JPH09320224A - 磁気ヘッドユニット、その製造方法並びに磁気記録再生装置 - Google Patents

磁気ヘッドユニット、その製造方法並びに磁気記録再生装置

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JPH09320224A
JPH09320224A JP8141406A JP14140696A JPH09320224A JP H09320224 A JPH09320224 A JP H09320224A JP 8141406 A JP8141406 A JP 8141406A JP 14140696 A JP14140696 A JP 14140696A JP H09320224 A JPH09320224 A JP H09320224A
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magnetic
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magnetic head
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Akio Kuroe
章郎 黒江
Akio Murata
明夫 村田
Sayuri Muramatsu
小百合 村松
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドからの高周波信号を有効に取出す
磁気ヘッドユニットと、高周波信号の輻射を防止して質
の良い信号を再生する磁気記録再生装置に関する。 【解決手段】 ヘッドサスペンジョン２７上には短冊状
の比誘電率の高い基板３４上の一方の面に銅薄膜を形成
して、マイクロストリップラインの接地面３３及び反対
側の面には信号ライン２８を形成する。また、ＭＩヘッ
ド２９はヘッドスライダー３１の一方の端面上に形成
し、ＭＩヘッド２９磁性コアはのリード４０及び３０を
挟み込むように構成した。該リード４０を信号ライン２
８に接続し、またリード３０を接地面３４に接続した。
ヘッドサスペンジョン２７の接地面３３をＨＤＤのグラ
ンド３８に接地し、また磁気ディスクの金属磁性層ある
いはディスク基板とをＨＤＤのグランド３９に接地す
る。このように構成することによってマイクロストリッ
プラインからの電波を防止するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はアクティブな磁気ヘ
ッドからの高周波信号を有効に取り出すための磁気ヘッ
ドユニットを製造し、それを用いて，磁気録媒体からに
信号を再生する磁気記録再生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク(HDD)用の磁気ヘッドと
して，これまでにフェライトヘッドＭＩＧヘッド，薄膜
ヘッド等のインダクティブ型のヘッドが実用化されてい
る．近年では再生ヘッドとしてマグネトレジスティブ
(ＭＲ)ヘッドが実用化されつつある。
【０００３】図１１（Ａ）は記録用のインダクティブヘ
ッドと再生用のＭＲヘッドとを一体化した複合ヘッドの
構造を示したものである。これと類似のヘッドのついて
は日本応用磁気学会Vol.15,No.2,141-144(1991)で報告
されている。また図１１（Ｂ）はＭＲ検出部のみを拡大
したものである。
【０００４】ＭＲヘッドはフェライト基板１と記録ヘッ
ドの磁性ヨーク４のギャップ８の中にＭＲ膜３とＭＲの
磁区を単磁区構造化にするため硬磁性膜２を形成してあ
る。
【０００５】一方、記録ヘッドは磁性ヨーク４及び５に
よって構成された記録ギャップ６を形成している。ここ
で記録ヘッドの巻線７に信号電流を通電することによっ
て、該記録ギャップ６に信号磁界を発生せしめ、該複合
磁気ヘッドと相対運動している磁気記録媒体基板１１上
に形成した磁性層１０に信号磁化９を形成する。再生時
には信号磁化９の磁束によって変化する該ＭＲ膜３の電
気抵抗が変化するためＭＲ素子３にリード薄膜１２に通
電した電流が変化することになりこの変化を検出するも
のである。インダクティブヘッドによる再生の約3〜10
倍の感度が得られると言われいる。また近年ではジャイ
アントＭＲの開発が進められＭＲヘッドの3〜10倍の再
生感度を持つ可能性ことが予測されており精力的に開発
が進められている。
【０００６】更に、図１２は電子情報学会技報MR95-85
に報告され、磁気インピーダンスの変化を用いた素子及
びヘッドが提案されたものである。図１２は導電性金属
薄膜からなるリード１５をトラック幅１６にわったって
パーマロイ膜２２とSiO2膜２１の積層膜からなる２５及
び２６の軟磁性コアによってサンドイッチした磁気イン
ピーダンス素子の動作原理を表すものである。ＵＨＦ帯
の高周波発信器１３より高周波信号を抵抗１４を介して
印加して電流１７を通電し、リード１５の両端に配備し
た端子１９及び２０間の磁気インピーダンスの変化にも
とずいてその端子間の電圧変化をを検出するものであ
る。磁気記録媒体２４上の磁化２３から発生する信号磁
界が存在しない場合には、端子１９及び２０間には、電
流１７と該リード１５の端子１９及び２０間のインイー
ダンスとの積に相当するＵＨＦバイアス信号の電圧が発
生し、磁気録媒体からの信号磁界を受けた場合には、素
子の軟磁性コアの磁化の容易磁化方向がトラック幅方向
に配向されているため、磁化が信号磁界によって、配向
方向から傾き、磁気インピーダンスが小さくなる。従っ
て、ＵＨＦバイアス信号が磁気記録媒体の信号磁界によ
ってＡＭ変調された形で検出されるものである。この信
号をＡＭ検波することによって磁気記録媒体２４上の信
号磁化２３を読み出すことができるものである。このヘ
ッドが実現されると現在開発が進められているＭＲヘッ
ドやジャイアントＭＲヘッドより約１０倍出力が得られ
る可能性が有ることが予想される。また、バイアス信号
として高周波信号を用いているためその波長は取り扱う
物体の大きさが無視できないようなことになり，高周波
信号を加える伝送路や信号を取り出すための伝送路は分
布定数的な取扱いとなり，損失が生じないようにするた
めには反射波が生じないように定在波を利用したインピ
ーダンス整合線路を用いる必要があることが報告されて
る。
【０００７】また、図１３は通常用いられているヘッド
サスペンジョン７６を示すものでステンレス等の金属か
らなっている。該ヘッドサスペンジョン７６を上にはヘ
ッドジンバルやヘッドを取り付けたヘッドスライダーや
回転アームに取り付けるためのビス穴７７やヘッドから
のリード線はわせるための折り返し部分７８が構成され
ている。図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）の円で囲まれたヘ
ッドサスペンジョンのｃ−ｄ線での断面を示すものでヘ
ッドサスペンジョンの平面部８０から上方に折り曲げら
れた形状をしている。しかし同軸線は現在細くすること
が信号のロスやコスト高になること、また剛性が高くヘ
ッドサスペンジョンの高速移動やヘッドと媒体の間浮上
量や低下重化を図るためには障害になっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のごとくＭＩヘッ
ドの実現が望まれるが、これらの伝送路は高周波の信号
を伝達する際にはアンテナと同様であり、電波の輻射が
発生し，十分な信号と雑音との比（ＳＮＲ）が得られな
いと言う問題があった。したがってシールドを考慮した
構成で実現することが求めらる。またＨＤＤでは磁気ヘ
ッドを配備するヘッドサスペンジョンが高速で信号の領
域をシークする必要がある。そのため高速移動するヘッ
ドサスペンジョンの動きを妨げ無い構成の伝送路をどの
様に製作し配置するかが極めて重要であり、本発明はシ
ールドを有効に働かせて信号と雑音比（ＳＮＲ）の良好
な信号の整合伝送路を製作及びこれを用いてＳＮＲの良
好な磁気記録再生装置を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の磁気ヘッドユニットは、導電性の薄膜を絶
縁して挟み込むように形成し，該導電性薄膜の両端に１
対以上の電極を有した磁性体薄膜素子よりなる磁気ヘッ
ド及び高周波発信器をスライダーの一部に配備して該電
極に高周波電圧を印加するよう構成し，かつ上記磁気ヘ
ッドの再生信号を伝達する該導電性薄膜を含んで少なく
とも４分の１波長の整合伝送路を形成するマイクロスト
リップラインが磁気ヘッドのサスペンションであること
を特徴とするものである。また、ヘッドスライダー上の
高周波発信器の重量を除去し、ヘッドサスペンジョンの
高速化に対応するため、更なる本発明の磁気ヘッドユニ
ットは、導電性の薄膜を絶縁して挟み込むように形成
し，該導電性薄膜の両端に１対以上の電極を有した磁性
体薄膜素子よりなる磁気ヘッドをスライダーの一部に配
備し，かつ上記磁気ヘッドの再生信号を伝達する該導電
性薄膜を含んで少なくとも４分の１波長の第１の整合伝
送路と該電極に供給する高周波発信器と整合を取った第
２の伝送路とから構成したマイクロストリップラインが
磁気ヘッドのサスペンションであることを特徴とするも
のである。
【００１０】これらを実現するため本発明のヘッドサス
ペンジョンは、短冊上の誘電体の基板の片方の面上に導
電性の薄膜を全面に形成し，該誘電体基板の他方の面上
に少なくとも１本以上の導電性の薄膜のラインを形成し
てマイクロストリップラインを構成したことを特徴とす
るものである。
【００１１】更に、シールドの効果を高めるため、本発
明のヘッドサスペンジョンは短冊上の誘電体の基板の片
方の面上及び両側面上にに導電性の薄膜を接地面として
形成し該誘電体基板の他方の面上に少なくとも１本以上
の導電性の薄膜のラインを形成してマイクロストリップ
ラインを構成したことを特徴とするものである。
【００１２】さらに、本発明のヘッドサスペンジョンは
導電性の金属のヘッドサスペンジョン上に誘電体の薄膜
を形成し，該誘電対薄膜と誘電体薄膜上に形成した導電
性薄膜からなる少なくとも１本以上の信号ラインによっ
てマイクロストリップラインを形成したことを特徴とす
るものである。
【００１３】さらに、本発明のヘッドサスペンジョンの
製造方法は、ポリイミド等の有機性薄膜上に導電性の金
属薄膜よりなるラインをスパッタ蒸着法、鍍金法などよ
って形成し，金属の基板からなるサスペンジョンに接着
してマイクロストリップラインを形成すしたことを特徴
とするものである。
【００１４】更なる本発明の磁気ヘッドユニットの製造
方法は、導電性の金属基板からなるサスペンジョンに上
にスピンコートなどの手段により有機誘電体薄膜を形成
し，該薄膜上に導電性の金属薄膜よりなる少なくとも１
本以上の信号ラインを形成してマイクロストリップライ
ンを形成したことを特徴とするものである。
【００１５】シールドを効果的にするため、を本発明の
磁気記録再生装置は、導電性の薄膜を絶縁して挟み込む
ように形成し，該導電性薄膜の両端に１対以上の電極を
有した磁性体薄膜素子よりなる磁気ヘッドをスライダー
の一部に配備し，かつ上記磁気ヘッドの再生信号を伝達
する該導電性薄膜を含んで少なくとも４分の１波長の第
１の整合伝送路と該電極に供給する高周波発信器と整合
を取った第２の伝送路とから構成したマイクロストリッ
プラインが磁気ヘッドのサスペンションであることを特
徴とする磁気ヘッドユニットの該第２の伝送路に高周波
発信器より高周波信号を印加する手段を有し，該マイク
ロストリップラインの接地面と接地した磁気記録媒体面
の間に該ストリップラインの信号ラインを配備したこと
を特徴とするものである。
【００１６】また、シールドを効果的にし、高周波発信
器の重量を除去しヘッドサスペンジョンの高速移動化に
対応するため、更なる本発明の磁気記録再生装置は、導
電性の薄膜を絶縁して挟み込むように形成し，該導電性
薄膜の両端に１対以上の電極を有した磁性体薄膜素子よ
りなる磁気ヘッドをスライダーの一部に配備し，かつ上
記磁気ヘッドの再生信号を伝達する該導電性薄膜を含ん
で少なくとも４分の１波長の第１の整合伝送路から構成
したマイクロストリップラインが磁気ヘッドのサスペン
ションであることを特徴とする磁気ヘッドユニットの該
マイクロストリップラインの接地面と接地した磁気記録
媒体面の間に該ストリップラインの信号ラインを配備し
たことを特徴とするものである。
【００１７】更に、シールド効果を向上させるため、更
なる本発明の磁気記録再生装置は、上記磁気記録再生装
置の磁気ヘッドの位置を、磁気ヘッドの位置をマイクロ
ストリップラインの接地面の磁気記録媒体上への投影面
内側に配置したことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図１０を用いて、本
発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】（実施の形態１）図１（Ａ）は本発明の磁
気ヘッドユニットの構成を示すものである。また、図１
（Ｂ）は本発明のヘッドサスペンジョンの断面図を示す
ものである。更に、図２は本発明の磁気記録再生装置を
示す。まず、図１（Ａ）のヘッドサスペンジョン２７上
には短冊状の比誘電率の高いシリコン基板３４上の一方
の面に導電性良好な銅からなる薄膜を形成して後述のマ
イクロストリップラインの接地面３３を形成する。更
に、反対側の面にはホトリソグラフィ技術をを用いて、
マイクロストリップラインの信号ライン２８を形成した
ものである。その断面を図１（Ｂ）荷示す。また、磁気
インピーダンス変化を検出するヘッド２９（以降ＭＩヘ
ッドと呼ぶ）はヘッドスライダー３１の一方の端面上に
形成され、ＭＩヘッド磁性コアはのリード４０及び３０
を挟み込むように構成してある。該リード４０はマイク
ロストリップラインの信号ライン２８に接続され、また
リード３０はマイクロストリップラインの接地面３０に
接続した。一方マイクロストリップラインの片方の端部
には信号ライン２８の電極４２及び接地面３３の電極を
配備して、これ以降ＡＭ変調を復調する電気回路に導く
様構成した。また、マイクロストリップラインの長さ３
２は導体のリード４０及び３０の長さを含めてマイクロ
ストリップラインを形成するため、厳密には１／４波長
の長さより短くなる様に構成する。またＵＨＦ帯の信号
発信器４４は、ヘッドスライダー上のもう一方の端面上
に配備して図面上には示していないが接地面３３と信号
ライン２８に結合した。
【００２０】以上のように構成することによってＵＨＦ
の出力の電極端子４１および４２間には電圧が最大にな
るよう検出できるものである。図２では該ヘッドユニッ
トをハードディスク装置（ＨＤＤ）に装着した状態を示
すものである。ヘッドサスペンジョン２７の接地面３３
をＨＤＤのグランド３８に接地し、また磁気ディスクの
金属磁性層あるいはディスク基板とをＨＤＤのグランド
３９に接地する。
【００２１】このように構成することによってアンテン
ナとして電波を輻射しやすいマイクロストリップライン
の信号ラインをグランド間に挟み込み、電波をシールド
することが出来るものである。また、該マイクロストリ
ップラインとしてヘッドサスペンジョン２７を剛性の大
きな回転アーム３６に固着して回転軸３７によってヘッ
ド位置を高速に移動できるものである。またＭＩヘッド
からの電波の輻射に関しては、マイクロストリップライ
ンとヘッドスライダーを取り付ける際に、ヘッドスライ
ダーのＭＩヘッド配置面をマイクロストリップラインの
接地面を磁気記録媒体への投影した面より内側に配備す
ることによって、シールド効果を持たせることが出来る
ことが実験的に判明した。
【００２２】図３には、本発明の等価的な回路を示した
ものである。ＭＩヘッドのリード４３を磁性コア４７で
サンドイッチした形のＭＩヘッドに高周波発信器４４よ
り抵抗４５を介してリード４３と結合した２対の電極の
中一対の電極４８を介して印加し、一方の電極４９を接
地する。また、もう一対の電極の中５０を１／４波長整
合線路であるマイクロストリップラインの信号ライン４
６に接続し、一方の電極５５を接地する。このような状
態に磁気記録媒体から発生した信号磁界５７が該ＭＩヘ
ッドに加わると該信号磁界の強度によって高周波バイア
ス信号がＡＭ変調される。この信号を該マイクロストリ
ップラインの他端の電極５６でＡＭ復調回路を設けて信
号を復調するするものである。復調器はコンデンサー５
１及び５３とダイード５２の組み合わせによって構成し
ているがこれに限定されるわけではない。このようにし
て復調された信号が最大になるよう端子５４で検出でき
るものである。
【００２３】また、ヘッドサスペンジョンであるマイク
ロストリップラインの製造方法について図４を用いて説
明する。図４は短冊状基板の幅方向の断面図を示すもの
である。図４（Ａ）に示すように、まずシリコンウエハ
ーより短冊状の基板５８をきりだし、その上に上にレジ
スト層５９をスピンコート法によって形成せしめて乾燥
しする。その後（Ｂ）に示すようにマスクを用いてレジ
スト層６０の部分だけを露光し、（Ｃ）に示すように露
光していないレジスト層６１の部分を除去した後、シリ
コンをケミカルエッチングすることによりシリコン基板
上に凹部６２を構成した（Ｄ）に示す基板６７が得られ
る。この面に銅の薄膜をスパッタリング蒸着によって形
成し（Ｅ）のa-bのの面で研磨し、更に（Ｆ）の様にも
う一方の面に銅の薄膜６５を形成することによってマイ
クロストリップライン６６が得られるものである。
【００２４】また、（Ｇ）は（Ｄ）の基板６７をメッキ
法にを用いてを銅の薄膜６８を形成した後、（Ｇ）に示
すａーbのレベルまで研磨することによって（Ｈ）の様な
側面方向の電波の輻射に対するのシールド効果が優れた
マイクロストリップラインが得られるものである。ま
た、（Ｉ）では信号ライン６４が側面の更にシールド効
果は接地面より内側にくるため上記側面方向の電波の輻
射に対するのシールド効果更に効果があるものである。
また、（Ｊ）では（Ｉ）に構造に対して、レジスト６９
をスピンコートによって塗布し加熱して効果させた後、
研磨して平滑化しその上に銅の薄膜７０をスパッタ蒸着
法によって構成したものである。この構造は同軸線路と
同様な構造となり周囲全体に対して電波の輻射を防止出
来るものである。
【００２５】実験的に本発明のシールド効果のあるヘッ
ドサスペンジョンの断面としてまとめて示すと図５に
（Ａ）〜（Ｅ）の構成が有効であることが分かった。
【００２６】ここで基板としてシリコンを用いてケミカ
ルなエッチングによって凹部を形成したが、ドライエッ
チング法を用いてもまた機械加工によって形成すること
も有効である。また、ヘッドサスペンジョン用の基板と
してシリコン以外にガラスやカーボン、アルミナをを薄
く研磨して基板として有効である。また、マイクロスト
リップラインの導体として銅を用いたが導電性の材料、
金、銀、アルミなども有効である。
【００２７】（実施の形態２）本発明の実施の形態２に
付いて図６及び図７を用いて説明する。
【００２８】図６は磁気ヘッドユニットの等価的な構成
を示し、図７（Ａ）はその斜視図を、図７（Ｂ）はヘッ
ドサスペンジョンの断面図を示すものである。本発明の
実施の形態１ではヘッドスライダー上に高周波発信器４
３が配置されてた。本発明の実施の形態２では該高周波
発信器４４をヘッドサスペンジョン上には登載せず剛性
の大なる回転アーム３６あるいは他の部分に配備するよ
うに構成し高速移動やヘッドに加わる荷重を極力軽量化
するための構成にしたものである。ヘッドサスペンジョ
ンであるマイクロストリップライン７４には２本の信号
ラインが配置されている。第１の信号ライン２８は実施
の形態１と同様である。第２の信号ライン７１には高周
波信号発信器４３より抵抗４５を介して同軸線路７２に
よって第２の信号ラインの電極端子７２に高周波バイア
スをを加える。同軸線の線径はまだ大きく剛性が極めて
高いためため、ヘッドサスペンジョン上に配置した場合
にはヘッドサスペンジョンとしての動作にかなり悪影響
を及ぼすことになる。この様に構成することによって剛
性の大きな同軸線のヘッドサスペンジョンの動きに影響
が及ぼさない構成が可能となるものである。また、図７
（Ｂ）から分かるようにヘッドサスペンジョンの断面図
には２本の信号ライン２８及び７１を配備する構成にし
た。
【００２９】図８には本発明のヘッドサスペンジョンで
あるマイクロストリップラインの断面図を示す。２本の
信号ラインから輻射する電波をシールドするために実施
の形態１と同様に図８（Ａ）に比較して（Ｂ）、
（Ｃ）、（Ｄ）のほうがシールド効果がはるかに向上す
ることが実験的に確認された。なお、実施の形態２の場
合には２本の信号ライン間のシールドを考慮する必要が
あり、接地ライン７５を形成することによってシールド
効果をもたせた。この場合、信号ラインの厚みｔより接
地ライン７５の厚みｈを大きく形成するとシールドが著
しく改善された。
【００３０】また、マイクロストリップラインの製造方
法は本発明の実施の形態１に述べたフォトリソグラフィ
技術を用いて製造し、若干複雑であるが同様にして製作
が可能である。
【００３１】（実施の形態３）本発明を図９及び１０を
用いて実施の形態１に対応し金属のヘッドサスペンジョ
ンに適用した実施の形態に関して説明する。図９（Ａ）
はポリイミドフィルム８２上に銅の薄層をスパッタリン
グし信号ライン８３を形成した後、ステンレス金属薄板
８１上に有機接着材で接着したものである。この場合ス
テンレス金属薄板８１はマイクロストリップラインの接
地面の役割を果たすものである。また、ポリイミドフィ
ルムの代わりにスピンコートあるいはスパッタ蒸着法で
有機材料の薄膜を形成しその上に銅の薄膜からなる信号
ラインを形成することも有効である。またシールド効果
を向上するため、金属薄板を図９（Ｂ）の様に端面で折
り曲げた金属薄板８４を構成し電波の輻射を防止するこ
とが出来る。
【００３２】また、本発明を図１０を用いて実施の形態
２に対応し金属のサスペンジョンにに適用した実施の形
態について説明する。実施の形態２で既に述べたよう
に、（Ａ）では高周波発信器からの信号を伝える信号ラ
イン８６と信号を検出する信号ライン８３の間をシール
ドするため接地用のライン８５を形成したものである。
また（Ｂ）ではこの接地用のラインの代わりに金属基板
８１を中央でプレスすることによってシールドの役目を
果たす下方に凸部８７を設けたものでありシールド効果
が著しく向上する。また、以上の実施の形態では誘電体
層として有機材料の薄膜層を用いたがアルミナ、SiO2,
ガラスんなど無機材料も言うまでもなく有効である。
【００３３】
【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、ＭＩヘッドからの信号を整合線路を用いて取り出す
際に、マイクロストリップラインをヘッドサスペンジョ
ンとし、該マイクロストリップラインの接地面と接地し
た磁気記録媒体面の間に該ストリップラインの信号ライ
ンを配備することによって、ＵＨＦ帯のバイアス信号を
ＭＩヘッドと磁気記録媒体間で有効にシールドすること
ができる磁気ヘッドユニットとその製造方法及び磁気記
録再生装置を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）本発明の実施に形態１によるＭＩヘッド
ユニットの構成図 （Ｂ）ヘッドサスペンジョンの断面図
【図２】本発明の磁気記録再生装置の概念図
【図３】本発明のＭＩヘッドの等価的な構成図
【図４】本発明の実施の形態１のヘッドサスペンジョン
の製造工程図
【図５】本発明の実施の形態１の各種ヘッドサスペンジ
ョンの断面図
【図６】本発明のＭＩヘッドユニットの実施の形態２の
等価的構成図
【図７】（Ａ）本発明の実施の形態２の構成図であって
ＭＩヘッドユニットの斜視図 （Ｂ）ヘッドサスペンジョンの断面図
【図８】本発明の実施の形態２の各種ヘッドサスペンジ
ョンの断面図
【図９】本発明の実施の形態３の実施の形態１に対応し
たヘッドサスペンジョンの断面図
【図１０】本発明の実施の形態３の実施の形態２に対応
したヘッドサスペンジョンの断面図
【図１１】（Ａ）従来の発明の形態であって、ＭＲヘッ
ドとインダクティブヘッドとの複合ヘッドの断面図 （Ｂ）ＭＲヘッドの動作原理図
【図１２】従来の発明の形態であって、ＭＩヘッドの動
作原理図
【図１３】（Ａ）従来の発明の形態であって、従来使用
のヘッドサスペンジョンの構成図 （Ｂ）従来使用のヘッドサスペンジョンの断面図
【符号の説明】
１ フェライト基板 ２ 硬磁性膜 ３ ＭＲ膜 ４ 磁性ヨーク ５ 磁性ヨーク ６ 記録ギャップ ７ 巻線 ８ ギャップ ９ 信号磁化 １０ 磁性層 １１ 磁気記録媒体基板 １２ リード薄膜 １３ 高周波信号発生器 １４ 抵抗 １５ リード １６ トラック幅 １７ 高周波電流 １８ １／４整合線路 １９ 端子 ２０ 端子 ２１ SiO2 ２２ パーマロイ ２３ 信号磁化 ２４ 磁気記録媒体 ２５ 軟磁性コア ２６ 軟磁性コア ２７ ヘッドサスペンジョン ２８ 信号ライン ２９ ＭＩヘッド ３０ リード ３１ ヘッドスライダー ３２ ４分の１波長 ３３ 接地面 ３４ シリコン基板 ３５ 磁気記録媒体 ３６ 回転アーム ３７ 回転軸 ３８ グランド ３９ グランド ４０ リード ４１ 電極端子 ４２ 電極端子 ４３ リード ４４ 高周波発信器 ４５ 抵抗 ４６ 信号ライン ４７ 磁性コア ４８ 電極 ４９ 電極 ５０ 電極 ５１ コンデンサー ５２ ダイオード ５３ コンデンサー ５４ 端子 ５５ 電極 ５６ 端子 ５７ 信号磁界 ５８ 誘電体基板 ５９ レジスト層 ６０ 硬化したレジスト膜 ６１ レジスト層 ６２ 凹部 ６３ 導電性薄膜 ６４ 信号ライン ６５ 接地用薄膜 ６６ マイクロストリップライン ６７ 基板 ６８ 導電性薄膜 ６９ レジスト層 ７０ 薄膜 ７１ 信号ライン ７２ 電極端子 ７３ 同軸線 ７４ マイクロストリップライン ７５ 接地ライン ７６ ヘッドサスペンジョン ７７ 取り付け用ビス穴 ７８ 折り返し部分 ７９ ヘッドスライダー ８０ ヘッドサスペンジョンの平面部 ８１ 金属薄板 ８２ ポリイミドフィルム ８３ 信号ライン ８４ 金属薄板 ８５ 接地用ライン ８６ 信号ライン ８７ 凸部

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導電性の薄膜を絶縁して挟み込むように
    形成し，該導電性薄膜の両端に１対以上の電極を有した
    磁性体薄膜素子よりなる磁気ヘッド及び高周波発信器を
    ヘッドスライダーの一部に配備して該電極に高周波電圧
    を印加するよう構成し，かつ上記磁気ヘッドの再生信号
    を伝達する該導電性薄膜を含んで少なくとも４分の１波
    長の整合伝送路を形成するマイクロストリップラインが
    磁気ヘッドのサスペンションであることを特徴とする磁
    気ヘッドユニット。
  2. 【請求項２】 導電性の薄膜を絶縁して挟み込むように
    形成し，該導電性薄膜の両端に１対以上の電極を有した
    磁性体薄膜素子よりなる磁気ヘッドをスライダーの一部
    に配備し，かつ上記磁気ヘッドの再生信号を伝達する該
    導電性薄膜を含んで少なくとも４分の１波長の第１の整
    合伝送路と該電極に供給する高周波発信器と整合を取っ
    た第２の伝送路とから構成したマイクロストリップライ
    ンが磁気ヘッドのサスペンションであることを特徴とす
    る磁気ヘッドユニット。
  3. 【請求項３】 短冊上の誘電体の基板の片方の面上に導
    電性の薄膜を全面に形成し，該誘電体基板の他方の面上
    に少なくとも１本以上の導電性の薄膜のラインを形成し
    てマイクロストリップラインを構成したことを特徴とす
    るヘッドサスペンジョンの製造方法。
  4. 【請求項４】 短冊上の誘電体の基板の片方の面上及び
    両側面上に導電性の薄膜を接地面として形成し該誘電体
    基板の他方の面上に少なくとも１本以上の導電性の薄膜
    のラインを形成してマイクロストリップラインを構成し
    たことを特徴とするヘッドサスペンジョンの製造方法。
  5. 【請求項５】 短冊上の誘電体の基板の周囲面上に導電
    性の薄膜を接地面として形成し該誘電体基板の内部の位
    置に少なくとも１本以上の導電性の薄膜のラインを形成
    してマイクロストリップラインを構成したことを特徴と
    するヘッドサスペンジョンの製造方法。
  6. 【請求項６】 誘電体がシリコンであることを特徴とす
    る請求項３または４記載のヘッドサスペンジョン。
  7. 【請求項７】 請求項１記載の磁気ヘッドユニットのマ
    イクロストリップラインの接地面と接地した磁気記録媒
    体面との間に該ストリップラインの信号ラインを配備し
    たことを特徴とする磁気記録再生装置。
  8. 【請求項８】 第２項記載の磁気ヘッドユニットの第２
    の伝送路に高周波発信器より高周波信号を印加する手段
    を有し，該マイクロストリップラインの接地面と接地し
    た磁気記録媒体面の間に該ストリップラインの信号ライ
    ンを配備したことを特徴とする磁気記録再生装置。
  9. 【請求項９】 磁気ヘッドユニットの製造方法が請求項
    ３、４または５項記載の製造方法であることを特徴とす
    る請求項７または８記載の磁気記録再生装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１または２記載の磁性体薄膜よ
    りなる磁気ヘッドをマイクロストリップラインの接地面
    の投影面内側に配置したことを特徴とする請求項７また
    は８記載の磁気記録再生装置。
  11. 【請求項１１】 導電性の金属薄板のヘッドサスペンジ
    ョン面上に誘電体の薄膜を形成し，該誘電対薄膜と誘電
    体薄膜上に形成した導電性薄膜からなる少なくとも１本
    以上の信号ラインによってマイクロストリップラインを
    形成したことを特徴とする請求項１または２記載の磁気
    ヘッドユニット。
  12. 【請求項１２】 ポリイミド等の有機性薄膜上に導電性
    の金属薄膜よりなるラインをスパッタ蒸着法などよって
    形成し，金属薄板からなるヘッドサスペンジョンに接着
    してマイクロストリップラインを形成するヘッドユニッ
    ト製造方法。
  13. 【請求項１３】 金属薄板からなるヘッドサスペンジョ
    ンの幅方向の両端エッジを磁気記録媒体方向に折り曲げ
    たことを特徴とする請求項１２または１５記載の製造方
    法。
  14. 【請求項１４】 金属薄板からなるヘッドサスペンジョ
    ンの幅方向の両端エッジを磁気記録媒体方向に折り曲げ
    中央部で凹部となし、２つのヘッドサスペンジョンの平
    坦部にマイクロストリップラインの信号ライン形成した
    ことを特徴とする請求項１２または１５記載の製造方
    法。
  15. 【請求項１５】 導電性の金属基板からなるヘッドサス
    ペンジョンに蒸着あるいはスピンコートなどの手段によ
    り誘電体薄膜を形成し，該薄膜上に導電性の金属薄膜よ
    りなる少なくとも１本以上の信号ラインを形成してマイ
    クロストリップラインを形成したことを特徴とする磁気
    ヘッドユニットの製造方法。
  16. 【請求項１６】 磁気ヘッドユニットの製造方法が請求
    項１２、１３、１４または１５記載の製造方法であるこ
    とを特徴とする請求項７または８記載の磁気記録再生装
    置。
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