KR100364095B1 - 탄소나노튜브의 대량 정제 방법 - Google Patents

탄소나노튜브의 대량 정제 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100364095B1
KR100364095B1 KR1020000030351A KR20000030351A KR100364095B1 KR 100364095 B1 KR100364095 B1 KR 100364095B1 KR 1020000030351 A KR1020000030351 A KR 1020000030351A KR 20000030351 A KR20000030351 A KR 20000030351A KR 100364095 B1 KR100364095 B1 KR 100364095B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carbon nanotubes
gas
purification
acid
wet
Prior art date
Application number
KR1020000030351A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20010066815A (ko
Inventor
이철진
유재은
Original Assignee
일진나노텍 주식회사
이철진
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 일진나노텍 주식회사, 이철진 filed Critical 일진나노텍 주식회사
Priority to KR1020000030351A priority Critical patent/KR100364095B1/ko
Priority to EP00304950A priority patent/EP1061040A1/en
Priority to JP2000177744A priority patent/JP3388222B2/ja
Priority to CN 00109207 priority patent/CN1277146A/zh
Publication of KR20010066815A publication Critical patent/KR20010066815A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100364095B1 publication Critical patent/KR100364095B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/05Preparation or purification of carbon not covered by groups C01B32/15, C01B32/20, C01B32/25, C01B32/30
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15Nano-sized carbon materials
    • C01B32/158Carbon nanotubes
    • C01B32/168After-treatment
    • C01B32/17Purification
    • DTEXTILES; PAPER
    • D01NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
    • D01FCHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
    • D01F11/00Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture
    • D01F11/10Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture of carbon
    • D01F11/14Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture of carbon with organic compounds, e.g. macromolecular compounds
    • DTEXTILES; PAPER
    • D01NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
    • D01FCHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
    • D01F9/00Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments
    • D01F9/08Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments of inorganic material
    • D01F9/12Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof
    • D01F9/127Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof by thermal decomposition of hydrocarbon gases or vapours or other carbon-containing compounds in the form of gas or vapour, e.g. carbon monoxide, alcohols
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

탄소나노튜브에 부착된 불순물들을 제거하는 탄소나노튜브의 대량 정제 방법에 관해 개시한다. 본 발명에 따른 정제 방법은 2번의 습식 정제와 1번의 건식 정제를 순차적으로 실시하는 방법이다. 제1 습식 정제는 미정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 산 수용액을 사용하여 정제한다. 제2 습식 정제는 제1 습식 정제된 결과물을 아세톤과 산의 혼합 용액을 사용하여 정제한다. 마지막으로 건식 정제는 제2 습식 정제된 결과물을 정제 가스를 사용하여 정제한다.

Description

탄소나노튜브의 대량 정제 방법{Massive purification method of carbon nanotubes}
본 발명은 탄소나노튜브(carbon nanotubes)의 대량 정제 방법에 관한 것이다.
탄소나노튜브는 그 직경이 보통 수 nm 내지 수백 nm 정도로 극히 작고, 아스펙트비(aspect ratio)가 10 ∼ 1000 정도인 극히 미세한 원통형의 재료이다. 안락 의자(arm-chair) 구조일 때는 도전성을, 지그 재그(zig-zag) 구조일 때는 반도체성을 나타내는 탄소나노튜브를 FED(feild emission devices)와 같은 디스플레이 소자, 백색광원, 리튬 2차 전지, 수소 저장 셀, 트랜지스터 또는 CRT(cathode-ray tube)의 전자방출원, 또는 복합체(composite)등에 산업적으로 적용하기 위해서는 고순도의 탄소나노튜브가 필요하다.
탄소나노튜브를 전기방전법(C.Journet et al., Nature 388, 756 (1997) 및 D.S.Bethune et al., Nature 363, 605(1993))이나 레이저 증착법(R.E.Smally et al., Science 273, 483(1996))에 따라 합성하면 탄소나노튜브의 조생성물(粗生成物)에 탄소나노튜브 이외에도 흑연상(Graphite Phase)이나 비정질 상태의 탄소 덩어리들, 탄소 파티클(탄소 덩어리보다 미세한 크기로 주로 개개의 탄소나노튜브의 표면에 흡착되어 있음) 또는 촉매 금속 입자 등과 같은 다양한 종류의 불순물들이 다량 생성된다.
대량합성에 유리한 기상합성법(R. Andrews et al., Chem. Phys. Lett., 303, 468, 1999)의 경우에도 다량의 촉매 금속 덩어리 및 탄소 파티클들이 탄소나노튜브의 내측벽 또는 외측벽에 부착되는 단점이 있다.
열화학기상증착법(W.Z.Li et, al., Science, 274, 1701(1996), Shinohara et. al., Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1257(1998)) 또는 플라즈마 화학기상증착법(Z.F.Ren et al., Science. 282, 1105 (1998))으로 탄소나노튜브를 형성할 경우에는 전기방전법, 레이저증착법 또는 기상합성법등에 비해 탄소덩어리의 생성량이 줄어들기는 하나 여전히 탄소나노튜브의 표면 또는 측면에 탄소파티클들이 흡착되어 형성된다.
그런데, 탄소나노튜브의 조생성물로부터 이러한 불순물들을 제거하기 위한 기존의 초음파 세척법, 원심 분리법, 화학침전법이나 필터링법은 정제 효과 및 정제 수율이 낮은 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 탄소나노튜브의 조생성물로부터 다양한 종류의 불순물을 제거하여 고순도의 탄소나노튜브를 효과적으로 높은 수율로 정제하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브의 정제 방법의 흐름도이다.
도 2는 제1 습식 정제 단계의 세부 흐름도이다.
도 3는 제2 습식 정제 단계의 세부 흐름도이다.
도 4는 건식 정제 단계에 사용되는 열 확산 장치의 단면도이다.
도 5는 건식 정제 단계에 적용되는 온도 조절 방법을 설명하기 위한 타이밍 챠트이다.
도 6은 건식 정제 단계에 적용되는 가스 펄싱 방법을 설명하기 위한 타이밍 챠트이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 탄소나노튜브의 정제 방법은 2번의 습식 정제와 1번의 건식 정제를 순차적으로 실시하는 방법이다. 제1 습식 정제는 미정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 산 수용액을 사용하여 정제한다. 제2 습식 정제는 제1 습식 정제된 결과물에 초음파 진동을 가하면서 아세톤과 산의 혼합 용액을 처리하여 정제한다. 마지막으로 건식 정제는 제2 습식 정제된 결과물을 정제 가스를 사용하여 정제한다.
제1 습식 정제는 미정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 산 수용액에 담근 후, 세정하고, 분리된 불순물들을 필터링하는 단계로 이루어진다.
상기 산 수용액은 질산 수용액 또는 염산 수용액인 것이 바람직하다.
제2 습식 정제는 제1 습식 정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 초음파 진동이 가해지는 아세톤과 산의 혼합 용액에 담근 후, 세정하고, 초음파 진동을 가하여 상기 탄소나노튜브들의 표면에 부착되어 있는 불순물들을 분리하고, 분리된 불순물들을 필터링하는 단계로 이루어진다.
상기 아세톤과 산의 혼합 용액은 아세톤과 질산 및 염산의 혼합 용액 또는 아세톤과 질산 및 아세트산의 혼합 용액인 것이 바람직하다.
건식 정제는 열 확산 장치의 반응로내에 정제 가스를 공급하여 상기 반응로에서 열분해된 정제 가스를 이용하여 탄소나노튜브를 정제하는 단계이다.
바람직하기로는 상기 정제 단계 전에 상기 반응로내에 불활성 가스를 공급하면서 상기 반응로내의 온도를 정제 온도로 승온시키는 램프-업 단계를, 상기 정제 단계 후에 상기 반응로내에 불활성 가스를 공급하여 상기 정제 가스를 배기함과 동시에 상기 반응로내의 온도를 하강시키는 램프-다운 단계를 더 포함한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브의 정제방법을 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록하며, 통상의 지식을 가진자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 첨부된 확산로는 설명을 위하여 개략적으로 도시된 것이다.
도 1의 흐름도를 참고하면, 먼저 미정제된 탄소나노튜브의 조생성물들에 산 수용액을 처리하는 제1 습식 정제 단계를 실시한다.(100 단계)
전기방전법, 레이저 증착법, 기상 합성법, 플라즈마 화학기상증착법 또는 열화학기상증착법에 의해 제조된 탄소나노튜의 조생성물 어느것이라도 사용 가능하다. 바람직하기로는 기상 합성법 또는 전기방전법등에 의해 대량으로 합성되는 탄소나노튜브들이 본 발명에 따른 정제에 적합하다. 그 이유는 습식 정제는 대량의 탄소나노튜브들로부터 다량의 불순물들을 동시에 제거하는 것이 가능하기 때문이다. 또, 수직 배향된 탄소나노튜브들을 습식 정제로 정제할 경우, 수직 배향이 변형되고 촉매금속입자들이 손상되어 기판으로부터 탄소나노튜브들이 이탈하는 문제점이 있으나, 상기 두 가지 방법은 수직 배향을 주 목적으로 하는 합성법이라기 보다는 대량 합성을 주 목적으로 하는 합성 방법이기 때문에 습식 정제를 적용할 수가 있다.
구체적으로, 세부 흐름도인 도 2를 참고하면, 제 1 습식 정제 단계는 산 수용액을 탄소나노튜브의 조생성물들에 처리하는 제1 공정(110 단계)에서부터 시작한다.
산 수용액으로는 질산 용액 또는 염산 용액이 사용된다. 질산 용액은 50배의 물에 희석된 용액을 염산 용액 또한 50배의 물에 희석된 용액을 사용한다. 바람직하기로는 산 수용액이 담긴 정제조(purification bath)에 탄소나노튜브들의 조생성물을 1 시간 내지 4 시간 동안 담그는 방식(dipping method)으로 진행하여 불순물, 예컨대 탄소 덩어리, 탄소 파티클 및 촉매 금속 덩어리등을 제거한다.
염산은 수용액 내에서 해리되어 H+와 Cl-을 발생시키고, 질산은 수용액내에서 해리되어 H+와 NO3 -를 발생시킨다. H+는 탄소 덩어리 또는 탄소 파티클을 제거하고Cl-와 NO3 -는 촉매 금속 덩어리를 제거한다.
이어서, 초순수로 세정하는 제2 공정을 실시한다.(112 단계)
탄소나노튜브들과 산 수용액이 담긴 정제조내에 초순수를 공급하여 산 수용액을 정제조로부터 오버 플로우시키는 방식으로 세정한다.
계속해서 세정된 결과물을 300㎛ 크기 이하의 금속 메쉬(mesh) 필터를 사용하여 탄소 덩어리, 탄소 파티클 및 촉매 금속 덩어리를 걸러내는 제3 공정(114 단계)을 실시하여 1차 정제된 탄소나노튜브들을 수득한다.
1차 습식 정제 단계(100 단계)를 통해 수득된 1차 정제된 탄소나노튜브들에 대해 초음파 진동을 가하면서 아세톤과 산의 혼합 용액을 처리하는 제2 습식 정제 단계(도 1의 200 단계)를 실시한다.
구체적으로, 세부 흐름도인 도 3을 참고하면, 제 2 습식 정제 단계는 초음파 진동을 가하면서 아세톤과 산의 혼합 용액을 1차 정제된 탄소나노튜브들에 처리하는 제1 공정(210 단계)에서부터 시작한다.
아세톤과 산의 혼합 용액으로는 아세톤(50%), 질산(30%) 및 염산(20%)이 1:1:1의 부피비로 혼합된 용액 또는 아세톤(50%), 질산(20%) 및 아세트산(30%)이 1:1:1의 부피비로 혼합된 용액이 사용되는 것이 바람직하다. 바람직하기로는 아세톤과 산의 혼합 용액이 담긴 정제조에 1차 정제된 탄소나노튜브들을 담근후 초음파진동을 이용하여 1 시간 내지 4 시간 동안 진행한다. 제2 습식 정제는 초음파 진동을 가하는 재벌 정제(refined purification)로, 제1 습식 정제시 제거되지 않고 잔류하는 탄소 덩어리, 탄소 파티클 또는 촉매 금속덩어리들이 제거된다.
이어서, 탄소나노튜브들과 아세톤과 산의 혼합 용액이 담긴 정제조내에 아세톤과 초순수를 공급하여 아세톤과 산의 혼합 용액을 정제조로부터 오버 플로우시키는 방식으로 세정하는 제2 공정을 실시한다.(212 단계).
계속해서 세정된 결과물과 아세톤을 초음파 세척 장치에 넣고 초음파를 가하여 진동에 의해 탄소나노튜브에 부착되어 있는 탄소 덩어리, 탄소 파티클 및 촉매 금속 덩어리를 분리하는 제3 공정을 실시한다.(214 단계)
마지막으로 수 ㎛ 크기 이하의 탄소 덩어리, 탄소 파티클 및 촉매 금속 덩어리를 걸러낼 수 있는 금속 메쉬 필터를 사용하여 걸러내는 제4 공정(216 단계)을 실시하여 2차 정제된 탄소나노튜브들을 수득함으로써 제2 습식 정제를 완료한다.
이어서, 2번의 습식 정제 단계를 거쳐 정제된 탄소나노튜브들에 대하여 정제 가스를 사용하는 건식 정제 단계를 실시하여 완전히 정제된 최종 탄소나노튜브들을 수득한다. (도 1의 300 단계)
건식 정제 단계에 사용되는 열 확산 장치의 단면도인 도 4, 온도 조절 방법을 설명하기 위한 타이밍 챠트인 도 5 및 가스 펄싱 방법을 설명하기 위한 타이밍 차트인 도 6을 참조하여 건식 정제 단계를 구체적으로 설명한다.
2번의 습식 정제 단계를 거쳐 정제된 탄소나노튜브들(410)을 보트(420)위에 올려놓는다. 이어서, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 반응로(400)의 외측면에 설치된 저항 발열체(430), 예컨대 저항 코일을 사용하여 반응로(400) 내의 온도를 정제 온도(T), 바람직하기로는 500℃ 내지 800℃까지 상승시키는 램프-업(ramp-up)단계를 거친다. 탄소나노튜브(410)가 놓여진 보트(420)는 반응로(400) 내의 온도가 400 ℃ 이하일 때 반응로(400) 내로 로딩되는 것이 바람직하다.
보트(420)를 로딩한 후, 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 램프-업 단계 동안 가스 주입구(도 4의 440)를 통해 반응로(400) 내로 불활성 가스, 예를 들면 아르곤 가스를 약 200 ∼ 500 sccm의 유량으로 흘려준다.
반응로(400) 내의 온도가 원하는 정제 온도(T)에 도달하게 되면, 불활성 가스의 공급을 중단하고, 반응로(400) 내에 정제 가스를 약 10 내지 60분 동안 40 내지 400sccm으로 공급하여 탄소나노튜브를 정제한다.
정제 가스로는 암모니아 가스, 수소 가스, 산소 가스, 또는 이들의 혼합 가스인 제1 정제 가스 또는 산성 가스인 제2 정제 가스를 사용한다.
제2 정제 가스인 산성 가스로는 염산 가스, 질산 가스, 아세트산 가스 또는 이들의 혼합 가스가 사용된다.
제1 정제 가스를 사용할 경우에는 반응로(400) 내의 온도를 500 내지 650℃로 유지하고 반응로(400) 내로 제1 정제 가스를 40 내지 200sccm으로 10 내지 30분간 공급한다.
제2 정제 가스를 사용할 경우에는 반응로(400) 내의 온도를 500 내지 800℃로 유지하고 반응로(300) 내로 제2 정제 가스를 100 내지 400sccm으로 30분 내지 60분간 공급한다.
제1 정제 가스(암모니아 또는 수소 가스) 또는 제2 정제 가스(질산, 염산, 아세트산)의 열분해의 의해 형성된 수소 이온(H+)은 탄소 덩어리 또는 탄소 파티클들을 용이하게 제거한다. 또 제2 정제 가스(염산, 질산)의 열분해 산물인 Cl- 또는 NO3-는 촉매 금속 덩어리를 효과적으로 제거한다. 또 제1 정제 가스의 다른 예인 산소 가스의 열분해 산물인 산소 이온(O2 -)은 탄소 덩어리나 탄소파티클등을 연소시켜 제거하는 역할을 한다.
정제 반응이 완료되면, 정제 가스의 공급을 중단하고, 반응로(400) 내로 다시 아르곤 가스와 같은 불활성 가스를 약 200 ∼ 500 sccm의 유량으로 공급하면서 반응로(400) 내의 온도를 하강시킴과 동시에 반응로(400) 내에 잔류하는 정제 가스를 배기구(도 4의 50)을 통해 배기하는 램프-다운(ramp-down) 단계를 거친다.(도 5 및 도 6). 반응로(400) 내의 온도가 400 ℃ 이하로 되었을 때 정제된 보트(420)를 반응로(400)에서 언로딩한다.
건식 정제 단계(300 단계)를 거침으로써 탄소 파티클과 촉매 금속 덩어리들이 완전히 제거된 고순도의 탄소나노튜브들이 정제된다.
본 발명에 따른 탄소나노튜브의 정제 방법은 정제 효과가 우수하고, 탄소나노튜브 형성시 생성된 부산물들, 예컨대 탄소 덩어리, 탄소 파티클 및 촉매 금속 입자들을 효과적으로 완전히 제거할 수 있다. 따라서 고품질의 탄소나노튜브를 정제할 수 있다. 그리고, 정제조 및 확산로는 대량의 탄소나노튜브를 한번에 처리할 수 있기 때문에 탄소나노튜브를 대량으로 정제할 수 있다.

Claims (8)

  1. 미정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 산 수용액을 사용하여 정제하는 제1 습식 정제 단계;
    상기 제1 습식 정제된 결과물에 초음파 진동을 가하면서 아세톤과 산의 혼합 용액을 처리하여 정제하는 제2 습식 정제 단계; 및
    상기 제2 습식 정제된 결과물을 정제 가스를 사용하여 정제하는 건식 정제 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 습식 정제 단계는
    상기 미정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 산 수용액에 담그는 단계;
    상기 산 수용액에 처리된 탄소나노튜브들을 세정하는 단계; 및
    상기 탄소나노튜브들로부터 분리된 불순물들을 필터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 산 수용액은 질산 수용액 또는 염산 수용액인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 제2 습식 정제 단계는
    상기 제1 습식 정제된 탄소나노튜브들의 조생성물을 초음파 진동이 가해지는 아세톤과 산의 혼합 용액에 담그는 단계;
    상기 아세톤과 산의 혼합 용액에 처리된 탄소나노튜브들을 세정하는 단계;
    상기 세정된 탄소나노튜브들에 초음파 진동을 가하여 상기 탄소나노튜브들의 표면에 부착되어 있는 불순물들을 분리하는 단계; 및
    상기 불순물들을 필터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 아세톤과 산의 혼합 용액은 아세톤과 질산 및 염산의 혼합 용액 또는 아세톤과 질산 및 아세트산의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 건식 정제 단계는
    열 확산 장치의 반응로내에 정제 가스를 공급하여 상기 반응로에서 열분해된 정제 가스를 이용하여 탄소나노튜브를 정제하는 단계인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 정제 단계 전에 상기 반응로내에 불활성 가스를 공급하면서 상기 반응로내의 온도를 정제 온도로 승온시키는 램프-업 단계를 더 포함하고,
    상기 정제 단계 후에 상기 반응로내에 불활성 가스를 공급하여 상기 정제 가스를 배기함과 동시에 상기 반응로내의 온도를 하강시키는 램프-다운 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
  8. 제6 항에 있어서, 상기 정제 가스는 암모니아 가스, 수소 가스, 산소 가스, 또는 이들의 혼합 가스로 이루어진 그룹에서 선택된 제1 정제 가스 또는 염산 가스, 질산 가스, 아세트산 가스 또는 이들의 혼합 가스로 이루어진 그룹에서 선택된 제 2정제 가스인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 정제 방법.
KR1020000030351A 1999-06-15 2000-06-02 탄소나노튜브의 대량 정제 방법 KR100364095B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000030351A KR100364095B1 (ko) 1999-06-15 2000-06-02 탄소나노튜브의 대량 정제 방법
EP00304950A EP1061040A1 (en) 1999-06-15 2000-06-12 Mass purification method of carbon nanotubes
JP2000177744A JP3388222B2 (ja) 1999-06-15 2000-06-14 カーボンナノチューブの精製方法
CN 00109207 CN1277146A (zh) 1999-06-15 2000-06-14 大规模净化碳纳米管的方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990022420 1999-06-15
KR19990022420 1999-06-15
KR1020000030351A KR100364095B1 (ko) 1999-06-15 2000-06-02 탄소나노튜브의 대량 정제 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010066815A KR20010066815A (ko) 2001-07-11
KR100364095B1 true KR100364095B1 (ko) 2002-12-12

Family

ID=26635444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000030351A KR100364095B1 (ko) 1999-06-15 2000-06-02 탄소나노튜브의 대량 정제 방법

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP1061040A1 (ko)
JP (1) JP3388222B2 (ko)
KR (1) KR100364095B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030013552A (ko) * 2001-08-08 2003-02-15 엘지전자 주식회사 탄소나노튜브의 정제방법
KR100422217B1 (ko) * 2001-08-02 2004-03-12 일진나노텍 주식회사 탄소 나노튜브 박막 제조 방법
KR100728642B1 (ko) 2006-03-20 2007-06-14 인하대학교 산학협력단 나일론 610 및 다중벽 탄소나노튜브 복합체의 제조 방법
KR101092860B1 (ko) 2008-06-27 2011-12-14 한국과학기술원 마이크로웨이브를 이용한 금속성 탄소나노튜브의 분리방법

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU767499B2 (en) * 2000-01-19 2003-11-13 Midwest Research Institute Single-wall carbon nanotubes for hydrogen storage or superbundle formation
US6752977B2 (en) 2001-02-12 2004-06-22 William Marsh Rice University Process for purifying single-wall carbon nanotubes and compositions thereof
US7090819B2 (en) 2001-02-12 2006-08-15 William Marsh Rice University Gas-phase process for purifying single-wall carbon nanotubes and compositions thereof
WO2002103737A2 (en) 2001-06-14 2002-12-27 Hyperion Catalysis International, Inc. Field emission devices using ion bombarded carbon nanotubes
EP1451844A4 (en) 2001-06-14 2008-03-12 Hyperion Catalysis Int FIELD EMISSION DEVICES USING MODIFIED CARBON NANOTUBES
US7341498B2 (en) 2001-06-14 2008-03-11 Hyperion Catalysis International, Inc. Method of irradiating field emission cathode having nanotubes
KR20030003890A (ko) * 2001-07-04 2003-01-14 한국화학연구원 수소저장용 탄소나노튜브의 정제방법
US6896864B2 (en) 2001-07-10 2005-05-24 Battelle Memorial Institute Spatial localization of dispersed single walled carbon nanotubes into useful structures
US6878361B2 (en) 2001-07-10 2005-04-12 Battelle Memorial Institute Production of stable aqueous dispersions of carbon nanotubes
US6835591B2 (en) 2001-07-25 2004-12-28 Nantero, Inc. Methods of nanotube films and articles
US6706402B2 (en) 2001-07-25 2004-03-16 Nantero, Inc. Nanotube films and articles
US6574130B2 (en) 2001-07-25 2003-06-03 Nantero, Inc. Hybrid circuit having nanotube electromechanical memory
US6643165B2 (en) 2001-07-25 2003-11-04 Nantero, Inc. Electromechanical memory having cell selection circuitry constructed with nanotube technology
US6669918B2 (en) * 2001-08-07 2003-12-30 The Mitre Corporation Method for bulk separation of single-walled tubular fullerenes based on chirality
US6784028B2 (en) 2001-12-28 2004-08-31 Nantero, Inc. Methods of making electromechanical three-trace junction devices
KR100468845B1 (ko) * 2002-01-30 2005-01-29 삼성전자주식회사 탄소나노튜브 제조방법
KR100513503B1 (ko) * 2002-05-10 2005-09-08 한국화학연구원 수소저장용 탄소나노섬유의 정제 방법
US7858185B2 (en) 2003-09-08 2010-12-28 Nantero, Inc. High purity nanotube fabrics and films
CA2526946A1 (en) 2003-05-14 2005-04-07 Nantero, Inc. Sensor platform using a non-horizontally oriented nanotube element
US7375369B2 (en) 2003-09-08 2008-05-20 Nantero, Inc. Spin-coatable liquid for formation of high purity nanotube films
US7658869B2 (en) 2004-06-03 2010-02-09 Nantero, Inc. Applicator liquid containing ethyl lactate for preparation of nanotube films
CA2590684A1 (en) 2004-12-16 2006-06-22 Nantero, Inc. Aqueous carbon nanotube applicator liquids and methods for producing applicator liquids thereof
EP1929276B1 (en) 2005-09-06 2011-07-27 Nantero, Inc. Nanotube sensor system and method of use
WO2008048313A2 (en) 2005-12-19 2008-04-24 Advanced Technology Materials, Inc. Production of carbon nanotubes
CN100562491C (zh) * 2006-08-23 2009-11-25 中国科学院金属研究所 一种纯化多壁碳纳米管或纳米碳纤维的方法
JP2010222210A (ja) * 2009-03-25 2010-10-07 Ube Kagaku Bunseki Center:Kk ナノカーボンの精製方法およびその分析方法
US8449858B2 (en) 2009-06-10 2013-05-28 Carbon Solutions, Inc. Continuous extraction technique for the purification of carbon nanomaterials
US8454923B2 (en) 2009-06-10 2013-06-04 Carbon Solutions, Inc. Continuous extraction technique for the purification of carbon nanomaterials
US8574673B2 (en) 2009-07-31 2013-11-05 Nantero Inc. Anisotropic nanotube fabric layers and films and methods of forming same
US8128993B2 (en) 2009-07-31 2012-03-06 Nantero Inc. Anisotropic nanotube fabric layers and films and methods of forming same
CN102834418B (zh) 2010-02-12 2016-09-28 南泰若股份有限公司 用于控制纳米管织物层和膜中的密度、孔隙率和/或间隙大小的方法
WO2011163129A2 (en) * 2010-06-22 2011-12-29 Designed Nanotubes, LLC Modified carbon nanotubes, methods for production thereof and products obtained therefrom
WO2012040202A1 (en) 2010-09-20 2012-03-29 Nantero Inc. Methods for purifying nanotube solutions
JP5902193B2 (ja) 2010-12-14 2016-04-13 モレキュラー レバー デザイン エルエルシー 改良型エラストマー調合物
US9634251B2 (en) 2012-02-27 2017-04-25 Nantero Inc. Nanotube solution treated with molecular additive, nanotube film having enhanced adhesion property, and methods for forming the nanotube solution and the nanotube film
CN102897747B (zh) * 2012-10-24 2015-03-11 无锡东恒新能源科技有限公司 碳纳米管纯化系统
WO2014136981A1 (ja) * 2013-03-08 2014-09-12 国立大学法人九州大学 金属性単層カーボンナノチューブと半導体性単層カーボンナノチューブとの分離方法
US9650732B2 (en) 2013-05-01 2017-05-16 Nantero Inc. Low defect nanotube application solutions and fabrics and methods for making same
US10654718B2 (en) 2013-09-20 2020-05-19 Nantero, Inc. Scalable nanotube fabrics and methods for making same
US10084190B2 (en) 2014-01-14 2018-09-25 Showa Denko K.K. Lithium secondary battery and conductive assistant used in same
US9365427B2 (en) 2014-03-07 2016-06-14 Industry-Academia Cooperation Group Of Sejong Univ Method for purifying carbon nanotubes
CN106185869A (zh) * 2016-08-31 2016-12-07 无锡东恒新能源科技有限公司 热能多级回用的碳纳米管纯化系统
CN106185870A (zh) * 2016-08-31 2016-12-07 无锡东恒新能源科技有限公司 回用热能的碳纳米管纯化系统
CN112661138A (zh) * 2021-01-14 2021-04-16 无锡东恒新能源科技有限公司 一种碳纳米管的纯化方法
KR20230168261A (ko) 2022-06-06 2023-12-13 인디언 오일 코퍼레이션 리미티드 탄소 나노물질의 정제를 위한 시약 용액 및 이의 정제 방법
CN116425141B (zh) * 2023-03-09 2024-08-13 中国人民解放军军事科学院防化研究院 一种锂离子电池用碳材料的深度净化方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0748110A (ja) * 1993-06-03 1995-02-21 Nec Corp カーボン・ナノチューブの精製法
JPH0748111A (ja) * 1993-08-04 1995-02-21 Agency Of Ind Science & Technol カーボンナノチューブの分離精製方法
JPH08198611A (ja) * 1995-01-18 1996-08-06 Nec Corp カーボンナノチューブの精製方法
JPH09188509A (ja) * 1996-01-12 1997-07-22 Nec Corp カーボン単層ナノチューブの製造方法
JPH10120409A (ja) * 1996-10-17 1998-05-12 Toyo Tanso Kk 単層ナノチューブの分離・精製方法及び金属内包ナノカプセルの分離・精製方法
KR19990067591A (ko) * 1995-11-15 1999-08-25 이.아이,듀우판드네모아앤드캄파니 입자 전장 방출 재료를 사용한 전장 방출 캐쏘드의 제조 방법
KR20000023053A (ko) * 1998-09-11 2000-04-25 니시무로 아츠시 카본나노튜브의 필름화 방법 및 그 방법에 의해 필름화 된카본나노튜브

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2522469B2 (ja) * 1993-02-01 1996-08-07 日本電気株式会社 カ―ボン・ナノチュ―ブの精製法
US5641466A (en) * 1993-06-03 1997-06-24 Nec Corporation Method of purifying carbon nanotubes
JP2595903B2 (ja) * 1994-07-05 1997-04-02 日本電気株式会社 液相におけるカーボン・ナノチューブの精製・開口方法および官能基の導入方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0748110A (ja) * 1993-06-03 1995-02-21 Nec Corp カーボン・ナノチューブの精製法
JPH0748111A (ja) * 1993-08-04 1995-02-21 Agency Of Ind Science & Technol カーボンナノチューブの分離精製方法
JPH08198611A (ja) * 1995-01-18 1996-08-06 Nec Corp カーボンナノチューブの精製方法
KR19990067591A (ko) * 1995-11-15 1999-08-25 이.아이,듀우판드네모아앤드캄파니 입자 전장 방출 재료를 사용한 전장 방출 캐쏘드의 제조 방법
JPH09188509A (ja) * 1996-01-12 1997-07-22 Nec Corp カーボン単層ナノチューブの製造方法
JPH10120409A (ja) * 1996-10-17 1998-05-12 Toyo Tanso Kk 単層ナノチューブの分離・精製方法及び金属内包ナノカプセルの分離・精製方法
KR20000023053A (ko) * 1998-09-11 2000-04-25 니시무로 아츠시 카본나노튜브의 필름화 방법 및 그 방법에 의해 필름화 된카본나노튜브

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100422217B1 (ko) * 2001-08-02 2004-03-12 일진나노텍 주식회사 탄소 나노튜브 박막 제조 방법
KR20030013552A (ko) * 2001-08-08 2003-02-15 엘지전자 주식회사 탄소나노튜브의 정제방법
KR100728642B1 (ko) 2006-03-20 2007-06-14 인하대학교 산학협력단 나일론 610 및 다중벽 탄소나노튜브 복합체의 제조 방법
KR101092860B1 (ko) 2008-06-27 2011-12-14 한국과학기술원 마이크로웨이브를 이용한 금속성 탄소나노튜브의 분리방법

Also Published As

Publication number Publication date
EP1061040A1 (en) 2000-12-20
JP2001026410A (ja) 2001-01-30
JP3388222B2 (ja) 2003-03-17
KR20010066815A (ko) 2001-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100364095B1 (ko) 탄소나노튜브의 대량 정제 방법
KR100580641B1 (ko) 반도체성 탄소나노튜브의 선별방법
CN1189390C (zh) 利用热化学汽相淀积法在大尺寸基片上大规模合成垂直排列的高纯碳纳米管的方法
EP1413550B1 (en) Method and device for synthesizing high orientationally arranged carbon nanotubes by using organic liquid
JP2001020072A (ja) カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
WO2017221952A1 (ja) 多結晶シリコンロッド及びその製造方法
WO2002064868A1 (en) Gas-phase process for purifying single-wall carbon nanotubes and compositions thereof
KR20050085074A (ko) 탄소 나노튜브의 형성 방법
EP1061042A1 (en) Method for gas phase purification of carbon nanotubes by thermal treatment in diffusion furnace
US20210261414A1 (en) Process and apparatus for purifying bnnt
CN1277146A (zh) 大规模净化碳纳米管的方法
JP2010095438A (ja) 多結晶シリコン製造用カーボン部品の精製方法
KR102406714B1 (ko) 그래핀 양자점의 합성을 위한 시스템 및 방법
JP2002265209A (ja) カーボンナノチューブの精製方法
KR100896253B1 (ko) 탄소나노튜브의 정제방법
EP4107122A1 (en) Generation of high yields of carbon nanotubes (cnts) using recycled metal catalysts
JP3874269B2 (ja) カーボンナノチューブの精製方法
KR100372331B1 (ko) 확산로에서의 열처리를 이용한 탄소나노튜브의 가스상정제 방법
JP2008100869A (ja) カーボンナノチューブの製造方法
JP2016102057A (ja) シリコン中空体の製造方法
JP2017504557A (ja) 多結晶質シリコンの製造方法
Malathi et al. Purification of multi walled carbon nanotubes (mwcnts) synthesized by arc discharge set up
JPH11333396A (ja) 半導体装置製造装置の配管内部のクリーニング方法
JP2015160748A (ja) カーボンナノチューブの製造方法及びカーボンナノチューブの製造装置
TWI245332B (en) Method of carbon nanomaterials purification by ozone

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121126

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130913

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141114

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151125

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee