KR970704909A - 에칭폐액의 재이용방법 - Google Patents

에칭폐액의 재이용방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970704909A
KR970704909A KR1019970700202A KR19970700202A KR970704909A KR 970704909 A KR970704909 A KR 970704909A KR 1019970700202 A KR1019970700202 A KR 1019970700202A KR 19970700202 A KR19970700202 A KR 19970700202A KR 970704909 A KR970704909 A KR 970704909A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
copper
solution
extraction
extraction solvent
etching
Prior art date
Application number
KR1019970700202A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100264446B1 (ko
Inventor
슈지 호소다
가오루 오노
유타카 가스야
미노루 나가오
Original Assignee
이토 유쿠오
가부시키가이샤 아인
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이토 유쿠오, 가부시키가이샤 아인 filed Critical 이토 유쿠오
Publication of KR970704909A publication Critical patent/KR970704909A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100264446B1 publication Critical patent/KR100264446B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46—Regeneration of etching compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Extraction Or Liquid Replacement (AREA)

Abstract

암모니아 알칼리성의 염화제2동 에찬트를 사용하여서 동물체(銅物體)의 에칭을 행하고, 그 때에 생기는 폐액을, 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여서 연속적으로 추출함으로써, 재이용하는 방법에 있어서, 재생에칭액에 많은 추출용매가 혼입하여서 에칭속도의 저하를 초래하는 것을 방지된다. 폐액과 추출매체를 교반 혼합한 후 추출분리한다. 동 농도를 내린 재생액을 에칭에 재이용함과 동시에, 동을 함유한 추출용매를 역추출에 의하여 추출용매중의 동을 황산-황산동수용액으로 이행시킨다. 그 후 추출용매로부터 황산을 제거하기 위하여 물, 온수, 또는 희염산 등의 세정액을 사용하여서 이 역추출후의 추출용매를 세정한다.

Description

에칭폐액의 재이용방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 시스템 전체의 구성을 액의 순환경로를 기준으로 하여 나타낸 도면

Claims (5)

  1. 암모니아 알칼리성의 염화제2동 에찬트를 사용하여서 동물체(銅物體)의 에칭을 행하고, 폐액을 선택적으로 동을 추출하는 추출용매를 사용하여 연속적으로 추출함으로써, 재생에칭액으로서 재이용하는 방법으로서; (a) 폐액과 추출용매를 연속적으로 교반 빛 혼합한 후, 동을 함유한 추출용액과 동 농도를 내린 재생액으로 분리하고, 이 동 농도를 내린 재생액을 에칭의 재이용에 제공하는 공정과; (b) 폐액으로부터 추출한 동을 함유한 추출용매를 동 농도 및 황산농도를 소정의 범위로 유지하도록 조제한 황산 및 황산동수용액과 교반혼합한 후 분리하여서, 추출용매중의 동을 이 황산 및 황산동수용액으로 이행시키는 역추출공정과; (c) 역추출을 행한 후의 추출용매로부터 황산을 제거하기 위하여, 냉수, 온수, 또는 희염산 등의 세정액을 사용하여서 이 역추출후의 추출용매를 세정하는 공정과; (d) 세정을 종료한 추출용매를 다시 에칭폐액의 추출 및 재생에 이용하는 공정과; (e) 역추출에 의하여 동 농도가 상승한 황산 및 황산동수용액을, 전해를 행하여서 금속동으로서 회수하는 공정을 포함하여서 이루어지는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
  2. 제1항에 있어서, 추출용매에 의하여 재생된 에칭액을, 이 추출용매의 재생액으로의 지출분(持出分)을 제거하기 위하여 기름흡착제, 또는 유/수분리막을 통과시키는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
  3. 제1항에 있어서, 역추출한 황산 및 황산동수용액이 추출용매의 이 수용액으로 지출분을 제거하기 위하여 기름흡착재, 또는 유/수분리막을 통과시킨 후에 전해조에서 금속등으로서 회수되는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
  4. 제3항에 있어서, 역추출한 황산 및 황산동수용액은, 추출용매의 이 수용액으로의 지출분을 제거하기 위하여, 기름흡착재를 설치한 중간조를 경유하여서 전해조에 순화되고, 이 전해조 내에서 금속동으로 회수되는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
  5. 제1항에 있어서, 에칭폐액과 추출용매를 연속적으로 교반혼합한 후 분리시키는 공정에서, 분리를 확실하고도 단시간에 종료시키기 위하여, 이 혼합액을, 분리조의 출구에 가까와질수록 지름이 작아지는 구멍이 뚫린 복수의 격벽을 통과시키는 것을 특징으로 하는 에칭폐액의 재이용방법.
KR1019970700202A 1995-05-12 1995-08-23 에칭폐액의 재이용방법 KR100264446B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP95-114830 1995-05-12
JP11483095A JP3392259B2 (ja) 1995-05-12 1995-05-12 エッチング廃液の再利用方法
PCT/JP1995/001673 WO1996035827A1 (fr) 1995-05-12 1995-08-23 Procede permettant de recycler une solution de decapage usee

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970704909A true KR970704909A (ko) 1997-09-06
KR100264446B1 KR100264446B1 (ko) 2000-08-16

Family

ID=14647767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970700202A KR100264446B1 (ko) 1995-05-12 1995-08-23 에칭폐액의 재이용방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP3392259B2 (ko)
KR (1) KR100264446B1 (ko)
WO (1) WO1996035827A1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000058364A (ko) * 2000-05-02 2000-10-05 정진동 電子回路 보드의 銅腐蝕廢液의 스러지로부터 黃酸銅을推出하는 방법
US7175819B2 (en) * 2005-03-04 2007-02-13 Phibro-Tech, Inc. Regeneration of cupric etchants and recovery of copper sulfate
KR100944039B1 (ko) * 2008-02-20 2010-02-24 (주)광양합금철 몰리브덴 제조 공정에서 발생된 폐수에 잔류하는몰리브덴과 구리의 회수 방법
CN102074491B (zh) * 2010-11-30 2012-06-27 沈阳芯源微电子设备有限公司 带有可旋转底盘的化学液分类回收装置
CN103789769A (zh) * 2014-01-14 2014-05-14 无锡市瑞思科环保科技有限公司 一种将pcb酸碱性蚀刻废液资源回收及再生的方法
CN104083902A (zh) * 2014-07-24 2014-10-08 广西新天德能源有限公司 一种蚀刻废液萃取智能搅拌装置
CN104611703A (zh) * 2014-12-26 2015-05-13 锦州清源嘉华环保科技有限公司 Pcb蚀刻废液再生及重金属回收装置及回收方法
CN105506636A (zh) * 2016-02-02 2016-04-20 深圳中能润德环保有限公司 一种萃取含铜废液的循环再生系统及方法
CN108786178A (zh) * 2018-07-18 2018-11-13 浙江格蕾斯生物科技有限公司 一种萃取液循环利用系统
CN110144590A (zh) * 2019-05-31 2019-08-20 深圳市泓达环境科技有限公司 碱性含铜蚀刻废液再生及氨氮废水循环系统
CN110408937A (zh) * 2019-08-13 2019-11-05 安徽绿洲危险废物综合利用有限公司 一种碱性蚀刻氨回收利用系统
CN111270239A (zh) * 2020-03-27 2020-06-12 Tcl华星光电技术有限公司 含铜酸性蚀刻液循环再生的方法
CN112080748A (zh) * 2020-09-14 2020-12-15 深圳市祺鑫环保科技有限公司 酸性蚀刻废液的回收利用方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5836677B2 (ja) * 1976-01-16 1983-08-10 日本ソレックス株式会社 硫酸鉄溶液から硫酸及び含有金属を回収する方法
DE2615287C2 (de) * 1976-04-08 1978-06-08 Duisburger Kupferhuette, 4100 Duisburg Verfahren zur Aufarbeitung komplexer NE-metallhaltiger Lösungen durch Solventextraktion und Gewinnung der darin enthaltenen Wertträger
SE411231B (sv) * 1978-05-02 1979-12-10 Mx Processer Reinhardt Forfarande for atervinning av ett ammonialkaliskt etsbad

Also Published As

Publication number Publication date
KR100264446B1 (ko) 2000-08-16
JP3392259B2 (ja) 2003-03-31
WO1996035827A1 (fr) 1996-11-14
JPH08311664A (ja) 1996-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970704909A (ko) 에칭폐액의 재이용방법
RU98119308A (ru) Способ избирательной экстракции металлических компонентов
EA200000222A1 (ru) Способ извлечения меди из сульфидной медной руды или концентрата
JPS6253592B2 (ko)
RU2005133216A (ru) Экстракция фенола из сточных вод
KR930009915A (ko) 금속황산염 함유의 폐황산에서 황산을 회수하는 방법
JP2010059502A (ja) 銅エッチング廃液の処理方法及び装置
CN101676229A (zh) 全闭路pcb碱性蚀刻液再生及铜回收系统
FI97465B (fi) Menetelmä vetyperoksidin valmistamiseksi
IL43425A (en) Continuous process for removing nitrates from wastewaters by extraction
CN201648150U (zh) 一种碱性铜蚀刻液循环再生水洗装置
CN211339693U (zh) 一种碱性含铜蚀刻废液再生及氨氮废水循环系统
KR20030070720A (ko) 폐수내 유가금속 회수처리용 사이클론 전해장치
ATE282098T1 (de) Kupfergewinnungsverfahren
JP2000005770A (ja) フッ素含有水の処理方法
CN205529043U (zh) 一种萃取含铜废液的循环再生系统
JPH10249330A (ja) ホウ素含有廃水の処理方法
JPS5522367A (en) Treatment of high concentration waste water
JPS5988316A (ja) 回収芒硝中の食塩を除去する方法および装置
KR960041089A (ko) 슬러지내의 알루미늄 회수 공정
JPS5591979A (en) Recovering and circulating apparatus for alkaline etching waste solution
KR101511210B1 (ko) 드릴링 유체 탱크의 세척 시스템 및 방법
KR910004469A (ko) 황산법에 의한 산화 티타늄의 제조에 있어서 폐황산의 재이용방법
CN105506636A (zh) 一种萃取含铜废液的循环再生系统及方法
JPH11158661A (ja) エッチング廃液の再利用方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130417

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140417

Year of fee payment: 15

EXPY Expiration of term