスクの磁性膜に、まずリファレンス信号
を記録し、そのリファレンス信号に基づきトラッキング
用サーボ信号などのプリフォーマット記録を行う場合に
は、本発明によるマスター情報担体を用いてハードディ
スクの磁性膜に、あらかじめプリフォーマット記録に用
いるリファレンス信号のみを転写記録し、そしてそのハ
ードディスクをドライブの筐体内に組み込み、トラッキ
ング用サーボ信号などのプリフォーマット記録は、ハー
ドディスクドライブの磁気ヘッドを使用して行うように
してもよい。

【００３５】図２、図３に示した領域の一部断面を図４
に示す。図４に示すように、マスター情報担体２は、シ
リコンウエハ（Ｓｉ）基板などの非磁性材料からなる内
径加工されていない円盤状の基体１０の一主面、すなわ
ちハードディスク１の表面が接触する側の表面に、情報
信号に対応する複数の微細な配列パターン形状で凹部１
０ａを形成し、その基体１０の凹部１０ａに磁性部であ
る強磁性薄膜１１を埋め込む形態で形成することにより
構成されている。

【００３６】ここで、強磁性薄膜１１としては、硬質磁
性材料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料を問わず、多く
の種類の磁性材料を用いることができ、磁気記録媒体に
ディジタル情報信号を転写記録できるものであればよ
い。例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｆｅ−Ｃｏ合金などを用いる
ことができる。なお、マスター情報が記録される磁気記
録媒体の種類によらずに十分な記録磁界を発生させるた
めには、磁性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。特
に、２０００エルステッドを超える高保磁力の磁気ディ
スクや磁性層の厚みの大きいフレキシブルディスクに対
しては、飽和磁束密度が０．８テスラ以下になると十分
な記録を行うことができない場合があるので、一般的に
は、０．８テスラ以上、好ましくは１．０テスラ以上の
飽和磁束密度を有する磁性材料が用いられる。

【００３７】また、強磁性薄膜１１の厚さは、ビット長
や磁気記録媒体の飽和磁化や磁性層の膜厚によるが、例
えばビット長約１μｍ、磁気記録媒体の飽和磁化約５０
０ｅｍｕ／ｃｃ、磁気記録媒体の磁性層の厚さが約２０
ｎｍの場合では、５０ｎｍ〜５００ｎｍ程度あればよ
い。

【００３８】次に、マスター情報担体を製造する方法に
ついて説明する。すなわち、本発明の製造方法に用いる
マスター情報担体は、Ｓｉ基板の表面に、レジスト膜を
成膜し、フォトリソグラフィ法のようなレーザビームま
たは電子ビームを用いたリソグラフィ技術によってレジ
スト膜を露光、現像してパターニングした後、ドライエ
ッチング等によってエッチングして、情報信号に対応し
た微細な凹凸形状を形成し、その後Ｃｏ等からなる強磁
性薄膜をスパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレー
ティング法、ＣＶＤ法、めっき法等により成膜した後、
いわゆるリフトオフ法によってレジスト膜を除去するこ
とにより、凹部に強磁性薄膜が埋め込まれた形態でかつ
情報信号に対応した磁性部を備えたマスター情報担体を
得ることができる。

【００３９】なお、マスター情報担体の表面に凹凸形状
を形成する方法は上述の方法に限定されるものではな
く、例えば、レーザ、電子ビームまたはイオンビームを
用いて微細な凹凸形状を直接形成したり、機械加工によ
って微細な凹凸形状を直接形成してもよい。

【００４０】次に、マスター情報担体に形成したパター
ン形状に対応した情報信号を、ディスク状磁気記録媒体
であるハードディスクに記録する手順について説明す
る。

【００４１】まず図５に示すように、円盤状のマスター
情報担体２を吸引パッド４の先端の凹部４ｂにより吸引
圧力Ｐ２で吸引する。この時、マスター情報担体２は、
ほぼ中央部が吸引パッド４側にへこんだ状態で保持され
ている。

【００４２】次に、このように吸引パッド４に装着され
たマスター情報担体２を、スピンドル３に装着されたス
レーブディスクであるハードディスク１に近接させる。

【００４３】ここで、このハードディスク１として、例
えば内径（Ｄｍ）２５ｍｍ、外径９５ｍｍの磁気ディス
クを用いた場合、マスター情報担体２の外径は１００ｍ
ｍ程度が適当であり、また吸引パッド４の先端部の内
径、すなわち凹部４ｂの内径（Ｄｐ）は、ハードディス
ク１の中心孔１ａの径とほぼ同じ径とすることが好まし
い。さらに、本発明は様々なサイズのディスクに使用す
ることが可能であるが、本発明の方法に用いるマスター
情報担体２の外径はスレーブディスクであるハードディ
スク１の外径よりもやや大きい外径とすることが好まし
い。

【００４４】図６に示すように、両ディスクを近接させ
た後、続いてスピンドル３の吸引孔３ｂを通して気体を
圧送する。これにより、対向する両ディスク表面に付着
する微細なゴミなどが取り除かれ、両ディスクの表面が
清浄化される。この時、圧送する気体の圧力Ｐ３は０．
３〜１ｋｇ／ｃｍ²の範囲が適当である。

【００４５】この工程により微細なゴミなどが除去され
るが、１μｍ以下の超微細なゴミなどはこの処理によっ
ても除去されない場合がある。このような超微細なゴミ
のうち、ハードディスク１に付着したものは、後の工程
においてマスター情報担体２とハードディスク１とを密
着させた後、両ディスクを分離することにより、ハード
ディスク１から完全に除去される。

【００４６】このようにして、微細なゴミを除去した後
は、図７に示すようにスピンドル３を通しての気体の圧
送をやめて、マスター情報担体２とハードディスク１と
を密着させ、その後図１に示すように、マスター情報担
体２の中央部のへこみが平坦となる圧力でスピンドル３
を通して吸引する。この時、スピンドル３の吸引圧力Ｐ
１を吸引パッド４の吸引圧力Ｐ２と同じ圧力にすること
により、マスター情報担体２のへこみがなくなり、平坦
なディスク状となり、スレーブディスクであるハードデ
ィスク１とマスター情報担体２は良好に密着することと
なる。

【００４７】その後、両ディスクが密着した状態で、着
磁用磁気ヘッド５により転写磁界を印加してマスター情
報担体２の情報をハードディスク１に転写記録し、そし
て次にスピンドル３の吸引をやめて、図８に示すよう
に、逆にスピンドル３を通して圧力Ｐ４の気体を圧送
し、図９に示すように、両ディスクを分離する。スピン
ドル３に気体を圧送する場合の気体の圧力Ｐ４は０．３
〜１ｋｇ／ｃｍ2 の範囲が適当である。

【００４８】ここで、着磁用磁気ヘッド５により転写磁
界を印加してマスター情報担体２の情報をハードディス
ク１に転写記録する際の方法について説明する。

【００４９】まず、本発明において、あらかじめ図１０
に示すように、着磁用ヘッド５をハードディスク１に近
づけた状態で、ハードディスク１の中心軸を回転軸とし
てハードディスク１と平行に回転させることにより、図
１１の矢印で示すようにハードディスク１を予め一方向
に磁化する（初期磁化）。

【００５０】次に、図１に示すようにハードディスク１
にマスター情報担体２を位置決めし、上述の方法により
マスター情報担体２の強磁性薄膜１１が形成されている
面とハードディスク１とが均一に密着するように重ね合
わせた後、図１２に示すように、着磁用ヘッド５による
磁界の方向を初期磁化とは逆方向に発生するように電流
の向きを逆にし、かつスピンドル３に保持されているハ
ードディスク１の中心を回転中心として、マスター情報
担体２と平行に回転させることにより、マスター情報担
体２に直流励磁磁界を印加する。これにより、マスター
情報担体２の強磁性薄膜１１が磁化され、そしてマスタ
ー情報担体２に重ね合わせたハードディスク１の所定の
領域１ｂに、図１３に示すように強磁性薄膜１１による
磁性部のパターン形状に対応した情報信号が記録され
る。なお、図１３に示す矢印は、この時ハードディスク
１に転写記録される磁化パターンの磁界の方向を示して
いる。

【００５１】図１４にその磁化処理時の様子を示してお
り、図１４に示すように、マスター情報担体２を磁気記
録媒体であるハードディスク１に密着させた状態で、マ
スター情報担体２に外部から磁界を印加して強磁性薄膜
１１を磁化することによって、ハードディスク１の強磁
性薄膜からなる磁気記録層１ｃに情報信号を記録するこ
とができる。すなわち、非磁性の基体１０に所定の配列
パターン形状で強磁性薄膜１１を形成して構成したマス
ター情報担体２を用いることにより、ディジタル情報信
号を磁気記録媒体であるハードディスク１に磁気的に転
写記録することができる。

【００５２】なお、マスター情報担体２のパターンをハ
ードディスク１に転写記録する際の方法として、上述の
ようにマスター情報担体２をハードディスク１に接触さ
せた状態で外部磁界を印加する方法以外に、マスター情
報担体２の強磁性薄膜１１をあらかじめ磁化させてお
き、その状態でマスター情報担体２をハードディスク１
に密着するように接触させる方法であってもディジタル
情報信号を記録することができる。

【００５３】ところで、本発明のようなマスター情報担
体から磁気記録媒体に転写記録する方法においては、マ
スター情報担体に、磁気記録媒体に記録させたい所定の
ディジタル情報信号に対応するような配列パターン形状
で強磁性薄膜による磁性部をあらかじめ形成しておき、
そしてそのマスター情報担体に磁気記録媒体を接触さ
せ、マスター情報担体に形成された配列パターン形状を
磁化パターンとして転写記録するため、マスター情報担
体に形成した磁性部の配列パターンに対応する磁化パタ
ーンとしていかに信頼性良く正確に転写できるかが重要
である。

【００５４】上述したように本発明の方法で用いるマス
ター情報担体は、内径加工されていない円盤状ディスク
であり、このような形状のマスター情報担体２を用いる
ことにより、マスター情報担体２の内径加工が不要とな
り、ディスクの転写に使用する場合にディスク状磁気記
録媒体の生産性を向上させることができる。

【００５５】また、マスター情報担体２が平坦でない場
合、ディスク状磁気記録媒体をマスターディスクに密着
させて情報を転写する際にスピンドル３で吸引すると、
図１５に示すようにマスター情報担体２の外周部分でス
レーブディスクであるハードディスク１との間に隙間が
生じたり、図１６に示すようにマスター情報担体２の内
周部分でハードディスク１との間に隙間が生じる。この
ような隙間が生じた場合は、マスター情報担体２の情報
をハードディスク１に転写する際に、全面に亘って均一
に精度良く転写記録することができなくなる恐れがあ
る。

【００５６】本発明の方法においては、上述したように
マスター情報担体２のほぼ中央部を吸引パッド４により
吸引する等により、予めマスター情報担体２のほぼ中央
部をハードディスク１側に凹部が形成されるようにへこ
んだ状態としているため、両ディスクを密着したとき、
図７に示すように、マスター情報担体２の外周側から漸
次的に隙間が発生する構造となり、これによって両ディ
スクを重ね合わせる際に、スピンドル３を吸引してマス
ター情報担体２を平坦にすると、両ディスクが隙間なく
密着され、これによってマスター情報担体２の情報信号
をスレーブディスクであるハードディスク１に、全面に
亘って均一に精度良く転写記録することができる。

【００５７】さらに、本発明の方法によれば、スレーブ
ディスクとしてのハードディスク１とマスター情報担体
２との密着性が良好となることにより、平坦性及び平滑
性に優れ、しかも微細なゴミなどが付着していないスレ
ーブディスクとすることができる。

【００５８】

【実施例】情報信号を有するディスク状マスター情報担
体として、外径１００ｍｍ、厚み０．５２５ｍｍのシリ
コンウエハを用い、またスレーブディスクとして、外径
９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚み０．８ｍｍの磁気ハード
ディスク媒体（３．５インチハードディスク）を用い
て、マスター情報担体から磁気ハードディスク媒体への
情報の転写記録を行った。

【００５９】この時、図５において、吸引パッドの内径
Ｄｐもスレーブディスクの内径と同じく２５ｍｍとし、
吸引圧力Ｐ２は０．８ｋｇ／ｃｍ2 に設定した。図６に
おいて、スピンドルへ送る気体の圧力Ｐ３は０．６ｋｇ
／ｃｍ2 に設定した。また、図１におけるＰ１はＰ２と
同じ吸引圧力に設定し、図８におけるスピンドルへ送る
気体の圧力Ｐ４は０．６ｋｇ／ｃｍ2 に設定した。

【００６０】このような方法で記録を行った磁気ハード
ディスク媒体は、転写記録された情報信号に欠落がな
く、またディスクにゴミのかみこみ等による傷つきも見
られなかった。さらに、転写後のディスクの表面を１０
ｎｍレベルの測定精度を持つレーザードップラー型ディ
スク検査装置で検査した結果、転写後のディスクにゴミ
の付着や、ゴミによる傷付きが全く見られなかった。

【００６１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、平坦性及
び平滑性に優れ、かつ微細なゴミなどが付着していない
ディスクを得ることができ、しかもディスクに情報を転
写記録するに当たり、マスター情報担体からスレーブデ
ィスクであるディスク状記録媒体に情報を精度よく転写
することが可能である。特に、ハードディスクドライブ
やフロッピー（登録商標）ディスクドライブに用いられ
る磁気ディスクにおける転写記録において、マスター情
報担体とスレーブディスクとを隙間なく密着させること
ができるため、短時間に生産性良く、しかも磁気記録媒
体全面に亘って均一にかつ安定して高密度の情報信号を
記録することができ、高精度で信頼性の高い磁気ディス
クを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による磁気記録媒体の製造
方法を実施するための装置の一例の概要を示す断面図

【図２】本発明の製造方法に用いるマスター情報担体の
一例を示す平面図

【図３】マスター情報担体に形成される情報信号の配列
パターンの一例を説明するための説明図

【図４】本発明によるマスター情報担体の一例を示す断
面図

【図５】本発明の製造方法における主要部工程を説明す
るための断面図

【図６】本発明の製造方法における主要部工程を説明す
るための断面図

【図７】本発明の製造方法における主要部工程を説明す
るための断面図

【図８】本発明の製造方法における主要部工程を説明す
るための断面図

【図９】本発明の製造方法における主要部工程を説明す
るための断面図

【図１０】本発明による製造方法において、ハードディ
スクに一方向磁界を印加している状況を示す斜視図

【図１１】図１０に示す工程により一方向に着磁された
ハードディスクの状況を模式的に示す斜視図

【図１２】本発明の製造方法によりハードディスクに情
報信号を転写記録している状況を示す斜視図

【図１３】図１２に示す工程により情報信号が記録され
たハードディスクの状況を模式的に示す斜視図

【図１４】図１２に示す工程によりハードディスクに情
報信号を転写記録した場合の磁化パターンの様子を説明
するための説明図

【図１５】本発明の方法を用いずに転写を行った場合の
転写工程を説明するための断面図

【図１６】同じく本発明の方法を用いずに転写を行った
場合の転写工程の他の例を説明するための断面図

【符号の説明】

１ ハードディスク（磁気記録媒体） １ａ 中心孔 ２ マスター情報担体 ２ａ 信号領域 ３ スピンドル（ディスク保持手段） ４ 吸引パッド（マスター保持手段） ４ａ 吸引孔 ４ｂ 凹部 ５ 着磁用ヘッド（磁化手段） １０ 基体 １０ａ 凹部 １１ 強磁性薄膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/62 - 5/86

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスク状の基体上に強磁性薄膜からな
   る磁性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状
   になるように形成してディスク状のマスター情報担体と
   し、前記マスター情報担体をディスク状の磁気記録媒体
   に前記磁性部側が磁気記録媒体側にくるように重ね合わ
   せるとともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化す
   ることにより、前記マスター情報担体に形成された情報
   信号の配列パターンを情報信号の磁化パターンとして前
   記磁気記録媒体に転写記録することでディスク状磁気記
   録媒体を製造する製造方法であって、前記マスター情報
   担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる際に、前記マス
   ター情報担体の前記磁気記録媒体側とは反対側の面の中
   央部をマスター情報担体を保持するマスター保持手段で
   吸引してマスター情報担体の磁気記録媒体側の面を外周
   部から中央部に向って内方向にへこんだ状態とし、この
   状態で前記マスター情報担体を前記磁気記録媒体に重ね
   合わせるとともに密着させることを特徴とするディスク
   状磁気記録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 ディスク状の基体上に強磁性薄膜からな
   る磁性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状
   になるように形成してディスク状のマスター情報担体と
   し、前記マスター情報担体をディスク状の磁気記録媒体
   に前記磁性部側が磁気記録媒体側にくるように重ね合わ
   せるとともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化す
   ることにより、前記マスター情報担体に形成された情報
   信号の配列パターンを情報信号の磁化パターンとして前
   記磁気記録媒体に転写記録することでディスク状磁気記
   録媒体を製造する製造方法であって、前記マスター情報
   担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる際に、前記マス
   ター情報担体の前記磁気記録媒体側とは反対側の面の中
   央部をマスター情報担体を保持するマスター保持手段で
   吸引してマスター情報担体の磁気記録媒体側の面を外周
   部から中央部に向って内方向にへこんだ状態とし、この
   状態で前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との間
   に気体を圧送した後、前記マスター情報担体と前記磁気
   記録媒体を密着させることを特徴とするディスク状磁気
   記録媒体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
   体を密着させる際には、前記マスター情報担体と前記磁
   気記録媒体間の気体を吸引することを特徴とする請求項
   ２に記載のディスク状磁気記録媒体の製造方法。
4. 【請求項４】 ディスク状の基体上に強磁性薄膜からな
   る磁性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状
   になるように形成してディスク状のマスター情報担体と
   し、前記マスター情報担体をディスク状の磁気記録媒体
   に前記磁性部側が磁気記録媒体側にくるように重ね合わ
   せるとともに、前記マスター情報担体の磁性部を磁化す
   ることにより、前記マスター情報担体に形成された情報
   信号の配列パターンを情報信号の磁化パターンとして前
   記磁気記録媒体に転写記録することでディスク状磁気記
   録媒体を製造する製造方法であって、前記マスター情報
   担体を前記磁気記録媒体に重ね合わせる際に、前記マス
   ター情報担体の前記磁気記録媒体側とは反対側の面の中
   央部をマスター情報担体を保持するマスター保持手段で
   吸引してマスター情報担体の磁気記録媒体側の面を外周
   部から中央部に向って内方向にへこんだ状態とし、この
   状態で前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体との間
   に気体を圧送することにより前記マスター情報担体と前
   記磁気記録媒体の表面を清浄した後、前記マスター情報
   担体と前記磁気記録媒体を密着させ、この状態で前記マ
   スター情報担体の情報信号を前記磁気記録媒体に転写記
   録し、その後前記マスター情報担体と前記磁気記録媒体
   との間に気体を圧送することにより前記マスター情報担
   体と前記磁気記録媒体とを分離することを特徴とするデ
   ィスク状磁気記録媒体の製造方法。
5. 【請求項５】 前記マスター情報担体と前記磁気記録媒
   体の密着状態を解除して前記マスター情報担体と前記磁
   気記録媒体とを分離する際に、前記マスター情報担体を
   前記磁気記録媒体側に押圧した状態で、前記マスター情
   報担体と前記磁気記録媒体との間に気体を圧送し、前記
   マスター情報担体と前記磁気記録媒体とが分離された
   後、前記マスター情報担体への押圧を解除することを特
   徴とする請求項４に記載のディスク状磁気記録媒体の製
   造方法。
6. 【請求項６】 前記マスター保持手段に前記マスター情
   報担体を吸引するための吸引孔を設けるとともに、前記
   マスター情報担体に当接する先端部に前記吸引孔に連通
   する凹部を設け、前記凹部の内径を前記ディスク状磁気
   記録媒体の中心孔の径と同じとしたことを特徴とする請
   求項１、２、４または５に記載のディスク状磁気記録媒
   体の製造方法。
7. 【請求項７】 前記マスター情報担体が内径加工されて
   いない円盤状である請求項１，２，４，５または６に記
   載のディスク状磁気記録媒体の製造方法。
8. 【請求項８】 前記マスター情報担体がシリコンウエハ
   で構成されている請求項１，２，４，５または６に記載
   のディスク状磁気記録媒体の製造方法。
9. 【請求項９】 ディスク状の基体上に強磁性薄膜からな
   る磁性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状
   になるように形成したマスター情報担体を保持するマス
   ター保持手段と、ディスク状の磁気記録媒体を保持する
   ディスク保持手段と、前記磁性部に対し磁界を印加する
   磁化手段とを有し、前記マスター保持手段及び前記ディ
   スク保持手段は、前記マスター情報坦体の前記磁性部と
   前記磁気記録媒体を重ね合わせるとともに前記磁化手段
   が前記磁性部を磁化することで、前記マスター情報坦体
   に形成された情報信号の配列パターンを情報信号の磁化
   パターンとして前記磁気記録媒体に転写記録する磁気転
   写装置であって、前記マスター保持手段は前記マスター
   情報坦体の中心部を吸引することにより前記マスター情
   報坦体の前記磁気記録媒体に対面する側をへこんだ形状
   にて保持しつつ前記磁気記録媒体と重ね合わせることを
   特徴とする磁気転写装置。
10. 【請求項１０】 前記磁気記録媒体として中心部に孔を
    有するものを用い、前記孔を介して前記マスター情報坦
    体と前記磁気記録媒体との間の空隙に気体を圧送する圧
    送手段を有し、さらには前記孔を介して前記空隙から気
    体を吸引する吸引手段を有し、前記マスター情報坦体と
    前記磁気記録媒体を重ね合わせるに際し、前記圧送手段
    にて前記空隙に気体を圧送し、前記吸引手段にて前記空
    隙から気体を吸引することで前記マスター情報坦体と前
    記磁気記録媒体とを重ね合わせることを特徴とする請求
    項９に記載の磁気転写装置。
11. 【請求項１１】 マスター情報担体とディスク状磁気記
    録媒体とを密接させることにより前記マスター情報担体
    に形成された情報信号の配列パターンを情報信号の磁化
    パターンとして前記ディスク状磁気記録媒体に転写記録
    する磁気転写装置であって、前記マスター情報担体の中
    央部を吸引することによりへこんだ状態で保持するマス
    ター保持手段を有し、前記マスター保持手段に前記マス
    ター情報担体を吸引するための吸引孔を設けるととも
    に、前記マスター情報担体に当接する先端部に前記吸引
    孔に連通する凹部を設け、前記凹部の内径を前記ディス
    ク状磁気記録媒体の中心孔の径と同じとしたことを特徴
    とする磁気転写装置。