KR970062772A - 미립자 산포방법 및 산포장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시패널의 전극을 구비한 2장의 기판사이의 간격을 제어하는 스페이서로서의 미립자를 산포하기 위한 미립자산포방법 및 산포장치에 관한 것으로서, X방향으로 이동 자유로운 이동 테이블상에 얹어 설치된 기판과 Y방향으로 요동하는 산포노즐에 있어서, 기판에 대한 산포 노즐의 연장선의 주사궤적이 지그재그가 되도록 상대 이동하며, 상대 이동 동안에 전기제거바에 의해서 기판을 그 이동방향에 따라서 차례로 전기제거하면서 산포노즐로부터 스페이서를 산포함과 동시에, 산포노즐이 주사궤적의 접혀 구부려진 부분을 통과할 때는 산포노즐로부터의 스페이서 산포량을 줄이는 것을 특징으로 한다.

Description

미립자 산포방법 및 산포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 상기 산포장치의 이동 테이블, 전기제거(除電)바 및 산포 노즐을 나타낸 사시도.

Claims (12)

  1. 액정표시패널을 구성하는 기판상에 스페이서로서 기능하는 미립자를 산포하는 방법에 있어서, 기판표면상에 산포노즐에서 산포되는 미립자가 기판 표면에 지그재그의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 평면내에서 상대 이동시키는 공정; 및 상기 상대 이동 동안에 상기 산포노즐에서 미립자를 산포하고, 또 상기 산포 노즐의 이동에 따라 상기 기판에 대한 미립자의 공급량을 변화시키는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공급량을 변화시키는 공정은 상기 산포노즐로부터의 미립자의 산포량을 줄이는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공급량을 변화시키는 공정은 상기 산포노즐의 이동속도를 변화시키는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공급량을 변화시키는 공정은 상기 주사궤적의 접혀 구부려지는 부분에는 상기 공급량을 줄이는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  5. 액정표시패널을 구성하는 기판상에 스페이서로 기능하는 미립자를 산포하는 방법에 있어서, 산포노즐로부터 기판 표면에 산포되는 미립자가 소정의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 상대 이동시키는 공정; 및 상기 상대이동 동안에 상기 기판위의 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 영역을 상기 기판의 이동방향을 따라서 차례로 전기 제거하면서 상기 산포노즐로부터 미립자를 산포하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  6. 도체 배선을 포함하는 도체 패턴을 구비하고 있고, 액정표시패널의 일부를 구성하는 기판상에 스페이서로 기능하는 미립자를 산포하는 방법에 있어서, 산포노즐에서 기판 표면에 산포되는 미립자가 소정의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 상대 이동시키는 공정; 및 상기 상대 이동 동안에 상기 기판위의 도체 패턴의 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 영역을 상기 기판의 이동방향에 따라서 차례로 전기제거하면서 상기 산포노즐로부터 대전한 미립자를 산포하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  7. 액정표시패털을 구성하는 기판상에 스페이서로 기능하는 미립자를 산포하는 방법에 있어서, 산포노즐에서 기판 표면에 산포되는 미립자가 소정의 주사 궤적을 그리도록 상기 기판과 산포 노즐을 평면내에서 상대 이동시키는 공정; 및 상기 상대 이동동안에 상기 기판상의 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 영역을 상기기판의 이동 방향을 따라서 차례로 전기 제거하면서 상기 산포노즐에서 미립자를 산포하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포방법.
  8. 액정표시패널을 구성하는 기판상에 스페이서로 기능하는 미립자를 산포하는 산포장치에 있어서, 상기 기판표면상에 미립자를 산포하는 산포노즐; 상기 산포노즐에서 산포되는 미립자가 기판 표면에 지그재그의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 궤적 노즐을 평면내에서 상대 이동시키는 이동수단; 및 상기 상대이동 동안에 상기 산포노즐에서 미립자를 산포함과 동시에 상기 주사궤적상의 소정위치에 있어서, 상기 기판 표면에 대한 미립자의 공급량을 변화시키는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포장치.
  9. 액정표시패널을 구성하는 기판상에 스페이서로서 기능하는 미립자를 산포하는 산포장치에 있어서, 상기 기판표면상에 미립자를 산포하는 산포노즐; 상기 기판을 전기 제거하는 전기제거수단; 및 상기 산포노즐에서 산포되는 미립자가 기판표면에 소정의 주사궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 상대 이동시킴과 동시에 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 상기 기판의 영역이 상기 전기제거수단에 의해 상기 기판의 이동방향을 따라서 차례로 전기제거되도록 상기 기판과 전기제거수단을 상대이동시키는 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 이동수단은 상기 산포노즐을 제1방향을 따사러 요동시키는 요동기구 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향을 따라서 상기 기판을 이동시키는 기판 반송 기구를 구비하며, 상기 전기제거수단은상기 산포노즐과 상기 제2방향으로 늘어서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 미립자 산포장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 전기제거수단은 상기 제1방향에 따라서 뻗어난 전기제거바를 가지며, 상기 전기제거바는 상기 기판의 상기 제2방향을 따른 길이 보다는 짧은 거리만큼 상기 산포노즐에서 떨어져 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 미립자 산포장치.
  12. 다수의 도체막을 포함하는 도체 패턴을 구비하고 있음과 동시에 액정표시 패턴의 일부를 구성하기 위하여 이용되는 기판상에 스페이서로 기능하는 미립자를 산포하는 산포장치에 있어서, 상기 기판표면상에 대전한 미립자를 산포하는 산포노즐; 상기 기판상의 도체 패턴을 전기제거하는 전기제거수단; 및 상기 산포노즐에서 산포되는 미립자가 기판 표면에 소정의 주사 궤적을 그리도록 상기 기판과 산포노즐을 상대 이동시킴과 동시에 상기 미립자가 산포되어 있지 않은 상기 기판위에 도체 패턴의 영역이 상기 전기제거수단에 의해 상기 기판의 이동방향을 따라서 차례로 전기제거되도록 상기 기판과 전기제거수단을 상대 이동시키는 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 미립자 산포장치.
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