KR100257106B1 - 자기헤드 유니트, 그의 제조방법 및 그를 이용한 자기기록 재생 장치 - Google Patents

자기헤드 유니트, 그의 제조방법 및 그를 이용한 자기기록 재생 장치 Download PDF

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아키오 무라타
사유리 무라마쓰
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
자기헤드 유니트, 그의 제조방법 및 그를 이용한 자기기록 재생장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
고주파신호에 의한 전자파의 복사의 발생이 적고, 외부로부터의 노어즈의 영향이 적은 자기헤드 유니트를 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
자기임피던스소자를 가지는 자기헤드를 구비하고, 자기헤드로부터 출력되는고주파신호를 전송하는 4 분의 1 파장의 런합선로를 자기헤드를 지지하는 헤드서스펜션에 형성함.
4. 발명의 중요한 용도
기록매체인 하드디스크 등의 자기헤드 유니트로 이용됨.

Description

자기헤드 유니트, 그의 제조방법 및 그를 이용한 자기기록 재생장치
제1도는, 본 발명의 제1의 실시형태인 자기헤드 유니트를 구비한 자기기록재생장치의 구성을 나타내는 사시도.
제2a도는, 제1도에 나타낸 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 확대사시도.
제2b도는, 제1도에 나타낸 자기임피던스 헤드의 개략구성을 나타내는 확대사시도.
제2c도는, 제2a도의 일점쇄선 2C으로 단면을 취한 헤드 서스펜션의 단면을나타내는 확대단면도.
제3도는, 제1도에 나타낸 자기헤드 유니트의 등가회로를 나타내는 블록도.
제4a 도는, 실리콘 기판상에 레지스트층을 형성한 후의 상태의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도.
제4b 도는, 레지스트층의 일부를 노광한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도.
제4c도는, 오목부를 실리콘 기판에 형성한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의단면을 나타내는 확대단면도.
제4d도는, 레지스트층을 제거한 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는확대단면도.
제4e도는, 실리콘기판상에 금속박막을 형성한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도.
제4f도는, 헤드서스펜션의 완성후의 단면을 나타내는 확대단면도.
제5a도는, 실리콘 기판상에 금속박막을 형성한 후의 상태에서의 제1의 실시형태의 헤드 서스펜션의 변형예 1의 단면을 나타내는 확대단면도.
제5b도는, 제5a도에 나타낸 헤드 서스펜션의 완성후의 단면을 나타내는 확대단면도.
제6a도는, 제1의 실시형태의 헤드 서스펜션의 변형예 2의 단면을 나타내는 확대단면도.
제6b도는, 제1의 실시형태의 헤드 서스펜션의 변형예 3의 단면을 나타내는 확대단면도.
제6c도는, 제1의 실시형태의 헤드 서스펜션의 변형예 4의 단면을 나타내는 확대단면도,
제7a도는, 본 발명의 제2의 실시형태인 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 확대사시도.
제7b도는, 제7a도의 일점쇄선 V11B 에서의 단면을 취한 헤드서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도.
제8도는, 제7a도에 나타낸 자기헤드 유니트의 등가회로를 나타내는 블록도.
제9a도는, 제7도에 나타낸 헤드서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도.
제9b도는, 제7a도에 나타낸 헤드서스펜션의 변형예 1의 단면을 나타내는 확대단면도.
제9c도는, 제7a도에 나타낸 헤드서스펜션의 변형예 2의 단면을 나타내는 확대단면도.
제9d도는, 제7a도에 나타낸 헤드서스펜션의 변형예 3의 단면을 나타내는 확대단면도.
제10a도는, 본 발명의 제3의 실시형태인 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 확대사시도.
제10b도는, 제10a도에 나타낸 헤드 서스펜션의 변형폐를 나타낸 확대단면도.
제11a도는, 본 발명의 제4의 실시형태인 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 확대사시도.
제12a도는, 종래의 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 사시도.
제12b도는, 제12a 도의 일점쇄선 xiiB 로 단면을 취한 종래의 헤드서스펜션의 단면을 나타내는 단면도.
제13a도는, 종래의 복합형 자기헤드의 주요부의 구성을 타타내는 단면도.
제13b도는, 제13a도에 나타내는 MR헤드의 개략구성을 나타내는 확대사시도.
제14a도는, 자기임피던스소자를 이용한 종래의 재생헤드의 개략구성를 나타내는 설명도.
제14b도는, 제14a도의 일점쇄선 XIVB 로 둘러싸인 연자성코어의 구성르 나타낸 확대도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 70 : 자기헤드 유니트 2, 86 : 자기임피던스 헤드(MI헤드)
3, 73 : 헤드슬라이더 4 : 헤드 서스펜션
4a : 유전체(실리콘) 기판 4b : 신호라인
4c, 4c'. 접지판 5 : 고주파 발신기
6 : 액츄에이터 6a : 회전아암
7 : 자기디스크 7a : 디스크기판
7b : 금속자성층 8a, 8b : 리드선
9a, 9b : 단자 10a, 10b, 11a, 11b : 전극
13 : 복조기 13a, 13c : 콘덴서
13b : 다이오드 14 : 출력단자
15 : 레지스트층 15a : 양쪽부분
15b : 중앙부분 16 : 오목부
17 : 동 박막 22, 24 : 헤드 서스펜션
22a : 유전체 기판 22b : 제 1 의 신호라인
22c : 제 2 의 신호라인 23 : 동축케이블
24b : 유전체층 24c : 신호라인
24d : 접어구부림부 25 : 헤드 서스펜션
25a : 금속박판 25b : 유전체층
25c, 25d : 신호라인 25e : 접지라인
25f : 볼록부 25g : 접어구부림부
71 : 복합평 자기헤드 73 : 헤드 서스펜션
73a : 비스구멍 73b : 꺽어접음부
74 : 금속꼬임선 75 : 유도형 자기헤드
76 : MR헤드 77 : 자기기록매체
77a : 기판 77b : 자성층
77c : 트랙 78, 79 : 자성요크
80 : 권선 81, 83 : 자기 갭
82 : 페라이트 기판 84 : MR 소자
84a : MR막 84c : 리드박막
85 : 신호자화 86a : 리드박막
86b, 86c : 연자성코어 86d : 파마로이막
86e : SiO2막 87 : 고주파 발신기
88 : 저항 89a, 89b : 리드선
90a, 90b : 단자
[발명의 목적]
[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]
본 발명은 자기 임피던스소자를 구비하며, 자기기록매체에 기록된 정보를 재생하는 자기헤드 유니트, 그의 제조방법 및 그를 이용한 가기기록재생장치에 관한 것이다.
하드디스크장치 등의 자기기록재생장치에서는, 자기헤드로서, 페라이트 헤드, MIG(metal in gap)헤드, 박막헤드 등의 유도형 자기헤드가 이용되어왔다. 그러나, 이들 유도형 자기헤드는, 자기기록매체와의 상대속도를 작게 한 경우, 재생신호의 출력이 작게 되고, 재생감도가 저하한다는 문제가 있었다.
이러한 문제점을 개선하기 위하여, 유도형 자기헤드와 자기저항효과소자를 이용한 MR (magneto-resistive) 헤드로 구성된 종래의 복합형 자기헤드가 개발,실용화되고 있다. 이 종래의 복합형 자기헤드는, 예를 들면 일본응용자기학회,기술보고, 1991년, VOL 15, No.2, p141-144 에 개시된 바와 같이, MR 헤드가 자기테이프 등의 자기기록매체로부터 정보의 재생을 행하고, 유도형 자기혜트가 자기기록매체에 정보를 기록한다.
상기 복합형 자기헤드를 이용한 종래의 자기헤드유니트에 대하여, 제12a, 12b, 13a, 및 13b도를 참조하여 구체적으로 설명한다.
제12a 도는, 종래의 자기헤드 유니트의 구성을 나타낸 사시도이며, 제12b도는 제12a도의 일점쇄선 xiiB 으로 단면을 취한 종래의 헤드 서스펜션의 단면을 나타낸 단면도이다. 제13a도는, 종래의 복합형 자기헤드의 주요부의 구성을 나타내는 단면도이며, 제13b도는, 제13a도에 나타낸 MR 헤드의 개략구성을 나타내는 확대사시도이다.
제12a 및 제12b 도에 있어서, 종래의 자기헤드 유니트(70)는, 복합형 자기헤드(71)를 장착한 혜드 슬라이더(72), 상기 헤드슬라이더(72)를 지지하는 헤드 서스펜션(73)을 구비하고 있다. 복합형 자기헤드(71)는, 금속꼬임선(74)에 의하여 재생회로 등의 전기회로(도시않됨)에 접속되어 있다. 헤드 슬라이더(72)는, 복합형 자기헤드(71)가 헤드 서스펜션(73)의 앞끝단부분에 배치되도록, 도시하지 않은 헤드 김벌(head gimbal)을 통하여 헤드 서스펜션(73)의 한 끝단부분에 부착되어 있다. 이 헤드 서스펜션(73)은, 스텐레스 등의 금속에 의하여 형성된 것이며, 그 다른 끝단부분에는 그 헤드 서스펜션(73)을 회전아암(도시않됨)에 부착하기 위한 비스구멍(73a)이 형성되어 있다. 또한, 헤드 서스펜션(73)에는, 금속꼬임선(74)을 배치하기 위하여, 꺾어접음부(73b)가 형성되어 있다.
제13a 및 13b도에 나타낸 바와 같이, 종래의 복합형 자기헤드(71)는, 정보를 기록하는 유도형 자기헤드(75)와, 정보를 재생하는 MR헤드(76)를 구비바고 있다. 복합형 자기혜드(71)는, 후술하는 제1, 제2의 자기갭(81),(83)이 자기테이프 등의 자기기록매체(77)의 기판(77a)상에 형성된 자성층(77b)과 대향하도록, 자기기록매체(77)상에 배치된다.
유도형 자기헤드(75)는, 제1 및 제2의 자성요크(78),(79), 제1의 자성요크(78)에 감긴 권선(80), 및 제1자성요크(78)와 제2자성요크(79)와의 사이에 형성된 기록용의 제1자기갭(81)을 구비하코 있다.
MR 헤드(76)는, 페라이트기판(82), 제2의 자성요크(79)와 페라이트기판(82)와의 사이에 형성된 재생용의 제2의 자기갭(83), 및 제2의 자기갭(83)에 형성된 MR 소자(84)를 구비한다. MR소자(84)는, MR막(84a), 및 MR막(84a)의 양끝단에 접속된 한쌍의 리드박막(84c)을 구비하고 있다. MR막(84a)은, 파마로이막등에 의하여 구성되어 있다. MR막(84a)은, 대향하는 자성층(77b)에 형성된 신호자화(85)의 자속에 따라서, 그 전기저항이 변화한다. 정보를 제생할 때, MR막(84a)에는 리드박막(84c)으로부터 소정의 전류가 통전된다. 경자성막(84b)은, MR막(84a)내의 자성구역을 단자구(單磁區)구조로 한다.
이 종래의 복합형 자기헤드(71)의 동작에 대하여 설명한다.
자기기록매체(77)에 정보를 기록하는 경우, 상기 정보에 대응한 신호전류가권선(80)에 공급되고, 이럿에 의하여, 신호자계가 제1의 자기갭(81)으로부터발생, 누설한다. 그 결과, 제1의 자기갭(81)과 대향하고 있는 자기기록매체(77)의 자성층(77b)에는, 신호자화(85)가 형성되고, 정보가 자기기록매체(77)에 기록된다.
자기기록매체(77)로부터 정보를 재생하는 경우, MR막(84a)의 전기저항은, 제2 의 자기갭(83)으로부터 유입한 상기 신호자화(85)로부터 발생한 자복에 대응하여, 변화한다. 이 것에 의하여, 리드박막(84c)에 통전된 전류가 변화한다.이 전류의 변화를 도시하지 않은 검출회로를 이용하여 검출함으로써, 정보에 대응한 재생신호를 형성하여 출력한다.
이와 같이, MR헤드(76)를 이용한 종래의 복합형 자기헤드(71)에서는, MR막(84a)에 유입하는 자속을 전자변환하여 재생신호로서 출력하므로, 자기기록매체(77)와의 상대속도에 관계없이, 고출력인 재생신호를 얻을 수 있다. 이 때문에, 상술한 유도형자기헤드에 비하여 약 3 내지 10배의 재생감도에 의하여 정보를 재생하는 것이 가능하다. 또한, 근래에는, 재생감도를 MR헤드(76)의 3 내지 10배로 향상할 수 있는 자이언트 MR소자의 개발이 진행되고 있다.
그러나, MR헤드(76)를 이용한 종래의 복합형 자기헤드(71)에서는, 종래의 유도형 자기헤드에 비하여, 헤드구조가 복잡한 것으로 된다고 하는 문제점이 있었다. 구체적으로는, 종래의 복합형 자기헤드(71)에는, MR소자(84)의 회전으로 재생용의 제2의 자기갭(83)이나 도시하지 않은 실드층을 형성할 필요가 있으며, 또한 MR막(84a)을 단자구화하기 위한 경자성막(84b)을 배치가는 등의 구성이 요구되었다 또한, 선형적인 특성으로 재생을 행하기 위하여, 바이어스자계를 인가하는 바이어스층(도시않됨) 및 당해 바이어스층에 직류전류를 공급하는전원(도시않됨) 등을 형성할 필요가 있었다.
또한, 이러한 종래의 복합형 자기헤드(71)의 제조방법에서는, 양호한 자기특성(재생감도)를 얻기 위하여, MR소자(84)의 둘레에 형성된 제2의 자성요크(79) 및 페라이트기판(82) 등에 가열처리를 행할 필요가 있었다.
상술한 문제점을 해소하도록 한 종래의 재생헤드로서, 자기임피던스의 변화를 검출하는 자기임피던스소자를 이용한 자기임피던스헤드(이하 "MI헤드"라 함)가 알려져 있다. 이 종래의 MI 헤드는, 전자정보통신학회, 기술보고, MR95-85 등에 제안된 것이 있다.
종래의 MI 헤드에 대하여, 제14a도 및 제14b도를 참조하여 설명한다.
제14a도는, 자기임피던스 소자를 이용한 종래의 재생헤드의 개략구성을 나타낸 설명도이며, 제14b도는, 제14a도의 일점쇄선 XIVB 로 둘러싼 연자성코어의 구성을 나타낸 확대도이다.
제14a 및 14b도에 있어서, 종래의 MI 헤드(86)는, 동 등의 도전성금속박막으로 이루어지는 리드박막(86a), 및 상호간에 자기적으로 결합되며, 상기 리드박막(86a)을 사이에 끼운 제1, 제2의 연자성코어(86b), (86c)를 구비하고있다. 리드박막(86a)의 한끝단에는 고주파 발신기(87)의 한끝단이 접속되며,다른 끝단에는 저항(88)을 통하여 고주파발신기(87)의 다른 끝단이 접속되어 있다. 이 고주파 발신기(87)은, 교류의 정전류인 UHF『 대역의 고주솨신호(캐리어신호)를 발생하여 리드박막(86a)으로 공급한다. 또한, 리드박막(86a)의 한끝단, 및 다른 끝단에는, 리드선(89a),(89b)에 의하여, 자기임피던스의 변화를 검출하기 위한 단자(90a),(90b)가 각각 접속되어 있다. 이 자기임피던스의 변화는 양단자 (90a),(90b)사이의 전압의 변화를 검출함으로써, 검출된다. 또한,단자(90a),(90b)는, 재생신호검출회로(도시않됨)에 접속되고, 상기 전압의 변화에 기초하여 재생신호가 형성된다. 또한, 고주파 발신기(87)로부터의 고주파신호에는, 예를 들면 직류의 미소한 바이어스전류가 중첩되고, 제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c)의 각 자화를 일정한 방향으로 바이어스하고 있다. 이것에 의하여, 양단자(90a),(90b)의 사이에서 검출되는 전압은, 자기기록매체(77)에 기록퇸 신호자화(85)의 극성에 따라서 변화한다.
제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c)는, 자화율이 큰 자성체로 구성된 자기코어이다. 구체적으로는, 제1, 제2의 연자성 코어(86b),(86c)는, 파마로이막(866)와 SiO2막(86e)을 교호로 적충한 적층막으로 형성되어 있다. 제1, 제2의 연자성 코어(86b),(86c)의 자기기록매체(77)에 대항하는 면의 규격(제14a도의 "P"로 도시)은, 자기기록매체(77)의 트랙(77c)의 폭과 같게 되도록 구성되어 있다. 제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c)내의 자화용이축은, 트랙(77c)의 폭방향과 평행한 방향으로 배향되어 있다. 제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c)는, 도시하지 아니한 절연막에 의하여 리드박막(86a)과 전기적으로 절연되어 있다.
다음에, MI 헤드(86)의 재생동작에 대하여 설명한다.
MI 헤드(86)가 자기기록매체(77)상을 주사하면, 제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c)에는 자기기록매체(77)의 신호자화(85)의 자속이 통한다. 이 때문에, 제1, 제2의 연자성코어(86b),(86c) 내의 각 자화가, 신호자화(85)의 자속에 의하여 배향방향으로부터 기울어져, MI 헤드(86)의 임피던스가 저하한다.
이 때, 리드박막(86a)에는, 고주파 발신기(87)로부터 교류의 정전류가 공급되고 있으므로, 단자(90a),(90b) 사이에는, MI 헤드(86)의 임피던스에 비례한 뻔압의 강하가 발생한다. 이 때문에, MI 헤드(86)가 극성이나 크기가 다른 신호자화(85)상을 상대적으로 주사한 때, 단자(90a),(90b) 사이의 전압의 변화는,고주파 발신기(87)로부터의 고주파 전류를 캐리어로 하는 진폭변조파(이하, AM파 라함)로 된다. 이 AM파는, 재생신호검출회로에 있어서 재생신호로서 복조된다. 또한, 자기기록매체(77)에 정보가 기록되지 않고, 신호자화(85)의 자속이 존재하지 않는 경우, 단자(90a),(90b) 의 사이에는, 고주파발신기(87)로부터의 고주파신호의 정전류와 해당 단자(90a),(90b) 사이의 임피던스와의 곱에 상당하는 전압이 발생한다.
이와 같이, MI 헤드(86)는, 재생용의 자기갭, 및 실드층을 형성하지 않고, 신호자화(85)의 자속을 직접 이용한 자속응답형의 재생헤드를 구성하고 있다. 또한, MI헤드(86)의 검출용의 단자(90a),(90b) 이후에는, AM파를 복조함으로써 재생신호를 형성하고 있다. MI헤드(86)는, 재생신호의 출력이 커서, 예를 들면 자이언트 MR소자를 이용한 재생헤드에 비하여 약 10배의 출력을 얻는 것이 가능한 것을 예상하고 있다.
그렇지만, MI 헤드(86)는, 고주파 발신기(87)에 의하여 발생한 고주파신호를 이용하고 있으므로, 고주파신호에 의한 전자파의 복사를 발생하거나, 외부로부터의 노이즈를 받기 쉽다고 하는 문제점이 있었다. 또한, MI 헤드(86)를 제12a도에 나타내는 종래의 헤드서스펜션(73)에 배치한 경우, 헤드서스펜션(73)등이 안테나로서 기능하여 상기 전자파의 복사 및 외부로부터의 노이즈에 의하여, 충분한 SN비(신호대 잡음비)를 얻는 것이 불가능하였다. 또한, MI헤드(86)에 공급되는 고주파신호(전류신호)를 반송하는 반송로, 및 MI헤드(86)로부터 출력되는 고주파신호(전압시호)를 반송하는 반송로등은, 분포정수회로를 구성하며, 전송로 도중에서의 반사파에 의한 손실이 생기지 않도록 임피던스 정합을 행하고 있었다.
또한, 동축케이블을 상술한 전송고에 이용함으로써, 전자파의 복사를 억제하는 것은 가능하다. 그러나, 현존하는 동축케이블로는 그 직경이 크고, 이 때문에 종래의 헤드서스펜션(73)에 설치하는 것은 곤란한 것이었다. 또한, 동축케이블은, 제 12A 도에 나타낸 금속꼬임선(74)에 비하여, 강성이 높고, 무거운 것이다. 이 때문에, 헤드서스펜션의 고속에서의 탐색동칵을 방해할 우려가 있다. 또한, 그 중량 때문에, 헤드서스펜션에 가해지는 하중을 크게하므로, 동작시에 있어서의 자기헤드와 자기기록매체의 표면과의 거리, 즉 자기헤드의 부상량의 조정을 어렵게 하는 우려가 있었다. 또한, 헤드서스펜션(73)에 설치하기 때문에, 동축케이블의 직경을 작게 한 경우, 전송되는 신호의 손실이 크게 되거나, 또는 비용도 상숭한다는 문제점을 발생하였다.
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결할 수 있는 자기헤드 유니트를 제공하는 것이다.
[발명의 구성 및 작용]
이러한 문제점을 해결하기 위한, 본 발명의 자기헤드 유니트는, 자기기록매체의 신호자화의 자속에 의파여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자와, 상기 자성체 박막소자를 적어도 구비하는 자기헤드 슬라이더와, 상기 자성체 박막소자에 소정의 고주파 신호를 옹급하는 고주파 발신기 및 상기 고주파신호의 4분웨 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 상기 자성체 박막소자에 의하여 검출한 자기임피던스를 나타내는 고주파 신호를 전송하는 신호라인을 가지며, 상기 자기헤드 슬라이더 및 고주파 발신기를 지지하는 헤드 서스펜션을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 자기헤드 유니트는, 자성체 박막소자를 장착한 자기헤드 슬라이더를 지지하는 헤드서스펜션과, 자성체 박막소자로부터 출력되는 고주파 신호를 전송하는 마이크로 스프립 라인을 겸용의 구성으로 하였다. 이 때문에, 상기 고주파 신호에 의한 전자파의 복사를 억제하는 것이 가능하다. 그 결과, 재생신호와 잡음의 신호비(SNR)을 향상하는 것이 가능하며, 재생감도를 용이하게 향상할 수 있다.
[실시예]
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
[제1의 실시형태]
제1도는, 본 발명의 제1의 실시형태인 자기혜드 유니트를 구비한 자기기록 재생장치의 구성을 나타내는 사시도이다. 제2a도는, 제1도에 나타낸 자기헤드 유니트의 구성을 나타내는 사시도이다. 제2b도는, 자기 임피던스 헤드의 개략구성을 나타내는 확대사시도이며, 제2c도는, 제2a도의 일점쇄선IIC 으로 단면을 취한 헤드서스펜션의 구성을 나타내는 확대단면도이다. 또한,이하의 설명에서는, 자기기록매체로 자기디스크를 구비한 하드디스크장치에 대하여 설명한다. 또한, 정보를 자기디스크에 기록하는 유도형 자기헤드 등의 공지의 구성에 대하여는 설명을 생략한다.
제1도 내지 제2c도에 있어서, 자기헤드 유니트(1)는, 자기임피던스소자를구비한 자기임피던스 헤드(2: 이하 "MI" 헤드라 함)를 장착한 헤드 슬라이더
(3), 헤드 슬라이더(3)를 지지하고, MI 헤드(2)로부터 출력되는 고주파 신호를 전송하는 마이크로 스트립라인을 겸용한 헤드 서스펜션(4), 및 헤드서스펜션(4)에 지지되고, 상기 MI헤드(2)에 소정의 고주파신호를 출력하는 고주파 발신기(5)를 구비하고 있다. 이 자기헤드 유니트(1)는, 엑츄에이터(6)의 회전아암(6a)에 접속되고, 회전가능하게 지지되어 있다. 또한 자기헤드 유니트(1)는, MI 헤드(2)가 자기 디스크(7)의 디스크기판(7a)상에 설치된 금속자성층(7b)에 대향하도로고 배치된다. 디스크기판(7a)은 알루미늄, 카본 등에 의하여 형성되고, 금속자성층(7b)은 코발트-크롬-탄탈 등에 의하여 형성되어 있다. 이 자기 디스크(7)에는, 디스크기판(7a), 및 금속자성층(7b)의 한쪽이 디스크 장치의 그라운드에 접지되어 있다.
MI 헤드(2)는, 금속자성층(7b)에 기록된 신호자화의 자속에 의하여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자이다. MI 헤드(2)는, 검출한 자기임피던스의 변화에 기초하여, 고주파 발신기(5)로부터의 고주파신호(전류신호)를 전폭변조하고, 변조한 고주파신호(전압신호)를 헤드 서스펜션(4)을 거쳐서 후술하는 복조기로 출력한다. 구체적으로는, MI헤드(2)는 리드박막(2a), alc 상호간에 자기적으로 결합되고, 상기 리드박막(2a)을 사이에 둔 제1, 제2의 연자성코어(2b), (2c)를 구비하고 있다. MI헤드(2)는, 사각형상의 제2의 연자성코어(2b)의 한면이 헤드 슬라이더(3)의 한쪽의 면과 일치하도록 당해 헤드슬라이더(3)에 부착되어 있다.
리드박막(2a)은, 약 l㎛ 의 두께를 가지는 동(銅)등의 도전성 금속박막에 의하여 형성되어 있다. 제1, 제2의 연자성코어(2b), (2c)는, 자화율이 큰 자성체에 의하여 구성된 자기코어로서, 예를 들면 파마로이 박막과 SiO2막을 교호로 적층한 적층막에 의하여 구성되어 있다. 리드박막(2a)과 제1, 제2의 연자성코어(2b),(2c)는, 도시하지 아니한 전연막에 의하여 전기적으로 절연되어있다. 리드박막(2a)의 양끝단에는 고주파 발신키(5)가 접속되고 (도시않됨),고주파발신기(5)로부터의 교류의 정전류인 고주파신호(캐리어신호)가 공급된다.또한, 고주파신호의 주파수는, 예를 들면 300MHz 내지 2GHz 이다.
또한, 리드박막(2a)의 한끝단 및 다른 끝단은, 리드선(8a),(8b)에 의하여, 마이크로 스트립라인의 신호라인(4b) 및 접지판(4c)에 각각 접속되어 있다. 마이크로 스트립라인의 신호라인(4b), 및 접지판(4c)에는, 자기임피던스의 변화를 검출하기 위한 단자(9a),(9b)가 각각 접속되어 있다. 이 자기 임피던스의 변화는, 양단자(9a),(9b)의 사이의 전압의 변화를 검출하는 것에 의하여, 검출된다.또한, 고주파발신기(5)로부터의 고주파신호에는, 예를 들면 직류의 미소한 바이어스전류가 중첩되고, 제 1, 제 2 의 연자성코어(2b),(2c)의 각 자화를 일정한 방향으로 바이어스하고 있다. 이것에 의하여, 양단자(9a),(9b)의 사이에서 검출되는 전압은, 자기디스크(7)에 기록된 신호자화의 극성에 대응하여 변화한다.
헤드서스펜션(4)은, 가늘고 긴 사각형상(띠형상)으로 형성되고, MI 헤드(2)로부터 출력되는 고주파신호를 전송하는 마이크로스트립라인과 겸용하여 구성되어있다. 구체적으로는, 헤드 서스펜션(4)은, 비유도율이 높은 실리콘, 알루미나등의 유전체 기판(4a)과, 동 등의 도전성이 양호한 금속박막에 의하여 헤드서스펜션(4)의 길이방향으로 그 아래면의 폭이 중앙부에 형성된 신호라인(4b) 및,급 접지판(4c)는, 상호간에 대향하여 유전체 기판(4a)상에 형성되어 있다. 또한, 신호라인(4b)는, 포토리소그래피에 의아여 유전체기판(4a)상에 구성된다. 헤드서스펜션(4)의 접지판(4c)은, 제1도에 나타낸 바와 같이, 하드디스크장치의 그라운드에 접지되어 있다. 또한, 헤드 서스펜션(4)에서는, 단자(9a)에서의 출력을 최대로 하기 위하여, 신호라인(4b)은 4분의 1 파장의 정합선로로 구성되어 있다. 즉, 제2a의 "H" 에서 나타내는 신호라인(4b)의 길이는, 고주파 발신기(5)로부터의 고주파의 4분의 1 파장의 길이과 같도록 구성되어 있다. 이 4분의 1 파장의 길이는, 주지와 같이, 유도체기판(4a)를 구성하는 재질의 유전율의 평방근으로 역비례하는 것이다 구체적으로는, 상기 고주파신호의 주파수가 1 GHZ이고, 유전체기판(4a)이, Si, SiO2, 및 알루미나의 어느것에 의하여 구성될 때, 신호라인(4b)의 길이는, 각각 2.1, 3.8 및 2.4 cm 이다. 마이크로 스트립라인은 리드박막(2a), 리드선(8a),(8b) 등을 포함하여 구성되므로, 엄밀하게는 신호라인(4b)의 길이는, 상기의 4분이 1 파장의 길이보다 짧은 것이다. 헤드 슬라이더(3), 및 고주파발신기(5)는, 신호라인(4b)이 형성된 헤드 서스펜션(4)의 면상에 고정되어 있다.
이와 같이, 본 실시형태의 자기헤드 유니트(1)에서는, MI헤드(2)를 지지하는 헤드처스펜션(4)과, MI헤드(2)로부터 출력되는 고주파신호를 전송하는 마이크로스트립라인을 겸용의 구성으로 하였다. 또한, 헤드서스펜션(4)의 윗면에는 접지되는 부재(4c)를 형성하였다. 이 때문에, 상기 고주파신호에 의한 전자파의 복사, 및 외부로부터의 노이즈를 억제하는 것이 가능하다. 그 결과, 재생신호와 잡음의 신호비(SNR)를 향상하는 것이 가능하고, 재생감도를 용이하게 향상하는 것이 가능하다.
또한, 접지판(4c), 및 자기디스크(7)의 디스크기판(7a), 또한 금속자성층(7b)은, 상술한 바와 같이, 하드디스크장치의 그라운드에 접지되어 있다. 이 때문에, MI헤드(2), 및 신호라인(4b)은, 접지판(4c)과 접지된 자기디스크(7)와의 사시에 배치되는 것으로 되고, MI헤드(2), 및 신호라인(4b)으로부터 방사되는 전자파가 실드된다.
또한, 발명자 등의 실험결과에 의하면, MI혜드(2)로부터의 전자파의 복사를방지하기 위하여는, MI헤드(2)가, 마이크로 스트립라인의 접지판(4c)을 자기디스크(7)의 표면상에 투영한 면보다 안쪽으로 설치됨으로써, 높은 실드효과를 얻는 것이 가능하였다.
다음에, 제3도를 참조하여, 자기헤드 유니트(1)의 구체적인 구성, 및 그 동작에 대하여 설명한다.
제3도는, 제1도에 나타낸 자기헤드 유니트의 등가회로를 나타내는 블록도이다.
제3도에 나타낸 바와 같이, MI헤드(2)의 리드박막(2a)의 양끝단에는, 한쌍의 전극(10a),(10b) 및 한쌍의 전극(11a),(11b)이 설치되어 있다. 이들 전극(10a),(10b), 및 (11a),(11b)은, 동 등의 금속에 의하여 구성되고, 헤드슬라이더(3)(제2도)에 매설되어 있다. 고주파발신기(5)의 한끝단은, 저항(12), 및 전극(l1a)을 통하여 리드박막(2a)의 한끝단에 접속되고, 고주파발신기(5)의 다른 끝단은 접지되어 있다. 마이크로스트립라인인 서스펜션(4)의 신호라인(4b)의 한끝단에는, 리드선(8a)의 다른 끝단이 접속되고, 다른 끝단에는 콘덴서(13a),(13c)와 다이오드(13b)로 이루어지는 복조기(13)에 접속되어 있다.
MI헤드(2)가 아기디스크(7)(제1도)상을 주사하면, 제1, 제2의 연자성코어(2b),(2c)에는 자기기록매체(7)의 신호변화(7c)의 자속이 통한다. 이 때문에, 제1, 제2의 연자성코어(2b),(2c)내의 각 자화가, 신호자화(7)의 자속량으로 정해지는 자계에 의하여 배향방향으로부터 기울어져, MI헤드(2)의 임피던스가 저하한다.
이 때, 리드박막(2a)에는, 고주파발신기(5)로부터 DC 의 미소한 바이어스전류를 중첩한 교류의 정전류가 공급되고 있으므로, 전극(10a),(10b) 사이에는, MI헤드(2)의 임피던스에 비례한 전력의 강하가 발생한다. 이 때문에, MI헤드(2)가 극성이나 크기가 다른 신호변화(7c)상을 상대적으로 주사한 때, 전극(10a),(10b) 사이의 전압의 변화는, 고주파발신기(5)로부터의 고주파신호전류를 캐리어하는 진폭변조파(이하, "AM파"라 한다)로 된다. 이 AM파는, 상술한 MI헤드(2)로부터의 자기임피던스를 나타내는 고주파신호(전압신호)로서, 복조기(13)에서 재생신호로서 복조되고, 출력단자(14)를 거쳐서 앰프회로 등의 전기회로로 출력된다. 또한, 자기디스크(7)에 정보가 기록되지 않고, 신호변화(7c)의 자속이 존재하지 않는 경우, 전극(10a),(10b)에는, 고주파신호기(5)로부터의 고주파신호의 정전류와 해당전극(10a),(10b) 사이의 임피던스의 곱에 상당하는 전압이 발생한다. 또한, AM파의 복조를 행하는 복조기(13)는, 상술한 콘덴서(13a),(13c)와 다이오드(13b)로 이루어지는 회로에 한정되는 것은 아니며, 복조된 재생신호가 출력단자(14)에서 최대로 되는 구성이라면 좋다.
다음에 제4a도 내지 제4f도를 참조하여, 마이크로스트립라인을 병용한 헤드서스펜션(4)의 제조방법에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 실리콘기판에 의하여 헤드서스펜션(4)의 유전체기판(4a)을 구성하는 경우에 대하여 설명한다.
제4a도는, 실리콘 기판상에 레지스트층을 형성한 후의 상태의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도이고, 제4b도는, 레지스트층의 일부를 노광한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도이다. 제4c도는, 오목부를 실리콘 기관에 형성한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을나타내는 확대단면도이고, 제4d도는, 레지스트층을 제거한 상태에서의 헤드서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도이다. 제4e도는, 실리콘기판상에 츰속박막을 형성한 후의 상태에서의 헤드 서스펜션의 단면을 나타내는 확대단면도이며, 제4f도는, 헤드서스펜션의 완성후의 단면을 나타내는 확대단면도이다.
제4a도에 있어서, 먼저 소정의 규격을 가지는 사각형상의 실리콘기판(4a)을실리콘웨이퍼(도시않됨)로부터 준비한다. 그 후, 해당 실리콘 기판(4a)의 일면상에 레지스트층(15)을 스핀코우트법에 의하여 형성하여 건조한다. 계속하여,제4b도에 있어서, 도시하지 않은 마스크를 레지스트충(15)의 중앙부분(15b)에 배치한 후, 레지스트층(15)의 양쪽의 부분(15a)을 노광한다. 다음에, 제4c도에 있어서, 노광하지 않은 레지스트층(15)의 중앙부분(15b)을 제거한 후, 실리콘기판(4a)을 케미컬에칭한다. 이것에 의하여, 실리콘기판(4a) 상에 오목부(16)를 형성한다. 계속하여, 제4e도에 있어서, 상기 오목부(16)를 형성한 실리콘기판(4a)의 면상에, 동의 박막(17)을 스퍼터링 증착법에 의하여 형성한다.그 후, 제4e도의 파선 IVF 에 따라서 실리콘기판(4b), 및 박막(17)을 연마한다. 이것에 의하여, 실리콘기판(4a)상에 신호라인(4b)이 형성된다. 계속하여, 제4f도에 있어서, 상술한 스퍼터링 증착법에 의하여, 박막(17)(신호라인 4b)을 형성한 면과 평행한 면상에 동의 박막을 형성함으로써 마이크로 스트립라인의 접지판(4c)을 구성한다. 또한, 제5a도에 나타낸 바와 같이, 동의 박막(17)을 도금법에 의하여, 실리콘기판(4a)의 외표면 전체에 걸쳐서 형성한 후,제5a도의 파선 VB 에 따라 실리콘기판(4a), 및 박막을 연마한다. 그리고, 제5b도에 나타낸 바와 같이, 접지판(4c)이 신호라인(4b)을 형성한 면과 평행한 면만이 아니고, 헤드 서스펜션(4)의 양측면에도 형성되는 구성으로 하여도 좋다. 이와 같이 구성함으로써, 전자파의 측면방향의 복사나 외부로부터의 노이즈에 대한 실드효과가 향상될 수 있다.
또한, 본 발명자의 실험에 의하면, 헤드 서스펜션(4)의 구조롤서, 단면의 형창을 제6a 내지 6c로 나타낸 바와 같이 구성함으로써, 각 헤드 서스펜션(4)이 우수한 실드효과를 가지는 것이 확인되었다. 특히, 제6b도에 나타낸 구조를 가지는 것은, 동축케이블과 마찬가지인 구조로 되고, 신호라인(4b)이 주위전체에 대하여 전자파의 복사를 완전하게 방지할 수 있었다.
상기 설명에서는, 케미컬에칭에 의하여 오똑부(16)를 실리콘기판(4a)상에 형성하였으나, 드라이 에칭법, 또는 기계가공에 의하여 오목부(16)를 형성하여도 좋다. 또한, 헤드 서스펜션(4)의 유전체 기판(4a)로서 실리콘 이외에 글래스나 카본, 알루미나를 얇게 연마하여 유전체 기판(4a)을 구성하여도 좋다. 또한, 마이크로 스트립라인의 신호라인(4b) 및 접지판(4c)에 동을 이용한 것이 유전성의 재료, 금, 은, 알루미늄등이어도 좋다.
[제2의 실시예]
제7a도는, 본 발명의 제2의 실시형태인 자기헤드 유너트의 구성을 나타내는 확대사시도이며, 제7b도는, 제7a도의 일점쇄선 7b로 단면을 취한 헤드서스펜션의 단면을 나타내는 블록도이다. 본 실시형태에서는, 자기헤드 유니트의 구성에 있어서, 고주파 발신기를 헤드 서스펜션에 고정부착함이 없이 배열설치하고, 고주파 발신기로부터 MI헤드로 고주파 신호를 공급하는 다른 신호라인을 헤드 서스펜션으로 형성하였다. 그것이외의 각 부분은, 제1의 실시형태의 것과 마찬가지이므로, 그로부터 중복한 설명은 생략한다.
제7a 내지 제8도에 나타낸 바와 같이, 헤드 서스펜션(22)은, 가늘고 긴 사각형상(띠형상)으로 형성되고, MI헤드(2)로부터 입출력되는 고주파신호를 전송하는 마이크로스트립라인과 병용하여 구성되어 있다. 또한, 헤드서스펜션(22)은, MI헤드(2)의 출력이 단자(9a)에서 최대로 되도록 4분의 1 파장의 정합선로를 구성하고 있다. 구체적으로는, 헤드 서스펜션(22)은, 비유전율이 높은 실리콘, 알루미늄등의 유전체치판(22a), 고주파발신기(5)로부터 MI헤드(22)로 고주파신호를 공급하기 위한 제 1 의 신호라인(22b), MI헤드(2)에 의하여 검출한 자기임피던스의 변화를 나타내는 고주파신호를 MI헤드(2)로부터 복조기(13)로 출력하기 위한 제 2 의 신호라인(22c), 및 하드디스크장치의 그라운드에 접지되는 접지판(22a)의 같은 면상에서 상호간에 평행으로 헤드서스펜션(22)의 길이방향으로 형성되고, 리드선(8a),(8c)에 의하여 리드박막(2a)에 각각 접속되어 있다. 접지판(22d)은, 제 1, 제 2 의 신호라인(22b),(22c)가 형성된 유전체기판(22a)의 면과 대향하는 면에 형성되어 있다.
고주파발신기(5)는, 헤드서스펜션(22)에 직접은 아니고, 회전아암(6a)등의 하드디스크장치의 다른 부분에 배열설치되어 있다. 고주파발신기(5)의 한끝단은, 저항(12), 동축케이블(23)을 통하여, 제 2 의 신호라인(22c)에 접속된 단자(9c)에 접속되어 있다. 또한, 고주파발신기(5)의 다른 끝단은 접지되어 있다. 이와 같이 접속함으로써, 제 1 의 실시형태의 것에 비하여, 헤드서스펜션(22)에 걸리는 하중을 작게하는 것이 가능하다. 그 결과, 헤드서스펜션(22)의 고속이동, 및 MI헤드(2)에 걸리는 하중의 경량화를 용이하게 행한다.
다음에, 본 실시형태의 자기헤드에 있어서, 우수한 실드효과를 가지는 헤드서스펜션(22)의 단면형상에서의 구성을 제9a 내지 9d도에 나타낸다. 이들 헤드서스펜션(22)의 구조는, 발명자등의 실험에 의하여 확인된 것이다. 또한,발명자등의 실험결과에 따르면, 제9b 내지 9d에 단면을 가지는 각 헤드서스펜션(22)은, 제9a도에 나타낸 것에 비하여, 전자파의 실드효과가 매우 우수하였다. 제9b도 내지 9d도에 나타낸 각 헤드서스펜션(22)에서는, 제1, 제2의 신호라인(22b),(22c) 사이의 실드를 고려할 필요가 있고, 접지라인(22e)을 형성할 필요가 있다. 접지라인(22e)을 형성하는 경우, 제9b 내지 9d 에 나타낸 바와 같이, 각 신호라인(22b),(22c)의 규격 " t" 로부터 접지라인(22e)의 규격 " h" 을 크게 형성한다. 이것에 의하여, 제 1, 제 2 의 신호라인(22b),(22c)의 사이의 실드효과를 현저하게 개선하는 것이 실험적으로 확인되었다. 또한, 상기 ' t" 및 " h" 의 구체예는, 각각 1㎛ 및 5㎛ 이다.
[제3의 실시형태]
제10a도는, 본 발명의 제3의 실시형태인 자기헤드 유니트의 헤드서스펜션의 구성을 나타내는 확대사시도이며, 제11b도는, 제10a도에 나타낸 헤드서스펜션의 변형예를 나타낸 확대단면도이다. 이 실시형태에서는, 자기헤드 유니트의 구성에 있어서, 금속박판상에 유전체층을 형성하고, 또한 유전체층상에 신호라인을 형성함으로써, 헤드 서스펜션을 구성하였다. 그것이외의 각부는,제1의 실시형태의 것과 마찬가지이므로, 그들의 중복된 설명은 생략한다.
제10a도에 있어서, 헤드서스펜션(24)은, 스텐레스등의 금속박판(24a), 금속박판(24a)에 형성된 유전체층(24b), 및 유전체충(24b)상에 형성된 신호라인(24c)에 의하여 구성되어 있다. 유전체층(24b)은, 폴리이미드필름등에 의하여 구성되어 있다. 신호라인(24c)은, 제 1 의 실시형태의 신호라인(4b)과 마찬가지로, 동 등에 의하여 구성되어 있다 유전체층(24b), 및 신호라인(24c)은.헤드서스펜션(24)의 길이방향으로 형성되어 있다
이 헤드서스펜션(24)의 제조방법은, 예를 들면 유전체층(24b)상에 동의 박막층을 스퍼터링방법에 의하여 신호라인(24c)을 형성한다. 그 후, 유전체층(24b)은 금속박판(24a)에 유기접착재에 의하여 접착된다. 본 실시형태의 헤드서스펜션(24)에서는, 금속박판(24a)이 하드디스크장치의 그라운드등에 접지되고, 마이크로 스트립라인이 접지판으로서 기능한다. 뽀한, 폴리이미드 필름의대신에 스핀코트 또는 스퍼터링증착법에 의하여 유기재료의 유전체층을 형성하고 그 위에 신호라인(24c)을 형성하여도 좋다. 또한, 실드효과를 향상시키기위하여, 제10b도에 나타낸 바와 같이, 접어구부림부(24d)를 금속박판(24a')의 양단뿐에 형성하여도 좋다. 접어구부림구(24d)는, 금속박판(24a')의 양단부분을 신호라인(24c)이 형성되어 있는 방향으로 접어구부리는 것에 의하여 형성 된다.
[제 4 의 실시형태]
제11a도는, 본 발명의 제4의 실시형태인 자기헤드 유니트의 헤드서스펜션의 구성을 나타내는 확대사시도이며, 제11b도는, 제11b도에 나타낸 헤드서스펜션의 변형예를 나타낸 확대단면도이다. 이 실시형태에서는, 자기헤드 유니트의 구성에 있어서, 고주파발신기를 헤드서스펜션에 고정착설하지 않고 배열설치하며, 고주파발신기로부터 MI헤드에 고주파신호를 공급하는 다른 신호라인을 헤드서스펜션에 형성하였다. 그것이외의 각 부는, 제3의 실시형태의것과 마찬가지이므로, 그들의 중복된 설명은 생략한다.
제11a도에 있어서, 헤드서스펜션(25)은, 스테인레스등의 금속박판(25a),금속박판(25a)상에 형성된 유전체층(25b), 유전체층(25b)상에 형성된 제3, 제4의 신호라인(25c),(256) 및 제3, 제4의 신호라인 (25c),(25d)의 사이에 형성된 접지라인(25e)에 의하여 구성되어 있다. 유전체층(25b)은, 폴리이미드필름등에 의하여 구성되어 있다. 제3의 신호라인(25c)은, 제2의 실시형태의 제1의 신호라인(22b)과 차찬가지로, 동 등에 의하여 구성되며, 고주파발신기(5)로부터 MI헤드(2)로 고주파신호를 공급한다. 제4의 신호라인(25d)은, 제2의 실시형태의 제 2 의 신호라인(22c)과 마찬가지로, 동 등에 의하여 구성되며, MI헤드 (2)에 의하여 검출한 자기임피던스의 변화를 나타내는 고주파의 전압신호를 Ml헤드(2)로부터 복조기(13)로 출력한다. 금속박판(25a)과 접지라인(25e)은, 제3, 제4의 신호라인(25c), (25d)의 사이를 실드한다. 유전체층(25b), 제3, 제4의 신호라인(25c),(256), 및 접지라인(25e)은, 헤드서스펜션(25)의 길이방향으로 형성되어 있다.
또한, 실드효과를 향상하기 위하여, 제11b도에 나타낸 바와 같이, 접어구부림부(25g)를 금속박판(25a')의 양끝단부분에 형성하여도 좋다. 접어구부림부(25g)는, 금속박판(25a')의 양끝단부를 신호라인(25c),(25d)치 형성되어 있는 방향으로 접어구부림으로써 형성된다. 또한, 접지라인(25e)의 대신에, 금속박판(25a')을 중앙에서 프레스함으로써, 신호라인(25c),(25d)측으로 돌출한 볼록부(25f)를 형성하여도 좋다.
또한, 이상의 실시의 형태에서는 유전체층으로서 유기재료의 폴리이미드필름을 이용하여 설명하였으나, 알루미나, SiO2,글래스등의 무기재료에 의하여 유전체층을 형성하여도 좋다.

Claims (16)

  1. 자기기록매체(7)의 신호자화의 자속에 의하여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자(2)와, 상기 자성체 박막소자를 적어도 구비하는 자기헤드 슬라이더(3)와, 상기 자성체 박막소자로 소정의 고주파신호를 공급하는 고주파 발신기(5), 및 상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 상기자성체 박막소자에 의하여 검출한 자기임피던스를 나타내는 고주파 신호를 전송하는 신호라인(4b,24c)을 가지며, 상기 자기헤드 슬라이더 및 고주파발신기를 지지하는 헤드서스펜션(4,24)을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  2. 자기기록매체(7)의 신호자화의 자속에 의하여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자(2)와, 상기 자성체 박막소자를 적어도 구비하는 자기헤드 슬라이더(3)와, 상기 자성체 박막소자로 소정의 고주파신호를 공급하는 고주파 발신기(5),및 상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 고주파발신기로부터 자성체 박막소자로 공급되는 고주파신호를 전송하는 제1의 신호라인(22b,25b)과:상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 상기 자성체 박막소자에 의하여 검출한 자기임피던스를 나타내는 고주파신호를 전송하는 제2의 신호라인(22c,25c)을 가지고, 상기 자기헤드 슬라이더를 지지하는 헤드서스펜션(22,25)을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 자성체 박막소자(2)가, 도전성의 박막(2a), 및 상호간에 자기적으로 결합되고, 상기 박막을 사이에 둔 제1, 제2의 연자성코어(2b),(2c)를 구비한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  4. 제1항에 있어서, 상기 헤드 서스펜션(4)이, 사각형상의 유전체기판(4a), 상기 유전체기판의 한면에 형성되고, 접지되는 접지판(4c), 및 상기 접지판파 대향하여 유전체기판에 형성된 신호라인(4b)에 의하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기 헤드 유니 트.
  5. 제2항에 있어서, 상기 헤드 서스펜션(22)이, 사각형상의 유전체기판(22a),상기 유전체기판의 한면에 형성되고, 접지되는 접지판(226), 및 상기 접지판과 대향하여 유전에기판에 형성된 제1, 제2의 신호라인(22b,22c)에 의하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 유전체 기판이, 실리콘기판에 의하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  7. 사각형상의 유전체 기판의 적어도 하나의 표면상에 유전성의 박막에 의하여 접지판을 형성하고, 상기 유전체 기판의 다른 면상에 상기 접지판과 대향하여 도정성의 박막으로 이루어지는 적어도 한 개의 신호라인을 형성함으로써 헤드 서스펜션을 형성한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 유전체 기판의 내부에 상기 신호라인을 형성한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 헤드 서스펜션(24)이, 접지되는 금속박판(24a), 상기 금속박판상에 형성된 유전체충(24b), 및 상기 유전체충상에 형성된 신호라인(24c)에 의하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  10. 제9항에 있어서, 상기 금속박판의 양끝단 부분을 신호라인을 형성한 방향으로 접어구부린 접어구부림부(246)를 상기 금속박판에 형성한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  11. 스퍼터링증착법에 의하여, 유기재료로 이루어지는 유전체층상에 도전성의 금속박막을 형성하고, 상기 유전체층을 금속박판으로 접착함으로써 궤드 서스펜션을 형성한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트의 제조방법.
  12. 제2항에 있어서, 상기 헤드서스펜션(25)이, 접지되는 금속박판(25a), 상기금속박판상에 형성된 유전체층(25b), 및 상기 유전체층상에 형성된 제1, 제2의 신호라인(25c), (256)을 구비한 것을 특징으로 하는 자기헤드 유니트.
  13. 제12항에 있어서, 상기 금속박판의 양끝단부분을 신호라인을 형성한 방향으로 접어구부린 접어구부림부(25g)를 상기 금속박판에 형성한 것을 특징으로하는 자기헤드 유니트.
  14. 자기기록매체(7)의 신호자화의 자속에 의하여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자(2)와, 상기 자성체 박막소자를 적어도 구비하는 자기헤드 슬라이더(3)와, 상기 자성체 박막소자로 소정의 고주파신호를 공급하는 고주파 발신기(5),및 상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 상기자성체 박막소자에 의하여 검출한 자기임피던스를 나타내는 고주사 신호를 전송하는 신호라인(4b,24c)과, 신호라인에 대향하여 형성된 접지판(4c),(24a)을 가지며, 상기 자기헤드 슬라이더 및 고주파발신기를 지지하는 헤드서스펜션(4,24)을 가지는 자기헤드 유니트를 구비하고, 상기 접지판과 자기기록매체의 표면의 사이에 신호라인을 배열설치한 것을 특징으로 하는 자기기록재생장치.
  15. 자기기록매체(7)의 신호자화의 자속에 의하여 변화하는 자기임피던스를 검출하는 자성체 박막소자(2)와, 상기 자성체 박막소자를 적어도 구비하는 자기헤드 슬라이더(3)와, 상기 자성체 박막소자로 소정의 고주파신호를 공급하는 고주파 발신기(5) 및 상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 고주파발신기로부터 자성체 박막소자로 공급되는 고주파신호를 전송하는 제1의 신호라인(22b,25b)과, 상기 고주파신호의 4분의 1 파장의 정합선로를 실질적으로 구성하고, 상기 자성체 박막소자에 의하여 검출한 자기임피던스를 나타내는 고주파신호를 전송하는 제2의 신호라인(22c,25c) 및, 제1, 제2의 신호라인과 대향하여 형성된 접지판(226,25a)을 가지고, 상기 자기헤드 슬라이더를 지지하는 헤드서스펜션(22,25)을 가지는 자기헤드 유니트를 구비하고, 상기 접지판과 자기기록매체의 표면의 사이에 제1, 제2의 신호라인을 배열설치한 것을 특징으로 하는 자기기록재생장치.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 자성체 박막소자가, 상기 접지판을 자기디스크(7)의 표면상에 투영한 면으로부터 안쪽으로 배열설치되도록, 자기헤드 슬라이더에 장착한 것을 특징으로 하는 자기기록재생장치.
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