KR100257942B1 - 액정표시 패널의 제조방법 - Google Patents

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니시무로 타이죠
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Abstract

본 발명은 액정표시패널의 전극을 구비한 2장의 기판사이의 간격을 제어하는 스페이서로서의 미립자를 산포하기 위한 미립자산포방법 및 산포장치에 관한 것으로서, X방향으로 이동 자유로운 이동 테이블상에 얹어 설치된 기판과 Y방향으로 요동하는 산포노즐에 있어서, 기판에 대한 산포 노즐의 연장선의 주사궤적이 지그재그가 되도록 상대 이동하며, 상대 이동 동안에 전기제거바에 의해서 기판을 그 이동방향을 따라서 차례로 전기제거하면서 산포노즐로부터 스페이서를 산포함과 동시에, 산포노즐이 주사궤적의 접혀 구부려진 부분을 통과할 때는 산포노즐로부터의 스페이서 산포량을 줄이는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시패널의 제조방법{The method of manufacturing liquid crystal display}
본 발명은 액정표시패널의 전극을 구비한 2장의 기판의 간격을 제어하는 스페이서로서의 미립자를 산포하기 위한 미립자산포방법을 이용한 액정표시패널의 제조방법에 관한 것이다.
최근의 액정표시패널로는 높은 콘트라스트비와 시야 각의 확대 등의 고성능화 및 소자 전체에 걸쳐 표시 불량이 없는 균일한 표시가 가능한 고표시품위화가 요구되고 있다.
일반적으로, 액정표시패널은 2장의 기판을 서로 대향하여 배치하고, 이 기판사이에 액정을 봉입하여 구성되어 있다. 이 때, 대향하는 2장의 기판 간격 전역을 균일하게 소정의 간격으로 제어하는 것이 고성능화 및 고표시품위화에 있어서 매우 중요하게 된다. 즉, 액정표시소자의 고성능화를 도모하기 위해서는 기판 간격을 소정의 값으로 제어하는 것이 필요하며, 고표시품위화를 도모하기 위해서는 기판 간격 전체를 균일하게 하는 것이 필요하게 된다.
따라서, 기판 간격을 전체에 걸쳐 균일하게 하기 위해 한쪽의 기판 표면상에 원하는 직경의 미립자로 이루어진 스페이서를 균일하게 산포한 후, 다른쪽 기판을 서로 붙이는 방법이 취해지고 있다.
예를들면, 일본국 특개평 6-3679호 공보에 개시된 스페이서의 산포장치는 흔들림이 자유롭게 설치된 스페이서의 산포 노즐과, 이 산포 노즐과 기판을 수평면내에서 X방향 및 Y방향으로 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하며, 산포노즐의 연장선이 기판상에 톱니바퀴 형상의 지그재그로 주사궤적을 그리도록 산포 노즐 및 기판을 상대 이동시키면서 산포노즐에서 스페이서를 기판상에 산포한다.
그러나, 상기 종래의 산포장치 및 산포방법에 의하면, 산포노즐에서 산포되는 미립자의 주사궤적중, 접혀서 꺽인 부분에 있어서, 주사궤적 간격이 좁아져 산포영역이 중복된다. 그리고, 중복된 영역에 있어서는 스페이서의 공급량이 다른 영역 보다도 증대하고, 기판상의 산포 밀도도 증가한다. 예를들면 직경 약 5㎛의 스페이서를 산포 밀도 150개/㎟정도로 산포한 경우, 중복된 영역에서는 산포밀도가 50∼70개/㎟로 증가한다. 그때문에, 기판상에 있어서 스페이서의 산포밀도가 불균일하게 되어 2장의 기판사이의 간격을 균일하게 유지하는 것이 곤란하게 된다.
또한, 본 명세서에 있어서, 산포되는 미립자의 주사궤적이라고 하는 것은 산포중심의 이동 궤적을 말하는데, 예를들면 미립자를 산포하는 산포노즐의 중심 축선의 연장선과 기판 표면의 교점의 궤적을 말한다.
이와같이 산포밀도가 불균일하게 되는 것을 방지하기 위하여 산포노즐의 흔들림 각도를 크게 하여 산포 궤적의 접어 구부려지는 부분이 기판의 외부측에 위치하도록 설정하는 것도 가능하지만, 이 경우 스페이서의 사용량이 증대해버림과 동시에 산포시간도 길어져버린다.
한편, 산포 노즐을 통하여 스페이서를 산포하는 방법에 있어서, 스페이서는 반송경로를 통과하는 과정에서 마찰 대전되어 양 또는 음의 전하를 띤다. 이와같은 스페이서의 대전은 스페이서의 응집을 방지하는데 바람직하지만, 대전된 스페이서를 기판상에 산포한 경우, 기판상에 형성된 주사선, 신호선, 쇼트링 등의 도체 패턴이 기판 스페이서와 같은 위치에 대전한다.
액정표시패널의 기판은 그 위에 복잡한 전자회로를 가지고 있기 때문에, 대전은 전면 균일하지않고 특정 배선만이 대전하는 경우도 있다. 특히, 기판상에 주사 궤적을 그리도록 산포 노즐을 이동시키면서 스페이서를 산포하는 경우, 기판상에 먼저 산포된 스페이서에 의해 기판상에 아직 산포되어 있지 않은 부분의 특정 배선 등이 스페이서와 같은 전위로 대전해버리고, 나중에 산포되는 스페이서와 반발해버린다. 그때문에 그 부분에 대한 스페이서의 산포 밀도가 낮아지게 되어 산포얼룩이 생긴다.
또한, 어떤 방법에 의해 기판이 균일하게 대전하도록 한 경우라도 기판상에 스페이서를 산포함에 따라 기판에 대전이 축적되어 간다. 이와같이 기판이 대전하는 것은 전자회로의 정전파괴 등의 불량 발생에 기인되기 때문에 바람직하지 않다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 스페이서로서의 미립자를 기판상에 균일하게 산포할 수 있는 미립자의 산포방법을 이용한 액정표시패널의 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제조방법은 산포노즐에서 산포되는 미립자가 기판 표면에 지그재그로 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포 노즐을 평면내에서 서로 이동시키면서 산포노즐에서 미립자를 산포하는 동안에 상기 산포노즐의 이동에 따라 상기 기판에 대한 미립자의 공급량을 변화시키는 것을 특징으로 하고 있다.
산포밀도는 상기 산포노즐로부터의 미립자의 산포량을 줄임으로써, 또는 상기 산포노즐의 이동 속도를 변화시킴으로써 변화시키고 있다.
본 발명의 산포장치는 기판표면상에 미립자를 산포하는 산포노즐과, 상기 산포노즐에서 산포된 미립자가 기판 표면에 지그재그로 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포 노즐을 평면내에서 서로 이동시키는 이동수단과, 상기 상대 이동하는 동안에 상기 산포노즐로부터 미립자를 산포함과 동시에 상기 기판에 대한 미립자의 산포 밀도를 변환시키는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 본 발명의 산포방법은 산포된 미립자가 기판 표면에 소정의 주사 궤적을 그리도록 상기 기판과 산포 노즐을 상대 이동시키면서 산포노즐로부터 미립자를 산포할 때, 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 상기 기판의 영역을 상기 기판의 이동방향을 따라서 차례로 전기제거하면서 상기 산포노즐로부터 미립자를 산포하는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 산포방법에 의하면 아직 미립자가 산포되어 있지 않은 기판의 영역을 차례로 전기제거한 후, 미립자를 산포함으로써 미립자가 산포되는 기판의 영역이 미립자와 같은 전위가 되는 것을 방지하고 있다.
본 발명에 따른 산포장치는 기판표면상에 미립자를 산포하는 산포노즐과 상기 기판을 전기제거하는 전기제거수단과, 상기 산포노즐로부터 산포되는 미립자가 기판 표면에 소정의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 상대 이동시킴과 동시에 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 상기 기판의 영역이 상기 전기제거수단에 의해 상기 기판을 이동 방향을 따라서 차례로 전기제거되도록 상기 기판과 전기제거수단을 상대 이동시키는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 산포장치를 나타낸 도면으로서,
도 1은 상기 산포장치 전체를 개략적으로 나타낸 도면,
도 2는 상기 산포장치의 이동 테이블, 전기제거(除電)바 및 산포 노즐을 나타낸 사시도,
도 3은 상기 전기제거바와 산포 노즐과의 배치 관계를 나타낸 측면도,
도 4는 액정표시패널의 어레이기판의 제조에 이용하는 유리기판을 나타낸 사시도,
도 5는 상기 유리기판상에 형성된 도체 패턴의 일부를 확대하여 나타낸 평면도,
도 6은 상기 유리기판에 대한 산포노즐의 주사 궤적을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10: 유리기판 12: 용기
14: 지지대 16: 이동 테이블
18: 이동기구 22: 산포노즐
26: 반송튜브 30: 송풍기
32: 제어부 40: 도체패턴
42: 신호선 44: 주사선
45: 박막트랜지스터 46: 화소전극
48: 쇼트링
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 3은 액정표시패널의 제조에 이용되는 유리기판(10)상에 미립자로서의 스페이서를 산포하는 산포장치를 나타내고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 유리기판(10)은 직사각형상으로 형성되어 있고, 또 액정표시패널에 사용되는 6장의 어레이기판에 대응되는 크기를 가지고 있다. 유리기판(10)의 표면상에는 각각 어레이기판용 6개의 도체패턴(40)이 소정의 간격으로 형성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 각 도체패턴(40)은 다수의 신호선(42) 및 다수의 주사선(44)를 가지며, 이 신호선 및 주사선은 매트릭스형상으로 배치되어 있고, 또한 도체막으로 기능한다. 신호선(42)과 주사선(44)으로 둘러싸인 각 영역에는 화소전극(46)이 설치되며, 박막트랜지스터(45)를 통하여 신호선 및 주사선에 접속되어 있다. 또한, 도체패턴(40)은 신호선(42) 및 주사선(44)이 접속되어 있는 직사각형 형상의 쇼트링(short ring)(48)을 구비하고 있다. 또한, 유리기판(10)상을 각 도체패턴(40)을 둘러싸는 시일제(50)가 도포되어 있다.
이 산포장치는 스페이서 산포를 위한 외부로부터 구획된 산포 공간을 규정하고 있는 용기(12)를 구비하며, 용기(12)내에는 지지대(14)가 설치되어 있다. 지지대(14)위에는 어레이기판(10)를 얹어설치하기 위한 구동 테이블(16)이 어레이기판의 한 변과 평행한 X방향을 따라서 이동 자유롭게 설치되어 있다. 이동 테이블(16)은 도시하지 않은 모터, 동력전달기구 등을 가진 이동기구(18)에 의해서 소정의 속도로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 이동 테이블(16)은 어스되어 있다.
또한, 지지대(14)위에는 X방향과 직교하는 Y방향으로 전기제거바(20)가 이동 테이블(16) 위쪽으로 설치되며, 이동 테이블위의 유리기판(10) 표면과 평행하게 대향하고 있다.
용기(12)내에 있어서 이동 테이블(16)의 윗쪽에는 산포노즐(22)이 설치되어 있다. 산포노즐(22)은 용기(12)위에 설치된 노즐구동기구(24)에 의해 Y방향을 따라서 임의의 각속도 및 각도로 흔들리게 구동된다.
또한, 산포노즐(22)은 전기제거바(20)에 대해 반송 테이블(16)의 이동방향 X에 나란히 설치되어 있고, 또 상기 이동방향 X쪽에 있는 산포노즐과 전기제거바의 간격(d)은 유리기판(10)의 X방향의 길이 보다도 짧고, 동시에 산포에 영향을 주지 않는 범위로 가능한한 짧게 설정되어 있다. 즉, 산포노즐(22) 및 전기제거바(20)는 이동 테이블(16)에 의해서 유리기판(10)이 X방향으로 이동되는 동안에 적어도 일시적으로 양쪽이 동시에 유리기판과 대향하도록 설치되어 있다.
또한, 이동 테이블(16), 이동기구(18) 및 노즐구동기구(24)는 본 발명에 있어서 이동수단을 구성하고 있다.
산포노즐(22)은 반송 테이블(26)을 통하여 미립자의 공급장치(28)에 접속되어 있다. 공급장치(28)는 미립자로서 예를들면 직경이 약 5㎛인 수지구로 이루어진 스페이서를 수용한 도시하지 않은 스페이서 수용부, 공기압에 의해 스페이서 수용부내의 스페이서를 반송튜브(26)를 통하여 산포노즐(22)에 공급하고, 산포노즐에서 산포하는 도시하지 않은 압축기, 그 외에 개폐 밸브 등을 구비하고 있다.
또한, 용기(12)의 바닥부에는 용기내의 공기를 배기하는 송풍기(30)가 접속되어 있다.
이동기구(28), 전기제거바(20), 노즐구동기구(24), 공급장치(28)는 제어수단으로서의 제어부(32)에 각각 접속되며, 이 제어부에 의해서 그 동작이 제어된다. 예를들면 노즐구동기구(24)는 제어부(32)의 제어하에 산포노즐의 요동각도, 각속도 등을 변경 가능하게 되어 있다. 또한, 공급장치(28)는 제어부(32)의 제어하에 스페이서의 단위시간당 공급량을 임의로 설정 가능하게 되어 있다.
다음으로, 이상과 같이 구성된 산포장치를 이용하여 유리기판(10) 표면상에 스페이서를 산포하는 방법에 대해서 설명한다.
우선, 유리기판(10)을 그 긴 축, 즉 긴 변을 X방향으로 합친 상태에서 이동 테이블(16)상에 얹어 설치함과 동시에 유리기판을 산포장치의 그라운드에 도전 가능하게 접속시킨다. 계속해서, 제어부(32)의 제어하에 이동기구(18)에 의해 이동 테이블(16)을 소정의 일정속도로 X방향으로 이동시킴과 동시에 노즐구동기구(24)에 의해 산포노즐(22)을 소정의 각속도로 Y방향을 따라서 요동시킨다.
그것에 의해 이동 테이블(16)위의 유리기판(10)은 그 한 단측에서 전기제거바(20)의 아래쪽 및 산포노즐(22)의 아래쪽을 차례로 통과하여 X방향으로 이동하고, 유리기판(10)과 산포노즐(22)은 수평면내에서 X방향 및 Y방향으로 상대 이동하게 된다. 계속해서, 도 2 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 산포노즐(22)의 연장선은 유리기판(10)의 표면상에서 톱니바퀴형상의 지그재그인 주사궤적(A)을 그리면서 이동한다. 또한, 산포노즐(22)의 요동각도는 주사궤적(A)의 접혀 구부려지는 부분(B)이 유리기판(10)의 양 측 테두리와 거의 일치하도록 설정되어 있다.
한편, 노즐구동기구(24) 및 이동기구(18)의 구동과 동기하여 제어부(32)에 의한 제어하에 전기제거바(20)가 여자됨과 동시에 공급장치(28) 및 송풍기(30)가 구동된다.
그것에 의해, 유리기판(10)은 전기제거바(20)의 아래쪽을 통과할 때, 전기제거바(20)와 대향하는 영역이 차례로 전기제거된다. 예를들면, 산포노즐(22)로부터 공급되는 스페이서는 마찰 대전 등에 의해서 -5∼-10KV정도로, 이것에 의해 유리기판(10)상의 각 도체패턴(40)은 대전하지만, 전기제거바(20)에 의해서 전기제거됨으로써 스페이서 보다도 충분하게 낮은 전위, 실질적으로는 0으로 전기 제거된다.
또한, 공급장치(28)에서 반송튜브(26)를 통하여 산포노즐(22)에 스페이서가 공급되며, 이 스페이서는 산포노즐(22)로부터 유리기판 표면을 향해서 산포된다. 그때, 스페이서는 산포노즐(22)의 주사궤적(A)을 따라서 소정폭으로 산포됨과 동시에 유리기판(10)중에 전기제거바(20)에 의해서 전기제거된 영역에 산포된다.
또한, 스페이서를 산포할 때, 제어부(32)는 산포노즐(22)의 이동 위치에 따라서 스페이서의 산포량을 변경한다. 즉, 산포노즐(22)이 그 주사궤적(A)중, 접혀 구부려지는 부분(B)을 통과할 때, 예를들면 도 6에 있어서 각 둥근표시의 외부측 부분을 통과할 때, 제어부(32)는 공급장치(28)로부터 스페이서의 공급량을 소정의 값으로 줄인다. 예를들면, 통상의 산포밀도 150개/㎟가 얻어지는 스페이서 공급량을 100으로 한 경우, 접혀 구부려지는 부분(B)을 통과하는 동안의 스페이서 공급량은 50∼70정도로 줄인다.
예를들면, 어레이기판(10)의 크기를 550×650mm으로 한 경우, 산포노즐(22)은 15rpm, 요동각도는 ±30°로 설정되어 있다.
이상과 같이 구성된 산포장치 및 산포방법에 의하면, 유리기판(10) 표면에 대해 지그재그로 주사궤적(A)을 그리도록 산포노즐(22)을 상대 이동시키면서 스페이서를 산포하는 동안에 주사궤적이 접혀 구부려지는 부분, 즉 주사궤적 간격이 좁아지는 영역에서는 산포노즐로부터의 스페이서 산포량을 줄임으로써 주사궤적 간격이 좁아지는 영역에 있어서도 스페이서의 산포 밀도가 다른 부분에 비교하여 커지는 일이 없고, 유리기판(10)의 표면 전체에 걸쳐 균일한 밀도로 스페이서를 산포하는 것이 가능하게 된다.
또한, 주사궤적(A)의 접혀 구부려지는 부분(B)을 기판 보다도 외부측에 설정할 필요가 없어지며, 스페이서를 항상 일정한 산포량으로 산포하는 경우에 비교하여 스페이서의 소비량을 약 1/2 내지 2/3으로 줄일 수 있어 경제성의 향상을 도모할 수 있다.
또한, 전기제거바(20)에 의해서 유리기판(10)을 전기 제거하면서, 유리기판상에 스페이서를 산포하고 있기 때문에 유리기판상의 스페이서가 산포된 영역에 연속되는 스페이서가 아직 산포되지 않은 영역의 전위가 유리기판상에 산포된 스페이서와 같은 전위가 되는 것을 방지할 수 있다. 그때문에, 스페이서의 전위와 다른 전위로 전기 제거된 영역에 스페이서를 산포할 수 있고, 산포된 스페이서가 유리기판 표면에서 튕겨져 비산하는 일이 없어진다. 그 결과, 스페이서의 산포 얼룩을 방지하여 스페이서를 유리기판상의 전역에 걸쳐 균일한 산포밀도로 산포할 수 있다.
또한, 산포된 스페이서에 의해 대전된 유리기판을 전기제거바에 의해서 즉시 전기제거함으로써 유리기판내에 전하가 축적되는 일이 없고, 유리기판의 전극, 스위칭소자 등의 정전 파괴를 방지할 수 있다.
이상과 같기 때문에, 본 실시예에 따른 산포장치 및 산포방법에 의하면, 유리기판상에 스페이서를 균일하게 산포할 수 있고, 이 유리기판을 이용함으로써 2장의 기판 간격이 전역에 걸쳐 균일한 고품위인 액정표시패널을 제공하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 범위내에서 여러가지 변형 가능하다.
예를들면, 상기한 실시예에 있어서는 주사궤적의 접혀 구부려진 부분을 통과할 때, 산포노즐로부터의 스페이서 공급량을 줄이는 구성으로 했지만, 산포노즐로부터의 스페이서의 공급량을 항상 일정하게 하고, 산포노즐이 주사궤적의 접혀 구부려진 부분을 통과할 때의 산포 노즐의 이동속도, 즉, 각속도를 10∼15% 높게 하도록 해도 좋다. 이 경우, 주사궤적의 접혀 구부려지는 부분에 있어서, 유리기판의 단위면적당 스페이서 산포량을 줄일 수 있고, 상기한 실시예와 마찬가지로 유리기판의 전면에 걸쳐 균일하게 스페이서를 산포 가능하게 된다.
또한, 전기제거수단으로는 전기제거바 대신해 약한 X선 전리장치(ionizer)를 사용해도 좋다. 이 경우, 약한 X선 전리장치는 X선을 필요로 하는 부분 이외에서 차단함으로써 유리기판의 전기제거영역을 용이하게 제어할 수 있음과 동시에 전기제거시에 기류를 흩어지지 않게 하기 때문에 스페이서의 산포에 영향을 주지 않고 유리기판의 미산포 영역을 전기 제거할 수 있다.
이상, 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 스페이서로서의 미립자를 기판상에 균일하게 산포할 수 있고, 표시품위가 높은 고신뢰성의 액정표시소자를 용이하게 제조 가능한 미립자의 산포방법을 이용한 액정표시패널의 제조방법을 제공할 수 있다.

Claims (11)

  1. 도체 패턴을 포함하는 전극기판으로 이루어진 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하여 배치되는 제 2 기판과, 상기 제 1 및 제 2 기판사이에 배치되어 소정의 기판 간격을 유지하는 스페이서로서 기능하는 미립자와, 상기 제 1 및 제 2 기판사이에 배치되는 액정층을 구비한 액정표시패널의 제조방법에 있어서,
    상기 전극기판의 주 표면상에 상기 미립자를 산포하기 위한 산포노즐을 대향 배치하는 공정;
    상기 산포노즐로부터 상기 전극 기판의 주 표면에 산포되는 미립자가 소정의 주사 궤적을 그리도록 상기 산포노즐을 요동시키고, 또 상기 산포노즐의 요동방향과 교차하는 방향으로 상기 전극 기판과 상기 산포노즐을 상대 이동시키는 공정; 및
    상기 상대 이동동안, 상기 전극기판상의 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 영역을 상기 상대이동방향을 따라서 차례로 전기제거하면서 상기 산포노즐로부터 상기 미립자를 산포하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극기판은 대략 직사각형이며, 상기 상대 이동은 상기 전극 기판의 한 변을 따르는 제 1 방향인 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 산포노즐은 상기 제 1 방향과 대략 직교하는 제 2 방향을 따라서 요동되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 전기제거는 상기 제 1 방향과 대략 직교하는 제 2 방향을 따라서 배치되는 전기제거바에 의하여 실시되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 주사 궤적은 상기 전극 기판의 주 표면상에 지그재그로 그려지는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 미립자의 산포량은 상기 주사 궤적에 대응하여 조정되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 미립자의 산포량은 상기 주사 궤적의 접혀 구부려지는 부근에서 저감되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 미립자의 산포량은 상기 미립자의 공급량의 제어에 의해 조정되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 미립자의 산포량은 상기 산포노즐의 주사 속도의 제어에 의해 조정되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 미립자는 대전해 있는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 전극기판은 복수의 상기 도체 패턴을 포함하고 상기 전극기판에서 각 상기 도체 패턴을 포함한 복수의 상기 제 1 기판을 얻는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
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