JPH01320615A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はビデオテープレコーダやデ、ｆジタルオーディ
オテープレコーダなどの薄膜磁気ヘッドに関するもので
ある。

従来の技術 従来の回転ヘッド型磁気記録再生装置においては、記録
した信号をただちに再生するために記録・再生ヘッドと
は別に再生専用ヘッドがシリンダ閂に必要であった。

たとえば、第７図に示すような回転−ラド型磁気記録再
生装置においては、４個の磁気ヘッドＢ、Ｌ、Ｒ’、Ｌ
’をヘッドシリンダ１０１に所定間隔に取り付けて、磁
気テープ１０２をシリンダ１０１に２７０度以上螺旋状
に巻き付けて走行せしめ、順次−・ラドを切換えて使用
し、第８図に示すような記録トラック６３　、ｅｙ４．
６６．６６を得るようになっている。磁気ヘッドＲとＲ
′９またＬとＬ′はそれぞれ、同一アジマス角度を有し
、Ｒとり。

またＲ′とＬ′はそれぞれ異なるアジマス角度に設定さ
れている。また、これら磁気ヘッドのトラック幅は、通
常、最終的な記録パターンのトラックピッチＰより２０
〜７０％広く設定し、先に記録された記録トラックと一
部重複して記録し、ガードパンドレス記録を実現してい
る。

このような回転ヘッド型磁気記録再生装置において、モ
ニター機能を付加しようとすると、第７図に示したよう
な、別の４個の磁気ヘッドβ、ｌ′。

ｒ、ｒ’を必要とした。第７図において、Ｌ、Ｌ’。

１．１’、又はＲ，Ｒ’、ｒ、ｒ’は同一アジマスであ
る。即ち、第８図において、磁気ヘッドして記録した記
録トラック６３上を後続する磁気ヘッドｌが走査し、以
下各々の磁気ヘッドが同様の関係で記録とモニター再生
のために順次切り換えられていた。

また、従来の磁気ヘッドは第９図に示すような構造を有
している。即ち単結晶フェライトを切り出し、研磨加工
されたコア７１．７２をボンディングガラス７６で接着
して、ギャップ７３を形成し、巻線＠７４にコイル７５
を巻装したバルク型磁気ヘッド了Ｑとして構成されてい
る。

発明が解決しようとする課題 上記したようなバルク型磁気ヘッドを使用してモニター
機能を実現しようとした場合、以下に述べるような問題
点があった。

（１）バルク型磁気ヘッドは機械加工を主な加工手段と
して作製されるため、トラック位置やトラック幅の加工
精度に限界がある。

（２）　　モニター用ヘッドを回転シリンダに取りつけ
、正確に記録トラック上を走査させるには、複雑な調整
作業が必要であり、多くの手間を費やすことになる。

（３）磁気記録再生装置の小型化及び多機能化が要望さ
れている現在、バルク型磁気ヘッドでこれらを実現しよ
うとすると、小径シリンダ内にさらに数多くの磁気ヘッ
ドを平面的に配置する必要があり、スペース的な限界が
あった。

本発明は上記問題点にかんがみ、加工が簡単で、回転シ
リンダへの取付調整もあまり手間を必要とせず、また磁
気ヘッドの数も増やすことなく小型化、多機能化の磁気
記録再生装置を実現することができる薄膜磁気ヘッドを
提供するものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するため本発明の薄膜磁気ヘッドは、磁
気テープ上のトラックピッチをＰとしたとき、概ね２ｎ
Ｐ（ｎは１から３０までの整数）のピッチ間隔で薄膜書
込変換器と薄膜読取変換器を同一基板上に電磁的に分離
して形成された構成となっている。

また、薄膜書込変換器と薄膜読取変換器との間に薄膜シ
ールド部を形成している。また、両変換器とも薄膜コイ
ル誘導形で構成されている。

作用 上記構成とすることにより、本発明の薄膜磁気ヘッドは
同一基板上に薄膜書込変換器と薄膜読取変換器が形成さ
れ、これら二つの変換器のギャップ面は同一平面内とな
り回転シリンダに取り付けた場合、薄膜書込変換器と薄
膜読取変換器は、上下に位置する構造となる。

また、これら二つの変換器を一つの基板上に形成するに
は、主として半導体の製造方法と同じフォトリングラフ
ィ技術を用いているので、二つの変換器のピンチ間隔を
１μｍ以内の精度で形成できる。従って、特にトラック
合せの調整を必要とせずに、薄膜書込変換器及び薄膜読
取変換器を記録トラック上に、正確に走査させることが
可能になる。

実施例 第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
全体の斜視図である。同図において、基板１０上にコイ
ル誘導型の薄膜書込変換器１＆と薄膜読取変換器１ｂが
形成されている。本実施例の場合、これら二つの変換器
のピッチ間隔は概ね２Ｐ（Ｐはテープ上の記録トランク
ピッチであり、一般的に、約１０μｍから約６０μｍの
範囲）に設定している。２は薄膜書込変換器１２Ｌと薄
膜読取変換器１ｂとの間に設けた薄膜シールド部であり
、１１は保護基板である。磁気テープ当接面は球面状に
加工・研磨されている。６．了、８，９は外部回路と結
合するだめの電極である。

第２図は保護基板を設ける前の薄膜磁気ヘッドの要部概
略図である。本実施例の場合、薄膜磁気ヘッドは一つの
基板１０上に形成された同じ形状。

構造をもつ二つのコイル誘導型の薄膜書込、読取変換器
１ａ、１ｂ及び薄膜シールド部２で構成されている。こ
れら薄膜書込、読取変換器１ｍ、１ｂは下部コア３＆、
３ｂ　、上部コア４ａ、４ｂ、薄膜コイル５２Ｌ　、５
ｂおよびこれらの眉間絶縁層（図示せず）などで構成さ
れている。

第３図は本実施例の薄膜磁気ヘッドの製造方法を説明す
るだめの図であり、第２図の実施例におけるｘ−ｘ’断
面図である。

まず、鏡面研磨したセラミック材料よりなる基板１０上
にパーマロイなどの強磁性金属薄膜を蒸着などで形成し
、フォ）　ＩＪソグラフィ技術で下部コア３２Ｌをパタ
ーニングする。次にＳｉ０２などの絶縁膜１３を形成し
、絶縁膜１３上に銅あるいは金などの薄膜を蒸着してフ
ォトリソグラフィ技術でコイル６ａを形成する。そして
、絶縁膜１４を形成し、フロントギャップ部１５．パッ
クギャップ部１６の絶縁膜をエツチングで取り除き、再
び絶縁膜１７を形成してギャップを形成する。この上に
、パーマロイなどの強磁性金属薄膜を蒸着などで形成し
て、フォトリングラフィ技術で上部コア４２Ｌをパター
ニングする。更に保護膜１８を形成し、保護基板１９を
ガラス接着し、磁気テープとの当接面１２を鏡面研磨し
て第１図に示すような磁気ヘッドが作られる。

以上のように、本実施例の薄膜磁気ヘッドは、主として
半導体の製造と同じフォトリングラフィ技術を駆使して
製造されるため、各構成要素の位置精度を１μｍ以内に
抑えることができる。

次に本実施例の薄膜磁気ヘッドを回転シリンダに装備し
た状態を第４図に示す。

第４図において、回転シリンダ１０１に、本発明による
薄膜磁気ヘッド２１．２２，２３．２４が９０°間隔に
４個装備されている。それぞれの薄膜磁気ヘッドは、前
記したように薄膜書込変換器と、薄膜読取変換器とで構
成されており、その間隔は概ね２Ｐである。薄膜磁気ヘ
ッド２１．２３は同一アジマス角度であり、別の薄膜磁
気ヘッド２２．２４は別の同一アジマス角度を有してい
る。

第６図は記録トラック上のトラックパターンと薄膜磁気
ヘッドとの位置関係を示したものであり、回転シリンダ
１０１に装備された四つの薄膜ヘッド２１，２２，２３
．２４のうち、薄膜磁気ヘッド２１が磁気テープと当接
している状態を示している。１２Ｌは薄膜書込変換器で
１ｂは薄膜読取変換器である。薄膜書込変換器１ａによ
って記録トラック３１上に記録される。記録トラック３
２はその前の薄膜磁気ヘッド２４の薄膜書込変換器によ
ってすでに書込みが終了している。同様に記録トラック
３３は、薄膜磁気ヘッド２３の薄膜書込変換器によって
、記録トラック３４は薄膜磁気ヘッド２２の薄膜書込変
換器によって、書込みが終了しているトラックである。

今、第６図に示されているように、薄膜磁気ヘッド２１
の薄膜書込変換器１１Ｌによって記録トラック３１に書
込みが行われているが、この時、同時に暮膜磁気ヘッド
２１の薄膜読取変換器１ｂは、トラック３３を走査して
いる。従ってトラック３３と、薄膜読取変換器１ｂのア
ジマス角度は一致しており、モニター再生を行うことが
可能になる。

本実施例の場合においては、書込みが行われているトラ
ックに対して、すでに書込みが終了している二つ前のト
ラックのモニター再生を行う例について述べているが、
さらに以前に書込みが終了している偶数番目のトラック
をモニター再生してもよい。この時は、薄膜書込変換器
と薄膜読取変換器とのピッチ間隔はそれに応じて設定さ
れる。

前述したように、薄膜磁気ヘッドの磁気テープ当接面は
Ｒ研磨されており、一般に距離的に大きいトラックをモ
ニターする場合、薄膜磁気ヘッドの磁気テープに対する
接触状態が悪化して良質な信号を得られない傾向がある
が、記録トラックのピッチをＰとしたとき、距離６０・
Ｐまでの隣接トラックであれば良質の信号をモニター再
生できる事を確認している。

なお、アジマス記録の場合、そのアジマス角度０を第６
図のようにとれば、薄膜書込変換器と薄膜読取変換器の
ピッチ間隔は２ｎＰ　／　ｃｏｓθ　と置き換えて考え
ることは明らかである。

第６図は本発明の薄膜磁気ヘッドにおける他の実施例を
示している。第２図と同一要素のものには同番号を付し
ている。図において、１Ｃは強磁性金属薄膜の磁気抵抗
効果を応用した磁気抵抗型の薄膜読取変換器である。磁
気抵抗型ヘッドは、下部コア６０．フロントヨーク６１
．バックヨーク６２．バイアス導体５３．センス導体５
４．磁気抵抗素子６５などで構成される。磁気抵抗素子
５６は、フロントヨーク５１とバックヨーク６２の間に
配置されている。磁気テープからの磁束はフロントヨー
ク６１から流入して、磁気抵抗素子５６に導流するよう
になされており、磁束に応じた抵抗変化が磁気抵抗素子
６５に発生する。磁気抵抗素子６５はセンス導体５４と
導通しており、このセンス導体６４を通じて流された定
電流によって、磁気抵抗素子５６の抵抗変化を電圧変化
に変換し、情報の読み出しが行われる。バイアス導体５
３は磁気抵抗素子５５の近傍に配置され磁気抵抗素子５
５の感度を向上させるためのバイアス磁界を発生させる
ために用いられる０この磁気抵抗素子６６はコイルを構
成要素としていないため、薄膜書込変換器１ａからの洩
漏磁束を検知し難く、モニター再生中のクロストークを
さらに低減できる効果を有するものである。

又、第１図の実施例のように薄膜コイル型で薄膜書込変
換器、薄膜読取変換器を構成した場合、薄膜書込変換器
を読取変換器として、あるいは薄膜読取変換器を書込変
換器として用いることもできる。

発明の詳細 な説明したように、本発明の薄膜磁気ヘッドによれば、
同一基板上に薄膜書込変換器と薄膜読取変換器が形成さ
れている。このため、モニター機能を付加しようとした
時に回転シリンダ上に新たに磁気ヘッドを取り付けるス
ペースを必要とせず小径シリンダでも容易にモニター機
能を実現できる効果を有するものである。

又、本発明の薄膜磁気ヘッドは、主としてフォトリング
ラフィ技術を駆使して作製され、トラック幅、トラック
ピッチなどを１μｍ以内の精度で形成可能であり、磁気
ヘッドを磁気テープ上のトラックに正確に走査させるた
めの調整作業を必要としないなど、優れたる効果を有す
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの斜
視図、第２図は第１図の一実施例において保護基板を設
ける前の薄膜磁気ヘッドの要部概略図、第３図は第２図
におけるｘ−ｘ’断面図、第４図は本発明の薄膜磁気ヘ
ッドを回転シリンダに実装した状態を示す平面図、第６
図は本発明の薄膜磁気ヘッドと磁気テープ上のトラック
との位置関係を示すトラックパターン図、第６図は本発
明の薄膜磁気ヘッドにおける他の実施例を示す要部概略
図、第７図は従来の磁気ヘッドを回転シリンダに実装し
た状態を示す平面図、第８図は磁気テープ上のトラック
パターン図、第９図は従来のバルク型磁気ヘッドの構造
を示す斜視図である。 １ａ・・・・・・薄膜書込変換器、１ｂ・・・・・・薄
膜読取変換器、２・・・・・・シールド部材、３ａ　、
３ｂ・・・・・・下部コア、ａｈ、４ｂ・・・・・・上
部コア、ｓａ、５ｂ・・・・・・薄膜コイル、６，７，
８．９・・印・電極、１ｏ・・・・・・基板、１１・・
・・・・保護基板、１２・・・・・・磁気テープ尚接面
。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名瓦−
・−育膜書誌父換轟 皮−ｉｓ誂取変挟６ ？　　−・−Ｒ展　シ′　　−ル　　ド　　（トＡ、７
．８．？　　−ｔ　　　ｆＥ ＩＯ−・−保護′＆級 ｊ２−　　通気テープ粕捧面 第１図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気テープの長手方向に対し、傾斜したトラック
   を走査する薄膜磁気ヘッドであって、磁気テープ上のト
   ラックピッチをＰとして、一つの基板上に薄膜書込変換
   器と薄膜読取変換器とを概ね２ｎＰ（ｎは１から３０ま
   での整数）のピッチ間隔で電磁的に分離し、かつ同一平
   面上に形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. （２）薄膜書込変換器と薄膜読取変換器とを電磁的に分
   離する薄膜シールド部を上記薄膜書込変換器と薄膜読取
   変換器間に形成したことを特徴とする請求項１記載の薄
   膜磁気ヘッド。
3. （３）薄膜書込変換器または薄膜読取変換器とも薄膜コ
   イル誘導形であることを特徴とする請求項１記載の薄膜
   磁気ヘッド。
4. （４）薄膜読取変換器は、強磁性金属薄膜の磁気抵抗効
   果を利用した磁気抵抗型の変換器であることを特徴とす
   る請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。