KR100264446B1 - 에칭폐액의 재이용방법 - Google Patents

Abstract

암모니아 알칼리성의 염화제2동 부식액을 사용하여서 동체(銅

)의 에칭을 행하고, 그때에 생기는 폐액을, 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여서 연속적으로 추출함으로써, 재이용하는 방법에 있어서, 재생에칭액에 많은 추출용매가 혼입하여서 에칭속도의 저하를 초래하는 것이 방지된다.

폐액과 추출매체를 교반혼합한 후 추출분리한다. 동 농도가 감소한 재생액을 에칭에 재이용함과 동시에, 동을 함유한 추출용매를 역추출에 의하여 추출용매중의 동을 황산-황산동수용액으로 이행시킨다. 그 후 추출용매로부터 황산을 제거하기 위하여, 물, 온수, 또는 희염산 등의 세정액을 사용하여서 이 역추출 후의 추출용매를 세정한다.

Description

[발명의 명칭]

에칭폐액의 재이용방법

[기술분야]

본 발명은 암모니아알칼리성의 염화제2동(銅) 부식액(etchant)을 사용하여서 동체(銅

)의 에칭을 행하고, 그때에 생기는 폐액을 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여 연속적으로 추출함으로써, 에칭과정에서 생성된 폐액의 재이용을 하는 방법에 관한 것이다.

[배경기술]

프린트 배선기판의 제조에 있어서의 에칭액은, 사용되는 레지스트의 종류에 따라, 알칼리타입과 산성타입이 선택적으로 사용되고 있다. 최근에 냉엄한 경제환경 속에서, 운전비가 싼 산성타입의 에칭액의 비율이 증가하여 오고 있는 것이 현상이다.

그러나, 프린트 배선기판의 고밀도화와 더불어 패턴도금법에 의하여 프린트 배선기판을 제조하는 것이 유리하게 되고, 또 금속레지스트를 사용하지 않고서는 안되는 프린트 배선기판도 있으며, 모두 다 산성타입의 에칭액으로 전환할 수는 없다고 하는 사정도 있다.

본 발명의 목적은, 알칼리에칭액을 추출용매에 의하여 추출재생함으로써, 산성타입의 에칭액보다도 값싼 운전비로 조업할 수 있도록 하는 것이다.

암모니아알칼리성의 에칭액은, 프린트 배선기판의 제조공정에 있어서, 주로 필요한 회로기판동패턴상에 암모니아알칼리에 대하여 내식성(耐蝕性)이 있는 금속, 예컨대 땜납도금피막 또는 니켈도금피막등을 방식피막으로 하여 불필요한 곳의 동을 부식제거하는 데에 사용된다.

에칭액은 암모니아 착체를 형성하는 염화제2동과 암모니아수 및 염화암모늄을 주성분으로 하는 건욕액(建浴液)과; 염화암모늄 및 암모니아수를 주성분으로 하는 보충액 및; 기타 땜납의 부식방지, 착화력(錯化力)의 증강, 에칭 정밀도의 향상, 에칭속도의 촉진 및 안정 등을 위한 각종 첨가제를 포함하여 구성된다.

에칭은 (1)식과 같이 2가의 동의 산화력을 이용하여서 행하여진다.

통상의 보충액에 의한 재생시스템에서는 (1)식과 같이 에칭에 의하여 제1동으로 환원된 동을 (2)식과 같이 제2동으로 되돌리고, 동시에 희석에 의하여 동 농도를 감소시켜 사용하고 있다.

물에 용해, 혼화하지 않은 유기용매를 이용한 추출에 의한 금속의 회수방법은, 종래, 광산업에서는 극히 일반적으로 행하여지고 있다. 에칭액 중의 동을 회수하는 경우를 생각하면, (3)식과 같이 된다.

구체적인 조작상은, 에칭폐액과 추출용매를 잘 혼합하는 것으로 달성된다.

추출용매로부터의 동의 회수에 관하여서는, 황산수용액과 잘 혼합하는 것으로 (4)식과 같이 황산동으로서 회수할 수 있고, 전기분해에 의하여 (5)식과 같이 용이하게 회수할 수 있는 형태로 된다.

미국특허 4,083,758호 명세서 또는 일본국 특개소 62-53592호 공보에는, 알칼리성 에칭액의 폐액을 추출용매를 사용하여서 재생하는 기술이 개시되어 있다.

전자는 동이온의 추출시에 염소이온을 동시에 추출하여 버리는 것에 비추어서, 염소이온 제거를 위하여 이 세정제거공정을 추가하고 있는 것을 특징으로 하며, 후자는 에칭후의 수세수중에 함유하는 동의 회수를 목적으로 하여서, 그것을 위한 추출공정을 추가하는 것을 특징으로 하고 있다.

전자는 추출용매를 선정함으로써 염소이온의 회수량을 줄일 수 있게 되며, 또한 역추출 후의 전기분해에 의한 회수에 대한 영향을 무시할 수 있는 정도로 되었으므로, 염소이온 제거공정은, 특히 필요없다고 생각된다.

후자에 관하여서는 수세수중의 동의 회수 자체에는 유리하지만, 같은 사이클 내를 통과시키면 대량의 수산화동을 발생하여 전체의 균형을 크게 무너뜨리는 원인이 된다.

구체적인 문제로서는, 수세수의 추출장치를 포함한 배관경로의 막힘이나 에칭액의 수세펌프의 파손 등을 들 수 있다.

이 문제를 해결하는 방법으로서는, 암모니아수를 상당량 첨가하면 어느 정도 해결할 수 있으나, 수세수의 총량이 많기 때문에 암모니아 농도를 유지하는 것이 곤란한 것과, 에칭제조의 주위에 암모니아 냄새가 심하게 나서, 작업성 및 건강상 문제가 생기게 된다.

[발명의 개시]

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고, 보다 안전하게, 보다 안정된 용매추출사이클에 의하여 원활한 에칭작업을 할 수 있는, 에칭폐액의 재이용방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

즉, 알칼리성 에칭액의 폐액을 추출재생함에 있어서, 장기간에 걸쳐서, 에칭공정에서 재사용에 견딜 수 있는 약액상태를 유지하는 것이다.

역추출후의 추출용매 중에는, 미량이기는 하지만 추출용매가 알칼리에칭액과 장기에 걸쳐서 접촉을 되풀이함으로써, 생성되는 감화층 등을 경유하여서 황산근이 함유되고 있으며, 이 추출용매를 그대로 재사용함으로써 용이하게 알칼리에칭액 중에 이 황산근이 이동하여 버린다. 문제는, 이 황산근이 에칭액 중에 들어오면, 직접으로는 에칭속도가 불안정하게 되거나, 장기적으로는 온도가 내려간 경우에 에칭액 중에 결정(結晶)이 석출하거나 하는 경우가 있다. 또, 황산근 자체비중이 무거우므로, 비중으로 신액(新液)의 보충타이밍을 지시하고 있는 통상의 알칼리에칭장치에 있어서는, 혼입된 황산근에 의하여 외관상의 비중이 상승하고, 동 농도가 저하하게 되어, 이것도 에칭 속도의 저하를 초래하거나, 에칭정밀도의 저하의 요인이 된다.

그래서 본 발명에 있어서는, 역추출시에 혼입하여 오는 이 황산근을, 역추출후에 추출용매를 세정함으로써, 황산근을 제거한 후 재차 알칼리에칭액의 추출에 사용하고, 장기에 걸쳐서 안정되게 알칼리에칭액을 사용할 수 있도록 한 것이다.

즉, 본 발명에 의하면, 암모니아알칼리성의 염화제2동에 부식액을 사용하여서 동체의 에칭을 행하고, 그때에 생기는 폐액을 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여서 연속적으로 추출함으로써, 재생에칭액으로서 재이용하는 방법으로서;

(a) 폐액과 추출용매를 연속적으로 교반혼합한 후, 동을 함유한 추출용액과 동 농도가 감소된 재생액으로 분리하고, 이 동 농도가 감소된 재생액을 에칭의 재이용에 제공하는 공정과;

(b) 폐액으로부터 추출한 동을 함유한 추출용매를, 동 농도 및 황산농도를 어느 일정한 범위로 조제한 황산-황산동수용액과 교반혼합한 후 분리하여서, 추출용매중의 동을 이 황산-황산동수용액으로 이행시키는 역추출공정과;

(c) 역추출을 행한 후의 추출용매로부터 황산을 제거하기 위하여, 물, 온수, 또는 희염산 등의 세정액을 사용하여서 이 역추출 후의 추출용매를 세정하는 공정과;

(d) 세정을 종료한 추출용매를 재차, 에칭폐액의 추출재생에 이용하는 공정과;

(e) 역추출에 의하여 동 농도가 상승한 황산-황산동수용액을, 전해를 행하여서 금속동(金屬銅)으로서 회수하는 공정을 포함하여서 이루어지는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법이 제공된다.

따라서, 본 발명의 가장 중요한 특징은, 역추출 후의 추출용매를, 물, 온수, 바람직하기는 희염산에 의하여 세정하는 것이다. 단, 추출용매는, 종류에 따라서는, 수계(水系)와의 친화성의 문제, 비중차의 문제에 의하여 분리가 나빠지는 경우가 있으며, 필요에 따라서 에칭액에 혼입하여도 영향이 없는 에칭액 중의 조성물의 수용액을 사용하는 등에 의해 세정은 원활하게 행하여진다.

본 발명의 한 실시형태에 의하면, 추출용매에 의하여 재생된 에칭액은, 추출용매의 이 재생액으로의 반출량을 제거하기 위하여 기름흡착제, 또는 유/수 분리막을 통과시키는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다. 추출용매에 의하여 재생된 에칭액은, 기름흡착재, 또는 유수분리막을 통과할 때, 반입량의 추출용매가 제거되므로, 재생에칭액을 정밀도 좋게 재사용할 수 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 역추출한 황산-황산동수용액은, 추출 용매의 이 재생액으로의 반출량을 제거하기 위하여 기름흡착재, 또는 유수분리막을 통과시킨 후에 전해조(電解槽)에서 금속동으로서 회수되는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다. 또한, 역추출한 황산-황산동수용액은, 추출용매의 이 재생액으로의 반출량을 제거하기 위하여 기름흡착재를 설치한 중간조(中間槽)를 경유하여서 전해조에 순환되고, 이 전해조내에서 금속동으로서 회수되는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다. 이러한 경우에는, 역추출한 황산-황산동수용액은, 기름흡착재, 또는 유수분리막을 통과할 때, 반입량의 추출용매가 제거되므로, 전해에 의한 금속동의 회수를 원활하게 행할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시형태에 의하면, 에칭폐액과 추출매체를 연속적으로 교반혼합한 후 분리시키는 공정으로서, 분리를 확실하고도 단시간에 종료시키기 위하여, 혼합액을 분리조(分離槽)의 출구에 가까워질수록 지름이 작아지는 구멍이 뚫린 복수의 격벽을 통과시키는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다. 혼합액을 분리조의 출구에 가까워질수록 지름이 작아지는 구멍이 뚫린 복수의 격벽을 통과시킴으로써, 미세한 추출용매의 입자끼리 충돌시켜서, 분리작용을 단시간에 행하게 할 수 있다.

[도면의 간단한 설명]

제1도는 본 발명의 시스템 전체의 구성을 액의 순환경로를 기준으로 하여 나타낸 도면.

제2도는 추출공정에 있어서 사용되는 믹서세틀러(MS-1)를 나타낸 도면.

제3도는 역추출공정 및 세정공정에서 사용되는 믹서세틀러(MS-2 및 MS-3)를 나타낸 도면.

제4도 및 제5도는 실시예의 장치를 나타낸 도면.

제6도는 비교예의 액 순환경로를 나타낸 도면.

제7도는 가동월수에 따른 에칭액의 황산 농도의 변화를 나타낸 도면.

제8도는 가동월수에 따른 에칭속도의 변화를 나타낸 도면이다.

[실시예]

제1도는 본 발명 시스템 전체의 구성을 액의 순환경로를 기준으로 하여서 나타낸 것이다. 각 물질의 흐름은 제어중에서 연속적으로 행하여진다.

먼저, 에칭공정에서 나온 폐액과, 동을 선택적이며 효율적으로 추출할 수 있는 추출용매를, 믹서-세틀러(MS-1)에 일정 유량비를 유지하면서 첨가하고, 믹서부분에서 교반혼합 후, 세틀러부분에서 혼합액을 저속으로 이송하는 사이에 동농도가 감소된 재생에칭액과, 동을 함유한 추출용액으로 분리한다. 동을 선택적으로 추출할 수 있는 추출용매로서는, β-디-케톤계, 옥심계 등의 용매시약에 예컨대 비등점 200℃ 정도의 케로신으로 이루어진 희석용액을 함유한 것을 사용하는 것이 적합하다.

제2도는 여기서 사용하는 믹서-세틀러(MS-1)를 나타낸 것이다. 믹서부분(M)에 있어서, 교반혼합된 혼합액은 필터(31)를 통과하여 분리조인 세틀러부분(S)에 유입한다. 세틀러부분(S)에는 출구에 가까워질수록 지름이 작아진 다수의 구멍을 가진 격벽(32)이 소정간격을 두고 복수 배열되어 있다. 확인시험의 결과, 이와 같은 격벽(32)을 통과시킴으로써, 분리하고 있는 미세한 추출용매의 입자끼리 충돌하여 단시간에 분리되는 것이 확인되었다. 이 세틀러부분(S)에서는 분리에 의하여 아래쪽에 동 농도가 감소된 에칭재생액의 층이, 위쪽에 동을 함유한 추출용매의 층이 생기고, 출구쪽에서 각각 회수된다.

동의 추출을 종료한 재생에칭액은, 기름흡착재를 통과시킴으로써 미량잔류한 추출용액을 회수제거한 후 재차 에칭공정으로 되돌려서, 에칭에 사용된다.

한편 동을 함유한 추출후의 용매는, MS-2로 이송된다. 추출후의 동을 함유한 추출용매의 MS-2로의 이송량에 대하여, 일정량의 비율의 황산수용액(황산 및 황산동의 수용액)을 MS-2에 공급하고, 양자를 믹서부분에서 혼합한 후, 믹서와 연속하는 세틀러부분에서 저속으로 이송 중에 분리된다.

황산 속에 황산동의 형태로 녹아 들어간 동은, 황산 및 황산동수용액의 형태로 기름흡착재를 통과시켜서 추출용매의 반출량을 제거한 후, 전해조로 이송되어, 전기분해에 의하여 금속동으로서 유가물(有

物)의 형태로 회수된다. 금속동이 회수된 희황산(농도 10% 내지 15%의 황산동으로서 동이 남아 있다)은 다시 MS-2에서 사용된다.

재생된 에칭액과, 역추출에 사용한 황산 및 황산동수용액은 모두 기름 흡착재를 통과한 후에 에칭과 전기분해의 공정으로 이행하고 있는데, 에칭액에 추출용매가 많이 혼입하면 에칭속도의 저하가 일어나고, 전기분해의 전석조(電析槽)에 추출용매가 혼입하면 전극의 부도체화(不導

化)가 일어나서 전해가 진행되지 않는 폐해가 일어난다.

이것을 사전에 막기 위하여 활성탄(活性炭)을 사용하여서 추출용매의 혼입을 막을 수도 있으나, 활성탄은 매우 비싼데다가 흡착량이 본 목적에 대해서는 낮고, 또 흡착속도도 더디기 때문에 기름 흡착재쪽이 뛰어나고 있다. 혹은, 유수 분리막을 통과시켜도 좋다. 당연한 일이지만, 미리 기름 흡착재로 혼입한 추출용매를 제거하여 놓고, 그 후 활성탄여과를 행하는 것으로 보다 확실하게 활성탄의 부하를 줄이면서 조업하는 것도 가능하다.

덧붙여서 말하면 확인시험에서는, 카와사키 상코 카세이 가부시키가이샤 제품인 기름 흡착재 “오일록100”(음역임)만의 사용으로도 양호한 추출용매의 제거결과를 얻을 수 있었다.

동이 제거된 추출용매는, MS-3으로 이송된다. MS-3에 의한 추출용매의 세정공정이 이 시스템을 장기에 걸쳐서 안정되게 작동시키는 데에 매우 중요한 공정으로, 물, 온수 바람직하기는 희염산, 또 필요에 따라 부식액조성물을 소정량 용해한 수용액으로 세정된다. 이 공정에 의하여 용매 속에 들어간 황산근은 깨끗이 세정되어 원래의 추출용매로 완전히 복원할 수 있다.

또, 이 세정공정은, 추출용매가 평면 또는 일체적인 구조의 표면을 흐르고 있는 곳에 물을 분무함으로써, 행하여도 좋으며, 설치면적을 적게 할 수 있어, 유리하게 된다.

제3도는, 역추출을 행하는 믹서세틀러(MS-2)와 이와 같은 물분무식의 세정장치(MS-3)를 나타낸 것이다. MS-2에 있어서는, 상기와 같이 믹서부분(M)에서 추출용매와 희황산(황산 및 황산동의 수용액)이 교반혼합되고, MS-1과 마찬가지로, 혼합물은 필터(41)를 통과하여 분리조인 세틀러부분(S)으로 유입한다. 세틀러부분(S)은, MS-1과 마찬가지로 출구에 가까워질수록 지름이 작아진 다수의 구멍을 가진 격벽(42)이 소정간격을 두고 복수 배열되어, 분리가 촉진된다. 세틀러부분(S)에서는 분리에 의하여 아래쪽에 황산 및 황산동의 수용액의 층이, 위쪽에 추출용매의 층이 생기고, 출구(43)에서 넘쳐 흐른 추출용매가 MS-3의 믹서부분인 경사면(44)을 통과하는 사이에 위편으로부터 세정수가 분무되어 추출용매와 혼합된다.

MS-3의 분리조인 세틀러부분에도 상술과 마찬가지의 출구 쪽에 가까울수록 지름이 작아진 구멍을 가진 격벽(46)이 복수 배열되어 있다. 하층의 세정수는 펌프(47)에 의하여 퍼올려져서 재차 세정수로서 사용되고, 원래의 상태로 복원된 상층이 추출용매는 회수되어, 다시 MS-1에서의 동의 추출에 사용된다.

제4도 및 제5도는 본 발명에 의한 에칭폐액의 재이용방법을 사용한 장치의 실시예를 나타낸다. (1)은 재생에칭액 저류조이고, 재생에칭액은, 일단, 재생액 중간탱크(14)에 저류되어서, 에칭조(E)로 적용된다. 에칭처리후의 폐액은 폐액중간탱크(15)에 저류된다[일부는 건용액보관탱크(16)를 거쳐서 에칭폐액 저류조(3)로에 저류된다].

에칭폐액은, 일단, 폐액 중간조(5)에 저류되고, 부식액 추출/재생조(MS-1)에서 상술한 바와 같이 혼합·분리된다. 분리된 재생부식액은 재생부식액 회수조(7)에 일단 저류된 후 재생에칭액 저류조(1)로 되돌려진다.

추출용매는 회수조(8)에 일단 저류된 후 역추출조(9)(MS-2)에서, 상술한 바와 같이 혼합·분리가 행하여지고, 역추출된 용매는 회수조(10)로 회수되고, 다시 추출용매 세정조(11)에서 세정이 행하여진다. 회수된 세정수는 순환조(12)를 거쳐서 재사용된다. 세정이 끝난 추출용매는 회수조(13)에 일단 저류된 후 부식액 추출재생조(6)(MS-1)에서 재이용된다.

역추출조(9)(MS-2)에서 분리된 황산·황산동수용액은 기름 흡착재(19)를 거쳐서 전석조(20),(21)로 보내지고, 정류기(24),(25)에 의하여 전압 조정되어서 전해가 행하여지고, 금속동이 회수된다. 전석조(20),(21)로부터 되돌려진 수용액은 전석조 중계탱크(18)를 거쳐서 역추출조(9)(MS-2)에서 재사용된다.

암모니아수 저류조(2)에는 암모니아수를 함유하는 에칭 신액(新液)이 저류되어 있고, 필요에 따라 암모니아수 중간탱크(17)를 거쳐서 에칭조(E)에 보급되며, 혹은 신액 조합조(4)를 거쳐서 재생에칭액 저류조(1)에 보급된다.

이들 액의 흐름은 모두 펌프(P)에 의하여 제어되며, 연속적이고도 자동적으로 행하여진다.

본 발명의 확인시험으로서 제4도 및 제5도에 나타낸 실동중의 추출재생장치를 사용하여 시험을 하였다. 표 1에 그 결과를 나타낸다:

[표 1]

이 확인 시험에 있어서, “세정공정 없음”이란, 제1도의 파선으로 나타낸 바와 같이, MS-2에서 역추출한 추출용매를 MS-3에서 세정하지 않고, MS-1에서 재사용하는 경우이다.

또, “추출후의 세정만 실시”란, 제6도에서 비교예로서 나타낸 바와 같이, MS-1에서 추출을 한 후, 추출용매를 세정하고, 그 후, 역추출을 하는 경우이다.

세정공정이 없는 경우, 또 에칭액으로부터의 동의 추출후에만 세정한 경우에서는, 모두 3개월이란 짧은 기간 내에 에칭속도의 저하, 정밀도의 저하가 일어나고, 비싼 에칭액의 전량교환에 이르고 있다.

그래서, 조성 중에 무엇이 변화하고 있는가를 조사한 결과, 제7도에 나타낸 바와 같이 역추출시의 황산이 추출용매를 경유하여서 에칭액에 이송하고 있는 것을 알 수 있었다.

즉, 제7도에서 알수 있듯이 세정공정을 사용하지 않는 경우는 사용일수와 함께 황산농도가 상승하고 있고, 역추출에 사용된 황산의 에칭액으로 들어감이 확인되었다.

또, 재생에칭 액중에 황산근이 들어가게 됨으로써, 제8도에 나타낸 바와 같이, 사용일수와 함께 에칭속도가 저하하여 온다.

본 발명의 실시예와 같이, 역추출 후에 세정공정을 도입하는 것으로 에칭액에 황산근이 혼입하지 않기 때문에, 제7도와 같이, 황산농도는 상승하고 있지 않으며, 또 제8도와 같이 에칭속도가 저하하고 있지 않기 때문에, 연속해서 안정된 에칭과 용매추출에 의한 재생을 되풀이할 수 있게 되었다.

또한, 이들 확인 시험에 있어서, 에칭액의 반출량을 보충하기 위하여, 에칭신액을 적당히 보급하였다.

본 발명은 첨부된 도면에 예시된 상술한 바람직한 실시예를 참조하여 기술되었으나, 이는 본 발명이 상술한 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안되며, 본 발명의 요지 또는 범위를 벗어나지 않고서 다양한 변형 및 변경이 가능함에 주목한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 역추출 시에 추출용매에 혼입하여 오는 황산근을, 역추출 후에 세정함으로써, 제거하고 있으므로, 에칭액으로의 황산근의 들어감이 없고, 따라서, 장기에 걸쳐서 안정되게 에칭액을 사용할 수 있다.

Claims (4)

1. 암모니아알칼리성의 염화제2동 부식액을 사용하여서 동체(銅

   

   )의 에칭을 행하고, 폐액을 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여 연속적으로 추출함으로서, 재생에칭액으로서 재이용하는 방법으로서: (a) 폐액과 추출용매를 연속적으로 교반 및 혼합한 후, 동을 함유한 추출용액과 동 농도가 감소된 재생액으로 분리하고, 이 동 농도가 감소된 재생액을 에칭의 재이용에 제공하는 공정과; (b) 폐액으로부터 추출한 동을 함유한 추출용매를 동 농도 및 황산농도를 농도 10% 내지 15%의 황산동으로 유지하도록 조제한 황산 및 황산동수용액과 교반혼합한 후 분리하여서, 추출용매중의 동을 이 황산 및 황산동수용액으로 이행시키는 역추출공정과; (c) 역추출을 행한 후의 추출용매로부터 황산을 제거하기 위하여, 냉수, 온수, 또는 희염산 등의 세정액을 사용하여서 이 역추출 후의 추출용매를 세정하는 공정과; (d) 세정을 종료한 추출용매를 다시, 에칭폐액의 추출 및 재생에 이용하는 공정과; (e) 역추출에 의하여 동 농도가 상승한 황산 및 황산동수용액을, 전해를 행하여서 금속동으로서 회수하는 공정을 포함하여서 이루어지는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
2. 제1항에 있어서, 추출용매에 의하여 재생된 에칭액을, 이 추출용매의 재생액으로의 반출량을 제거하기 위하여 기름 흡착재, 또는 유/수분리막을 통과시키는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
3. 제1항에 있어서, 역추출한 황산 및 황산동수용액이 추출용매의 이 수용액으로 반출량을 제거하기 위하여 기름 흡착재, 또는 유/수분리막을 통과시킨 후에 전해조에서 금속동으로서 회수되는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
4. 제1항에 있어서, 에칭폐액과 추출용매를 연속적으로 교반혼합한 후 분리시키는 공정에서, 분리를 확실하고도 단시간에 종료시키기 위하여, 이 혼합액을, 분리조의 출구에 가까워질수록 지름이 작아지는 구멍이 뚫린 복수의 격벽을 통과시키는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.

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